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DE10249938A1 - Micro system valve has a ferromagnetic valve element moved by permanent magnets on a slider mounting - Google Patents

Micro system valve has a ferromagnetic valve element moved by permanent magnets on a slider mounting Download PDF

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Publication number
DE10249938A1
DE10249938A1 DE2002149938 DE10249938A DE10249938A1 DE 10249938 A1 DE10249938 A1 DE 10249938A1 DE 2002149938 DE2002149938 DE 2002149938 DE 10249938 A DE10249938 A DE 10249938A DE 10249938 A1 DE10249938 A1 DE 10249938A1
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
valve
plate
permanent magnets
yoke
area
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Withdrawn
Application number
DE2002149938
Other languages
German (de)
Inventor
Christian-Joachim Dr. Schmidt
Manfred Dr. Wetzko
Albrecht Dr. Vogel
Peter Dr.-Ing. Krippner
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
ABB Research Ltd Switzerland
ABB Research Ltd Sweden
Original Assignee
ABB Research Ltd Switzerland
ABB Research Ltd Sweden
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by ABB Research Ltd Switzerland, ABB Research Ltd Sweden filed Critical ABB Research Ltd Switzerland
Priority to DE2002149938 priority Critical patent/DE10249938A1/en
Publication of DE10249938A1 publication Critical patent/DE10249938A1/en
Withdrawn legal-status Critical Current

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Abstract

A micro system valve has several valve spaces (3) cut into a support plate (5) and with at least one outlet (8) in each chamber, as well as a ferromagnetic valve ball (10) in each chamber. The top of each chamber is sealed by a cover plate (6) with machined profiles for the chambers. The valve array has at least three adjacent valves on a single mounting and with the ferromagnetic balls moved by permanent magnets (13, 14) fitted into sliders moving on each side of the valve assembly.

Description

Die Erfindung bezieht sich auf eine Ventilanordnung mit wenigstens einem Ventil gemäß dem Oberbegriff des Patentanspruchs 1.The invention relates to a Valve arrangement with at least one valve according to the preamble of the claim 1.

Eine solche Ventilanordnung finden in der Mikrosystemtechnik eine Anwendung, wo sie zum Öffnen und Schließen von Kanälen in Mikrosystemen genutzt wird, durch die Gase oder Flüssigkeiten geleitet werden. Das Öffnen oder Schließen von Kanälen übernehmen dabei die einzelnen Ventile.Find such a valve assembly in microsystem technology an application where it can be opened and Conclude of channels is used in microsystems, through which gases or liquids be directed. The opening or closing take over from channels the individual valves.

Es ist bereits ein Mikroventil bekannt, bei dem das Schließen des Ventils mittels Strömung und Differenzdruck erfolgt, wodurch eine Kugel auf den kreisförmigen Ventilsitz gedrückt und mit Hilfe eines Elektromagneten gehalten wird. Sind die beiden Bedingungen Strömung und/oder Differenzdruck nicht gegeben, so stellt sich ein nicht definierter Zustand der Kugel ein. Ein sicheres Schließen des Ventils wird dann nicht mehr gewährleistet. Der Elektromagnet, der die Kugel auf dem Ventilsitz hält, muss dabei ständig an einer elektrischen Spannungsquelle angeschlossen sein, so dass hierdurch viel Energie verbraucht wird. Sind in ein solches Mikrosystem eine Vielzahl von Ventilen integriert, so ist eine entsprechende Anzahl von Elektromagneten erforderlich, für die viel Platz benötigt wird, wodurch die Einrichtung unnötig vergrößert wird.A microvalve is already known where the closing of the valve by means of flow and differential pressure takes place, creating a ball on the circular valve seat depressed and is held with the help of an electromagnet. Are the two Current conditions and / or differential pressure is not given, it does not occur defined state of the ball. A safe closing of the The valve is then no longer guaranteed. The electromagnet that holds the ball on the valve seat must doing it all the time be connected to an electrical voltage source so that this consumes a lot of energy. Are in such a microsystem integrated a large number of valves, so is a corresponding one Number of electromagnets required for which a lot of space is required making the setup unnecessary is enlarged.

