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DE102012222416A1 - Method for joining at least two components using a sintering process - Google Patents

Method for joining at least two components using a sintering process Download PDF

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DE102012222416A1
DE102012222416A1 DE102012222416.5A DE102012222416A DE102012222416A1 DE 102012222416 A1 DE102012222416 A1 DE 102012222416A1 DE 102012222416 A DE102012222416 A DE 102012222416A DE 102012222416 A1 DE102012222416 A1 DE 102012222416A1
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DE
Germany
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polymerizable
temperature
polymeric
organic compound
monomeric organic
Prior art date
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Withdrawn
Application number
DE102012222416.5A
Other languages
German (de)
Inventor
Andrea Feiock
Michael Guenther
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Robert Bosch GmbH
Original Assignee
Robert Bosch GmbH
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Robert Bosch GmbH filed Critical Robert Bosch GmbH
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Priority to US14/650,331 priority patent/US20150306669A1/en
Priority to EP13773796.1A priority patent/EP2928630A1/en
Priority to PCT/EP2013/070991 priority patent/WO2014086519A1/en
Publication of DE102012222416A1 publication Critical patent/DE102012222416A1/en
Withdrawn legal-status Critical Current

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Abstract

Die vorliegende Erfindung betrifft Verfahren zum Verbinden von wenigstens zwei Komponenten (18, 20) unter Verwendung eines Sinterprozesses. Um den Sinterprozess zu verbessern, umfasst das Verfahren die Verfahrensschritte: a) Bereitstellen eines Ausgangswerkstoffs (10) einer Sinterverbindung (22), umfassend sinterbare Partikel (12), aufweisend mindestens ein Metall oder mindestens eine Metallverbindung, und mindestens eine polymere, polymerisierbare und/oder monomere organische Verbindung (14), wobei die polymere, polymerisierbare und/oder monomere organische Verbindung (14) eine Fließtemperatur aufweist, die größer oder gleich der Raumtemperatur und kleiner als die Sintertemperatur ist, und wobei die polymere, polymerisierbare und/oder monomere organische Verbindung (14) ferner eine Desorptionstemperatur aufweist, die größer als die Fließtemperatur und kleiner oder gleich der Sintertemperatur ist; b) Anordnen des Ausgangswerkstoffs (10) zwischen zwei zu verbindenden Komponenten (18, 20); c) Erwärmen des Ausgangswerkstoffs (10) auf eine Temperatur T1, die größer oder gleich der Fließtemperatur der polymeren, polymerisierbaren und/oder monomeren organischen Verbindung (14) und kleiner als die Desorptionstemperatur der polymeren, polymerisierbaren und/oder monomeren organischen Verbindung (14) ist für eine Zeit t1; und d) Erwärmen des Ausgangswerkstoffs (10) auf eine Temperatur T2, die größer oder gleich der Sintertemperatur der sinterbaren Partikel (12) ist, gegebenenfalls unter Einwirkung eines Sinterdrucks, für eine Zeitdauer t2 unter Ausbildung einer Sinterverbindung (22).The present invention relates to a method for joining at least two components (18, 20) using a sintering process. In order to improve the sintering process, the method comprises the method steps: a) Providing a starting material (10) of a sintered compound (22), comprising sinterable particles (12), comprising at least one metal or at least one metal compound, and at least one polymeric, polymerizable and / or monomeric organic compound (14), wherein the polymeric, polymerizable and / or monomeric organic compound (14) has a flow temperature that is greater than or equal to room temperature and less than the sintering temperature, and wherein the polymeric, polymerizable and / or monomeric organic Compound (14) also has a desorption temperature which is greater than the flow temperature and less than or equal to the sintering temperature; b) arranging the starting material (10) between two components (18, 20) to be connected; c) heating the starting material (10) to a temperature T1 which is greater than or equal to the flow temperature of the polymeric, polymerizable and / or monomeric organic compound (14) and less than the desorption temperature of the polymeric, polymerizable and / or monomeric organic compound (14) is for a time t1; and d) heating the starting material (10) to a temperature T2 which is greater than or equal to the sintering temperature of the sinterable particles (12), optionally under the action of a sintering pressure, for a period of time t2 with the formation of a sintered connection (22).

Description

Die vorliegende Erfindung betrifft ein Verfahren zum Verbinden von wenigstens zwei Komponenten unter Verwendung eines Sinterprozesses.The present invention relates to a method of joining at least two components using a sintering process.

Stand der TechnikState of the art

Leistungselektronik wird in vielen Bereichen der Technik eingesetzt. Gerade in elektrischen oder elektronischen Geräten, in welchen große Ströme fließen, ist der Einsatz von Leistungselektronik unumgänglich. Die in der Leistungselektronik notwendigen Stromstärken führen zu einer Eigenerwärmung der enthaltenen elektrischen oder elektronischen Komponenten. Zusätzlich können die Komponenten der Leistungselektronik an Orten eingesetzt sein, die ständig einer erhöhten Temperatur ausgesetzt sind. Als Beispiele sind Steuergeräte im Automobilbereich zu nennen, die unmittelbar im Motorraum oder im Getrieberaum angeordnet sind. Dabei ist das Steuergerät außerdem einem ständigen Temperaturwechsel ausgesetzt, wodurch die enthaltenen elektrischen und/oder elektronischen Komponenten thermisch stark belastet werden. Im Allgemeinen sind Temperaturwechsel in einem Bereich bis zu einer Temperatur von 200°C üblich. Es werden jedoch zunehmend auch darüber hinaus gehende Einsatztemperaturen gefordert. Dadurch werden insgesamt erhöhte Anforderungen an die Zuverlässigkeit und die Funktionssicherheit von elektrischen oder elektronischen Geräten mit Leistungselektronik gestellt. Power electronics are used in many areas of technology. Especially in electrical or electronic devices in which large currents flow, the use of power electronics is unavoidable. The currents required in the power electronics lead to a self-heating of the electrical or electronic components contained. In addition, the components of the power electronics can be used in places that are constantly exposed to an elevated temperature. Examples include control devices in the automotive sector, which are arranged directly in the engine compartment or in the gear compartment. In this case, the control unit is also exposed to a constant temperature change, whereby the electrical and / or electronic components contained are subjected to high thermal loads. In general, temperature changes in a range up to a temperature of 200 ° C are common. However, more and more operating temperatures are increasingly required. As a result, overall increased demands are placed on the reliability and reliability of electrical or electronic devices with power electronics.

Üblicherweise erfolgt eine Anbindung von elektrischen oder elektronischen Komponenten – beispielsweise auf ein Trägersubstrat – durch eine Verbindungsschicht. Als eine derartige Verbindungsschicht sind Lotverbindungen bekannt, beispielsweise bleifreie Lotverbindungen aus Zinn-Silber oder Zinn-Silber-Kupfer. Bei höheren Einsatztemperaturen sind bleihaltige Lotverbindungen einsetzbar. Bleihaltige Lotverbindungen sind jedoch durch gesetzliche Bestimmungen aus Gründen des Umweltschutzes hinsichtlich ihrer zulässigen technischen Anwendungen stark beschränkt. Alternativ bieten sich für den Einsatz bei erhöhten beziehungsweise hohen Temperaturen, insbesondere über 200°C, bleifreie Hartlote an. Bleifreie Hartlote weisen in der Regel einen höheren Schmelzpunkt als 200°C auf. Usually, a connection of electrical or electronic components - for example, to a carrier substrate - by a connecting layer. As such a bonding layer solder joints are known, for example, lead-free solder joints of tin-silver or tin-silver-copper. At higher operating temperatures, lead-containing soldered joints can be used. However, lead-containing solder joints are severely limited by legal regulations for reasons of environmental protection in terms of their permissible technical applications. Alternatively, lead-free brazing alloys are suitable for use at elevated or high temperatures, in particular above 200 ° C. Lead-free brazing alloys generally have a higher melting point than 200 ° C.

Eingesetzt werden auch Sinterverbindungen, die bereits bei niedrigen Temperaturen verarbeitet werden können und die dennoch für einen Betrieb bei erhöhten Temperaturen geeignet sind. Derartige Sinterverbindungen bieten den Vorteil einer vergrößerten Auswahl an elektrischen oder elektronischen Komponenten, welche aufgrund der niedrigeren Verarbeitungstemperatur als Fügepartner in Frage kommen. Vorteilhaft bei Sinterverbindungen ist ferner, dass kein Kriechen der Verbindungsschicht und damit keine Rissbildung stattfindet, wodurch ein Ausfall einer eine derartige Verbindung aufweisenden Baugruppe weiter reduziert werden kann.Also used are sintered connections, which can be processed at low temperatures and yet are suitable for operation at elevated temperatures. Such sintered connections offer the advantage of an increased choice of electrical or electronic components, which come as a joining partner due to the lower processing temperature. Another advantage of sintered connections is that there is no creep of the connecting layer and thus no formation of cracks, as a result of which a failure of an assembly having such a connection can be further reduced.

So zeigt die Patentanmeldung DE 10 2007 046 901 A1 derartige Sinterverbindungen. Zur Herstellung einer Sinterverbindung wird ein pastenförmiger Ausgangswerkstoff umfassend leicht zersetzbare Silberverbindungen sowie Silberflocken oder Nanosilber verwendet. Weiterhin kann im Ausgangswerkstoff beispielsweise Kupfer enthalten sein. So shows the patent application DE 10 2007 046 901 A1 such sintered compounds. To produce a sintered compound, a paste-like starting material comprising readily decomposable silver compounds and silver flakes or nanosilver is used. Furthermore, copper may be contained in the starting material, for example.

Das Dokument EP 2 278 593 A1 offenbart eine Sinterverbindung, die aus einer Paste hergestellt wird, welche Partikel aus einer Silberverbindung enthält.The document EP 2 278 593 A1 discloses a sintered compound made from a paste containing particles of a silver compound.

Aus dem Dokument US 2008/0211095 A1 ist ferner ein Halbleiterbauteil beschrieben, welches eine Verbindung zwischen einem Halbleiterelement und einer Elektrode aufweist, die durch einen elektrisch leitfähigen Kleber ausgestaltet ist.From the document US 2008/0211095 A1 Furthermore, a semiconductor device is described, which has a connection between a semiconductor element and an electrode, which is designed by an electrically conductive adhesive.

Das Dokument US 6,832,915 B2 offenbart weiterhin eine wärmeleitfähige Klebeverbindung zwischen zwei Bauteilen. The document US Pat. No. 6,832,915 B2 further discloses a thermally conductive adhesive bond between two components.

Aus dem Dokument DE 10 2007 27 999 A1 ist ferner eine Transferfolie zur Übertragung einer Silber-Sinterschicht bekannt.From the document DE 10 2007 27 999 A1 Further, a transfer film for transferring a silver sintered layer is known.

Aus dem Dokument DE 10 2004 019 567 B3 ist ferner ein Verfahren zum Befestigen von elektronischen Bauelementen beschrieben, bei dem die Bauelemente auf einem Substrat mittels Drucksintern unter Verwendung einer pastösen Schicht befestigt werden.From the document DE 10 2004 019 567 B3 Furthermore, a method for mounting electronic components is described, in which the components are mounted on a substrate by means of pressure sintering using a pasty layer.

Aus dem Dokument JP 63258084 A ist ferner eine Trägerfolie mit einer Sinterpaste zum Fügen von elektronischen Bauteilen bekannt.From the document JP 63258084 A Furthermore, a carrier film with a sintering paste for joining electronic components is known.

Die US 6 951 666 zeigt die Herstellung unterschiedlicher Sinterverbindungen. Dabei werden allgemeine Kombinationsmöglichkeiten verschiedener Ausgangselemente beschrieben. Als Ausgangselemente sind unter Anderem molekulare Metalle, zahlreiche metallische Partikel in Nano- oder Mikrogröße, Beschichtungen, Lösungsmittel, Additive, reduzierende Mittel, Kristallisationshemmer, Benetzungsmittel und weitere genannt.The US 6,951,666 shows the production of different sintered connections. In this case, general combinations of different output elements are described. As starting elements, among others, molecular metals, numerous nano- or micro-sized metallic particles, coatings, solvents, additives, reducing agents, crystallization inhibitors, wetting agents and others are mentioned.

