[go: up one dir, main page]
More Web Proxy on the site http://driver.im/

DE102012010919B4 - Mikrostrukturkühler zur Wasserkühlung für ein elektrisches oder elektronisches Bauteil - Google Patents

Mikrostrukturkühler zur Wasserkühlung für ein elektrisches oder elektronisches Bauteil Download PDF

Info

Publication number
DE102012010919B4
DE102012010919B4 DE102012010919.9A DE102012010919A DE102012010919B4 DE 102012010919 B4 DE102012010919 B4 DE 102012010919B4 DE 102012010919 A DE102012010919 A DE 102012010919A DE 102012010919 B4 DE102012010919 B4 DE 102012010919B4
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
cooling
water
bottom plate
cooler
microstructure cooler
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
DE102012010919.9A
Other languages
English (en)
Other versions
DE102012010919A1 (de
Inventor
Andreas Rudnicki
Nathanael Draht
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
AQUATUNING GMBH, DE
Original Assignee
AQUATUNING GmbH
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by AQUATUNING GmbH filed Critical AQUATUNING GmbH
Priority to DE102012010919.9A priority Critical patent/DE102012010919B4/de
Publication of DE102012010919A1 publication Critical patent/DE102012010919A1/de
Application granted granted Critical
Publication of DE102012010919B4 publication Critical patent/DE102012010919B4/de
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L23/00Details of semiconductor or other solid state devices
    • H01L23/34Arrangements for cooling, heating, ventilating or temperature compensation ; Temperature sensing arrangements
    • H01L23/46Arrangements for cooling, heating, ventilating or temperature compensation ; Temperature sensing arrangements involving the transfer of heat by flowing fluids
    • H01L23/473Arrangements for cooling, heating, ventilating or temperature compensation ; Temperature sensing arrangements involving the transfer of heat by flowing fluids by flowing liquids
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/0001Technical content checked by a classifier
    • H01L2924/0002Not covered by any one of groups H01L24/00, H01L24/00 and H01L2224/00

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Cooling Or The Like Of Electrical Apparatus (AREA)
  • Cooling Or The Like Of Semiconductors Or Solid State Devices (AREA)

Abstract

Mikrostrukturkühler zur Wasserkühlung für ein elektrisches oder elektronisches Bauteil – mit einer Bodenplatte, einer Zwischenebene und einem Deckel, – wobei die Zwischenebene auf einer der Bodenplatte zugewandten Unterseite Rückführungskanäle für den Abtransport von Wasser hat, – wobei die Bodenplatte parallele Kühlkanalfinnen aufweist und die Rückführungskanäle relativ dazu schräg oder gebogen sind und quer zu den Kühlkanalfinnen verlaufen, – so dass beim Abtransport des Wassers Mikroverwirbelungen entstehen, die die Kühlleistung des Mikrostrukturkühlers steigern, – wobei die Zwischenebene mittig über einer hitzeaufnehmenden Stelle des Mikrostrukturkühlers angebracht ist und mittig einen schlitzförmigen Einlassbereich für einströmendes Wasser hat.

