DE112016003002T5 - Stabilized quantum dot structure and method for producing a stabilized quantum dot structure - Google Patents
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Abstract
Eine stabilisierte Quantenpunktstruktur zur Verwendung in einer Leuchtdiode (LED) umfasst gemäß einer Ausführungsform ein lumineszierendes Teilchen, das einen oder mehrere Halbleiter umfasst, eine Pufferschicht über dem lumineszierenden Teilchen, wobei die Pufferschicht ein amorphes Material umfasst, und eine Sperrschicht über der Pufferschicht, wobei die Sperrschicht Sauerstoff, Stickstoff und/oder Kohlenstoff enthält. Gemäß einer weiteren Ausführungsform umfasst die stabilisierte Quantenpunktstruktur ein lumineszierendes Teilchen, das einen oder mehrere Halbleiter umfasst, und eine behandelte Pufferschicht, die amorphes Siliziumdioxid über dem lumineszierenden Teilchen umfasst, wobei die stabilisierte Quantenpunktstruktur eine Quantenausbeute von mindestens etwa 0,7 aufweist, wenn diese einem Blaulichtstrom von etwa 30 W/cm2 bei einer Temperatur von 80 bis 85°C und einer relativen Feuchtigkeit von 5% für 500 Stunden ausgesetzt ist.A stabilized quantum dot structure for use in a light emitting diode (LED) according to one embodiment comprises a luminescent particle comprising one or more semiconductors, a buffer layer over the luminescent particle, the buffer layer comprising an amorphous material, and a barrier layer over the buffer layer Barrier layer contains oxygen, nitrogen and / or carbon. In another embodiment, the stabilized quantum dot structure comprises a luminescent particle comprising one or more semiconductors and a treated buffer layer comprising amorphous silica over the luminescent particle, wherein the stabilized quantum dot structure has a quantum efficiency of at least about 0.7, if one Exposed to blue light flux of about 30 W / cm 2 at a temperature of 80 to 85 ° C and a relative humidity of 5% for 500 hours.
Description
Verwandte AnmeldungRelated Application
Die vorliegende Erfindung beansprucht die Priorität gemäß 35 U.S.C §119(e) der am 30. Juni 2015 eingereichten vorläufigen U.S. Patentanmeldung Nr. 62/186,698, die in ihrer Gesamtheit hierin durch Bezugnahme aufgenommen ist.The present invention claims priority under 35 U.S.C. §119 (e) of U.S. provisional application filed on Jun. 30, 2015. Patent Application No. 62 / 186,698, which is incorporated herein by reference in its entirety.
Technisches GebietTechnical area
Die vorliegende Erfindung betrifft im Allgemeinen lichtemittierende Vorrichtungen, und insbesondere stabilisierte Quantenpunktstrukturen für Beleuchtungs- und Anzeigeanwendungen.The present invention relates generally to light emitting devices, and more particularly to stabilized quantum dot structures for lighting and display applications.
Hintergrundbackground
Lumineszierende Quantenpunkte sind als einstellbare Schmalband-Lichtabwärtswandler vielversprechend, um herkömmliche Leuchtstoffe zu ergänzen und zu ersetzen. Ein abwärtskonvertierender Quantenpunkt oder Leuchtstoff kann Licht einer bestimmten Wellenlänge (beispielsweise Blau) absorbieren und Licht bei einer längeren Wellenlänge (zum Beispiel Rot) emittieren. Eine der Haupteinschränkungen der Quantenpunkte als Abwärtswandler für Beleuchtungs- und Anzeigeanwendungen ist deren Instabilität unter hohen Lichtstrombedingungen und/oder erhöhten Temperaturbedingungen, insbesondere in Gegenwart von Umgebungssauerstoff und -feuchtigkeit. Die Belastung durch derartige oxidative und hydrolytische Bedingungen kann zu einer fortschreitenden Zersetzung der Quantenpunktstruktur, zu einer Verschlechterung der Abwärtskonvertierungseffizienz und zu spektralen Veränderungen in dem abwärtskonvertierten Licht führen.Luminescent quantum dots are promising as adjustable narrowband down-light converters to complement and replace conventional phosphors. A down-converting quantum dot or phosphor can absorb light of a particular wavelength (e.g., blue) and emit light at a longer wavelength (e.g., red). One of the main limitations of quantum dots as buck converters for lighting and display applications is their instability under high luminous flux conditions and / or elevated temperature conditions, especially in the presence of ambient oxygen and moisture. The stress of such oxidative and hydrolytic conditions can lead to progressive decomposition of the quantum dot structure, deterioration of the down-conversion efficiency, and spectral changes in the down-converted light.
Kurze Zusammenfassung der ErfindungBrief summary of the invention
Es wurde eine stabilisierte Quantenpunktstruktur mit einer ausgezeichneten Stabilität während der Verwendung in einer lichtemittierenden Vorrichtung entwickelt.A stabilized quantum dot structure having excellent stability during use in a light-emitting device has been developed.
Gemäß einer Ausführungsform umfasst eine stabilisierte Quantenpunktstruktur ein lumineszierendes Teilchen, das einen oder mehrere Halbleiter umfasst, eine Pufferschicht über dem lumineszierenden Teilchen, wobei die Pufferschicht ein amorphes Material umfasst, und eine Sperrschicht über der Pufferschicht, wobei die Sperrschicht Sauerstoff, Stickstoff und/oder Kohlenstoff umfasst.In one embodiment, a stabilized quantum dot structure comprises a luminescent particle comprising one or more semiconductors, a buffer layer over the luminescent particle, the buffer layer comprising an amorphous material, and a barrier layer over the buffer layer, wherein the barrier layer is oxygen, nitrogen and / or carbon includes.
Gemäß einer weiteren Ausführungsform umfasst die stabilisierte Quantenpunktstruktur ein lumineszierendes Teilchen, das einen oder mehrere Halbleiter umfasst, und eine Pufferschicht über dem lumineszierenden Teilchen, wobei die Pufferschicht ein amorphes Material und eine zusätzliche chemische Spezies zur Stabilisierung der Quantenpunktstruktur umfasst.In another embodiment, the stabilized quantum dot structure comprises a luminescent particle comprising one or more semiconductors and a buffer layer over the luminescent particle, the buffer layer comprising an amorphous material and an additional chemical species for stabilizing the quantum dot structure.
Gemäß einer weiteren Ausführungsform umfasst die stabilisierte Quantenpunktstruktur ein lumineszierendes Teilchen, das einen oder mehrere Halbleiter umfasst, und eine behandelte Pufferschicht, die amorphes Siliziumdioxid umfasst, das über dem lumineszierenden Teilchen liegt, wobei die stabilisierte Quantenpunktstruktur eine Quantenausbeute von wenigstens etwa 0,7 aufweist, wenn sie einem Blaulichtstrom von 30 W/cm2 bei einer Temperatur von 80 bis 85°C und einer relativen Feuchtigkeit von 5% für 500 Stunden ausgesetzt ist.In another embodiment, the stabilized quantum dot structure comprises a luminescent particle comprising one or more semiconductors and a treated buffer layer comprising amorphous silica overlying the luminescent particle, the stabilized quantum dot structure having a quantum efficiency of at least about 0.7. when exposed to a blue light flux of 30 W / cm 2 at a temperature of 80 to 85 ° C and a relative humidity of 5% for 500 hours.
Ein Verfahren zur Herstellung einer stabilisierten Quantenpunktstruktur umfasst: Bilden eines lumineszierenden Teilchens, das einen oder mehrere Halbleiter umfasst; Bilden einer Pufferschicht, die ein amorphes Material umfasst, auf dem lumineszierenden Teilchen, um dadurch ein beschichtetes lumineszierendes Teilchen zu erzeugen; und Bilden einer Sperrschicht, die Sauerstoff, Stickstoff und/oder Kohlenstoff auf dem beschichteten lumineszierenden Teilchen umfasst, um dessen Stabilität zu verbessern, wodurch eine stabilisierte Quantenpunktstruktur gebildet wird.A method for producing a stabilized quantum dot structure comprises: forming a luminescent particle comprising one or more semiconductors; Forming a buffer layer comprising an amorphous material on the luminescent particle thereby to form a coated luminescent particle; and forming a barrier layer comprising oxygen, nitrogen and / or carbon on the coated luminescent particle to enhance its stability, thereby forming a stabilized quantum dot structure.
Ein Verfahren zur Herstellung einer stabilisierten Quantenpunktstruktur umfasst: Bilden eines lumineszierenden Teilchens, das einen oder mehrere Halbleiter umfasst; Bilden einer Pufferschicht, die ein amorphes Material umfasst, auf dem lumineszierenden Teilchen, um dadurch ein beschichtetes lumineszierendes Teilchen zu erzeugen; und Behandeln des beschichteten lumineszierenden Teilchens, um dessen Stabilität zu verbessern und eine stabilisierte Quantenpunktstruktur zu bilden, wobei die stabilisierte Quantenpunktstruktur eine Quantenausbeute von wenigstens etwa 0,7 aufweist, wenn sie einem Blaulichtstrom von 30 W/cm2 bei einer Temperatur von 80 bis 85°C und einer relativen Feuchtigkeit von 5% für 500 Stunden ausgesetzt wird.A method for producing a stabilized quantum dot structure comprises: forming a luminescent particle comprising one or more semiconductors; Forming a buffer layer comprising an amorphous material on the luminescent particle thereby to form a coated luminescent particle; and treating the coated luminescent particle to improve its stability and form a stabilized quantum dot structure, wherein the stabilized quantum dot structure has a quantum efficiency of at least about 0.7 when exposed to a blue light flux of 30 W / cm 2 at a temperature of 80 to 85 ° C and a relative humidity of 5% for 500 hours.
