DE1789019B1

DE1789019B1 - METHOD OF GENERATING A STEREO IMAGE BY USING ELECTRON BEAM MICROSCOPY

Info

Publication number: DE1789019B1
Application number: DE19681789019
Authority: DE
Inventors: Juergen Dipl-Phys Gullasch; Ulrich Dr Rer Nat Weber
Original assignee: Siemens AG
Current assignee: Siemens AG
Priority date: 1968-09-23
Filing date: 1968-09-23
Publication date: 1972-04-27
Also published as: NL6913045A; CH508213A; US3629577A; GB1274252A; FR2018682A1; CH514840A

Description

40 Die Erfindung betrifft ein Verfahren für die Erzeugung eines Stereobildes, dessen Einzelbilder von z. B. einem kristallinen Objekt mittels der Elektronenstrahlmikroskopie aufgenommen werden. 40 The invention relates to a method for generating a stereo image, the individual images of z. B. a crystalline object can be recorded by means of electron beam microscopy.

Es ist bekannt, daß Einrichtungen zur Erzeugung von Stereobildpaaren von Kristallproben mittels Elektronenrastermikroskopen neben Vorrichtungen zur Verschiebung jedes Objektpunktes der Probe bezüglich seiner Entfernung zum Elektronenstrahl noch zeichnet, daß der Schnittpunkt der Primärstrahlen- 45 Vorrichtungen besitzen müssen, die zur Schwenkung achse und der Achse in dem Objekt liegt. (Kippung) der Probenoberfläche um eine bezüglichIt is known that devices for generating of stereo image pairs of crystal samples by means of scanning electron microscopes next to devices for the displacement of each object point of the sample with respect to its distance to the electron beam draws that the point of intersection of the primary rays 45 must have devices that allow for pivoting axis and the axis lies in the object. (Tilting) the sample surface by one with respect to

6. Vorrichtung zur Durchführung des Verfah- der Elektronenstrahlrichtung nahezu oder exakt senkrens nach den Ansprüchen 1 oder 3 bis 5, dadurch rechte Achse dienen. Weiterhin ist bekannt, daß nur gekennzeichnet, daß die Probe (P) im Zentrum Aufnahmepaare von Stereobildern sich bei Betracheiner kardanischen Aufhängung, bestehend aus 50 tung mit bekannten optischen Hilfsmitteln zu einem U-förmig ausgebildeten Halterungen (Hl, Hl) Stereobild vereinigen lassen, wenn der Stereowinkel und einem Rahmen (R) angeordnet ist. durch spezielle Bedingungen der physiologischen6. Device for carrying out the method of the electron beam direction almost or exactly perpendicular according to claims 1 or 3 to 5, thereby serving the right axis. It is also known that the sample (P) in the center of recording pairs of stereo images can be combined when viewing a cardanic suspension consisting of 50 device with known optical aids to form a U-shaped holder (Hl, Hl) stereo image, if the stereo angle and a frame (R) is arranged. by special conditions of the physiological

7. Vorrichtung nach Anspruch 6, dadurch ge- Optik, wie z.B. der Lüscher-Parallaxen-Bedingung, kennzeichnet, daß der Rahmen (R) über Achs- eingeschränkt bleibt. Eine weitere Grundbedingung bolzen (Al, Al), die an zwei gegenüberhegenden 55 zur Herstellung von Stereobildern ist diejenige, daß Seiten (1, 3) gelagert sind, an der einen U-f örmigen die Bildhelligkeit der Objektflächen sich in beiden7. Apparatus according to claim 6, characterized in optics, such as the Lüscher parallax condition, indicates that the frame (R) remains restricted on the axis. Another basic condition bolts (Al, Al), which are attached to two opposing 55 for the production of stereo images, is that sides (1, 3) are stored on one U-shaped the image brightness of the object surfaces in both

Einzelbildern nicht oder nur wenig voneinander unterscheidet. Der Wechsel der Bildhelligkeit bei Schwenkung des Objektes beruht auf der physikalischen Tatsache, daß die Anzahl der vom Primärelektronenstrahl ausgelösten Sekundärelektronen aus einer Objektoberfläche und somit die Bildhelligkeit der Objektoberfläche in starkem Maße abhängig ist vom Neigungswinkel der Oberflächennormale des ObjektesIndividual images not or only slightly different from one another. The change in image brightness when panning of the object is based on the physical fact that the number of the primary electron beam secondary electrons released from an object surface and thus the image brightness of the object surface depends to a large extent on the angle of inclination of the surface normal of the object

9. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 6 bis 65 gegenüber der Richtung des Primärelektronenstrahls. 8, dadurch gekennzeichnet, daß der Schütten (Sl) Es ist also möglich, daß einerseits ein Stereobildauf zwei weiteren Schlitten (S2 und S3) befestigt eindruck von interessierenden Objektstrukturen der ist, die jeweils um 90° zueinander versetzt sind und Probenoberfläche nicht oder nur sehr schwach erreicht9. Device according to one of claims 6 to 65 opposite the direction of the primary electron beam. 8, characterized in that the chute (Sl) It is therefore possible that, on the one hand, a stereo image is attached to two further slides (S2 and S3) poorly achieved

Halterung (Hl) angebracht ist und daß an den beiden übrigen Seiten (2 und 4) über weitere Achsbolzen(A3, A4) die zweite U-förmige Halterung (H2) für die Probe (P) befestigt ist.Bracket (Hl) is attached and that the second U-shaped bracket (H2) for the sample (P) is attached to the other two sides (2 and 4) via further axle bolts (A 3, A4).

