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DE102011051263A1 - Device for generating aerosols and depositing a light-emitting layer - Google Patents

Device for generating aerosols and depositing a light-emitting layer Download PDF

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DE102011051263A1
DE102011051263A1 DE102011051263A DE102011051263A DE102011051263A1 DE 102011051263 A1 DE102011051263 A1 DE 102011051263A1 DE 102011051263 A DE102011051263 A DE 102011051263A DE 102011051263 A DE102011051263 A DE 102011051263A DE 102011051263 A1 DE102011051263 A1 DE 102011051263A1
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carrier gas
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aerosol
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powder
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Markus Gersdorff
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Abstract

Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung mit einem Vorratsbehälter (4) zur Aufnahme eines Pulvers (5) und mit einer Förderschnecke (8), um eine dosierte Menge des Pulvers (5) aus dem Vorratsbehälter (4) zu einer Einspeisestelle (13) zu fördern, an welcher Einspeisestelle (13) das Pulver (5) in einen n im Trägergasstrom (25) durch eine Aerosolleitung (15) abtransportiert zu werden. Zur technischen Verbesserung eines Aerosol-Erzeugers wird vorgeschlagen, dass die Förderschnecke (8) einen vom Träger (10) aufweist.The invention relates to a device with a storage container (4) for receiving a powder (5) and with a screw conveyor (8) to convey a metered amount of powder (5) from the storage container (4) to a feed point (13), at which feed point (13) the powder (5) is to be transported away through an aerosol line (15) in a carrier gas stream (25). For the technical improvement of an aerosol generator, it is proposed that the screw conveyor (8) have a carrier (10).

Description

Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung mit einem Vorratsbehälter zur Aufnahme eines Pulvers und mit einer Förderschnecke, um eine dosierte Menge des Pulvers aus dem Vorratsbehälter zu einer Einspeisestelle zu fördern, an welcher Einspeisestelle das Pulver in einen Trägergasstrom gelangt, um als Schwebeteilchen im Trägergasstrom durch eine Aerosolleitung abtransportiert zu werden.The invention relates to a device with a reservoir for receiving a powder and with a screw conveyor to promote a metered amount of the powder from the reservoir to a feed point at which feed point, the powder enters a carrier gas stream to be suspended particles in the carrier gas stream by an aerosol to be transported away.

Eine Vorrichtung dieser Art wird von der US 6,037,241 beschrieben. Ein trichterförmiger Vorratsbehälter ist mit einem organischen Pulver gefüllt. Unterhalb des Vorratsbehälters befindet sich eine Förderschnecke, die von einem Motor angetrieben wird, um dosierte Mengen des Pulvers an einer Einspeisestelle in eine Trägergasleitung einzuspeisen, durch die ein Trägergasstrom strömt. Die Pulverteilchen bilden im Trägergasstrom ein Aerosol, das durch eine Aerosolleitung in einen Verdampfer transportiert wird. Der Verdampfer wird von einem Behälter ausgebildet, dessen Wände von einem offenzelligen Schaumkörper gebildet sind, der durch Hindurchleiten elektrischen Stroms beheizt wird, so dass Wärme auf die in Kontakt mit den Zellwänden tretenden Aerosolteilchen übertragen wird, was zu deren Verdampfung führt. Über eine Dampfleitung werden Trägergas und Dampf in eine Prozesskammer eines CVD-Reaktors geleitet, wo der Dampf auf der Oberfläche eines Substrates kondensiert, so dass eine lichtemittierende Schicht gebildet wird.A device of this kind is from the US 6,037,241 described. A funnel-shaped reservoir is filled with an organic powder. Below the reservoir is a screw conveyor, which is driven by a motor to feed metered quantities of the powder at a feed point in a carrier gas line through which a carrier gas stream flows. The powder particles form an aerosol in the carrier gas stream, which is transported by an aerosol line into an evaporator. The evaporator is formed by a container whose walls are formed by an open-cell foam body which is heated by passing electrical current, so that heat is transferred to the aerosol particles coming into contact with the cell walls, resulting in their evaporation. Carrier gas and steam are passed via a vapor line into a process chamber of a CVD reactor, where the vapor condenses on the surface of a substrate, forming a light-emitting layer.

