DE10349287A1

DE10349287A1 - Drum, used as pulley for guiding wire for cutting of hard and brittle material, has easily removable abrasive coating carrier and is gas cooled

Info

Publication number: DE10349287A1
Application number: DE2003149287
Authority: DE
Inventors: Karl Dipl.-Ing. Egglhuber (FH)
Original assignee: Siltronic AG
Current assignee: Siltronic AG
Priority date: 2003-10-23
Filing date: 2003-10-23
Publication date: 2005-06-16

Abstract

A wire guiding drum has a core body (4) inside a stabilising carrier (3) carrying a separable coating carrier (2) held in place by screws (5). The inner core (4) and the stabilizing element (3) are made of a material with a higher coefficient of expansion than the two outer layers (1, 2), facilitating an easy removal of the outer layers when the drum is cooled down in order to replace the layers (1, 2) when worn out. The stabilizing element (3) can be provided with coolant ducts.

Description

Drahtsägen werden unter anderem dafür verwendet, Rohlinge aus Halbleitermaterial, Solarmaterial oder andere sprödharte Materialien in eine Anzahl Scheiben zu zerlegen, die dann in weiteren Schritten der Herstellung von Halbleiter-Bauelementen, Solarzellen oder anderer Formkörper dienen. Für die nachfolgende Verarbeitung der Scheiben oder Formkörper ist es wichtig, dass diese eine sehr hohe geometrische Qualität aufweisen. Dadurch entstehen hohe Anforderungen an die Führung der Sägedrähte während des mehrstündigen Sägevorganges. Eine Quelle für Positionsänderungen ist dabei die thermische Ausdehnung der Drahtführungsrollen, die die beim Schneiden auftretende Wärme von den Sägedrähten notwendigerweise zum Teil übernehmen. Eine andere Wärmequelle stellt auch einfach das Umlaufen der Drähte um die Drahtführungsrollen und die Eintragung von Wärme der angrenzenden Lager dar. Verschärft wird dieses Problem noch dadurch, dass die Sägegeschwindigkeit und damit die Produktivität der Drahtsägen, zu erhöhen angestrebt wird, wobei auch die Wärmeproduktion ansteigt.Be wire saws among other things used for Blanks made of semiconductor material, solar material or other brittle-hard materials into a number of slices to break, then in further steps the production of semiconductor devices, solar cells or others moldings serve. For the subsequent processing of the discs or moldings is It is important that they have a very high geometric quality. This creates high demands on the leadership of saw wires during several hours of sawing. A source for position changes is the thermal expansion of the wire guide rollers, which at the Cutting occurring heat from the saw wires necessarily partly take over. Another heat source also simply makes the wires run around the wire guide rollers and the entry of heat of the adjacent camp. This problem is exacerbated in that the sawing speed and thus productivity the wire saws, to increase is sought, whereby the heat production increases.

Üblicherweise müssen Drahtführungsrollen immer wieder nach einiger Zeit neu beschichtet werden, nachdem durch mehrmaliges Überschleifen und Rillieren der Polyurethanbelag aufgebraucht ist, da durch das Sägen mit der Drahtsäge deren Draht immer wieder über die Drahtführungsrolle gleitet und dadurch die Beschichtung der Drahtführungsrolle, die als Umlenkrolle dient, abgenützt wird. Ein zusätzlicher Verschleiß entsteht dadurch, dass bevorzugt die Drahtführungsrollen, die die Geometrie beim Sägen beeinflussen, nicht direkt vom Motor angetrieben werden, sondern durch die umlaufenden Drähte, die damit als Riemen wirken. Des weiteren werden Verfahren angewendet, bei denen eine ständige Drehrichtungsänderung stattfindet. Der Verschleiß ist damit umso höher, je größer das Gewicht und das Trägheitsmoment der Rollen ist. Diese Neubeschichtung erfordert es, die gesamte Rolle zu einem Betrieb zu schicken, der die Beschichtung vornimmt und dann wird die neu beschichtete Rolle zu einem Betrieb gebracht, der die Rillen aufbringt. Nachteilig für diese Prozedur und das Handling ist das hohe Gewicht der Rollen.Usually have to Wire guide rolls always re-coated after some time, after repeated blending and creasing the polyurethane coating is used up, as by the Sawing with the wire saw their wire over again the wire guide roller slides and thereby the coating of the wire guide roller, which serves as a deflection roller serves, worn out becomes. An additional one Wear arises in that, preferably, the wire guide rollers that control the geometry when sawing affect, not directly driven by the engine, but through the surrounding wires, which act as a belt. Furthermore, methods are used where a permanent Changing direction of rotation takes place. The wear is so much the higher, the bigger that Weight and moment of inertia the roles is. This recoating requires the whole Roll to send to a plant that performs the coating and then the newly coated roll is brought to an operation, who applies the grooves. Disadvantageous for this procedure and the handling is the high weight of the rollers.