Die Begriffe ”umfassend”, ”einschließlich”, ”enthaltend” und ”haben” werden in der vorliegenden Beschreibung austauschbar als nicht abschließende Begriffe verwendet, um auf die erwähnten Elemente (oder Schritte) Bezug zu nehmen, ohne die nicht erwähnten Elemente (oder Schritte) auszuschließen. The terms "comprising,""including,""containing," and "having" are used interchangeably in the present specification as non-terminological terms to refer to the mentioned elements (or steps) without the non-mentioned elements (or steps ) exclude.
Kurze Beschreibung der ZeichnungenBrief description of the drawings
Ausführliche BeschreibungDetailed description
Definitionendefinitions
Eine erste Vorrichtung, die so beschrieben ist, dass sie ”in optischer Verbindung mit” einer zweiten Vorrichtung ist, ist derart angeordnet, dass Licht von der ersten Vorrichtung die zweite Vorrichtung erreicht oder umgekehrt.A first device, described as being "in optical communication with" a second device, is arranged such that light from the first device reaches the second device or vice versa.
Eine ”dominante Wellenlänge” betrifft eine Wellenlänge von Licht, das die gleiche sichtbare Farbe wie das von einer LED emittierte Licht hat, so wie es vom menschlichen Auge wahrgenommen wird. Die dominante Wellenlänge unterscheidet sich von der Spitzenwellenlänge dahingehend, dass die dominante Wellenlänge die Empfindlichkeit des menschlichen Auges für unterschiedliche Lichtwellenlängen berücksichtigt.A "dominant wavelength" refers to a wavelength of light that has the same visible color as the light emitted by an LED, as perceived by the human eye. The dominant wavelength differs from the peak wavelength in that the dominant wavelength accounts for the sensitivity of the human eye to different wavelengths of light.
Eine Quantenpunktstruktur kann unter Verwendung einer Schrägstrich-Notation (zum Beispiel ”x/y/z”) beschrieben werden, wobei x ein Kern oder eine Schicht ist, der/die unter y liegt, das eine Schicht ist, die unter z liegt. Anders ausgedrückt, ist z eine Schicht, die teilweise oder vollständig y überlagert oder umgibt, das wiederum eine Schicht ist, die teilweise oder vollständig x überlagert oder umgibt.A quantum dot structure may be described using a slash notation (eg, "x / y / z"), where x is a kernel or layer below y, which is a layer below z. In other words, z is a layer that partially or completely overlies or surrounds y, which in turn is a layer that partially or completely overlaps x.
Es versteht sich, dass, wenn ein Element wie eine Schicht, ein Bereich oder ein Substrat derart beschrieben ist, dass es ”auf” einem anderen Element liegt, kann dieses direkt auf dem anderen Element angeordnet sein oder es können auch dazwischen liegende Elemente vorhanden sein. Ferner können relative Begriffe, wie beispielsweise ”innere”, ”äußere”, ”obere”, ”oberhalb”, ”über”, ”darüberliegend”, ”unterhalb”, ”unter”, ”oben”, ”unten” und ähnliche Begriffe hierin verwendet werden, um eine Beziehung zwischen Elementen zu beschreiben. Es versteht sich, dass diese Begriffe Ausrichtungen der Vorrichtung umfassen sollen, die sich von jenen in den Figuren dargestellten unterscheiden.It should be understood that when an element such as a layer, region or substrate is described as being "on top" of another element, it may be disposed directly on top of the other element or intervening elements may also be present , Further, relative terms such as "inner," "outer," "upper," "above," "over," "overlying," "below," "below," "above," "below," and the like may be used herein used to describe a relationship between elements. It should be understood that these terms are intended to encompass orientations of the device that differ from those shown in the figures.
Obwohl die Begriffe erster, zweiter etc. hierin zur Beschreibung verschiedener Elemente, Komponenten, Bereiche, Schichten und/oder Abschnitte verwendet werden können, sollten sie nicht durch diese Begriffe eingeschränkt sein. Diese Begriffe werden lediglich verwendet, um ein Element, eine Komponente, einen Bereich, eine Schicht oder einen Abschnitt von einem anderen Bereich, einer anderen Schicht oder einem anderen Abschnitt zu unterscheiden. Somit könnte ein im Nachfolgenden beschriebenes erstes Element, erste Komponente, erster Bereich, erste Schicht oder erster Abschnitt, als ein zweites Element, zweite Komponente, zweiter Bereich, zweite Schicht oder zweiter Abschnitt bezeichnet werden, ohne von der Lehre der vorliegenden Erfindung abzuweichen.Although the terms first, second, etc. may be used herein to describe various elements, components, regions, layers and / or sections, they should not be limited by these terms. These terms are used only to distinguish one element, component, region, layer or section from another section, layer or section. Thus, a first element described below, first Component, first region, first layer or first portion, may be referred to as a second element, second component, second region, second layer or second portion without departing from the teachings of the present invention.
Die Figuren dienen lediglich der schematische Veranschaulichung. Daher können die tatsächlichen Abmessungen und Formen der Vorrichtungen und Komponenten (beispielsweise Schichtdicken) unterschiedlich sein, und Abweichungen von den Darstellungen als Ergebnis von beispielsweise Herstellungsverfahren und/oder Toleranzen auftreten. Ausführungsformen sollten nicht so ausgelegt werden, dass sie auf die bestimmten Formen der hierin dargestellten Bereiche beschränkt sind, sondern sollen Abweichungen in den Formen umfassen, die beispielsweise bei der Herstellung entstehen. Ein Bereich, der als ein Quadrat oder Rechteck dargestellt oder beschrieben wird, kann aufgrund normaler Herstellungstoleranzen abgerundete oder gekrümmte Strukturen aufweisen. Somit sind die in den Figuren dargestellten Bereiche rein schematischer Natur, und deren Formen sind nicht dazu gedacht, dass sie die genaue Form eines Bereichs einer Vorrichtung darstellen, und den Umfang der Erfindung beschränken.The figures are merely schematic illustrations. Therefore, the actual dimensions and shapes of the devices and components (eg, layer thicknesses) may be different, and deviations from the representations may occur as a result of, for example, manufacturing processes and / or tolerances. Embodiments should not be construed to be limited to the particular shapes of the ranges illustrated herein, but are intended to encompass variations in shapes that arise, for example, in manufacturing. An area shown or described as a square or rectangle may have rounded or curved structures due to normal manufacturing tolerances. Thus, the areas shown in the figures are purely schematic in nature and their shapes are not intended to represent the exact form of a portion of a device, and to limit the scope of the invention.
Die hierin verwendete Terminologie dient nur dem Zweck, bestimmte Ausführungsformen zu beschreiben, und soll die Erfindung nicht beschränken. Wie hierin verwendet, sollen die Singularformen ”ein”, ”eine” und ”der, die, das” auch die Pluralformen einschließen, sofern der Kontext nicht eindeutig etwas anderes angibt. Es versteht sich ferner, dass die Begriffe ”umfassen”, ”umfassend”, ”enthält” und/oder ”enthaltend” das Vorhandensein von angegebenen Merkmalen, ganzen Zahlen, Schritten, Operationen, Elementen und/oder Komponenten angeben, jedoch nicht das Vorhandensein oder Hinzufügen eines oder mehrerer anderer Merkmale, ganzer Zahlen, Schritte, Operationen, Elemente, Komponenten und/oder Gruppen davon ausschließen.The terminology used herein is for the purpose of describing particular embodiments only and is not intended to limit the invention. As used herein, the singular forms "a," "an," and "the," are also intended to include plurals, unless the context clearly indicates otherwise. It is also to be understood that the terms "comprising," "comprising," "containing," and / or "including" indicate the presence of indicated features, integers, steps, operations, elements, and / or components, but not the presence, or Exclude one or more other features, integers, steps, operations, elements, components, and / or groups thereof.
Sofern nicht anders definiert, haben alle Begriffe (einschließlich technischer und wissenschaftlicher Begriffe) die gleiche Bedeutung, wie sie üblicherweise von einem Fachmann auf dem Gebiet, zu dem diese Erfindung gehört, verstanden werden. Es versteht sich ferner, dass die hierin verwendeten Begriffe so zu interpretieren sind, dass sie eine Bedeutung aufweisen, die mit ihrer Bedeutung im Zusammenhang mit dieser Beschreibung und dem relevanten Stand der Technik übereinstimmt, und nicht in einem idealisierten oder übermäßig formalen Sinn zu interpretieren sind, sofern nicht ausdrücklich hierin definiert.Unless otherwise defined, all terms (including technical and scientific terms) have the same meaning as commonly understood by one of ordinary skill in the art to which this invention belongs. It is further understood that the terms used herein are to be interpreted as having a meaning consistent with their meaning in the context of this specification and the relevant prior art, and are not to be interpreted in an idealized or overly formal sense unless expressly defined herein.
Hierin werden verschiedene Ausführungsformen einer stabilisierten Quantenpunktstruktur beschrieben, die eine verbesserte Zuverlässigkeit unter hohen Lichtstrombedingungen und/oder erhöhten Temperaturbedingungen aufweist. Die stabilisierte Quantenpunktstruktur kann einer Zersetzung widerstehen, die durch Umgebungssauerstoff und Umgebungsfeuchtigkeit während einer langen Betriebslebensdauer (beispielsweise > 10.000 Stunden) erzeugt wird.Described herein are various embodiments of a stabilized quantum dot structure having improved reliability under high luminous flux conditions and / or elevated temperature conditions. The stabilized quantum dot structure can withstand degradation generated by ambient oxygen and ambient humidity during a long operating life (eg,> 10,000 hours).