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine Ventilanordnung aufzuzeigen, die geringere bauliche Abmessungen aufweist, kostengünstig hergestellt und Energie sparend betrieben werden kann.The invention has for its object a Valve arrangement to show the smaller structural dimensions has, inexpensive can be manufactured and operated in an energy-saving manner.

Diese Aufgabe wird durch die Merkmale des Patentanspruchs 1 gelöst.This task is due to the characteristics of claim 1 solved.

Weitere erfinderische Merkmale sind in den abhängigen Ansprüchen gekennzeichnet.Other inventive features are in the dependent claims characterized.

Die Erfindung wird nachfolgend an Hand von schematischen Zeichnungen näher erläutert.The invention will follow Hand explained in more detail by schematic drawings.

Es zeigen:Show it:

1 eine Ventilanordnung, 1 a valve arrangement,

2 einen Ausschnitt der in 1 dargestellten Ventilanordnung senkrecht zur Längsachse, 2 a section of the in 1 valve arrangement shown perpendicular to the longitudinal axis,

3 die Ventilanordnung gemäß 1 mit einer anderen Einstellung der Ventile. 3 the valve arrangement according to 1 with a different setting of the valves.

1 zeigt eine Ventilanordnung 1 mit drei Ventilen 2, 3 und 4. Die Ventile 2, 3 und 4 sind in einem Verbund, der aus zwei Platten 5 und 6 gebildet wird, in einem definierten Abstand voneinander angeordnet. Die beiden Platten 5 und 6 sind gleich groß. Die Platte 5 ist jedoch dicker ausgebildet als die Platte 6. Für die Ausbildung der Ventile 2, 3 und 4 sind die beiden Platten 5 und 6 und an den gleichen Stellen mit Ausnehmungen versehen, wobei die Ausnehmungen der Platte 5 bei dem hier dargestellten Ausführungsbeispiel ein größeres Volumen aufweisen. Die Platten 5 und 6 sind gasdicht miteinander verbunden, und so aufeinander gesetzt, dass die Ausnehmungen der Platte 6 exakt gegenüber den Ausnehmungen der Platte 5 liegen, und sich jeweils zwei Ausnehmungen zu einem Ventil 2, 3 und 4 ergänzen. Jedes Ventil 2, 3 und 4 ist im Bereich der Platte 5 mit jeweils einer Öffnung 8 versehen. Jede Öffnung 8 steht mit einer Leitung (hier nicht dargestellt) in Verbindung, die innerhalb der Platte 5 geführt ist. Innerhalb eines jeden Ventils 2, 3 und 4 ist eine Kugel 10 angeordnet, die aus einem ferromagnetischen Werkstoff gefertigt ist. Die Kugeln 10 sind aus einem ferromagnetischen Edelstahl gefertigt, und haben Durchmesser, die größer als die Durchmesser der Öffnungen 8 sind. Dadurch ist es möglich, die Öffnungen 8 damit zu verschließen. Um die Kugeln 10 bewegen und gegen die Öffnungen 8 pressen zu können, sind Permanentmagnete 13 und 14 vorgesehen, die außerhalb der Ventile 2, 3, 4 installiert sind. 1 shows a valve arrangement 1 with three valves 2 . 3 and 4 , The valves 2 . 3 and 4 are in a composite consisting of two plates 5 and 6 is formed, arranged at a defined distance from each other. The two plates 5 and 6 are the same size. The plate 5 is however thicker than the plate 6 , For the formation of the valves 2 . 3 and 4 are the two plates 5 and 6 and provided in the same places with recesses, the recesses of the plate 5 have a larger volume in the embodiment shown here. The plates 5 and 6 are connected to each other in a gas-tight manner and are placed on top of one another so that the recesses in the plate 6 exactly opposite the recesses of the plate 5 lie, and each two recesses to a valve 2 . 3 and 4 complete. Every valve 2 . 3 and 4 is in the area of the plate 5 with one opening each 8th Mistake. Every opening 8th is connected to a line (not shown here) that is inside the plate 5 is led. Inside every valve 2 . 3 and 4 is a ball 10 arranged, which is made of a ferromagnetic material. The balls 10 are made of a ferromagnetic stainless steel, and have diameters larger than the diameter of the openings 8th are. This makes it possible to open the openings 8th to seal with it. Around the balls 10 move and against the openings 8th Being able to press are permanent magnets 13 and 14 provided outside the valves 2 . 3 . 4 are installed.