Zusätzlich zu dem Nachteil des hohen Trägheitsmoments und des hohen Gewichts bereitet die Kühlung mit Flüssigkeit , die innerhalb der Rollen zirkuliert, Probleme. Beim Ausbau der Drahtführungsrollen aus der Drahtsäge vermischt sich die auslaufende Kühlflüssigkeit mit dem Sägemedium.In addition to the disadvantage of the high moment of inertia and the high weight prepares the cooling with liquid circulating within the roles problems. When expanding the Wire guide rollers from the wire saw mixes the leaking coolant with the sawing medium.

Des weiteren muss der Kühlkreis geöffnet werden, wodurch Luftblasen in die Kühlflüssigkeit gelangen und damit beim Wiederanfahren der Drahtsäge die Temperierung negativ beeinflussen.Of another must be the cooling circuit to be opened causing air bubbles in the coolant arrive and thus when restarting the wire saw the temperature influence negatively.

Aufgabe der Erfindung ist es, die Nachteile des Standes der Technik zu überwinden und insbesondere die Beschichtung und Rillierung zu vereinfachen, sowie das Trägheitsmoment zu reduzieren und die thermische Ausdehnung zu reduzieren zur Erzielung besserer Geometrie.task The invention is to overcome the disadvantages of the prior art and in particular to simplify the coating and grooving, and the moment of inertia to reduce and reduce the thermal expansion to achieve better geometry.

Die Aufgaben werden durch die Erfindung gelöst.The Problems are solved by the invention.

Gegenstand der Erfindung ist eine Drahtführungsrolle, dadurch gekennzeichnet, dass sie einen Grundkörper und einen abtrennbaren Beschichtungsträger aufweist.object the invention is a wire guide roll, characterized in that it comprises a base body and a separable coating substrates having.

Erfindungsgemäß wird eine Drahtführungsrolle zur Verfügung gestellt, bei der ein Beschichtungsträger von einem Grundkörper getrennt werden kann, um den Beschichtungsträger ohne den Grundkörper dann alleine zum Neubeschichten und Rillieren zu schicken.According to the invention is a Wire feed roll to disposal in which a coating carrier is separated from a base body can be to the coating carrier without the main body then to send alone for re-layering and creasing.

Auf der Drahtführungsrolle läuft entweder ein einfacher Draht, der zum Sägen ein Drahtsägemedium (Slurry) benötigt oder ein Draht, der mit Diamanten oder anderem Korn beschichtet ist und vorzugsweise im wässrigen Milieu sägt.On the wire guide roller runs either a simple wire for sawing a wire saw medium (Slurry) needed or a wire coated with diamonds or other grain is and preferably in the aqueous Milieu saws.