Description

  • Gebiet der Erfindung
  • Die vorliegende Erfindung betrifft eine Kühler für elektrische oder elektronische Bauteile, genauer gesagt einen Fluidkühler für PC Komponenten wie Prozessoren, Grafikchips, Ramspeicher, Spannungswandler, Festplatten und andere elektrische oder elektronische Bauteile, die Abwärme erzeugen, wie er beispielsweise aus den Schriften DE 102008058032 A1 , US 6105373 A und DE 102004018144 B4 bekannt ist. Zudem ist auch aus der US 2009/0071625 A1 ein Fluidkühler mit einer Zwischenebene für PC Komponenten bekannt.
  • Beschreibung des verwandten Standes der Technik
  • Aus der DE 102004018144 B4 ist beispielsweise bekannt, dass in modernen Rechnern die elektronischen Bausteine von Grafikkarten und die Prozessoren an sich, also etwa die so genannten CPUs, hohen thermischen Belastungen ausgesetzt sind, welche bei deren Betrieb entstehen. Aufgrund der immer enger werdenden Leiterstrukturen und der immer größeren Leistungsfähigkeit der Prozessoren erwärmen sich diese im Betrieb stark. Um eine hohe und gleichmäßige Rechnerleistung zu gewährleisten und um die Prozessoren vor thermischen Beschädigungen zu schützen, werden diese durchweg aktiv gekühlt. Eine herkömmliche Kühlung sieht einen Luftkühler in Gestalt eines Ventilators vor, der einem solchen elektronischen Bauteil geregelt oder ungeregelt Kühlluft zuführt. Die erwärmte Luft wird in der Regel an die Umgebung abgeführt.
  • Bei hochleistungsfähigen Rechnern stößt diese Art der Kühlung an ihre Grenzen. Insbesondere in Großrechenanlagen ist die Erwärmung der Räume, in denen Computer aufgestellt sind, ein Problem, dem mit dem Einsatz von Klimaanlagen unter hohem Energieaufwand begegnet wird.
  • Als Alternative zur reinen Luftkühlung werden verstärkt Flüssigkeitskühler für elektronische Prozessoren angeboten, die eine Bodenplatte, meist aus Kupfer, aufweisen, auf deren einen Seite der Prozessor angeordnet ist, während die andere Seite mit einem Kühlwasserstrom beaufschlagt wird. Dazu wird beispielsweise Kühlwasser über eine Düsenplatte, die mit Zuleitungs- und Ableitungsanschlüssen versehen ist, mit der Bodenplatte in Kontakt gebracht.
  • Es sei hier beispielhaft auf Kühler verwiesen, die aus der US 6105373 A , der US 5239443 A und der US 6167952 B1 bekannt sind. So weist der in der US 6105373 A beschriebene thermoelektrische Kühler eine Bodenplatte und eine mehrteilige Düsenplatte auf, bei dem an der ersten Seite der Bodenplatte ein zu kühlendes elektronisches Bauteil und gegenüberliegend die Düsenplatte befestigbar ist. An der Düsenplatte sind ein Zuleitungsanschluss und ein Ableitungsanschluss für ein flüssiges Kühlmedium ausgebildet. Zur Verteilung des Kühlmediums ist in der Düsenplatte eine Kammer ausgebildet, in die der Zuleitungsanschluss mündet und die mit Ausspritzdüsen oder Austrittsbohrungen in Strömungsverbindung steht. Die Austrittsöffnungen dieser Ausspritzdüsen oder Austrittsbohrungen sind auf die von dem elektronischen Bauteil abgewandte Seite der Bodenplatte gerichtet, so dass diese aktiv mittels des Kühlmediums kühlbar ist. Die Ableitung des erwärmten Kühlmediums erfolgt aus dem zwischen der Außenseite der Kammer und der von dem elektronischen Bauteil abgewandten Seite der Bodenplatte gebildeten Kühlraum.
  • Obwohl diese flüssigkeitsgekühlte Kühlvorrichtung gegenüber luftgekühlten Kühlvorrichtungen für ein elektronisches Bauteil deutliche Vorteile aufweist, ist diese hinsichtlich der Kühlwirkung und der Ersetzbarkeit weiter verbesserungswürdig. Es sei hier verwiesen auf den Mikrostrukturkühler aus der DE 102008058032 A1 , der durch die Herstellung von sehr feinen Strukturen vorzugsweise durch die neuartige Ätztechniktechnologie eine weitere Leistungssteigerung ermöglicht. Die aus Ätztechnik hergestellten Bodenplatten sind jedoch prozessbedingt sehr dünn (beispielsweise 1 mm), so dass diese nur über aufwendige Gewindeinserts mit dem Deckel verschraubt werden können. Daher werden aktuelle Mikrostrukturkühler wieder durch Frästechnik hergestellt und mit einem Deckel und ggf. zusätzlich einer Zwischenebene versehen. Der Boden dieser so hergestellten Kühler ist dabei meist zwischen 3 und 5 mm dick und muss sehr aufwendig bearbeitet werden, um im Innenbereich eine Restbodenstärke von vorzugsweise < 0,5 mm und eine Finnenhöhe von 2 bis 3 mm zu erreichen.
