DE19508042A1 - Für elektrische Strahlung durchlässige und wärmereflektierende Beschichtung und zugeordneter Herstellungsprozeß - Google Patents
Für elektrische Strahlung durchlässige und wärmereflektierende Beschichtung und zugeordneter HerstellungsprozeßInfo
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Description
Die Erfindung bezieht sich auf eine Glasschicht, die als
Fensterglas in einem Fahrzeug benutzt wird, wobei ein in ein
Auto eingebautes wärmereflektierendes Glas für elektrische
Strahlung durchlässig ist, damit ein tragbares Telefon benutzt
werden kann.
Zum Erzielen einer hohen wärmereflektierenden Eigenschaft bei
Automobil-Fensterglas, insbesondere bei Windschutzscheiben-Fenster
glas, bei dem ein hoher Übertragungsgrad für sichtbares
Licht erforderlich ist, wurden bisher Schichtstoff-Strukturen
benutzt, wie Glas/ZnO/Ag/ZnO, Glas/ITO/Ag/ITO und
Glas/TiO₂/Ai/TiO₂ mit dünnen Metallschichten, wie Silber, die
einen niedrigen elektrischen Widerstand aufweisen. Die als sehr
dünne Schichten (Dicke 10 nm) gebildeten Schichtstoff-Strukturen
weisen einen Übertragungsfaktor für sichtbares Licht
von 70% und mehr auf und reflektieren infrarote Strahlung in
wirksamer Weise, da die Metallschichten einen niedrigen
Widerstand aufweisen, so daß eine hohe
Wärmeisolierungseigenschaft entsteht.
Jedoch führt ein niedriger elektrischer Widerstand der
Metallschichten auch zu einer starken Reflexionscharakteristik
für elektrische Strahlung, und Geräte, die elektrische
Strahlung benützen, wie ein Fernsehgerät, ein bewegliches
Telefon, eine Fernbedienung und dergleichen funktionieren nicht
im ausreichenden Umfang. Aus diesem Grund können Schichten mit
hohem elektrischen Widerstand oder Glas mit hoher
Wärmeabsorption benützt werden, um auf Kosten der
Wärmeisolationsfähigkeit eine Übertragung der elektrischen
Strahlung zu gewährleisten.
Für die Herstellung von Scheibenglas ist der Stand der Technik
beispielsweise in JP-A-3-250797, JP-A-5-42523 und JP-A-5-50548
offenbart, wobei eine leitende Schicht in Teilabschnitte mit
einer Größe aufgeteilt ist, die im Hinblick auf die Wellenlänge
der auftretenden elektrischen Strahlung so gewählt wird, daß
ein Problem aufgrund der Reflexion elektrischer Strahlung nicht
auftritt, so daß die Übertragungsfähigkeit für elektrische
Strahlung unter Gewährleistung sowohl einer hohen
Wärmereflexionsfähigkeit und einer geringen Reflexionsfähigkeit
für elektrische Strahlung erhöht wird (die hier benutzte
Bezeichnung "JP-A" bezeichnet eine ungeprüfte veröffentlichte
japanische Patentanmeldung).
Zum Erzeugen einer hohen Wärmereflexionsfähigkeit und
Übertragungsfähigkeit für elektrische Strahlung bei
Automobilglas, insbesondere Windschutzscheibenglas, wird davon
ausgegangen, daß die Aufteilung einer leitenden Schicht in
Teilungsabschnitte mit einer verglichen mit der Wellenlänge der
auftretenden elektrischen Strahlung ausreichend kleinen Größe
wirksam ist. Da sich jedoch die Windschutzscheibe in
unmittelbarer Nähe zu dem Fahrer im Fahrersitz befindet, muß
die Linienbreite eines Teilungsabschnitts mit hohem Widerstand
herabgesetzt werden, damit sie der Fahrer nicht erkennt oder
das optische Erscheinungsbild des Fahrzeuges nicht
beeinträchtigt wird.
Es hat sich gezeigt, daß sich die Übertragungsfähigkeit für
elektrische Strahlung verschlechtert, wenn die Linienbreite
eines Teilungsabschnittes mit hohem Widerstand aus diesem Grund
herabgesetzt wird. Die folgenden schwierigen Probleme wurden
festgestellt: Glas zeigt eine gute Übertragungsfähigkeit für
elektrische Strahlung, wenn die Linienbreite des Bereichs mit
hohem Widerstand 1 mm oder mehr beträgt oder der Bereich mit
hohem Widerstand einen Oberflächenwiderstand von 20 kΩ/Abschnitt
(20 kΩ/Square) aufweist. Ist die Linienbreite des
Bereichs mit hohem Widerstand niedriger als 1 mm, so nimmt der
Übertragungsfaktor für elektrische Strahlung ab, und wird sie
niedriger als 0,1 mm, so wird die durch das Fenster
hindurchtretende elektrische Strahlung auf 1/3 oder weniger
gedämpft. Die Linienbreite des Teilungsabschnitts muß erheblich
kleiner als 1 mm gewählt werden, um eine Beeinträchtigung der
Durchsicht bei wärmereflektierendem Glas von innen nach außen
oder des Erscheinungsbilds des Scheibenglases zu vermeiden,
insbesondere die Durchsicht für einen Fahrzeugführer oder das
Erscheinungsbild des Fahrzeugs.
Die der Erfindung zugrundeliegende Aufgabe besteht darin, ein
wärmereflektierendes Glas zu schaffen, das eine hohe
Übertragungsfähigkeit für elektrische Strahlung aufweist, ohne
daß die Durchsicht oder das Erscheinungsbild eines Fahrzeugs
beeinträchtigt werden, sowie ein zugeordnetes
Herstellungsverfahren.
In einer ersten Ausführungsform bezieht sich die vorliegende
Erfindung auf eine für elektrische Strahlung durchlässige und
wärmereflektierende Beschichtung, enthaltend:
ein isolierendes durchlässiges Substrat, auf das eine leitende Schicht aufgebracht ist, die in eine Vielzahl von Streifenabschnitten unterteilt ist, wobei jeder Streifenabschnitt die Form eines ähnlichen Streifens aufweist und wobei die für elektrische Strahlung durchlässige und wärmereflektierende Beschichtung die folgenden Bedingungen erfüllt:
0,04 D 20A
RD 1131 (B + D)
B 0,05
und wobei A die Dicke der leitenden Schicht in Zentimeter darstellt; B die Breite des Streifenabschnitts der leitenden Schicht in Zentimetern darstellt, die kleiner ist als ein Zehntel der Wellenlänge einer elektrischen Strahlung, die auf der für elektrische Strahlung durchlässigen wärmereflektierenden Beschichtung auftrifft; D die Breite eines Bereichs mit hohem Widerstand in Zentimeter darstellt, die durch die Streifenabschnitte der leitenden Schicht abgetrennt ist, und RD den elektrischen Widerstand darstellt, der zwischen zwei Streifenabschnitten der leitenden Schicht, die den Bereich mit hohem Widerstand umfassen, besteht und der dadurch gemessen wird, daß zwei Längsabschnitte der leitenden Schicht mit jeweils einer Länge von 1 cm als einander gegenüberliegende Elektroden benützt werden.
ein isolierendes durchlässiges Substrat, auf das eine leitende Schicht aufgebracht ist, die in eine Vielzahl von Streifenabschnitten unterteilt ist, wobei jeder Streifenabschnitt die Form eines ähnlichen Streifens aufweist und wobei die für elektrische Strahlung durchlässige und wärmereflektierende Beschichtung die folgenden Bedingungen erfüllt:
0,04 D 20A
RD 1131 (B + D)
B 0,05
und wobei A die Dicke der leitenden Schicht in Zentimeter darstellt; B die Breite des Streifenabschnitts der leitenden Schicht in Zentimetern darstellt, die kleiner ist als ein Zehntel der Wellenlänge einer elektrischen Strahlung, die auf der für elektrische Strahlung durchlässigen wärmereflektierenden Beschichtung auftrifft; D die Breite eines Bereichs mit hohem Widerstand in Zentimeter darstellt, die durch die Streifenabschnitte der leitenden Schicht abgetrennt ist, und RD den elektrischen Widerstand darstellt, der zwischen zwei Streifenabschnitten der leitenden Schicht, die den Bereich mit hohem Widerstand umfassen, besteht und der dadurch gemessen wird, daß zwei Längsabschnitte der leitenden Schicht mit jeweils einer Länge von 1 cm als einander gegenüberliegende Elektroden benützt werden.
Weist der Teilungsabschnitt eine niedrige Breite auf, ist es
außerordentlich schwierig, den elektrischen Widerstand des
Teilungsabschnitts beliebig anzuheben. Den Erfindern ist es
gelungen, eine Vorgehensweise zur Gewährleistung einer
elektrischen Übertragungsfähigkeit bei einer unterteilten
transparenten leitenden Schicht, die bisher nur unzureichend
bekannt war, durch Anwendung einer elektromagnetischen Theorie
zu verbessern und aufbauend auf den sich hierbei ergebenden
Ergebnissen die Anforderungen zu verdeutlichen, die bei der
Unterteilung einer transparenten leitenden Schicht, wie sie bei
einer wärmereflektierenden Beschichtung, die elektrische
Strahlung überträgt, bestehen.