8. Vorrichtung nach Anspruch 6 oder 7, dadurch gekennzeichnet, daß die erste Halterung (Hl) an einer Achse (A) befestigt ist, die auf einem Schlitten (SX) drehbar angeordnet ist.8. Apparatus according to claim 6 or 7, characterized in that the first holder (Hl) is attached to an axis (A) which is rotatably arranged on a carriage (SX).

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werden kann, wenn auf den korrespondierenden das Objekt um den Stereowinkel um eine Achse ge-can be, if on the corresponding the object is moved by the stereo angle around an axis

Stellen der aufgenommenen Einzelbilder die Bild- dreht wird, deren Achsenrichtung mit der RichtungSet the recorded individual images the image rotates, whose axis direction with the direction

helligkeit so stark voneinander abweicht, daß kein der Primärstrahlenachse nicht übereinstimmt, ist da-brightness deviates so strongly that none of the primary ray axes do not coincide,

echtes Stereobild entsteht und daß andererseits eine durch gekennzeichnet, daß die Achse derart bewegt Vermessung der lokalen Objekthöhe erschwert wird. 5 wird, daß sie mit der Flächennormalen einer aus-real stereo image arises and that on the other hand one characterized by that the axis moves in such a way Measurement of the local object height is made more difficult. 5 is that it is identical to the surface normal

Es ist eine Vorrichtung bekannt, bei der ein Objekt, gewählten Objektfläche zusammenfällt oder zu ihrA device is known in which an object, the selected object surface, collapses or becomes it

das mit Elektronenstrahlen untersucht werden soll, parallel liegt und dann um diese um den Stereowinkethat is to be examined with electron beams, lies parallel and then around it around the stereo angle

kardanisch aufgehängt und mittels eines Kreuztisches gedreht wird, wobei der Stereowinkel von dem Winkelgimbaled and rotated by means of a cross table, the stereo angle from the angle

verschiebbar ist. abhängt, der von Achse und der Richtung der Primär-is movable. depends on the axis and the direction of the primary

Es ist außerdem bekannt, zur Erzeugung eines io Strahlenachse eingeschlossen wird.It is also known to include a beam axis in order to generate an io.

Stereobildes, dessen Einzelbilder mittels der Elek- Mit dem Verfahren wird ein Weg gezeigt, nach demStereo image, the individual images of which by means of the elec- With the method, a way is shown, according to which

tronenmikroskopie aufgenommen werden, die Ver- systematisch von einer beliebigen Ausgangslage auselectron microscopy can be recorded systematically from any starting position

Schwenkung um den Stereowinkel symmetrisch zum zwei zu einem Stereobild zu vereinigende EinzelbilderPivoting around the stereo angle symmetrically to the two individual images to be combined to form a stereo image

Primärelektronenstrahl durchzuführen. Dies hat zur aufgenommen werden können, ohne daß sich die Bild-Folge, daß die Oberflächennormale des Objekts 15 helligkeit der interessierenden Objekteinzelheiten än-Perform primary electron beam. This has to be able to be recorded without the image sequence, that the surface normal of the object 15 changes the brightness of the object details of interest.

gegenüber der Richtung des Primärelektronenstrahles dert.compared to the direction of the primary electron beam changes.

vor und nach der Schwenkung jeweils den gleichen Als unmittelbare Folge der mit dem vorgeschlagenenthe same before and after the pivoting. As a direct consequence of using the proposed

Neigungswinkel einschließt. Damit ist aber auch die Verfahren durchführbaren Probenbewegungen ist dieInclination angle includes. However, this also means that the sample movements can be carried out

Helligkeit der Einzelbilder gleich. Die bekannte Maß- Möglichkeit anzusehen, bestimmte m'cht interessierende nähme setzt jedoch voraus, daß die zu beobachtende 20 Objektflächen bezüglich ihrer Intensität auf denThe same brightness of the individual images. To look at the well-known measure possibility, certain might be interesting It would assume, however, that the 20 object surfaces to be observed are based on the intensity of the

Objektfläche sich an einem Ort befindet, der um den korrespondierenden Stellen des Stereobildpaares gleich-The object surface is at a location that is equal to the corresponding points of the stereo image pair.