Bei dem hier dargestellten Ausführungsbeispiel bilden die beiden Platten 5 und 6 einen 0,5 bis 1,5 mm dicken Si-Glas-Verbund. Die hierin ausgebildeten Ventile 2, 3, 4 haben alle einen Durchmesser, der 100 μm bis 200 μm beträgt. Die Platten 5 und 6 können auch einen 0,5 bis 3 mm dicken Keramik-Kunststoff-Verbund oder einen Kunststoff-Glas-Verbund bilden, innerhalb dessen die Ventile 2, 3, 4 mit einem Durchmesser von 100 bis 400 μm ausgebildet sind. Die erfindungsgemäße Ventilanordnung 1 ist nicht auf diese Materialen und Abmessungen beschränkt. Vielmehr können auch andere Abmessungen gewählt und alle Materialen verwendet werden, welche die gleichen Eigenschaften aufweisen.In the embodiment shown here, the two plates form 5 and 6 a 0.5 to 1.5 mm thick Si-glass composite. The valves formed here 2 . 3 . 4 all have a diameter that is 100 μm to 200 μm. The plates 5 and 6 can also form a 0.5 to 3 mm thick ceramic-plastic composite or a plastic-glass composite, within which the valves 2 . 3 . 4 are formed with a diameter of 100 to 400 microns. The valve arrangement according to the invention 1 is not limited to these materials and dimensions. Rather, other dimensions can also be selected and all materials can be used that have the same properties.

Wie 2 für einen Permanentmagneten 13 zeigt, sind alle Permanentmagnete 13, 14 als quaderförmige Bauelemente ausgebildet, wobei die den Ventilen 2, 3 und 4 zugewandten Begrenzungsflächen der Permanentmagnete 13, 14 so groß gewählt sind, dass sie etwa dem Querschnitt der Kugeln 10 entsprechen. Wie die 1 und 2 zeigen, sind alle Permanentmagnete 13, 14 innerhalb einer Jochanordnung 15, 16 installiert, die durch zwei flächige Bauelemente 15B, 15C und 16B, 16C gebildet wird. Die Bauelemente 15B, 15C und 16B, 16C sind aus Weicheisen gefertigt. Die Bauelemente 15B, 16B sind in den Bereichen, in denen sie die Permanentmagnete 13 und 14 tragen, als Laschen ausgebildet. An den Stellen, an den ein Permanentmagnet 13, 14 unmittelbar angeordnet ist, sind die Bauelemente 15B, 16B zudem mit jeweils einem senkrecht zur Platte 5, 6 ausgerichteten Steg 15S, 16S versehen. Die Länge des Stegs 15S, 16S bestimmt den gewünschten Abstand zwischen den Permanentmagneten 13, 14 und den Ventilen 2, 3, 4. Die Stege 15S und 16S sind alle gleich lang. Das zweite Ende eines jeden Stegs 15S, 16S ist in einer Nut 18 angeordnet. Diese Nut 18 ist auf der Begrenzungsfläche der Platte 5, 6, die dem Steg 15S, 16S zugewandt ist, ausgebildet und parallel zu der Längsachse der Platte 5, 6 ausgerichtet.How 2 for a permanent magnet 13 shows are all permanent magnets 13 . 14 formed as cuboid components, the valves 2 . 3 and 4 facing boundary surfaces of the permanent magnets 13 . 14 are chosen so large that they are approximately the cross-section of the balls 10 correspond. As the 1 and 2 show are all permanent magnets 13 . 14 within a yoke arrangement 15 . 16 installed by two flat components 15B . 15C and 16B . 16C is formed. The components 15B . 15C and 16B . 16C are made of soft iron. The components 15B . 16B are in the areas where they are the permanent magnets 13 and 14 wear, designed as tabs. In the places where a permanent magnet 13 . 14 the components are directly arranged 15B . 16B also with one perpendicular to the plate 5 . 6 aligned footbridge 15S . 16S Mistake. The length of the jetty 15S . 16S determines the desired distance between the permanent magnets 13 . 14 and the valves 2 . 3 . 4 , The bridges 15S and 16S are all the same length. The second end of each footbridge 15S . 16S is in a groove 18 arranged. This groove 18 is on the boundary surface of the plate 5 . 6 that the jetty 15S . 16S is facing, formed and parallel to the longitudinal axis of the plate 5 . 6 aligned.