Zur Reduzierung des Trägheitsmoments und des Gewichts sind der Grundkörper und der Beschichtungsträger möglichst dünnwandig und leicht zu gestalten. Die vorgespannten Drähte des Drahtgatters sowie die Schneidkräfte führen zu einer unzulässig großen Verformung vor allem des Beschichtungsträgers. Deshalb ist zwischen Beschichtungsträger und Grundkörper ein Stabilisierungsträger erforderlich.to Reduction of the moment of inertia and weight are the main body and the coating carrier preferably thin-walled and easy to design. The prestressed wires of the wire gate as well the cutting forces to lead to an inadmissible huge Deformation especially of the coating carrier. That's why between coating substrates and basic body a stabilizer required.

Es kann sowohl der Grundkörper als auch der Beschichtungskörper vorzugsweise mit einem Stabilisierungsträger kombiniert werden, um den Grundkörper oder bzw. den Beschichtungskörper zu stabilisieren. Eine bevorzugte Ausführungsform ist aber auch ein Grundkörper oder ein Beschichtungsträger mit bereits geformten Rippen, die bei kleinem Trägheitsmoment und geringem Gewicht eine Verformung auf ein zulässiges Maß reduzieren. Um eine Verformung der Bauteile zu verhindern, muss zur Aufnahme der Kräfte der Beschichtungsträger Kontakt zum Stabilisierungsträger oder zu den geformten Rippen haben. Als bevorzugte Ausführung des Stabilisierungsträgers wird ein Rohr aus CFK verwendet. Es reduziert das Trägheitsmoment und das Gewicht und dient zur Verbindung von Grundkörper und Beschichtungskörper. Auch ein Stabilisierungsträger in Rippenform vermindert das Trägheitsmoment bei gleichem oder sogar reduziertem Gewicht. Der Stabilisierungsträger ist vorzugsweise aus CFK oder Metall.Both the main body and the coating body can preferably be combined with a stabilizing carrier in order to stabilize the main body or the coating body. However, a preferred embodiment is also a base body or a coating carrier with already shaped ribs, which reduce deformation to a permissible level with a low moment of inertia and low weight. In order to prevent deformation of the components, the coating carrier must be in contact with the stabilizer carrier or with the molded ribs in order to absorb the forces. As a preferred embodiment of the stabilizing support, a tube made of CFRP is used. It reduces the moment of inertia and the weight and serves to connect the base body and the coating body. Also a stabilizer in Rib shape reduces the moment of inertia at the same or even reduced weight. The stabilization carrier is preferably made of CFK or metal.

Es sind aber auch andere Werkstoffe mit hoher Stabilität bei geringem Gewicht und geringer Wärmeausdehnung bevorzugt. Vorzugsweise ist der Stabilisierungsträger ein Metallrohr mit geformten Rippen oder besteht aus CFK-Rohr mit Zentrierringen. Eine besonders bevorzugte Ausführungsform ist ein CFK-Rohr mit konischen Zentrierringen. Diese konischen Zentrierringe leiten zur Vermeidung einer Verformung die Kräfte in das CFK-Rohr ab. In einer bevorzugten Ausführung ist der Beschichtungsträger aus Werkstoffen mit besonders kleiner Wärmeausdehnung, z.B. CFK, Metall oder keramische Werkstoffe.It but are also other materials with high stability at low Weight and low thermal expansion prefers. Preferably, the stabilizer carrier is a Metal tube with molded ribs or consists of CFRP tube with centering rings. A particularly preferred embodiment is a CFRP tube with conical centering rings. These conical centering rings divert the forces into the CFRP pipe to prevent deformation. In a preferred embodiment the coating carrier is off Materials with particularly low thermal expansion, e.g. CFRP, metal or ceramic materials.

In einer bevorzugten Ausführungsform weist der Stabilisierungsträger Kühlkanäle auf. In einer weiteren Ausführungsform sind die Metallrippen so gestaltet, dass eine möglichst große Oberfläche zum Wärmeübergang vorhanden ist und dass zwischen den Rippen Kühlkanäle ausgebildet sind.In a preferred embodiment has the stabilizer Cooling channels on. In a further embodiment are the metal ribs designed so that the largest possible surface for heat transfer is present and that formed between the ribs cooling channels are.