Stereowinkel von einem zweiten Ort abweicht und mäßig zu unterdrücken und dadurch die übrigenStereo angle deviates from a second location and is moderately suppressed, and thereby the rest

beide Orte symmetrisch zur Primärstrahlenachse Objektstrukturen deutlicher hervortreten zu lassen,both places symmetrically to the primary ray axis to let object structures emerge more clearly,

liegen. Diese Bedingung ist nicht für jede beliebige Das bedeutet aber, daß es mit den vorgeschlagenenlie. This condition is not for any arbitrary but that means that it does with the proposed

Fläche des Objektes nach deren Einspannung in einen 25 Lösungen gelingt, den Bildkontrast zu verändern und/The surface of the object after it has been clamped in one of the solutions succeeds in changing the image contrast and /

Objekthalter gegeben. oder zu verbessern. Beispielsweise kann die gleich-Object holder given. or improve. For example, the same

Der Erfindung lag die Aufgabe zugrunde, ein Ver- mäßige Unterdrückung der Intensität einer ebenen fahren anzugeben, wie ein solcher Ort gefunden Kristalloberfläche, auf der sich vereinzelt kleine Ätzwerden kann, ohne daß sein Aufsuchen die Bildhellig- grübchen befinden, erreicht werden, so daß diese keit des ursprünglich beobachteten Objektes beein- 30 Grübchen stärker hervortreten, trächtigt. Die Erfindung wird an Hand einer PrinzipzeichnungThe invention was based on the object of a moderate suppression of the intensity of a plane drive to indicate how such a place found a crystal surface on which there are isolated small etchings can be reached without the need to seek out the picture dimples, so that these the originally observed object. pregnant. The invention is based on a principle drawing

Diese Aufgabe wird bei einem Verfahren zur Er- und Ausführungsbeispielen für das erstgenannte Verzeugung eines Stereobildes, dessen Einzelbilder von fahren mittels der F i g. 1 bis 3 näher erläutert, einem Objekt mittels der Elektronenstrahlmikroskopie F i g. 1 stellt die Prinzipzeichnung dar, an Hand aufgenommen werden und bei dem zur Erzielung 35 derer das erfindungsgemäße Verfahren im Vergleich gleicher Helligkeit der interessierenden Objektflächen zu den bisher üblichen genauer erklärt werden soll, auf den Einzelbildern das Objekt um den Stereowinkel Dabei sind aus einer perspektivischen Zeichnung um eine Achse zum Primärelektronenstrahl gedreht Achsen zu ersehen, darunter die z-Richtung (Mittelwird, deren Achsenrichtung mit der Richtung der achse), welche der Primärelektronenstrahlrichtung ent-Primärstrahlenachse nicht übereinstimmt, gemäß der 40 gegengesetzt ist, eine dazu senkrechte Achsenrich-Erfindung dadurch gelöst, daß der Ausgangsort für tung X, um welche in der bisher üblichen Weise die die Schwenkung um den Stereowinkel durch eine Probenoberfläche gegen die Strahlrichtung ζ um die Drehung des Objektes um die Primärstrahlenachse auf- Winkel Cp₁, um eine bestimmte Bildhelligkeit der Obergesucht wird. fläche erst zu erhalten, und danach um den Stereo- This object is achieved in a method for the exemplary embodiments and for the first-mentioned generation of a stereo image, the individual images of which are shown by means of FIGS. 1 to 3 explained in more detail, an object by means of electron beam microscopy F i g. 1 shows the principle drawing, to be recorded by hand and in which, in order to achieve this, the method according to the invention is to be explained in more detail by comparing the same brightness of the object surfaces of interest to the previously usual ones, on the individual images the object around the stereo angle are from a perspective drawing To see axes rotated around an axis to the primary electron beam, including the z-direction (center, whose axis direction is opposite to the direction of the axis), which does not coincide with the primary electron beam direction ent-primary beam axis, according to FIG. 40, a perpendicular axis direction invention is thereby achieved that the starting point for device X, around which the pivoting around the stereo angle through a sample surface against the beam direction ζ around the rotation of the object around the primary beam axis up to angle Cp ₁ , around a certain image brightness is sought in the usual manner. surface first, and then to the stereo

Zunächst wird also die interessierende Objektfläche 45 winkel Δφ in die Winkellage φ₂ geschwenkt wurde, so eingestellt, daß sie unter guter Objekthelligkeit zu und weiterhin eine Achse y, die auf der x- bzw. z-Achse beobachten ist. Dann wird eine Drehung des Objektes senkrecht oder unter einem anderen Winkel steht, um die Primärstrahlenachse durchgeführt. Mit Hilfe Ohne sich darauf festlegen zu wollen, können die z-, dieser Drehung, bei der keine Einbuße an Bildhellig- y- und x-Richtung einander in einem Punkt P schneikeit erfolgen kann, wird ein Ort aufgesucht, der, nach 50 dend angenommen werden. Außerdem ist eine Kugeleiner zweiten Drehung um die y-Achse, die den oberfläche O um den gemeinsamen Achsenschnitt-Stereowinkel einschließt, mit dem nach der Drehung punkt P mit Breitenkreisen A bzw. B um die x- bzw. um den Stereowinkel erreichten Ort symmetrisch zur j-Achsenrichtung dargestellt. Primärstrahlenachse liegt. Vereinfachend sei eine ObjektoberflächenstrukturFirst, the object surface of interest 45 angle Δφ was pivoted into the angular position φ ₂ , adjusted so that it is under good object brightness and continues to an axis y, which can be observed on the x or z axis. Then the object is rotated perpendicularly or at a different angle around the primary beam axis. Without wanting to commit to it, the z-, this rotation, in which no loss of image brightness- y- and x-direction can take place at a point P , can be used to find a location which, after 50 dend, is assumed will. In addition, a sphere of a second rotation around the y-axis, which encloses the surface O around the common axis-intersection stereo angle, is symmetrical to the location reached after the rotation point P with circles of latitude A and B around the x and the stereo angle, respectively j-axis direction shown. Primary beam axis lies. To simplify matters, consider an object surface structure