Offenbarung der ErfindungDisclosure of the invention

Gegenstand der vorliegenden Erfindung ist ein Verfahren zum Verbinden von wenigstens zwei Komponenten unter Verwendung eines Sinterprozesses, aufweisend die Verfahrensschritte:

  • a) Bereitstellen eines Ausgangswerkstoffs einer Sinterverbindung, umfassend sinterbare Partikel, aufweisend mindestens ein Metall oder mindestens eine Metallverbindung, und mindestens eine polymere, polymerisierbare und/oder monomere organische Verbindung, wobei die polymere, polymerisierbare und/oder monomere organische Verbindung eine Fließtemperatur aufweist, die größer oder gleich der Raumtemperatur und kleiner als die Sintertemperatur ist, und wobei die polymere, polymerisierbare und/oder monomere organische Verbindung ferner eine Desorptionstemperatur aufweist, die größer als die Fließtemperatur und kleiner oder gleich der Sintertemperatur ist;
  • b) Anordnen des Ausgangswerkstoffs zwischen zwei zu verbindenden Komponenten;
  • c) Erwärmen des Ausgangswerkstoffs auf eine Temperatur T1, die größer oder gleich der Fließtemperatur der polymeren, polymerisierbaren und/oder monomeren organischen Verbindung und kleiner als die Desorptionstemperatur der polymeren, polymerisierbaren und/oder monomeren organischen Verbindung ist für eine Zeit t1; und
  • d) Erwärmen des Ausgangswerkstoffs auf eine Temperatur T2, die größer oder gleich der Sintertemperatur der sinterbaren Partikel ist, gegebenenfalls unter Einwirkung eines Sinterdrucks, für eine Zeitdauer t2 unter Ausbildung einer Sinterverbindung.
The subject matter of the present invention is a method for joining at least two components using a sintering process, comprising the method steps:
  • a) providing a starting material of a sintered compound, comprising sinterable particles, comprising at least one metal or at least one metal compound, and at least one polymeric, polymerizable and / or monomeric organic compound, wherein the polymeric, polymerizable and / or monomeric organic compound has a flow temperature, the is greater than or equal to room temperature and less than the sintering temperature, and wherein the polymeric, polymerizable and / or monomeric organic compound further has a desorption temperature greater than the flow temperature and less than or equal to the sintering temperature;
  • b) arranging the starting material between two components to be connected;
  • c) heating the starting material to a temperature T1 which is greater than or equal to the flow temperature of the polymeric, polymerizable and / or monomeric organic compound and less than the desorption temperature of the polymeric, polymerizable and / or monomeric organic compound for a time t1; and
  • d) heating the starting material to a temperature T2 which is greater than or equal to the sintering temperature of the sinterable particles, optionally under the effect of a sintering pressure, for a period t2 to form a sintered compound.

Das vorbeschriebene Verfahren kann es insbesondere ermöglichen, einen Sinterprozess besonders einfach durchzuführen und dabei eine besonders stabile und verlässliche Sinterverbindung zu erzeugen.The above-described method can in particular make it possible to carry out a sintering process in a particularly simple manner and thereby to produce a particularly stable and reliable sintered connection.

Hierzu erfolgt bei dem vorbeschriebenen Verfahren gemäß einem Verfahrensschritt a) ein Bereitstellen eines Ausgangswerkstoffs einer Sinterverbindung, umfassend sinterbare Partikel, aufweisend mindestens ein Metall oder mindestens eine Metallverbindung, und mindestens eine polymere, polymerisierbare und/oder monomere organische Verbindung, wobei die polymere, polymerisierbare und/oder monomere organische Verbindung eine Fließtemperatur aufweist, die größer oder gleich der Raumtemperatur und kleiner als die Sintertemperatur ist, und wobei die polymere, polymerisierbare und/oder monomere organische Verbindung ferner eine Desorptionstemperatur aufweist, die größer als die Fließtemperatur und kleiner oder gleich der Sintertemperatur ist.For this purpose, in the method described above according to a method step a) provides a starting material of a sintered compound, comprising sinterable particles, comprising at least one metal or at least one metal compound, and at least one polymeric, polymerizable and / or monomeric organic compound, wherein the polymeric, polymerizable and or monomeric organic compound has a flow temperature greater than or equal to room temperature and less than the sintering temperature, and wherein the polymeric, polymerizable and / or monomeric organic compound further has a desorption temperature greater than the flow temperature and less than or equal to the sintering temperature is.

Somit wird gemäß Verfahrensschritt a) zunächst ein Ausgangswerkstoff bereitgestellt, der in dem weiteren Verfahren die Sinterverbindung ausbilden soll. Der Ausgangswerkstoff umfasst dabei ein Sintergrundmaterial, welches nach dem Sintern die eigentliche Sinterverbindung darstellen kann oder zumindest einen großen Anteil der Sinterverbindung ausbildet. Dieses Sintergrundmaterial kann insbesondere mindestens ein Metall oder mindestens eine Metallverbindung sein. Ferner weist der Ausgangswerkstoff mindestens eine polymere, polymerisierbare und/oder monomere organische Verbindung auf. Die polymere, polymerisierbare und/oder monomere organische Verbindung kann dabei dazu dienen, das Sintergrundmaterial zusammen zu halten und so erlauben, dass der Ausgangswerkstoff als kompakter, beispielsweise formbarer, etwa thermoplastischer, Formkörper, beispielsweise, bereitgestellt wird.Thus, according to method step a), initially a starting material is provided which is intended to form the sintered connection in the further method. The starting material in this case comprises a background material, which after sintering may represent the actual sintered connection or at least forms a large proportion of the sintered connection. This background material may in particular be at least one metal or at least one metal compound. Furthermore, the starting material has at least one polymeric, polymerizable and / or monomeric organic compound. The polymeric, polymerizable and / or monomeric organic compound can serve to hold the backing material together and thus allow the starting material to be provided as a compact, for example moldable, for example, thermoplastic, shaped article, for example.

Unter einer polymeren organischen Verbindung kann dabei beispielsweise und nicht beschränkend eine kohlenwasserstoffbasierte Verbindung angesehen werden, welche polymerisiert ist. Entsprechend kann unter einer polymerisierbaren organischen Verbindung beispielsweise und nicht beschränkend eine derartige insbesondere kohlenwasserstoffbasierte Verbindung verstanden werden, welche insbesondere durch das Aufweisen spezifischer funktionelle Gruppen einer Polymerisation unterworfen werden kann. Unter einer organischen monomeren Verbindung kann ferner beispielsweise und nicht beschränkend eine derartige Verbindung verstanden werden, die ebenfalls kohlenwasserstoffbasiert sein kann, jedoch keine für eine Polymerisation geeignete Gruppen aufweisen braucht.By a polymeric organic compound, by way of example and not by way of limitation, a hydrocarbon-based compound which is polymerized can be considered. Accordingly, a polymerisable organic compound may be understood as meaning, for example and not by way of limitation, such a particular hydrocarbon-based compound which may be subjected to polymerization, in particular by having specific functional groups. An organic monomeric compound may further be understood as meaning, for example and not by way of limitation, such a compound which may also be hydrocarbon-based but need not have any groups suitable for polymerization.

Durch ein derartiges Bereitstellen eines Ausgangswerkstoffs einer Sinterverbindung kann der Ausgangswerkstoff als transportfähiger und lagerfähiger Werkstoff bereitgestellt werden, der jederzeit und ohne speziellen Aufwand applizierbar ist. In anderen Worten kann der Ausgangswerkstoff im Vorhinein produziert und gelagert werden und unmittelbar vor dem Durchführen des Verfahrens seiner Verwendung zugeführt werden. Das ermöglicht sehr dynamische und veränderbare Produktionsprozesse, welche unmittelbar an die gewünschten Anforderungen anpassbar sind.By providing such a starting material of a sintered compound, the starting material can be provided as a transportable and storable material which can be applied at any time and without any special effort. In other words, the starting material may be produced in advance and stored and fed to its use immediately prior to carrying out the process. This allows very dynamic and changeable production processes, which are directly adaptable to the desired requirements.

Dabei kann der Ausgangswerkstoff beispielsweise als großflächiger Werkstoff bereitgestellt werden, aus welchem vor dem Anwenden jeweils ein Werkstoffteil in geeigneter Größe abgetrennt werden kann, beispielsweise ausgestanzt oder ausgeschnitten, werden kann. Dadurch kann nur ein Ausgangswerkstoff für eine große Anwendungsbreite bereitgestellt werden, was die Kosten für das vorbeschriebene Verfahren noch weiter verbessern kann.In this case, the starting material can be provided, for example, as a large-area material, from which in each case a material part of a suitable size can be separated, for example punched out or cut out, before it can be used. As a result, only one starting material can be provided for a wide range of applications, which can further improve the costs for the above-described method.

Weiterhin kann der Ausgangswerkstoff, etwa durch Foliengießen oder Spritzgießen, zunächst beispielsweise als insbesondere flexible Folie bereitgestellt werden, was die Anforderungen an ein Handhaben sehr gering hält. Dadurch kann der Ausgangswerkstoff mit herkömmlichen Handhabungssystemen gehandhabt werden, was eine besonders gute Einbindung des Ausgangswerkstoffs in bestehende Prozessperipherien erlauben kann.Furthermore, the starting material, for example by film casting or injection molding, initially be provided, for example, as a particularly flexible film, which keeps the requirements for handling very low. This allows the starting material with conventional handling systems be handled, which can allow a particularly good integration of the starting material in existing process peripherals.

Dabei kann sich bei oder nach einem Applizieren des Ausgangswerkstoffs auf eine Komponente beziehungsweise bei einem Anordnen des Ausgangswerkstoffs zwischen den zu verbindenden Komponenten, wie nachstehend erläutert, der Ausgangswerkstoff an potentiell vorhandene Unebenheiten der Fügepartner, wie beispielsweise Substratunebenheiten oder Bauteilunebenheiten, optimal anpassen, so dass ein besonders inniger Kontakt möglich wird, was ferner eine besonders stabile Sinterverbindung mit sich bringen kann.In this case, during or after application of the starting material to a component or when arranging the starting material between the components to be joined, as explained below, the starting material to potentially existing unevenness of the joining partners, such as substrate irregularities or component unevenness, optimally adapt, so that a particularly intimate contact is possible, which can also bring a particularly stable sintered compound with it.

Dabei sind die polymere, polymerisierbare und/oder monomere organische Verbindung und das Sintergrundmaterial beziehungsweise das wenigstens eine Metall oder die wenigstens eine Metallverbindung insbesondere derart aufeinander abgestimmt, dass die polymere, polymerisierbare und/oder monomere organische Verbindung eine Fließtemperatur aufweist, die größer oder gleich der Raumtemperatur und kleiner als die Sintertemperatur des Sintergrundmaterials ist, und wobei die polymere, polymerisierbare und/oder monomere organische Verbindung ferner eine Desorptionstemperatur aufweist, die größer als die Fließtemperatur und kleiner oder gleich der Sintertemperatur des Sintergrundmaterials ist.In this case, the polymeric, polymerizable and / or monomeric organic compound and the background material or the at least one metal or the at least one metal compound are particularly matched to one another such that the polymeric, polymerizable and / or monomeric organic compound has a flow temperature which is greater than or equal to Room temperature and less than the sintering temperature of the background material, and wherein the polymeric, polymerizable and / or monomeric organic compound further has a desorption temperature which is greater than the flow temperature and less than or equal to the sintering temperature of the background material.

Unter einer Fließtemperatur kann dabei im Sinne der vorliegenden Erfindung insbesondere eine konkrete Temperatur oder ein Temperaturbereich verstanden werden, ab welcher die polymere, polymerisierbare und/oder monomere organische Verbindung fließfähig ist und damit fließen, also sich selbsttätig aus der Fügezone durch einen Fließvorgang entfernen kann. Dabei kann unter einer Fließtemperatur insbesondere eine Schmelztemperatur beziehungsweise ein Schmelzbereich oder eine Glasübergangstemperatur beziehungsweise Glasübergangsbereich verstanden werden.In the context of the present invention, a flow temperature can be understood to mean, in particular, a specific temperature or a temperature range from which the polymeric, polymerizable and / or monomeric organic compound is flowable and thus flowable, ie can be removed automatically from the joining zone by a flow process. In this case, a flow temperature can be understood in particular to be a melting temperature or a melting range or a glass transition temperature or glass transition range.

Durch eine derartige Auswahl des Sintergrundmaterials beziehungsweise der polymeren, polymerisierbaren und/oder monomeren organischen Verbindung lassen sich signifikante Vorteile bei der Prozessführung ermöglichen.Such a selection of the background material or of the polymeric, polymerizable and / or monomeric organic compound permits significant advantages in the process control.

Im Detail kann durch die Auswahl insbesondere der polymeren, polymerisierbaren und/oder monomeren organischen Verbindung ermöglicht werden, dass der Ausgangswerkstoff, insbesondere bedingt durch die polymere, polymerisierbare und/oder monomere organische Verbindung eine gute Adhäsionskraft aufweist und somit gut an den zu fügenden Komponenten, wie etwa einem Substrat und einem Bauteil haften kann. In anderen Worten kann der Ausgangswerkstoff, etwa durch die polymere, polymerisierbare und/oder monomere organischen Verbindung oder durch einen weiteren Hilfsstoff, wie etwa ein Lösungsmittel, eine geeignete Klebrigkeit aufweisen, welche erlaubt, dass der Ausgangswerkstoff an den zu fügenden Partnern haftet. Dies erlaubt eine besonders gute Applizierbarkeit, da der Ausgangswerkstoff, einmal angeordnet, dort sicher verbleiben kann. Beispielsweise kann eine derartige Adhäsionskraft beziehungsweise Klebrigkeit erhalten werden bei Temperaturen unterhalb der Fließtemperatur, also rein beispielhaft bei Temperaturen in einem Bereich von kleiner oder gleich 100°C.In particular, by selecting in particular the polymeric, polymerizable and / or monomeric organic compound it can be made possible that the starting material, in particular due to the polymeric, polymerizable and / or monomeric organic compound, has a good adhesive force and thus good adhesion to the components to be joined, such as a substrate and a component can adhere. In other words, the starting material, such as the polymeric, polymerizable and / or monomeric organic compound, or another excipient, such as a solvent, may have suitable tackiness that allows the starting material to adhere to the mating partners. This allows a particularly good applicability, since the starting material, once arranged, can safely remain there. For example, such an adhesion force or tackiness can be obtained at temperatures below the flow temperature, ie, purely by way of example, at temperatures in a range of less than or equal to 100 ° C.

