DE112022001915T5 - TRANSPARENT HEATING DEVICE - Google Patents
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Abstract
Eine transparente Heizeinrichtung umfasst: ein Substrat (2), das für ein sichtbares Licht transparent ist und eine Oberfläche (2a) aufweist; und eine leitfähige Schicht (3), die auf der einen Oberfläche angeordnet ist, für das sichtbare Licht transparent ist und ein Aggregat aus Kohlenstoffnanoröhren enthält. Die leitfähige Schicht umfasst: einen gemusterten Abschnitt (4), der einen linearen Abschnitt umfasst, der sich linear in einer ersten Richtung (D1) parallel zu der einen Oberfläche erstreckt; und einen ungemusterten Abschnitt (5), der ein folienförmiger Abschnitt ist, der mit dem gemusterten Abschnitt in einer zweiten Richtung (D2) verbunden ist, die parallel zu der einen Oberfläche und orthogonal zu der ersten Richtung ist, und eine geringere Dicke als die des gemusterten Abschnitts in einer dritten Richtung (D3) aufweist, die orthogonal zu der einen Oberfläche ist. Der ungemusterte Abschnitt weist eine Orientierungsrichtung der Kohlenstoffnanoröhren auf, die weniger als 45 Grad in Bezug auf die zweite Richtung definiert, wobei die Orientierungsrichtung durch ein Orientierungsbewertungsverfahren unter Verwendung einer Bildverarbeitung auf einem Elektronenmikroskopbild gemessen wird.A transparent heater comprises: a substrate (2) transparent to visible light and having a surface (2a); and a conductive layer (3) disposed on one surface, transparent to visible light and containing an aggregate of carbon nanotubes. The conductive layer includes: a patterned portion (4) comprising a linear portion linearly extending in a first direction (D1) parallel to the one surface; and an unpatterned portion (5) which is a sheet-shaped portion bonded to the patterned portion in a second direction (D2) parallel to the one surface and orthogonal to the first direction and having a thickness smaller than that of patterned section in a third direction (D3) which is orthogonal to the one surface. The unpatterned portion has an orientation direction of the carbon nanotubes that defines less than 45 degrees with respect to the second direction, the orientation direction being measured by an orientation evaluation method using image processing on an electron microscope image.
Description
QUERVERWEIS AUF VERWANDTE ANMELDUNGCROSS REFERENCE TO RELATED APPLICATION
Diese Anmeldung basiert auf der japanischen Patentanmeldung Nr.
TECHNISCHES GEBIETTECHNICAL FIELD
Die vorliegende Offenbarung betrifft eine transparente Heizeinrichtung, die ein Aggregat aus Kohlenstoffnanoröhren (carbon nanotubes, CNTs) enthält.The present disclosure relates to a transparent heater containing an aggregate of carbon nanotubes (CNTs).
TECHNISCHER HINTERGRUNDTECHNICAL BACKGROUND
Die Patentliteratur 1 offenbart eine transparente Heizeinrichtung mit einem Substrat, das eine Oberfläche und eine leitfähige Schicht aufweist, die auf der einen Oberfläche bereitgestellt ist. Die leitfähige Schicht enthält ein Aggregat von CNTs. Die leitfähige Schicht umfasst einen gemusterten Abschnitt mit einem linearen Abschnitt, der sich linear in einer ersten Richtung erstreckt, und einen ungemusterten Abschnitt, der ein folienförmiger Abschnitt ist, der mit dem linearen Abschnitt in einer zweiten Richtung orthogonal zur ersten Richtung verbunden ist. Der ungemusterte Abschnitt ist dünner als der gemusterte Abschnitt.
LITERATUR ZUM STAND DER TECHNIKSTATE OF THE ART LITERATURE
PATENTLITERATURPATENT LITERATURE
Patentliteratur 1:
ZUSAMMENFASSUNG DER ERFINDUNGSUMMARY OF THE INVENTION
In der oben beschriebenen herkömmlichen transparenten Heizeinrichtung erzeugt der gemusterte Abschnitt eine größere Wärmemenge als der ungemusterte Abschnitt, da der gemusterte Abschnitt dicker ist als der ungemusterte Abschnitt. Daher ist die Temperatur des ungemusterten Abschnitts niedriger als die des gemusterten Abschnitts, und in der transparenten Heizeinrichtung tritt eine Temperaturungleichmäßigkeit in einer ebenen Richtung parallel zu der einen Oberfläche des Substrats auf. Eine Aufgabe der vorliegenden Offenbarung ist es, eine transparente Heizeinrichtung bereitzustellen, die in der Lage ist, eine Temperaturungleichmäßigkeit in einer ebenen Richtung zu reduzieren.In the conventional transparent heater described above, the patterned portion generates a larger amount of heat than the unpatterned portion because the patterned portion is thicker than the unpatterned portion. Therefore, the temperature of the unpatterned portion is lower than that of the patterned portion, and in the transparent heater, temperature unevenness occurs in a plane direction parallel to the one surface of the substrate. An object of the present disclosure is to provide a transparent heater capable of reducing temperature unevenness in a planar direction.
Um die obige Aufgabe zu lösen, gemäß einem Aspekt der vorliegenden Offenbarung, umfasst eine transparente Heizeinrichtung:
- ein Substrat, das für sichtbares Licht transparent ist und eine Oberfläche aufweist; und
- eine leitfähige Schicht, die auf der einen Oberfläche angeordnet ist, für das sichtbare Licht transparent ist und ein Aggregat von Kohlenstoffnanoröhren enthält,
- wobei die leitfähige Schicht umfasst: einen gemusterten Abschnitt, der einen linearen Abschnitt aufweist, der sich linear in einer ersten Richtung parallel zu der einen Oberfläche erstreckt; und einen ungemusterten, bzw. nicht gemusterten Abschnitt, der ein folienförmiger Abschnitt ist, der mit dem gemusterten Abschnitt in einer zweiten Richtung verbunden ist, die parallel zu der einen Oberfläche und orthogonal zu der ersten Richtung ist, und der eine geringere Dicke als der gemusterte Abschnitt in einer dritten Richtung aufweist, die orthogonal zu der einen Oberfläche ist, und
- wobei der ungemusterte Abschnitt eine Orientierungsrichtung der Kohlenstoffnanoröhren aufweist, die weniger als 45 Grad in Bezug auf die zweite Richtung definiert, wobei die Orientierungsrichtung durch ein Orientierungsbewertungsverfahren unter Verwendung einer Bildverarbeitung an einem Elektronenmikroskopbild gemessen wird.