Jedes Bauelemente 15C, 16C ist über die gesamte Länge als flächiges Bauelement ausgebildet. In dem Bereich zwischen den Platten 5, 6 und den unteren Begrenzungen der Permanentmagnete 13, 14 ist jedes Bauelemente 15C, 16C so gebogen, dass der Abstand zu dem jeweils ersten Bauelement 15B, 16B im Bereich der Platte 5, 6 etwa halb so groß, ist wie im Bereich der Permanentmagnete 13 ,14. Der maximale Abstand der Bauelemente 15B und 15C bzw. 16B und 16C beträgt bei dem hier dargestellten Ausführungsbeispiel 200 μm bis 800 μm. Die Jochanordnung 15, 16 kann entlang der Außenfläche der Platte 5, 6 parallel zu dessen Längsachse verschoben werden, wobei das Bauelement 15B, 16B in der Nut 18 gleitet. Die beiden Jochanordnungen 15 und 16 werden hierfür mit einem gemeinsamen oder zwei von einander getrennten Antrieben (hier nicht dargestellt) verbunden.Every component 15C . 16C is designed as a flat component over the entire length. In the area between the plates 5 . 6 and the lower limits of the permanent magnets 13 . 14 is every component 15C . 16C bent so that the distance to the first component 15B . 16B in the area of the plate 5 . 6 is about half as large as in the area of permanent magnets 13 . 14 , The maximum distance of the components 15B and 15C respectively. 16B and 16C is 200 μm to 800 μm in the exemplary embodiment shown here. The yoke arrangement 15 . 16 can along the outer surface of the plate 5 . 6 are moved parallel to its longitudinal axis, the component 15B . 16B in the groove 18 slides. The two yoke arrangements 15 and 16 are connected to a common or two separate drives (not shown here).

Wie 1 zu entnehmen ist, sind Permanentmagnete 13 u 14 in einer bestimmten Anzahl und an definierten Stellen innerhalb der Jochanordnung 15, 16 installiert. Bei dem hier dargestellten Ausführungsbeispiel ist die Jochanordnungen 15 mit nur einem Permanentmagneten 13 bestückt, während innerhalb der Jochanordnungen 16 drei Permanentmagnete 14 angeordnet sind. Werden die ersten Enden 5A, 6A der Platten 5, 6 in einer Ebene mit den ersten Enden 15A, 16A der Jochanordnungen 15, 16 angeordnet, so ist der einzige Permanentmagnet 13 der Jochanordnungen 15 unterhalb des Ventils 3 positioniert. Die Permanentmagnete 14 der Jochanordnung 16 sind in diesem Fall so ausgerichtet, dass jeweils ein Permanentmagnet 14 über den Ventilen 2 und 3 sowie im Bereich außerhalb der Platte 6 angeordnet ist. Hierdurch wird erreicht, dass die Öffnungen 8 der Ventile 2 und 3 durchgängig sind, während die Öffnung 8 des Ventils 4 durch die Kugel 10 verschlossen ist, die von dem Permanentmagnet 13 gegen die Öffnung 8 gepresst wird.How 1 can be seen are permanent magnets 13 u 14 in a certain number and at defined positions within the yoke arrangement 15 . 16 Installed. In the embodiment shown here is the yoke arrangements 15 with only one permanent magnet 13 populated while within the yoke arrangements 16 three permanent magnets 14 are arranged. Be the first ends 5A . 6A of the plates 5 . 6 in one plane with the first ends 15A . 16A the yoke arrangements 15 . 16 arranged, so is the only permanent magnet 13 the yoke arrangements 15 below the valve 3 positioned. The permanent magnets 14 the yoke arrangement 16 are aligned in this case so that a permanent magnet 14 over the valves 2 and 3 as well as in the area outside the plate 6 is arranged. This ensures that the openings 8th of the valves 2 and 3 are continuous during the opening 8th of the valve 4 through the bullet 10 is closed by the permanent magnet 13 against the opening 8th is pressed.