Darüber hinaus kann die polymere, polymerisierbare und/oder monomere organische Verbindung dazu dienen, ein Kaltverschweißen der Partikel zu verhindern und ferner eine Formgebung des Filmmaterials zu ermöglichen.In addition, the polymeric, polymerizable and / or monomeric organic compound can serve to prevent cold welding of the particles and also to allow shaping of the film material.

Nach einem Bereitstellen eines wie vorstehend beschrieben ausgestalteten Ausgangswerkstoffs wird dieser Ausgangswerkstoff gemäß Verfahrensschritt b) zwischen zwei zu verbindende Komponenten angeordnet. Dies kann beispielsweise voll automatisiert erfolgen. Dabei kann der Ausgangswerkstoff beispielsweise zwischen einem Substrat und einem auf dem Substrat zu befestigenden elektronischen Bauteile angeordnet werden.After providing a starting material designed as described above, this starting material is arranged according to method step b) between two components to be connected. This can be done fully automated, for example. In this case, the starting material can be arranged, for example, between a substrate and an electronic component to be mounted on the substrate.

Gemäß Verfahrensschritt c) erfolgt ein einem weiteren Schritt ein Erwärmen des Ausgangswerkstoffs auf eine Temperatur T1, die größer oder gleich der Fließtemperatur der polymeren, polymerisierbaren und/oder monomeren organischen Verbindung und kleiner als die Desorptionstemperatur der polymeren, polymerisierbaren und/oder monomeren organischen Verbindung ist für eine Zeit t1. Durch diesen Verfahrensschritt kann ein Anhaften des Ausgangswerkstoffs an den zu verbindenden Komponenten noch weiter verbessert werden. Dabei kann eine derartige Temperatur T1 in Abhängigkeit der gewählten polymeren, polymerisierbaren und/oder monomeren organischen Verbindung bereits bei Temperaturen von kleiner oder gleich 100°C liegen, etwa in einem Bereich von größer oder gleich 30°C bis kleiner oder gleich 80°C. Im Detail kann beispielsweise eine Klebrigkeit beziehungsweise eine Adhäsionskraft der polymeren, polymerisierbaren und/oder monomeren organischen Verbindung weiter gesteigert werden beziehungsweise kann eine derartige Klebrigkeit durch eine Fließfähigkeit erst ausgebildet werden. Somit kann in diesem Schritt ermöglicht werden, dass der Ausgangswerkstoff fest zwischen den zu verbindenden Komponenten haftet und somit bereits einer Anordnung ausbildet, die für den weiteren Sintervorgang bereits eine gute Stabilität aufweist.In accordance with process step c), a further step is carried out to heat the starting material to a temperature T1 that is greater than or equal to the flow temperature of the polymeric, polymerizable and / or monomeric organic compound and less than the desorption temperature of the polymeric, polymerizable and / or monomeric organic compound for a time t1. By this method step, adhesion of the starting material to the components to be joined can be further improved. In this case, such a temperature T1 depending on the selected polymer, polymerizable and / or monomeric organic compound already at temperatures of less than or equal to 100 ° C, for example in a range of greater than or equal to 30 ° C to less than or equal to 80 ° C. In detail, for example, a stickiness or an adhesion force of the polymeric, polymerizable and / or monomeric organic compound can be further increased or such stickiness can be formed only by a flowability. Thus, it can be made possible in this step that the starting material firmly adheres between the components to be joined and thus already forms an arrangement which already has a good stability for the further sintering process.

Durch diesen Verfahrensschritt kann somit ermöglicht werden, dass der Ausgangswerkstoff an einer gewünschten Position angeordnet wird, und ferner dort verbleibt. Dadurch können besonders definierte Produkte erhalten werden. Dabei kann durch eine Temperaturerhöhung über die Fließtemperatur der polymeren polymerisierbaren und/oder monomeren organischen Verbindung der Ausgangswerkstoff insbesondere stabiler Kräfte an seine Position gehalten werden. Somit ist ein zusätzliches Fixierungsmedium nicht notwendig, was das vorbeschriebene Verfahren besonders einfach und kostengünstig gestalten kann.By this method step can thus be made possible that the starting material a desired position is arranged, and further remains there. As a result, specially defined products can be obtained. In this case, the starting material, in particular stable forces, can be held in its position by raising the temperature above the flow temperature of the polymerizable polymerizable and / or monomeric organic compound. Thus, an additional fixation medium is not necessary, which can make the method described above particularly simple and inexpensive.

Ferner kann die der polymere, polymerisierbare und/oder monomere organische Verbindung insbesondere in fließfähigem Zustand als Dispergiermedium dienen, um einen homogenen Ausgangswerkstoff zu gestalten.Furthermore, the polymeric, polymerizable and / or monomeric organic compound, in particular in a flowable state, can serve as a dispersing medium in order to form a homogeneous starting material.

Darüber hinaus kann durch eine Fließfähigkeit der polymeren, polymerisierbaren und/oder monomeren organischen Verbindung ermöglicht werden, dass sich der Ausgangswerkstoff an die zu verbindenden Komponenten anschmiegt und sonst durch eine insbesondere reversible Erweichung der polymeren, polymerisierbaren und/oder monomeren organischen Verbindung durch die Temperaturerhöhung über die Fließtemperatur eine gute Anpassung zwischen der Schicht des Ausgangswerkstoffs und den Fügepartnern entsteht. Somit kann gleichermaßen ein inniger Kontakt der metallischen Verbindung beziehungsweise des Sintergrundmaterials mit den zu fügenden Komponenten erlaubt werden. Dies kann dazu beitragen, dass nach einem Sintern, wie dies nachstehend erläutert ist, eine besonders stabile Anordnung entsteht.In addition, it can be made possible by flowability of the polymeric, polymerizable and / or monomeric organic compound that the starting material conforms to the components to be joined and otherwise by a particular reversible softening of the polymeric, polymerizable and / or monomeric organic compound by the temperature increase the flow temperature creates a good match between the layer of the starting material and the joining partners. Thus, an intimate contact of the metallic compound or of the background material with the components to be joined can equally be allowed. This can contribute to a particularly stable arrangement after sintering, as explained below.

Da für eine Klebrigkeit beziehungsweise Anschmiegbarkeit und der Fixierung des Ausgangswerkstoffs zwischen den Fügepartnern jedoch nur eine sehr geringe Menge an polymerer, polymerisierbarer und/oder monomerer organischer Verbindung notwendig ist, kann der weitere Vorteil erreicht werden, dass der Großteil der polymeren, polymerisierbaren und/oder monomeren organischen Verbindung durch eine Fließfähigkeit aus der Fügezone entfernt wird. Dadurch kann erreicht werden, dass es bei einer nachfolgenden Entfernung beziehungsweise Desorption der polymeren, polymerisierbaren und/oder monomeren organischen Verbindung aus dem Fügebereich nicht oder nicht wesentlich zu einer Entwicklung von Reaktionsgasen kommt, welche gegebenenfalls in der Fügestelle expandieren und somit der Bildung einer stoffschlüssigen Verbindung entgegenwirken könnten. Weiterhin wird beispielsweise und in Abhängigkeit der gewählten Desorption kein Sauerstoff benötigt, wodurch die Sinterverbindung auch unter Ausschluss von Sauerstoff stattfinden kann. Dies kann eine Veränderung oder Schädigung aller Beteiligten Fügepartner bei einer Temperaturbehandlung vermeiden. Darüber hinaus kann die Notwendigkeit einer Zuführung von Gasen beziehungsweise die Notwendigkeit der Abführung von Gasen verhindert werden. Somit ist es bei dem vorbeschriebenen Verfahren nicht nachteilig, dass besonders bei großflächigen Verbindungen der Gastransport limitiert ist durch die Dichte des Fügematerials und somit beispielsweise bei einer Herstellung einer dichten Verbindung das Material durch mechanischen Druck gepresst wird und somit den Gastransport gerade hemmt. Somit können zusammenfassend durch eine Temperaturerhöhung über die Fließtemperatur der polymeren, polymerisierbaren und/oder monomeren organischen Verbindung die Nachteile eines Entfernens einer derartigen Matrix gemäß dem Stand der Technik verhindert werden.However, since only a very small amount of polymeric, polymerizable and / or monomeric organic compound is necessary for tackiness or conformability and the fixation of the starting material between the joining partners, the further advantage can be achieved that the majority of the polymeric, polymerizable and / or monomeric organic compound is removed by a fluidity of the joining zone. It can thereby be achieved that, in the case of a subsequent removal or desorption of the polymeric, polymerizable and / or monomeric organic compound from the joining region, there is no or not substantial development of reaction gases which optionally expand in the joint and thus the formation of a cohesive connection could counteract. Furthermore, for example and depending on the desorption chosen, no oxygen is required, as a result of which the sintered compound can also take place in the absence of oxygen. This can avoid a change or damage to all parties joining a temperature treatment. In addition, the need for supply of gases or the need for the discharge of gases can be prevented. Thus, it is not disadvantageous in the above-described method that, especially in large-area compounds, the gas transport is limited by the density of the joining material and thus, for example, in a production of a tight connection, the material is pressed by mechanical pressure and thus just inhibits the gas transport. Thus, in summary, by raising the temperature above the flow temperature of the polymeric, polymerizable and / or monomeric organic compound, the disadvantages of removing such a matrix according to the prior art can be prevented.

Die Zeitdauer t1, für welche die Temperatur T1 beibehalten wird, kann dabei in Abhängigkeit des konkret angewendeten Ausgangswerkstoffs gewählt werden. Insbesondere sollte die Zeitdauer lang genug gewählt werden, damit eine ausreichende Fließfähigkeit der polymeren, polymerisierbaren und/oder monomeren organischen Verbindung realisierbar ist, und damit die vorgenannten Vorteile in besonders vorteilhafter Weise erzielt werden können.The time duration t1, for which the temperature T1 is maintained, can be selected depending on the actual starting material used. In particular, the period of time should be long enough for sufficient flowability of the polymeric, polymerizable and / or monomeric organic compound to be realized, and for the aforementioned advantages to be achieved in a particularly advantageous manner.

In einem weiteren Verfahrensschritt d) erfolgt bei einem vorbeschriebenen Verfahren ein Erwärmen des Ausgangswerkstoffs auf eine Temperatur T2, die größer oder gleich der Sintertemperatur der sinterbaren Partikel ist, gegebenenfalls unter Einwirkung eines Sinterdrucks, für eine Zeitdauer t2 unter Ausbildung einer Sinterverbindung. In diesen Verfahrensschritt wird somit die eigentliche Sinterverbindung erzeugt. In a further method step d), in a method described above, the starting material is heated to a temperature T2 that is greater than or equal to the sintering temperature of the sinterable particles, optionally under the effect of a sintering pressure, for a period t2 to form a sintered compound. In this process step thus the actual sintered connection is generated.

Dabei werden die beispielsweise chemisch stabilisierten Partikel etwa bis zum Erreichen der Fügetemperatur beziehungsweise Sintertemperatur ausgebrannt, so dass die Partikel beziehungsweise freigesetzten Metallatome untereinander und mit dem Material der Fügepartner in direkten Kontakt kommen. Durch festkörperdiffuse Vorgänge bildet sich dann bereits bei geringen Temperaturen eine hochtemperaturstabile Verbindung aus.The chemically stabilized particles, for example, are burnt out until the bonding temperature or sintering temperature is reached, so that the particles or released metal atoms come into direct contact with one another and with the material of the joining partners. By solid-state processes, a high-temperature-stable compound then forms even at low temperatures.

Hierzu wird der Ausgangswerkstoff alleine oder zusammen mit zumindest einem Fügebereich der zu verbindenden Komponenten auf eine Temperatur T2 erwärmt, etwa durch eine Heizquelle oder elektromagnetische Strahlung. Dabei ist die Temperatur T2 größer oder gleich der Sintertemperatur der sinterbaren Partikel, also der Partikel, aufweisend mindestens ein Metall oder mindestens eine Metallverbindung. Dabei wird die Temperatur T2 für einen vorbestimmten Zeitraum t2 beibehalten, welcher ausreichend ist, dass sich eine stabile Sinterverbindung ausbilden kann.For this purpose, the starting material is heated alone or together with at least one joining region of the components to be connected to a temperature T2, for example by a heating source or electromagnetic radiation. In this case, the temperature T2 is greater than or equal to the sintering temperature of the sinterable particles, ie the particles, comprising at least one metal or at least one metal compound. In this case, the temperature T2 is maintained for a predetermined period of time t2, which is sufficient for a stable sintered connection to form.