Ein weiterer Gegenstand ist ein Verfahren zur Kühlung der erfindungsgemäßen Drahtführungsrolle, wobei die Drahtführungsrolle mit Gas, wie Luft, Stickstoff, Helium etc. gekühlt wird. Das Gas kann aber auch z.B. gegen Korrosion mit Spuren von Tröpfchen eines zu dem Sägemedium verträglichen Korrosionsschutzmittel vermischt sein.One further subject matter is a method for cooling the wire guide roller according to the invention, the wire guide roller with gas, such as air, nitrogen, helium, etc. is cooled. But the gas can also e.g. against corrosion with traces of droplets to the sawing medium compatible corrosion inhibitor be mixed.

Bevorzugt strömt das Gas beim erfindungsgemäßen Verfahren zur Kühlung der Drahtführungsrolle zwischen dem Beschichtungsträger und dem Stabilisierungsträger durch.Prefers flows the gas in the process of the invention for cooling the wire guide roller between the coating carrier and the stabilizer carrier by.

Bei einem weiteren bevorzugten Verfahren zur Kühlung der Drahtführungsrolle strömt das Gas zwischen dem Stabilisierungsträger und dem Grundkörper durch.at Another preferred method for cooling the wire guide roller flows the gas between the stabilizer and the body through.

Bei noch einem weiteren bevorzugten Verfahren zur Kühlung der Drahtführungsrolle strömt das Gas zwischen den Rippen des als Stabilisierungsträgers dienenden Stahlrippenrohrs durch.at Yet another preferred method for cooling the wire guide roller flows the gas between the ribs of serving as a stabilizer Through steel finned tube.

Bei einem weiteren bevorzugten Verfahren strömt das Gas zwischen dem Beschichtungsträger und dem Stabilisierungsträger und zwischen dem Stabilisierungsträger und dem Grundkörper gemeinsam durch.at In another preferred method, the gas flows between the coating carrier and the stabilizer and between the stabilizer carrier and the main body together by.

Bei dieser besonderen Ausführungsform ist z.B. der Grundkörper mit Rippen, wobei auf die Rippen ein CFK-Rohr mit außen liegenden Kühlkanälen aufgeschoben ist und auf dem CFK-Rohr ist der Beschichtungsträger aufgeschrumpft.at this particular embodiment is e.g. the main body with ribs, whereby on the ribs a CFK pipe with outside lying Slid on cooling channels and on the CFRP tube, the coating carrier is shrunk.

Bei einem weiteren bevorzugten Verfahren zur Kühlung der Drahtführungsrolle wird die Temperatur und die Luftmenge des Kühlmediums in Abhängigkeit von der Austrittstemperatur aus der Drahtführungsrolle auf eine definierte Temperatur geregelt. Derartige Temperaturen liegen in einem Bereich von 20°C–30 °C, bevorzugt 23 °C bis 27 °C, besonders bevorzugt 24 °C bis 26 °C, ganz besonders bevorzugt 25 °C. Jede eingestellte Temperatur wird vorzugsweise mit einer Genauigkeit von ± 0,5 °C eingestellt.at Another preferred method for cooling the wire guide roller the temperature and the air volume of the cooling medium are dependent from the exit temperature of the wire guide roller to a defined Temperature regulated. Such temperatures are within one range of 20 ° C-30 ° C, preferred 23 ° C to 27 ° C, more preferred 24 ° C to 26 ° C, whole most preferably 25 ° C. Each set temperature is preferably with accuracy set to ± 0.5 ° C.

