DE19517236C2

DE19517236C2 - Method and device for monitoring the flow of flowing media

Info

Publication number: DE19517236C2
Application number: DE1995117236
Authority: DE
Inventors: Walter Dipl Ing Reichart
Original assignee: IFM Electronic GmbH
Current assignee: IFM Electronic GmbH
Priority date: 1995-05-15
Filing date: 1995-05-15
Publication date: 1998-12-24
Anticipated expiration: 2015-05-16
Also published as: DE19517236A1

Description

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Überwachung der Strömung strömender Me dien, mit Hilfe mindestens eines das strömende Medium teilweise beeinflussenden Heizelementes, mit Hilfe mindestens eines zumindest überwiegend vom durch das Heizelement unbeeinflußten Anteil des strömenden Mediums beeinflußten ersten Temperaturmeßelementes und mit Hilfe mindestens eines zumindest überwiegend vom durch das Heizelement beeinflußten Anteil des strömenden Mediums beeinflußten zweiten Temperaturmeßelementes, bei welchem unter Einbeziehung des Zusammen hangs zwischen der Strömungsgeschwindigkeit des strömenden Mediums und der Temperaturdifferenz zwischen dem ersten und dem zweiten Temperaturmeßelement ein der Strömungsgeschwindigkeit des strömenden Mediums proportionales Meßsi gnal erzeugt wird. Weiter betrifft die Erfindung eine Vorrichtung zur Verwirklichung des erfindungsgemäßen Verfahrens, nämlich ein sogenanntes Strömungsmeßgerät.The invention relates to a method for monitoring the flow of flowing Me serve, with the help of at least one partially influencing the flowing medium Heating element, with the help of at least one at least predominantly from the Heating element unaffected portion of the flowing medium affected first Temperaturmeßelementes and with the help of at least one at least predominantly from affected by the heating element proportion of the flowing medium second temperature measuring element, in which with the inclusion of the together depends on the flow velocity of the flowing medium and the Temperature difference between the first and the second temperature measuring element a measuring signal proportional to the flow velocity of the flowing medium gnal is generated. The invention further relates to a device for implementation of the method according to the invention, namely a so-called flow meter.

Strömungsmeßgeräte als kalorimetrisch arbeitende Strömungswächter sind seit lan gem und in vielen Ausführungsformen bekannt (vgl. z. B. die deutschen Offenle gungsschriften 24 47 617, 26 29 051, 32 13 902, 32 22 046, 34 24 642, 37 13 981, 38 11 728, 38 25 059, 39 11 008, 39 43 437 und 44 06 541).Flow meters as calorimetric flow monitors have been around for a long time gem and known in many embodiments (see, for example, the German Offenle 24 47 617, 26 29 051, 32 13 902, 32 22 046, 34 24 642, 37 13 981, 38 11 728, 38 25 059, 39 11 008, 39 43 437 and 44 06 541).

Bei dem aus der deutschen Offenlegungsschrift 34 24 642 bekannten kalorimetri schen Strömungswächter wird die Differenz zwischen den Temperaturen einer wär medurchströmten Grenzschicht des strömenden Mediums zu der Temperatur des un beeinflußt vorbeiströmenden Mediums ausgewertet, um die Geschwindigkeit des strömenden Mediums zu bestimmen. Die beschriebene Temperaturdifferenz ist pro portional zu dem Wärmeübergangskoeffizienten α. Der Wärmeübergangskoeffizient αist wiederum eine Funktion der Geschwindigkeit des strömenden Mediums und der Temperatur des von dem Heizelement unbeeinflußten Anteils des strömenden Medi ums.In the kalorimetri known from German Offenlegungsschrift 34 24 642 flow monitor is the difference between the temperatures of a warm flowed through boundary layer of the flowing medium to the temperature of the un influences the flowing medium evaluated to the speed of the to determine flowing medium. The temperature difference described is pro proportional to the heat transfer coefficient α. The heat transfer coefficient α is again a function of the speed of the flowing medium and the Temperature of the portion of the flowing medium unaffected by the heating element to.