Die US 7,501,152 B2 beschreibt eine Vorrichtung, die einen Vorratsbehälter aufweist, der an seiner Unterseite eine Öffnung besitzt, die in ein Lagerrohr mündet, in dem eine Förderschnecke gelagert ist, mit der ein im Behälter bevorratetes Pulver dosiert zu einem Verdampfer transportiert werden kann. Bei dem verwendeten Pulver handelt es sich um einen organischen Ausgangsstoff, der verdampft wird, um auf einem Substrat als lichtemittierende Schicht zu kondensieren.The US 7,501,152 B2 describes a device having a reservoir having on its underside an opening which opens into a storage tube in which a screw conveyor is mounted, with a dosed in the container powder can be transported dosed to an evaporator. The powder used is an organic precursor which is vaporized to condense on a substrate as a light-emitting layer.

Die US 2009/0039175 A1 beschreibt ebenfalls einen Verdampfer, dem über eine Förderschnecke pulverförmiges organisches Material zugeführt wird, mit welchem OLED-Strukturen auf einem Substrat abgeschieden werden können.The US 2009/0039175 A1 also describes an evaporator to which powdered organic material is supplied via a screw conveyor, with which OLED structures can be deposited on a substrate.

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, den eingangs genannten Aerosol-Erzeuger technisch zu verbessern.The invention has for its object to improve the aerosol generator mentioned above technically.

Gelöst wird die Aufgabe durch die in den Ansprüchen angegebene Erfindung.The object is achieved by the invention specified in the claims.