Die Primärstrahlenachse und die Achse können auf- 55 für die Probe angenommen, die aus drei sich zu einer einander senkrecht stehen, wobei der Schnittpunkt in in Zentralprojektion dargestellten dreikantigen Pyrader Probe liegen soll. Weiterhin ist es möglich, eine mide zusammensetzenden Flächenstücken besteht, durch den Schnittpunkt der beiden Achsen hindurch- deren Flächennormalen (nicht eingezeichnet) durch gehende dritte Achse vorzusehen, die auf den beiden den Achsenschnittpunkt P gehen und die Kugelober-Achsen senkrecht oder unter einem anderen Winkel 60 fläche O an den mit C, D und E bezeichneten Polen steht und um die die Probe zur Erhaltung einer be- schneiden.The primary beam axis and the axis can be assumed for the sample that are made up of three mutually perpendicular to one, the point of intersection should lie in the triangular Pyrader sample shown in a central projection. Furthermore, it is possible to have a mide composite surface piece through the intersection of the two axes - to provide their surface normals (not shown) through the third axis, which go to the two axes intersection P and the upper spherical axes perpendicular or at a different angle 60 area O is at the poles marked C, D and E and around which the sample is cut in order to obtain a.

stimmten Oberflächenintensität des Objektes drehbar Bei der üblichen Methode zur Erzeugung einescorrect surface intensity of the object rotatable With the usual method of generating a

ist. Stereobildes unterscheiden sich die beiden Einzelbilderis. The two individual images differ in the stereo image

Ein weiteres Verfahren zur Erzeugung eines Stereo- des Stereobildes dadurch, daß der Schwenkwinkel φ Another method for generating a stereo image of the stereo image in that the pivot angle φ

bildes, dessen Einzelbilder von einem Objekt mittels 65 (Winkeldrehung um die x-Achse) nach einer erstenimage, whose individual images of an object by means of 65 (angular rotation around the x-axis) after a first

der Elektronenstrahlmikroskopie aufgenommen wer- Aufnahme 'unter einem Winkel φ₁ um den Stereo-electron beam microscopy can be recorded at an angle φ ₁ around the stereo

den und bei dem zur Erzielung gleicher Helligkeit der winkel Δ ψ zum Winkel φ₂ verändert wird (dargestelltwhere and in which the angle Δ ψ is changed to the angle φ ₂ to achieve the same brightness (shown

interessierenden Objektflächen auf den Einzelbildern bei der Fläche C). Dabei ist die zur Mittelachse ζobject areas of interest on the individual images at area C). The one to the central axis is ζ

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senkrechte ^-Schwenkachse als x-Achse bezeichnet. sich in bezug auf die Schwenkung um die j-Achse um Durch diese Schwenkung gehen die Flächennormalen- den Stereowinkel Δ& und führen zu einem Stereorichtungen C, D, E in die Richtungen C, D' und E' aufnahmepaar, auf dem die Fläche C jeweils gleiche sowie die mit der Probe fest verbundenen gedachte Intensität hat.vertical ^ pivot axis referred to as the x-axis. with respect to the pivoting about the j-axis. Through this pivoting, the surface normals go to the stereo angle Δ & and lead to a stereo direction C, D, E in the directions C, D ' and E' recording pair, on which the surface C respectively has the same and the imaginary intensity firmly associated with the sample.