Bezug nehmend auf
Gemäß einer Ausführungsform umfasst die Pufferschicht
Die Herstellung einer Oxidbeschichtung direkt auf der Oberfläche des halbleitenden lumineszierenden Teilchens war zumindest teilweise aufgrund der Unterschiedlichkeit in den Gitterkonstanten und/oder Kristallstrukturen zwischen dem Oxid und dem Halbleiter schwierig bzw. unmöglich. Diese Unterschiedlichkeit kann zu einer ungünstigen Verformung und/oder zu Oberflächenenergiebedingungen führen, die verhindern können, dass das Oxid die lumineszierenden Teilchen reproduzierbar beschichtet. Unter üblichen Flüssigphasenwachstumsbedingungen haben die Erfinder beobachtet, dass Oxide dazu tendieren, diskrete Teilchen und/oder eine teilweise Beschichtung anstelle einer durchgehenden Beschichtung auf der Halbleiteroberfläche zu bilden. Es wird angenommen, dass das Vorhandensein einer Pufferschicht, die ein amorphes Material umfasst, eine geeignete Grenzfläche für ein kontinuierliches Wachstum des Oxids oder eines anderen Materials, wie einer Carbid- oder Nitridverbindung, bereitstellt. The preparation of an oxide coating directly on the surface of the semiconductive luminescent particle was difficult or impossible, at least in part, due to the difference in lattice constants and / or crystal structures between the oxide and the semiconductor. This difference can lead to unfavorable deformation and / or surface energy conditions that can prevent the oxide from reproducibly coating the luminescent particles. Under ordinary liquid phase growth conditions, the inventors have observed that oxides tend to form discrete particles and / or a partial coating instead of a continuous coating on the semiconductor surface. It is believed that the presence of a buffer layer comprising an amorphous material provides a suitable interface for continuous growth of the oxide or other material, such as a carbide or nitride compound.
In
In dem ersten Beispiel kann die zusätzliche chemische Spezies beispielsweise ein Dotierstoff oder eine Ionenspezies wie K und/oder Na sein. Solche zusätzlichen chemischen Spezies können über einen Behandlungsprozess (beispielsweise einen pH-Behandlungsprozess), wie nachfolgend beschrieben, der Pufferschicht zugeführt werden. Das Vorhandensein der zusätzlichen chemischen Spezies kann durch eine energiedispersive Röntgenstrahlenspektroskopie (EDX) bestätigt werden, und das Verfahren kann in einigen Fällen verwendet werden, um die relative Menge der zusätzlichen chemischen Spezies in der Pufferschicht qualitativ zu ermitteln. Beispielsweise kann unter Bezugnahme auf das EDX-Spektrum, das in
In dem weiteren zuvor erwähnten Beispiel kann die behandelte Pufferschicht
Ein lumineszierendes Teilchen
Alternativ kann in Hinblick auf die stabilisierte Quantenpunktstruktur
Wie in
Das Einschränken der Teilchengröße (oder Kristallgröße) eines Halbleitermaterials auf wenige bis einige zehn Nanometer (das heißt, in der Nähe des oder kleiner als der Bohr-Radius eines Exzitons) wird Quantenbeschränkung genannt; elektronische Träger innerhalb dieser sogenannten Quantenpunkte sind räumlich begrenzt. Diskrete Energieniveaus können auftreten, im Gegensatz zu den kontinuierlichen Bändern erlaubter Energien in großvolumigen Halbleitern, und die Bandlückenenergie ist erhöht. Je kleiner die Teilchengröße – und je stärker somit die Beschränkung – desto größer ist der Anstieg. Somit kann die Emissionswellenlänge durch Variieren der Quantenpunktgröße (das heißt, der lumineszierenden Teilchen) gesteuert werden, wobei größere Teilchengrößen mit einer Rotverschiebung der Emission verbunden sind. Für Anwendungen auf Leuchtdioden ist es vorteilhaft, dass das lumineszierende Teilchen blaues Licht absorbiert und das blaue Licht zu einer längeren Emissionswellenlänge (beispielsweise grün, gelb oder rot) abwärts konvertiert. Wie zuvor erwähnt, kann die erste Schale
Alternativ muss das lumineszierende Teilchen
Die unbehandelte oder behandelte Pufferschicht
Die verbesserte Stabilität der stabilisierten Quantenpunktstruktur – die eine oder mehrere Beschichtungen oder Schichten auf einem lumineszierenden Teilchen, wie zuvor beschrieben, umfassen kann – kann durch Vergleich der Quantenausbeute von stabilisierten und nicht-stabilisierten Quantenpunktstrukturen als eine Funktion der Zeit bewiesen werden.
In ähnlicher Weise zeigt
Die Quantenausbeute (QY) kann durch die spektrale Ausgabe einer LED, die in einer kalibrierten Ulbricht-Kugel gemessen wird, bestimmt werden. Die Quantenausbeute ist das Verhältnis der Summe der abwärts konvertierten Photonen zu der Anzahl der absorbierten blauen Photonen (oder Quellen-Photonen). In einem Verfahren wird die Anzahl der blauen absorbierten Photonen (Quellen-Photonen) durch Messen einer (blauen) LED ohne abwärts konvertierendes Material (Quantenpunktstrukturen (QDs)) und anschließend durch Hinzufügen eines abwärts konvertierenden Materials und erneutes Messen der Spektren und durch Bilden der Differenz aus den blauen Photonen ohne Quantenpunkte und den blauen Photonen mit abwärts konvertierendem Material bestimmt. Das heißt, QY = rote Photonen/[(blaue Photonen ohne QDs) – (blaue Photonen mit QDs)].The quantum efficiency (QY) can be determined by the spectral output of an LED measured in a calibrated Ulbricht sphere. The quantum yield is the ratio of the sum of the down converted photons to the number of absorbed blue photons (or source photons). In one method, the number of blue absorbed photons (source photons) is determined by measuring a (blue) LED without down-converting material (QDs) and then by adding a down-converting material and remeasuring the spectra and forming the difference determined from the blue photons without quantum dots and the blue photons with down-converting material. That is, QY = red photons / [(blue photons without QDs) - (blue photons with QDs)].
Die Quantenpunktstruktur gemäß einer beliebigen Ausführungsform gemäß der vorliegenden Erfindung kann als eine lichtemittierende Vorrichtung verwendet werden. Beispielsweise kann mit Bezug auf die schematische Ansicht der
Die lichtemittierende Vorrichtung, die die hierin beschriebenen stabilisierten Quantenpunktstrukturen aufweist, kann eine beliebige Anzahl von verschiedenen Gehäusekonfigurationen aufweisen. Wie aus dem Stand der Technik gut bekannt ist, kann zur Verwendung eines LED-Chips in einer Schaltungsanordnung oder dergleichen ein LED-Chip in einem Gehäuse eingeschlossen werden, um diesen vor Umwelteinflüssen und/oder mechanischen Einflüssen zu schützen und eine Farbauswahl, Lichtfokussierung und dergleichen sicherzustellen. Ein LED-Gehäuse umfasst auch elektrische Leitungen, Kontakte oder Bahnen zur elektrischen Verbindung des LED-Gehäuses mit einer externen Schaltung.The light-emitting device having the stabilized quantum dot structures described herein may have any number of different package configurations. As is well known in the art, to use an LED chip in circuitry or the like, an LED chip may be enclosed in a package to protect it from environmental and / or mechanical influences, and color selection, light focusing, and the like sure. An LED housing also includes electrical leads, contacts or traces for electrically connecting the LED housing to an external circuit.
Ein typisches LED-Gehäuse
Ein weiteres herkömmliches LED-Gehäuse
Ein weiteres beispielhaftes LED-Gehäuse
Im Allgemeinen umfassen die LED-Chips eine oder mehrere aktive Schichten eines Halbleitermaterials, die zwischen gegenüberliegend dotierten Schichten angeordnet sind. Wird eine Vorspannung an die dotierten Schichten angelegt, werden Löcher und Elektronen in die aktive Schicht eingebracht, in der sie rekombinieren, um Licht zu erzeugen. Das Licht wird von der aktiven Schicht und von den verschiedenen Oberflächen der LEDs emittiert. Das Licht wird mit einer Primärwellenlänge durch den LED-Chip emittiert. Die Primärstrahlung kann durch das Wellenlängenumwandlungsmaterial (beispielsweise Leuchtstoff, stabilisierte Quantenpunktstruktur etc.) absorbiert werden, das als Reaktion Licht bei einer Sekundärwellenlänge(n) emittiert. Die Primär- und/oder Sekundärwellenlängen des Lichts können sich vermischen, um eine gewünschte Lichtfarbe zu erhalten. Wie für einen Fachmann ersichtlich ist, können abhängig von der Primärwellenlänge(n) und der Füllmenge des einen oder der mehreren Wellenlängenumwandlungsmaterialien, sowie ihrer Lichtabsorptions-/Emissionseigenschaften verschiedene Farbtemperaturen von weißem Licht durch die LEDs erzeugt werden.In general, the LED chips include one or more active layers of semiconductor material disposed between oppositely doped layers. When a bias voltage is applied to the doped layers, holes and electrons are introduced into the active layer where they recombine to produce light. The light is emitted from the active layer and from the different surfaces of the LEDs. The light is emitted at a primary wavelength through the LED chip. The primary radiation may be absorbed by the wavelength conversion material (eg, phosphor, stabilized quantum dot structure, etc.) that in response emits light at a secondary wavelength (s). The primary and / or secondary wavelengths of light may mix to obtain a desired light color. As one of ordinary skill in the art will appreciate, depending on the primary wavelength (s) and the fill level of the one or more wavelength conversion materials, as well as their light absorption / emission characteristics, different color temperatures of white light may be generated by the LEDs.