- a substrate that is transparent to visible light and has a surface; and
- a conductive layer disposed on one surface, transparent to visible light and containing an aggregate of carbon nanotubes,
- wherein the conductive layer comprises: a patterned portion having a linear portion linearly extending in a first direction parallel to the one surface; and an unpatterned portion that is a sheet-shaped portion bonded to the patterned portion in a second direction parallel to the one surface and orthogonal to the first direction and having a smaller thickness than the patterned one Section in a third direction that is orthogonal to the one surface, and
- wherein the unpatterned portion has an orientation direction of the carbon nanotubes that defines less than 45 degrees with respect to the second direction, the orientation direction being measured by an orientation evaluation method using image processing on an electron microscope image.
Demnach wird im Vergleich zu einem Fall, in dem die Kohlenstoffnanoröhren, die den ungemusterten Abschnitt bilden, nicht orientiert sind, Wärme leicht von dem gemusterten Abschnitt zur Gesamtheit des ungemusterten Abschnitts geleitet. Dementsprechend kann der Temperaturunterschied zwischen dem ungemusterten Abschnitt und dem gemusterten Abschnitt verringert werden, und die Temperaturungleichmäßigkeit in der planaren Richtung der transparenten Heizeinrichtung kann reduziert werden.Accordingly, compared to a case where the carbon nanotubes constituting the unpatterned portion are not oriented, heat is easily conducted from the patterned portion to the entirety of the unpatterned portion. Accordingly, the temperature difference between the approx patterned portion and the patterned portion can be reduced, and the temperature unevenness in the planar direction of the transparent heater can be reduced.
Die in Klammern gesetzten Bezugszeichen, die an den jeweiligen Elementen, bzw. Bestandselementen (engl. constituent elements) und dergleichen angebracht sind, geben ein Beispiel für eine Korrespondenzbeziehung zwischen den Bestandselementen und dergleichen und bestimmten Bestandselementen und dergleichen an, die in den später beschriebenen Ausführungsbeispielen beschrieben sind.The parenthesized reference numerals attached to the respective constituent elements and the like indicate an example of a correspondence relationship between the constituent elements and the like and certain constituent elements and the like used in the embodiments described later are described.
KURZE BESCHREIBUNG DER ZEICHNUNGENBRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS
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1 zeigt eine Draufsicht auf eine transparente Heizeinrichtung gemäß einem ersten Ausführungsbeispiel.1 shows a top view of a transparent heating device according to a first exemplary embodiment. -
2 zeigt eine Schnittansicht entlang einer Linie II-II von1 .2 shows a sectional view along a line II-II of1 . -
3 zeigt ein Elektronenmikroskopbild eines Teils III von1 .3 shows an electron microscope image of part III of1 . -
4 zeigt eine Schnittansicht, die einen Vorgang eines Vorbereitens eines Filters in einem Verfahren zur Herstellung eines transparenten Filters gemäß dem ersten Ausführungsbeispiel zeigt.4 Fig. 10 is a sectional view showing a process of preparing a filter in a method of manufacturing a transparent filter according to the first embodiment. -
5A zeigt ein Diagramm, das einen Vorgang eines Einfangens von CNTs in dem Verfahren zur Herstellung eines transparenten Filters gemäß dem ersten Ausführungsbeispiel zeigt.5A Fig. 10 is a diagram showing a process of trapping CNTs in the method of manufacturing a transparent filter according to the first embodiment. -
5B zeigt ein Diagramm, das einen Fluss, bzw. Strom der CNT-Dispersion in einem Hohlraumabschnitt eines Resists (engl. resist) in dem in5A dargestellten Vorgang zeigt.5B shows a diagram showing a flow or current of the CNT dispersion in a cavity section of a resist in the in5A process shown. -
5C zeigt ein Diagramm, das den Fluss der CNT-Dispersion auf einer oberen Oberfläche eines Abdeckungsabschnitts des Resists und des Hohlraumabschnitts in dem in5A gezeigten Vorgang zeigt. 1 shows a diagram showing the flow of the CNT dispersion on an upper surface of a cap portion of the resist and the cavity portion in the FIG5C 5A process shown. -
5D zeigt ein Diagramm, das einen leitfähigen Abschnitt zeigt, der durch Einfangen der CNTs in dem in5A gezeigten Vorgang gebildet wird.5D shows a diagram showing a conductive section formed by trapping the CNTs in the in5A process shown is formed. -
6A zeigt ein Diagramm, das einen Teil eines Vorgangs zum Übertragen, bzw. Transferieren des leitfähigen Abschnitts auf ein transparentes Substrat in dem Verfahren zur Herstellung eines transparenten Filters gemäß dem ersten Ausführungsbeispiel zeigt.6A Fig. 12 is a diagram showing a part of a process of transferring the conductive portion to a transparent substrate in the method of manufacturing a transparent filter according to the first embodiment. -
6B zeigt ein Diagramm, das einen Vorgang zeigt, der sich an den in6A gezeigten Vorgang anschließt.6B shows a diagram showing a process that follows the in6A followed by the process shown. -
7 zeigt eine Draufsicht auf einen Probekörper, der in einem Test zur Untersuchung der Beziehung zwischen einer Orientierungsrichtung von CNTs und der Leichtigkeit einer Wärmeleitung verwendet wird.7 shows a top view of a test specimen used in a test for examining the relationship between an orientation direction of CNTs and the ease of heat conduction. -
8 zeigt ein Diagramm, das die Ergebnisse des Tests zur Untersuchung der Beziehung zwischen der Orientierungsrichtung der CNTs und der Leichtigkeit der Wärmeleitung zeigt.8th shows a diagram showing the results of the test to investigate the relationship between the orientation direction of the CNTs and the ease of heat conduction.