Zunächst und im Wesentlichen ist vorgesehen, dass die Förderschnecke einen vom Trägergasstrom durchströmten axialen Strömungskanal aufweist. Hierdurch wird die Funktionalität des Aerosol-Erzeugers in einer Verdampfungseinrichtung verbessert. Die von der Schnecke geförderten Pulverteilchen werden am Ende der Schnecke über eine geeignete Formgebung des Endes der Lagerhöhlung der Schnecke radial einwärts transportiert und unmittelbar in den aus dem Ende der Förderschnecke austretenden Trägergasstrom eingespeist. Der Strömungskanal verläuft in der Drehachse der Schnecke. Die Pulverteilchen werden als Schwebeteilchen in eine Aerosolleitung vom Trägergas zu einem Verdampfer transportiert, in welchem die Schwebeteilchen durch Zufuhr von Wärme zu einem Dampf verdampfen. Der mit dem Dampf des verdampften organischen Ausgangsstoffes angereicherte Trägergasstrom wird durch eine Dampfleitung einem CVD-Reaktor zugeführt. Dieser besitzt einen Gasverteiler in Form eines shower head mit an seiner Unterseite angeordneter Gasaustrittsfläche, die eine Vielzahl von siebartig angeordneten Gasaustrittsöffnungen aufweist. Durch diesen Gasverteiler und die Gasaustrittsöffnungen gelangt der mit dem Dampf angereicherte Trägergasstrom in eine unterhalb des Gasverteilers angeordnete Prozesskammer, deren Boden von einem Suszeptor ausgebildet wird, der ein zu beschichtendes Substrat, beispielsweise aus Glas trägt, welches durch Kühlmittel des Suszeptors auf eine Temperatur gekühlt wird, bei der der Dampf auf der Oberfläche des Substrates kondensiert. Die Einspeisung des Aerosols, welches unmittelbar am Ende der Förderschnecke gebildet wird, in die Aerosolleitung kann in einen quer zur Schnecke fließenden zweiten Trägergasstrom erfolgen. Es ist aber auch vorgesehen, dass die Aerosolleitung mit dem Strömungskanal fluchtet. Auch bei einer fluchtenden Anordnung kann an der Einspeisestelle ein zweites Trägergas in die Aerosolleitung strömen. Während das erste Trägergas aus dem Zentrum einer rotationssymmetrischen Einspeiseanordnung ausströmt, kann das zweite Trägergas von einer radial äußeren Düsenanordnung eingespeist werden. Die Trägergaseinspeiseleitung für das erste Trägergas kann ein Ventil aufweisen, das alternierend geöffnet und geschlossen wird, so dass Trägergaspulse durch den Strömungskanal der Förderschnecke strömen. Auch das zweite Trägergas kann gepulst zugeleitet werden. Bei dem Ventil handelt es sich bevorzugt um ein Umschaltventil, welches den Trägergasfluss entweder in den Strömungskanal oder in eine Vent-Leitung leitet. Der Trägergasstrom wird bevorzugt dosiert. Dies erfolgt mit einem Massenflussregler. Der Vorratsbehälter kann ein Rührwerk aufweisen, wie es beispielsweise in der US 7,501,152 B2 beschrieben wird. Das Rührwerk kann von dem selben Motor angetrieben werden, der auch die Schnecke dreht. Bei dem Rührwerk handelt es sich um einen wendelgangförmig gebogenen Draht, der um die Achse der Wendel drehangetrieben wird. Der Behälter besitzt eine Rotationssymmetrie. Die Achse des Rührwerks verläuft parallel zur Achse der Spindel.First and essentially it is provided that the screw conveyor has an axial flow channel through which flows the carrier gas stream. This improves the functionality of the aerosol generator in an evaporation device. The powder particles conveyed by the screw are transported radially inward at the end of the screw via a suitable shaping of the end of the bearing cavity of the screw and fed directly into the carrier gas stream emerging from the end of the screw conveyor. The flow channel runs in the axis of rotation of the screw. The powder particles are transported as suspended particles in an aerosol line from the carrier gas to an evaporator, in which the suspended particles evaporate by supplying heat to a vapor. The enriched with the vapor of the vaporized organic starting material carrier gas stream is fed through a vapor line to a CVD reactor. This has a gas distributor in the form of a shower head with arranged on its underside gas outlet surface having a plurality of sieve-like arranged gas outlet openings. Through this gas distributor and the gas outlet openings of the enriched with the steam carrier gas stream passes into a disposed below the gas distributor process chamber whose bottom is formed by a susceptor carrying a substrate to be coated, for example glass, which is cooled by coolant of the susceptor to a temperature in which the vapor condenses on the surface of the substrate. The feeding of the aerosol, which is formed directly at the end of the screw conveyor, into the aerosol line can take place in a second carrier gas flow flowing transversely to the screw. But it is also envisaged that the aerosol line is aligned with the flow channel. Even with an aligned arrangement, a second carrier gas can flow into the aerosol line at the feed point. While the first carrier gas flows out of the center of a rotationally symmetrical feed arrangement, the second carrier gas can be fed from a radially outer nozzle arrangement. The carrier gas feed line for the first carrier gas may comprise a valve which is alternately opened and closed so that carrier gas pulses flow through the flow channel of the feed screw. The second carrier gas can also be supplied pulsed. The valve is preferably a switching valve which directs the carrier gas flow either into the flow channel or into a vent line. The carrier gas stream is preferably metered. This is done with a mass flow controller. The reservoir may have a stirrer, as for example in the US 7,501,152 B2 is described. The agitator can be driven by the same motor that also turns the worm. The agitator is a helically bent wire which is rotated about the axis of the helix. The container has a rotational symmetry. The axis of the agitator runs parallel to the axis of the spindle.

Ausführungsbeispiele der Erfindung werden nachfolgend anhand beigefügter Zeichnungen erläutert. Es zeigen: Embodiments of the invention are explained below with reference to accompanying drawings. Show it:

1 schematisch die erfindungsgemäße Vorrichtung, 1 schematically the device according to the invention,

2 einen vergrößerten Ausschnitt gemäß der strichpunktierten Linie II-II in 1, 2 an enlarged section according to the dotted line II-II in 1 .

3 in perspektivischer Darstellung eine Fördereinrichtung eines Aerosol-Erzeugers 1, 3 in perspective view of a conveyor of an aerosol generator 1 .

4 eine Darstellung der in 3 dargestellten Fördereinrichtung mit aufgebrochener Förderschneckenlagerung, 4 a representation of in 3 illustrated conveyor with broken screw conveyor bearing,

5 eine Draufsicht auf eine Fördereinrichtung gemäß der 3 und 4 mit einem aufgeschnittenen Rohr, in welches von der Fördereinrichtung geförderte Partikel injiziert werden, 5 a plan view of a conveyor according to the 3 and 4 with a cut-open tube into which particles conveyed by the conveyor are injected,

6 einen Schnitt gemäß der Linie VI-VI in 5, 6 a section along the line VI-VI in 5 .