Die schematisch in
Die zuvor beschriebenen LED-Komponenten, Gehäuse und lichtemittierenden Vorrichtungen können unter Verwendung von Verfahren, die aus dem Stand der Technik bekannt sind, hergestellt werden, wie beispielsweise in der US-Patentanmeldung mit der Veröffentlichungsnummer 2012/0280261 mit dem Titel ”Light Emitting Diode (LED) for Achieving an Asymmetric Light Output” beschrieben, die hiermit durch Bezugnahme aufgenommen ist. Darüber hinaus können die blauen LED-Chips mit den zuvor erwähnten Quantenpunktstrukturen oder Leuchtstoffen unter Verwendung eines beliebigen geeigneten Verfahrens, wie beispielsweise dem in den US-Patentanmeldungen mit der Veröffentlichungsnummer 2008/0179611 und 2008/0173884 beschriebenen, beschichtet werden, die beide den Titel ”Wafer Level Phosphor Coating Method and Devices Fabricated Utilizing Method” tragen und hiermit durch Bezugnahme aufgenommen sind. Wie in diesen Patentanmeldungen beschrieben ist, können LED-Chips mit Leuchtstoffen, den stabilisierten Quantenpunktstrukturen und/oder anderen Wellenlängenumwandlungsmaterialien beschichtet und/oder besprüht sein. Die LED-Chips können auch unter Verwendung einer elektrophoretischen Abscheidung (EPD), wie beispielsweise mit dem EPD-Verfahren, das in dem
Die hierin beschriebenen lichtemittierenden Vorrichtungen und stabilisierten Quantenpunktstrukturen sind insbesondere in Bezug auf verschiedene Formfaktorleuchten nützlich. Beispielsweise kann jede hierin offenbarte Ausführungsform alternativ mit verschiedenen Arten von Festkörperleuchten, einschließlich Downlights, Troffers, Straßenbeleuchtungen, Überdachungslichtern, Parkhausleuchten, Leuchten, die Wellenleitertechnologie verwenden, und andere Beleuchtungsvorrichtungen, implementiert werden.
Wie dem Fachmann bekannt ist, wurden Lampen unter Verwendung von Festkörperlichtquellen, wie beispielsweise LEDs, in Verbindung mit einem Umwandlungsmaterial, das von den LEDs getrennt oder von diesen entfernt angeordnet ist, entwickelt. Solche Anordnungen sind in dem
Die vorliegende Beschreibung widmet sich nun wieder den stabilisierten Quantenpunktstrukturen, die, wie zuvor beschrieben, in lichtemittierenden Vorrichtungen mit beliebigen unterschiedlichen Gehäuse-, Leuchten- und Lampenkonfigurationen, wie den oben beschriebenen, eingebaut werden können. Im Nachfolgenden ist ein Verfahren zur Herstellung der stabilisierten Quantenpunktstrukturen, die eine verbesserte Stabilität aufweisen können, beschrieben. The present description again addresses the stabilized quantum dot structures which, as described above, can be incorporated in light emitting devices having any of a variety of housing, light and lamp configurations, such as those described above. Hereinafter, a process for producing the stabilized quantum dot structures which can have improved stability is described.
Das Verfahren umfasst das Bilden eines lumineszierenden Teilchens, das einen oder mehrere Halbleiter umfasst, und das Bilden einer Pufferschicht auf dem lumineszierenden Teilchen, die ein amorphes Material aufweist. Dadurch wird ein beschichtetes lumineszierendes Teilchen gebildet. Das beschichtete lumineszierende Teilchen wird behandelt, um eine stabilisierte Quantenpunktstruktur (oder ”ein behandeltes beschichtetes lumineszierendes Teilchen”) zu bilden, das eine Quantenausbeute von wenigstens 0,7 aufweist, nachdem es einem Blaulichtstrom von etwa 30 W/cm2 bei einer Temperatur von 80 bis 85°C und einer relativen Luftfeuchtigkeit von 5% für 500 Stunden ausgesetzt wurde. Zudem oder alternativ dazu kann die stabilisierte Quantenpunktstruktur eine Quantenausbeute von wenigstens etwa 0,6 aufweisen, wenn sie einem Blaulichtstrom von etwa 30 W/cm2 bei einer Temperatur von 80 bis 85°C und einer relativen Feuchtigkeit von 85% für 500 Stunden ausgesetzt wird. Wie im Nachfolgenden beschrieben, kann die Behandlung eine pH-Behandlung oder eine Wärmebehandlung sein.The method comprises forming a luminescent particle comprising one or more semiconductors and forming a buffer layer on the luminescent particle comprising an amorphous material. This forms a coated luminescent particle. The coated luminescent particle is treated to form a stabilized quantum dot structure (or "a treated coated luminescent particle") having a quantum efficiency of at least 0.7, after being exposed to a blue light flux of about 30 W / cm 2 at a temperature of 80 exposed to 85 ° C and a relative humidity of 5% for 500 hours. Additionally or alternatively, the stabilized quantum dot structure may have a quantum efficiency of at least about 0.6 when exposed to a blue light flux of about 30 W / cm 2 at a temperature of 80 to 85 ° C and 85% relative humidity for 500 hours , As described below, the treatment may be a pH treatment or a heat treatment.
Gemäß einer weiteren Ausführungsform umfasst ein Verfahren zur Herstellung einer stabilisierten Quantenpunktstruktur das Bilden eines lumineszierenden Teilchens, das einen oder mehrere Halbleiter umfasst, und das Bilden einer Pufferschicht, die ein amorphes Material umfasst, auf dem lumineszierenden Teilchen, um dadurch ein beschichtetes lumineszierendes Teilchen zu bilden. Eine Sperrschicht, die Sauerstoff, Kohlenstoff und/oder Stickstoff enthält, wird wie zuvor beschrieben, auf dem beschichteten lumineszierenden Teilchen gebildet, um eine stabilisierte Quantenpunktstruktur zu bilden, die eine Quantenausbeute von wenigstens etwa 0,7 aufweist, wenn sie einem blauen Blaulichtstrom von etwa 30 W/cm2 bei einer Temperatur von 80–85°C in einer relativen Feuchtigkeit von 5% für 500 Stunden ausgesetzt wird. Darüberhinaus oder alternativ kann die stabilisierte Quantenpunktstruktur eine Quantenausbeute von wenigstens etwa 0,6 aufweisen, wenn sie einem Blaulichtstrom von etwa 30 W/cm2 bei einer Temperatur von 80 bis 85°C in einer relativen Feuchtigkeit von 85% für 500 Stunden ausgesetzt wird. In einigen Ausführungsformen kann die Pufferschicht eine behandelte Pufferschicht sein, wie zuvor und an anderer Stelle in dieser Beschreibung beschrieben.According to another embodiment, a method for producing a stabilized quantum dot structure comprises forming a luminescent particle comprising one or more semiconductors, and forming a buffer layer comprising an amorphous material on the luminescent particle to thereby form a coated luminescent particle , A barrier layer containing oxygen, carbon and / or nitrogen is formed on the coated luminescent particle as described above to form a stabilized quantum dot structure having a quantum efficiency of at least about 0.7 when exposed to a blue blue light flux of about 30 W / cm 2 at a temperature of 80-85 ° C in a relative humidity of 5% for 500 hours. Additionally or alternatively, the stabilized quantum dot structure may have a quantum efficiency of at least about 0.6 when exposed to a blue light flux of about 30 W / cm 2 at a temperature of 80 to 85 ° C in a relative humidity of 85% for 500 hours. In some embodiments, the buffer layer may be a treated buffer layer as previously described elsewhere in this specification.
Das Behandeln der Pufferschicht zur Bildung eines behandelten beschichteten lumineszierenden Teilchens kann das Erwärmen (Tempern) des beschichteten lumineszierenden Teilchens auf eine erhöhte Temperatur, beispielsweise auf etwa 100°C bis etwa 800°C, beinhalten. Dem Tempern kann eine Reinigung und eine Trocknung des beschichteten lumineszierenden Teilchens folgen, wobei die Reinigung ein Waschen zur Entfernung unerwünschter Nebenprodukte und/oder eine ”Staub”-Entfernung umfassen kann. Typischerweise wird das Tempern bei einer Temperatur im Bereich von etwa 400°C bis etwa 800°C durchgeführt. Eine geeignete Umgebung für das Tempern kann Stickstoff, ein Inertgas, Trockenluft oder eine andere Atmosphäre sein (beispielsweise Umgebungsluft oder ein reaktives Gas wie Wasserstoff, Formiergas, Sauerstoff, fluoriertes Gas usw.). Typischerweise wird das Tempern für eine Dauer von etwa 5 Minuten bis etwa 120 Minuten durchgeführt. In einem Beispiel wird das beschichtete lumineszierende Teilchen in Stickstoff für 5 Minuten bei 500°C erhitzt. Nach dem Tempern wird das lumineszierende Teilchen auf Raumtemperatur gekühlt. Es wird angenommen, dass das Tempern des beschichteten lumineszierenden Teilchens die Verdichtung der Pufferschicht fördert, wodurch es wiederum zu einer Verringerung der atmosphärischen Spezies (zum Beispiel H2O, O2) kommen kann, die die Pufferschicht durchdringt und den/die darunter liegenden Halbleiter erreichen kann/können. Somit kann die stabilisierte Quantenpunktstruktur während des LED-Betriebs einen verringerten Zerfall aufweisen. Im Nachfolgenden wird eine Beschreibung eines möglichen Verdichtungsmechanismus im Falle einer Siliziumdioxid-Pufferschicht beschrieben.Treating the buffer layer to form a treated coated luminescent particle may include heating (annealing) the coated luminescent particle to an elevated temperature, for example, at about 100 ° C to about 800 ° C. Annealing may be followed by cleaning and drying of the coated luminescent particle, which cleaning may include washing to remove unwanted by-products and / or "dust" removal. Typically, annealing is conducted at a temperature in the range of about 400 ° C to about 800 ° C. A suitable annealing environment may be nitrogen, an inert gas, dry air, or other atmosphere (eg, ambient air or a reactive gas such as hydrogen, forming gas, oxygen, fluorinated gas, etc.). Typically, annealing is performed for a period of about 5 minutes to about 120 minutes. In one example, the coated luminescent particle is heated in nitrogen at 500 ° C for 5 minutes. After annealing, the luminescent particle is cooled to room temperature. It is believed that annealing the coated luminescent particle promotes densification of the buffer layer, which in turn may lead to a reduction in the atmospheric species (e.g., H 2 O, O 2 ) that permeates the buffer layer and the underlying semiconductor (s) can / can achieve. Thus, the stabilized quantum dot structure may have a reduced decay during LED operation. Hereinafter, a description will be given of a possible compression mechanism in the case of a silicon dioxide buffer layer.