BESCHREIBUNG DER AUSFÜHRUNGSBEISPIELEDESCRIPTION OF THE EMBODIMENTS
Ausführungsbeispiele der vorliegenden Offenbarung sind im Folgenden unter Bezugnahme auf die Zeichnungen beschrieben.Embodiments of the present disclosure are described below with reference to the drawings.
(Erstes Ausführungsbeispiel)(First embodiment)
Eine transparente Heizeinrichtung 1 des in den
Die transparente Heizeinrichtung 1 umfasst ein Substrat 2 und eine leitfähige Schicht 3. Das Substrat 2 weist eine Oberfläche 2a auf, die die leitfähige Schicht 3 trägt, und die andere Oberfläche 2b, die der einen Oberfläche 2a gegenüberliegt. Die eine Oberfläche 2a ist eine Oberfläche des Substrats 2 auf der Seite der leitfähigen Schicht 3. Die eine Oberfläche 2a ist flach. In jeder Zeichnung ist eine erste Richtung D1 eine Richtung parallel zu der einen Oberfläche 2a. Eine zweite Richtung D2 ist eine Richtung parallel zu der einen Oberfläche 2a und orthogonal zu der ersten Richtung D1. Eine dritte Richtung D3 ist eine Richtung, die orthogonal zu der einen Oberfläche 2a verläuft.The
Das Substrat 2 ist für ein gewünschtes sichtbares Licht transparent und weist eine elektrische Isolationseigenschaft auf. Das Substrat 2 besteht aus einem Kunstharzmaterial (zum Beispiel PC oder ähnlichem) oder einem anorganischen Material (zum Beispiel Quarzglas oder ähnlichem). PC ist Polycarbonat. Das Substrat 2 weist eine Form wie eine Folie, bzw. ein Film oder eine Platte auf.The
Die leitfähige Schicht 3 ist auf der einen Oberfläche 2a des Substrats 2 bereitgestellt. Die leitfähige Schicht 3 enthält ein Aggregat von CNTs. Das Aggregat aus CNTs bildet hauptsächlich die Form der leitfähigen Schicht 3. Wenn sie elektrisch leitend ist, erzeugt die leitfähige Schicht 3 Wärme. Die leitfähige Schicht 3 umfasst eine Vielzahl von gemusterten Abschnitten (engl. patterned portions) 4 und eine Vielzahl von ungemusterten, bzw. nicht gemusterten Abschnitten (engl. non-patterned portions) 5. Jeder aus der Vielzahl von gemusterten Abschnitten 4 und jeder aus der Vielzahl von ungemusterten Abschnitten 5 sind abwechselnd in der zweiten Richtung angeordnet.The
Jeder gemusterte Abschnitt 4 ist ein Abschnitt der leitfähigen Schicht 3, der einen linearen Abschnitt 4a umfasst, der sich linear in der ersten Richtung D1 erstreckt. Der lineare Abschnitt 4a ist ein Abschnitt der leitfähigen Schicht 3, der gegenüber dem Substrat 2 in der dritten Richtung D3 hervorsteht. Die gemusterten Abschnitte 4 sind in der zweiten Richtung D2 getrennt voneinander angeordnet.Each patterned
Jeder gemusterte Abschnitt 4 weist eine Breite in der zweiten Richtung D2 auf, die für einen Menschen visuell nicht erkennbar ist. Die Breite jedes gemusterten Abschnitts 4 ist kleiner als eine durchschnittliche Länge der CNTs oder eine durchschnittliche Länge der Bündel von CNTs. Die Dicke jedes gemusterten Abschnitts 4 in der dritten Richtung D3 ist eine Größe, die visuell nicht erkennbar ist. Die Dicke jedes gemusterten Abschnitts 4 kann jedoch eine Größe haben, die visuell erkennbar ist.Each
Jeder gemusterte Abschnitt 4 weist einen Basisabschnitt 4b auf. Der Basisabschnitt 4b ist ein Teil des gemusterten Abschnitts 4 auf der Basisseite, d.h. ein Teil des gemusterten Abschnitts 4 auf der Seite des Substrats 2 in der dritten Richtung D3. Der Basisabschnitt 4b ist in der dritten Richtung D3 kontinuierlich mit dem linearen Abschnitt 4a und ist in der zweiten Richtung D2 kontinuierlich mit dem ungemusterten Abschnitt 5.Each
Jeder der ungemusterten Abschnitte 5 ist ein folienförmiger Abschnitt der leitfähigen Schicht 3 und ist in der zweiten Richtung D2 kontinuierlich mit dem gemusterten Abschnitt 4. Das heißt, jeder der ungemusterten Abschnitte 5 weist eine ebene Form auf, die sich in einer Richtung parallel zu der einen Oberfläche 2a erstreckt. Jeder der Vielzahl von ungemusterten Abschnitten 5 verbindet benachbarte gemusterte Abschnitte 4 miteinander. Unter der Vielzahl von ungemusterten Abschnitten 5 ist ein ungemusterter Abschnitt, der am Ende in der zweiten Richtung D2 positioniert ist, kontinuierlich mit einem gemusterten Abschnitt 4.Each of the
Die Dicke jedes der ungemusterten Abschnitte 5 in der dritten Richtung D3 ist kleiner als die Dicke jedes der gemusterten Abschnitte 4 in der dritten Richtung D3. Jeder ungemusterte Abschnitt 5 weist eine Dicke auf, die die Transparenz nicht beeinträchtigt, z. B. eine Dicke, bei der der Transmissionsgrad, bzw. Durchlassgrad für das sichtbare Licht 90 % oder mehr beträgt. Die Breite des ungemusterten Abschnitts 5 in der zweiten Richtung D2 ist größer als die Breite jedes gemusterten Abschnitts 4 in der zweiten Richtung D2.The thickness of each of the
In der Vielzahl von gemusterten Abschnitten 4 und der Vielzahl von ungemusterten Abschnitten 5 sind die CNTs ausgerichtet, bzw. orientiert. In dem gemusterten Abschnitt 4 sind die CNTs in einer Richtung entlang der ersten Richtung D1 ausgerichtet. Die Richtung entlang der ersten Richtung D1 bedeutet eine Richtung, die einen Winkel von weniger als 45 Grad in Bezug auf die erste Richtung D1 definiert. In dem ungemusterten Abschnitt 5 sind die CNTs in einer Richtung entlang der zweiten Richtung D2 ausgerichtet. Die Richtung entlang der zweiten Richtung D2 bedeutet eine Richtung, die einen Winkel von weniger als 45 Grad in Bezug auf die zweite Richtung D2 definiert.The CNTs are aligned or oriented in the plurality of patterned