Bei einem weiteren bevorzugten Verfahren zur Kühlung der Drahtführungsrolle wird die Temperatur und die Luftmenge des Kühlmediums in Abhängigkeit von der Scheidtiefe geregelt. Das bedeutet, dass z.B. am Anfang des Sägevorgangs weniger gekühlt wird als beim Sägevorgang zur Mitte des Halbleitermaterials hin gekühlt wird.at Another preferred method for cooling the wire guide roller the temperature and the air volume of the cooling medium are dependent governed by the divorce depth. This means that e.g. at the beginning the sawing process less cooled is considered when sawing is cooled toward the center of the semiconductor material.

Bei einem weiteren bevorzugten Verfahren zur Kühlung der Drahtführungsrolle wird die Temperatur und die Luftmenge des Kühlmediums in Abhängigkeit von der Temperatur des Drahtsägemediums (Slurry) geregelt. Die Temperatur des Drahtsägemediums kann bis zu 40 °C erreichen. Wenn die Temperatur des Drahtsägemediums über die Solltemperatur von z.B. 25°C ansteigt, wird die Drahtführungsrolle um einen bestimmten zugeordneten Wert abgekühlt.at Another preferred method for cooling the wire guide roller the temperature and the air volume of the cooling medium are dependent on the temperature of the wire sizing medium (slurry) regulated. The temperature of the wire sizing medium can reach up to 40 ° C. When the temperature of the wire cutting medium exceeds the Set temperature of e.g. 25 ° C rises, the wire guide roller is to cooled down a certain assigned value.

Bei einem weiteren bevorzugten Verfahren wird die Temperatur und die Luftmenge nach einem fest vorgegebenen Programm in Abhängigkeit von der Schneidzeit eingestellt, um eine von der üblichen Geometrie abweichende Geometrie zu erhalten, z.B. gewölbte Scheiben.at In another preferred method, the temperature and the Air volume according to a fixed program depending on set by the cutting time to one of the usual geometry to obtain different geometry, e.g. domed discs.

Die Gaskühlung hat den Vorteil, dass bei ihr kein flüssiges Kühlmittel notwendig ist, wie es bereits verwendet wird, da flüssige Kühlmittel bei der Demontage der Drahtführungsrolle in die Drahtsäge gelangen können und so die Drahtsäge kontaminiert wird.The gas cooling has the advantage that with her no liquid coolant is necessary, such as it is already being used as liquid coolant during disassembly of the wire guide roller in the wire saw can reach and so the wire saw contaminated.

Figurenbeschreibungfigure description

1 1: Beschichtungcoating
22: Beschichtungsträgers coating carrier
33: Stabilisierungsträgerstabilizing support
44: Grundkörperbody
5 5: Schraubenscrew
66: Kühleinheitcooling unit
77: Gießformmold
88th: Trägerkörpersupport body
99: Regeleinheitcontrol unit
1111: Metallrippenmetal ribs
1212: Zentrierringecentering
1414: Kühlkanälecooling channels

Die 1 zeigt eine Schnittansicht einer Drahtführungsrolle.The 1 shows a sectional view of a wire guide roller.

Die 2 zeigt eine Schnittansicht eines Beschichtungsträgers (2) auf den eine neue Beschichtung (1) aufgebracht wird.The 2 shows a sectional view of a coating carrier ( 2 ) onto which a new coating ( 1 ) is applied.

3 zeigt das Aufbringen einer Rillierung auf einen Beschichtungsträger (2). 3 shows the application of a grooving on a coating carrier ( 2 ).

Die 4a bis 4e zeigen erfindungsgemäße Drahtführungsrollen mit Stabilisierungsträgern (3).The 4a to 4e show wire guide rollers according to the invention with stabilizing carriers ( 3 ).

