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DE102011078511A1 - Device useful for filling crucible with polycrystalline silicon, comprises a tube for receiving polycrystalline silicon, comprising tube wall, lower end and upper end, a shutter for closing lower end of tube, and an aperture in tube wall - Google Patents

Device useful for filling crucible with polycrystalline silicon, comprises a tube for receiving polycrystalline silicon, comprising tube wall, lower end and upper end, a shutter for closing lower end of tube, and an aperture in tube wall Download PDF

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DE102011078511A1
DE102011078511A1 DE102011078511A DE102011078511A DE102011078511A1 DE 102011078511 A1 DE102011078511 A1 DE 102011078511A1 DE 102011078511 A DE102011078511 A DE 102011078511A DE 102011078511 A DE102011078511 A DE 102011078511A DE 102011078511 A1 DE102011078511 A1 DE 102011078511A1
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Germany
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tube
polycrystalline silicon
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wall
aperture
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Withdrawn
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DE102011078511A
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German (de)
Inventor
Piotr Filar
Martin Gibis
Dieter Knerer
Werner Schachinger
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Siltronic AG
Original Assignee
Siltronic AG
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Publication date
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    • C30B15/00—Single-crystal growth by pulling from a melt, e.g. Czochralski method
    • C30B15/02—Single-crystal growth by pulling from a melt, e.g. Czochralski method adding crystallising materials or reactants forming it in situ to the melt
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    • C30B35/00—Apparatus not otherwise provided for, specially adapted for the growth, production or after-treatment of single crystals or of a homogeneous polycrystalline material with defined structure

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Abstract

Device for filling a crucible with polycrystalline silicon, comprises: a tube (1) for receiving the polycrystalline silicon, comprising a tube wall, a lower end, and an upper end; a shutter (2) for closing the lower end of the tube; and aperture (3) in the tube wall. The shortest axial distance between lower end of the tube and aperture is not less than the height (h) of the shutter, and not > 1.5x height of the shutter. The shortest axial distance between the upper end of the tube and the aperture is not less than 0.5x D, where D is the outer diameter of the tube. The cross-sectional length of the aperture is 2-5 mm. Device for filling a crucible with polycrystalline silicon, comprises: a tube (1) for receiving the polycrystalline silicon, comprising a tube wall, a lower end, and an upper end; a shutter (2) for closing the lower end of the tube; and aperture (3) in the tube wall. The shortest axial distance between the lower end of the tube and aperture is not less than the height (h) of the shutter, and not > 1.5x height of the shutter. The shortest axial distance between the upper end of the tube and the aperture is not less than 0.5x D, where D is the outer diameter of the tube. The aperture in the tube wall is inclined in ascending manner from the inner wall of the tube to the outer wall of the tube with an inclination angle of alpha . The cross-sectional length of the aperture is 2-5 mm. An independent claim is also included for filling the crucible with polycrystalline silicon, comprising (i) loading the device with polycrystalline silicon, (ii) evacuating the device for removing oxygen gas from interstices between the polycrystalline silicon, (iii) passing a heat exchange gas in the evacuated device for filling the interstices with the replacing gas, and (iv) opening the aperture of the device for filling the crucible with polycrystalline silicon.

Description

Gegenstand der Erfindung ist eine Vorrichtung zum Befüllen eines Tiegels mit polykristallinem Silizium, umfassend ein Rohr zur Aufnahme des polykristallinen Siliziums mit einer Rohrwand und mit einem unteren und einem oberen Ende und einen Verschluss zum Verschließen des unteren Endes des Rohrs.The invention relates to a device for filling a crucible with polycrystalline silicon, comprising a tube for receiving the polycrystalline silicon having a tube wall and with a lower and an upper end and a closure for closing the lower end of the tube.

Gegenstand der Erfindung ist auch ein Verfahren zum Befüllen eines Tiegels mit polykristallinem Silizium, bei dem die Vorrichtung verwendet wird.The invention also provides a method for filling a crucible with polycrystalline silicon, in which the device is used.