Bei den aus dem Stand der Technik bekannten Verfahren zur Überwachung der Strö mung strömender Medien geht man häufig davon aus, daß der Einfluß der Temperatur des Anteils des strömenden Mediums, welcher nicht von dem Heizelement beeinflußt wird, d. h. der Temperatur des strömenden Mediums vor dem Strömungswächter, zu vernachlässigen ist, also der Wärmeübergangskoeffizient α und damit die gemessene Temperaturdifferenz direkt proportional zur Strömungsgeschwindigkeit des strömen den Mediums ist.In the case of the methods known from the prior art for monitoring the currents With flowing media, it is often assumed that the influence of temperature the proportion of the flowing medium which is not influenced by the heating element will, d. H. the temperature of the flowing medium in front of the flow switch is neglected, i.e. the heat transfer coefficient α and thus the measured Temperature difference directly proportional to the flow speed of the flow the medium is.

Ursache der geschilderten Vereinfachung der Einflüsse auf den Wärmeübergangsko effizienten α und damit die gemessene Temperaturdifferenz ist der Aufbau der bisher bekannten Strömungswächter. Im allgemeinen werden die Messungen der Tempera turdifferenz anhand von Brückenschaltungen vorgenommen, bei denen PTC's, NTC's oder andere temperaturabhängige Bauteile als Temperaturmeßelemente eingesetzt werden. Bei fast allen temperaturabhängigen Bauteilen ist problematisch, daß diese eine nichtlineare Kennlinie aufweisen, die zudem auch noch von Bauteil zu Bauteil streut. Dies führt einerseits zu einer nur bedingten Austauschbarkeit dieser Bauteile, z. B. im Rahmen von Wartungsarbeiten, andererseits zu Schwierigkeiten beim Aufbau eines genau arbeitenden Strömungswächters. Insbesondere sind die bekannten Bau teile dahingehend problematisch, daß durch ihre Nichtlinearität und Bauteilstreuung eine Korrektur der Abhängigkeit des Wärmeübergangskoeffizienten und damit der gemessenen Temperaturdifferenz von der Temperatur des durch das Heizelement un beeinflußten Anteils des strömende Mediums nahezu unmöglich ist.Cause of the described simplification of the influences on the heat transfer co efficient α and thus the measured temperature difference is the structure of the previously known flow switch. In general, the measurements of tempera difference made on the basis of bridge circuits in which PTC's, NTC's or other temperature-dependent components used as temperature measuring elements will. With almost all temperature-dependent components it is problematic that this have a non-linear characteristic, which also goes from component to component scatters. On the one hand, this leads to a limited interchangeability of these components, e.g. B. as part of maintenance work, on the other hand to difficulties in construction of a precisely working flow switch. In particular, the known construction parts problematic in that their non-linearity and component dispersion a correction of the dependence of the heat transfer coefficient and thus the measured temperature difference from the temperature of the heating element un influenced portion of the flowing medium is almost impossible.

Die fehlende Möglichkeit einer Kompensation der Abhängigkeit des Wärmeüber gangskoeffizientens α bzw. der gemessenen Temperaturdifferenz von der Temperatur des vom Heizelement unbeeinflußten Anteils des strömenden Mediums kann, abhän gig von dem tatsächlich überwachten strömenden Medium, gravierend sein.The lack of possibility to compensate for the dependence of the heat transfer coefficient α or the measured temperature difference from the temperature the unaffected portion of the flowing medium may depend gig of the flowing medium actually monitored, be serious.

In Fig. 1 der Zeichnung ist der Wärmeübergangskoeffizient α abhängig von der Ge schwindigkeit des strömenden Mediums bei Temperaturen von 10, 25 und 80°C für Wasser dargestellt. Man erkennt deutlich die einerseits große Abhängigkeit des Wär meübergangskoeffizientens α von der Temperatur des von dem Heizelement unbe einflußten Anteils des strömenden Mediums, andererseits die zudem vorhandene Nichtlinearität dieser Abhängigkeit. Einen der bekannten Strömungswächter für Wasser einzusetzen ist also nur dann fehlerfrei möglich, wenn die Temperatur des von dem Heizelement unbeeinflußten Anteils des strömenden Mediums bekannt ist.In Fig. 1 of the drawing, the heat transfer coefficient α is shown depending on the Ge speed of the flowing medium at temperatures of 10, 25 and 80 ° C for water. One can clearly see the great dependence of the heat transfer coefficient α on the temperature of the uninfluenced portion of the flowing medium, on the other hand, the non-linearity of this dependence. It is therefore only possible to use one of the known flow monitors for water without errors if the temperature of the portion of the flowing medium uninfluenced by the heating element is known.