  • Mikrostrukturkühler des aktuellen Stands der Technik stehen vor der Herausforderung einen ausreichend großen Durchfluss und eine möglichst große Kühlleistung zu ermöglichen. Um einen großen Durchfluss zu ermöglichen müssen die Kühlkanäle im Boden eine gewisse Höhe haben, beispielsweise 4 mm, und eine entsprechende Breite, beispielsweise 1 mm, so dass der Mikrostrukturkühler für den Wasserkreislauf keine Durchflussbremse darstellt. Um eine möglichst große Kühlleistung zu erreichen müssen die Kühlkanäle möglichst fein sein, beispielsweise < 0,5 mm, und die Höhe möglichst gering, beispielsweise < 2 mm, so dass das Kühlmedium direkt über der Hitzeabgebenden Stelle die Wärme aufnehmen kann. So konstruierte Kühler haben jedoch einen sehr hohen Durchflusswiderstand, so dass derart konstruierte Kühler mit konventionellen in Computer-Wasserkühlungen eingesetzten Pumpen nicht sinnvoll betrieben werden können. Die zur Zeit in solchen Kühlern verwendeten Zwischenebenen dienen häufig ausschließlich der zentrischen Wasserzufuhr, und beinhalten keine Wasserrückführungstechnologie.
  • Vor diesem Hintergrund liegt der Erfindung die Aufgabe zugrunde die Problematik des sich verschlechterndes Durchflusses bei optimierter Kühlkanalstruktur zu lösen.
  • Die Lösung dieser Aufgabe ergibt sich aus den Merkmalen des Hauptanspruchs, während vorteilhafte Ausgestaltungen und Weiterbildungen der Erfindung dem Unteranspruch entnehmbar sind.
  • Der Erfindung liegt die Erkenntnis zugrunde, dass der Wasserdurchfluss im Boden eines Mikrostrukturkühlers nicht weiter verbessert werden kann, da jede Durchflussoptimierung in Form von Erhöhung oder Verbreiterung der Kühlkanäle zu Lasten der Kühlleistung geht. Daher wurde die aus der DE 102008058032 A1 bekannte Mikrochanneltechnologie weiterentwickelt und auf die aktuellen Fertigungstechniken für Mikrostrukturkühler angewendet, derart dass eine durch konventionelle Frästechnik hergestellte Bodenplatte mit sehr feinen und parallel ausgerichteten und flachen Kühlkanälen über eine Zwischenebene mit Wasserrückführungskanälen sowohl im Durchfluss als auch in der Kühlleistung gesteigert wird.
  • Die Leistungssteigerung basiert einerseits auf einer Erhöhung des Durchflusses im Allgemeinen. Es ist bekannt, dass die Leistung von Mikrostrukturkühlern schlichtweg durch die Erhöhung der Pumpenleistung im Kühlkreislauf gesteigert werden kann. Die Zwischenebene mit Wasserrückführungstechnologie ermöglicht jedoch bei gleichbleibender Pumpenleistung eine Erhöhung des Durchflusses und führt somit direkt zu einer Leistungssteigerung. Andererseits basiert die Leistungssteigerung darin, dass durch die nicht parallel zu der Kühlkanalstruktur verlaufenden Wasserrückführungskanäle in der Finnenstruktur der Bodenplatte zusätzliche Mikroverwirbelungen entstehen, die zu lokalen Erhöhungen der Fließgeschwindigkeit führen, welche die Wärmeaufnahme durch das Kühlmedium verbessern.
  • Viele aktuelle Modelle sind bereits mit einer Einspritzebene ausgestattet. Diese Einspritzebene regelt jedoch nur den mittigen Wassereinlass und beinhaltet keine Wasserrückführungstechnologie. Es ist möglich diese Mikrostrukturkühler nachzurüsten indem die bestehende Einspritzebene durch eine Zwischenebene mit Wasserrückführungstechnologie ersetzt wird, so dass bei gleichbleibender Bodenstruktur alleine durch den erhöhten Wasserdurchfluss und die Mikroverwirbelungen die Kühlleistung bestehender Modelle gesteigert wird.
  • Bei der Entwicklung neuer Modelle ist es möglich die normalerweise übliche Finnenhöhe von 2 bis 3 mm beispielsweise auf 1,0 bis 1,2 mm zu reduzieren, so dass in Kombination mit der Zwischenebene mit Wasserrückführungstechnologie eine gleichbleibende oder gesteigerte Kühlleistung und Durchfluss erreicht wird, bei jedoch deutlich reduziertem Fertigungsaufwand für die Bodenplatte. Die Herstellungskosten einer Bodenplatte werden um so geringer werden, je niedriger die Finnenhöhe ist, da die Kühlkanäle üblicherweise über Scheibenfräser ausgearbeitet werden, und mit steigender Finnenhöhe/Kanaltiefe die Scheibenfräser beispielweise aufgrund von verstärkter Spanbildung häufiger kaputt gehen, die Bearbeitungsdauer an sich länger ist und zusätzlich es häufiger zu optischen Mängeln (Wellen, Verbiegen, Abrisse) in der Finnenstruktur führt.