1 stellt eine erfindungsgemäße Drahtführungsrolle mit einem Grundkörper (4) dar, auf den ein Stabilisierungsträger (3) befestigt ist, auf den wiederum ein Beschichtungsträger (2) mit Beschichtung (1) montiert ist und vorzugsweise axial mit Schrauben (5) gesichert ist. Der Stabilisierungsträger (3) und der innenliegende Grundkörper (4) haben vorzugsweise radial größere Ausdehnungskoeffizienten als das außenliegende Beschichtungsrohr. Das Beschichtungsrohr ist bevorzugt aus einem Metallrohr mit sehr kleinem Wärmeausdehnungskoeffizienten, z.B. Invarstahl, kann aber auch aus nichtmetallischen Werkstoffen oder auch aus keramischen Werkstoffen bestehen. Dadurch ist es möglich, den Beschichtungsträger durch Abkühlen der gesamten Drahtführungsrolle von dem Grundkörper zu lösen. 1 shows a wire guide roller according to the invention with a base body ( 4 ) to which a stabilizer ( 3 ), to which in turn a coating carrier ( 2 ) with coating ( 1 ) is mounted and preferably axially with screws ( 5 ) is secured. The stabilization carrier ( 3 ) and the inner body ( 4 ) preferably have radially greater coefficients of expansion than the outer coating tube. The coating tube is preferably made of a metal tube with a very small coefficient of thermal expansion, such as Invarstahl, but may also consist of non-metallic materials or ceramic materials. This makes it possible to detach the coating carrier by cooling the entire wire guide roller of the body.

2 zeigt die Beschichtung eines demontierten Beschichtungsträgers (2) einer erfindungsgemäßen Drahtführungsrolle. Hierbei wird bevorzugt nur der Beschichtungsträger (2) in einer Gießform (7) beschichtet. Es ist auch möglich, ein Laminat auf den Beschichtungsträger (2) zu wickeln. Es ist nicht mehr die gesamte Drahtführungsrolle, sondern nur noch der Beschichtungsträger (2) erforderlich. 2 shows the coating of a dismantled coating carrier ( 2 ) of a wire guide roller according to the invention. In this case, only the coating carrier ( 2 ) in a casting mold ( 7 ) coated. It is also possible to apply a laminate to the coating carrier ( 2 ) to wind. It is no longer the entire wire guide roller, but only the coating carrier ( 2 ) required.

3 zeigt einen Trägerkörper (8), der Teil der Rilliermaschine ist, wobei er die gleiche Außenkontur wie der Stabilisierungsträger (3) besitzt und auf den zum Zweck des Rillierens der Beschichtungsträger (2) montiert ist. 3 shows a carrier body ( 8th ), which is part of the grooving machine, wherein it has the same outer contour as the Stabilisierungssträger ( 3 ) and on the for the purpose of scoring the coating carrier ( 2 ) is mounted.

4a zeigt eine Drahtführungsrolle mit einem Stabilisierungsträger (3) aus CFK, auf den der Beschichtungsträger (2) mit einer Polyurethanauflage als Beschichtung (1) folgt. 4a shows a wire guide roller with a stabilization carrier ( 3 ) made of CFRP, to which the coating carrier ( 2 ) with a polyurethane coating as a coating ( 1 ) follows.

Ein mittiger Zentrierring 12 verbindet den Stabilisierungsträger (3) mit dem Beschichtungsträger (2) und ermöglicht so ein geringes Gewicht und eine stabile Konstruktion.A central centering ring 12 connects the stabilization carrier ( 3 ) with the coating carrier ( 2 ) and thus enables a low weight and a stable construction.

4b zeigt eine Drahtführungsrolle mit einem Stabilisierungsträger (3) aus Metallrohr mit geformten Rippen (11), der zugleich den Grundkörper darstellt. Im Grundkörper (4) sind Kühlkanäle (14) für den Ein- und Austritt des Kühlmediums dargestellt. Das Kühlmedium strömt zwischen den Rippen (11) entlang. 4b shows a wire guide roller with a stabilization carrier ( 3 ) made of metal tube with molded ribs ( 11 ), which also represents the basic body. In the basic body ( 4 ) are cooling channels ( 14 ) for the inlet and outlet of the cooling medium. The cooling medium flows between the ribs ( 11 ) along.