7 die Fördereinrichtung der 3 und 4 in einem anderen Anwendungsbeispiel, bei dem die von der Fördereinrichtung geförderten Pulverteilchen axial in eine Aerosolleitung 15 eingespeist werden, 7 the conveyor of the 3 and 4 in another example of application in which the powder particles conveyed by the conveyor axially into an aerosol line 15 be fed

8 einen Schnitt gemäß der Linie VIII-VIII in 7 und 8th a section along the line VIII-VIII in 7 and

9 ein weiteres Anwendungsbeispiel der in den 3 und 4 dargestellten Fördereinrichtung, wobei ebenfalls axial in eine Aerosolleitung 15 eingespeist wird. 9 another example of application in the 3 and 4 illustrated conveyor, wherein also axially into an aerosol line 15 is fed.

Die 1 zeigt schematisch eine Vorrichtung zum Abscheiden von OLED-Schichten auf einem Substrat 20. Der dazu verwendete CVD-Reaktor 3 ist in der 1 stark verkleinert dargestellt. In ihm befindet sich ein Gasverteiler 18 in Form eines shower head, der an seiner Unterseite eine Vielzahl von Gasaustrittsöffnungen aufweist, die zu einer Prozesskammer 19 weisen, deren Boden von einem Suszeptor 21 gebildet wird, der gekühlt ist und auf dessen Oberfläche das zu beschichtende Substrat 20 liegt. Mit einer Vakuumpumpe 22 lässt sich der Totaldruck innerhalb der Prozesskammer 19 in einen weiten Bereich einstellen. Üblicherweise werden Totaldrücke zwischen 1 und 100 mbar verwendet.The 1 schematically shows a device for depositing OLED layers on a substrate 20 , The CVD reactor used for this purpose 3 is in the 1 shown greatly reduced. In it is a gas distributor 18 in the form of a shower head, which has on its underside a plurality of gas outlet openings leading to a process chamber 19 show their soil from a susceptor 21 is formed, which is cooled and on the surface of which the substrate to be coated 20 lies. With a vacuum pump 22 can the total pressure within the process chamber 19 set in a wide range. Usually, total pressures between 1 and 100 mbar are used.

Der Gasverteiler 18 wird über eine Dampfzuleitung 17 mit einem Prozessgas versorgt. Es handelt sich dabei um einen von einem Trägergas transportierten Dampf eines organischen Ausgangsstoffes, der auf dem Substrat 20 als dünne Schicht kondensiert.The gas distributor 18 is via a steam supply 17 supplied with a process gas. It is a transported by a carrier gas vapor of an organic starting material, which on the substrate 20 condensed as a thin layer.

Zur Erzeugung des Dampfes wird zunächst in einem Aerosol-Erzeuger 1 aus einem pulverförmigen organischen Ausgangsstoff 5 und einem Trägergasstrom 25 ein Aerosol erzeugt, welches durch eine Aerosolleitung 15 in einen Verdampfer 2 gebracht wird, wo die vom Trägergasstrom 25 transportierten Schwebeteilchen verdampft werden. Hierzu besitzt der Verdampfer 2 einen Verdampfungskörper 16, der beheizt wird. Bei dem Verdampfungskörper handelt es sich bevorzugt um eine offenzellige Struktur. Es kann sich um einen offenzelligen Festkörperschaum handeln. Die Wände der Zellen bilden krummlinig verlaufende Kanäle. Die Kanalwände bilden Verdampfungsflächen aus. Über Oberflächenkontakt mit den Verdampfungsflächen wird den Schwebeteilchen Verdampfungsenergie zugeführt, so dass sie verdampfen und als Dampf vom Trägergasstrom 25 durch die Dampfleitung 17 zum CVD-Reaktor 3 transportiert werden.To generate the steam is first in an aerosol generator 1 from a powdery organic starting material 5 and a carrier gas stream 25 an aerosol generated by an aerosol line 15 in an evaporator 2 is brought where the carrier gas flow 25 transported suspended particles are evaporated. For this purpose, the evaporator has 2 an evaporation body 16 which is heated. The evaporation body is preferably an open-cell structure. It can be an open-celled solid state foam. The walls of the cells form curvilinear channels. The channel walls form evaporation surfaces. Via surface contact with the evaporation surfaces, vaporization energy is supplied to the suspended particles so that they evaporate and as vapor from the carrier gas flow 25 through the steam line 17 to the CVD reactor 3 be transported.