Die Formulierung, dass die CNTs ausgerichtet, bzw. orientiert sind, bedeutet hier, dass die Richtungen, in denen sich die CNTs erstrecken und ausbreiten, aufeinander ausgerichtet, bzw. abgestimmt sind. Die Orientierungsrichtung der CNTs wird durch ein Orientierungsbewertungsverfahren, bzw. Ausrichtungsbewertungsverfahren mittels Bildverarbeitung eines Elektronenmikroskopbildes gemessen. Die Bewertungselemente der Orientierung durch das Orientierungsbewertungsverfahren gehören eine Orientierungsrichtung und eine Orientierungsgröße, bzw. ein Orientierungsbetrag (engl. orientation magnitude). Die Orientierungsrichtung und die Orientierungsgröße werden durch das folgende Verfahren unter Verwendung eines Elektronenmikroskops und eines Messgeräts gemessen, das ein Bild des Elektronenmikroskops analysiert und die Orientierungsrichtung der CNTs misst.The formulation that the CNTs are aligned or oriented means here that the directions in which the CNTs extend and spread are aligned or coordinated with one another. The orientation direction of the CNTs is measured by an orientation evaluation method using image processing of an electron microscope image. The evaluation elements of the orientation through the orientation evaluation method include an orientation direction and an orientation magnitude. The orientation Direction and the orientation quantity are measured by the following method using an electron microscope and a measuring instrument that analyzes an image of the electron microscope and measures the orientation direction of the CNTs.
Zunächst wird unter Verwendung eines Rasterelektronenmikroskops ein Elektronenmikroskopbild eines zu messenden Gegenstandes erlangt. In diesem Fall wird als Beispiel die Vergrößerung auf etwa x30 k eingestellt, die Beschleunigungsspannung auf etwa 1,5 kV eingestellt, und das Bild wird an 3 Stellen erlangt.First, an electron microscope image of an object to be measured is obtained using a scanning electron microscope. In this case, as an example, the magnification is set to about x30 k, the acceleration voltage is set to about 1.5 kV, and the image is acquired at 3 locations.
Anschließend wird das mit dem Elektronenmikroskop erlangte Bild geschnitten (engl. trimmed), um einen beliebigen Abschnitt auszuschneiden, um eine Größe aufzuweisen, die für eine als nächstes durchzuführende Bildverarbeitung verwendet wird.Subsequently, the image obtained with the electron microscope is trimmed to cut out an arbitrary portion to have a size used for image processing to be performed next.
Anschließend wird die Bildverarbeitung unter Verwendung einer Bildverarbeitungssoftware durchgeführt, um den Orientierungswinkel (d.h. die Orientierungsrichtung) und die Orientierungsgröße zu erhalten. Ein Durchschnittswert der erhaltenen Orientierungswinkel an drei Stellen und ein Durchschnittswert der erhaltenen Orientierungsgrößen an drei Stellen wird berechnet. Das heißt, das arithmetische Mittel aus jedem der erhaltenen Orientierungswinkel und Orientierungsgrößen wird berechnet.Then, image processing is performed using image processing software to obtain the orientation angle (i.e., the orientation direction) and the orientation size. An average value of the orientation angles obtained at three locations and an average value of the orientation quantities obtained at three locations are calculated. That is, the arithmetic mean of each of the obtained orientation angles and orientation quantities is calculated.
Als Bildverarbeitungssoftware wird das „Non-destructive paper surface fiber orientation analysis program FiberOri8single03.exe (V. 8.03.)“ verwendet. Diese Software ist erhältlich bei „http://www.enomae.com/FiberOri/index.htm“. In dieser Software werden der Orientierungswinkel und die Orientierungsgröße durch Binarisierung eines Mikroskopbildes und Durchführung einer FourierTransformation berechnet. Der berechnete Orientierungswinkel (d. h. der Orientierungswinkel (Grad)) gibt einen Winkel an, der relativ zur Links-Rechts-Richtung des Bildes definiert ist. Die berechnete Orientierungsgröße (d. h. die Orientierungsintensität) gibt die Stärke der Orientierung an. Die Orientierungsgröße wird durch einen numerischen Wert von 1 oder mehr dargestellt. Ein numerischer Wert im Bereich von 1,0 bis 1,1 gibt keine Orientierung an. Ein numerischer Wert im Bereich größer als 1,1 und kleiner als 1,2 gibt an, dass die Orientierung vorhanden ist. Ein numerischer Wert von 1,2 oder mehr gibt eine starke Orientierung an.The “Non-destructive paper surface fiber orientation analysis program FiberOri8single03.exe (V. 8.03.)” is used as image processing software. This software is available at “http://www.enomae.com/FiberOri/index.htm”. In this software, the orientation angle and the orientation size are calculated by binarizing a microscope image and performing a Fourier transformation. The calculated orientation angle (i.e., the orientation angle (degrees)) indicates an angle defined relative to the left-right direction of the image. The calculated orientation magnitude (i.e. the orientation intensity) indicates the strength of the orientation. The reference size is represented by a numerical value of 1 or more. A numerical value in the range 1.0 to 1.1 does not provide any orientation. A numeric value in the range greater than 1.1 and less than 1.2 indicates that the orientation is present. A numerical value of 1.2 or more indicates strong orientation.