4c zeigt eine Drahtführungsrolle mit einem Stabilisierungsträger (3) aus vorzugsweise CFK mit Zentrierringen (12), die bei dieser Ausführung eine konische Außenkontur haben. Zwischen dem Stabilisierungsträger (3) und Beschichtungsträger (2) sind Kühlkanäle (14) dargestellt 4c shows a wire guide roller with a stabilization carrier ( 3 ) made of preferably CFRP with centering rings ( 12 ), which have a conical outer contour in this embodiment. Between the stabilization carrier ( 3 ) and coating carrier ( 2 ) are cooling channels ( 14 )

4d zeigt eine Drahtführungsrolle mit einem Stabilisierungsträger (3) mit Metallrippen (11) mit Kühlkanälen (14). Die Metallrippen sind gekrümmt zur Bereitstellung einer möglichst großen Oberfläche. 4d shows a wire guide roller with a stabilization carrier ( 3 ) with metal ribs ( 11 ) with cooling channels ( 14 ). The metal ribs are curved to provide the largest possible surface area.

4e zeigt eine Drahtführungsrolle mit einem Stabilisierungsträger (3) aus CFK-Rohr, der auf einem Grundkörper (4) mit Stahl- oder Gussrippen (11) aufgepresst ist. Auf das CFK-Rohr ist der Beschichtungsträger (2) aufgepresst. Zwischen den Metallrippen (11) und zwischen Stabilisierungsträger (3) und Beschichtungsträger (2) strömt das Kühlmedium hindurch. 4e shows a wire guide roller with a stabilization carrier ( 3 ) made of CFRP pipe, which is mounted on a base body ( 4 ) with steel or cast ribs ( 11 ) is pressed. On the CFRP tube is the coating carrier ( 2 ) pressed on. Between the metal ribs ( 11 ) and between stabilizers ( 3 ) and coating carrier ( 2 ), the cooling medium flows through.

5 zeigt eine Drahtführungsrolle mit einem Stabilisierungsträger (3), der am Beschichtungsträger (2) befestigt ist und gemeinsam mit dem Beschichtungsträger (2) zum Beschichten vom Grundkörper (4) getrennt wird. Somit können z.B. die Schrauben (5) einfach gelöst werden, die den Grundkörper mit dem Stabilisierungsträger (3) verbinden und der Stabilisierungsträger (3) wird mit dem Beschichtungsträger (2) zusammen zum neu Beschichten eingeschickt. Ein Auf- und Abschrumpfen des Stabilisierungsträgers (3) vom Beschichtungsträger (2) entfällt bei dieser Ausführungsform also. 5 shows a wire guide roller with a stabilization carrier ( 3 ), which on the coating carrier ( 2 ) and together with the coating carrier ( 2 ) for coating the base body ( 4 ) is separated. Thus, for example, the screws ( 5 ) are easily solved, the basic body with the stabilization carrier ( 3 ) and the stabilization carrier ( 3 ) is coated with the coating carrier ( 2 ) sent in together for recoating. A shrinking and shrinking of the stabilizing carrier ( 3 ) from the coating carrier ( 2 ) thus omitted in this embodiment.

6 zeigt die gesamte Kühleneinrichtung mit Drahtführungsrolle, Kühleinheit (6) und Regeleinheit (9). Es ist möglich, die Temperatur und den Volumenstrom zur Konstanthaltung der Temperatur oder zur Einstellung oder Profilierung der Temperatur der Drahtführungsrolle in Abhängigkeit von der Schneidtiefe zu regeln oder die Temperatur und den Volumenstrom nach einem vorgegebenen Programm in Abhängigkeit von der Schneidzeit oder der Schneidtiefe einzustellen. 6 shows the entire cooling device with wire guide roller, cooling unit ( 6 ) and control unit ( 9 ). It is possible to regulate the temperature and the volume flow for keeping constant the temperature or for adjusting or profiling the temperature of the wire guide roller depending on the depth of cut or to adjust the temperature and the volume flow according to a predetermined program depending on the cutting time or the cutting depth.