Neben den bislang geschilderten bekannten temperaturabhängigen Bauteilen sind allgemein als Temperaturmesser sogenannte dynamische Temperaturmesser bekannt, die nach dem "Proportional to absolute Temperature"-Verfahren (PTAT-Verfahren) ar beiten (vgl. Elektor 1/93, Ing. Harro Kühne, "Dynamischer Temperaturmesser", Seiten 54 bis 58). Diese dynamischen Temperaturmesser arbeiten nach dem physikalischen Prinzip, daß die Differenz des Spannungsabfalls an einem Halbleiterübergang bei zwei unterschiedlichen Durchlaßströmen unmittelbar dem Produkt aus einer Konstante, der absoluten Temperatur und dem natürlichen Logarithmus des Quotienten bzw. des Verhältnisses der Durchlaßströme entspricht. Mathematisch ausgedrückt lautet dieses physikalische Prinzip:
In addition to the known temperature-dependent components described so far, so-called dynamic temperature meters, which operate according to the "proportional to absolute temperature" method (PTAT method), are generally known as temperature meters (cf. Elektor 1/93, Ing. Harro Kühne, "Dynamic Temperature Meter ", Pages 54 to 58). These dynamic temperature meters work on the physical principle that the difference in voltage drop across a semiconductor junction with two different forward currents corresponds directly to the product of a constant, the absolute temperature and the natural logarithm of the quotient or the ratio of the forward currents. Expressed mathematically, this physical principle is:

Die dynamischen Temperaturmesser arbeiten dergestalt, daß ein Halbleiterübergang zeitlich abwechselnd mit zwei unterschiedlichen Durchlaßströmen beaufschlagt wird. Ältere bekannte Verfahren nutzen das beschriebene physikalische Prinzip dadurch, daß zwei identisch aufgebaute Halbleiterübergänge, die sich auf der gleichen Tempe ratur befinden, mit unterschiedlichen Durchlaßströmen beaufschlagt werden. Die be kannten dynamischen Temperaturmesser zeichnen sich dadurch aus, daß sie ein rela tiv großes Meßsignal liefern, daß kein Abgleich notwendig ist, daß die Spannungsdif ferenz direkt proportional der absoluten Temperatur ist und daß die Sensorelemente ohne Abgleich beliebig austauschbar sind.The dynamic temperature meters work in such a way that a semiconductor junction is alternately acted upon with two different forward currents. Older known methods use the described physical principle in that that two identically constructed semiconductor junctions, which are on the same tempe rature are subjected to different forward currents. The be Known dynamic temperature meters are characterized by the fact that they have a rela tiv large measurement signal that no adjustment is necessary that the voltage diff reference is directly proportional to the absolute temperature and that the sensor elements are interchangeable without adjustment.

Der Erfindung liegt nun die Aufgabe zugrunde, die bekannten Verfahren und Vor richtungen zur Überwachung der Strömung strömender Medien derart auszugestal ten, daß die Meßgenauigkeit auch bei variierenden Temperaturen des vom Heizele ment unbeeinflußten Anteils des strömenden Mediums deutlich erhöht wird.The invention is based on the object, the known methods and ago directions for monitoring the flow of flowing media ten that the measuring accuracy even with varying temperatures of the heating ment unaffected portion of the flowing medium is significantly increased.