Dabei kann dadurch, dass die polymere, polymerisierbare und/oder monomere organische Verbindung ferner eine Desorptionstemperatur, also eine konkrete Desorptionstemperatur oder eine breite Desorptionstemperatur, also einen Desorptionsbereich, aufweist, die größer als die Fließtemperatur und kleiner oder gleich der Sintertemperatur ist, die Stabilität der ausgebildeten Sinterverbindung noch weiter erhöht werden. Im Detail wird die die polymere, polymerisierbare und/oder monomere organische Verbindung sowohl von den sinterbaren Partikeln als auch von den zu fügenden Komponenten desorbiert, also im Sinne der vorliegenden Erfindung entfernt. Somit kann sichergestellt werden, dass nach dem Ausbilden der Sinterverbindung diese im Wesentlichen lediglich die gesinterten Partikel beziehungsweise Sinterprodukte dieser umfasst. Daher stört die polymere, polymerisierbare und/oder monomere organische Verbindung die Stabilität der Sinterverbindung nicht, wodurch besonders stabile Produkte erhalten werden können. The fact that the polymeric, polymerizable and / or monomeric organic compound furthermore has a desorption temperature, that is to say a specific desorption temperature or a broad desorption temperature, that is to say a desorption range which is greater than the flow temperature and less than or equal to the sintering temperature, can be the stability of the trained sintered compound can be further increased. In detail, the polymeric, polymerizable and / or monomeric organic compound is desorbed both from the sinterable particles and from the components to be joined, that is removed in the context of the present invention. It can thus be ensured that, after the formation of the sintered connection, this essentially comprises only the sintered particles or sintered products thereof. Therefore, the polymeric, polymerizable and / or monomeric organic compound does not disturb the stability of the sintered compound, whereby particularly stable products can be obtained.

Zusammenfassend ermöglicht das vorbeschriebene Verfahren insbesondere eine besonders einfache und definierte Herstellung einer Sinterverbindung zwischen zwei zu verbindenden Komponenten, wobei die ausgebildete Sinterverbindung ferner besonders stabil sein kann.In summary, the method described above makes it possible in particular for a particularly simple and defined production of a sintered connection between two components to be joined, wherein the formed sintered connection can furthermore be particularly stable.

Im Rahmen einer Ausgestaltung kann die Desorptionstemperatur die Siedetemperatur, Zersetzungstemperatur oder eine Reaktionstemperatur der polymeren, polymerisierbaren und/oder monomeren organischen Verbindung mit den sinterbaren und/oder mit gesinterten Partikeln sein. Insbesondere in dieser Ausgestaltung kann vorteilhaft sichergestellt werden, dass bei dem Verfahrensschritt d) die polymere, polymerisierbare und/oder monomere organische Verbindung vollständig beziehungsweise rückstandsfrei entfernt werden kann und die polymere, polymerisierbare und/oder monomere organische Verbindung somit die Stabilität der Sinterverbindung nicht negativ beeinflusst. Dadurch, dass zumindest ein gewisser Anteil beziehungsweise vorteilhafterweise ein Großteil der polymeren, polymerisierbaren und/oder monomeren organischen Verbindung während des Verfahrensschritt d) nicht mehr in der unmittelbaren Fügezone angeordnet ist, kann auch durch ein Verdampfen, Zersetzen beziehungsweise Verbrennen oder Abreagieren, wie etwa ein Oxidieren durch einen Bestandteil des Sinterstoffes, der insbesondere außerhalb der Fügezone angeordneten polymeren, polymerisierbaren und/oder monomeren organischen Verbindung nicht in die Gefahr bestehen, dass eine signifikante Gasentstehung den Sinterprozess negativ beeinflusst. Der Anteil der sich noch in der Fügezone befindlichen polymeren, polymerisierbaren und/oder monomeren organischen Verbindung kann dabei insbesondere derart gering sein, dass kein signifikanter Gastransport stattfinden braucht, welcher die sich ausbildende Sinterverbindung beziehungsweise die Stabilität der ausgebildeten Sinterverbindung negativ beeinflusst. Somit kann hier selbst ein Entfernen durch die vorgenannten Prozesse problemlos möglich sein, oder auch ein Verbleiben der polymeren, polymerisierbaren und/oder monomeren organischen Verbindung in der Fügezone kann möglich sein, ohne den Sinterprozess negativ zu beeinflussen.In the context of one embodiment, the desorption temperature may be the boiling temperature, decomposition temperature or a reaction temperature of the polymeric, polymerizable and / or monomeric organic compound with the sinterable and / or with sintered particles. In particular, in this embodiment can be advantageously ensured that in the process step d) the polymeric, polymerizable and / or monomeric organic compound can be removed completely or without residue and the polymer, polymerizable and / or monomeric organic compound thus does not adversely affect the stability of the sintered compound , The fact that at least a certain proportion or advantageously a large part of the polymeric, polymerizable and / or monomeric organic compound is no longer disposed in the immediate joining zone during process step d), can also by evaporation, decomposition or combustion or Abreagieren, such as Oxidizing by a constituent of the sintered material, which in particular arranged outside the joining zone polymer, polymerizable and / or monomeric organic compound is not in the risk that a significant gas generation adversely affects the sintering process. The proportion of the polymer, polymerizable and / or monomeric organic compound still in the joining zone can be so low in particular that no significant gas transport takes place, which adversely affects the forming sintered compound or the stability of the formed sintered connection. Thus, even a removal by the abovementioned processes can be possible without any problems here, or it may also be possible for the polymeric, polymerizable and / or monomeric organic compound in the joining zone to remain in place without negatively influencing the sintering process.

Im Rahmen einer weiteren Ausgestaltung können die sinterbaren Partikel Silber, Gold, Platin, Palladium und/oder Kupfer, eine organische Metallverbindung, insbesondere Silbercarbonat, Silberlactat oder Silberstearat, ein Metalloxid, insbesondere Silberoxid, oder eine Mischung aufweisend eine oder mehrere der vorgenannten Substanzen enthalten. Derartige Partikel können besonders vorteilhaft geeignet sein, eine hochstabile und elektrisch leitfähige Sinterverbindung auszubilden. Dabei können sowohl die reinen Metalle als auch entsprechende Metallverbindungen vorgesehen sein. Die Metalle können dabei unmittelbar durch einen Wärmeeintrag beziehungsweise einen Eintrag von Druck insbesondere eine stoffschlüssige Verbindung zwischen den Fügepartnern erlauben und dadurch eine stabile Sinterverbindung ermöglichen. Bezüglich der genannten Metallverbindungen können sich diese bei einer Temperaturbehandlung des Ausgangswerkstoffs, etwa in einem Bereich von kleiner als 300°C, zersetzen unter Ausbildung des elementaren Metalls und die Sinterverbindung ausbilden. Eine Kontaktierung kann bei einer Verwendung des beschriebenen Ausgangswerkstoffes dabei bereits mit niedrigen Anpressdrücken der Kontaktierungspartner erfolgen, was somit milde Reaktionsbedingungen und damit ein einfaches und kostengünstiges Verfahren erlauben kann. Within the scope of a further embodiment, the sinterable particles silver, gold, platinum, palladium and / or copper, an organic metal compound, in particular silver carbonate, silver lactate or silver stearate, a metal oxide, in particular silver oxide, or a mixture containing one or more of the aforementioned substances. Such particles may be particularly advantageously suitable for forming a highly stable and electrically conductive sintered compound. In this case, both the pure metals and corresponding metal compounds can be provided. The metals can allow directly by a heat input or an entry of pressure in particular a cohesive connection between the joining partners, thereby enabling a stable sintered connection. With respect to the above-mentioned metal compounds, they may be formed by subjecting the starting material to a temperature treatment such as in a range lower than 300 ° C, decomposing to form the elemental metal and sintering compound. When using the described starting material, contacting can already take place with low contact pressures of the contacting partners, which can thus allow mild reaction conditions and thus a simple and cost-effective method.

Im Rahmen einer weiteren Ausgestaltung kann die polymere, polymerisierbare und/oder monomere organische Verbindung ein Polyolefin, insbesondere umfassend Polyethylen und/oder Polypropylen, ein Polyethylencopolymer, ein Polyketon oder eine Mischung aufweisend eine oder mehrere der vorgenannten Substanzen aufweisen. Insbesondere derartige polymere, polymerisierbare und/oder monomere organische Verbindungen können den Vorteil aufweisen, so dass sie bezüglich ihrer Fließtemperatur beziehungsweise bezüglich ihres Desorptionsverhaltens gut in einen Sinterprozess integrierbar sind, insbesondere in Kombination mit den vorgenannten Sintergrundmaterialien, also insbesondere Metallen beziehungsweise Metallverbindungen. Somit können die vorgenannten polymeren, polymerisierbaren und/oder monomeren organischen Verbindungen besonders vorteilhaft dazu geeignet sein, das Sintergrundmaterial aufzunehmen und dabei ferner im Wesentlichen rückstandsfrei durch eine Desorption von einer zu fügenden Komponente entfernt zu werden. Darüber hinaus sind die vorgenannten polymeren, polymerisierbaren und/oder monomeren organischen Verbindungen bei Umgebungsbedingungen, also auch bei oxidativer Atmosphäre und/oder in feuchter Atmosphäre, stabil, so dass eine besonders vorteilhafter Lagerfähigkeit auch über einen langen Zeitraum für den Ausgangswerkstoff ermöglicht werden kann.Within the scope of a further embodiment, the polymeric, polymerizable and / or monomeric organic compound may comprise a polyolefin, in particular comprising polyethylene and / or polypropylene, a polyethylene copolymer, a polyketone or a mixture comprising one or more of the abovementioned substances. In particular, such polymeric, polymerizable and / or monomeric organic compounds may have the advantage that they can be easily integrated into a sintering process with regard to their flow temperature or their desorption behavior, in particular in combination with the aforementioned background materials, ie in particular metals or metal compounds. Thus, the aforementioned polymeric, polymerizable and / or monomeric organic compounds particularly advantageous to be suitable to receive the background material and thereby further substantially residue-free by a desorption of a component to be joined to be removed. In addition, the above-mentioned polymeric, polymerizable and / or monomeric organic compounds are stable under ambient conditions, ie also in an oxidative atmosphere and / or in a humid atmosphere, so that a particularly advantageous storage life can also be achieved over a long period of time for the starting material.

Im Rahmen einer weiteren Ausgestaltung kann die polymere, polymerisierbare und/oder monomere organische Verbindung eine Matrix ausbilden, in welcher die sinterbaren Partikel eingebettet sind, oder kann die polymere, polymerisierbare und/oder monomere organische Verbindung als Beschichtung auf den sinterbaren Partikeln vorliegen. Dies sind besonders vorteilhafte Ausgestaltungen, um die sinterbaren Partikel von der polymeren, polymerisierbaren und/oder monomeren organischen Verbindung zu umgeben. Within the scope of a further embodiment, the polymeric, polymerizable and / or monomeric organic compound can form a matrix in which the sinterable particles are embedded, or the polymeric, polymerizable and / or monomeric organic compound can be present as a coating on the sinterable particles. These are particularly advantageous embodiments in order to surround the sinterable particles of the polymeric, polymerizable and / or monomeric organic compound.

Bezüglich einer Matrix, in welcher die sinterbaren Partikel eingebettet sind, lässt sich so ein Formkörper herstellen, der in sämtlichen Dimensionen an das gewünschte Anwendungsgebiet anpassbar sein kann. Im Detail kann ein derartiger Körper in seiner Länge, Breite als auch Höhe an die zu fügenden Komponenten angepasst werden. Dadurch kann das Verfahren weiter erleichtert und ferner kostengünstiger gestaltet werden. Beispielsweise kann so eine aneinander haftende formbare Masse erzeugbar sein, welche besonders gut handhabbar sein kann. Dabei kann ein derartiger Ausgangswerkstoff etwa erzeugbar sein durch ein Aufschmelzen der polymeren, polymerisierbaren und/oder monomeren organischen Verbindung mit anschließendem Mischen mit dem Sintergrundmaterial und einem abschließenden Abkühlen.With regard to a matrix in which the sinterable particles are embedded, a shaped body can thus be produced which can be adaptable in all dimensions to the desired field of application. In detail, such a body in its length, width and height can be adapted to the components to be joined. Thereby, the method can be further facilitated and also made more cost-effective. For example, such a mutually adhering moldable mass can be produced, which can be handled particularly well. In this case, such a starting material can be produced approximately by melting the polymer, polymerizable and / or monomeric organic compound with subsequent mixing with the background material and a final cooling.