Die in 3 dargestellte Ventilanordnung 1 ist baugleich mit der in 1 dargestellten und in der zugehörigen Beschreibung erläuterten Ventilanordnung 1. Gleiche Bauteile sind deshalb mit gleichen Bezugszeichen versehen. Der Unterschied zwischen beiden Ventilanordnungen 1 besteht lediglich darin, dass die ersten Enden 15A und 16A der Jochanordnungen 15, 16 über die ersten Enden 5A, 6A der Platten 5, 6 hinaus bis zum Anschlag verschoben sind. In diesem Fall ist der Permanentmagnet 13 unterhalb des Ventils 3 positioniert und jeweils ein Permanentmagnet 14 über den Ventilen 2 und 4, so dass deren Öffnungen 8 durchgängig sind, während das Ventil 3 verschlossen ist.In the 3 valve arrangement shown 1 is identical to the one in 1 valve arrangement shown and explained in the associated description 1 , The same components are therefore provided with the same reference numerals. The difference between the two valve arrangements 1 is just that the first ends 15A and 16A the yoke arrangements 15 . 16 over the first ends 5A . 6A of the plates 5 . 6 are moved to the stop. In this case, the permanent magnet 13 below the valve 3 positioned and a permanent magnet 14 over the valves 2 and 4 so their openings 8th are continuous while the valve 3 is closed.

Claims (7)