Bei dem erfindungsgemäßen Verfahren ist die zuvor aufgezeigte Aufgabe dadurch gelöst, daß als Temperaturmeßelement jeweils ein durchlaßstrombeaufschlagter Halb leiterübergang oder mehrere durchlaßstrombeaufschlagte Halbleiterübergange auf gleicher Temperatur verwendet werden, daß je Temperaturmeßelement mindestens eine Spannungsdifferenz zweier Durchlaßspannungen bei unterschiedlichen Durch laßströmen bestimmt wird und daß eine Kompensation der Be einflussung des Zusammenhangs zwischen der Strömungsgeschwindigkeit des strö menden Mediums und der Temperaturdifferenz durch die von dem Heizelement un beeinflußte Temperatur des strömenden Mediums anhand einer Steuerung der Durchlaßströme des Halbleiterübergangs oder der Halbleiterübergänge abhängig von der vom Heizelement unbeeinflußten Temperatur des strömenden Mediums vorge nommen wird. Erfindungsgemäß ist also erkannt worden, daß sich sogenannte dy namische Temperaturmesser nicht nur aufgrund ihrer allgemein bekannten Eigen schaften besonders für den Einsatz als Temperaturmeßelemente in einem Verfahren zur Überwachung der Strömung strömender Medien eignen, sondern darüber hinaus Eigenschaften aufweisen, die zwar beim allgemeinen Einsatz unerheblich sind, die sie aber gerade für den Einsatz in einem solchen Verfahren besonders geeignet machen. Die erfindungsgemäß vorgeschlagene Steuerung der Durchlaßströme der Halbleiter übergänge abhängig von der von dem Heizelement unbeeinflußten Temperatur des strömenden Mediums ist besonders vorteilhaft, da die hierdurch erzielte Kompensa tion der Beeinflussung des Zusammenhangs zwischen Strömungsgeschwindigkeit des strömenden Mediums und der Temperaturdifferenz durch die von dem Heizele ment unbeeinflußte Temperatur des strömenden Mediums mit hoher Reproduzierbar keit und Präzision gewährleistet ist.In the method according to the invention, the object outlined above is thereby solved that as a temperature measuring element each a let-through current half conductor transition or several forward current-applied semiconductor junctions same temperature are used that at least per temperature measuring element a voltage difference between two forward voltages at different through let flow is determined and that a compensation of the loading influence of the relationship between the flow velocity of the stream menden medium and the temperature difference by the un of the heating element influenced temperature of the flowing medium by controlling the Forward currents of the semiconductor junction or the semiconductor junctions depending on the temperature of the flowing medium unaffected by the heating element is taken. According to the invention it has been recognized that so-called dy Named temperature meters not only because of their well-known properties are particularly suitable for use as temperature measuring elements in a process suitable for monitoring the flow of flowing media, but also beyond Have properties that are irrelevant in general use, they but make it particularly suitable for use in such a process. The control of the forward currents of the semiconductors proposed according to the invention Transitions depending on the temperature of the heating element unaffected flowing medium is particularly advantageous because the compensation thus achieved tion of influencing the relationship between flow velocity of the flowing medium and the temperature difference due to that of the heating element unaffected temperature of the flowing medium with high reproducibility speed and precision is guaranteed.

Eine vorteilhafte Ausgestaltung des erfindungsgemäßen Verfahrens ist dadurch ge kennzeichnet, daß die Kompensation anhand einer linearen oder nichtlinearen Steue rung des Verhältnisses der Durchlaßströme mindestens eines Temperaturmeßelementes abhängig von der vom Heizelement unbeeinflußten Temperatur des strömenden Me diums vorgenommen wird. Durch die unmittelbare Steuerung des Verhältnisses der Durchlaßströme eines der beiden Temperaturmeßelemente wird also die Empfindlich keit dieses Temperaturmeßelementes abhängig von der Temperatur des von dem Heizelement unbeeinflußten strömenden Mediums gesteuert. Somit ist gewährleistet, daß das von dem erfindungsgemäßen Verfahren erzeugte Meßsignal unabhängig von der Temperatur des vom Heizelement unbeeinflußten strömenden Mediums ist. Ob die Steuerung linear oder nichtlinear erfolgt, ist von dem Zusammenhang zwischen dem Wärmeübergangskoeffizienten und der Temperatur des vom Heizelement nicht be einflußten strömenden Mediums abhängig.An advantageous embodiment of the method according to the invention is thereby ge indicates that the compensation is based on a linear or non-linear control tion of the ratio of the forward currents of at least one temperature measuring element depending on the temperature of the flowing Me unaffected by the heating element diums is made. By directly controlling the relationship of the Let-through currents of one of the two temperature measuring elements thus become sensitive speed of this temperature measuring element depending on the temperature of the Controlled heating element unaffected flowing medium. This ensures that the measurement signal generated by the inventive method is independent of is the temperature of the flowing medium unaffected by the heating element. If she Control is linear or non-linear, is from the relationship between the Heat transfer coefficient and the temperature of the heating element not be influenced flowing medium.