Bezüglich einer Beschichtung kann der Anteil der polymeren, polymerisierbaren und/oder monomeren organischen Verbindung besonders gering gehalten werden, so dass die bei einer Temperaturerhöhung über die Fließtemperatur der polymeren, polymerisierbaren und/oder monomeren organischen Verbindung aus dem Fügebereich austretende Masse besonders gering gehalten werden kann. Somit kann das Verfahren besonders zeitschonend durchgeführt werden. Dabei kann die Beschichtung der Partikel bereits bei der Herstellung der Partikel aufgebracht werden, insbesondere um eine Reaktion der sinterbaren Partikel untereinander, wie etwa ein Kaltverschweißen, zu verhindern. Beispielsweise können die Metallpartikel, welche, beispielsweise als Silberpartikel, durch eine Gasphasenabscheidung oder Fällung in einem Lösungsmittel erzeugt werden, beschichtet werden, indem die Lösung ein entsprechendes Beschichtungsmaterial, beispielsweis als oberflächenaktives Material, aufweist. Nach Entfernen des Lösungsmittels, beispielsweise, können die etwa als Pulver handhabbaren Ausgangswerkstoffe aufweisend die sinterbaren Partikel mit der insbesondere chemisch oder physikalisch gebundenen Beschichtung erhalten werden.With respect to a coating, the proportion of the polymeric, polymerizable and / or monomeric organic compound can be kept particularly low, so that the mass emerging from the joining region when the temperature rises above the flow temperature of the polymeric, polymerizable and / or monomeric organic compound can be kept particularly low , Thus, the process can be carried out particularly time-saving. In this case, the coating of the particles can be applied already in the production of the particles, in particular in order to prevent a reaction of the sinterable particles with one another, such as a cold welding. For example, the metal particles, which are produced, for example as silver particles, by a vapor deposition or precipitation in a solvent, can be coated by the solution having a corresponding coating material, for example as a surface-active material. After removal of the solvent, for example, the starting materials which can be handled approximately as powders comprising the sinterable particles with the in particular chemically or physically bound coating can be obtained.

In diesen Ausgestaltungen kann der Ausgangswerkstoff nunmehr als Pulver oder als Presskörper aus dem Pulver oder auch als Paste mit einem Lösungsmittel über grundsätzlich bekannte Verfahren, wie etwa einem Platzieren des Grünkörpers, appliziert werden beziehungsweise mit den zu fügenden Komponenten in Kontakt gebracht werden. Auch in diesen Ausgestaltungen kann die Viskosität der polymeren, polymerisierbaren und/oder monomeren organischen Verbindung über eine Temperatursteuerung eingestellt werden, so dass die Viskosität durch eine Temperatureinstellung steuerbar ist und dabei eine Temperaturerhöhung dazu führen kann, dass die Verbindung insbesondere durch Kapillarkräfte von der Fügestelle entfernt und in einem weiteren Verfahrensschritt vollständig entfernt beziehungsweise desorbiert werden kann.In these embodiments, the starting material can now be applied as a powder or as a compact from the powder or as a paste with a solvent via basically known methods, such as placing the green body, or brought into contact with the components to be joined. Also in these embodiments, the viscosity of the polymer, polymerizable and / or monomeric organic compound can be adjusted via a temperature control, so that the viscosity can be controlled by a temperature setting and thereby increase the temperature can cause the compound in particular by capillary forces removed from the joint and can be completely removed or desorbed in a further process step.

Im Rahmen einer weiteren Ausgestaltung kann der Ausgangswerkstoff auf wenigstens eine zu verbindende Komponente durch Drucken, Rakeln oder Dispensen aufgebracht werden. Dies sind besonders einfache und ausgereifte Prozesse, um den Ausgangswerkstoff auf wenigstens eine der zu verbindenden Komponenten aufzubringen. In diesen Ausgestaltungen ist dabei ein besonders präzises und hochgenaues Anordnen des Ausgangswerkstoffs möglich, was hochstabile Sinterverbindungen auch in klein dimensionierten Bauteilen ermöglichen kann. Dabei kann der Ausgangswerkstoff sowohl auf nur eine der zu verbinden Komponenten aufgebracht werden, oder auf beide zu verwenden Ausgangskomponenten.In a further embodiment, the starting material can be applied to at least one component to be joined by printing, doctoring or dispensing. These are particularly simple and sophisticated processes for applying the starting material to at least one of the components to be joined. In these embodiments, a particularly precise and highly accurate arrangement of the starting material is possible, which can allow highly stable sintered connections even in small-sized components. In this case, the starting material can be applied to only one of the components to be connected, or to use both on the output components.

Im Rahmen einer weiteren Ausgestaltung kann der Ausgangswerkstoff eine Transferschicht aufweisen, die zwischen wenigstens zwei Schutzschichten insbesondere aufweisend eine polymere, polymerisierbare und/oder monomere organische Verbindung angeordnet ist. Beispielsweise kann die Transferschicht das Sintergrundmaterial beziehungsweise die sinterbaren Partikel aufweisen und gegebenenfalls die polymere, polymerisierbare und/oder monomere organische Verbindung. Dabei kann die polymere, polymerisierbare und/oder monomere organische Verbindung der Transferschicht die gleiche Verbindung sein, wie die Verbindung der Schutzschichten. Alternativ kann auf die polymere, polymerisierbare und/oder monomere organische Verbindung in der Transferschicht, welche die sinterbaren Partikel unmittelbar etwa als Beschichtung oder als Matrix umschließen kann, verzichtet werden, so dass die sinterbaren Partikel nur von den Schutzschichten aufweisend eine polymere, polymerisierbare und/oder monomere organische Verbindung umgeben sind. In dieser Ausgestaltung kann der Ausgangswerkstoff besonders einfach handhabbar sein und dabei trotzdem sehr präzise an der gewünschten Stelle angeordnet werden. Dabei ist die Transferschicht besonders gut vor äußeren Einflüssen geschützt und dadurch besonders lagerfähig. In a further embodiment, the starting material may comprise a transfer layer which is arranged between at least two protective layers, in particular comprising a polymeric, polymerizable and / or monomeric organic compound. For example, the transfer layer may comprise the background material or the sinterable particles and optionally the polymeric, polymerizable and / or monomeric organic compound. In this case, the polymeric, polymerizable and / or monomeric organic compound of the transfer layer may be the same compound as the compound of the protective layers. Alternatively, it is possible to dispense with the polymeric, polymerizable and / or monomeric organic compound in the transfer layer, which can enclose the sinterable particles directly as a coating or as a matrix, for example, so that the sinterable particles can only be covered by the protective layers comprising a polymeric, polymerizable and / or or monomeric organic compound are surrounded. In this embodiment, the starting material be very easy to handle and still be arranged very precisely at the desired location. The transfer layer is particularly well protected against external influences and thus particularly storable.

Dabei kann ein Anordnen des Ausgangswerkstoffs auf einer der zu fügenden Komponenten beispielhaft und nicht beschränkend derart realisiert werden, dass die Schutzschichten vor oder bei Verfahrensschritt b) entfernt werden. Dabei kann exemplarisch zunächst eine Schutzschicht entfernt werden und die frei liegende Seite der Transferschicht auf der Komponente angeordnet und im Anschluss die weitere Schutzschicht entfernt werden. Somit kann der Ausgangswerkstoff insbesondere eine Transferschicht aufweisen, welche auf zwei gegenüberliegenden Seiten von der Schutzschicht umgeben ist. Dabei können die Schutzschichten ferner derart ausgebildet sein, dass im Wesentlichen die gesamte Transferschicht von Schutzschichten umgeben ist. Dies kann durch ein Vorsehen von mehr als zwei Schutzschichten wie auch durch eine entsprechende Form der wenigstens zwei Schutzschichten realisierbar sein.In this case, arranging the starting material on one of the components to be joined, by way of example and not limitation, can be realized in such a way that the protective layers are removed before or during method step b). In this case, by way of example, first a protective layer can be removed and the exposed side of the transfer layer can be arranged on the component, and subsequently the further protective layer can be removed. Thus, the starting material may in particular have a transfer layer, which is surrounded on two opposite sides of the protective layer. In this case, the protective layers can furthermore be designed such that essentially the entire transfer layer is surrounded by protective layers. This can be achieved by providing more than two protective layers as well as by a corresponding shape of the at least two protective layers.

Dabei kann insbesondere in dieser Ausgestaltung ein Applizieren des Sintergrundmaterials durch Drucken, Dispensen oder Aufrakeln mit einer nachfolgenden Temperaturbehandlung zum Trocknen der aufgebrachten Schicht entfallen. Daher kann das vorbeschriebene Verfahren insbesondere in dieser Ausgestaltung Prozessschritte einsparen, was Herstellungskosten der herzustellenden Bauteile wie auch Zeit zum Herstellen derartiger Bauteile einsparen kann.In this case, in particular in this embodiment, application of the background material by printing, dispensing or knife coating with a subsequent temperature treatment for drying the applied layer can be dispensed with. Therefore, the method described above can save on process steps, in particular in this embodiment, which can save manufacturing costs of the components to be produced as well as time for producing such components.

Im Rahmen einer weiteren Ausgestaltung können die Schutzschichten Polyethylenterephtalat aufweisen. Insbesondere Polyethylenterephtalat kann als stabile Schutzschicht dienen, um die Transferschicht vor äußeren Einflüssen wie beispielsweise mechanischen Einflüssen sicher zu schützen. Darüber hinaus ist es gegenüber den in der Transferschicht vorkommende Materialien inert, so dass auch über einen längeren Zeitraum einer Lagerung keine negative Beeinflussung der Transferschicht zu erwarten ist. Ferner ist Polyethylenterephtalat kostengünstig erhältlich, so dass das Verfahren auch in dieser Ausgestaltung besonders kostengünstig realisierbar ist.In a further embodiment, the protective layers may comprise polyethylene terephthalate. In particular, polyethylene terephthalate can serve as a stable protective layer to safely protect the transfer layer from external influences such as mechanical influences. In addition, it is inert with respect to the materials occurring in the transfer layer, so that no negative influence on the transfer layer is to be expected over a longer period of storage. Furthermore, polyethylene terephthalate can be obtained inexpensively, so that the method can also be realized particularly inexpensively in this embodiment.

Im Rahmen einer weiteren Ausgestaltung kann der Ausgangswerkstoff in Form einer Paste, eines Pulvers, eines Granulats oder einer Folie bereitgestellt werden. Derartige Formen des Ausgangswerkstoffs lassen sich einfach, kostengünstig und mit bekannten Verfahren handhaben, so dass das Verfahren insbesondere in diesen Ausgestaltungen besonders einfach und kostengünstig möglich sein kann. Darüber hinaus ist eine Lagerung bedenkenlos möglich, so dass die Vorteile bezüglich einer Herstellung im Voraus und einer Anwendung beziehungsweise einer Bereitstellung unmittelbar vor dem Verfahren problemlos möglich sein kann.In a further embodiment, the starting material may be provided in the form of a paste, a powder, a granulate or a film. Such forms of the starting material can be handled easily, inexpensively and with known methods, so that the method can be particularly simple and inexpensive, especially in these embodiments. In addition, storage without hesitation is possible, so that the advantages in terms of production in advance and an application or provision immediately before the process can be easily possible.

Im Rahmen einer weiteren Ausgestaltung kann die polymere, polymerisierbare und/oder monomere organische Verbindung während oder nach Verfahrensschritt c) abgeleitet oder entfernt werden. In dieser Ausgestaltung kann der grundsätzlich durch eine Fließbarkeit der polymeren, polymerisierbaren und/oder monomeren organischen Verbindung auftretende Effekt, wonach die Verbindung aus der Fügezone bereits durch ein Wegfließen auftritt, weiter verstärkt beziehungsweise unterstützt werden.In a further embodiment, the polymeric, polymerizable and / or monomeric organic compound can be removed or removed during or after process step c). In this embodiment, the effect basically occurring by a flowability of the polymer, polymerizable and / or monomeric organic compound, according to which the compound from the joint zone already occurs by flowing away, can be further enhanced or supported.

Bezüglich eines Ableitens der polymeren, polymerisierbaren und/oder monomeren organischen Verbindung kann beispielsweise ein oder eine Mehrzahl von Auffangbehältern, wie etwa Kavitäten, vorgesehen sein, in welche die fließfähige Verbindung abgeleitet, also geführt werden kann. Hierzu können beispielsweise Kanäle vorgesehen sein, welche derart angeordnet sind, dass das die Verbindung in einem fließfähigen Zustand einfließt, oder die Auffangbehälter können selbst unmittelbar derart angeordnet sein, damit die fließfähige Verbindung dort hineinfließt. Dabei können die Auffangbehälter etwa unmittelbar benachbart zu den zu fügenden Komponenten angeordnet sein und die Kanäle etwa in den Fügebereich reichen.With regard to a derivation of the polymeric, polymerizable and / or monomeric organic compound, it is possible, for example, to provide one or a plurality of collecting containers, such as cavities, into which the flowable compound can be derived, ie, guided. For this purpose, channels may be provided, for example, which are arranged in such a way that the compound flows in a flowable state, or the collecting containers may themselves be arranged directly in such a way that the flowable connection flows in there. In this case, the collecting container can be arranged approximately immediately adjacent to the components to be joined and the channels extend approximately into the joining region.

Bezüglich eines Entfernens der polymeren, polymerisierbaren und/oder monomeren organische Verbindung kann beispielsweise mittels einer geeigneten Vorrichtung die fließfähige Verbindung aufgenommen und abgeführt werden. With regard to removal of the polymeric, polymerizable and / or monomeric organic compound, the flowable compound can be taken up and removed, for example, by means of a suitable device.

Hierzu können beispielsweise schwammartige Vorrichtungen oder Kapillarbündel verwendet werden, welche die Verbindung mittels Kapillarkräften aufnehmen beziehungsweise einsaugen können. Dies kann ein besonders schonendes Entfernen der Verbindung bewirken und dabei den Sinterprozess nicht negativ beeinflussen.For this example, spongy devices or capillary bundles can be used, which absorb the compound by means of capillary forces or can suck. This can cause a particularly gentle removal of the compound and not adversely affect the sintering process.