In dem ungemusterten Abschnitt 5 sind die CNTs in einem spärlicheren, bzw. dünner besetzten (engl. sparser) Zustand angeordnet als in dem gemusterten Abschnitt 4. Die Breite des ungemusterten Abschnitts 5 ist größer als 100 µm. Die Dicke des ungemusterten Abschnitts 5 beträgt etwa 1 bis 10 nm. Der Durchmesser der hier verwendeten CNT beträgt etwa 1 bis 2 nm. Die Dicke des ungemusterten Abschnitts 5 liegt nahe dem Durchmesser eines einzelnen CNT und ist sehr dünn. Daher ist der Transmissionsgrad des ungemusterten Abschnitts 5 für das sichtbare Licht hoch.In the
Tabelle 1 zeigt die Ergebnisse einer Messung des Orientierungswinkels und der Orientierungsgröße der CNTs des gemusterten Abschnitts 4 durch das oben beschriebene Orientierungsbewertungsverfahren. Der Orientierungswinkel ist ein Winkel in Bezug auf die erste Richtung D1. [Tabelle 1]
Wie in Tabelle 1 gezeigt, lag die Orientierungsgröße des gemusterten Abschnitts 4 in einem Bereich von größer als 1,1 und kleiner als 1,2, und es wurde somit bestätigt, dass die CNTs orientiert waren. Darüber hinaus wurde bestätigt, dass der Durchschnittswert der Orientierungswinkel des gemusterten Abschnitts 4 0,7 betrug und die Orientierungsrichtung der CNTs eine Richtung entlang der ersten Richtung D1 war.As shown in Table 1, the orientation size of the patterned
Tabelle 2 zeigt die Ergebnisse einer Messung des Orientierungswinkels und der Orientierungsgröße der CNTs in dem ungemusterten Abschnitt 5 durch das oben beschriebene Orientierungsbewertungsverfahren. [Tabelle 2]
Wie in Tabelle 2 gezeigt, betrug die Orientierungsgröße des ungemusterten Abschnitts 5 1,2 oder mehr, und es wurde bestätigt, dass die CNTs stark orientiert waren. Darüber hinaus wurde bestätigt, dass der Durchschnittswert der Orientierungswinkel des ungemusterten Abschnitts 5 93° betrug, und die Orientierungsrichtung der CNTs war eine Richtung entlang der zweiten Richtung D2.As shown in Table 2, the orientation size of the
Es gilt zu beachten, dass der gemusterte Abschnitt 4, in dem die CNTs nicht orientiert waren, gebildet wurde, und dass die Orientierungsrichtung und die Orientierungsgröße der CNTs durch das oben beschriebene Orientierungsbewertungsverfahren gemessen wurden. Die Messergebnisse für diesen Fall sind in Tabelle 3 gezeigt. [Tabelle 3]
Wie in Tabelle 3 gezeigt, lag die Orientierungsgröße in diesem Fall im Bereich von 1,0 bis 1,1. Da die CNTs nicht orientiert sind, war der Orientierungswinkel nicht einheitlich.As shown in Table 3, the orientation size in this case was in the range of 1.0 to 1.1. Since the CNTs are not oriented, the orientation angle was not uniform.
Als nächstes ist ein Verfahren zur Herstellung der transparenten Heizeinrichtung 1 des vorliegenden Ausführungsbeispiels beschrieben. Zunächst wird, wie in
Der Filter 11 wird verwendet, um die CNTs vom Dispersionsmedium zu separieren und die CNTs einzufangen. Der Filter 11 ist ein poröser Körper mit einer Vielzahl von Poren. Die Größe der Vielzahl der Poren ist eine Größe, die es erlaubt, dass das Dispersionsmedium durchgelassen wird, es aber nicht erlaubt, dass die CNTs durchgelassen werden. Als Filter 11 wird zum Beispiel ein Membranfilter verwendet.The
Der Resist 12 ist ein Abdeckmaterial, das eine Oberfläche des Filters 11 bedeckt. Der Resist 12 ist ein dichter Körper, der keine Löcher aufweist. Der Resist 12 weist Hohlraumabschnitte 12a zur Bildung der Vielzahl von gemusterten Abschnitten 4 und Abdeckabschnitte 12b auf, die den Filter 11 bedecken. Die Hohlraumabschnitte 12a befinden sich in Gebieten, in denen die Vielzahl von gemusterten Abschnitten 4 in einer Region auf der einen Oberfläche des Filters 11 gebildet werden sollen. Die Gestaltung, bzw. das Layout der Hohlraumabschnitte 12a ist das gleiche wie das Layout der Vielzahl von gemusterten Abschnitten 4. Die Breite des Hohlraumabschnitts 12a, die der Breite des gemusterten Abschnitts 4 entspricht, ist kleiner als die Durchschnittslänge der CNTs oder die Durchschnittslänge der Bündel von CNTs (d. h. der Bündel). Die Abdeckungsabschnitte 12b befinden sich in Gebieten, in denen die ungemusterten Abschnitte 5 in der Region auf einer Oberfläche des Filters 11 gebildet werden sollen.The resist 12 is a covering material that covers a surface of the
Anschließend wird ein Vorgang eines Einfangens von CNTs auf der einen Oberfläche des Filters 11 durchgeführt. Bei diesem Vorgang wird, wie in
In diesem Fall sind die Röhre 13 und der Filter 11 so an Positionen angeordnet, dass der Strom, bzw. der Fluss des CNT-Dispersionsmediums aus der Röhre 13 in Richtung des Filters 11 der Fluss entlang der ersten Richtung D1 wird. Insbesondere sind, wie in
Wie in
Die CNTs werden in den Hohlraumabschnitten 12a und auf der Oberfläche des Abdeckungsabschnitts 12b des Resists 12 eingefangen. Infolgedessen wird, wie in
Anschließend wird ein Vorgang eines Übertragens der leitfähigen Schicht 3 auf das Substrat 2 durchgeführt. Wie in
Als nächstes ist die Beziehung zwischen der Orientierungsrichtung der CNTs und der Leichtigkeit der Wärmeleitung in dem aus den CNTs bestehenden Film beschrieben. Die vorliegenden Erfinder untersuchten den Unterschied in der Wärmeleitung zwischen vier Filmen mit unterschiedlicher Orientierungsrichtung der CNTs.Next, the relationship between the orientation direction of the CNTs and the ease of heat conduction in the film composed of the CNTs is described. The present inventors studied the difference in heat conduction between four films with different orientation directions of CNTs.