  • Die Zwischenebene mit Wasserrückführungstechnologie wird wie auch die gewöhnlichen Einspritzebenen für gewöhnlich gegenüber dem Deckel mit einem O-Ring abgedichtet. Jedoch kann die Abdichtung auch über eine Klebung oder ein anderes geeignetes Dichtmittel erfolgen.
  • Es ist abweichend von der Nutzung der Wasserrückführungstechnologie in einer Zwischenebene auch möglich diese Technologie direkt in den Deckel eines Mikrostrukturkühlers einzuarbeiten.
  • Je nach Anwendungsfall und Systembedingungen wie beispielsweise die vorhandene Pumpenleistung, Parallelbetrieb mehrerer Kühler (z. B. bei Mehrprozessorsystemen) oder der Kühlung anderer Bauteile wie Grafikchips, Festplatten, Speicherchips und anderer hitzeemittierender Bauteile kann die Rückführungskanalstruktur individuell angepasst werden.
  • Ausführungsbeispiel:
  • Nachfolgend wird ein Ausführungsbeispiel anhand der beigefügten Figuren näher erläutert. Es zeigen:
  • 1 – Stand der Technik. Der hier abgebildete CPU-Kühler zeigt den für aktuelle CPU-Kühler typischen Stand der Technik. Das Kühlmedium wird über einen Einlass (1) in eine Vorkammer (2) verteilt, und von dort aus durch die Einspritzebene (3) zentrisch durch ein oder zwei Schlitze (4) auf die Finnenstruktur/Kühlkanäle (5) der Bodenplatte (6) geleitet, um von dort aus durch die Kühlkanäle (5) nach außen zu entweichen und dabei die Hitze von der Wärmequelle (7) aufzunehmen. Das Kühlmedium wird anschließend gesammelt und über den Auslass (8) abgeführt.
  • 2 – Neuartige Zwischenebene mit Wasserrückführungstechnologie. Die hier abgebildete Zwischenebene (9) hat neben der schon bekannten zentrischen Einspritzfunktion (10) zusätzlich noch die neuartige Funktion der Wasserrückführung. Die Wasserrückführungskanäle (11) verlaufen dabei nicht parallel zu der Finnenstruktur (5) der Bodenplatte (6) sondern kreuz und quer und ermöglichen so zusätzliche Verwirbelungen die die Strömungsgeschwindigkeit des Kühlmediums beschleunigt, so dass die Wärmeaufnahme aus der Bodenplatte (6) verbessert wird.
  • 3 – Verschiedene Ausführungen der neuartigen Zwischenebene mit Wasserrückführungstechnologie. Hierbei zeigen die oberen drei Zwischenebenen eine Netzwerk-Kanalstruktur (quadratisch oder Raute) die nächsten beiden Zwischenebenen eine Netzwerk-Kanalstruktur in Trichterform, die danach folgenden Zwischenebenen eine lineare Kanalstruktur und die untersten zwei Zwischenebenen eine schlangenförmige Kanalstruktur. Je nach Anwendungsfall kann eine unterschiedliche Struktur der Wasserrückführungskanäle Sinn machen. Dies ist insbesondere von der Größe des hitzeemittierenden Bauteils (7), dem Anwendungsfall (z. B. CPU, GPU, Ram oder Speicherkühler) der Finnenhöhe/Kanaltiefe, der verwendeten Restbodenstärke, der Möglichkeit des Wasserabtransports und möglicher unterschiedlicher Heatspots auf den hitzeemittierenden Bauteilen abhängig.
  • 4 – Schnittdarstellung eines CPU-Kühlers mit Zwischenebene mit Wasserrückführungstechnologie und reduzierter Finnenhöhe (15) (im Vergleich zum Stand der Technik (5)). Das Kühlmedium wird über einen Einlass (12) in eine Vorkammer (13) verteilt, und von dort aus durch den Einspritzbereich (14) der Zwischenebene (20) zentrisch auf die Finnenstruktur/Kühlkanäle (15) der Bodenplatte (16) geleitet, um von dort aus durch die Kühlkanäle (15) nach außen zu abgelenkt zu werden. Das Kühlmedium kann dann in die Rückführungskanäle (17) entweichen und oberhalb der Finnen (15) langfließen. Dabei streicht das Kühlmedium über die Finnen und erzeugt durch das Kreuzen der in den Kühlkanälen nach außen gerichteten Strömung Verwirbelungen, die die Strömungsgeschwindigkeit lokal erhöhen und somit die Wärmeübertragung von den Finnen zu dem Kühlmedium verbessern. Das Kühlmedium wird anschließend außen (18) gesammelt und über den Auslass (19) abgeführt.