Im Rahmen einer weiteren Ausgestaltung kann die polymere, polymerisierbare und/oder monomere organische Verbindung wenigstens ein Additiv enthalten, das mit den sinterbaren Partikeln, insbesondere mit der organischen Metallverbindung, unter Reduktion der Sintertemperatur reagiert. Insbesondere in dieser Ausgestaltung kann ein besonders schonendes Verfahren ermöglicht werden, da bereits geringe Temperaturen für einen Sintervorgang ausreichen können. Dadurch können auch derartige Komponenten miteinander verbunden werden, welche keinen allzu hohen Temperaturen ausgesetzt werden sollten. Darüber hinaus können auch polymere, polymerisierbare und/oder monomere organische Verbindungen verwendet werden, welche eine relativ niedrige Desorptionstemperatur aufweisen, was die Auswahl derartiger Verbindungen auch bezüglich herkömmlicher Polymere, beispielsweise, vergrößern kann. Als exemplarische und nicht beschränkende Beispiele derartige Additive können genannt werden oxidierbare organische Verbindungen, wie etwa Fettsäuren, beispielsweise Stearinsäure oder Laurinsäure, insbesondere in Kombination mit den vorgenannten Sintergrundmaterialien, wie etwa Silber.Within the scope of a further embodiment, the polymeric, polymerizable and / or monomeric organic compound may comprise at least one additive which reacts with the sinterable particles, in particular with the organic metal compound, while reducing the sintering temperature. In particular, in this embodiment, a particularly gentle method can be made possible, since even low temperatures can be sufficient for a sintering process. As a result, such components can be connected to each other, which should not be exposed to high temperatures. In addition, polymeric, polymerizable and / or monomeric organic Compounds which have a relatively low desorption temperature can be used, which may increase the selection of such compounds also with respect to conventional polymers, for example. As exemplary and non-limiting examples of such additives may be mentioned oxidizable organic compounds, such as fatty acids, for example stearic acid or lauric acid, in particular in combination with the aforementioned background materials, such as silver.

Im Rahmen einer weiteren Ausgestaltung kann eine Sinterverbindung erzeugt werden, die eine elektrische Leitfähigkeit von größer oder gleich 30 MS/m bis insbesondere kleiner oder gleich 45 MS/m, insbesondere von größer oder gleich 36 MS/m bis insbesondere kleiner oder gleich 44 MS/m, aufweist, und/oder kann eine Sinterverbindung erzeugt werden, die eine thermische Leitfähigkeit von größer oder gleich 200 W/mK bis kleiner oder gleich 300 W/mK, insbesondere von größer oder gleich 220 W/mK bis kleiner oder gleich 275 W/mK, aufweist. Insbesondere derartige Sinterverbindung können für eine Vielzahl von elektronischen Bauteilen, welche gegebenenfalls in der Leistungselektronik Verwendung finden, gebräuchlich sein. Derartige Leitfähigkeiten können beispielsweise erreichbar sein durch die Verwendung der vorbeschriebenen Sintergrundmaterialien.In a further embodiment, a sintered connection can be produced which has an electrical conductivity of greater than or equal to 30 MS / m to, in particular, less than or equal to 45 MS / m, in particular greater than or equal to 36 MS / m to in particular less than or equal to 44 MS / m, and / or a sintered compound can be produced which has a thermal conductivity of greater than or equal to 200 W / mK to less than or equal to 300 W / mK, in particular greater than or equal to 220 W / mK to less than or equal to 275 W / mK. In particular, such a sintered connection can be used for a large number of electronic components which may be used in power electronics. Such conductivities can be achieved, for example, by the use of the above-described background materials.

Im Rahmen einer weiteren Ausgestaltung kann als eine der zu verbindenden Komponenten ein elektronisches Bauelement und als eine weitere der zu verbindenden Komponenten ein Substrat, etwa umfassend eine Kupferverbindung verwendet werden. In dieser Ausgestaltung können insbesondere elektronische Bauelemente auf den entsprechenden Substraten aufgebracht werden. Insbesondere bei derartigen Anwendungen ist eine sehr stabile Verbindung, welche zusätzliche elektrisch leitfähig ist, von Nutzen. Daher ist es insbesondere in dieser Ausgestaltung von Vorteil, dass die Sinterverbindung hoch genau positionierbar ist und ferner keine Gastransportprozesse die Ausbildung einer stabilen Verbindungsschicht wesentlich negativ beeinflussen. Beispielsweise kann dieser Ausgestaltung insbesondere ein elektronisches Bauteil der Leistungselektronik hergestellt werden.Within the scope of a further embodiment, an electronic component can be used as one of the components to be connected, and a substrate, for example comprising a copper compound, can be used as another of the components to be connected. In this embodiment, in particular electronic components can be applied to the corresponding substrates. Especially in such applications, a very stable compound which is additionally electrically conductive is useful. Therefore, it is particularly advantageous in this embodiment that the sintered connection can be positioned with high accuracy and furthermore that no gas transport processes have a substantially negative influence on the formation of a stable connection layer. For example, this embodiment, in particular an electronic component of the power electronics can be produced.

Hinsichtlich weiterer technischer Merkmale und Vorteile des erfindungsgemäßen Verfahrens wird hiermit explizit auf die Erläuterungen im Zusammenhang mit der erfindungsgemäßen Verwendung, den Figuren sowie der Figurenbeschreibung verwiesen.With regard to further technical features and advantages of the method according to the invention, reference is hereby explicitly made to the explanations in connection with the use according to the invention, the figures and the description of the figures.

Gegenstand der vorliegenden Erfindung ist ferner eine Verwendung eines wie vorstehend beschrieben ausgestalteten Verfahrens zum Erzeugen eines elektronischen Bauteils, insbesondere einer elektronischen Schaltung. Bei dieser Verwendung kann somit ein elektronisches Bauteil oder eine elektronische Schaltung hergestellt werden, indem insbesondere ein elektronisches Bauelement auf einem Substrat durch einen Sinterprozess befestigt wird. Dabei können beispielsweise als elektronische Bauelemente Leistungshalbleiter oder integrierte Schaltungen durch die Sinterverbindung an dem Substrat befestigt werden. Insbesondere kann das vorstehend beschriebenen Verfahren eingesetzt werden bei zu fügenden Komponenten, welche nur einer geringen Temperaturbelastung ausgesetzt werden sollten, da die für eine Fließfähigkeit beziehungsweise für ein Desorbieren der polymeren, polymerisierbaren und/oder monomeren organischen Verbindung sowie die für ein Sintern des Sintergrundmaterials notwendigen Temperaturen bei einem vorstehend beschriebenen Verfahren aufgrund der Auswahl des Ausgangswerkstoffs ebenfalls niedrig gehalten werden können. Beispielsweise können in dieser Ausgestaltung Silizium-Chips beziehungsweise Siliziumcarbid-Bauteile, welche Temperaturen von beispielsweise 250 °C beziehungsweise 350°C standhalten können, problemlos gefügt werden, wie beispielsweise dem sogenannten „Die Attach“.The subject matter of the present invention is furthermore a use of a method configured as described above for producing an electronic component, in particular an electronic circuit. In this use, therefore, an electronic component or an electronic circuit can be produced by, in particular, fixing an electronic component to a substrate by a sintering process. In this case, for example, power semiconductors or integrated circuits can be attached to the substrate as electronic components by the sintered connection. In particular, the method described above can be used for components to be joined, which should only be exposed to a low temperature load, since the temperatures necessary for flowability or for desorbing the polymeric, polymerizable and / or monomeric organic compound and for sintering the background material in a method described above due to the selection of the starting material can also be kept low. For example, in this embodiment, silicon chips or silicon carbide components, which can withstand temperatures of, for example, 250 ° C. or 350 ° C., can be joined without problems, for example the so-called "die attach".

Grundsätzlich umfasst diese Ausgestaltung somit eine Verwendung des vorbeschriebenen Verfahrens im Bereich der elektronischen Aufbautechnik beziehungsweise Verbindungstechnik insbesondere als Niedertemperatur-Sintertechnik. Beispielsweise können durch das vorbeschriebene Verfahren Diffusionslöten oder Aktivlöten ersetzt werden.Basically, this embodiment thus comprises a use of the above-described method in the field of electronic construction technology or connection technology, in particular as a low-temperature sintering technique. For example, diffusion soldering or active soldering can be replaced by the method described above.

Hinsichtlich weiterer technischer Merkmale und Vorteile der erfindungsgemäßen Verwendung wird hiermit explizit auf die Erläuterungen im Zusammenhang mit dem erfindungsgemäßen Verfahren, den Figuren sowie der Figurenbeschreibung verwiesen.With regard to further technical features and advantages of the use according to the invention, reference is hereby explicitly made to the explanations in connection with the method according to the invention, the figures and the description of the figures.

Beispiele und Zeichnungen Examples and drawings

Weitere Vorteile und vorteilhafte Ausgestaltungen der erfindungsgemäßen Gegenstände werden durch die Beispiele und Zeichnungen veranschaulicht und in der nachfolgenden Beschreibung erläutert. Dabei ist zu beachten, dass die Beispiele und Zeichnungen nur beschreibenden Charakter haben und nicht dazu gedacht sind, die Erfindung in irgendeiner Form einzuschränken. Es zeigenFurther advantages and advantageous embodiments of the subject invention are illustrated by the examples and drawings and explained in the following description. It should be noted that the examples and drawings are only descriptive and are not intended to limit the invention in any way. Show it

1a–c eine schematische Darstellung einer Herstellung einer Ausführungsform eines Ausgangswerkstoffs für ein Verfahren gemäß der Erfindung; 1a C is a schematic representation of a production of an embodiment of a starting material for a method according to the invention;

2a–c eine schematische Darstellung eines Verfahrens gemäß der Erfindung verwendend einen Ausgangswerkstoff gemäß 1; und 2a C is a schematic representation of a method according to the invention using a starting material according to 1 ; and

3a–c eine schematische Darstellung eines Verfahrens gemäß der Erfindung verwendend eine weitere Ausgestaltung eines Ausgangswerkstoffs 3a C is a schematic representation of a method according to the invention using a further embodiment of a starting material

In 1c ist ein Ausgangswerkstoff 10 für ein erfindungsgemäßes Verfahren zum Verbinden von wenigstens zwei Komponenten unter Verwendung eines Sinterprozesses gezeigt. Der Ausgangswerkstoff 10 einer Sinterverbindung in der Ausgestaltung gemäß 1c umfasst sinterbare Partikel 12, aufweisend mindestens ein Metall oder mindestens eine Metallverbindung. Ferner umfasst der Ausgangswerkstoff 10 mindestens eine polymere, polymerisierbare und/oder monomere organische Verbindung 14, die gemäß 1 als Beschichtung auf den sinterbaren Partikeln 12 angeordnet ist. Dabei sind die sinterbaren Partikel 12 beziehungsweise die polymere, polymerisierbare und/oder monomere organische Verbindung 14 derart gewählt, dass die polymere, polymerisierbare und/oder monomere organische Verbindung 14 eine Fließtemperatur aufweist, die größer oder gleich der Raumtemperatur, also gemäß der Erfindung größer oder gleich 22°C ist, und kleiner als die Sintertemperatur der sinterbaren Partikel ist, und wobei die polymere, polymerisierbare und/oder monomere organische Verbindung 14 ferner eine Desorptionstemperatur aufweist, die größer als die Fließtemperatur und kleiner oder gleich der Sintertemperatur ist.In 1c is a starting material 10 for a method according to the invention for joining at least two components using a sintering process. The starting material 10 a sintered connection in the embodiment according to 1c includes sinterable particles 12 comprising at least one metal or at least one metal compound. Furthermore, the starting material comprises 10 at least one polymeric, polymerizable and / or monomeric organic compound 14 according to 1 as a coating on the sinterable particles 12 is arranged. Here are the sinterable particles 12 or the polymeric, polymerizable and / or monomeric organic compound 14 such that the polymeric, polymerizable and / or monomeric organic compound 14 has a flow temperature which is greater than or equal to room temperature, that is according to the invention greater than or equal to 22 ° C, and less than the sintering temperature of the sinterable particles, and wherein the polymeric, polymerizable and / or monomeric organic compound 14 Further, it has a desorption temperature greater than the flow temperature and less than or equal to the sintering temperature.