Jeder der vier Filme wird auf einem PC-Substrat gebildet. Die Dicke der vier Filme ist einheitlich, bzw. gleichmäßig. Wie in
Eine Länge L1 der ersten Region 21 in der x-Richtung beträgt 50 mm. Eine Länge L2 der ersten Region 21 in y-Richtung beträgt 20 mm. Eine Länge L3 und eine Länge L4 der jeweiligen Seiten der zweiten Region 22 beträgt 10 mm.A length L1 of the
Die vier Filme weisen jeweils die Orientierungsrichtungen 0°, 45°, 90° und zufällig in Bezug auf die x-Richtung auf. Die Richtung, die 0° in Bezug auf die x-Richtung definiert, ist die x-Richtung. Die Richtung, die 90° in Bezug auf die x-Richtung definiert, ist die y-Richtung. Die Orientierung der CNTs ist in einem gesamten Film gleich. Jeder der vier Filme wird aus demselben Film ausgeschnitten, in dem die CNTs in eine Richtung orientiert sind. Die Orientierungsgrößen der Filme, die mit dem oben beschriebenen Orientierungsbewertungsverfahren gemessen wurden, betrugen 1,12, 1,13 und 1,20.The four films each have the
Die Elektroden 23 und 24 sind an gegenüberliegenden Enden der ersten Region 21 in x-Richtung ausgebildet. Wenn ein Strom zwischen den Elektroden 23 und 24 verursacht wird, fließt der Strom durch die erste Region 21, und die erste Region 21 erzeugt Wärme. In der zweiten Region 22 fließt jedoch kein Strom, und die zweite Region 22 erzeugt keine Wärme. Wenn die erste Region 21 Wärme erzeugt, wird die Wärme durch Wärmeleitung von der ersten Region 21 auf die zweite Region 22 übertragen. Daher wurde der Strom veranlasst, zwischen den Elektroden 23 und 24 zu fließen, und die Temperatur an einem Punkt B in der zweiten Region 22 wurde gemessen, als die Temperatur an einem Punkt A in der ersten Region 21 etwa 35 °C erreichte. Auf diese Weise wurde die Leichtigkeit einer Wärmeübertragung in y-Richtung jedes Films untersucht. Die Raumtemperatur betrug zu dieser Zeit etwa 25 °C. Die Messergebnisse sind in Tabelle 4 und
Wie in Tabelle 4 gezeigt, war die Temperatur des Punktes B am niedrigsten, wenn der Film eine Orientierungsrichtung von 0° aufwies, und die Temperatur des Punktes B war am höchsten, wenn der Film eine Orientierungsrichtung von 90° aufwiese. Die Temperatur des Punktes B des Films, der die Orientierungsrichtung von 45° aufwies, war fast die gleiche wie die Temperatur des Punktes B des Films, der keine Orientierung aufwies. Wie in
Dementsprechend wurde festgestellt, dass die Wärmeübertragung in y-Richtung eher auftritt, wenn die Orientierungsrichtung größer als 45° und gleich wie oder kleiner als 90° ist, verglichen mit dem Fall, in dem die CNTs keine Orientierung aufweisen. Die Orientierungsrichtung, die größer als 45° und gleich wie oder kleiner als 90° ist, ist dieselbe wie die Orientierungsrichtung, die einen Winkel von weniger als 45° in Bezug auf die y-Richtung definiert.Accordingly, it was found that heat transfer in the y-direction is more likely to occur when the orientation direction is greater than 45° and equal to or less than 90°, compared to the case where the CNTs have no orientation. The orientation direction that is greater than 45° and equal to or less than 90° is the same as the orientation direction that defines an angle of less than 45° with respect to the y-direction.
