DE168437T1 - Vorrichtung zur behandlung von scheiben. - Google Patents

Claims (12)

Übersetzung der Patentansprüche der europäischen Anmeldung Nr. 85900556.3-2106 / 0168437 unsere Akte: D. 85210

1. Verfahren (Einrichtung) zum genauen Festlegen der Lage von Plättchen in den sie tragenden Nuten einer Plättchenträgerkassette, die genutete Seitenwände zum Halten einer Reihe von Plättchen in axialer Ausrichtung und mit axialem Abstand voneinander und eine von unten nach oben durchgehende Öffnung aufweist, durch die eine Plättchenauf nehmeleiste zum Bewegen von Plättchen in den Plättchenträger und aus ihm heraus hindurchtreten kann, dadurch gekennzeichnet,

daß eine Einrichtung mit einer genau bestimmten Schritteinteilung durch den offenen Boden des Plättchenträgers eingeführt und nach Art eines Index eingestellt wird, um die Unterkanten der Plättchen aufzunehmen und innerhalb jeweils einzelner der erwähnten Nuten in dem Plättchenträger auszurichten, so daß die Bewegung der Plättchen durch die Leiste im Betrieb erleichtert wird.

2. Maschine zur Bearbeitung von Plättchen, bei der die Plättchen in einem oben und unten offenen und mit Nuten zum Halten der Plättchen in seinen Seitenwänden versehenen Plättchenträger aus dem Plättchenträger zu einer Plättchenbearbeitungsstelle und umgekehrt transportiert werden, gekennzeichnet durch

eine durch den Plättchenträger von unten her hindurchgehende Plättchenaufnehmevorrichtung, die auf die Plättchen auftrifft, um sie relativ zu der Plättchenbearbeitungsstelle zu transportieren, und eine durch den Boden des Plättchenträgers hindurchreichende Indexvorrichtung zum Eingriff mit den Unterkanten der Plättchen, um diese leicht anzuheben und ihre axiale Lage innerhalb der jeweiligen Haltenuten genau zu bestimmen, so daß die Bewegung der Plättchen mittels der Aufnehmeleiste im Betrieb erleichtert wird.

3. Maschine nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Indexvorrichtung eine längs ihrer Oberkante sägezahnartig ausgebildete Struktur mit einer solchen Zahnteilung aufweist, wie sie dem gewünschten axialen Abstand der von ihr ergriffenen und angehobenen Plättchen entspricht.

4. Maschine zur Bearbeitung von Plättchen bei Unterdruck in einer evakuierbaren Arbeitskammer, die eine Zugangsöffnung für die Plättchen in einer ihrer Wandungen aufweist, gekennzeichnet durch

eine Tür zum Schließen und Abdichten der Zugangsöffnung für die Plättchen;

eine von der Tür getragene und mit ihr zusammen bewegliche Aufspannvorrichtung für die Plättchen, die innerhalb der Kammer betriebsfähig ist und zum Halten der Plättchen bei der Bearbeitung dient;

ein Absperrschieberventil in der evakuierbaren Kammer zum Absperren eines Lastverriegelungsabschnitts gegenüber einem Bearbeitungsabschnitt der Kammer durch Bewegen eines Schiebers längs einer Schieberführung, die zwischen dem Lastverriegelungsabschnitt und dem Bearbeitungsabschnitt der Kammer angeordnet ist;

eine Vorrichtung zum Öffnen des Absperrschieberventils durch Herausziehen des Schiebers aus der Schieberführung; und

eine mit der Aufspannvorrichtung verbundene Antriebsvorrichtung zum Verlagern von Spannvorrichtung und Plättchen aus dem Lastverriegelungsabschnitt der Kammer in die geöffnete Schieberführung des Absperrschieberventils.

5. Maschine nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß die Antriebsvorrichtung dazu dient, die Aufspannvorrichtung mit dem Plättchen durch die geöffnete Schieberführung des Absperrschieberventils hindurch in den Arbeitsabschnitt der Kammer zu verlagern.

6. Maschine nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß in dem Bearbeitungsabschnitt der Kammer eine Sprühkanone zum Aufsprühen von Belagmaterial auf das von der Spannvorrichtung getragene Plättchen angeordnet ist.

7. Maschine zur Bearbeitung von Plättchen bei Unterdruck in einer evakuierbaren Arbeitskammer, die eine Zugangsöffnung für die Plättchen in einer ihrer Wandungen aufweist, gekennzeichnet durch

eine Tür zum Schließen und Abdichten der Zugangsöffnung der Arbeitskammer;

eine Sprühkanone mit Anode und Kathode zur Erzeugung einer ionisierenden Plasmaentladung innerhalb der auf Unterdruck gehaltenen Plattchenbearbeitungskammer zum Sprühen von Material der Kathode der Sprühkanone in die Kammer;

eine Aufspannvorrichtung zum Halten des Werkstücks in der Kammer, so daß dieses einen Belag des von der Sprühkanone versprühten Materials aufnimmt; und

einen von der Kammerwand getrennten Sprühschirm, der das Plasma zwischen der Sprühkanone und dem von der Aufspannvorrichtung gehaltenen Werkstück umgibt und zum Sammeln des von der Sprühkanone abgeschleuderten und nicht von dem Werkstück aufgefangenen Materials dient.

8. Maschine nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, daß der Sprühschirm einen Seitenwandteil enthält, der den von der Sprühkanone zu versprühenden Materialabschnitt umgibt und einen nach innen gerichteten Endabschnitt der Wand entfernt von der Sprühkanone aufweist; und

daß die Aufspannvorrichtung das Werkstück in eine solche Lage einstellt, bei der es sich allgemein in derselben Ebene wie die Fläche der zentralen Öffnung in dem Sprühschirm erstreckt, so daß das von der Sprühkanone versprühte Material vorwiegend von dem Sprühschirm und dem Werkstück aufgefangen wird.

9. Maschine nach Anspruch 8, gekennzeichnet durch eine Vorrichtung zum Tragen des Sprühschirms mittels der Sprühkanone.

10. Maschine nach Anspruch 8, gekennzeichnet durch eine Isolatoranordnung zum elektrischen Isolieren des Sprühschirms von dem Potential von Anode und Kathode der Sprühkanone.

11. Maschine zum Bearbeiten von Plättchen durch Aufbringen eines Belags bei Unterdruck in einer evakuierbaren Arbeitskammer, dadurch gekennzeichnet,

daß die Arbeitskammer eine Zugangsöffnung in einer ihrer Wände aufweist,

daß eine Abdeckung zum Schließen und Abdichten der Zugangsöffnung vorgesehen ist,

daß von der Abdeckung eine Kanone zum Schleudern von Material auf das in der Kammer mit einem Belag zu versehende Werkstück getragen wird und sich in die Kammer hinein erstreckt,

daß ein Wärmeaustauscher von der Abdeckung getragen wird und sich in die Kammer erstreckt, der bei einer Temperatur unterhalb der Umgebungstemperatur betrieben wird und zur Kondensation von Wasserdampf und anderen kondensierbaren Stoffen in der Kammer dient; und

daß die Abdeckung von einer Kühlmittelleitung für die Kühlmittelzufuhr zu dem Wärmeaustauscher durchsetzt ist.

12. Maschine nach Anspruch 11, dadurch gekennzeichnet, daß der Wärmeaustauscher bogenförmig gekrümmt und annähernd konzentrisch zu der Sprühkanone außerhalb dieser angeordnet ist.