F-Richtung in die F'-Richtung entlang der Breiten- 5 Das zweite erfindungsgemäße Verfahren sieht zukreise A über. Im folgenden bezeichnen die Durch- erst vor, daß eine Achse derart bewegt wird, daß sie stoßpunkte C, C, C", C₁, C₂, D, D', E, E' der durch mit der Flächennormalenrichtung der einmal ausden Kugelmittelpunkt verlaufenden Flächennormalen- gesuchten Fläche identisch oder zu ihr parallel hegt, richtungen durch die Kugeloberflächen nicht nur die Danach wird die Fläche um diese Achse gedreht und Flächennormalenrichtungen, sondern auch die Flä- io in zwei Stellungen gebracht, die sich um einen Stereochen C₅ D und E selbst. Als unmittelbare Folge davon winkel unterscheiden, der nunmehr vom Winkel, den werden die korrespondierenden Flächen C und C, die vom Elektronenstrahl gebildete Mittelachse und D und D', E und E' in den beiden Einzelbildern zwar die einstellbare Achse miteinander einschließen, abmit verschiedener Größe abgebildet, aber auch mit hängig ist. Er kann berechnet werden, oder die verschiedener Bildhelligkeit. So kann es z. B. ge- 15 Stellungen können experimentell aufgefunden werden, schehen, daß die vergrößerte Neigung der Flächen C Für das zuerst geschilderte erfindungsgemäße Ver-F-F 'direction in the direction along the width 5 The second method of the invention provides zukreise via A. In the following, the through-first denotes that an axis is moved in such a way that it has abutment points C, C, C ", C ₁ , C ₂ , D, D ', E, E' through with the surface normal direction once from the center of the sphere The surface normal to the searched surface is identical or parallel to it, the directions through the spherical surfaces not only afterwards the surface is rotated around this axis and surface normal directions, but also the surface is brought into two positions, which are centered around a stereo bone C ₅ D and E itself. As a direct consequence of this, differentiate the angle, which is now the angle that the corresponding surfaces C and C, the central axis formed by the electron beam, and D and D ', E and E' in the two individual images enclose the adjustable axis with one another, it can be calculated, or the different image brightness. For example, it can be found experimentally n, ensure that the increased inclination of the surfaces C For the first described inventive method

und E' gegenüber C und E eine größere Bildintensität fahren zeigen die F i g. 2 und 3 jeweils eine mögliche zur Folge hat, während die Helligkeit der Fläche D in Ausführungsform von Vorrichtungen zur Durchder zweiten Aufnahme D' verringert ist. Ebenso kann führung der Verfahren.and E ' drive a greater image intensity than C and E are shown in FIGS. 2 and 3 each have a possible result, while the brightness of the surface D is reduced in the embodiment of devices for through the second recording D '. Likewise, conduct of the proceedings.

eine Kontrastumkehr der Flächenhelligkeit erfolgen 20 F i g. 2 zeigt eine mechanische Vorrichtung für die und den Stereoeindruck abschwächen bzw. sogar un- Bewegung der Probe P. Die Schlitten Sl ... S3, möglich machen. welche übereinander angeordnet sind, dienen für diea contrast reversal of the surface brightness takes place 20 F i g. 2 shows a mechanical device for weakening the stereo impression or even un- moving the sample P. The slides S1 ... S3, make possible. which are arranged one above the other are used for