Nachfolgend sind die Wirkungen der transparenten Heizeinrichtung 1 des vorliegenden Ausführungsbeispiels beschrieben. Die transparente Heizeinrichtung 1 des vorliegenden Ausführungsbeispiels wird mit einer transparenten Heizeinrichtung 1 eines Vergleichsbeispiels verglichen. Die transparente Heizeinrichtung 1 des Vergleichsbeispiels unterscheidet sich von der transparenten Heizeinrichtung 1 des vorliegenden Ausführungsbeispiels dadurch, dass CNTs nicht in jedem der gemusterten Abschnitte 4 und der ungemusterten Abschnitte 5 orientiert sind. Andere Konfigurationen der transparenten Heizeinrichtung 1 des Vergleichsbeispiels sind die gleichen wie die der transparenten Heizeinrichtung 1 des vorliegenden Ausführungsbeispiels.The effects of the
In der transparenten Heizeinrichtung 1 des Vergleichsbeispiels erzeugt die leitfähige Schicht 3 Wärme durch elektrische Leitung. Aufgrund des Dickenunterschieds zwischen dem gemusterten Abschnitt 4 und dem ungemusterten Abschnitt 5 ist jedoch die Menge, bzw. das Ausmaß der Wärmeerzeugung zwischen dem gemusterten Abschnitt 4 und dem ungemusterten Abschnitt 5 unterschiedlich. Das heißt, da der gemusterte Abschnitt 4 dicker ist als der ungemusterte Abschnitt 5, erzeugt der gemusterte Abschnitt 4 mehr Wärme als der ungemusterte Abschnitt 5. Daher ist die Temperatur des ungemusterten Abschnitts 5 niedriger als die des gemusterten Abschnitts 4, und eine Temperaturungleichmäßigkeit tritt in einer ebenen Richtung parallel zu der einen Oberfläche 2a des Substrats 2 auf. Die Temperaturungleichmäßigkeit wird umso beachtlicher, je größer das Intervall zwischen den benachbarten gemusterten Abschnitten 4 ist, d. h. je größer die Breite des ungemusterten Abschnitts 5 ist, um die Transparenz der leitfähigen Schicht 3 zu gewährleisten.In the
In der transparenten Heizeinrichtung 1 des vorliegenden Ausführungsbeispiels sind die CNTs, die den ungemusterten Abschnitt 5 bilden, in der Richtung orientiert, die den Winkel von weniger als 45 Grad in Bezug auf die zweite Richtung D2 definiert. Wie oben beschrieben, ist es wahrscheinlicher, dass die Wärmeübertragung in der y-Richtung auftritt, wenn die Orientierungsrichtung der CNTs den Winkel von weniger als 45 Grad in Bezug auf die y-Richtung definiert, als wenn die CNTs nicht orientiert sind. Daher leitet der ungemusterte Abschnitt 5 im Vergleich zur transparenten Heizeinrichtung des Vergleichsbeispiels die Wärme leicht in die zweite Richtung D2. Das heißt, die Wärme wird leicht vom gemusterten Abschnitt 4 zum gesamten ungemusterten Abschnitt 5 geleitet. Infolgedessen kann der Temperaturunterschied zwischen den gemusterten Abschnitten 4 und den ungemusterten Abschnitten 5 verringert werden, und die Temperaturungleichmäßigkeit in der ebenen Richtung der transparenten Heizeinrichtung 1 kann reduziert werden.In the
Mit der transparenten Heizeinrichtung 1 des vorliegenden Ausführungsbeispiels werden die folgenden Wirkungen erzielt.
- (1) Die CNTs, die
den linearen Abschnitt 4a des gemusterten Abschnitts 4 bilden, sind in der Richtung orientiert, die einen Winkel von wenigerals 45 Grad in Bezug auf die erste Richtung D1 definiert. Der Fluss fließt leicht in der Orientierungsrichtung der CNTs. Daher kann der elektrische Widerstand des gemusterten Abschnitts 4 im Vergleich zu der transparenten Heizeinrichtung 1 des Vergleichsbeispiels verringert werden. - (2)
Der ungemusterte Abschnitt 5 ist direkt mitdem gemusterten Abschnitt 4 verbunden, ohne dass eine Haftschicht dazwischen angeordnet ist. Dies erleichtert eine Wärmeleitung vondem gemusterten Abschnitt 4 zudem ungemusterten Abschnitt 5 im Vergleich zu einem Fall, in dem der gemusterte Abschnitt 4 und der ungemusterte Abschnitt 5 über eine Haftschicht verbunden sind. - (3) Die Breite des gemusterten Abschnitts 4 in der zweiten Richtung D2 ist schmaler als die Durchschnittslänge der CNTs oder die Durchschnittslänge der Bündel von CNTs. Dementsprechend können die CNTs, wenn die CNT-Dispersion
durch den Filter 11 gefiltert wird, der mit dem Resist 12 bedeckt ist, umden linearen Abschnitt 4a des gemusterten Abschnitts 4 zu bilden, in der ersten Richtung D1 oder einer Richtung nahe der ersten Richtung D1 orientiert sein.
- (1) The CNTs constituting the
linear portion 4a of the patternedportion 4 are oriented in the direction defining an angle of less than 45 degrees with respect to the first direction D1. The flow flows easily in the orientation direction of the CNTs. Therefore, the electrical resistance of the patternedsection 4 can be reduced compared to thetransparent heater 1 of the comparative example. - (2) The
unpatterned portion 5 is directly bonded to the patternedportion 4 without interposing an adhesive layer. This facilitates heat conduction from the patternedportion 4 to theunpatterned portion 5 compared to a case where the patternedportion 4 and theunpatterned portion 5 are bonded via an adhesive layer. - (3) The width of the patterned
portion 4 in the second direction D2 is narrower than the average length of the CNTs or the average length of the bundles of CNTs. Accordingly, when the CNT dispersion is filtered by thefilter 11 covered with the resist 12 to form thelinear portion 4a of the patternedportion 4, the CNTs can be in the first direction D1 or a direction close to the first direction D1 be oriented.