Eine Vorrichtung der genannten Art wird benötigt, um einen Tiegel zu beladen oder wiederzubeladen, in dem polykristallines Silizium aufgeschmolzen wird, um aus der resultierenden Schmelze einen Einkristall gemäß der CZ-Methode zu ziehen.A device of the type mentioned is needed to load or reload a crucible in which polycrystalline silicon is melted to draw a single crystal from the resulting melt according to the CZ method.

Charakteristische Kennzeichen der Vorrichtung sind ein Rohr, dessen unteres Ende durch einen Verschluss geschlossen werden kann. Das Innere des Rohres stellt ein Volumen zur Verfügung, in das polykristallines Silizium gefüllt wird. Der Verschluss lässt sich vom Rohr axial wegbewegen, so dass daraufhin das polykristalline Silizium aus dem Rohr in den Tiegel oder in eine darin enthaltene Schmelze fallen kann.Characteristic features of the device are a tube whose lower end can be closed by a closure. The interior of the tube provides a volume into which polycrystalline silicon is filled. The closure can be moved axially away from the tube, so that then the polycrystalline silicon from the tube in the crucible or in a melt contained therein can fall.

Zur näheren Erläuterung der grundsätzlichen Ausgestaltung und der Funktionsweise einer solchen Vorrichtung sei auf die US 2006/0060133 A1 verwiesen, die zu diesem Zweck in den Offenbarungsumfang der vorliegenden Erfindung ausdrücklich miteinbezogen wird.For a more detailed explanation of the basic design and operation of such a device is on the US 2006/0060133 A1 referenced expressly for this purpose in the scope of disclosure of the present invention.

Einkristalle aus Silizium werden gemäß der CZ-Methode in einer Gasatmosphäre gezogen, die möglichst keinen Sauerstoff enthalten soll, beispielsweise in einer Atmosphäre aus Argon. Es muss daher auch beim Befüllen eines Tiegels mit polykristallinem Silizium unter Verwendung der genannten Vorrichtung darauf geachtet werden, dass möglichst kein Sauerstoff in die Gasatmosphäre und die Schmelze eingeschleppt wird. Um dieses Ziel zu erreichen, kann vor dem Befüllen des Tiegels die mit dem polykristallinem Silizium beladene Vorrichtung in einer durch eine Schleuse von der eigentlichen Ziehkammer getrennten Kammer einmal oder mehrmals evakuiert und insbesondere der in den Zwischenräumen zwischen dem polykristallinen Silizium vorhandene Sauerstoff durch ein Austauschgas wie Argon verdrängt werden.Single crystals of silicon are drawn according to the CZ method in a gas atmosphere, which should contain as possible no oxygen, for example in an atmosphere of argon. It must therefore be ensured when filling a crucible with polycrystalline silicon using said device that as possible no oxygen is introduced into the gas atmosphere and the melt. To achieve this goal, prior to filling the crucible, the device loaded with the polycrystalline silicon may be evacuated once or more in a chamber separated from the actual pulling chamber by a lock, and in particular the oxygen present in the interstices between the polycrystalline silicon may be replaced by a replacement gas Argon are displaced.

Da es sich bei dem polykristallinem Silizium üblicherweise um Granulat handelt, das aus einer Wirbelschicht gewonnenen wurde, oder um Bruchstücke, zu denen größere Blöcke zerkleinert wurden, ist es nicht einfach, den in den Zwischenräumen vorhandenen Sauerstoff durch das Austauschgas zu ersetzen. Dazu kommt erschwerend, dass beim Verdrängen des Sauerstoffs durch das Austauschgas vermieden werden sollte, dass Staubpartikel mobilisiert werden. Diese könnten später die Ziehkammer verunreinigen oder sogar zur Bildung von Versetzungen im Einkristall führen.Since the polycrystalline silicon is usually granules recovered from a fluidized bed or fragments to which larger blocks have been crushed, it is not easy to replace the oxygen present in the gaps with the replacement gas. To complicate matters that should be avoided when displacing the oxygen by the exchange gas that dust particles are mobilized. These could later contaminate the draw chamber or even lead to the formation of dislocations in the single crystal.