Der Trägergasstrom 25 wird von einem Massenflussregler 27 dosiert. Der so dosierte Trägergasstrom 25 kann mittels eines Umschaltventils 26 entweder in eine Trägergaseinspeiseleitung 12 oder in eine Vent-Leitung 28 geleitet werden. Durch schnelles Umschalten kann die Trägergaseinspeiseleitung 12 pulsförmig vom Trägergas 25 durchströmt werden.The carrier gas flow 25 is from a mass flow controller 27 dosed. The thus metered carrier gas flow 25 can by means of a switching valve 26 either in a carrier gas feed line 12 or in a vent line 28 be directed. By switching quickly, the carrier gas feed line can 12 pulsed from the carrier gas 25 be flowed through.

Die Trägergaseinspeiseleitung 12 mündet in einen Strömungskanal 10, der in der Achse einer Förderschnecke 8 verläuft. Die Förderschnecke 8 besitzt auf ihrer Außenmantelwand eine oder mehrere wendelgangförmig angeordnete Förderrippen. Durch Drehen der Förderschnecke 8 mit Hilfe einer Antriebseinrichtung 11 wird ein im Vorratsbehälter 4 bevorrateter pulverförmiger organischer Ausgangsstoff 5 zum Ende der Förderschnecke 8 gefördert, wo sich die Mündung 14 des Strömungskanals 10 befindet.The carrier gas feed line 12 flows into a flow channel 10 which is in the axis of a screw conveyor 8th runs. The screw conveyor 8th has on its outer shell wall, one or more helically arranged conveyor ribs. By turning the screw conveyor 8th by means of a drive device 11 is one in the reservoir 4 stored powdered organic starting material 5 to the end of the screw conveyor 8th promoted where the estuary 14 of the flow channel 10 located.

Innerhalb des Vorratsbehälters 4 befindet sich ein von einem Motor 7 angetriebenes Rührwerk 8, welches für eine gleichmäßige Befüllung der Förderschnecke 8 sorgt.Inside the storage container 4 is one of a motor 7 driven agitator 8th , which ensures a uniform filling of the screw conveyor 8th provides.

Durch Drehen der Förderschnecke 8 wird das zwischen den wendelgangförmigen Stegen 24 in einem Förderkanal 23 geförderte Pulver zu einer Einspeisestelle 13 transportiert. Die Förderschnecke 8 dreht sich dabei in einem Lagerrohr 9, dessen Ende trichterförmig zuläuft, so dass durch einen Spalt zwischen Stirnfläche und trichterförmigen Ende 9' das Pulver vor die Mündung 14 des Strömungskanals 10 gefördert wird.By turning the screw conveyor 8th this will be between the helical webs 24 in a conveyor channel 23 pumped powder to a feed point 13 transported. The screw conveyor 8th turns in a bearing tube 9 whose end is funnel-shaped, so that through a gap between the end face and funnel-shaped end 9 ' the powder in front of the mouth 14 of the flow channel 10 is encouraged.

Der aus der Mündung 14 heraustretende Trägergasstrom 25 fördert das Pulver als Schwebeteilchen durch die Aerosolleitung 15 zum Verdampfer 16.The from the mouth 14 emerging carrier gas stream 25 promotes the powder as suspended particles through the aerosol line 15 to the evaporator 16 ,