Claims (2)

  1. Mikrostrukturkühler zur Wasserkühlung für ein elektrisches oder elektronisches Bauteil – mit einer Bodenplatte, einer Zwischenebene und einem Deckel, – wobei die Zwischenebene auf einer der Bodenplatte zugewandten Unterseite Rückführungskanäle für den Abtransport von Wasser hat, – wobei die Bodenplatte parallele Kühlkanalfinnen aufweist und die Rückführungskanäle relativ dazu schräg oder gebogen sind und quer zu den Kühlkanalfinnen verlaufen, – so dass beim Abtransport des Wassers Mikroverwirbelungen entstehen, die die Kühlleistung des Mikrostrukturkühlers steigern, – wobei die Zwischenebene mittig über einer hitzeaufnehmenden Stelle des Mikrostrukturkühlers angebracht ist und mittig einen schlitzförmigen Einlassbereich für einströmendes Wasser hat.
  2. Mikrostrukturkühler nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Zwischenebene in dem Deckel unterseitig implementiert ist.
DE102012010919.9A 2012-06-04 2012-06-04 Mikrostrukturkühler zur Wasserkühlung für ein elektrisches oder elektronisches Bauteil Active DE102012010919B4 (de)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE102012010919.9A DE102012010919B4 (de) 2012-06-04 2012-06-04 Mikrostrukturkühler zur Wasserkühlung für ein elektrisches oder elektronisches Bauteil

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE102012010919.9A DE102012010919B4 (de) 2012-06-04 2012-06-04 Mikrostrukturkühler zur Wasserkühlung für ein elektrisches oder elektronisches Bauteil

Publications (2)

Publication Number Publication Date
DE102012010919A1 DE102012010919A1 (de) 2013-12-05
DE102012010919B4 true DE102012010919B4 (de) 2016-01-21

Family

ID=49579114

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE102012010919.9A Active DE102012010919B4 (de) 2012-06-04 2012-06-04 Mikrostrukturkühler zur Wasserkühlung für ein elektrisches oder elektronisches Bauteil

Country Status (1)

Country Link
DE (1) DE102012010919B4 (de)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102016013736A1 (de) * 2016-11-17 2018-05-17 Aquatuning Gmbh Mikrostrukturkühler zu Wasserkühlung für ein elektrisches oder elektronisches Bauteil mit einem Strömungsumlenker und einem Stömungsverteiler

Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5239443A (en) * 1992-04-23 1993-08-24 International Business Machines Corporation Blind hole cold plate cooling system
US6105373A (en) * 1996-09-09 2000-08-22 Technova, Inc. Thermoelectric converter
US6167952B1 (en) * 1998-03-03 2001-01-02 Hamilton Sundstrand Corporation Cooling apparatus and method of assembling same
DE102004018144B4 (de) * 2004-04-08 2006-02-16 Alphacool Gmbh Kühler für ein elektrisches oder elektronisches Bauteil
US20090071625A1 (en) * 2007-08-09 2009-03-19 Coolit Systems Inc. Fluid heat exchanger
DE102008058032A1 (de) * 2008-11-18 2010-05-20 Aquatuning Gmbh Mikrostrukturkühler für ein elektrisches oder elektronisches Bauteil