Die Erfinder der vorliegenden Erfindung haben herausgefunden, dass bekannte Vorrichtungen zum Befüllen eines Tiegels mit polykristallinem Silizium kaum geeignet sind, um eine effiziente Verdrängung von Sauerstoff durch ein Austauschgas unter Vermeidung der Mobilisierung von Staub zu erreichen.The inventors of the present invention have found that known devices for filling a crucible with polycrystalline silicon are hardly suitable for achieving an efficient displacement of oxygen by a replacement gas while avoiding the mobilization of dust.

Es ist daher die Aufgabe der Erfindung, in dieser Hinsicht für eine Verbesserung zu sorgen.It is therefore the object of the invention to provide an improvement in this regard.

Die Aufgabe wird gelöst durch eine Vorrichtung zum Befüllen eines Tiegels mit polykristallinem Silizium, umfassend ein Rohr zur Aufnahme des polykristallinen Siliziums mit einer Rohrwand und mit einem unteren und einem oberen Ende; einen Verschluss zum Verschließen des unteren Endes des Rohrs; und Öffnungen in der Rohrwand, wobei a) der kürzeste axiale Abstand a zwischen dem unteren Ende des Rohrs und den Öffnungen nicht weniger als h und nicht mehr als 1,5*h beträgt, wobei h die Höhe des Verschlusses ist; b) der kürzeste axiale Abstand b zwischen dem oberen Ende des Rohrs und den Öffnungen nicht weniger als 0,5*D beträgt, wobei D der Außendurchmesser des Rohrs ist; c) die Durchführung der Öffnungen durch die Rohrwand von der Innenwand des Rohrs zur Außenwand des Rohrs mit einem Neigungswinkel α ansteigend geneigt ist; und d) die Querschnittslänge c der Öffnungen nicht weniger als 2 mm und nicht mehr als 5 mm beträgt. The object is achieved by a device for filling a crucible with polycrystalline silicon, comprising a tube for receiving the polycrystalline silicon having a tube wall and having a lower and an upper end; a closure for closing the lower end of the tube; and openings in the tube wall, wherein a) the shortest axial distance a between the lower end of the tube and the openings is not less than h and not more than 1 , 5 * h, where h is the height of the shutter; b) the shortest axial distance b between the upper end of the tube and the openings is not less than 0.5 * D, where D is the outer diameter of the tube; c) the passage of the openings through the tube wall from the inner wall of the tube to the outer wall of the tube with an inclination angle α is inclined rising; and d) the cross-sectional length c of the openings is not less than 2 mm and not more than 5 mm.

Eine derart ausgebildete Vorrichtung erlaubt den Austausch von Sauerstoff, der in den Zwischenräumen zwischen dem polykristallinen Silizium eingeschlossen ist, durch ein Austauschgas in kurzer Zeit und so, dass währenddessen kaum Staub mobilisiert wird.Such a device allows the exchange of oxygen trapped in the interstices between the polycrystalline silicon by a replacement gas in a short time and so that hardly any dust is mobilized during the process.

Das Rohr verfügt über mehrere Öffnungen in der Rohrwand. Sie bilden mindestens eine Gruppe von Öffnungen mit gleichem Abstand zum Ende des Rohrs. Sind zwei oder mehrere Gruppen vorhanden, so sind diese über die Länge des Rohrs verteilt angeordnet. The tube has several openings in the tube wall. They form at least one group of openings equidistant from the end of the pipe. If there are two or more groups, these are distributed over the length of the pipe.