Eine weitere besonders vorteilhafte Ausgestaltung des erfindungsgemäßen Verfah rens ist dadurch gekennzeichnet, daß als Temperaturmeßelement ein in bestimmten Zeitintervallen mit unterschiedlichen Durchlaßströmen beaufschlagter Halbleiterüber gang eingesetzt wird. Diese Maßnahme gewährt einen besonders einfachen Aufbau des Temperaturmeßelementes, da in diesem Fall pro Temperaturmeßelement nur ein Halbleiterübergang notwendig ist. Vorzugsweise wird dabei der Offsetfehler eines die Ausgangssignale der Temperaturmeßelemente verstärkenden Differenzverstärkers mit Hilfe eines Choppernetzwerkes unterdrückt. Der Einsatz eines Choppernetzwerkes ist möglich, da die Temperaturdifferenz als Differenz der Signale der beiden Tempera turmeßelemente als dynamisches Signal vorliegt. Durch die geschilderte Maßnahme wird die Meßgenauigkeit des erfindungsgemäßen Verfahrens zur Überwachung der Strömung strömender Medien weiter erhöht.Another particularly advantageous embodiment of the method according to the invention rens is characterized in that as a temperature measuring element in certain Time intervals with different forward currents of semiconductors gear is used. This measure ensures a particularly simple structure of the temperature measuring element, since in this case only one per temperature measuring element Semiconductor transition is necessary. The offset error is preferably one of the Output signals of the temperature measuring elements amplifying differential amplifier Suppressed with the help of a chopper network. The use of a chopper network is possible because the temperature difference is the difference between the signals of the two tempera tower elements as a dynamic signal. By the described measure is the measuring accuracy of the inventive method for monitoring the Flow of flowing media further increased.

Im einzelnen gibt es nun eine Vielzahl von Möglichkeiten, das erfindungsgemäße Ver fahren und die erfindungsgemäße Vorrichtung zur Überwachung der Strömung strö mender Medien auszugestalten und weiterzubilden. Dazu wird einerseits verwiesen die dem Patentanspruch 1 nachgeordnete Patentansprüche 2 bis 4, andererseits auf die Beschreibung eines bevorzugten Ausführungsbeispiels in Verbindung mit der Zeichnung. In der Zeichnung zeigtIn detail, there are now a variety of ways to Ver the invention drive and the device for monitoring the flow stream designing and developing media. On the one hand, reference is made to this the claims 2 to 4 subordinate to claim 1, on the other hand the description of a preferred embodiment in connection with the Drawing. In the drawing shows

Fig. 2 ein Blockschaltbild eines Ausführungsbeispiels einer Schaltung zur Ver wirklichung des erfindungsgemäßen Verfahrens, Fig. 2 is a block diagram of an embodiment of a circuit for Ver realization of the inventive method,

Fig. 3 eine schematische Darstellung eines Halbleiterübergangs zur Erläute rung des der Temperaturmessung zugrundeliegenden physikalischen Prinzips, Fig. 3 is a schematic representation of a semiconductor junction to Erläute tion of the underlying physical principle of temperature measurement,

Fig. 4 ein Schaltbild einer Sensorbrücke zur Realisierung der Temperaturdiffe renzmessung und Fig. 4 is a circuit diagram of a sensor bridge for realizing the temperature difference measurement and

Fig. 5 ein Schaltbild der in Fig. 4 dargestellten Sensorbrücke in Verbindung mit einem einen Differenzverstärker nachgeordneten Choppernetzwerk. Fig. 5 is a circuit diagram of the sensor bridge shown in Fig. 4 in connection with a chopper network downstream of a differential amplifier.