Im einzelnen betrachteten die Erfinder die Tatsache, daß der
wesentliche Grund, weshalb eine Übertragungsfähigkeit für
elektrische Strahlung bei Unterteilung einer leitenden Schicht
besteht, darin zu sehen ist, daß ein durch ein elektrisches
Feld oder eine elektrische Strahlung erzeugter Strom durch den
Teilungsabschnitt blockiert und angesammelt wird, so daß der
induzierte Strom durch ein von den Ladungen erzeugtes
elektrisches Gegenfeld unterdrückt wird. Ist der Widerstand des
Teilungsabschnitts endlich, so fließt die angehäufte Ladung
über einen Leckstrom ab, so daß ein extra Strom fließt; im
Ergebnis erhöht sich die Reflexion.
Ausgehend von dieser Idee wurde, wie in Fig. 3 gezeigt ist, ein
Modell der unterteilten leitfähigen Schicht hergestellt aus
extrem flachen elliptischen Zylindern, die sich in einer zu der
Richtung des elektrischen Feldes der elektrischen Strahlung
rechtwinkligen Richtung erstrecken, wobei jeder
Teilungsabschnitt ein Film mit hohem Oberflächenwiderstand ist,
der die elliptischen Zylinder verbindet, und die reflektierte
Amplitude und die übertragene Amplitude der elektromagnetischen
Welle bei dem Modell wurden mit Hilfe der Maxwell-Gleichungen
der elektrischen Felder berechnet. Im Ergebnis wurde
festgestellt, daß die elektrische Strahlung durch die
unterteilten Schichten fast 100% hindurchtritt, wenn die
folgenden Bedingungen (1), (2), (3) und (4) erfüllt sind:
(1) A « D
(2) RMS/Z « 2πλ/B
(3) B « λ
(4) RD = DRDS » (B + D)/2)Z₀
(2) RMS/Z « 2πλ/B
(3) B « λ
(4) RD = DRDS » (B + D)/2)Z₀
wobei gilt:
A: Schichtdicke der durchlässigen leitenden Schicht
B: Breite jedes Teils der unterteilten durchlässigen leitenden Schicht
D: Breite des Bereichs mit hohem Widerstand
λ: Wellenlänge der elektrischen Strahlung
RDS: Oberflächenwiderstand der durchlässigen leitfähigen Schicht
RD: Widerstand entlang des Bereichs mit hohem Widerstand (pro Einheitslänge in Streifenrichtung)
RDS: Oberflächenwiderstand des Abschnitts mit hohem Widerstand
Z₀: 377 (konstant).
A: Schichtdicke der durchlässigen leitenden Schicht
B: Breite jedes Teils der unterteilten durchlässigen leitenden Schicht
D: Breite des Bereichs mit hohem Widerstand
λ: Wellenlänge der elektrischen Strahlung
RDS: Oberflächenwiderstand der durchlässigen leitfähigen Schicht
RD: Widerstand entlang des Bereichs mit hohem Widerstand (pro Einheitslänge in Streifenrichtung)
RDS: Oberflächenwiderstand des Abschnitts mit hohem Widerstand
Z₀: 377 (konstant).
Die in den oben angegebenen Bedingungen angegebenen Beziehungen
werden wie folgt hergeleitet:
wobei
Ei: komplexe Amplitude der auftretenden elektrischen Strahlung
Er: komplexe Amplitude der reflektierten Strahlung
Et: komplexe Amplitude der übertragenen Strahlung
ω: Kreisfrequenz der elektrischen Strahlung
c: Lichtstrom
σo = (ARMS 10⁹/c²)-1:
Elektrische Leitfähigkeit der leitenden Schicht im CGS-Einheitensystem.
Er: komplexe Amplitude der reflektierten Strahlung
Et: komplexe Amplitude der übertragenen Strahlung
ω: Kreisfrequenz der elektrischen Strahlung
c: Lichtstrom
σo = (ARMS 10⁹/c²)-1:
Elektrische Leitfähigkeit der leitenden Schicht im CGS-Einheitensystem.
Werden die Beziehungen (1) und (2) benützt, so lassen sich die
Auswirkungen von zahlreichen Parametern, die die unterteilte
leitende Schicht entsprechend der Erfindung festlegen, auf die
Reflexions- und Übertragungscharakteristik von elektrischer
Strahlung eigens bestimmen. Die Fig. 2(a) und (b) zeigen den
Einfluß des Widerstands des Teilungsabschnitts. Aus Fig. 2(a)
läßt sich erkennen, daß dann, wenn der Widerstand RD einen
großen Wert von 50 kΩ cm (Wert von ungefähr logRD = 4,7)
aufweist - betrachtet in Richtung der Breite des
Teilungsabschnitts über eine Länge von ungefähr 1 cm des
Teilungsabschnitts mit hohem Widerstand zum Unterteilen der
Metallschicht mit einem Oberflächenwiderstand von
5 Ω/Abschnitt (5 Ω/Square) - eine hervorragende Übertragung
der elektrischen Strahlung erzielt werden kann, indem die
Breite B jedes Abschnitts der unterteilten transparenten
leitenden Schicht auf 1/10 der Wellenlänge der auftreffenden
elektrischen Strahlung oder weniger eingestellt wird. Tritt
andererseits eine elektrische Strahlung mit 1 GHz (λ = 30 cm)
auf der unterteilten Metallschicht mit einem
Oberflächenwiderstand von 5 Ω/Abschnitt (5 Ω/Square) auf,
wobei B = 3 cm und die Breite des Abschnitts mit hohem
Widerstand D = 0,05 cm ist, und wobei der Widerstand betrachtet
wird über eine Länge von 1 cm in Richtung der Breite des
Bereichs mit hohem Widerstand und wobei RD ungefähr 3000 Ωcm
oder mehr beträgt (ungefähr dreimal ((B + D)×377) = 1131 (B + D)),
so tritt die elektrische Strahlung mit 70% oder mehr hindurch
(-1,5 dB), und beträgt der Widerstand RD vorzugsweise 10 kΩ cm
oder mehr (ungefähr zehnmal (B + D)×377), so tritt die
elektrische Strahlung mit 80% oder mehr hindurch (-1 dB). Da
die Breite des Abschnitts mit hohem Widerstand 0,05 cm beträgt,
läßt sich eine Übertragung der elektrischen Strahlung dadurch
gewährleisten, daß der Oberflächenwiderstand des Abschnitts mit
hohem Widerstand RDS zu 60 kΩ/Abschnitt (60 kΩ/Square) oder
mehr gewählt wird, vorzugsweise 200 kΩ/Abschnitt (Square) oder
mehr.
Beim Herleiten der Beziehungen (1) und (2) wird die
Coulomb′sche Wechselwirkung von Ladungen vernachlässigt, die
in dem benachbarten Ende zwischen Abschnitten der unterteilten
Metallschicht auftritt. Wird jedoch die Teilungsbreite D
beliebig klein, so läßt sich die Wechselwirkung nicht
vernachlässigen, und schließlich tritt der Teilungseffekt nicht
mehr auf. Die Coulomb′sche Wechselwirkung läßt sich dann
vernachlässigen, wenn die Ladung in dem einen Ende von
benachbarten Abschnitten der unterteilten Metallschicht
verglichen mit dem elektrischen Feld, das an dem Ende des
anderen Teils der unterteilten Metallschicht erzeugt wird,
hinreichend klein ist. Die Bedingung ist insbesondere wie folgt
festgelegt:
A « 2D.
A « 2D.
Um demnach den Teilungseffekt zu erzielen und um eine
Übertragung der elektrischen Strahlung zu gewährleisten, sollte
zumindest die Breite D des Teilungsabschnitts mindestens
zehnmal so groß wie die Metallschichtdicke A gewählt werden. Da
die Metallschichtdicke A so gewählt wird, daß sichtbares Licht
hindurchtreten kann und eine wärmereflektierende Funktion
gewährleistet ist, also normalerweise im Bereich von 10 bis 100 nm,
muß die Breite D des Teilungsabschnitts zu mehr als 0,1 bis
1 µm gewählt werden.
Elektromagnetische Wellen mit einer kürzeren Wellenlänge werden
dadurch übertragen, daß die Breite B jedes Abschnitts der
unterteilten Metallschicht herabgesetzt wird. Demnach wird die
untere Grenze der Größe des Teilungsabschnitts dadurch
festgelegt, daß die Reflexionseigenschaften für infrarote
Strahlung aufrechterhalten werden müssen
(Wärmereflexionseigenschaft).
Nimmt man an, daß die Wellenlänge einer auftretenden
elektrischen Welle λ beträgt, so ergibt sich aus den
Beziehungen (1) und (2) dann, wenn die Bedingung:
B » 2πλZ₀/RMS (5)
erfüllt ist, daß die elektromagnetische Welle fast reflektiert
wird. Jedoch beträgt die Wellenlänge der Wärmestrahlung von
Sonnenlicht ungefähr 1 m, so daß die Voraussetzung für die
Herleitung der Beziehungen (1) und (2) bei der
elektromagnetischen Welle dieser Wellenlänge nicht erfüllt
sind, so daß dieser Punkt nicht untersucht werden muß.