Ein Effekt des zuvor beschriebenen Temperprozesses kann ein vorübergehendes Quenchen der Emission von dem behandelten beschichteten lumineszierenden Teilchen, wie in
Als eine Alternative oder zusätzlich zu dem Tempern kann die Behandlung der Pufferschicht das Aussetzen des beschichteten lumineszierenden Teilchens einer Behandlungslösung, die einen vorbestimmten pH-Wert umfasst, umfassen. Der vorbestimmte pH-Wert der Behandlungslösung kann in dem Bereich von etwa 6,5 bis etwa 14 liegen, wobei ein pH-Wert von etwa 10 bis 12 typisch ist. Die Behandlungslösung kann durch Zugabe einer sauren wässrigen Lösung und/oder einer basischen wässrigen Lösung zu einer Suspension, die die beschichtete Quantenpunktstruktur enthält, gebildet werden, um den vorbestimmten pH-Wert zu erreichen. Die saure wässrige Lösung kann eine Säure, ausgewählt aus der Gruppe bestehend aus: HCl, HBr, H3PO4 und H2SO4 umfassen, und die basische wässrige Lösung kann eine Base, ausgewählt aus der Gruppe, bestehend aus NaOH, KOH, NH4OH und H2SO4 umfassen. Die Behandlungslösung kann auf eine Temperatur im Bereich von etwa 40°C bis etwa 100°C während des Aussetzens des beschichteten lumineszierenden Teilchens/der beschichteten lumineszierenden Teilchen erhitzt werden. Die Suspension mit dem/den beschichteten lumineszierenden Teilchen kann wie nachstehend beschrieben gebildet werden.As an alternative or in addition to the annealing, the treatment of the buffer layer may comprise exposing the coated luminescent particle to a treatment solution comprising a predetermined pH. The predetermined pH of the treatment solution may range from about 6.5 to about 14, with a pH of about 10 to 12 being typical. The treating solution may be formed by adding an acidic aqueous solution and / or a basic aqueous solution to a suspension containing the coated quantum dot structure to reach the predetermined pH. The acidic aqueous solution may comprise an acid selected from the group consisting of: HCl, HBr, H 3 PO 4, and H 2 SO 4 , and the basic aqueous solution may be a base selected from the group consisting of NaOH, KOH, NH 4 OH and H 2 SO 4 include. The treating solution may be heated to a temperature in the range of about 40 ° C to about 100 ° C during the exposure of the coated luminescent particle (s). The suspension with the coated luminescent particle (s) can be formed as described below.
In einigen Ausführungsformen kann nach der Behandlung des beschichteten lumineszierenden Teilchens zur Bildung der stabilisierten Quantenpunktstruktur eine Sperrschicht, die Sauerstoff, Kohlenstoff und/oder Stickstoff enthält, auf der behandelten Pufferschicht gebildet werden. Wie zuvor beschrieben, kann die Sperrschicht auf der behandelten Pufferschicht oder auf einer unbehandelten Pufferschicht gebildet werden. In beiden Fällen kann die Bildung der Sperrschicht eine Lösungsphasenreaktion oder eine Dampfphasenreaktion zur Folge haben.In some embodiments, after the treatment of the coated luminescent particle to form the stabilized quantum dot structure, a barrier layer containing oxygen, carbon, and / or nitrogen may be formed on the treated buffer layer. As described above, the barrier layer can be formed on the treated buffer layer or on an untreated buffer layer. In either case, the formation of the barrier layer can result in a solution phase reaction or a vapor phase reaction.
Die Lösungsphasenreaktion kann das Aussetzen des beschichteten lumineszierenden Teilchens oder der stabilisierten Quantenpunktstruktur (beispielsweise nach der Behandlung des beschichteten lumineszierenden Teilchens) einer ersten Lösung umfassen, die wenigstens eine Oxid-, Carbid- oder Nitridvorstufe umfasst (”die Vorläufersubstanz(en)”). Die Exponierung kann bei Zimmertemperatur oder bei einer erhöhten Temperatur von etwa 25°C bis etwa 300°C erfolgen. Die Vorläufersubstanz(en) kann/können ein Metallsalz, wie beispielsweise ein Metallnitrat, Metallacetat oder Metallchlorid, umfassen. Die erste Lösung ist typischerweise eine wässrige Lösung und die Vorläufersubstanz ist typischerweise in einer Konzentration von 10 bis 500 mg/ml enthalten, wobei 50 bis 150 mg/ml (beispielsweise 100 mg/ml) typisch sind. Wird eine wässrige Lösung verwendet, kann das beschichtete lumineszierende Teilchen eine polare Oberfläche aufweisen. Wird die Metalloxidbeschichtung in einem unpolaren Medium gebildet, wie beispielsweise einer organischen Lösung, kann das beschichtete lumineszierende Teilchen eine unpolare Oberfläche aufweisen (beispielsweise durch absichtliches Aufbringen einer hydrophoben Beschichtung). Es sollte beachtet werden, dass der Begriff ”Metalloxid” in der vorliegenden Erfindung manchmal als eine Alternative zu ”Oxid” verwendet wird und nicht so auszulegen ist, dass die Bedeutung von ”Oxid” beschränkt ist. Beispielsweise können die beiden Begriffe ”Metalloxid” und ”Oxid” in Bezug auf Siliziumdioxid (SiOx) verwendet werden, obwohl Silizium (Si) ein Halbleiter und kein Metall ist. Das Aussetzen mit der/den Vorläufersubstanz(en) kann das Einspritzen oder Eingießen der ersten Lösung, die die Vorläufersubstanz(en) umfasst, in eine erhitzte Suspension von beschichteten lumineszierenden Teilchen, oder das Einspritzen oder Eingießen einer Suspension von beschichteten lumineszierenden Teilchen in die erste Lösung bei einer erhöhten Temperatur beinhalten. Alternativ können die beschichteten lumineszierenden Teilchen in die erste Lösung gemischt und in einem Reaktor abgedichtet verschlossen werden, gefolgt von einem allmählichen Temperaturanstieg auf die erhöhte Temperatur. Wenn die Vorläufersubstanz(en) sich zersetzen, wird die entsprechende sauerstoff-, kohlenstoff- und/oder stickstoffhaltige Verbindung (beispielsweise ein Oxid, Carbid oder Nitrid) der Oberfläche des beschichteten lumineszierenden Teilchens in Form einer Beschichtung hinzugefügt, um dadurch die Sperrschicht zu bilden.The solution phase reaction may comprise exposing the coated luminescent particle or stabilized quantum dot structure (for example, after treatment of the coated luminescent particle) to a first solution comprising at least one oxide, carbide or nitride precursor ("the precursor substance (s)"). The exposure may be at room temperature or at an elevated temperature of about 25 ° C to about 300 ° C. The precursor substance (s) may comprise a metal salt, such as a metal nitrate, metal acetate or metal chloride. The first solution is typically an aqueous solution and the precursor substance is typically contained at a concentration of 10 to 500 mg / ml, with 50 to 150 mg / ml (for example, 100 mg / ml) being typical. When an aqueous solution is used, the coated luminescent particle may have a polar surface. When the metal oxide coating is formed in a nonpolar medium, such as an organic solution, the coated luminescent particle may have a nonpolar surface (for example, by intentionally applying a hydrophobic coating). It should be noted that the term "metal oxide" is sometimes used in the present invention as an alternative to "oxide" and should not be construed as limiting the meaning of "oxide". For example, the two terms "metal oxide" and "oxide" may be used with respect to silicon dioxide (SiO x ), although silicon (Si) is a semiconductor rather than metal. Exposure to the precursor substance (s) may include injecting or pouring the first solution comprising the precursor substance (s) into a heated suspension of coated luminescent particles, or injecting or pouring a suspension of coated luminescent particles into the first Include solution at an elevated temperature. Alternatively, the coated luminescent particles may be mixed into the first solution and sealed in a reactor, followed by a gradual increase in temperature to the elevated temperature. When the precursor substance (s) decompose, the corresponding oxygen, carbon and / or nitrogen-containing compound (for example, an oxide, carbide or nitride) is added to the surface of the coated luminescent particle in the form of a coating to thereby form the barrier layer.
