DE1235463T1 - Elektroakustischer übertrager mit verwendung eines optischen geräts - Google Patents
Elektroakustischer übertrager mit verwendung eines optischen gerätsInfo
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Claims (18)
1. Optischer akustoelektrischer Transducer mit einer Lumi-
neszenzeinrichtung und einem Fotodetektorelement, die auf dem selben Substrat angeordnet sind, bei welchem Licht von der
Lumineszenzeinrichtung zu einer vibrierenden Platte emittiert wird, die in einer dem Substrat gegenüberliegenden Position
angebracht ist, und das von der vibrierenden Platte reflektierte Licht von dem Fotodetektorelement empfangen wird, um
so die Verschiebung der vibrierenden Platte zu erfassen,
dadurch gekennzeichnet, daß eine vertikal oberflächenemittierende
Lumineszenzeinrichtung, die eine im wesentlichen gleichmäßige konzentrische Intensitätsverteilung der Lichtemission
um die Mitte eines Licht emittierenden Bereichs hat, als die Lumineszenzeinrichtung in einer Mitte des Substrats
angeordnet wird und das Fotodetektorelement so vorgesehen ist, daß es die Lumineszenzeinrichtung umgibt.
2. Optischer akustoelektrischer Transducer nach Anspruch 1, bei welchem das Fotodetektorelement aus einer Vielzahl von
konzentrisch angeordneten Einrichtungen besteht.
3. Optischer akustoelektrischer Transducer mit einem Differenzdetektor
zum Erfassen eines Differenzsignals zwischen Signalen,
die von zu verschiedenen konzentrischen Kreisen gehö-
renden Fotodetektorelementen erfasst werden, um so die Verschiebung
einer vibrierenden Platte aus der Ausgabe des Differenzdetektors zu erfassen.
4. Optischer akustoelektrischer Transducer nach einem der Ansprüche 1 bis 3,
bei welchem die Lumineszenzeinrichtung und das Fotodetektorelement
gleichzeitig auf dem Substrat gebildet werden.
5. ■ Optischer akustoelektrischer Transducer nach einem der
Ansprüche 1 bis 4,
bei welchem das Substrat aus einem Galliumarsenidwafer besteht.
6. Optischer akustoelektrischer Transducer nach einem der
Ansprüche 1 bis 5,
bei welchem die vibrierende Platte beinahe parallel zu und
nahe an dem Substrat angebracht ist.
7. Optischer akustoelektrischer Transducer nach einem der Ansprüche 1 bis 6,
bei welchem ein Linsenelement zum Fokussieren von einfallendem Licht von der Lumineszenzeinrichtung, um es zu der vibrierenden
Platte zu leiten, und zum Fokussieren von gestreutem reflektiertem Licht von der vibrierenden Platte, um es zu
dem Fotodetektorelement zu leiten, in einem optischen Weg zwischen dem Substrat und der vibrierenden Platte angeordnet
ist, so daß die Lumineszenzeinrichtung auf einer optischen Achse derselben liegt.
8. Optischer akustoelektrischer Transducer nach Anspruch 7, bei welchem das Linsenelement eine Mikrolinse ist.
9. Optischer akustoelektrischer Transducer nach Anspruch 7, 5 bei welchem das Linsenelement ein Hologramm ist.
&psgr;*
10. Optischer akustoelektrischer Transducer nach einem der
Ansprüche 7 bis 8,
bei welchem das Linsenelement so angeordnet ist, daß die vibrierende
Platte in einer Position liegt, die geringfügig weiter entfernt ist als eine Fokusposition des Linsenelements
.
11. Optischer akustoelektrischer Transducer mit einer vibrierenden
Platte, die bedingt durch Schalldruck vibriert, einer Lumineszenzeinrichtung zum Aufstrahlen eines Lichtstrahls
auf die vibrierende Platte, einem Fotodetektorelement zum Empfangen von reflektiertem Licht von dem auf die vibrierende
Platte aufgestrahlten Lichtstrahl und Ausgeben eines Signals, das der Vibrationsverschiebung der vibrierenden
Platte entspricht, und einem Substrat zur Anbringung der Lumineszenzeinrichtung und des Fotodetektorelements,
dadurch gekennzeichnet, daß
die Lumineszenzeinrichtung und eines oder eine Vielzahl der Fotodetektorelemente auf dem Substrat so angeordnet sind, daß
eine Licht emittierende Oberfläche der Lumineszenzeinrichtung und eine Licht empfangende Oberfläche des Fotodetektorelements
parallel und beinahe in der selben Ebene angeordnet sind;
die vibrierende Platte um einen vorbestimmten Winkel zu dem Substrat geneigt ist und der von der Lumineszenzeinrichtung
beinahe vertikal zu der Licht emittierenden Oberfläche emittierte Lichtstrahl auf die vibrierende Platte aufgestrahlt
wird; und
das an der vibrierenden Platte reflektierte Licht durch den
einen oder eine Vielzahl von Fotodetektorelementen empfangen wird.