Das Verfahren gemäß der Erfindung räumt diese Translationsbewegungen der Probe P in den Elek-Schwierigkeiten mindestens für eine interessierende tronenstrahlengang der Mittelachse z. Dabei wird der Fläche aus. Es sind anstatt der Zusatzschwenkung um 25 Schlitten Sl für die erste horizontale Probentransdie x-Achse um den Winkel Δ φ andere Proben- lation, der Schlitten S2 für die dazu senkrechte zweite bewegungen vorgesehen. Es handelt sich dabei um horizontale Probentranslation und der Schlitten S3 eine Schwenkung um die sowohl auf der z-Strahl- für die vertikale Probentranslation in Elektronenrichtung (Mittelachse) als auch auf der x-Achse z. B. Strahlenrichtung (Mittelachse z) benutzt. Auf dem senkrecht stehenden Γ-Achse und eine Drehung um 30 Schlitten Sl ist eine feste Achsel angebracht, die die Mittelachse. Zur Erklärung der Verfahrensschritte über ein Zahnrad Zl gedreht werden kann. Am wird eine für den Bildaufbau hinsichtlich Größe, Inten- oberen Ende der Achse A ist eine U-förmige Haltesität und charakteristischer Begrenzung besonders rung if 1 befestigt, an deren Seitenarmen STiI und wichtige Flächenstruktur, beispielsweise die mit C be- SHl nach innen gerichtet die Achsbolzen A1 und Al zeichnete und um den Schwenkwinkel cp_x gegen die 35 angeordnet sind. An den beiden Enden der Achsen-Strahlrichtung ζ geneigte Fläche herausgegriffen. Es bolzen Al und Al ist ein Rahmen R befestigt. Er beist nicht notwendig, daß die Fläche C zuerst um die steht aus vier Seitenteilen 1 ... 4, wobei die Seitenx-Achse um einen Winkel ^₁ gedreht werden muß, da teile 1 und 3 mit den Achsen Al und Al verbunden die Flächenstruktur der Probe fast immer derart aus- sind. In der Mitte der Seiten 2 und 4 sind, in das gebildet ist, daß die Flächen von vornherein einen be- 40 Innere des Rahmens ragend und in der vom Rahmen R stimmten Winkel bezüglich der von der z- und x-Achse gebildeten Ebene liegend, wiederum zwei Achsengebildeten Ebene einnehmen. stücke A 3 und A 4 gelagert. An den Enden der Achsen-Eine der möglichen Bewegungsabläufe, um die stücke A3 und A4 ist eine weitere Halterung Hl beFläche C in die Stereoaufnahmestellungen C" bzw. C₁ festigt, weiche U-förmig ist und deren Seitenteile SH3 zu bringen, ist folgende. Die Fläche C wird um die 45 und SR'4 mit diesen Achsenstücken A3 und A4 verz-Achse in eine zweite Stellung C" derart gedreht, bis bunden sind. Der Boden BO dieser Halterung Hl eine anschließende Schwenkung in die Stellung C₁ um trägt den Probenträger PT, auf dessen Spitze die die j-Achse mit dem Stereowinkel ΔΦ keine Bild- Probe P selbst befestigt ist. Die Halterung Hl, der intensitätsänderung für die Fläche C" zur Folge hat. Rahmen R und die Halterung Hl sind jeweils um Die Flächenrichtung C" ist dadurch bestimmt, daß sie 50 90° zueinander versetzt, so daß alle drei Stücke eine nach einer Schwenkung um den halben Stereo- Art kardanischer Aufhängung für die Probe P bilden, winkel Δ #/2 keine Komponente in x-Achsenrichtung Die Elektronenstrahlrichtung bzw. die z-Achse geht mehr aufweist. Bei der Überführung der Fläche C in durch die Probe P und die Achse A hindurch, genau so C" kommt bei Aufnahmen zunächst kein Stereoeffekt wie die x-Achse für die Winkeldrehung um den zustande, da die Flächennormalen C und C" den 55 Winkel φ (s. Fig. 1), die durch die Achsstücke A3 Winkel gegen die Strahlrichtung ζ nicht ändern, d. h. und A4 verläuft, und die y-Achse, die durch die Achsihre Projektionen in Strahlrichtung unverändert stücke Al und Al der Halterung Hl geht, bleiben. Somit bleibt auch deren Bildintensität un- Bevor eine Stereoaufnahme von der Probe P geverändert. Bei dieser Drehung ändern auch die übrigen macht werden kann, muß die Probe P über die drei Flächen der Probe P ihre Intensität nicht. 60 Translationsbewegungen ausführenden Schlitten Sl... Bei der darauffolgenden Δ ^-Schwenkung um die S3 in den Fokuspunkt des Elektronenstrahls gebracht j-Achse, welche die Fläche C von der Flächen- werden. Für Stereoaufnahmen mit dem ungenauen bestellung C" in die Flächenstellung C₁ überführt, kannten Verfahren genügt eine Schwenkung der Haiändert sich die Bildhelligkeit zumindest der Fläche C terung Hl um die x-Achse bzw. um die Achsstücke A3 deshalb nicht, da die Flächennormalenrichtungen C" 65 und A4. Für Stereoaufnahmen, die mit dem erfin- und C₁ den gleichen Winkel« zur z-Achse einschließen dungsgemäßen Verfahren ausgeführt werden sollen, wie die Flächennormalenrichtung C. wird zuerst die 99-Schwenkung allein zur Einstellung Die Flächenstellungen C" und C₁ unterscheiden einer bestimmten Bildhelligkeit benutzt und nicht mehrThe method according to the invention clears these translational movements of the sample P in the elec-troubles at least for an interesting tron beam path of the central axis z. In doing so, the area is made up. There are lation instead of the auxiliary carriage 25 pivoting about Sl for the first horizontal Probentransdie x-axis by the angle Δ φ other samples, the slide S2 are provided for the perpendicular second movements. This involves horizontal sample translation and the slide S3 swiveling by both on the z-beam for vertical sample translation in the electron direction (central axis) and on the x-axis z. B. beam direction (central axis z) is used. On the vertical Γ-axis and a rotation of 30 slide Sl , a fixed armpit is attached, which is the central axis. To explain the process steps, a gear Zl can be rotated. A U-shaped support and characteristic delimitation, especially if 1, is attached to the image structure in terms of size, the inner upper end of the axis A, and to its side arms STiI and important surface structure, for example the one with C be SH1 directed inwards Axle bolts A 1 and Al drew and are arranged around the pivot angle cp _x against the 35. Taken out an inclined surface at both ends of the axis beam direction ζ. A frame R is attached to Al bolts and Al. It is not necessary that the surface C first stands around the four side parts 1 ... 4, whereby the side x-axis _{must be rotated by an angle ^ 1} , because parts 1 and 3 are connected to the axes Al and Al , the surface structure the sample are almost always like this. In the middle of pages 2 and 4 are, in which it is formed that the surfaces protrude from the start a certain interior of the frame and lie at the angle determined by the frame R with respect to the plane formed by the z and x axes, again occupy a plane formed by two axes. Pieces A 3 and A 4 stored. At the ends of the axes - one of the possible sequences of movements around the pieces A3 and A4 is another bracket Hl beFläche C in the stereo recording positions C " and C ₁ , which is U-shaped and to bring the side parts SH3 , is the following. The surface C is rotated about the 45 and SR'4 with these axis pieces A3 and A4 verz -axis in a second position C "in such a way until they are bound. The bottom BO of this holder Hl a subsequent pivoting into the position C ₁ to carries the sample carrier PT, on the tip of which the j-axis with the stereo angle ΔΦ no image sample P itself is attached. The bracket Hl, which changes the intensity of the surface C " results. Frame R and the bracket Hl are each by the direction of the surface C" is determined by the fact that they are offset by 50 90 °, so that all three pieces one after a pivot form half the stereo type of cardanic suspension for the sample P , angle Δ # / 2 has no component in the x-axis direction, the electron beam direction or the z-axis is more. When the surface C is transferred through the sample P and the axis A , exactly as C ", there is initially no stereo effect like the x-axis for the angular rotation about the, since the surface normals C and C" make the angle φ (see Fig. 1), which do not change angle against the beam direction ζ due to the axis pieces A3 , ie and A4 runs, and the y- axis, which goes through the axis of their projections in the beam direction unchanged pieces Al and Al of the holder Hl , remain . Thus, their image intensity also remains unchanged. Before a stereo recording of the sample P is changed. With this rotation the other power can also change, the sample P does not have to change its intensity over the three surfaces of the sample P. 60 translational movements executing slide Sl ... In the subsequent Δ ^ -swiveling about S3 brought into the focus point of the electron beam j-axis, which the surface C of the surface. For stereo recordings with the inaccurate order C "transferred to the surface position C ₁ , known methods are sufficient to pivot the shark, the image brightness at least of the surface Hl does not change around the x- axis or around the axis pieces A3 because the surface normal directions C" 65 and A4. For stereo recordings that are to be carried out according to the method according to the invention with the invention and C ₁ include the same angle to the z-axis, such as the surface normal direction C. The 99-pivot only for setting the surface positions C " and C ₁ differentiate a certain one Image brightness used and no more