Dabei ist in 1 ein exemplarischer Herstellungsprozess des Ausgangswerkstoffs 10 gezeigt. In 1a ist ein sinterbarer Partikel 12 gezeigt, der in einem Lösungsmittel 16 hergestellt wurde. Der sinterbare Partikel 12 kann beispielsweise ein Silberpartikel sein. In der 1b ist ferner gezeigt, dass an den sinterbaren Partikel 12 eine Beschichtung aus einer polymeren, polymerisierbaren und/oder monomeren organischen Verbindung 14 angeordnet ist. Diese kann erzeugt werden, indem die polymere, polymerisierbare und/oder monomere organische Verbindung 14 zu dem Lösungsmittel 16 gegeben, beispielsweise gelöst oder dispergiert, wird. Beispielhaft kann als polymere, polymerisierbare und/oder monomere organische Verbindung 14 ein Kolophonium-Harz, welches als Flussmittel dienen kann, Verwendung finden. Dieses hat bezüglich des erfindungsgemäßen Verfahrens den Vorteil, dass es bei leicht erhöhten Temperaturen von deutlich unter 100°C weich und klebrig ist, sich jedoch bei der weiteren Prozessführung unter Zersetzung nahezu rückstandslos verflüchtigt und bei 25°C als Preform herstellbar ist. In der 1c ist der fertiggestellte Ausgangswerkstoff 10, wie vorstehend beschrieben, durch Verdampfen des Lösungsmittels gezeigt.It is in 1 an exemplary manufacturing process of the starting material 10 shown. In 1a is a sinterable particle 12 shown in a solvent 16 was produced. The sinterable particle 12 may be, for example, a silver particle. In the 1b is further shown that on the sinterable particles 12 a coating of a polymeric, polymerizable and / or monomeric organic compound 14 is arranged. This can be produced by the polymeric, polymerizable and / or monomeric organic compound 14 to the solvent 16 given, for example, dissolved or dispersed, is. By way of example, as a polymeric, polymerizable and / or monomeric organic compound 14 a rosin resin, which can serve as a flux find use. With regard to the process according to the invention, this has the advantage that it is soft and sticky at slightly elevated temperatures of well below 100.degree. C., but volatilizes almost without residue with decomposition in the further process control and can be produced as a preform at 25.degree. In the 1c is the finished starting material 10 as described above, by evaporation of the solvent.

Ein derartiger Ausgangswerkstoff 10 kann unmittelbar zwischen zwei zu verbindende Komponenten 18, 20 angeordnet werden, wie dies in der 2a gezeigt ist. Dabei kann der Ausgangswerkstoff 10 auf wenigstens eine zu verbindende Komponente 20 durch Drucken, Rakeln oder Dispensen aufgebracht werden. Beispielsweise kann die Komponente 20 ein Substrat sein, wohingegen die Komponente 18 ein elektronisches Bauelement, wie etwa ein Leistungshalbleiterbauelement sein kann.Such a starting material 10 can be directly between two components to connect 18 . 20 be arranged as in the 2a is shown. In this case, the starting material 10 on at least one component to be connected 20 be applied by printing, knife coating or dispensing. For example, the component 20 a substrate, whereas the component 18 an electronic device, such as a power semiconductor device may be.

In der 2b ist ein erster Temperaturbehandlungsschritt gezeigt. Im Detail ist in der 2 ein Zustand gezeigt nach einem Verfahrensschritt umfassend ein Erwärmen des Ausgangswerkstoffs 10 auf eine Temperatur T1, die größer oder gleich der Fließtemperatur der polymeren, polymerisierbaren und/oder monomeren organischen Verbindung 14 und kleiner als die Desorptionstemperatur der polymeren, polymerisierbaren und/oder monomeren organischen Verbindung 14 ist für eine Zeit t1. Daraus resultiert, dass ein Teil der polymeren, polymerisierbaren und/oder monomeren organischen Verbindung 14 aus der Fügezone entfernt wird und sich auf der Komponente 20 anordnet beziehungsweise die Oberfläche der Komponente 20 benetzt. Dabei kann die polymere, polymerisierbare und/oder monomere organische Verbindung 14 während oder nach diesem Verfahrensschritt der ersten Wärmebehandlung abgeleitet oder entfernt werden.In the 2 B a first temperature treatment step is shown. In detail is in the 2 a state shown after a process step comprising heating the starting material 10 to a temperature T1 greater than or equal to the flow temperature of the polymeric, polymerizable and / or monomeric organic compound 14 and smaller than the desorption temperature of the polymeric, polymerizable and / or monomeric organic compound 14 is for a time t1. As a result, part of the polymeric, polymerizable and / or monomeric organic compound 14 is removed from the joining zone and on the component 20 arranges or the surface of the component 20 wetted. In this case, the polymeric, polymerizable and / or monomeric organic compound 14 be derived or removed during or after this process step of the first heat treatment.

In der 2c ist ferner eine ausgebildete Sinterverbindung 22 der beiden Komponenten 18, 20 gezeigt. Eine derartige Sinterverbindung 22 ist ausgebildet durch gesinterte sinterbare Partikel 12 durch einen weiteren Verfahrensschritt aufweisend ein Erwärmen des Ausgangswerkstoffs 10 auf eine Temperatur T2, die größer oder gleich der Sintertemperatur der sinterbaren Partikel 10 ist, gegebenenfalls unter Einwirkung eines Sinterdrucks, für eine Temperatur t2 unter Ausbildung einer Sinterverbindung 22. Die Sinterverbindung 22 kann, beispielsweise bei der Verwendung von Silber als sinterbare Partikel 12, eine elektrische Leitfähigkeit von größer oder gleich 30 MS/m bis insbesondere kleiner oder gleich 45 MS/m, insbesondere von größer oder gleich 36 MS/m bis insbesondere kleiner oder gleich 44 MS/m, aufweisen, und/oder kann eine thermische Leitfähigkeit von größer oder gleich 200 W/mK bis kleiner oder gleich 300 W/mK, insbesondere von größer oder gleich 220 W/mK bis kleiner oder gleich 275 W/mK, aufweisen. Ferner kann ein Sintern exemplarisch stattfinden bei einem Sinterdruck von kleiner oder gleich 10 MPa, beispielsweise von kleiner oder gleich 1 MPa und/oder bei einer Sintertemperatur in einem Bereich von kleiner oder gleich 300 °C, beispielsweise kleiner oder gleich 250°C.In the 2c is also a formed sintered connection 22 of the two components 18 . 20 shown. Such a sintered compound 22 is formed by sintered sinterable particles 12 by a further process step comprising heating the starting material 10 to a temperature T2 that is greater than or equal to the sintering temperature of the sinterable particles 10 is, optionally under the action of a sintering pressure, for a temperature t2 to form a sintered compound 22 , The sintered connection 22 can, for example, when using silver as sinterable particles 12 , have an electrical conductivity of greater than or equal to 30 MS / m to in particular less than or equal to 45 MS / m, in particular greater than or equal to 36 MS / m to in particular less than or equal to 44 MS / m, and / or may have a thermal conductivity from greater than or equal to 200 W / mK to less than or equal to 300 W / mK, in particular from greater than or equal to 220 W / mK to less than or equal to 275 W / mK. Furthermore, sintering may take place by way of example at a sintering pressure of less than or equal to 10 MPa, for example less than or equal to 1 MPa and / or at a sintering temperature in a range of less than or equal to 300 ° C, for example less than or equal to 250 ° C.

In den 3a bis 3c ist eine weitere Ausgestaltung eines Ausgangswerkstoffs 10 und eines damit ausgeführten Verfahrens gezeigt. In der Ausgestaltung gemäß 3a bildet die polymere, polymerisierbare und/oder monomere organische Verbindung 14 eine Matrix aus, in welcher die sinterbaren Partikel 12 eingebettet sind. Dabei ist die polymere, polymerisierbare und/oder monomere organische Verbindung 14 zusammen mit den sinterbaren Partikeln 12 in einer Transferschicht 24, etwa als Klebefolie, angeordnet. Die Transferschicht 24 ist dabei zwischen wenigstens zwei Schutzschichten 26, 28 insbesondere aufweisend eine polymere, polymerisierbare und/oder monomere organischen Verbindung 30 angeordnet.In the 3a to 3c is a further embodiment of a starting material 10 and a method performed thereby. In the embodiment according to 3a forms the polymeric, polymerizable and / or monomeric organic compound 14 a matrix in which the sinterable particles 12 are embedded. In this case, the polymeric, polymerizable and / or monomeric organic compound 14 together with the sinterable particles 12 in a transfer layer 24 , arranged as an adhesive film. The transfer layer 24 is between at least two protective layers 26 . 28 in particular comprising a polymeric, polymerizable and / or monomeric organic compound 30 arranged.

Um eine Sinterverbindung 22 auszubilden kann zunächst eine Schutzschicht 28 entfernt und der Ausgangswerkstoff 10 auf die erste Komponente 20 übertragen werden. Nach dem Entfernen der zweiten Schutzschicht 26 beziehungswiese sämtlicher noch vorhandener Schutzschichten wird die zweite Komponente 18 entsprechend auf dem Ausgangswerkstoff 10 beziehungsweise auf der Transferschicht 14 positioniert. Dabei wird hier und gegebenenfalls auch bei weiteren Verfahrensschritten von dem Ausgangswerkstoff 10 gesprochen obwohl zumindest teilweise nur ein Teil des Ausgangswerkstoffs vorhanden ist, was im Sinne der Erfindung jedoch von Ausgangswerkstoff 10 umfasst sein kann. Dieser Zustand ist in 3b gezeigt.To a sintered connection 22 At first, a protective layer can be formed 28 removed and the starting material 10 on the first component 20 be transmitted. After removing the second protective layer 26 Reference meadow of all existing protective layers is the second component 18 accordingly on the starting material 10 or on the transfer layer 14 positioned. Here and optionally also in further process steps of the starting material 10 spoken although at least partially only a part of the starting material is present, which in the context of the invention, however, starting material 10 can be included. This condition is in 3b shown.

Im Anschluss kann eine erste Temperaturbehandlung erfolgen, bei welcher die polymere, polymerisierbare und/oder monomere organische Verbindung 14 schmilzt und beispielsweise klebrig werden kann. Bei dem Sinterprozess kann die polymere, polymerisierbare und/oder monomere organische Verbindung 14 entfernt werden und ferner durch die erhöhte Temperatur die gesinterten versinterbaren Partikel eine Sinterverbindung 22 ausbilden, wie dies in der 3c gezeigt ist.This can be followed by a first temperature treatment, in which the polymeric, polymerizable and / or monomeric organic compound 14 melts and can become sticky, for example. In the sintering process, the polymeric, polymerizable and / or monomeric organic compound 14 are removed and further by the increased temperature, the sintered sinterable particles, a sintered compound 22 train like this in the 3c is shown.

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Zitierte PatentliteraturCited patent literature

  • DE 102007046901 A1 [0005] DE 102007046901 A1 [0005]
  • EP 2278593 A1 [0006] EP 2278593 A1 [0006]
  • US 20080211095 A1 [0007] US 20080211095 A1 [0007]
  • US 6832915 B2 [0008] US 6832915 B2 [0008]
  • DE 10200727999 A1 [0009] DE 10200727999 A1 [0009]
  • DE 102004019567 B3 [0010] DE 102004019567 B3 [0010]
  • JP 63258084 A [0011] JP 63258084 A [0011]
  • US 6951666 [0012] US 6951666 [0012]

Claims (15)