Die Bildung der Sperrschicht kann ferner das Aussetzen des beschichteten lumineszierenden Teilchens einer zweiten Lösung umfassen, die ein Additiv, wie beispielsweise eine Säure, eine Base oder einen Puffer, oder ein Tensid, umfasst. Beispielsweise kann die zweite Lösung eine wässrige Lösung sein, und das Additiv kann eine Base, wie beispielsweise Kaliumhydroxid, Natriumhydroxid oder Ammoniumhydroxid in einer Konzentration von 0,1–10 M sein. Das Aussetzen des beschichteten lumineszierenden Teilchens der ersten Lösung, die die Vorläufersubstanz(en) umfasst, und der zweiten Lösung, die das Additiv oder Tensid umfasst, kann gleichzeitig erfolgen. Das Additiv oder Tensid kann dabei helfen, den pH-Wert des Gemisches oder die Oberflächeneigenschaften des lumineszierenden Teilchens und/oder der Sperrschicht zu steuern. Die Exponierung gegenüber der ersten und wahlweise der zweiten Lösung zur Bildung der Sperrschicht kann über einen bestimmten Zeitraum, wie beispielsweise zwischen 10 Minuten und 16 Stunden erfolgen, wobei 30 Minuten bis 2 Stunden (zum Beispiel 1 Stunde) typisch sind.The formation of the barrier layer may further comprise exposing the coated luminescent particle to a second solution comprising an additive such as an acid, a base or a buffer, or a surfactant. For example, the second solution may be an aqueous solution and the additive may be a base such as potassium hydroxide, sodium hydroxide or ammonium hydroxide in a concentration of 0.1-10M. Exposure of the coated luminescent particle of the first solution comprising the precursor substance (s) and the second solution comprising the additive or surfactant may occur simultaneously. The additive or surfactant may help to control the pH of the mixture or the To control surface properties of the luminescent particle and / or the barrier layer. Exposure to the first and optionally the second barrier-forming solution may occur over a period of time, such as between 10 minutes and 16 hours, with 30 minutes to 2 hours (for example, 1 hour) being typical.
Die Dampfphasenreaktion zur Bildung der Sperrschicht kann einen im Stand der Technik bekannten Dampfabscheidungsprozess, wie zum Beispiel Atomlagenabscheidung (ALD) oder eine chemische Dampfabscheidung (CVD), beinhalten. Bei ALD wird die Sperrschicht auf der Pufferschicht oder auf der behandelten Pufferschicht durch Exponieren gegenüber abwechselnden gasförmigen Vorläufersubstanzen (zum Beispiel einen Metallvoläufer und einen Sauerstoffvorläufer) gewachsen. Im Gegensatz dazu sind bei der Gasphasenabscheidung die gasförmigen Vorläufersubstanzen typischerweise nicht gleichzeitig in dem Reaktor vorhanden, sondern werden stattdessen getrennt in einer Reihe sequentieller Pulse eingeführt. Das Vorhandensein der Pufferschicht, die ein amorphes Material auf der Oberfläche des lumineszierenden Teilchens umfasst, dient dazu, eine Verschlechterung der darunter liegenden Halbleiterschicht(en) während der Dampfabscheidung zu verhindern.The vapor phase reaction to form the barrier layer may include a vapor deposition process known in the art, such as atomic layer deposition (ALD) or chemical vapor deposition (CVD). In ALD, the barrier layer is grown on the buffer layer or on the treated buffer layer by exposure to alternating gaseous precursor substances (eg, a metal volumizer and an oxygen precursor). In contrast, in vapor deposition, the gaseous precursors are typically not coexistent in the reactor, but instead are introduced separately in a series of sequential pulses. The presence of the buffer layer comprising an amorphous material on the surface of the luminescent particle serves to prevent deterioration of the underlying semiconductor layer (s) during vapor deposition.
Im Falle einer Pufferschicht, die Siliziumdioxid (SiOx, mit 0,5 ≤ x ≤ 2,5, zum Beispiel SiO2) umfasst, kann die zuvor beschriebene Temperbehandlung zur Stabilisierung zur Kondensation von Si-OH-Gruppen zu Si-O-Si-Gruppen gemäß der nachfolgenden Reaktion führen: Si-OH + Si-OH → Si-O-Si + H2O. Folglich kann das Siliziumdioxidverbund eine Neuanordnung unterzogen und die Pufferschicht verdichtet werden. Aufgrund dieser strukturellen und chemischen Veränderungen während des Temperns kann die Pufferschicht eine erhöhte Anzahl von Si-O-Si-Bindungen, verglichen mit den Si-OH-Bindungen nach dem Tempern, aufweisen. Dies kann experimentell unter Verwendung von Fourier-Transformations-Infrarotspektroskopie(FTIR)-Daten verifiziert werden, da die Schwingungsspektren von Siliziumdioxid bei der Wärmebehandlung vorhersehbare Änderungen zeigen können.In the case of a buffer layer comprising silicon dioxide (SiO x , where 0.5 ≤ x ≤ 2.5, for example, SiO 2 ), the above-described annealing treatment for stabilization may be used to condense Si-OH groups to Si-O-Si Groups according to the following reaction: Si-OH + Si-OH → Si-O-Si + H 2 O. Consequently, the silica composite can be rearranged and the buffer layer densified. Due to these structural and chemical changes during annealing, the buffer layer may have an increased number of Si-O-Si bonds as compared with the Si-OH bonds after annealing. This can be verified experimentally using Fourier Transform Infrared Spectroscopy (FTIR) data, as the vibrational spectra of silica during heat treatment may show predictable changes.
Bezug nehmend auf
Beispielsweise können nach dem Tempern zur Bildung einer erhöhten Dichte eine oder mehrere der folgenden drei ausgeprägten Veränderungen in den FTIR-Spektren beobachtet werden: (a) die Intensität des Silanol(SiO-H)-Signals bei etwa 3300 cm–1 ist bezogen auf das Verbund(Si-O-Si)-Signal bei etwa 1050 cm–1 verringert; (b) die Silanol(Si-OH)-Spitze bei etwa 950 cm–1 wird von einem diskreten Spitzenwert in eine Schulter ohne beobachtbares Maximum umgewandelt; und (c) die Intensität des Silanol(Si-OH)-Spitzenwerts bei etwa 950 cm–1 ist bezogen auf das Verbund(Si-O-Si)-Signal bei etwa 1050 cm–1 verringert. Dementsprechend kann ein FTIR-Spektrum, das von den siliziumdioxidbeschichteten lumineszierenden Teilchen erhalten wird, die zur Stabilisierung getempert wurden, ein Spitzenintensitätsverhältnis (R) von wenigstens etwa 35 aufweisen, wobei R der Intensität bei etwa 1050 cm–1 (I1050, die dem Si-O-Si-Verbund entspricht) über die Intensität bei etwa 3300 cm–1 (I3300, die den nicht verdichteten Silanol-Gruppen entspricht) entspricht. Mit anderen Worten, R = I1050/I3300 ≥ 35. In einigen Fällen, wie in den nachfolgenden Beispielen gezeigt, kann R wenigstens etwa 40, wenigstens etwa 45 oder wenigstens etwa 50 betragen, und R kann auch einen so hohen Wert wie 75 oder einen so hohen Wert wie 65 aufweisen.For example, after annealing to form an increased density, one or more of the following three distinct changes in the FTIR spectra can be observed: (a) the intensity of the silanol (SiO-H) signal is approximately 3300 cm -1 Reduced composite (Si-O-Si) signal at about 1050 cm -1 ; (b) the silanol (Si-OH) peak at about 950 cm -1 is converted from a discrete peak to a shoulder with no observable peak; and (c) the intensity of the silanol (Si-OH) peak at about 950 cm -1 is reduced at about 1050 cm -1 with respect to the composite (Si-O-Si) signal. Accordingly, an FTIR spectrum obtained from the silica-coated luminescent particles annealed for stabilization may have a peak intensity ratio (R) of at least about 35, where R is the intensity at about 1050 cm -1 (I 1050 corresponding to Si Corresponds to the intensity at about 3300 cm -1 (I 3300 , which corresponds to the non-compressed silanol groups). In other words, R = I 1050 / I 3300 ≥ 35. In some cases, as shown in the examples below, R may be at least about 40, at least about 45, or at least about 50, and R may also be as high as 75 or as high as 65.
Neben der erhöhten Dichte umfassen weitere Veränderungen, die in der Pufferschicht während des Temperns eines beschichteten lumineszenten Teilchens auftreten können, eine Verringerung der Masse und/oder eine Verringerung der Dicke, wie die in den Beispielen genauer beschrieben wird.In addition to the increased density, further changes that may occur in the buffer layer during annealing of a coated luminescent particle include a reduction in mass and / or a reduction in thickness, as more fully described in the examples.
BeispieleExamples
Ein lumineszierendes Teilchen mit einer Kern-Schalen-Struktur (entweder eine Struktur mit Kern/erste-Schale (beispielsweise CdSe/CdS) oder eine Struktur mit Kern/erste-Schale/zweite-Schale (beispielsweise CdSe/CdS/ZnS), wie zuvor beschrieben) kann unter Verwendung von Verfahren, die aus dem Stand der Technik bekannt sind, hergestellt oder kommerziell von einem Verkäufer bezogen werden.A luminescent particle having a core-shell structure (either a core / first-shell structure (e.g., CdSe / CdS) or a core / first-shell / second-shell structure (e.g., CdSe / CdS / ZnS) as before described) can be prepared using methods known in the art or purchased commercially from a vendor.
Bildung der Pufferschicht Formation of the buffer layer
Die Pufferschicht, die das amorphe Material umfasst, kann durch eine inverse Mizellenkondensationsreaktion unter Verwendung eines geeigneten Vorläufers auf dem lumineszierenden Teilchen gebildet werden. Umfasst das amorphe Material amorphes Siliziumdioxid, kann die Vorläufersubstanz, wie in diesem Beispiel beschrieben, Tetraethylorthosilicat (TEOS) umfassen.The buffer layer comprising the amorphous material may be formed by an inverse micellar condensation reaction using a suitable precursor on the luminescent particle. When the amorphous material comprises amorphous silica, the precursor substance may comprise tetraethyl orthosilicate (TEOS) as described in this example.