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verändert. Die Stereoschwenkung wird nach darauf- wird, ein Schlitten 56 gehaltert ist. Auf diesem folgender geeigneter Drehung der Probe P um die Schlitten 56 ist um 90° versetzt ein weiterer Schlitten Strahlrichtung (z-Achse) durch Schwenkung um die 67 befestigt, dessen Verschiebung in der von den Achsy-Achse ausgeführt. Die Drehung um die z-Achse wird bolzen Al und Λ8 gebildeten Achse erfolgen kann, über die Achse A mit daran befestigter Halterung Hl 5 Auf dem Schieber SC des Schlittens 57 ist der Probenauf die Probe P übertragen. Die Schwenkung um die träger PT mit der Probe P befestigt. Die Schlitten S6 j-Achse erfolgt über die Achsstücke A1 und Al, und Sl und die Kreisscheibe KS dienen dazu, bederen Drehung über den Rahmen R und die Halterung stimmte Stellen der Probe P in den Fokuspünkt des Hl auf die Probe P übertragen wird. Elektronenstrahls ζ zu bringen, ohne daß jeweils eine F i g. 3 stellt eine weitere Ausführungsform der Vor- io erneute Fokussierung des Elektronenstrahls auf die richtung für die Durchführung des erfindungsgemäßen parallel zur Ebene SC liegende Probe P nötig ist. Um Verfahrens dar. Es sind wiederum zwei Schlitten S4 die Probe P in den Elektronenstrahl ζ zu bringen, und S5 vorgesehen, die übereinander befestigt sind dienen die beiden Schlitten S4 und S5. Die Grob- und einen Winkel von 90° miteinander einschließen. verstellung der Probe P in Achsrichtung ζ erfolgt über Auf dem Schlitten 5*5 ist die über das Zahnrad Zl 15 die Schlitten 54 bis 57. Für Stereoaufnahmen nach rotierbare Achse A 5 befestigt, an deren oberem Ende dem bisher üblichen ungenauen Verfahren kann ein Winkel W angeordnet ist. Die Schlitten 55 und 54 wiederum eine Schwenkung um die von den Achsdienen dazu, die Probe P in die Mittelachse Z zu bolzen Λ 7 und ,48 gebildete x-Achse dienen, deren schieben. Am oberen Ende des Winkelarmes Wl des Schwenkmöglichkeit auch für die erfindungsgemäße Winkels W ist über einen Achsbolzen A 6 die Halte- 20 Vorrichtung vorgesehen bleiben soll. Sie kann dazu rung H3 befestigt. Die Seitenarme SH5 und SH6 dienen, einzelne Kristallflächen der Probe P besser dieser ebenfalls U-förmigen Halterung H3 tragen über gegen die Mittelachse ζ und damit gegen die Elek-Achsbolzen A1 und ^8 wiederum eine U-förmig aus- tronenstrablrichtung zu neigen. Somit kann die gebildete Halterung HA. Die Achsbolzen Al und Λ8 Helligkeit dieser Flächen variiert werden. Die Schwensind dabei an den Seitenarmen 5i77 und SH8 ge- as kung der Probe um die z-Achse erfolgt über den lagert. Der Boden BD dieser Halterung HA trägt über Winkel W um die Achse 5, die auf dem Schlitten 55 eine weitere Achse (nicht näher dargestellt) eine Kreis- befestigt ist. Die darauffolgende, für Stereoaufnahmen scheibe KS, auf deren Oberfläche OB senkrecht zu der wichtige Drehung um die y-Achse erfolgt über die Achse, die von dem Achsbolzen Al und AS gebildet Halterung H3 und den Achsbolzen A6. changes. The stereo panning is then carried out, a slide 56 is supported. On this subsequent suitable rotation of the sample P about the carriage 56, a further carriage beam direction (z-axis) offset by 90 ° is attached by pivoting about the 67, the displacement of which is carried out in the y- axis of the axes. The rotation around the z- axis is bolted Al and the axis formed can take place via the axis A with the holder Hl 5 attached to it. The sample is transferred to the sample P on the slide SC of the slide 57. The pivoting around the carrier PT with the sample P attached. The carriage S6 j-axis via the shaft segments A 1 and Al, and Sl and the circular disc KS serve bederen rotation on the frame R and the support agreed locations of the sample P is transferred to the Fokuspünkt of St. to the Sample P. To bring electron beam ζ without each F i g. 3 shows a further embodiment of the precedence of refocusing the electron beam on the direction necessary for carrying out the sample P according to the invention lying parallel to the plane SC. To represent the method. There are again two carriages S4 to bring the sample P into the electron beam ζ, and S5 are provided, which are attached one above the other, the two carriages S4 and S5 are used. Include the coarse and an angle of 90 ° with each other. Adjustment of the sample P in the axial direction ζ takes place via On the carriage 5 * 5, the carriage 54 to 57 is attached via the gear Zl 15 for stereo recordings according to the rotatable axis A 5, at the upper end of which the hitherto usual imprecise method can be an angle W is arranged. The carriages 55 and 54, in turn, swivel around which the axles serve to bolt the sample P into the central axis Z Λ 7 and the x- axis formed 48 serve to push them. At the upper end of the angled arm Wl of the swivel option, also for the angle W according to the invention, the holding device is intended to remain provided via an axle bolt A 6. It can be attached to the H3 . The side arms SH5 and SH6 serve to carry individual crystal faces of the sample P better from this likewise U-shaped holder H3 to incline a U-shaped beam direction against the central axis ζ and thus against the electrical axle bolts A1 and ^ 8. Thus, the formed holder HA. The axle bolts Al and Λ8 brightness of these surfaces can be varied. The swiveling on the side arms 5i77 and SH8 as the sample about the z-axis takes place over the bearings. The base BD of this holder HA carries an angle W about the axis 5, which is attached to the slide 55 with a further axis (not shown in more detail) in a circle. The following, for stereo recordings disk KS, on the surface OB perpendicular to the important rotation about the y-axis takes place on the axis formed by the axle bolt Al and AS bracket H3 and the axle bolt A6.