DE/EP 1 235 463T1
12. Optischer akustoelektrischer Transducer nach Anspruch
11,
bei welchem ein Bereich der vibrierenden Platte, auf den das einfallende Licht aufgestrahlt wird, als Spiegeloberfläche
ausgeführt ist.
13. Optischer akustoelektrischer Transducer nach Anspruch 12,
bei welchem dieser Bereich ringförmig ausgebildet ist. 10
14. Optischer akustoelektrischer Transducer nach Anspruch 12,
bei welchem dieser Bereich als kreisförmiger Punkt ausgebildet ist.
15
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15. Optischer akustoelektrischer Transducer nach Anspruch 11,
■bei welchem eine Vielzahl der Fotodetektorelemente linear gegen
die Lumineszenzeinrichtung angeordnet sind.
16 . Optischer akustoelektrischer Transducer nach Anspruch 11,
bei welchem eine Vielzahl der Fotodetektorelemente kreisförmig angeordnet sind.
17. Optischer akustoelektrischer Transducer nach Anspruch
11,
bei welchem eine Vielzahl der Fotodetektorelemente rechteckig angeordnet s ind.
30
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18. Optischer akustoelektrischer Transducer nach einem der Ansprüche 11 bis 17,
bei welchem eine Vielzahl der Lumineszenzeinrichtungen vorgesehen sind.
Applications Claiming Priority (5)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP34543899A JP3481177B2 (ja) | 1999-12-03 | 1999-12-03 | 光マイクロフォン素子及び光マイクロフォン装置 |
JP35370099A JP3673992B2 (ja) | 1999-12-13 | 1999-12-13 | 音響電気変換装置 |
JP35362199A JP2001169397A (ja) | 1999-12-13 | 1999-12-13 | 音響電気変換装置 |
JP2000008380A JP3481179B2 (ja) | 2000-01-17 | 2000-01-17 | 音響電気変換装置 |
PCT/JP2000/008537 WO2001041502A1 (fr) | 1999-12-03 | 2000-12-01 | Transducteur electroacoustique utilisant un dispositif optique |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE1235463T1 true DE1235463T1 (de) | 2003-03-20 |
Family
ID=27480659
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE1235463T Pending DE1235463T1 (de) | 1999-12-03 | 2000-12-01 | Elektroakustischer übertrager mit verwendung eines optischen geräts |
Country Status (6)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US20050163509A1 (de) |
EP (1) | EP1235463A4 (de) |
KR (1) | KR100629048B1 (de) |
CN (1) | CN1203727C (de) |
DE (1) | DE1235463T1 (de) |
WO (1) | WO2001041502A1 (de) |
Families Citing this family (16)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100437142B1 (ko) * | 2001-12-07 | 2004-06-25 | 에피밸리 주식회사 | 광 마이크로 폰 |
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CN114576303B (zh) * | 2022-03-02 | 2024-05-24 | 西安热工研究院有限公司 | 一种复合式电磁减震器 |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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DD240598A1 (de) * | 1985-09-02 | 1986-11-05 | Akad Wissenschaften Ddr | Opto-elektronische vorrichtung zur messung von druck-, insbesondere schalldruckdifferenzen |
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-
2000
- 2000-12-01 CN CNB008166153A patent/CN1203727C/zh not_active Expired - Fee Related
- 2000-12-01 EP EP00978067A patent/EP1235463A4/de not_active Ceased
- 2000-12-01 KR KR1020027007087A patent/KR100629048B1/ko not_active IP Right Cessation
- 2000-12-01 US US10/148,468 patent/US20050163509A1/en not_active Abandoned
- 2000-12-01 DE DE1235463T patent/DE1235463T1/de active Pending
- 2000-12-01 WO PCT/JP2000/008537 patent/WO2001041502A1/ja not_active Application Discontinuation
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
EP1235463A4 (de) | 2007-01-24 |
KR20020070451A (ko) | 2002-09-09 |
KR100629048B1 (ko) | 2006-09-26 |
EP1235463A1 (de) | 2002-08-28 |
CN1402955A (zh) | 2003-03-12 |
CN1203727C (zh) | 2005-05-25 |
WO2001041502A1 (fr) | 2001-06-07 |
US20050163509A1 (en) | 2005-07-28 |
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