Patent Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5239443A (en) * 1992-04-23 1993-08-24 International Business Machines Corporation Blind hole cold plate cooling system
US6105373A (en) * 1996-09-09 2000-08-22 Technova, Inc. Thermoelectric converter
US6167952B1 (en) * 1998-03-03 2001-01-02 Hamilton Sundstrand Corporation Cooling apparatus and method of assembling same
DE102004018144B4 (de) * 2004-04-08 2006-02-16 Alphacool Gmbh Kühler für ein elektrisches oder elektronisches Bauteil
US20090071625A1 (en) * 2007-08-09 2009-03-19 Coolit Systems Inc. Fluid heat exchanger
DE102008058032A1 (de) * 2008-11-18 2010-05-20 Aquatuning Gmbh Mikrostrukturkühler für ein elektrisches oder elektronisches Bauteil

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102016013736A1 (de) * 2016-11-17 2018-05-17 Aquatuning Gmbh Mikrostrukturkühler zu Wasserkühlung für ein elektrisches oder elektronisches Bauteil mit einem Strömungsumlenker und einem Stömungsverteiler

Also Published As

Publication number Publication date
DE102012010919A1 (de) 2013-12-05

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE112018005317T5 (de) Wassergekühlte elektromotorsteuerung
US20180139865A1 (en) Microstructure water cooling unit for cooling of an electrical or electronic component that already includes a flow diverter and a flow distributor
US20140352937A1 (en) Injection plate for microstructure water cooling units for an electrical or electronic component
DE69730601T2 (de) Kühlmittel-Verteiler mit für Elektronik-Komponenten selektiv verteilten Kühlspitzen
WO2014206617A1 (de) Kühlvorrichtung mit einem kühlkörper
DE20314532U1 (de) Vorrichtung zur Ableitung von Wärme von elektronischen und elektrischen Bauelementen
EP2041638A1 (de) Kühlvorrichtung
WO2006105835A2 (de) Bediengehäuse
DE102018125375A1 (de) Wassergekühlte hocheffizienz-wärmeableitungsvorrichtung
DE102012010919B4 (de) Mikrostrukturkühler zur Wasserkühlung für ein elektrisches oder elektronisches Bauteil
DE102004018144B4 (de) Kühler für ein elektrisches oder elektronisches Bauteil
DE112009005359T5 (de) Kühlkörper, Kühlkörperanordnung, Halbleitermodul und Halbleitereinrichtung mit einer Kühleinrichtung
DE102007044634B4 (de) Hochtemperatur-Polymer-Elektrolyt-Membran-Brennstoffzelle (HT-PEMFC) einschließlich Vorrichtungen zu deren Kühlung
DE102008058032A1 (de) Mikrostrukturkühler für ein elektrisches oder elektronisches Bauteil
DE202004008768U1 (de) Computer-Kühlsystem
DE202012001323U1 (de) Kühlkörper mit Kühlplatte
DE102016013736A1 (de) Mikrostrukturkühler zu Wasserkühlung für ein elektrisches oder elektronisches Bauteil mit einem Strömungsumlenker und einem Stömungsverteiler
DE102012109853A1 (de) Anordnung für ein Computersystem sowie ein Computersystem
DE102004060497B3 (de) Modulare Kühleinrichtung in Sandwichbauweise
DE102017001378A1 (de) Rückwärts durchflossener Mikrostrukturkühler mit integrierter Pumpe zur Wasserkühlung für ein elektrisches oder elektronisches Bauteil
DE10332770A1 (de) Kühlvorrichtung zum Abführen von Verlustwärme von einem elektrischen oder elektronischen Bauelement oder Baugruppe
DE202017104681U1 (de) Wärmeaustauschstruktur einer Kühlvorrichtung
DE202013006969U1 (de) Stützstruktur für eine Kühleinheit
DE202008002574U1 (de) Flüssigkeitskühlvorrichtung
DE102004004440B4 (de) Kühlvorrichtung für ein elektronisches Bauelement, insbesondere für einen Mikroprozessor

Legal Events

Date Code Title Description
R086 Non-binding declaration of licensing interest
R012 Request for examination validly filed
R084 Declaration of willingness to licence

Effective date: 20140419

R016 Response to examination communication
R016 Response to examination communication
R018 Grant decision by examination section/examining division
R020 Patent grant now final
R081 Change of applicant/patentee

Owner name: AQUATUNING GMBH, DE

Free format text: FORMER OWNER: AQUATUNING GMBH, 33689 BIELEFELD, DE