Nimmt man an, daß der Einfallwinkel und die Wellenlänge der bei
dem Ziel eintreffenden Wärmestrahlung jeweils α und λ sind, so
wird die räumliche Richtung des elektrischen Feldes, das auf
der leitenden Schicht durch die elektromagnetische Welle
erzeugt wird, innerhalb einer Periode von zwei λ/sin α
umgekehrt. Ist demnach die Abschnittsgröße der leitenden
Schicht größer als diese Periode, so werden die Aufladeeffekte
an den entgegengesetzten Enden positiv und negativ kompensiert,
wodurch der auf ein elektrisches Gegenfeld zurückzuführende
Effekt vermindert wird. Ist demnach die Abschnittsgröße in
einem ausreichenden Maße größer als die Wellenlänge, so tritt
der Trenneffekt nicht auf, wenn eine elektromagnetische Welle
mit einem geringen Winkel schief einfällt.
Nimmt man an, daß Sonnenlicht vertikal zu einer
elektromagnetischen Welle einer Wellenlänge von 1 µm vorliegt,
so verändert sich der Einfallswinkel des Sonnenlichtes ungefähr
5 Minuten später und Wärmestrahlung wird reflektiert, wobei α
ungefähr 1° wird. Demnach wird λ/sin α zu 50 µm. Demnach kann
die Abschnittsbreite B 50 µm oder mehr sein, vorzugsweise 500 µm
oder mehr.
Die in einer Richtung streifenartig unterteilte leitende
Schicht bewirkt eine hohe Reflexion elektrischer Strahlung bei
Anteilen, bei denen die Richtung des elektrischen Feldes der
einfallenden elektrischen Strahlung parallel zur Längsrichtung
der Streifen verläuft, wenn die leitende Schicht nicht
unterteilt ist. Um bei elektrischer Strahlung mit elektrischen
Feldern in jeder Richtung eine hohe elektrische
Strahlungsübertragung zu gewährleisten, kann die leitende
Schicht wie ein Gittermuster unterteilt sein, insbesondere
durch in zwei Richtungen rechtwinklig zueinander verlaufende
Streifen. Bei dem Muster, das sich bei Unterteilung mit in zwei
Richtungen rechtwinklig verlaufenden Streifen ergibt, muß
diejenigen Bedingungen erfüllen,
die bei Unterteilung mit Streifen in einer Richtung gelten.
Demnach besteht eine bevorzugte Ausführungsform gemäß einem
ersten Aspekt der vorliegenden Erfindung in einer
wärmereflektierenden Beschichtung, die für elektrische
Strahlung durchlässig ist, wobei die Streifenabschnitte der
leitenden Schicht ferner in einer seitlichen Richtung in eine
Vielzahl von Gitterabschnitten unterteilt sind, die jeweils die
Form einer Insel aufweisen, wobei die für elektrische Strahlung
durchlässige und wärmereflektierende Beschichtung die folgenden
Bedingungen erfüllt:
0,04 D′ 20A
RD 1131 (B′ + D′)
B′ 0,05
und wobei A die Dicke der leitenden Schicht in Zentimetern darstellt; BT die Länge des Gitterabschnitts der leitenden Schicht in Zentimetern darstellt, die kleiner ist als ein Zehntel der Wellenlänge der elektrischen Strahlung, die bei der für elektrische Strahlung durchlässigen und wärmereflektierenden Beschichtung auftrifft; D′ die Länge eines Bereichs mit hohem Widerstand in Zentimetern darstellt, wobei der Bereich durch die Gitterabschnitte der leitenden Schicht abgetrennt wird; und (RD′) den elektrischen Widerstand zwischen zwei Gitterabschnitten der leitenden Schicht darstellt, wobei die Gitterabschnitte den Bereich mit hohem Widerstand umfassen und der Widerstand dadurch gemessen wird, daß zwei benachbarte Abschnitte der leitenden Schicht jeweils über eine Länge von 1 cm als einander gegenüberliegende Elektroden benützt werden.
0,04 D′ 20A
RD 1131 (B′ + D′)
B′ 0,05
und wobei A die Dicke der leitenden Schicht in Zentimetern darstellt; BT die Länge des Gitterabschnitts der leitenden Schicht in Zentimetern darstellt, die kleiner ist als ein Zehntel der Wellenlänge der elektrischen Strahlung, die bei der für elektrische Strahlung durchlässigen und wärmereflektierenden Beschichtung auftrifft; D′ die Länge eines Bereichs mit hohem Widerstand in Zentimetern darstellt, wobei der Bereich durch die Gitterabschnitte der leitenden Schicht abgetrennt wird; und (RD′) den elektrischen Widerstand zwischen zwei Gitterabschnitten der leitenden Schicht darstellt, wobei die Gitterabschnitte den Bereich mit hohem Widerstand umfassen und der Widerstand dadurch gemessen wird, daß zwei benachbarte Abschnitte der leitenden Schicht jeweils über eine Länge von 1 cm als einander gegenüberliegende Elektroden benützt werden.
Damit eine leitende Schicht eine exzellente Wärmereflexions-Eigenschaft
aufweist, sollte der Oberflächenwiderstand der
leitenden Schicht soweit wie möglich verringert werden. Damit
der Oberflächenwiderstand verringert werden kann, muß die
Schichtdicke im umgekehrten Verhältnis zur elektrischen
Leitfähigkeit der Schicht erhöht werden. Um sowohl die
Durchlässigkeit für sichtbares Licht als auch die
Wärmereflexionseigenschaft zu gewährleisten, wird der
Oberflächenwiderstand vorzugsweise in einem Bereich von
3 Ω/Abschnitt (3 Ω/square) bis 200 Ω/Abschnitt (200 Ω/square)
gewählt. Je niedriger die elektrische Leitfähigkeit der
leitenden Schicht ist, desto niedriger wird der Widerstand
selbst bei einer dünnen Schicht. Demnach wird zum Erzeugen
einer wärmereflektierenden Schicht mit einem hohen
Übertragungsfaktor für sichtbare Strahlung vorzugsweise ein
leitendes Schichtmaterial eingesetzt, dessen elektrische
Leitfähigkeit so niedrig (hoch) wie möglich ist. Insbesondere
ist bei dem Einsatz der wärmereflektierenden Beschichtung mit
Übertragung von elektrischer Strahlung entsprechend der
Erfindung bei einer Fahrzeugwindschutzscheibe darauf zu achten,
daß die Sicht des Fahrers oder das Erscheinungsbild des
Fahrzeugs nicht beeinträchtigt wird. Demnach wird für die
leitende Schicht vorzugsweise ein Material eingesetzt, dessen
elektrische Leitfähigkeit so groß wie möglich ist, so daß bei
Anheben des Übertragungsfaktors für sichtbares Licht eine
ausreichende Wärmereflexionscharakteristik gewährleistet ist;
vorzugsweise besteht sie aus einem der Elemente Ag, A, Cu und
Al oder einer im wesentlichen aus Ag, Au, Cu und Al bestehenden
Legierung, insbesondere vorzugsweise Ag. Um die
Wetterbeständigkeit der Materialien zu gewährleisten, muß eine
durchlässige dielektrische Schicht über eine andere dünne
Metallschicht oder direkt auf beiden Seiten der leitenden
Schicht als Schutzschicht aufgebracht werden.
Wird eine im wesentlichen aus Ag, Au, Cu und Al bestehende
Legierung eingesetzt, so verringert sich die elektrische
Leitfähigkeit im Vergleich zu derjenigen bei Gebrauch eines
Metalls, wobei sich jedoch die Beständigkeit der Schicht selbst
verbessert.
Um die Sichtbarkeit der Teilungsabschnitte so gering wie
möglich zu halten, ist es wünschenswert, die Linienbreite D der
Teilungsabschnitte so gering wie möglich zu halten.
Wird das oben erwähnte Metallmaterial als leitende Schicht
eingesetzt, so verringern sich die Unterschiede zwischen dem
leitenden Schichtabschnitt und dem Teilungsabschnitt mit hohem
Widerstand (im Hinblick auf den Übertragungsfaktor für
sichtbare Strahlung und den Reflexionsfaktor für sichtbare
Strahlung); dies ist im Hinblick auf die Sichtmöglichkeit des
Fahrers und das Erscheinungsbild vorzuziehen. Entsprechend der
Erfindung wird die Linienbreite D des Teilungsabschnitts zu 400 µm
oder weniger gewählt, vorzugsweise 300 µm oder weniger; dies
ist auch im Hinblick auf das Erscheinungsbild vorzuziehen. Die
Beschichtung wird durch eine Harzschicht mit einem anderen Glas
verbunden, wodurch weiterhin der Reflexionsfaktor-Unterschied
zwischen dem leitenden Schichtabschnitt und dem
Teilungsabschnitt mit hohem Widerstand herabgesetzt wird, so
daß sich die Auswirkungen auf die Sichtmöglichkeit des Fahrers
und das Erscheinungsbild weiter vermindern lassen. Die
Befestigung der Beschichtung durch einen Harzfilm an einem
unterschiedlichen Glas hat auch die Auswirkung, daß sich eine
Verschlechterung der leitenden Schicht an den Teilungsabschnitt
vermeiden läßt.