Der kürzeste axiale Abstand a zwischen dem unteren Ende des Rohrs und den Öffnungen beträgt nicht weniger als die Höhe h des Verschlusses zum Verschließen des unteren Endes des Rohrs und nicht mehr als das Eineinhalbfache der Höhe h. Der axiale Abstand bezeichnet den Abstand in Bezug auf die Mittelachse des Rohrs. Ist der Abstand a kürzer als die angegebene untere Grenze, geht das zu Lasten der mechanischen Stabilität des Rohrs. The shortest axial distance a between the lower end of the tube and the openings is not less than the height h of the closure for closing the lower end of the tube and not more than one and a half times the height h. The axial distance refers to the distance with respect to the Center axis of the pipe. If the distance a shorter than the specified lower limit, this is at the expense of the mechanical stability of the pipe.

Ist der Abstand a größer als die angegebene obere Grenze, kann die oben erwähnte Aufgabe nicht mehr zufriedenstellend gelöst werden. If the distance a is greater than the specified upper limit, the above-mentioned object can no longer be satisfactorily resolved.

Der kürzeste axiale Abstand b zwischen dem oberen Ende des Rohrs und den Öffnungen beträgt nicht weniger als die Hälfte des Außendurchmessers D des Rohrs. Ist der Abstand b kürzer als die angegebene Grenze, ist die Wirkung der Öffnungen im Vergleich zum offenen oberen Ende des Rohrs zu vernachlässigen.The shortest axial distance b between the upper end of the tube and the openings is not less than half of the outer diameter D of the tube. If the distance b is shorter than the specified limit, the effect of the openings compared to the open upper end of the tube is negligible.

Die Öffnungen haben vorzugsweise einen kreisförmigen oder einen ovalen Querschnitt. Ist der Querschnitt ein Kreis, entspricht die Querschnittslänge c der Öffnungen dem Durchmesser des Kreises. Die Querschnittslänge c der Öffnungen beträgt nicht weniger als 2 mm und nicht mehr als 5 mm. Ist sie kleiner als 2 mm, wird der Gasaustausch behindert, ist sie größer als 5 mm ist die Mobilisierung von Staub begünstigt.The openings preferably have a circular or an oval cross-section. If the cross section is a circle, the cross-sectional length c of the openings corresponds to the diameter of the circle. The cross-sectional length c of the openings is not less than 2 mm and not more than 5 mm. If it is less than 2 mm, the gas exchange is hindered, it is greater than 5 mm, the mobilization of dust is favored.

Die Durchführung der Öffnungen durch die Rohrwand ist ansteigend geneigt ausgebildet und zwar von der Innenwand des Rohrs zur Außenwand des Rohrs ansteigend. Eine Neigung in die entgegengesetzte Richtung ist ungünstig, weil sie die Mobilisierung von Staub und polykristallinem Silizium fördert und das Risiko erhöht, das Rohr beim Befüllen mit polykristallinem Silizium zu beschädigen. Außerdem könnte polykristallines Silizium unkontrolliert aus dem Rohr fallen, wäre die Durchführung abfallend geneigt. Diese Folge ließe sich allerdings vermeiden, indem die Außenwand des Rohrs, einem Schwalbennest gleich, zu einer Tasche nach außen gebogen ausgestaltet wäre. The passage of the openings through the tube wall is rising inclined and from the inner wall of the tube to the outer wall of the tube rising. Tilting in the opposite direction is unfavorable because it promotes the mobilization of dust and polycrystalline silicon and increases the risk of damaging the pipe when filled with polycrystalline silicon. In addition, polycrystalline silicon could fall out of the tube unchecked, the implementation would be sloping inclined. However, this sequence could be avoided by the outer wall of the tube, a Schwalbennest equal, would be designed to a bag bent outward.

Eine besonders bevorzugte Ausführungsform der Vorrichtung wird nachfolgend unter Bezugnahme zu einer Figur erklärt.A particularly preferred embodiment of the device is explained below with reference to a figure.