Hierzu 1 Blatt Zeichnungen 1 sheet of drawings

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Claims

Patent claims:

1. A method for generating a stereo image whose individual images of an object using the Electron beam microscopy can be included and in which to achieve the same brightness of the object areas of interest on the individual images, the object by the stereo angle by one Axis is rotated symmetrically to the primary electron beam, the axis direction with the direction the primary beam axis does not coincide, thereby marked that the starting point for panning around the stereo angle by rotating the object around the primary beam axis is visited.

2. A method for generating a stereo image whose individual images of an object using the Electron beam microscopy can be included and for achieving the same brightness of the object surfaces of interest on the individual images the object is rotated by the stereo angle around an axis, the direction of which coincides with the Direction of the primary beam axis does not coincide, characterized in that the axis is moved such that it coincides with the surface normal of a selected object surface or parallel to it, and then rotated around this axis by the stereo angle, wherein the stereo angle depends on the angle from the axis and the direction of the primary beam axis is included.

3. The method according to claim 1, characterized in that that a passing through the intersection of the primary beam axis and the axis, the third axis perpendicular to the two axes or at a different angle is provided around the sample to maintain a certain surface intensity of the object is rotated.

4. The method according to claim 1, characterized in that that the primary beam axis and the axis are perpendicular to each other.

5. The method according to claim 3, characterized

with which translational movements with respect to the central axis (z) can be carried out for the sample (P) are.

10. Device for performing the method according to claims 1 or 3 to 5, characterized in that the sample (P) is arranged on a double slide (56, ST) , the two slides of which are offset by 90 ° to each other and one of the slides ( S6) is attached to a circular disk (ZS).

11. The device according to claim 10, characterized in that the turntable (KS) is attached to the bottom (BD) of a U-shaped bracket (H4) which can be rotated via axle bolts (Al and .48) on the side arms (SH5 and SH6) a bracket (H3) is mounted.

12. Apparatus according to claim 10 or 11, characterized in that the holder (H3) is rotatably mounted about the j-axis via an axle bolt (A6) on the angle arm (PFl) of the angle (W).

13. Device according to one of claims 10 to 12, characterized in that the angle (W ) is rotatably mounted on the axis (AS) on a chute (SS) about the central axis (z).

14. Device according to one of claims 10 to 13, characterized in that the slide (SS) rotated by 90 ° is attached to a further slide (S4) and that with this slide translational movements of the axis (AS) with respect to the central axis ( z) are executable.