Fig. 2 zeigt ein Blockschaltbild eines Ausführungsbeispiels einer Schaltung zur Ver wirklichung des erfindungsgemäßen Verfahrens. In diesem Ausführungsbeispiel dar gestellt ist ein Sensorsystem 1 zur Bestimmung der Temperaturdifferenz, eine Auswer teelektronik 2 zur Auswertung der von dem Sensorsystem 1 gelieferten Temperatur differenz, eine Steuerelektronik 3 und eine der Verstärkung des Ausgangssignals der Auswerteelektronik 2 dienende Endstufe 4. Wie bereits einleitend beschrieben, wir ken von der Steuerelektronik 3 vorgenommene Kompensationsmaßnahmen über die Auswerteelektronik 2 auf das Sensorsystem 1 zurück, nämlich auf die Verhältnisse der an einem Halbleiterübergang für bestimmte Zeiträume abwechselnd anliegenden Durchlaßströme. Fig. 2 shows a block diagram of an embodiment of a circuit for the realization of the inventive method. In this embodiment, a sensor system 1 is provided for determining the temperature difference, evaluation electronics 2 for evaluating the temperature difference supplied by the sensor system 1 , control electronics 3 and an output stage 4 serving to amplify the output signal of the evaluation electronics 2 . As already described in the introduction, we take compensation measures carried out by the control electronics 3 via the evaluation electronics 2 back to the sensor system 1 , namely to the ratios of the forward currents alternately present at a semiconductor junction for certain periods.

Der in Fig. 3 schematisch dargestellte Halbleiterübergang 5 wird bei dem erfindungs gemäßen Verfahren, wie für dynamische Temperaturmesser bekannt, in Durchlaßrich tung gepolt, wobei die Durchlaßströme I₁/I₂ periodisch unterschiedliche Werte an nehmen. Die Differenz der für die unterschiedlichen Durchlaßströme I₁/I₂ ermittelten Spannungsabfälle U_pn an dem Halbleiterübergang 5 ist direkt der absoluten Tempera tur des Halbleiterübergangs 5 proportional.The semiconductor junction 5 shown schematically in FIG. 3 is polarized in the forward direction in the method according to the invention, as is known for dynamic temperature meters, the forward currents I ₁ / I ₂ periodically taking different values. The difference between the voltage _drops U _{pn determined} at the semiconductor junction 5 for the different forward currents I ₁ / I ₂ is directly proportional to the absolute temperature of the semiconductor junction 5 .

In Fig. 4 ist ein Schaltbild einer Sensorbrücke dargestellt, mit deren Hilfe die der Strö mungsgeschwindigkeit des strömenden Mediums proportionale Temperaturdifferenz bestimmt wird. In der dargestellten Sensorbrücke besteht das erste Temperaturmeß element 6 aus einem Referenzhalbleiterübergang 7 und einer geschalteten Referenz konstantstromquelle 8. Analog dazu besteht das zweite Temperaturmeßelement 9 aus einem Sensorhalbleiterübergang 10 und einer ebenfalls geschalteten Sensorkonstant stromquelle 11. Bei dem in Fig. 4 dargestellten Schaltbild einer Sensorbrücke werden die Vorwiderstände synchron umgeschaltet und somit unterschiedliche Durchlaß ströme für die Halbleiterübergänge erzwungen. Die Genauigkeit der Verhältnisse der Durchlaßströme kann über die in der Referenzkonstantstromquelle 8 und in der Sen sorkonstantstromquelle 11 angeordneten Widerstände sehr genau eingestellt werden. In Fig. 4 nicht dargestellt ist die Möglichkeit einer Steuerung der Verhältnisse der Durchlaßströme eines der Temperaturmeßelemente 6, 9 abhängig von der vom Heiz element unbeeinflußtem Temperatur des strömenden Mediums. Diese kann beispiels weise durch die Anordnung weiterer schaltbarer Widerstände in der Referenzkon stantstromquelle gewährleistet sein. In Fig. 4 is a circuit diagram of a sensor bridge is shown, with the help of the flow rate of the flowing medium proportional temperature difference is determined. In the sensor bridge shown, the first temperature measuring element 6 consists of a reference semiconductor junction 7 and a switched reference constant current source 8 . Analogously, the second temperature measuring element 9 consists of a sensor semiconductor transition 10 and a likewise switched sensor constant current source 11 . In the circuit diagram of a sensor bridge shown in Fig. 4, the series resistors are switched synchronously and thus different forward currents are forced for the semiconductor junctions. The accuracy of the ratios of the forward currents can be set very precisely via the resistors arranged in the reference constant current source 8 and in the sensor constant current source 11 . In Fig. 4 is not shown the possibility of controlling the ratios of the forward currents of one of the temperature measuring elements 6 , 9 depending on the unaffected by the heating element temperature of the flowing medium. This can be ensured, for example, by the arrangement of further switchable resistors in the reference constant current source.