Um ein tragbares Telefon oder ein Navigationssystem, bei dem
von einem Satelliten ausgesandte elektrische Strahlung
eingesetzt wird, in einem Auto zu benützen, wird vorzugsweise
elektrische Strahlung von bis zu 2 GHz übertragen, und demnach
wird die Abschnittsbreite B zu 3 cm oder weniger gewählt,
vorzugsweise 1 cm oder weniger.
Wird bei der Erfindung die Größe jedes Abschnitts der leitenden
Schicht entsprechend einem Gitter oder Streifenmuster gewählt,
so liegt B in dem Bereich von 3 cm oder weniger und 50 µm oder
mehr, wobei elektrische Strahlung von bis zu 2 GHz
hindurchtritt; obgleich eine Unterteilung erfolgt, tritt bei
Wärmestrahlung in der Nähe des infraroten Bereichs, wie er im
Sonnenlicht enthalten ist, der Effekt der Bildung eines
entgegengesetzten elektrischen Feldes in den Teilungsabschnitt
nicht auf, wodurch eine hohe Wärmereflexionsfähigkeit
beibehalten wird.
Entsprechend einer zweiten Ausführungsform der vorliegenden
Erfindung enthält eine für elektrische Strahlung durchlässige
und wärmereflektierende Beschichtung ein isolierendes
durchlässiges Substrat eine erste durchlässige dielektrische
Schicht, mit der das Substrat beschichtet ist,
eine in eine Vielzahl von Abschnitten unterteilte leitende Schicht mit einem Streifenmuster oder einem Gittermuster, mit der die erste durchlässige dielektrische Schicht beschichtet ist, und
eine zweite durchlässige dielektrische Schicht, die zumindest auf der unterteilten leitenden Schicht aufgebracht ist, wobei die für elektrische Strahlung durchlässige wärmereflektierende Beschichtung die folgenden Bedingungen erfüllt:
0,04 D 20A
RDS 2×10⁵
200 RMS 3
3 B 0,05
und wobei A die Dicke der leitenden Schicht in Zentimetern darstellt; B die Breite des Streifen- oder Gitterabschnitts der leitenden Schicht in Zentimetern darstellt, die kleiner ist als ein Zehntel der Wellenlänge einer elektrischen Strahlung ist, die an der für elektrische Strahlung durchlässigen wärmereflektierenden Beschichtung auftrifft; D die Breite eines Bereichs mit hohem Widerstand in Zentimetern darstellt, wobei der Bereich von den Streifen- oder Gitterabschnitten der leitenden Schicht geteilt wird; (RMS) den Oberflächenwiderstand der leitenden Schicht in (Ω/Abschnitt (ohm per square) darstellt; und (RBS) den Oberflächenwiderstand der ersten und zweiten dielektrischen Schicht in (Ω/Abschnitt (ohm per square) darstellt.
eine in eine Vielzahl von Abschnitten unterteilte leitende Schicht mit einem Streifenmuster oder einem Gittermuster, mit der die erste durchlässige dielektrische Schicht beschichtet ist, und
eine zweite durchlässige dielektrische Schicht, die zumindest auf der unterteilten leitenden Schicht aufgebracht ist, wobei die für elektrische Strahlung durchlässige wärmereflektierende Beschichtung die folgenden Bedingungen erfüllt:
0,04 D 20A
RDS 2×10⁵
200 RMS 3
3 B 0,05
und wobei A die Dicke der leitenden Schicht in Zentimetern darstellt; B die Breite des Streifen- oder Gitterabschnitts der leitenden Schicht in Zentimetern darstellt, die kleiner ist als ein Zehntel der Wellenlänge einer elektrischen Strahlung ist, die an der für elektrische Strahlung durchlässigen wärmereflektierenden Beschichtung auftrifft; D die Breite eines Bereichs mit hohem Widerstand in Zentimetern darstellt, wobei der Bereich von den Streifen- oder Gitterabschnitten der leitenden Schicht geteilt wird; (RMS) den Oberflächenwiderstand der leitenden Schicht in (Ω/Abschnitt (ohm per square) darstellt; und (RBS) den Oberflächenwiderstand der ersten und zweiten dielektrischen Schicht in (Ω/Abschnitt (ohm per square) darstellt.
Die dielektrische Schicht kann nicht notwendigerweise und
vollständig entfernt werden. Insbesondere ist es schwierig, die
dielektrische Schicht zu entfernen, die unter der leitenden
Schicht gebildet ist (Seite des isolierenden Substrats). Um die
Übertragung der elektrischen Strahlung aufrechtzuerhalten,
wenn die Breite des Streifens des Teilungsabschnitts mit hohem
Widerstand 0,05 cm ist, wird also der Oberflächenwiderstand der
dielektrischen Schicht erhöht, so daß das Produkt des
Oberflächenwiderstands der dielektrischen Schicht und der
Teilungslinienbreite D so gewählt wird, daß sein Wert das
Dreifache oder Mehrfache, vorzugsweise das Zehnfache oder
Mehrfache, des Wertes von ((B + D)×377) Ωcm wird. Bei der
zweiten Ausführungsform der Erfindung wird vorzugsweise ZnO,
SnO₂, ITO, usw. in der durchlässigen dielektrischen Schicht
eingesetzt, um Wetterbeständigkeit zu gewährleisten.
Die vorliegende Erfindung bezieht sich auch auf einen
wärmereflektierenden und für elektrische Strahlung
durchlässigen Schichtüberzug, der die wärmereflektierende und
für elektrische Strahlung durchlässige Beschichtung
entsprechend der Erfindung enthält, sowie eine zweite
isolierende und durchlässige Schicht, die miteinander durch ein
organisches Harz als Bindemittel derart verbunden sind, daß die
durchlässige leitende Schicht innen angeordnet ist.
Die vorliegende Erfindung bezieht sich entsprechend einem
weiteren Aspekt auf einen Prozeß zum Herstellen einer für
elektrische Strahlung durchlässigen wärmereflektierenden
Beschichtung mit einem isolierenden durchlässigen Substrat, auf
dem eine durchlässige leitende Schicht aufgebracht ist, die in
Form von Streifen oder wie ein Gitter in eine Vielzahl von
Abschnitten durch Bereiche mit hohem Widerstand unterteilt ist,
gemäß dessen eine erste durchlässige dielektrische Schicht,
eine Metallschicht, die mindestens eines der Elemente Ag, Au,
Cu und Al enthält, und eine zweite durchlässige dielektrische
Schicht in dieser Reihenfolge auf dem isolierenden
durchlässigen Substrat gebildet werden, und anschließend
die Metallschicht mit einem Laserlicht bestrahlt wird, das in
vorbestimmter Weise fokussiert wird und durch die zweite
durchlässige dielektrische Schicht hindurchtritt, so daß sich
die Metallschicht erwärmt und ausflockt, wobei feine Partikel
zum Bilden eines Bereichs mit hohem Widerstand entstehen.
Entsprechend einem dritten Aspekt der Erfindung wird ein
Verfahren zum Herstellen einer wärmereflektierenden und für
elektrische Strahlung durchlässigen Beschichtung geschaffen,
wobei der Überzug mit einer durchlässigen leitenden Schicht
beschichtet ist und die Schicht aus Abschnitten auf einem
isolierenden transparenten Substrat besteht, die durch Bereiche
mit hohem Widerstand getrennt sind, und das Verfahren folgende
Schritte enthält: Bilden einer ersten durchlässigen
dielektrischen Schicht, einer Metallschicht, die im
wesentlichen aus einem Element besteht, das aus der von Ag, Au,
Cu und Al gebildeten Metallgruppe ausgewählt ist; und
nachfolgend Bilden einer zweiten durchlässigen dielektrischen
Schicht auf dem isolierenden durchlässigen Substrat; Bestrahlen
mit einem Laserstrahl, der entsprechend einer in Abhängigkeit
von der zweiten durchlässigen dielektrischen Schicht
vorgegebenen Form fokussiert ist, damit die Metallschicht
erhitzt wird und in Form von kleinen Partikeln ausflockt, so
daß die Bereiche mit hohem Widerstand gebildet werden.