Die in 1 dargestellte Vorrichtung umfasst ein Rohr 1 zur Aufnahme von polykristallinem Silizium, und einen Verschluss 2 zum Verschließen des unteren Endes des Rohrs. In verschiedenen axialen Abständen zum unteren Ende des Rohrs sind über die Länge des Rohrs Öffnungen 3 in der Rohrwand verteilt. Öffnungen mit gleichem axialen Abstand bilden jeweils Gruppen von Öffnungen. Durch sie wird der Gasfluss beim Evakuieren des Rohrs radial nach außen geleitet und zwar verteilt über die gesamte Länge des Rohrs. In the 1 The device shown comprises a tube 1 for receiving polycrystalline silicon, and a shutter 2 for closing the lower end of the tube. At different axial distances from the bottom of the tube are openings over the length of the tube 3 distributed in the pipe wall. Openings with the same axial distance form groups of openings. Through them, the gas flow is passed during the evacuation of the tube radially outward and distributed over the entire length of the tube.

Das Rohr 1 und der vorzugsweise konusförmige Verschluss 2 bestehen vorzugsweise aus Quarzglas.The pipe 1 and the preferably cone-shaped closure 2 are preferably made of quartz glass.

Der kürzeste axiale Abstand a zwischen dem unteren Ende des Rohrs 1 und den Öffnungen 3 beträgt nicht weniger als die Höhe h des Verschlusses zum Verschließen des unteren Endes des Rohrs und nicht mehr als das Eineinhalbfache der Höhe h. Der kürzeste axiale Abstand b zwischen dem oberen Ende des Rohrs 1 und den Öffnungen 3 beträgt nicht weniger als die Hälfte des Außendurchmessers D des Rohrs. Die Querschnittslänge c der Öffnungen beträgt nicht weniger als 2 mm und nicht mehr als 5 mm. Die Durchführung der Öffnungen 3 durch die Wand des Rohrs 1 ist von der Innenwand des Rohrs zur Außenwand des Rohrs mit einem Neigungswinkel α ansteigend geneigt.The shortest axial distance a between the lower end of the tube 1 and the openings 3 is not less than the height h of the shutter for closing the lower end of the pipe and not more than one and a half times the height h. The shortest axial distance b between the top of the pipe 1 and the openings 3 is not less than half the outer diameter D of the pipe. The cross-sectional length c of the openings is not less than 2 mm and not more than 5 mm. The implementation of the openings 3 through the wall of the pipe 1 is inclined from the inner wall of the pipe to the outer wall of the pipe with an inclination angle α rising.

Der Neigungswinkel α der Durchführung der Öffnungen ist vorzugsweise größer als 30° und kleiner als 60°. Die axiale Länge d der Durchführung der Öffnungen beträgt vorzugsweise nicht weniger als 2 mm und nicht mehr als 5 mm. Die Querschnittslänge c der Öffnungen 3 ist vorzugsweise umso größer, je kleiner der Abstand ist, den die Öffnungen 3 zum unteren Ende des Rohrs 1 haben. Eine gleichbleibende Querschnittslänge c ist möglich, aber nicht bevorzugt, weil das Evakuieren in der Nähe des unteren Endes des Rohrs schwieriger ist als an einer Stelle, die davon weiter entfernt ist.The angle of inclination α of the passage of the openings is preferably greater than 30 ° and less than 60 °. The axial length d of the passage of the openings is preferably not less than 2 mm and not more than 5 mm. The cross-sectional length c of the openings 3 is preferably larger, the smaller the distance that the openings 3 to the bottom of the pipe 1 to have. A consistent cross-sectional length c is possible, but not preferred, because evacuation near the bottom of the tube is more difficult than at a location farther away.

Der Abstand e zwischen axial benachbarten Gruppen von Öffnungen 3 beträgt vorzugsweise nicht weniger als die Hälfte des Außendurchmessers D des Rohrs. Ist der Abstand e kleiner als die angegebene Grenze, geht das zu Lasten der mechanischen Stabilität des Rohrs.The distance e between axially adjacent groups of openings 3 is preferably not less than half the outer diameter D of the pipe. If the distance e is smaller than the specified limit, this is at the expense of the mechanical stability of the pipe.