(Andere Ausführungsbeispiele)(Other embodiments)
-
(1) Bei dem oben beschriebenen Ausführungsbeispiel sind die CNTs, die den linearen Abschnitt 4a des gemusterten Abschnitts 4 bilden, orientiert. Die CNTs, die den linearen Abschnitt 4a bilden, können jedoch auch keine Orientierung aufweisen. Selbst in diesem Fall kann die Temperaturungleichmäßigkeit in der planaren Richtung der transparenten Heizeinrichtung 1 verringert werden.(1) In the embodiment described above, the CNTs constituting the
linear portion 4a of the patternedportion 4 are oriented. However, the CNTs that form thelinear section 4a may also have no orientation. Even in this case, the temperature unevenness in the planar direction of thetransparent heater 1 can be reduced. -
(2) In dem oben beschriebenen Ausführungsbeispiel werden die gemusterten Abschnitte 4 und die ungemusterten Abschnitte 5 gleichzeitig gebildet. Dementsprechend sind die gemusterten Abschnitte 4 und die ungemusterten Abschnitte 5 direkt miteinander fortlaufend. Die gemusterten Abschnitte 4 und die ungemusterten Abschnitte 5 können jedoch getrennt ausgebildet und dann über eine Haftschicht miteinander verbunden werden.(2) In the above-described embodiment, the
patterned portions 4 and theunpatterned portions 5 are formed simultaneously. Accordingly, thepatterned sections 4 and theunpatterned sections 5 are directly continuous with each other. However, thepatterned portions 4 and theunpatterned portions 5 may be formed separately and then bonded together via an adhesive layer. -
(3) In dem oben beschriebenen Ausführungsbeispiel sind bei dem Vorgang des Einfangens der CNTs die Röhre 13 und der Filter 11 an unterschiedlichen Positionen in der ersten Richtung D1 angeordnet. Dementsprechend fließt die CNT-Dispersion durch die Hohlraumabschnitte 12a des Resists 12 entlang der ersten Richtung D1. Abgesehen von der Röhre 13 ist jedoch neben dem Resist 12 eine Zuführungsöffnung für die Zufuhr eines Gases wie Stickstoffgas angeordnet. Das Gas strömt von der Zuführungsöffnung in eine Richtung entlang der ersten Richtung D1. Auf diese Weise kann die aus der Röhre 13 zugeführte CNT-Dispersion veranlasst werden, durch den Hohlraumabschnitt 12a des Resists 12 entlang der ersten Richtung D1 zu fließen.(3) In the above-described embodiment, in the process of trapping the CNTs, the
tube 13 and thefilter 11 are arranged at different positions in the first direction D1. Accordingly, the CNT dispersion flows through thecavity portions 12a of the resist 12 along the first direction D1. However, apart from thetube 13, a supply opening for supplying a gas such as nitrogen gas is arranged next to the resist 12. The gas flows from the supply port in a direction along the first direction D1. In this way, the CNT dispersion supplied from thetube 13 can be caused to flow through thecavity portion 12a of the resist 12 along the first direction D1. - (4) Die vorliegende Offenbarung ist nicht auf die vorstehende Beschreibung des Ausführungsbeispiels beschränkt und kann in geeigneter Weise modifiziert werden und umfasst somit verschiedene Modifikationen und Abwandlungen in äquivalenten Bereichen. Die oben beschriebenen Ausführungsbeispiele sind nicht unabhängig voneinander und können in geeigneter Weise kombiniert werden, es sei denn, die Kombination ist offensichtlich unmöglich. In jedem der oben beschriebenen Ausführungsbeispiele sind einzelne Elemente oder Merkmale eines bestimmten Ausführungsbeispiels nicht notwendigerweise wesentlich, es sei denn, es wird ausdrücklich angegeben, dass die Elemente oder die Merkmale wesentlich sind, oder es sei denn die Elemente oder die Merkmale sind im Prinzip offensichtlich wesentlich. Wenn ferner in jedem der oben beschriebenen Ausführungsbeispiele auf numerische Werte wie die Anzahl, die Menge, den Bereich und dergleichen der Bestandselemente des Ausführungsbeispiels Bezug genommen wird, ist die vorliegende Offenbarung nicht auf die spezifische Anzahl beschränkt, es sei denn, die numerischen Werte sind ausdrücklich unerlässlich, oder die numerischen Werte sind offensichtlich grundsätzlich auf eine bestimmte Anzahl beschränkt, und dergleichen. Darüber hinaus sind in jedem der oben beschriebenen Ausführungsbeispiele bei der Referenz auf das Material, die Form, die Lagebeziehung und dergleichen der Komponenten und dergleichen die Komponenten nicht auf das Material, die Form, die Lagebeziehung und dergleichen beschränkt, außer in dem Fall, in dem die Komponenten ausdrücklich festgelegt sind, und außer in dem Fall, in dem die Komponenten grundsätzlich auf ein bestimmtes Material, eine bestimmte Form, eine bestimmte Lagebeziehung und dergleichen beschränkt sind.(4) The present disclosure is not limited to the above description of the embodiment and may be appropriately modified, thus including various modifications and variations in equivalent areas. The embodiments described above are not independent of each other and may be appropriately combined unless the combination is obviously impossible. In each of the embodiments described above, individual elements or features of a particular embodiment are not necessarily essential unless it is expressly stated that the elements or features are essential or unless the elements or features are obviously essential in principle . Further, in each of the above-described embodiments, when reference is made to numerical values such as the number, quantity, range, and the like of the constituent elements of the embodiment, the present disclosure is not limited to the specific number unless the numerical values are express essential, or the numerical values are obviously fundamentally limited to a certain number, and the like. Furthermore, in each of the above-described embodiments, when referring to the material, shape, positional relationship and the like of the components and the like, the components are not limited to the material, shape, positional relationship and the like except in the case where the components are expressly specified, and except in the case where the components are fundamentally limited to a specific material, a specific shape, a specific positional relationship and the like.
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Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2020119744A (en) | 2019-01-23 | 2020-08-06 | 株式会社デンソー | Carbon nano-tube pattern wiring, transparent conductive substrate having the same, and heater |
JP2021062595A (en) | 2019-10-11 | 2021-04-22 | 呉剛 | Cutting device for ceramic tile for inner packaging |
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