Entsprechend dem dritten Aspekt der Erfindung wird die Tatsache
berücksichtigt, daß das bevorzugte Material der leitenden
Schicht eine aus einem der Elemente Ag, Au, Cu und Al gebildete
Metallschicht ist, oder eine Legierungsschicht, die im
wesentlichen aus Ag, Au, Cu und Al besteht; die Tatsache, daß
bei einem Erwärmen des Materials leicht ein Wandern und eine
Anordnung kleiner Partikel auftritt, wird im Rahmen des
Verfahrens zum Bilden der Teilungsfläche mit hohem Widerstand
benutzt. Ein Laserstrahl wird als enger Strahl fokussiert und
auf die leitende Schicht gerichtet, und der Strahl wird auf der
normalerweise auf der Oberschicht gebildeten Schutzschicht
absorbiert und der umliegende Bereich desjenigen Punktes, an
dem der Strahl anliegt, wird erwärmt, wodurch ein Anhäufen in
der leitenden Schicht entlang der durch den Laserstrahl
vorgegebenen Strecke auftritt. Ein derartiger
Anhäufungsabschnitt kleiner Partikel weist einen extrem hohen
Widerstandswert auf, so daß er für die im Rahmen der Erfindung
erforderlichen Unterteilung benutzt werden kann. Entsprechend
dem Verfahren wird die Schicht nur in geringem Maße zerstört,
so daß sich das Verfahren insbesondere zum Gewährleisten der
Durchsicht und des Erscheinungsbildes eignet.
Vorzugsweise eignet sich das Verfahren zum Bilden des
Teilungsabschnitts mit hohem Widerstand exzellent für die
Massenherstellung bei niedrigen Kosten. Im Namen der Erfindung
wird der Tatsache Rechnung getragen, daß die leitende Schicht
im allgemeinen eine viel geringere Härte als Glas aufweist, und
das Verfahren gemäß dem eine Last auf harte Nadeln wirkt und
gemäß dem die leitende Schicht zum Entfernen der Schicht
abgerieben wird, wird vorzugsweise als Verfahren eingesetzt,
mit dem sich eine geringe Teilungsbreite und ein
Teilungswiderstand bei dem Teilungsabschnitt entsprechend der
Größe erzielen läßt, wie sie für die oben beschriebene
Erfindung erforderlich ist.
Entsprechend der Erfindung wird die leitende Schicht mit einer
Wärme reflektierenden Eigenschaften in ein Gitter oder in
Streifenabschnitte unterteilt, die jeweils eine Größe
aufweisen, die im ausreichenden Maße kleiner als die
Wellenlänge der eintretenden elektrischen Strahlung ist, wobei
die Unterteilung durch lineare Abschnitte mit hohem Widerstand
erfolgt. Beträgt die Linienbreite jedes Teilungsabschnitts mit
hohem Widerstand D Zentimeter, so ist der elektrische
Widerstand RD in Richtung der Linienbreite pro Einheitslänge
das Dreifache oder mehr des gemäß ((B + D)×377 Ωcm)
berechneten Wertes, und die Linienbreite D des
Teilungsabschnitts beträgt das Zwanzigfache oder mehr der Dicke
der leitenden Schicht. Demnach wird der durch die eintretende
elektrische Strahlung induzierte Strom durch die
Teilungsabschnitte blockiert, und das durch in dem
Trennungsabschnitt angehäufte Ladungen erzeugte
entgegengerichtete elektrische Feld begrenzt die Größe des
fließenden Stroms. Der große elektrische Widerstandswert des
Trennungsabschnitts bewirkt eine Begrenzung des Leckstroms.
Demnach geht die Größe des durch die eintretende elektrische
Strahlung induzierten Stroms im Vergleich zu dem bei nicht
unterteilter leitender Schicht fließenden Strom herabgesetzt,
und im Ergebnis wird die Reflexion elektrischer Strahlung
unterdrückt, was eine hohe elektrische Strahlungsübertragung
ermöglicht.
Entsprechend der Erfindung wird die Linienbreite des
Teilungsabschnitts mit hohem Widerstand zu 0,04 cm oder weniger
gewählt, während der Widerstandswert in Richtung der
Linienbreite die oben angegebenen Bedingungen erfüllt. Demnach
wird bei einem Anwenden der Beschichtung bei der
Windschutzscheibe eines Fahrzeugs die Sichtmöglichkeit des
Fahrers nicht beeinträchtigt, und Auswirkungen auf das
Erscheinungsbild treten nicht auf.
Die vorliegende Erfindung wird nun unter Bezug auf die
Beispiele und Vergleichsbeispiele detaillierter beschrieben,
wobei die vorliegende Erfindung nicht auf diese Beispiele
beschränkt ist.
Eine Bedampfungsmaske wird dadurch erzeugt, daß in einer dünnen
rostfreien Stahlplatte mit einer Dicke von 0,2 mm quadratische
Öffnungen mit jeweils einer Seitenlänge von 1 cm eingearbeitet
werden, wobei die benachbarten Öffnungen 0,5 mm voneinander
beabstandet sind. Natron-Kalk-Silikat-Glas mit einer Dicke von
1 mm und einer Seitenlänge von 10 cm wurde auf der Maske
angeordnet und einem Vakuum in einer Bedampfungsanlage
ausgesetzt. Die Evakuierung erfolgte auf einen Druck von
5×10-4 Pa oder weniger und anschließend wurden ITO-
(isolierendes Zinnoxid), Ag- und ITO-Schichten in dieser
Reihenfolge, ausgehend von der Seite des Glassubstrats, durch
ein Elektronenstrahl-Bedampfungsverfahren gebildet. Das Vakuum-
Bedampfungs-System wurde so kontrolliert, daß die Dicken der
Schichten aus ITO, Ag und ITO jeweils auf einen Wert von 40 nm
(4×10-6 cm), 15 nm und 40 nm eingestellt wurden.
Auf dem so hergestellten Glassubstrat wurden dünne transparente
rechteckige bzw. quadratische Abschnitte mit einer Seitenlänge
von 1 cm und einem Abstand von 0,5 mm angeordnet. Bei einem
Messen des elektrischen Widerstands zwischen benachbarten
Abschnitten zeigte sich, daß dieser die Meßgrenze überstieg
(RD < 2 MΩ). Der Oberflächenwiderstand RMS der Schicht betrug
ungefähr 5 Ω/Abschnitt (5 Ω/square).
Die Fig. 4 zeigt ein Meßbeispiel des spektralen
Übertragungsfaktors der Schicht. Wie in Fig. 4 gezeigt ist,
weist die Schicht einen hohen Übertragungsfaktor von ungefähr
80% im Bereich sichtbarer Strahlung auf, sowie einen niedrigen
Übertragungsfaktor von 20 oder 30% oder weniger für infrarote
Strahlung einer Wellenlänge von 1 µm oder mehr; die Schicht
gewährleistet eine exzellente Wärmereflexionseigenschaft sowie
einen hohen Übertragungsfaktor für sichtbare Strahlung.
Anschließend wurde die Übertragungseigenschaft der Probe für
elektrische Strahlung gemessen. Zum Vergleich wurde dieselbe
Messung für Glas derselben Größe ohne Schichten durchgeführt,
sowie für Glas derselben Größe, bei dem die ITO-, Ag- und
ITO-Schichten ohne Unterteilung gebildet wurden. Die Fig. 5 zeigt
die Meßergebnisse. Es wurde festgestellt, daß das Glas mit
einer leitenden unterteilten Schicht eine elektrische
Strahlungsübertragung zeigt, die im wesentlichen mit derjenigen
des nicht beschichteten Glases übereinstimmt.
Die Vorgehensweise bei der Auswertung und die hierbei erzielten
Ergebnisse sind in Tabelle 1 gezeigt.
Mit derselben Bedampfungsmaske wie im Beispiel 1 wurden ITO-,
Ag- und ITO-Schichten auf einem Natron-Kalk-Silikat-Glas 1 mit
einer Dicke von 1 mm und einer quadratischen Form mit 10 cm
Kantenlänge unter Gebrauch eines Inline-Sputter-Systems
gebildet. Das Inline-Sputter-System wurde so gesteuert, daß die
ITO-, die Ag- und die ITO-Schicht jeweils mit einer Dicke von
40 nm, 15 nm und 40 nm entsprechend dem Beispiel 1 gebildet
wurden.
Auf dem derart gebildeten Glassubstrat wurden dünne und
durchlässige quadratische Schichten mit einer Seitenlänge von 1
cm unter einem Abstand von 0,5 mm gebildet, jedoch blieben die
Teilungsabschnitte im Vergleich zu denjenigen aus Beispiel 1
unbestimmt. Der elektrische Widerstand zwischen benachbarten
Schichten wurde mit ungefähr 0,5 kΩ gemessen. Der
Oberflächenwiderstand der Schicht war ungefähr 5Ω/Abschnitt
(5Ω/square). Der spektrale Übertragungsfaktor der Probe ist in
Fig. 4 gezeigt. Die Schicht zeigt ein hervorragendes
Wärmereflexionsverhalten während gleichzeitig ein hoher
Übertragungsfaktor für sichtbare Strahlung erhalten wird.
Anschließend wurde die elektrische
Strahlungsübertragungseigenschaft der Probe gemessen. Das
Ergebnis ist in Fig. 5 gezeigt. Es sei angenommen, daß der
Oberflächenwiderstand des Teilungsabschnitts höchstens ungefähr
10 k5Ω/Abschnitt (10 kΩ/square) beträgt; es zeigt sich, daß
sich die Übertragungseigenschaft für elektrische Strahlung
aufgrund der niedrigen Abschnittsbreite verringert.