Axial benachbarte Gruppen von Öffnungen sind vorzugsweise um einen Winkel β versetzt zueinander angeordnet. Der Winkel ist vorzugsweise größer als 30° und kleiner als 90°. Ist der Winkel β kleiner als die angegebene untere Grenze, geht das zu Lasten der mechanischen Stabilität des Rohrs, ist er größer als die angegebene obere Grenze, ist die Wirkung der Öffnungen zu gering.Axially adjacent groups of openings are preferably offset by an angle β. The angle is preferably greater than 30 ° and less than 90 °. If the angle β is less than the specified lower limit, this is at the expense of the mechanical stability of the pipe, if it is greater than the specified upper limit, the effect of the openings is too small.

Gegenstand der Erfindung ist auch ein Verfahren zum Befüllen eines Tiegels mit polykristallinem Silizium, umfassend das Beladen einer erfindungsgemäßen Vorrichtung mit polykristallinem Silizium; das Evakuieren der Vorrichtung, um Sauerstoffgas aus Zwischenräumen zwischen dem polykristallinen Silizium zu entfernen; das Leiten eines Austauschgases in die evakuierten Vorrichtung, um die Zwischenräume mit dem Austauschgas zu füllen; und das Öffnen des Verschlusses der Vorrichtung zum Befüllen des Tiegels mit dem polykristallinem Silizium.The invention also provides a method for filling a crucible with polycrystalline silicon, comprising loading a device according to the invention with polycrystalline silicon; evacuating the device to remove oxygen gas from interstices between the polycrystalline silicon; passing a replacement gas into the evacuated device to fill the gaps with the replacement gas; and opening the shutter of the device for filling the crucible with the polycrystalline silicon.

Als Austauschgas wird vorzugsweise ein Edelgas wie Argon, Stickstoff, Wasserstoff, Ammoniak oder eine Mischung aus zwei oder mehreren dieser Gase verwendet.As a replacement gas is preferably a noble gas such as argon, nitrogen, hydrogen, Ammonia or a mixture of two or more of these gases used.

Das Evakuieren der Vorrichtung und das Leiten von Austauschgas in die Vorrichtung wird vorzugsweise einmal oder mehrmals wiederholt, bevor der Tiegel mit dem in der Vorrichtung enthaltenem polykristallinem Silizium befüllt wird.The evacuation of the device and the introduction of replacement gas into the device is preferably repeated one or more times before the crucible is filled with the polycrystalline silicon contained in the device.

ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG QUOTES INCLUDE IN THE DESCRIPTION

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Zitierte PatentliteraturCited patent literature

  • US 2006/0060133 A1 [0005] US 2006/0060133 A1 [0005]

Claims (9)