Bei dem in den 3 und 4 dargestellten Ausführungsbeispiel werden Förderschnecke 8 und Rührwerk 6 von einem gemeinsamen Motor 7 angetrieben, wobei die parallel zueinander verlaufenden Wellen des Rührwerks 6 und Förderschnecke 8 mit Zahnrädern miteinander verbunden sind. In dem zylindrischen Vorratsbehälter 4 dreht sich eine Drahtwendel, die das Rührwerk 6 bildet. Das Ende 33 des Lagerrohres 9 wird von einem Stutzen gebildet, dessen Stirnseite den Trichter 9' ausbildet. Dieser Stutzen ist dazu vorgesehen, in eine Öffnung eines Rohres eingesteckt zu werden. In the in the 3 and 4 illustrated embodiment are screw conveyor 8th and agitator 6 from a common engine 7 driven, wherein the mutually parallel shafts of the agitator 6 and screw conveyor 8th connected by gears. In the cylindrical reservoir 4 turns a wire helix, which is the agitator 6 forms. The end 33 of the bearing tube 9 is formed by a neck whose front end is the funnel 9 ' formed. This nozzle is intended to be inserted into an opening of a pipe.

Bei dem in den 5 und 6 dargestellten Ausführungsbeispiel steckt der Stutzen 33 in einer Mantelöffnung eines Rohres, durch welches ein zweiter Trägergasstrom 29 strömt. Stromaufwärts der Einspeisestelle 13 bildet das Rohr somit eine Trägergaszuleitung 30 für das zweite Trägergas 29. Stromabwärts der Einspeisestelle 13 bildet das Rohr die Aerosolleitung 15. An der Einspeisestelle 13 wird das von der Förderschnecke 8 geförderte Pulver mit Hilfe des durch den Strömungskanal 10 hindurchtretenden ersten Trägergasstrom 25 eingespeist.In the in the 5 and 6 illustrated embodiment, the nozzle is inserted 33 in a shell opening of a tube, through which a second carrier gas flow 29 flows. Upstream of the feed point 13 The tube thus forms a carrier gas supply line 30 for the second carrier gas 29 , Downstream of the feed point 13 the pipe forms the aerosol line 15 , At the entry point 13 that's from the screw conveyor 8th pumped powder by means of the flow channel 10 passing first carrier gas stream 25 fed.

Bei dem in den 7 und 8 dargestellten Ausführungsbeispiel erfolgt die Einspeisung des Aerosols von der Stirnseite her in die Aerosolleitung 15. Hier steckt der Stutzen 33 in einem Düsenkopf 31, mit dem ein zweiter Trägergasstrom 29 in die Aerosolleitung 15 eingespeist werden kann. Dies erfolgt durch eine den Stutzen 33 umgebende Einspeisezone für das zweite Trägergas 29, die eine Vielzahl von Öffnungen 32 ausbildet, durch die das zweite Trägergas 29, welches mittels einer Trägergaszuleitung 30 in den Düsenkopf 31 eingespeist wird, in die Aerosolleitung 15 einströmt.In the in the 7 and 8th illustrated embodiment, the feeding of the aerosol from the front side takes place in the Aerosolleitung 15 , Here is the nozzle 33 in a nozzle head 31 , with which a second carrier gas stream 29 into the aerosol line 15 can be fed. This is done by a nozzle 33 surrounding feed zone for the second carrier gas 29 that have a lot of openings 32 forms, through which the second carrier gas 29 , which by means of a carrier gas supply line 30 in the nozzle head 31 is fed into the aerosol line 15 flows.

Das in der 9 dargestellte Ausführungsbeispiel benutzt kein zweites Trägergas. Hier ist das Rohrende der Aerosolleitung 15 unmittelbar auf den Stutzen 33 aufgesteckt. Das durch den in der Drehachse der Förderschnecke 8 angeordneten Strömungskanal 10 hindurchströmende Trägergas 25 nimmt an der Mündung 14 des Strömungskanals 10 die von radial außen zum Drehzentrum hin geförderten Pulverteilchen mit und transportiert sie als Schwebeteilchen zum Verdampfer 2.That in the 9 illustrated embodiment does not use a second carrier gas. Here is the tube end of the aerosol line 15 directly on the neck 33 attached. That by the in the axis of rotation of the screw conveyor 8th arranged flow channel 10 passing carrier gas 25 takes at the mouth 14 of the flow channel 10 with the conveyed from radially outward to the center of rotation powder particles and transported as suspended particles to the evaporator 2 ,