Zunächst wird eine Mischung aus Heptan, Wasser und einem Tensid wie beispielsweise Brij® L4 hergestellt. Das Heptan, das Tensid und das Wasser können in Volumenverhältnissen von jeweils etwa 10:5:1 kombiniert werden. Das Tensid bildet Mizellen einer kontrollierten Größe, die das Wasser umgeben (die wässrige oder hydrophile Phase), und das Heptan (die hydrophobe Phase) verbleibt außerhalb der Mizellen. Die lumineszierenden Teilchen, wie beispielsweise die CdSe/CdS-Kern-Schalen-Teilchen, werden dem Gemisch hinzugefügt. Typischerweise werden die lumineszierenden Teilchen mit einer Konzentration von 0,2–2 nmol pro Milliliter (0,2–2 nmol/ml) der Lösung hinzugefügt. Zudem kann auch eine Base (beispielsweise 28 bis 30 Gew.-% Ammoniaklösung) mit einem Volumenverhältnis von Base zu Wasser von 1:8 hinzugefügt werden. Das resultierende Gemisch kann 10 bis 20 Minuten gerührt werden, und anschließend kann das TEOS hinzugefügt werden. Das Hinzufügen des TEOS kann auf einmal oder in kleinen Mengen über einen Zeitraum von Stunden oder Tagen erfolgen. Die Dicke der Siliziumdioxidbeschichtung (die zuvor beschriebene ”Pufferschicht”) auf dem lumineszierenden Teilchen kann durch die Menge an TEOS, die der Mischung zugesetzt wird, gesteuert werden.First, a mixture of heptane, water and a surfactant such as Brij ® L4 is prepared. The heptane, the surfactant and the water can be combined in volume ratios of about 10: 5: 1. The surfactant forms micelles of a controlled size that surround the water (the aqueous or hydrophilic phase) and the heptane (the hydrophobic phase) remains outside of the micelles. The luminescent particles, such as the CdSe / CdS core-shell particles, are added to the mixture. Typically, the luminescent particles at a concentration of 0.2-2 nmol per milliliter (0.2-2 nmol / ml) are added to the solution. In addition, a base (for example, 28 to 30 wt .-% ammonia solution) with a volume ratio of base to water of 1: 8 are added. The resulting mixture can be stirred for 10 to 20 minutes, and then the TEOS can be added. Adding the TEOS can be done all at once or in small amounts over a period of hours or days. The thickness of the silicon dioxide coating (the "buffer layer" described above) on the luminescent particle can be controlled by the amount of TEOS added to the mixture.
Ein wahrscheinlicher Mechanismus des Siliziumdioxidwachstums auf dem lumineszierenden Teilchen umfasst den Austausch von Liganden in dem Gemisch und den Übergang des lumineszierenden Teilchens von der hydrophoben Phase in die hydrophile Phase, in der das Wachstum des Siliziumdioxids auftreten kann.A likely mechanism of silica growth on the luminescent particle involves the exchange of ligands in the mixture and the transfer of the luminescent particle from the hydrophobic phase to the hydrophilic phase, where growth of the silica may occur.
pH-Behandlung der PufferschichtpH treatment of the buffer layer
Nach der Reinigung wird ein Pulver mit beschichteten lumineszierenden Teilchen, umfassend CdSe/CdS/SiOx (das wie zuvor beschrieben hergestellt werden kann), in einer basischen wässrigen (alkalischen) Lösung dispergiert. Es können mehrere Basen verwendet werden, um die alkalische Lösung herzustellen, die Kaliumhydroxid, Natriumhydroxid oder Ammoniumhydroxid aufweist, aber nicht darauf beschränkt ist. Die Konzentration der Base in der Lösung liegt typischerweise zwischen 0,01 M und 1,0 M, wobei die höheren Konzentrationen die Verteilung der beschichteten Teilchen erleichtern, aber möglicherweise die SiOx-Hülle in größerem Ausmaß ätzen. Die Suspensionen mit den beschichteten Teilchen können mit Konzentrationen < 50 mg/ml hergestellt werden, wobei 10 mg/ml typisch sind. Für gewöhnlich, jedoch nicht immer, wird eine Ultraschallbehandlung verwendet, um eine homogene Suspension zu erhalten. In einigen Fällen kann die Ultraschallbehandlung für bis zu mehreren Stunden durchgeführt werden.After cleaning, a powder with coated luminescent particles comprising CdSe / CdS / SiO x (which can be prepared as described above) is dispersed in a basic aqueous (alkaline) solution. Several bases may be used to prepare the alkaline solution, including, but not limited to, potassium hydroxide, sodium hydroxide or ammonium hydroxide. The concentration of the base in the solution is typically between 0.01 M and 1.0 M, with the higher concentrations facilitating the distribution of the coated particles but possibly etching the SiO x shell to a greater extent. The suspensions with the coated particles can be prepared at concentrations <50 mg / ml, with 10 mg / ml being typical. Usually, but not always, sonication is used to obtain a homogeneous suspension. In some cases, the sonication may be carried out for up to several hours.
Die Suspension, die die beschichteten Teilchen enthält, wird mit de-ionisiertem Wasser auf eine Konzentration von < 5 mg/ml verdünnt, wobei 2 mg/ml typisch sind. Die Konzentration der beschichteten Teilchen wird vorzugsweise relativ niedrig gehalten, um eine Aggregation und Ausflockung zu verhindern. Dieser Lösung wird gegebenenfalls dreibasisches Natriumcitrat in einer Konzentration von 0,5 bis 10 mg/ml hinzugefügt.The suspension containing the coated particles is diluted with deionized water to a concentration of <5 mg / ml, with 2 mg / ml being typical. The concentration of the coated particles is preferably kept relatively low to prevent aggregation and flocculation. To this solution is optionally added tribasic sodium citrate in a concentration of 0.5 to 10 mg / ml.
Der pH-Wert kann dann auf einen gewünschten Anfangswert eingestellt werden, indem eine saure wässrige Lösung (beispielsweise HCl, HBr, H3PO4, H2SO4) zur Herabsetzung des pH-Werts oder eine basische wässrige Lösung (zum Beispiel NaOH, KOH, NH4OH, H2SO4) zur Erhöhung des pH-Werts hinzugefügt wird. Der anfängliche pH-Wert kann in einem Bereich zwischen 6,5 bis 14 liegen, wobei ein Wert von etwa 11 typisch ist. Darüber hinaus kann ein pH-Puffer in diesem Stadium hinzugegeben werden, um den pH-Wert besser kontrollieren zu können.The pH can then be adjusted to a desired initial value by adding an acidic aqueous solution (for example, HCl, HBr, H 3 PO 4 , H 2 SO 4 ) to reduce the pH or a basic aqueous solution (for example NaOH, KOH, NH 4 OH, H 2 SO 4 ) is added to increase the pH. The initial pH may range between 6.5 to 14, with a value of about 11 being typical. In addition, a pH buffer can be added at this stage to better control the pH.
Ein PTFE-beschichteter Magnetrührstab kann hinzugegeben und der Reaktionsbehälter abgedichtet werden (zum Beispiel mit einem Gummiseptum). Der verschlossene Behälter kann bei der gewünschten Reaktionstemperatur, typischerweise zwischen 40°C und 100°C, in ein Ölbad gelegt werden, obwohl die Reaktion auch bei Zimmertemperatur durchgeführt werden kann. Der Reaktionsbehälter kann anschließend für typischerweise eine Zeitdauer von etwa 30 Minuten in thermisches Gleichgewicht gebracht werden.A PTFE-coated magnetic stir bar can be added and the reaction vessel sealed (for example, with a rubber septum). The sealed container may be placed in an oil bath at the desired reaction temperature, typically between 40 ° C and 100 ° C, although the reaction may also be carried out at room temperature. The reaction vessel may then be thermally equilibrated for typically a period of about 30 minutes.
Das Vorhandensein einer zusätzlichen chemischen Spezies in der behandelten Schicht kann durch EDX verifiziert werden, und die relative Intensität der zusätzlichen chemischen Spezies kann verwendet werden, um die qualitative relative Menge der zusätzlichen chemischen Spezies in der Pufferschicht, wie zuvor beschrieben, zu ermitteln. The presence of an additional chemical species in the treated layer can be verified by EDX, and the relative intensity of the additional chemical species can be used to determine the qualitative relative amount of the additional chemical species in the buffer layer as described above.
Tempern der PufferschichtAnnealing the buffer layer
Ein Pulver mit beschichteten lumineszierenden Teilchen, umfassend CdSe/CdS/SiOx, das wie zuvor beschrieben hergestellt werden kann, wird einer Temperbehandlung unterzogen, um die Pufferschicht (SiOx) zu verdichten. Das Pulver wird für 5 min in einer Stickstoffatmosphäre auf 500°C erhitzt und anschließend auf Zimmertemperatur abgekühlt.
Die Verdichtung der Pufferschicht als Folge des Temperns wird durch Massenverlustdaten demonstriert, die für die beschichteten lumineszierenden Teilchen erhalten wurden. Bezug nehmend auf
Ein weiterer Beweis für die Verdichtung während des Temperns kann durch TEM-Untersuchungen der beschichteten lumineszierenden Teilchen beobachtet werden.