Vorrichtung zum Befüllen eines Tiegels mit polykristallinem Silizium, umfassend ein Rohr zur Aufnahme des polykristallinen Siliziums mit einer Rohrwand und mit einem unteren und einem oberen Ende; einen Verschluss zum Verschließen des unteren Endes des Rohrs; und Öffnungen in der Rohrwand, wobei a) der kürzeste axiale Abstand a zwischen dem unteren Ende des Rohrs und den Öffnungen nicht weniger als h und nicht mehr als 1,5*h beträgt, wobei h die Höhe des Verschlusses ist; b) der kürzeste axiale Abstand b zwischen dem oberen Ende des Rohrs und den Öffnungen nicht weniger als 0,5*D beträgt, wobei D der Außendurchmesser des Rohrs ist; c) die Durchführung der Öffnungen durch die Rohrwand von der Innenwand des Rohrs zur Außenwand des Rohrs mit einem Neigungswinkel α ansteigend geneigt ist; und d) die Querschnittslänge c der Öffnungen nicht weniger als 2 mm und nicht mehr als 5 mm beträgt.Apparatus for filling a crucible with polycrystalline silicon, comprising a tube for receiving the polycrystalline silicon having a tube wall and having a lower and an upper end; a closure for closing the lower end of the tube; and openings in the pipe wall, wherein a) the shortest axial distance a between the lower end of the tube and the openings is not less than h and not more than 1.5 * h, where h is the height of the closure; b) the shortest axial distance b between the upper end of the tube and the openings is not less than 0.5 * D, where D is the outer diameter of the tube; c) the passage of the openings through the tube wall from the inner wall of the tube to the outer wall of the tube with an inclination angle α is inclined rising; and d) the cross-sectional length c of the openings is not less than 2 mm and not more than 5 mm. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass der Neigungswinkel α der Durchführung der Öffnungen größer als 30° und kleiner als 60° ist.Apparatus according to claim 1, characterized in that the angle of inclination α of the passage of the openings is greater than 30 ° and less than 60 °. Vorrichtung nach Anspruch 1 oder Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, dass die axiale Länge d der Durchführung der Öffnungen nicht weniger als 2 mm und nicht mehr als 5 mm beträgt.Apparatus according to claim 1 or claim 2, characterized in that the axial length d of the passage of the openings is not less than 2 mm and not more than 5 mm. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, dass die Querschnittslänge c der Öffnungen umso größer ist, je kleiner der Abstand ist, den die Öffnungen zum unteren Ende des Rohrs haben. Device according to one of claims 1 to 3, characterized in that the smaller the distance that the openings have to the lower end of the tube, the greater the cross-sectional length c of the openings. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, dass der Abstand e zwischen axial benachbarten Gruppen von Öffnungen nicht weniger als D/2 beträgt.Device according to one of claims 1 to 4, characterized in that the distance e between axially adjacent groups of openings is not less than D / 2. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, dass axial benachbarte Gruppen von Öffnungen um einen Winkel β versetzt zueinander angeordnet sind, der größer als 30° und kleiner als 90° ist.Device according to one of claims 1 to 5, characterized in that axially adjacent groups of openings are offset by an angle β to each other, which is greater than 30 ° and smaller than 90 °. Verfahren zum Befüllen eines Tiegels mit polykristallinem Silizium, umfassend das Beladen einer Vorrichtung gemäß einem der Ansprüche 1 bis 6 mit polykristallinem Silizium; das Evakuieren der Vorrichtung, um Sauerstoffgas aus Zwischenräumen zwischen dem polykristallinen Silizium zu entfernen; das Leiten eines Austauschgases in die evakuierten Vorrichtung, um die Zwischenräume mit dem Austauschgas zu füllen; und das Öffnen des Verschlusses der Vorrichtung zum Befüllen des Tiegels mit dem polykristallinem Silizium.A method of filling a crucible with polycrystalline silicon, comprising loading a device according to any one of claims 1 to 6 with polycrystalline silicon; evacuating the device to remove oxygen gas from interstices between the polycrystalline silicon; passing a replacement gas into the evacuated device to fill the gaps with the replacement gas; and opening the shutter of the device for filling the crucible with the polycrystalline silicon. Verfahren nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, dass als Austauschgas ein Edelgas, Stickstoff, Wasserstoff, Ammoniak oder eine Mischung aus zwei oder mehreren dieser Gase verwendet wird.A method according to claim 8, characterized in that a noble gas, nitrogen, hydrogen, ammonia or a mixture of two or more of these gases is used as replacement gas. Verfahren nach Anspruch 7 oder Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, dass das Evakuieren der Vorrichtung und das Leiten von Austauschgas in die Vorrichtung wiederholt wird, bevor der der Tiegel befüllt wird. A method according to claim 7 or claim 8, characterized in that the evacuation of the device and the passage of replacement gas is repeated in the device before the crucible is filled.
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