Alle offenbarten Merkmale sind (für sich) erfindungswesentlich. In die Offenbarung der Anmeldung wird hiermit auch der Offenbarungsinhalt der zugehörigen/beigefügten Prioritätsunterlagen (Abschrift der Voranmeldung) vollinhaltlich mit einbezogen, auch zu dem Zweck, Merkmale dieser Unterlagen in Ansprüche vorliegender Anmeldung mit aufzunehmen. Die Unteransprüche charakterisieren in ihrer fakultativ nebengeordneten Fassung eigenständige erfinderische Weiterbildung des Standes der Technik, insbesondere um auf Basis dieser Ansprüche Teilanmeldungen vorzunehmen.All disclosed features are essential to the invention. The disclosure of the associated / attached priority documents (copy of the prior application) is hereby also incorporated in full in the disclosure of the application, also for the purpose of including features of these documents in claims of the present application. The subclaims characterize in their optional sibling version independent inventive development of the prior art, in particular to make on the basis of these claims divisional applications.

BezugszeichenlisteLIST OF REFERENCE NUMBERS

11
Aerosol-ErzeugerAerosol Generator
22
VerdampferEvaporator
33
CVD-ReaktorCVD reactor
44
Vorratsbehälterreservoir
55
pulverförmiger organischer Ausgangsstoffpowdery organic starting material
66
Rührwerkagitator
77
Motorengine
88th
FörderschneckeAuger
99
Lagerrohrbearing tube
9'9 '
EndeThe End
1010
Strömungskanalflow channel
1111
Antriebseinrichtungdriving means
1212
TrägergaseinspeiseleitungTrägergaseinspeiseleitung
1313
Einspeisestelleinfeed
1414
Mündungmuzzle
1515
Aerosolleitungaerosol line
1616
VerdampfungskörperEvaporating body
1717
Dampfleitungsteam line
1818
Gasverteilergas distributor
1919
Prozesskammerprocess chamber
2020
Substratsubstratum
2121
Suszeptorsusceptor
2222
Vakuumpumpevacuum pump
2323
Förderkanaldelivery channel
2424
wendelgangförmige Stegehelical webs
2525
TrägergasstromCarrier gas stream
2626
VentilValve
2727
MassenflussreglerMass Flow Controller
2828
Vent-LeitungVent line
2929
zweites Trägergassecond carrier gas
3030
TrägergaszuleitungCarrier gas supply line
3131
Düsenkopfnozzle head
3232
Öffnungopening
3333
StutzenSupport

ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG QUOTES INCLUDE IN THE DESCRIPTION

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Claims (10)