Verfahren zum Verbinden von wenigstens zwei Komponenten (18, 20) unter Verwendung eines Sinterprozesses, aufweisend die Verfahrensschritte: a) Bereitstellen eines Ausgangswerkstoffs (10) einer Sinterverbindung (22), umfassend sinterbare Partikel (12), aufweisend mindestens ein Metall oder mindestens eine Metallverbindung, und mindestens eine polymere, polymerisierbare und/oder monomere organische Verbindung (14), wobei die polymere, polymerisierbare und/oder monomere organische Verbindung (14) eine Fließtemperatur aufweist, die größer oder gleich der Raumtemperatur und kleiner als die Sintertemperatur ist, und wobei die polymere, polymerisierbare und/oder monomere organische Verbindung (14) ferner eine Desorptionstemperatur aufweist, die größer als die Fließtemperatur und kleiner oder gleich der Sintertemperatur ist; b) Anordnen des Ausgangswerkstoffs (10) zwischen zwei zu verbindenden Komponenten (18, 20); c) Erwärmen des Ausgangswerkstoffs (10) auf eine Temperatur T1, die größer oder gleich der Fließtemperatur der polymeren, polymerisierbaren und/oder monomeren organischen Verbindung (14) und kleiner als die Desorptionstemperatur der polymeren, polymerisierbaren und/oder monomeren organischen Verbindung (14) ist für eine Zeit t1; und d) Erwärmen des Ausgangswerkstoffs (10) auf eine Temperatur T2, die größer oder gleich der Sintertemperatur der sinterbaren Partikel (12) ist, gegebenenfalls unter Einwirkung eines Sinterdrucks, für eine Zeitdauer t2 unter Ausbildung einer Sinterverbindung (22).Method for connecting at least two components ( 18 . 20 ) using a sintering process, comprising the method steps: a) providing a starting material ( 10 ) a sintered compound ( 22 ) comprising sinterable particles ( 12 ), comprising at least one metal or at least one metal compound, and at least one polymeric, polymerizable and / or monomeric organic compound ( 14 ), wherein the polymeric, polymerizable and / or monomeric organic compound ( 14 ) has a flow temperature which is greater than or equal to room temperature and less than the sintering temperature, and wherein the polymeric, polymerizable and / or monomeric organic compound ( 14 ) further has a desorption temperature which is greater than the flow temperature and less than or equal to the sintering temperature; b) arranging the starting material ( 10 ) between two components to be connected ( 18 . 20 ); c) heating the starting material ( 10 ) to a temperature T1 which is greater than or equal to the flow temperature of the polymeric, polymerizable and / or monomeric organic compound ( 14 ) and less than the desorption temperature of the polymeric, polymerizable and / or monomeric organic compound ( 14 ) is for a time t1; and d) heating the starting material ( 10 ) to a temperature T2 that is greater than or equal to the sintering temperature of the sinterable particles ( 12 ) is, optionally under the action of a sintering pressure, for a period t2 to form a sintered compound ( 22 ). Verfahren nach Anspruch 1, wobei die Desorptionstemperatur die Siedetemperatur, Zersetzungstemperatur oder eine Reaktionstemperatur der polymeren, polymerisierbaren und/oder monomeren organischen Verbindung (14) mit den sinterbaren und/oder mit gesinterten Partikeln (12) ist.Process according to claim 1, wherein the desorption temperature is the boiling temperature, decomposition temperature or a reaction temperature of the polymeric, polymerizable and / or monomeric organic compound ( 14 ) with the sinterable and / or with sintered particles ( 12 ). Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, wobei die sinterbaren Partikel (12) Silber, Gold, Platin, Palladium und/oder Kupfer, eine organische Metallverbindung, insbesondere Silbercarbonat, Silberlactat oder Silberstearat, ein Metalloxid, insbesondere Silberoxid, oder eine Mischung aufweisend eine oder mehrere der vorgenannten Substanzen enthalten.Process according to claim 1 or 2, wherein the sinterable particles ( 12 ) Silver, gold, platinum, palladium and / or copper, an organic metal compound, in particular silver carbonate, silver lactate or silver stearate, a metal oxide, in particular silver oxide, or a mixture comprising one or more of the aforementioned substances. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 3, wobei die polymere, polymerisierbare und/oder monomere organische Verbindung (14) ein Polyolefin, insbesondere umfassend Polyethylen und/oder Polypropylen, ein Polyethylencopolymer, ein Polyketon oder eine Mischung aufweisend eine oder mehrere der vorgenannten Substanzen aufweist.Method according to one of claims 1 to 3, wherein the polymeric, polymerizable and / or monomeric organic compound ( 14 ) a polyolefin, in particular comprising polyethylene and / or polypropylene, a polyethylene copolymer, a polyketone or a mixture comprising one or more of the aforementioned substances. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 4, wobei die polymere, polymerisierbare und/oder monomere organische Verbindung (14) eine Matrix ausbildet, in welcher die sinterbaren Partikel (12) eingebettet sind, oder wobei die polymere, polymerisierbare und/oder monomere organische Verbindung (14) als Beschichtung auf den sinterbaren Partikeln (12) vorliegt.Method according to one of claims 1 to 4, wherein the polymeric, polymerizable and / or monomeric organic compound ( 14 ) forms a matrix in which the sinterable particles ( 12 embedded image, or wherein the polymeric, polymerizable and / or monomeric organic compound ( 14 ) as a coating on the sinterable particles ( 12 ) is present. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 5, wobei der Ausgangswerkstoff (10) auf wenigstens eine zu verbindende Komponente durch Drucken, Rakeln oder Dispensen aufgebracht wird.Method according to one of claims 1 to 5, wherein the starting material ( 10 ) is applied to at least one component to be joined by printing, knife coating or dispensing. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 5, wobei der Ausgangswerkstoff (10) eine Transferschicht (24) aufweist, die zwischen wenigstens zwei Schutzschichten (26, 28) insbesondere aufweisend eine polymere, polymerisierbare und/oder monomere organischen Verbindung angeordnet ist.Method according to one of claims 1 to 5, wherein the starting material ( 10 ) a transfer layer ( 24 ) between at least two protective layers ( 26 . 28 ) is arranged in particular comprising a polymeric, polymerizable and / or monomeric organic compound. Verfahren nach Anspruch 7, wobei die Schutzschichten (26, 28) vor oder bei Verfahrensschritt b) entfernt werden.Method according to claim 7, wherein the protective layers ( 26 . 28 ) are removed before or at process step b). Verfahren nach Anspruch 7 oder 8, wobei die Schutzschichten (26, 28) Polyethylenterephtalat aufweisen. Method according to claim 7 or 8, wherein the protective layers ( 26 . 28 ) Comprise polyethylene terephthalate. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 9, wobei der Ausgangswerkstoff (10) in Form einer Paste, eines Pulvers, eines Granulats oder einer Folie bereitgestellt wird.Method according to one of claims 1 to 9, wherein the starting material ( 10 ) is provided in the form of a paste, a powder, a granule or a film. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 10, wobei die polymere, polymerisierbare und/oder monomere organische Verbindung (14) während oder nach Verfahrensschritt c) abgeleitet oder entfernt wird.Method according to one of claims 1 to 10, wherein the polymeric, polymerizable and / or monomeric organic compound ( 14 ) is discharged or removed during or after process step c). Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 11, wobei die polymere, polymerisierbare und/oder monomere organische Verbindung (14) wenigstens ein Additiv enthält, das mit den sinterbaren Partikeln (12), insbesondere mit der organischen Metallverbindung, unter Reduktion der Sintertemperatur reagieren.Method according to one of claims 1 to 11, wherein the polymeric, polymerizable and / or monomeric organic compound ( 14 ) contains at least one additive which is compatible with the sinterable particles ( 12 ), in particular with the organic metal compound, with reduction of the sintering temperature. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 12, wobei eine Sinterverbindung (22) erzeugt wird, die eine elektrische Leitfähigkeit von größer oder gleich 30 MS/m bis insbesondere kleiner oder gleich 45 MS/m, insbesondere von größer oder gleich 36 MS/m bis insbesondere kleiner oder gleich 44 MS/m, aufweist, und/oder wobei eine Sinterverbindung (22) erzeugt wird, die eine thermische Leitfähigkeit von größer oder gleich 200 W/mK bis kleiner oder gleich 300 W/mK, insbesondere von größer oder gleich 220 W/mK bis kleiner oder gleich 275 W/mK, aufweist.Method according to one of claims 1 to 12, wherein a sintered compound ( 22 ), which has an electrical conductivity of greater than or equal to 30 MS / m to in particular less than or equal to 45 MS / m, in particular greater than or equal to 36 MS / m to in particular less than or equal to 44 MS / m, and / or wherein a sintered compound ( 22 ), which has a thermal conductivity of greater than or equal to 200 W / mK to less than or equal to 300 W / mK, in particular from greater than or equal to 220 W / mK to less than or equal to 275 W / mK. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 13, wobei als eine der zu verbindenden Komponenten (18) ein elektronisches Bauelement und als eine weitere der zu verbindenden Komponenten (20) ein Substrat, insbesondere aufweisend eine Kupferverbindung, verwendet wird.Method according to one of claims 1 to 13, wherein as one of the components to be joined ( 18 ) an electronic component and as a further of the components to be connected ( 20 ), a substrate, in particular comprising a copper compound, is used. Verwendung eines Verfahrens nach einem der Ansprüche 1 bis 14 zum Erzeugen eines elektronischen Bauteils, insbesondere einer elektronischen Schaltung. Use of a method according to one of claims 1 to 14 for producing an electronic component, in particular an electronic circuit.
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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN107851529A (en) * 2015-07-07 2018-03-27 西门子公司 Electrical switching contact
EP3327766A1 (en) * 2016-11-29 2018-05-30 NXP USA, Inc. Microelectronic modules with sinter-bonded heat dissipation structures and methods for the fabrication thereof
US10485091B2 (en) 2016-11-29 2019-11-19 Nxp Usa, Inc. Microelectronic modules with sinter-bonded heat dissipation structures and methods for the fabrication thereof

Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2017155166A (en) * 2016-03-03 2017-09-07 バンドー化学株式会社 Joining composition
US9984951B2 (en) * 2016-07-29 2018-05-29 Nxp Usa, Inc. Sintered multilayer heat sinks for microelectronic packages and methods for the production thereof
US20220032585A1 (en) * 2020-07-28 2022-02-03 Ge Aviation Systems Llc Insulated ferromagnetic laminates and method of manufacturing

Citations (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS63258084A (en) 1987-04-15 1988-10-25 Nitto Electric Ind Co Ltd Adhesive sheet for electrode formation and ceramic metallization
US6832915B1 (en) 2004-03-01 2004-12-21 Candy J. Kirby Educational reading aid
US6951666B2 (en) 2001-10-05 2005-10-04 Cabot Corporation Precursor compositions for the deposition of electrically conductive features
DE102004019567B3 (en) 2004-04-22 2006-01-12 Semikron Elektronik Gmbh & Co. Kg Securing electronic components to substrate by subjecting the electronic component, supporting film and paste-like layer to pressure and connecting the substrate and the component by sintering
US20080211095A1 (en) 2007-03-02 2008-09-04 Fujitsu Limited Semiconductor device and manufacturing method of the semiconductor device
DE102007027999A1 (en) 2007-06-14 2008-12-18 Leonhard Kurz Gmbh & Co. Kg Hot embossing of structures
DE102007046901A1 (en) 2007-09-28 2009-04-09 W.C. Heraeus Gmbh Production of electrically conductive or heat-conductive component for producing metallic contact between two elements e.g. cooling bodies or solar cells, comprises forming elemental silver from silver compound between contact areas
EP2278593A1 (en) 2008-04-30 2011-01-26 Hitachi Chemical Company, Ltd. Connecting material and semiconductor device

Family Cites Families (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6554882B1 (en) * 1998-05-26 2003-04-29 Drexel University Rapid tooling sintering method and compositions therefor
US7732002B2 (en) * 2001-10-19 2010-06-08 Cabot Corporation Method for the fabrication of conductive electronic features
TW200536638A (en) * 2004-02-04 2005-11-16 Ebara Corp Complex nano-particle and manufacturing method thereof
JP2006202938A (en) * 2005-01-20 2006-08-03 Kojiro Kobayashi Semiconductor device and its manufacturing method
AU2006224582A1 (en) * 2005-03-18 2006-09-21 Cinvention Ag Process for the preparation of porous sintered metal materials
JP5151150B2 (en) * 2006-12-28 2013-02-27 株式会社日立製作所 Composition for forming conductive sintered layer, and method for forming conductive film and bonding method using the same
WO2012052191A1 (en) * 2010-10-20 2012-04-26 Robert Bosch Gmbh Starting material and process for producing a sintered connection
US9221130B2 (en) * 2010-12-17 2015-12-29 Furukawa Electric Co., Ltd. Material for thermal bonding, coating material for thermal bonding, coating, and electronic component bonding method

Patent Citations (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS63258084A (en) 1987-04-15 1988-10-25 Nitto Electric Ind Co Ltd Adhesive sheet for electrode formation and ceramic metallization
US6951666B2 (en) 2001-10-05 2005-10-04 Cabot Corporation Precursor compositions for the deposition of electrically conductive features
US6832915B1 (en) 2004-03-01 2004-12-21 Candy J. Kirby Educational reading aid
DE102004019567B3 (en) 2004-04-22 2006-01-12 Semikron Elektronik Gmbh & Co. Kg Securing electronic components to substrate by subjecting the electronic component, supporting film and paste-like layer to pressure and connecting the substrate and the component by sintering
US20080211095A1 (en) 2007-03-02 2008-09-04 Fujitsu Limited Semiconductor device and manufacturing method of the semiconductor device
DE102007027999A1 (en) 2007-06-14 2008-12-18 Leonhard Kurz Gmbh & Co. Kg Hot embossing of structures
DE102007046901A1 (en) 2007-09-28 2009-04-09 W.C. Heraeus Gmbh Production of electrically conductive or heat-conductive component for producing metallic contact between two elements e.g. cooling bodies or solar cells, comprises forming elemental silver from silver compound between contact areas
EP2278593A1 (en) 2008-04-30 2011-01-26 Hitachi Chemical Company, Ltd. Connecting material and semiconductor device

Cited By (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN107851529A (en) * 2015-07-07 2018-03-27 西门子公司 Electrical switching contact
CN107851529B (en) * 2015-07-07 2020-07-28 西门子公司 Electric switch contact
EP3327766A1 (en) * 2016-11-29 2018-05-30 NXP USA, Inc. Microelectronic modules with sinter-bonded heat dissipation structures and methods for the fabrication thereof
CN108122786A (en) * 2016-11-29 2018-06-05 恩智浦美国有限公司 Microelectronic module with sinter bonded heat dissipation structures and method of making same
US10485091B2 (en) 2016-11-29 2019-11-19 Nxp Usa, Inc. Microelectronic modules with sinter-bonded heat dissipation structures and methods for the fabrication thereof
US10785862B2 (en) 2016-11-29 2020-09-22 Nxp Usa, Inc. Microelectronic modules with sinter-bonded heat dissipation structures and methods for the fabrication thereof
CN108122786B (en) * 2016-11-29 2023-08-22 恩智浦美国有限公司 Microelectronic module with sinter bonded heat dissipating structure and method of making same

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Publication number Publication date
US20150306669A1 (en) 2015-10-29
EP2928630A1 (en) 2015-10-14
WO2014086519A1 (en) 2014-06-12

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