Der Vorteile der Erfindung sind, dass die Neubeschichtung einer erfindungsgemäßen Drahtführungsrolle nun schneller, einfacher und kostengünstiger möglich ist. Das erfindungsgemäße Verfahren zur Kühlung der Drahtführungsrolle ermöglicht nun eine einfache Kühlung, ohne dass eine Kontamination der Drahtsäge erfolgt. Die Öffnung des Kühlkreises hat nun keine störende Beeinflussung der Temperierung der Drahtführungsrollen nach dem Wiederanfahren der Drahtsäge zur Folge.The advantages of the invention are that the New coating of a wire guide roller according to the invention is now faster, easier and cheaper possible. The inventive method for cooling the wire guide roller now allows easy cooling without contamination of the wire saw takes place. The opening of the cooling circuit now has no disturbing influence on the temperature of the wire guide rollers after the restart of the wire saw result.

Die Reduzierung des Trägheitsmoments vermindert den Verschleiß der Beschichtung und das geringe Gewicht vereinfacht das Handling der Rollen.The Reduction of the moment of inertia reduces the wear of the Coating and the low weight simplifies the handling of the Roll.

Claims

Wire guide roller, characterized in that it comprises a basic body ( 4 ) and a detachable coating carrier ( 2 ) having.

Wire guide roller according to claim 1, characterized in that the basic body ( 4 ) a stabilizer carrier ( 3 ) having.

Wire guide roller according to claim 1, characterized in that the coating carrier ( 2 ) a stabilizer carrier ( 3 ) having.

Wire guide roller according to claim 1, characterized in that the coating carrier ( 2 ) consists of CFRP or a ceramic material.

Wire guide roller according to claim 3, characterized in that the stabilization carrier ( 3 ) consists of CFRP or metal.

Wire guide roller according to claim 3, characterized in that the stabilization carrier ( 3 ) a metal tube with shaped ribs ( 11 ).

Wire guide roller according to claim 3, characterized in that the stabilization carrier ( 3 ) with centering rings ( 12 ) Is provided.

Wire guide roller according to claim 2 and 3, characterized in that the stabilization carrier ( 3 ) Has cooling channels.

Wire feed roll according to claim 2 and 3, characterized in that between the Ridges and between stabilizer and coating tube cooling channels exist.

Method of cooling the wire guide roller according to one or more of claims 1 to 9, characterized that the wire guide roller with gas or a mixture of gas with traces of a corrosion inhibitor chilled becomes.

Method for cooling the wire guide roller according to claim 10, characterized in that the gas between the base body ( 4 ) and the stabilizer carrier ( 3 ) flows through.

Method for cooling the wire guide roller according to claim 10, characterized in that the gas between the stabilization carrier ( 3 ) and the coating carrier ( 2 ) flows through.

Method for cooling the wire guide roller according to claim 9, characterized in that the gas between the ribs of the stabilization carrier ( 3 ) serving metal finned tube ( 11 ) flows through.

Method for cooling the wire guide roller according to claim 10, characterized in that between the ribs and between stabilizing carrier ( 3 ) and coating carrier ( 2 ) flows through the cooling medium in each case.

Method of cooling the wire guide roller according to claim 10, characterized in that the temperature and the amount of air in the cooling medium dependence from the exit temperature of the wire guide roller to a defined Temperature can be regulated.

Method of cooling the wire guide roller according to claim 10, characterized in that the temperature and the amount of air in the cooling medium dependence be regulated by the divorce depth.

Method of cooling the wire guide roller according to claim 10, characterized in that the temperature and the amount of air in the cooling medium dependence from the temperature of the sawing medium is regulated.

Method of cooling the wire guide roller according to claim 10, characterized in that the temperature and the amount of air in the cooling medium dependence set by the cutting time according to a fixed program becomes.