In Fig. 5 der Zeichnung ist schließlich die in Fig. 4 dargestellte Sensorbrücke mit ei nem nachgeordneten Differenzverstärker 12 und einem zugehörigen Choppernetz werk 13 dargestellt.In Fig. 5 of the drawing, the sensor bridge shown in Fig. 4 is finally shown with egg nem downstream differential amplifier 12 and an associated chopper network 13 .

Claims

1. A method for monitoring the flow of flowing media, with the aid of at least at least one heating element partially influencing the flowing medium, with the help of at least one at least predominantly influenced by the heating element unaffected portion of the flowing medium first temperature measuring element and with the help of at least one at least predominantly by the Heating element be influenced portion of the flowing medium influenced second Temperaturmeßele mentes, in which, taking into account the relationship between the flow velocity of the flowing medium and the temperature difference between the first and second temperature measuring elements, a flow signal of the flowing medium proportional measurement signal is generated by characterized in that as a temperature measuring element each a pass-through current semiconductor transition or several pass-current-applied semiconductor transitions at the same temperature ur be used that each Temperaturmeßele element at least one voltage difference between two forward voltages at different forward currents is determined and that compensation for influencing the relationship between the speed of the flow medium of the flowing medium and the temperature difference by the unaffected by the heating element temperature of the flowing medium by a controller the forward currents of the semiconductor junction or the semiconductor junctions is made depending on the temperature of the flowing medium unaffected by the heating element.

2. The method according to claim 1, characterized in that the compensation a linear or non-linear control of the ratio of the passage currents at least one temperature measuring element depending on the heating element unaffected temperature of the flowing medium is made.

3. The method according to any one of claims 1 or 2, characterized in that as Temperature measuring element in certain time intervals with different Passing currents applied semiconductor transition is used.

4. The method according to claim 3, characterized in that the offset error the output signals of the temperature measuring elements amplifying differential amplifier is suppressed with the help of a chopper network.

5. Device for realizing the method according to one of claims 1 to 4, with a heating element partially influencing the flowing medium, with an at least predominantly influenced by the heating element unaffected by the proportion of the flowing medium first temperature measuring element ( 6 ) and with at least predominantly from the portion of the flow influenced by the heating element influencing the medium, the second temperature measuring element ( 9 ), taking into account the relationship between the flow rate of the flowing medium and the temperature difference between the first and the second temperature measuring element ( 6 , 9 ) a the flow rate of the flowing medium measurement signal proportional can be generated, characterized in that the temperature sensor (6, 9) each have a durchlaßstrombeaufschlagten semiconductor junction (7, 10) or more semiconductor durchlaßstrombeaufschlagte transitions (7, 10) at the same Temperature has that means are available through which at least one voltage difference between two forward voltages for different forward currents can be determined per temperature element ( 6 , 9 ) and that means are available through which compensation for influencing the relationship between the flow rate of the flowing medium and the temperature difference is effected by the temperature of the flowing medium unaffected by the heating element by controlling the forward current or the forward currents of the semiconductor junctions depending on the temperature of the flowing medium uninfluenced by the heating element.