Ventilanordnung mit wenigstens einem Ventil (2, 3, 4), das wenigstens eine Öffnung (8) aufweist, die mit einer Kugel (10) verschließbar ist, dadurch gekennzeichnet, dass im Bereich eines jeden Ventils (2) wenigstens ein Permanentmagnet (13, 14) positionierbar ist, der die innerhalb des Ventils (2) angeordnete Kugel (10) gegen die verschließbare Öffnung (8) presst oder in einem vorgebbaren Abstand davon hält.Valve arrangement with at least one valve ( 2 . 3 . 4 ) that has at least one opening ( 8th ) with a ball ( 10 ) can be closed, characterized in that in the area of each valve ( 2 ) at least one permanent magnet ( 13 . 14 ) that can be positioned within the valve ( 2 ) arranged ball ( 10 ) against the closable opening ( 8th ) presses or holds a predeterminable distance from it. Ventilanordnung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass wenigstens drei Ventile (2, 3 und 4) in einem Verbund aus zwei Platten (5, 6) ausgebildet und die beiden Platte (5,6) hierfür an den gleichen Stellen miteinander zugewandten Ausnehmungen versehen sind, dass jedes Ventil (2, 3 und 4) im Bereich der Platte (5) mit jeweils wenigstens einer verschließbaren Öffnung (8) versehen ist, die mit einer Leitung in Verbindung steht, die innerhalb der Platte (5) geführt ist, dass innerhalb eines jeden Ventils (2, 3, 4) eine Kugel (10) aus einem ferromagnetischen Werkstoff angeordnet ist, deren Durchmesser größer ist als die Durchmesser der Öffnungen (8).Valve arrangement according to claim 1, characterized in that at least three valves ( 2 . 3 and 4 ) in a composite of two plates ( 5 . 6 ) and the two plates ( 5 . 6 ) there are recesses facing each other at the same points so that each valve ( 2 . 3 and 4 ) in the area of the plate ( 5 ) with at least one closable opening ( 8th ) which is connected to a line which runs inside the plate ( 5 ) is that within each valve ( 2 . 3 . 4 ) a ball ( 10 ) made of a ferromagnetic material, the diameter of which is larger than the diameter of the openings ( 8th ). Ventilanordnung nach einem der Ansprüche 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass ein Permanentmagnet (13) und drei Permanentmagnete (14) jeweils innerhalb einer Jochanordnung (15, 16) installiert sind, dass jede Jochanordnungen (15, 16) aus zwei flächigen, aus einem Weicheisen gefertigten Bauelementen (15B, 16B und 15C, 16C) zusammen gefügt ist.Valve arrangement according to one of claims 1 or 2, characterized in that a permanent magnet ( 13 ) and three permanent magnets ( 14 ) each within a yoke arrangement ( 15 . 16 ) are installed so that each yoke arrangement ( 15 . 16 ) from two flat components made of a soft iron ( 15B . 16B and 15C . 16C ) is put together. Ventilanordnung nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, dass die Jochanordnungen (15, 16) entlang der Außenflächen der Platten (5, 6) parallel zu deren Längsachsen verschiebbar gehaltert sind, und dass die Jochanordnungen (15, 16) mit einem gemeinsamen oder von einander getrennten Antrieben verbunden sind.Valve arrangement according to one of claims 1 to 3, characterized in that the yoke arrangements ( 15 . 16 ) along the outer surfaces of the panels ( 5 . 6 ) are slidably mounted parallel to their longitudinal axes, and that the yoke arrangements ( 15 . 16 ) are connected to a common or separate drives. Ventilanordnung nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, dass die Bauelemente (15B, 16B) zur seitlichen Begrenzung der Permanentmagnete (13 und 14) als Laschen ausgebildet und im Bereich der Permanentmagnete (13, 14) jeweils ei nen senkrecht zur Platte (5, 6) ausgerichteten Steg (15S, 16S) aufweisen, dass das zweite Ende eines jeden Stegs (15S, 16S) in einer Nut (18) angeordnet, die auf der dem Steg (15S, 16S) zugewandten Begrenzungsfläche der Platte (5,6) ausgebildet und parallel zu der Längsachse der Platte (5, 6) ausgerichtet ist.Valve arrangement according to one of claims 1 to 4, characterized in that the components ( 15B . 16B ) for lateral limitation of the permanent magnets ( 13 and 14 ) designed as tabs and in the area of the permanent magnets ( 13 . 14 ) each perpendicular to the plate ( 5 . 6 ) aligned web ( 15S . 16S ) have that the second end of each web ( 15S . 16S ) in a groove ( 18 ) arranged on the web ( 15S . 16S ) facing boundary surface of the plate ( 5 . 6 ) and parallel to the longitudinal axis of the plate ( 5 . 6 ) is aligned. Ventilanordnung nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, dass jedes Bauelement (15C, 16C) über die gesamte Länge flächig ausgebildet und zwischen der Platte (5, 6) und der Unterseite der Permanentmagnete (13, 14) so gebogen ist, dass der Abstand zu dem jeweils ersten Bauelement (15B, 16B) im Bereich der Platte (5, 6) etwa halb so groß ist wie im Bereich der Permanentmagnete (13 ,14).Valve arrangement according to one of claims 1 to 5, characterized in that each component ( 15C . 16C ) flat over the entire length and between the plate ( 5 . 6 ) and the underside of the permanent magnets ( 13 . 14 ) is bent so that the distance to the first component ( 15B . 16B ) in the area of the plate ( 5 . 6 ) is about half as large as in the area of permanent magnets ( 13 . 14 ). Ventilanordnung nach einem der Ansprüche 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet, dass die Permanentmagnete (13, 14) innerhalb der Jochanordnungen (15, 16) so positioniert sind, dass bei einer Position der ersten Enden (5A, 6A) der Platten (5, 6) in einer Ebene mit den ersten Enden (15A, 16A) der Jochanordnungen (15, 16) der einzige Permanentmagnet (13) der Jochanordnungen (15) unterhalb des Ventils (3) angeordnet ist, während jeweils ein Permanentmagnet (14) über den Ventilen (2 und 3) sowie im Bereich außerhalb der Platte (6) angeordnet ist.Valve arrangement according to one of claims 1 to 6, characterized in that the permanent magnets ( 13 . 14 ) within the yoke arrangements ( 15 . 16 ) are positioned so that at a position of the first ends ( 5A . 6A ) of the plates ( 5 . 6 ) in one plane with the first ends ( 15A . 16A ) the yoke arrangements ( 15 . 16 ) the only permanent magnet ( 13 ) the yoke arrangements ( 15 ) below the valve ( 3 ) is arranged, while a permanent magnet ( 14 ) over the valves ( 2 and 3 ) as well as in the area outside the plate ( 6 ) is arranged.
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