Charakterisierung der PufferschichtCharacterization of the buffer layer
Es werden unstabilisierte und stabilisierte (durch Tempern) Quantenpunktstrukturen unter Verwendung der FTIR-Analyse untersucht, um die Eigenschaften von verdichteten Pufferschichten zu bestimmen.Unstabilized and stabilized (by annealing) quantum dot structures using FTIR analysis are examined to determine the properties of densified buffer layers.
Die FTIR-Spektren werden unter Verwendung eines FTIR-Spektrometers, das im ATR-Modus arbeitet, aufgezeichnet. Unbehandelte und getemperte beschichtete lumineszierende Teilchen in der Form von Pulverproben werden direkt auf den Diamant-ATR-Kristall gelegt und vor der Messung mit einem Amboss verdichtet. Die Spektren werden hintergrundkorrigiert, in Absorptionseinheiten umgewandelt und auf den höchsten Spitzenwert normiert, bevor Intensitätsverhältnisse bestimmt werden. Ist keine Spitze/Peak vorhanden, wie dies für das Silanol-Si-OH-Signal für die behandelten, stabilen Proben der Fall ist, wird stattdessen die Schulterposition verwendet. Die Peak-Zuordnung in dieser Untersuchung sind für Silikatmaterialien üblich, wie in Brinker, C. J. Scherer, G. W., ”Sol-Gel Science: The Physics and Chemistry of Sol-Gel Processing”, Academic Press Inc., 1990, S. 541–546 beschrieben. Ein beispielhaftes FTIR-Spektrum ist in
Zur Entwicklung quantitativer Kriterien werden vier Probenpaare vor und nach dem Tempern gemessen und deren Spektren auf signifikante Unterschiede analysiert. Es werden somit drei Kriterien aufgestellt, um Quantenpunktstrukturen zu bestimmen, die eine verdichtete Siliziumdioxidpufferschicht aufweisen, gestützt durch die Daten, die nachstehend in Tabellen 1–3 gezeigt sind. Es wird angenommen, dass die Proben der beschichteten lumineszierenden Teilchen, die einem oder mehreren (oder allen) dieser Kriterien genügen, einer Temperbehandlung, wie zuvor beschrieben, unterzogen wurden, um die Pufferschicht zur Erzeugung einer stabilisierten Quantenpunktstruktur zu verdichten.To develop quantitative criteria, four sample pairs are measured before and after tempering and their spectra are analyzed for significant differences. Thus, three criteria are established to determine quantum dot structures having a densified silica buffer layer, supported by the data shown in Tables 1-3 below. It is believed that the samples of the coated luminescent particles satisfying one or more (or all) of these criteria were subjected to an annealing treatment as described above to densify the buffer layer to produce a stabilized quantum dot structure.
Wie zuerst aus Tabelle 1 ersichtlich ist, besteht das erste Kriterium darin, dass das Verhältnis (R = I1050/I3300) der Spitzenintensität zwischen dem Verbund(Si-O-Si)-Signal bei etwa 1050 cm–1 und dem Silanol SiO-H-Signal bei etwa 3200–3400 cm–1 (beispielsweise 3300 cm–1) wenigstens etwa 35 beträgt. Wie zuvor erwähnt, kann R auch wenigstens etwa 40, wenigstens etwa 45 oder wenigstens etwa 50, und in einigen Fällen sogar einen hohen Wert von 75 oder hohen Wert von 65 aufweisen. Tabelle 1: Spitzenintensitätsverhältnisse (R = I1050/I3300) für unbehandelte und behandelte Quantenpunktstrukturen
Unter Bezugnahme auf Tabelle 2 besteht das zweite Kriterium darin, dass das FTIR-Spektrum keine ausgeprägte Silanol(Si-OH)-Intensitätsspitze bei etwa 950 cm–1 aufweist. Tabelle 2: Struktur bei 950 cm–1
Unter Bezugnahme auf Tabelle 3 besteht das dritte Kriterium darin, dass das Verhältnis (R* = I1050/I950) der Spitzenintensität zwischen dem Verbund(Si-O-Si)-Signal bei etwa 1050 cm–1 und dem Silanol(Si-OH)-Signal bei etwa 950 cm–1 wenigstens etwa 2,8 beträgt. Das Verhältnis R* kann auch wenigstens etwa 3,0, wenigstens etwa 3,2 oder wenigstens etwa 3,4 betragen, wobei typischerweise das Verhältnis R* nicht größer als etwa 6, oder nicht größer als etwa 5 ist. Tabelle 3: Spitzenintensitätsverhältnisse (R* = I1050/I950) für unbehandelte und behandelte Quantenpunktstrukturen
Bildung der SperrschichtFormation of the barrier layer
Lösungsphasenreaktion. In diesem Beispiel wird eine Zinkoxid-Sperrschicht auf den beschichteten Teilchen, wie zuvor beschrieben, unter Verwendung einer Lösungsphasenreaktion gebildet. Eine wässrige Lösung einer Zinkvorläufersubstanz (beispielsweise Zn(NO3)2, Zn(OAc)2, ZnCl2) wird mit einer Konzentration von 10 bis 500 mg/ml hergestellt, wobei 100 mg/ml typisch ist. Es wird auch eine getrennte wässrige Lösung einer Base unter Verwendung von beispielsweise Kaliumhydroxid, Natriumhydroxid oder Ammoniumhydroxid mit einer Konzentration von 0,1 bis 10,0 M hergestellt. Die Zinklösung und die Baselösung werden in separate Spritzen geladen und über einen bestimmten Zeitraum, zwischen 10 Minuten bis 16 Stunden, wobei 1 Stunde typisch ist, in den Reaktionsbehälter eingespritzt.Solution phase reaction. In this example, a zinc oxide barrier layer is formed on the coated particles as described above using a solution phase reaction. An aqueous solution of a zinc precursor substance (for example, Zn (NO 3 ) 2 , Zn (OAc) 2 , ZnCl 2 ) is prepared at a concentration of 10 to 500 mg / ml, with 100 mg / ml being typical. A separate aqueous solution of a base is also prepared using, for example, potassium hydroxide, sodium hydroxide or ammonium hydroxide at a concentration of 0.1 to 10.0M. The zinc solution and the base solution are loaded into separate syringes and injected into the reaction vessel for a period of time, between 10 minutes to 16 hours, with 1 hour being typical.
Nachdem das Einspritzen beendet ist, wird das Reaktionsgemisch auf Zimmertemperatur abgekühlt und durch Zentrifugierung gereinigt/getrennt, wobei CdSe/CdS/SiO2/ZnO als fester oranger Rückstand abgeschieden wird. Der klare, farblose Überstand wird abgegossen. Die Feststoffe werden anschließend zweimal mit de-ionisiertem H2O und einmal mit Methanol gewaschen. Die gereinigten Feststoffe werden in minimalem Methanol suspendiert, in ein Fläschchen umgefüllt und in Vakuum zu trockenem Pulver getrocknet.After the injection is completed, the reaction mixture is cooled to room temperature and purified / separated by centrifugation, depositing CdSe / CdS / SiO 2 / ZnO as a solid orange residue. The clear, colorless supernatant is poured off. The solids are then washed twice with deionized H 2 O and once with methanol. The purified solids are suspended in minimal methanol, transferred to a vial and dried in vacuo to dry powder.
Die TEM-Mikroaufnahmen in
Dampfphasenreaktion. In diesem Beispiel werden Zinkoxid- und Aluminiumoxid-Sperrschichten, wie zuvor beschrieben, unter Verwendung von ALD auf den beschichteten Teilchen gebildet. Dosen einer Metallvorläufersubstanz (typischerweise Diethylzink oder Trimethylaluminium) und einer Sauerstoffvorläufersubstanz (Wasser oder Sauerstoff) werden abwechselnd mit Dosierungszeiten von 0,1 bis 10 s (typischerweise 1 s) hinzugefügt, gefolgt von einem Pumpzyklus (bis < 100 mTorr) oder Spülen nach jedem Metall- oder Sauerstoffzyklus von nicht-reaktivem Gas (Argon oder Stickstoff) für 0,1–300 s (typischerweise 60 s). Das Verfahren wird bei Zimmertemperatur bis 300°C (typischerweise 150°C) für 5–500 Zyklen bei Drücken von etwa 1 Torr durchgeführt. Typischerweise wird das Material nach 20 Zyklen bewegt (beispielsweise durch mechanisches Schleifen oder Bewegen des Materials), um alle Seiten jeder QD vollständig zu bedecken. Die TEM-Bilder der beschichteten Teilchen sind in
Obwohl die vorliegende Erfindung ausführlich mit Bezug auf bestimmte Ausführungsformen beschrieben wurde, sind andere Ausführungsformen möglich, ohne von der vorliegenden Erfindung abzuweichen. Der Geist und Umfang der beigefügten Ansprüche sollte somit nicht auf die Beschreibung der hierin enthaltenen bevorzugten Ausführungsformen beschränkt sein. Alle Ausführungsformen, die wörtlich oder äquivalent unter die Bedeutung der Ansprüche fallen, sollen darin eingeschlossen sein.Although the present invention has been described in detail with respect to particular embodiments, other embodiments are possible without departing from the present invention. Thus, the spirit and scope of the appended claims should not be limited to the description of the preferred embodiments contained herein. All embodiments which literally or equivalently fall within the meaning of the claims are intended to be embraced therein.
Ferner sind die zuvor beschriebenen Vorteile nicht unbedingt die einzigen Vorteile der vorliegenden Erfindung, und es wird nicht unbedingt erwartet, dass alle beschriebenen Vorteile mit jeder Ausführungsform der Erfindung erzielt werden.Furthermore, the advantages described above are not necessarily the only advantages of the present invention, and it is not necessarily to be expected that all the advantages described will be obtained with each embodiment of the invention.
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