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DE1847650U - METAL SEAL FOR HIGH VACUUM SYSTEMS. - Google Patents

METAL SEAL FOR HIGH VACUUM SYSTEMS.

Info

Publication number
DE1847650U
DE1847650U DET12350U DET0012350U DE1847650U DE 1847650 U DE1847650 U DE 1847650U DE T12350 U DET12350 U DE T12350U DE T0012350 U DET0012350 U DE T0012350U DE 1847650 U DE1847650 U DE 1847650U
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
high vacuum
metal seal
indium
vacuum systems
ring
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired
Application number
DET12350U
Other languages
German (de)
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Telefunken Patentverwertungs GmbH
Original Assignee
Telefunken Patentverwertungs GmbH
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Telefunken Patentverwertungs GmbH filed Critical Telefunken Patentverwertungs GmbH
Priority to DET12350U priority Critical patent/DE1847650U/en
Publication of DE1847650U publication Critical patent/DE1847650U/en
Expired legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16JPISTONS; CYLINDERS; SEALINGS
    • F16J15/00Sealings
    • F16J15/02Sealings between relatively-stationary surfaces
    • F16J15/06Sealings between relatively-stationary surfaces with solid packing compressed between sealing surfaces
    • F16J15/08Sealings between relatively-stationary surfaces with solid packing compressed between sealing surfaces with exclusively metal packing
    • F16J15/0887Sealings between relatively-stationary surfaces with solid packing compressed between sealing surfaces with exclusively metal packing the sealing effect being obtained by elastic deformation of the packing

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Gasket Seals (AREA)

Description

fir-'o (--hva- -, uulran. lag"n" "Mtalldichtung für-Kochvakuumanlagen" Neuerung Di Lrf&g-bcfasst ich it incr ctalldichtung für Hochva-- Di,'--L.-1-1-ilr'EJochvl-- kuumanlagen. Umbeispielsweise den Gasausfall iner Vakuumanlag 00 niedrig wie möglich zu halten, vrwndet man in der Regel in der Ultra- hochvakuumtechnik Metalldichtungen anstelle der sonst in der Va- kuumtechnik gebräuchlichen Gummidichtungen. Alle bekannten ketalldichtungen haben jedoch den Nachteil, daß siesehr hohe AnpreBdruck-erford rn. Ein weiterer Nachtcil be- steht darin, daß alle Flanschverbindungen stärker dimensioniert sein müssen als z. B. bei der V'. rwndung von Gummidichtungen, und daß dadurch vorhandene Anlagen mit Gummidichtungen nicht ohne weiteres auf'ctalldichtungen umgestellt werden können. Ein weiterer Nachteil besteht darin, daß diese Metalldichtun- gen nur einmal verwendet werden können. fir-'o (--hva- -, uulran. lay "n" "Metal seal for cooking vacuum systems" innovation Di Lrf & g-bcfasst I it incr ctalldichtung for Hochva-- Di, '- L.-1-1-ilr'EJochvl-- vacuum systems. For example, the gas failure in vacuum system 00 low as possible, is usually used in the ultra- high vacuum technology metal seals instead of the otherwise rubber seals commonly used in kuumtechnik. However, all known metal seals have the disadvantage that they require very high contact pressure. Another night says that all flange connections are dimensioned stronger must be as z. B. at the V '. application of rubber seals, and that as a result, existing systems with rubber seals are not can easily be converted to 'octal' seals. Another disadvantage is that these metal seals gen can only be used once.

Zur Erzielung einer einwandfreien Abdichtung wird gemäß der Ep- Neuerung 4'4. 4-a-g vorgeschlagen, einen Metallring als Dichtung zu vorweg- den, der zumindest an der Dichtungsstelle mit einer dünnen Schicht aus Indium @iberzogen ist. Indium ist ein hinreichend weiches Material, welches ohne große Anpreßdrucke eine gut Abdichtung gewährleistet und wegen seines geringen Dampfdruckes in der Ultra-Hochvakuumtechnik besonders geeignet erscheint. ID C) Der LIetallring wird zweckmäßig aus einem Metall hergestellt, das genügend widerstandsfähig für den gedachten Verwendungszweck ist. Hierfür eignet sich insbesondere Aluminium ; aber auch andere Metalle, beispielsweise Gold und Kupfer, können Verwendung finden, wobei Gold den Nachteil des hohen Preises, Kupfer den Nachteil der schnellen Oxydation besitzt.To achieve a perfect seal, according to the Ep- innovation 4'4. 4-ag suggested using a metal ring as a seal in advance. the one that is coated with a thin layer of indium at least at the sealing point. Indium is a sufficiently soft material, which ensures a good seal without great contact pressure and because of its low vapor pressure appears particularly suitable in ultra-high vacuum technology. ID C) The LIetallring is expediently made of a metal that is sufficiently resistant for the intended purpose. Aluminum is particularly suitable for this; however, other metals, for example gold and copper, can also be used, gold having the disadvantage of high price and copper the disadvantage of rapid oxidation.