Vorrichtung mit einem Vorratsbehälter (4) zur Aufnahme eines Pulvers (5) und mit einer Förderschnecke (8), um eine dosierte Menge des Pulvers (5) aus dem Vorratsbehälter (4) zu einer Einspeisestelle (13) zu fördern, an welcher Einspeisestelle (13) das Pulver (5) in einen Trägergasstrom (25) gelangt, um als Schwebeteilchen im Trägergasstrom (25) durch eine Aerosolleitung (15) abtransportiert zu werden, dadurch gekennzeichnet, dass die Förderschnecke (8) einen vom Trägergasstrom (25) durchströmten axialen Strömungskanal (10) aufweist.Device with a storage container ( 4 ) for receiving a powder ( 5 ) and with a screw conveyor ( 8th ) to a metered amount of the powder ( 5 ) from the reservoir ( 4 ) to a feed point ( 13 ) at which feed-in point ( 13 ) the powder ( 5 ) into a carrier gas stream ( 25 ) to be used as suspended particles in the carrier gas stream ( 25 ) by an aerosol line ( 15 ), characterized in that the screw conveyor ( 8th ) one from the carrier gas stream ( 25 ) flowed through the axial flow channel ( 10 ) having. Vorrichtung gemäß Anspruch 1 oder insbesondere danach, gekennzeichnet durch einen von der Aerosolleitung (15) gespeisten Verdampfer (16), in welchem die Schwebeteilchen durch Zufuhr von Wärme zu einem Dampf verdampft werden, der vom Trägergasstrom (25) durch eine Dampfleitung (17) abtransportiert wird.Device according to claim 1 or in particular according thereto, characterized by one of the aerosol lines ( 15 ) fed evaporator ( 16 ) in which the suspended particles are vaporized by the addition of heat to a vapor which is separated from the carrier gas flow ( 25 ) through a steam line ( 17 ) is transported away. Vorrichtung gemäß einem oder mehreren der vorhergehenden Ansprüche oder insbesondere danach, gekennzeichnet durch einen von der Dampfleitung (17) gespeisten Gasverteiler (18) eines CVD-Reaktors (3), der eine Prozesskammer (19) mit einem Suszeptor (21) aufweist zur Aufnahme eines Substrates (20), das durch Kondensation des Dampfes beschichtet wird.Device according to one or more of the preceding claims or in particular according thereto, characterized by one of the steam line ( 17 ) gas distributors ( 18 ) of a CVD reactor ( 3 ), which has a process chamber ( 19 ) with a susceptor ( 21 ) has for receiving a substrate ( 20 ), which is coated by condensation of the vapor. Vorrichtung gemäß einem oder mehreren der vorhergehenden Ansprüche oder insbesondere danach, dadurch gekennzeichnet, dass die Aerosolleitung (15) mit dem Strömungskanal (10) fluchtet oder quer zum Strömungskanal (10) verläuft.Device according to one or more of the preceding claims or in particular according thereto, characterized in that the aerosol line ( 15 ) with the flow channel ( 10 ) is aligned or transversely to the flow channel ( 10 ) runs. Vorrichtung gemäß einem oder mehreren der vorhergehenden Ansprüche oder insbesondere danach, gekennzeichnet durch eine im Bereich der Einspeisestelle (13) in die Aerosolleitung (15) mündende zweite Trägergaszuleitung (30).Device according to one or more of the preceding claims or in particular according thereto, characterized by a in the region of the feed point ( 13 ) into the aerosol line ( 15 ) opening second carrier gas supply ( 30 ). Vorrichtung gemäß einem oder mehreren der vorhergehenden Ansprüche oder insbesondere danach, gekennzeichnet durch ein in der Trägergasleitung (12) angeordnetes Ventil (26), das zur Erzeugung eines gepulsten Trägergasstroms abwechselnd geöffnet oder geschlossen werden kann.Device according to one or more of the preceding claims or in particular according thereto, characterized by a in the carrier gas line ( 12 ) arranged valve ( 26 ) that can be alternately opened or closed to produce a pulsed carrier gas stream. Vorrichtung gemäß einem oder mehreren der vorhergehenden Ansprüche oder insbesondere danach, gekennzeichnet durch einen in der Trägergasleitung (12) angeordneten Massenflussregler (27) zum Dosieren des Trägergasstroms (25).Device according to one or more of the preceding claims or in particular according thereto, characterized by a in the carrier gas line ( 12 ) arranged mass flow controller ( 27 ) for dosing the carrier gas stream ( 25 ). Vorrichtung gemäß einem oder mehreren der vorhergehenden Ansprüche oder insbesondere danach, gekennzeichnet durch ein im Vorratsbehälter (4) angeordnetes Rührwerk (6).Device according to one or more of the preceding claims or in particular according thereto, characterized by a in the reservoir ( 4 ) arranged agitator ( 6 ). Vorrichtung gemäß einem oder mehreren der vorhergehenden Ansprüche oder insbesondere danach, dadurch gekennzeichnet, dass der Verdampfer (2) beheizte Wärmeübertragungsflächen aufweist, die von einem Verdampfungskörper (16) gebildet sind, der insbesondere ein Festkörperschaum ist.Device according to one or more of the preceding claims or in particular according thereto, characterized in that the evaporator ( 2 ) has heat transfer surfaces heated by an evaporation body ( 16 ) are formed, which is in particular a solid state foam. Vorrichtung gemäß einem oder mehreren der vorhergehenden Ansprüche oder insbesondere danach, dadurch gekennzeichnet, dass der Suszeptor (21) Mittel aufweist, um das Substrat (19) zu kühlen.Device according to one or more of the preceding claims or in particular according thereto, characterized in that the susceptor ( 21 ) Has means to the substrate ( 19 ) to cool.
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