In einem Inline-Sputter-System wurden ZnO-, Ag- und ZnO-Schichten
in dieser Reihenfolge, ausgehend von der Glasseite
eines quadratischen Glassubstrats mit einer Seitenlänge von 30 cm,
gebildet. Das Inline-Sputter-System wurde so gesteuert, daß
die Dicken der ZnO-, der Ag- und der ZnO-Schicht jeweils 40 nm,
15 nm und 40 nm betrug. Eine Stahlnadel wurde zum Einritzen
eines Gitters auf der Schichtfläche der Probe zum Erzielen
einer Unterteilung in Quadrate mit einer Seitenlänge von
ungefähr 1 cm eingesetzt. Bei der Untersuchung der getrennten
Abschnitte unter einem optischen Mikroskop zeigte sich, daß die
Schichten durch eine Linie einer Breite von etwas unter 200 µm
Breite abgetrennt wurden. Der elektrische Widerstand zwischen
den benachbarten Abschnitten der unterteilten leitenden Schicht
betrug mehr als 2 MΩ, war also größer als der Grenzwert des
Meßinstruments. Die unterteilte Probe zeigte einen hohen
Übertragungsfaktor für sichtbare Strahlung und eine gute
Wärmereflexionseigenschaft. Bei dem Messen der elektrischen
Strahlungsübertragung der Probe zeigte sich, daß die Probe eine
elektrische Strahlungsübertragung aufweist, die derjenigen von
Glas mit fast keiner Beschichtung entspricht.
Wie im Beispiel 2 wurden in einem Inline-Sputter-System SnO₂-,
Ag- und SnO₂-Schichten auf einem Glassubstrat gebildet. Das
Inline-Sputter-System wurde so gesteuert, daß die Dicken der
SnO₂-, der Ag- und der SnO₂-Schicht jeweils 40 nm, 15 nm und
40 nm betrug. Eine Mehrfachnadel-Ritzvorrichtung mit einer
Anordnung von 20 Karbid-Stahlnadeln wurde vorbereitet (mit
einem spitzen Krümmungsradius von ungefähr 50 µm und einer
flachen Spitzenbreite von 15 µm). Die Nadeln wirkten
gleichzeitig auf das Substrat ein, auf dem die SnO₂-, Ag- und
SnO₂-Schicht gebildet wurde, und eine Nadel wurde mit einer Last
von ungefähr 50 g zum Ritzen der Fläche unter Bildung einer Nut
beaufschlagt, wodurch sich eine Unterteilung der leitenden
Schicht in ein Gitter aus Quadraten mit einer Seitenlänge von
beispielsweise 1 cm ergab. Die Beobachtung unter einem
optischen Mikroskop zeigte, daß eine Nut von ungefähr 20 µm
gebildet wurde. Auch in diesem Fall überstieg der elektrische
Widerstand zwischen benachbarten Abschnitten der unterteilten
leitenden Schicht 2 MΩ, also den Grenzwert des Meßinstruments.
Die Probe wies eine mit Glas vergleichbare elektrische
Strahlungsübertragung auf und zeigte einen hohen
Strahlungsfaktor für sichtbare Strahlung und eine gute
Wärmereflexionseigenschaft.
Demnach ist das Verfahren, gemäß dessen Karbidnadeln unter Druck
gesetzt werden, diese auf die leitende Schicht gedrückt und
dabei bewegt werden, um einen Teil der leitenden Schicht zu
entfernen, ein Verfahren, mit dem sich eine feine Unterteilung
erzielen läßt und das im Hinblick auf die Produktivität
exzellente Eigenschaften zeigt.
Glas-, ITO-, Ag- und ITO-Schichten wurden durch ein
Inline-Sputter-System gebildet. Das Inline-Sputter-System wurde so
gesteuert, daß die Filmdicken jeweils 40 nm, 15 nm und 40 nm
betrugen. Wie in Beispiel 2 wurde eine Stahlnadel zum Einritzen
eines Gitters auf der Filmfläche der Probe benutzt, so daß eine
Unterteilung in Quadrate einer Seitenlänge von ungefähr 1 cm
entstand. Der elektrische Widerstand zwischen benachbarten
Abschnitten der unterteilten leitenden Schicht betrug ungefähr
100 Ω oder weniger. Beim Messen der elektrischen
Strahlungsübertragung der Schicht zeigte sich, daß die Schicht
lediglich ein Übertragungsvermögen von 1/100 (-20 dB) oder
weniger, bezogen auf Glas ohne Beschichtung, aufweist. Da sich
ITO als dielektrische Schicht unmittelbar auf der Glasfläche
nicht durch das Ritzen entfernen läßt und sein
Oberflächenwiderstand niedrig ist, kann der elektrische
Widerstand des Teilungsabschnitts nicht ausreichend groß
bemessen werden und elektrische Strahlung wird reflektiert. Auf
der anderen Seite weisen die dielektrische ZnO-Schicht aus
Beispiel 2 und die dielektrische SnO₂-Schicht aus Beispiel 3
Oberflächenwiderstände auf, die erheblich größer als derjenige
von ITO ist, so daß selbst dann, wenn nach dem Ritzen ein
unterer dielektrischer Stoff zurückbleibt, der elektrische
Widerstand des Teilungsabschnitts ausreichend groß wird und
elektrische Strahlung hindurchtreten kann.
Zum Legieren auf ein Sputtertarget aus Ag wurden dünne Linien
aus Zinn (Sn) angeordnet und ZnO, Ag -(Sn) und ZnO-Schichten
wurden in dieser Reihenfolge mit einem Inline-Sputter-System
gebildet, und zwar auf der Glasseite eines quadratischen
Glassubstrats mit einer Seitenlänge von 30 cm. Das
Inline-Sputter-System wurde so gesteuert, daß die Dicke der ZnO-, der
Ag- und der ZnO-Schicht jeweils 40 nm, 15 nm und 40 nm betrug.
Eine Stahlnadel wurde benutzt, um ein Gitter auf der Filmfläche
der Probe zum Unterteilen in Quadrate mit einer Seitenlänge von
1 cm zu erzielen. Bei einer Betrachtung der Teilungsabschnitte
unter einem optischen Mikroskop zeigte sich, daß die Schicht
linienartig mit einer Breite von etwas unter 200 µm aufgetragen
wurde. Der elektrische Widerstand zwischen den benachbarten
Abschnitten der unterteilten leitenden Schicht war größer als
2 MΩ, also größer als der Grenzwert des Meßinstruments. Beim
Messen der Übertragung der elektrischen Strahlung der Probe
zeigte die Probe eine elektrische Strahlungsübertragung, die
derjenigen von Glas mit nahezu keiner Schicht entspricht. Der
Oberflächenwiderstand der Legierungsschicht Ag (Sn) betrug
ungefähr 100 Ω/Abschnitt (100 Ω/Square), was ungefähr dem
20fachen Oberflächenwiderstand einer einzigen Ag-Schicht
entspricht. Die unterteilte Probe wies im Vergleich zu einer
einzigen Ag-Schicht einen herabgesetzten Übertragungsfaktor für
sichtbare Strahlung und einen um 20% erhöhten
Wärmeübertragungsfaktor auf. Jedoch verbessert sich die
Stabilität der Schicht selbst und für die Praxis ist die
Wärmereflexionseigenschaft ausreichend.
Eine wie im Beispiel 2 aus einer ZnO-, einer Ag- und einer
ZnO-Schicht gebildete Schicht einer Probe wurde mit Hilfe eines
lithographischen Verfahrens unterteilt (Anheben). Jeder
Abschnitt der unterteilten leitenden Schicht war ein Quadrat
mit einer Seitenlänge von 100 m (100 cm) und die Breite der
Trennungslinie betrug ungefähr 10 µm. Beim Messen des
spektralen Übertragungsfaktors der Probe zeigte sich, daß im
Vergleich zu einer nicht unterteilten Schicht, der
Übertragungsfaktor in der Nähe des infraroten Bereichs um
ungefähr 10% zunimmt, aber die Probe im Vergleich zu der nicht
unterteilten Schicht ähnliche Eigenschaften aufweist. Die
Übertragung der elektrischen Strahlung der Probe war zu
derjenigen von Glas mit nahezu keiner Schicht äquivalent.
Eine Ag-Schicht mit einer Dicke von 15 nm wurde durch ein
Inline-Sputtersystem direkt auf einem Glassubstrat gebildet.
Die Spektralübertragungseigenschaften der Schicht wurden
gemessen, nachdem sie an die frische Luft gebracht wurde und
dieser über eine bestimmte Zeit ausgesetzt war. Die Probe wies
einen hohen Übertragungsfaktor von 80% oder mehr nicht nur im
sichtbaren Bereich auf, sondern auch in der Nähe des infraroten
Bereichs mit einer Wellenlänge von 1 µm oder mehr. Bei
Untersuchung der Probe unter einem Elektronenmikroskop zeigte
sich eine Trennung der Ag-Schicht in feine Partikel mit einem
Durchmesser von mehreren 10 nm. Ist die leitende Schicht derart
in feine Partikel aufgelöst, so geht die
Wärmereflexionseigenschaft der Schicht verloren.