Ein besonderer Vorteil der mit einem Indium-Überzug versehenen Aluminiumdichtungsringe besteht darin, daß man sie beim Entgasen von Vakuumanlage bis auf max. 15000 erhitzen kann. Dieser Vor- CD teil ist in gleicher leise gegeben gegenüber den bisher häufig vorwendeten Gummidichtungsringen. Es empfiehlt. sich, die Indiumschicht auf den Metallring auf gal- vanischem'. 7ege aufzubringen. Die Schichtstärke wird zweckmäßig zu etwa IC-50/u gewählt. Eine Indiumschicht kann in den mei- sten Fällen mindestens zweimal verwendet werden. Danach kann man das Indium leicht abbeizen und den Aluminiumring wieder neu galvanisieren. Der Aluminiumring kann also praktisch beliobig oft verwendet werden.A particular advantage of the aluminum sealing rings provided with an indium coating is that they can be removed when degassing by vacuum system can heat up to max. 15000. This pro CD part is given in the same quiet way compared to the previously frequent used rubber sealing rings. It recommends. the indium layer on the metal ring on gal- vanischem '. 7ege to apply. The layer thickness is appropriate chosen to be about IC-50 / u. An indium layer can be used in most In most cases it should be used at least twice. After that you can you can pickle the indium lightly and the aluminum ring again re-galvanize. The aluminum ring can therefore be used practically any number of times.

Neuerung Ein Ausführungsbeispiel der ######### ist in der Zeichnung dargestellt. Fig. 1 stellt eine Flanschverbindung einer Hochvakuumanlage dar. Es besteht die Aufgabe, die beiden Rohre 1 und 5 mit ihren Flanschen 2 und 4 hochvakuumdicht miteinander zu verbinden. Zu diesem Zweck wird zwischen die beiden Flansche 2 und 4 ein metallischer Dichtungsring 3 eingefügt, der zu beiden Seiten eine Auflage aus Indium besitzt. In Fig. 2 ist ein solcher Dichtungsring nochmals herausgezeichnet. Die Indiumschicht ist mit 6 und 7 bezeichnet. Der Ring 3 wird in üblicher Weise zwischen die Flansche 2 und 4 eingesetzt. Innovation An embodiment of ######### is in the drawing shown. Fig. 1 shows a flange connection of a high vacuum system. It The task is to seal the two tubes 1 and 5 with their flanges 2 and 4 in a high vacuum to connect with each other. For this purpose, between the two flanges 2 and 4, a metallic sealing ring 3 inserted, on both sides of a support made of indium. In Fig. 2, such a sealing ring is shown again. The indium layer is labeled 6 and 7. The ring 3 is in the usual way inserted between flanges 2 and 4.

Claims (1)

Schutz a n s p r ü c h o -----------------------------
1) Metalldichtung für Hochvakuumanlagen bestehend aus einem L ! e- 0 tallring, der zumindest in der Dichtungsstelle mit-einer dünnen Schicht aus Indium überzogen ist. ID ~", n ist.
protection claims -----------------------------
1) Metal seal for high vacuum systems consisting of an L! e- 0 tall ring, at least in the sealing point with a thin Layer of indium is coated. ID ~ ", n is.
2) Motalldichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Indiumschicht galvanisch aufgetragen ist. hietalldichtung nach Anspruch 1 und 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Indiumschicht in einer Stärke von 10 bis 50/u aufgetragen ist.2) Motalldichtung according to claim 1, characterized in that the Indium layer is applied galvanically. hietalldichtung according to claim 1 and 2, characterized in that the indium layer is applied in a thickness of 10 to 50 / u is. 4) Metalldichtung nach Anspruch 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß der Ring aus Aluminium hergestellt ist.4) metal seal according to claim 1 to 3, characterized in that the ring is made of aluminum.
DET12350U 1960-08-05 1960-08-05 METAL SEAL FOR HIGH VACUUM SYSTEMS. Expired DE1847650U (en)

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DET12350U DE1847650U (en) 1960-08-05 1960-08-05 METAL SEAL FOR HIGH VACUUM SYSTEMS.

Publications (1)

Publication Number Publication Date
DE1847650U true DE1847650U (en) 1962-03-01

Family

ID=33013527

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DET12350U Expired DE1847650U (en) 1960-08-05 1960-08-05 METAL SEAL FOR HIGH VACUUM SYSTEMS.

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DE (1) DE1847650U (en)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE1285810B (en) * 1966-07-05 1968-12-19 Leybold Heraeus Gmbh & Co Kg Sealing arrangement for bakeable high vacuum flange connections
DE19781887B4 (en) * 1996-08-01 2004-11-18 Trikon Technologies Limited, Newport High pressure seal

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE1285810B (en) * 1966-07-05 1968-12-19 Leybold Heraeus Gmbh & Co Kg Sealing arrangement for bakeable high vacuum flange connections
DE19781887B4 (en) * 1996-08-01 2004-11-18 Trikon Technologies Limited, Newport High pressure seal

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