Durch ein Inline-Sputtersystem wurde eine ZnO-, eine Ag- und
eine ZnO-Schicht in dieser Reihenfolge, ausgehend von der
Glasseite, auf einem quadratischen Glassubstrat mit einer
Seitenlänge von 30 cm gebildet. Das Inline-Sputtersystem wurde
so gesteuert, daß die Dicke der ZnO-, der Ag- und der ZnO-Schicht
jeweils 40 nm, 15 nm und 40 nm betrug. Eine
Mehrfachnadel-Ritzvorrichtung mit einer Anordnung von 20
Karbidstahlnadeln wurde vorbereitet (mit einem spitzen
Krümmungsradius von ungefähr 50 µm und einer flachen
Spitzenbreite von 15 µm). Die Nadeln wirken gleichzeitig auf
das Substrat, auf dem die ZnO-, die Ag- und die ZnO-Schicht
gebildet wurde, und eine Last von ungefähr 50 g wurde auf eine
Nadel aufgebracht, um die Fläche unter Bildung einer Nut zum
gitterförmigen Unterteilen der leitenden Schicht mit einer
Seitenlänge von 1 cm zu ritzen (so wie in Beispiel 3). Das Glas
wurde an einem anderen Glas mit Harz auf der Filmfläche
angebracht, wobei normale Vorrichtungen zum Herstellen von
Schichtglas bei Fahrzeugwindschutzscheiben benutzt wurden. Im
Ergebnis zeigte sich, daß die geritzten Linien der unterteilten
Schicht im Vergleich zu der Situation vor dem Aufbringen des
Glases nur mit erheblichem Aufwand zu erkennen waren. Die
Wärmereflexionseigenschaft und die Übertragung von elektrischer
Strahlung des Glases veränderten sich im Vergleich zu der
Situation vor dem Anbringen des Glases nur wenig.
Durch ein Inline-Sputtersystem wurde eine ZnO-, eine Ag- und
eine ZnO-Schicht in dieser Folge, ausgehend von der Glasseite
eines quadratischen Glassubstrats mit einer Seitenlänge von
10 cm gebildet. Das Inline-Sputtersystem wurde so gesteuert,
daß die Dicke der ZnO-, der Ag- und der ZnO-Schicht jeweils
40 nm, 15 nm und 40 nm betrug.
Ein He-Ne-Laserstrahl mit einer Leistung von 30 mW wurde so
eingesetzt, daß er auf die Schichtfläche des Glases fokussiert
war, und das Glas wurde so bewegt, daß die Fokusposition immer
die Glasfläche erreichte. Diese Vorgehensweise wurde so
wiederholt, daß die Strahleinwirkpositionen ein Gitter mit
einem Abstand von 1 cm bildeten. Bei einem Beobachten der
Strahleinwirkpositionen nach dem Abschluß der Arbeit zeigte
sich, daß diese im Vergleich zu Abschnitten, auf die kein
Strahl einwirkte, leicht gefärbt waren. Die Linienbreite der
gefärbten Bereiche betrug ungefähr 100 µm. Bei Beobachtung
einer anderen Probe in einem Elektronenmikroskop, auf der
Laserstrahl unter denselben Bedingungen angewandt wurde, zeigte
sich eine große Zahl feiner Partikel, die sich anscheinend aus
einer Kohäsion der Ag-Schicht ergab, in dem Abschnitt, in dem
der Laserstrahl angewandt wurde.
Die Wärmeübertragungseigenschaft und die Übertragung
elektrischer Strahlung der durch dieses Verfahren unterteilten
Probe entsprach der bei Beispiel 1 beschriebenen.
Wird die Erfindung für Fahrzeug-Windschutzscheiben eingesetzt,
so läßt sich eine hohe Wärmereflexionseigenschaft und
Übertragungsfähigkeit für elektrische Strahlung bei der Scheibe
erzielen, so daß ein tragbares Telefon usw. in den Fahrzeugen
benutzt werden kann, ohne daß sich eine Kältelast erhöht.
In den beiliegenden Zeichnungen zeigen:
Fig. 1(a) und 1(b) eine Draufsicht einer Ausführungsform
eines für elektrische Strahlung durchlässigen und
wärmereflektierenden Überzugs gemäß der vorliegenden
Erfindung;
Fig. 2(a) und 2(b) jeweils Kurvenverläufe zum Darstellen
der Beziehung zwischen dem elektrischen Widerstand RD
des Trennungsabschnitts und der Abschnittsbreite B,
sowie einen Übertragungsfaktor für elektrische
Strahlung und einen Reflexionsfaktor, wie man ihn aus
theoretischen Beziehungen erhält;
Fig. 3(a) und 3(b) jeweils Darstellungen zum Erklären
eines unterteilten Schichtmodells, wie es zum
Herleiten der bei der Erfindung benutzten
theoretischen Beziehungen eingesetzt wurde;
Fig. 4 einen Kurvenverlauf eines Spektralübertragungsfaktors
einer Probe, wie er bei der Ausführungsform 1 der
Erfindung erhalten wurde; und
Fig. 5 eine Darstellung zum Verdeutlichen des Verlaufs der
Übertragung der elektrischen Strahlung, wie er sich
bei der Probe aus dem Beispiel 1 und dem
Vergleichsbeispiel 1 ergibt.
In der Figur bezeichnet das Bezugszeichen 1 eine für
elektrische Strahlung durchlässige, wärmereflektierende
Beschichtung, 2 eine durchlässige leitende Schicht, 3 einen
Bereich mit hohem Widerstand und 4 ein transparentes Substrat.
Claims (7)
1. Für elektrische Strahlung durchlässige und
wärmereflektierende Beschichtung, enthaltend:
ein isolierendes durchlässiges Substrat (4), auf das eine leitende Schicht (2) aufgebracht ist, die in eine Vielzahl von Streifenabschnitten unterteilt ist, wobei jeder Streifenabschnitt die Form eines ähnlichen Streifens aufweist und wobei die für elektrische Strahlung durchlässige und wärmereflektierende Beschichtung die folgenden Bedingungen erfüllt:
0,04 D 20A
RD 1131 (B + D)
B 0,05
und wobei A die Dicke der leitenden Schicht in Zentimeter darstellt; B die Breite des Streifenabschnitts der leitenden Schicht in Zentimetern darstellt, die kleiner ist als ein Zehntel der Wellenlänge einer elektrischen Strahlung, die auf der für elektrische Strahlung durchlässigen wärmereflektierenden Beschichtung auftrifft; D die Breite eines Bereichs mit hohem Widerstand in Zentimeter darstellt, die durch die Streifenabschnitte der leitenden Schicht abgetrennt ist, und RD den elektrischen Widerstand darstellt, der zwischen zwei Streifenabschnitten der leitenden Schicht, die den Bereich mit hohem Widerstand umfassen, besteht und der dadurch gemessen wird, daß zwei Längsabschnitte der leitenden Schicht mit jeweils einer Länge von 1 cm als einander gegenüberliegende Elektroden benützt werden.
ein isolierendes durchlässiges Substrat (4), auf das eine leitende Schicht (2) aufgebracht ist, die in eine Vielzahl von Streifenabschnitten unterteilt ist, wobei jeder Streifenabschnitt die Form eines ähnlichen Streifens aufweist und wobei die für elektrische Strahlung durchlässige und wärmereflektierende Beschichtung die folgenden Bedingungen erfüllt:
0,04 D 20A
RD 1131 (B + D)
B 0,05
und wobei A die Dicke der leitenden Schicht in Zentimeter darstellt; B die Breite des Streifenabschnitts der leitenden Schicht in Zentimetern darstellt, die kleiner ist als ein Zehntel der Wellenlänge einer elektrischen Strahlung, die auf der für elektrische Strahlung durchlässigen wärmereflektierenden Beschichtung auftrifft; D die Breite eines Bereichs mit hohem Widerstand in Zentimeter darstellt, die durch die Streifenabschnitte der leitenden Schicht abgetrennt ist, und RD den elektrischen Widerstand darstellt, der zwischen zwei Streifenabschnitten der leitenden Schicht, die den Bereich mit hohem Widerstand umfassen, besteht und der dadurch gemessen wird, daß zwei Längsabschnitte der leitenden Schicht mit jeweils einer Länge von 1 cm als einander gegenüberliegende Elektroden benützt werden.
2. Für elektrische Strahlung durchlässige und
wärmereflektierende Beschichtung nach Anspruch 1, dadurch
gekennzeichnet, daß die Streifenabschnitte der leitenden
Schicht ferner in einer seitlichen Richtung in eine
Vielzahl von Gitterabschnitten unterteilt ist, die jeweils
die Form einer Insel aufweisen, wobei die für elektrische
Strahlung durchlässige und wärmereflektierende
Beschichtung die folgenden Bedingungen erfüllt:
0,04 D′ 20A
RD 1131 (B′ + D′)
B′ 0,05
und wobei A die Dicke der leitenden Schicht in Zentimetern darstellt; B′ die Länge des Gitterabschnitts der leitenden Schicht in Zentimetern darstellt, die kleiner ist als ein Zehntel der Wellenlänge der elektrischen Strahlung, die bei der für elektrische Strahlung durchlässigen und wärmereflektierenden Beschichtung auftrifft; D′ die Länge eines Bereichs mit hohem Widerstand in Zentimetern darstellt, wobei der Bereich durch die Gitterabschnitte der leitenden Schicht abgetrennt wird; und (RD′) den elektrischen Widerstand zwischen zwei Gitterabschnitten der leitenden Schicht darstellt, wobei die Gitterabschnitte den Bereich mit hohem Widerstand umfassen und der Widerstand dadurch gemessen wird, daß zwei benachbarte Abschnitte der leitenden Schicht jeweils über eine Länge von 1 cm als einander gegenüberliegende Elektroden benützt werden.
0,04 D′ 20A
RD 1131 (B′ + D′)
B′ 0,05
und wobei A die Dicke der leitenden Schicht in Zentimetern darstellt; B′ die Länge des Gitterabschnitts der leitenden Schicht in Zentimetern darstellt, die kleiner ist als ein Zehntel der Wellenlänge der elektrischen Strahlung, die bei der für elektrische Strahlung durchlässigen und wärmereflektierenden Beschichtung auftrifft; D′ die Länge eines Bereichs mit hohem Widerstand in Zentimetern darstellt, wobei der Bereich durch die Gitterabschnitte der leitenden Schicht abgetrennt wird; und (RD′) den elektrischen Widerstand zwischen zwei Gitterabschnitten der leitenden Schicht darstellt, wobei die Gitterabschnitte den Bereich mit hohem Widerstand umfassen und der Widerstand dadurch gemessen wird, daß zwei benachbarte Abschnitte der leitenden Schicht jeweils über eine Länge von 1 cm als einander gegenüberliegende Elektroden benützt werden.
3. Für elektrische Strahlung durchlässige wärmereflektierende
Beschichtung nach Anspruch 1 oder 2, dadurch
gekennzeichnet, daß
das isolierende durchlässige Substrat eine durchlässige
Glasschicht enthält;
die leitende Schicht eine Metallschicht enthält, die mindestens eines der Elemente Ag, Au, Cu und Al enthält und einen Oberflächenwiderstand in dem Bereich von 3 bis 200 Ω/Abschnitt (3 bis 200 Ω/square) aufweist; und
eine durchlässige dielektrische Schicht zwischen der leitenden Schicht und der durchlässigen Glasschicht vorgesehen ist sowie an einer Fläche der leitenden Schicht, die dem isolierenden Substrat gegenüberliegt.
die leitende Schicht eine Metallschicht enthält, die mindestens eines der Elemente Ag, Au, Cu und Al enthält und einen Oberflächenwiderstand in dem Bereich von 3 bis 200 Ω/Abschnitt (3 bis 200 Ω/square) aufweist; und
eine durchlässige dielektrische Schicht zwischen der leitenden Schicht und der durchlässigen Glasschicht vorgesehen ist sowie an einer Fläche der leitenden Schicht, die dem isolierenden Substrat gegenüberliegt.
4. Für elektrische Strahlung durchlässige wärmereflektierende
Beschichtung, enthaltend:
ein isolierendes durchlässiges Substrat,
eine erste durchlässige dielektrische Schicht, mit der das Substrat beschichtet ist,
eine in eine Vielzahl von Abschnitten unterteilte leitende Schicht mit einem Streifenmuster oder einem Gittermuster, mit der die erste durchlässige dielektrische Schicht beschichtet ist, und
eine zweite durchlässige dielektrische Schicht, die zumindest auf der unterteilten leitenden Schicht aufgebracht ist, wobei die für elektrische Strahlung durchlässige wärmereflektierende Beschichtung die folgenden Bedingungen erfüllt:
0,04 D 20A
RDS 2×10⁵
200 RMS 3
3 B 0,05
und wobei A die Dicke der leitenden Schicht in Zentimetern darstellt; B die Breite des Streifen- oder Gitterabschnitts der leitenden Schicht in Zentimeter darstellt, die kleiner ist als ein Zehntel der Wellenlänge einer elektrischen Strahlung ist, die an der für elektrische Strahlung durchlässigen wärmereflektierenden Beschichtung auftrifft; D die Breite eines Bereichs mit hohem Widerstand in Zentimetern darstellt, wobei der Bereich von den Streifen- oder Gitterabschnitten der leitenden Schicht geteilt wird; (RMS) den Oberflächenwiderstand der leitenden Schicht in (Ω/Abschnitt (ohm per square) darstellt; und (RBS) den Oberflächenwiderstand der ersten und zweiten dielektrischen Schicht in (Ω/Abschnitt (ohm per square) darstellt.
ein isolierendes durchlässiges Substrat,
eine erste durchlässige dielektrische Schicht, mit der das Substrat beschichtet ist,
eine in eine Vielzahl von Abschnitten unterteilte leitende Schicht mit einem Streifenmuster oder einem Gittermuster, mit der die erste durchlässige dielektrische Schicht beschichtet ist, und
eine zweite durchlässige dielektrische Schicht, die zumindest auf der unterteilten leitenden Schicht aufgebracht ist, wobei die für elektrische Strahlung durchlässige wärmereflektierende Beschichtung die folgenden Bedingungen erfüllt:
0,04 D 20A
RDS 2×10⁵
200 RMS 3
3 B 0,05
und wobei A die Dicke der leitenden Schicht in Zentimetern darstellt; B die Breite des Streifen- oder Gitterabschnitts der leitenden Schicht in Zentimeter darstellt, die kleiner ist als ein Zehntel der Wellenlänge einer elektrischen Strahlung ist, die an der für elektrische Strahlung durchlässigen wärmereflektierenden Beschichtung auftrifft; D die Breite eines Bereichs mit hohem Widerstand in Zentimetern darstellt, wobei der Bereich von den Streifen- oder Gitterabschnitten der leitenden Schicht geteilt wird; (RMS) den Oberflächenwiderstand der leitenden Schicht in (Ω/Abschnitt (ohm per square) darstellt; und (RBS) den Oberflächenwiderstand der ersten und zweiten dielektrischen Schicht in (Ω/Abschnitt (ohm per square) darstellt.
5. Für elektrische Strahlung durchlässige wärmereflektierende
Beschichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch
gekennzeichnet, daß die für elektrische Strahlung
durchlässige wärmereflektierende Beschichtung die
folgenden Bedingungen erfüllt:
D 0,03
B 1
wobei D und B dieselbe Bedeutung wie in den Ansprüchen 1 bis 4 zukommt.
D 0,03
B 1
wobei D und B dieselbe Bedeutung wie in den Ansprüchen 1 bis 4 zukommt.
6. Für elektrische Strahlung durchlässiger
wärmereflektierender Schichtüberzug, der die für
elektrische Strahlung durchlässige wärmereflektierende
Beschichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 5 enthält, und
eine zweite isolierende durchlässige Schicht, wobei die
Verbindung durch ein organisches Harz als
Verbindungsmittel so erfolgt, daß die durchlässige
leitende Schicht innen liegt.
7. Verfahren zum Herstellen einer für elektrische Strahlung
durchlässigen wärmereflektierenden Beschichtung mit einem
isolierenden durchlässigen Substrat, auf dem eine
durchlässige leitende Schicht aufgebracht ist, die in Form
von Streifen oder wie ein Gitter in eine Vielzahl von
Abschnitten durch Bereiche mit hohem Widerstand unterteilt
ist, gemäß dessen
eine erste durchlässige dielektrische Schicht, eine Metallschicht, die mindestens eines der Elemente Ag, Au, Cu und Al enthält, und eine zweite durchlässige dielektrische Schicht in dieser Reihenfolge auf dem isolierenden durchlässigen Substrat gebildet werden, und anschließend
die Metallschicht mit einem Laserlicht bestrahlt wird, das in vorbestimmter Weise fokussiert wird und durch die zweite durchlässige dielektrische Schicht hindurchtritt, so daß sich die Metallschicht erwärmt und ausflockt, wobei feine Partikel zum Bilden eines Bereichs mit hohem Widerstand entstehen.
eine erste durchlässige dielektrische Schicht, eine Metallschicht, die mindestens eines der Elemente Ag, Au, Cu und Al enthält, und eine zweite durchlässige dielektrische Schicht in dieser Reihenfolge auf dem isolierenden durchlässigen Substrat gebildet werden, und anschließend
die Metallschicht mit einem Laserlicht bestrahlt wird, das in vorbestimmter Weise fokussiert wird und durch die zweite durchlässige dielektrische Schicht hindurchtritt, so daß sich die Metallschicht erwärmt und ausflockt, wobei feine Partikel zum Bilden eines Bereichs mit hohem Widerstand entstehen.
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