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Die Erfindung betrifft ein Teilchenstrahlgerät, insbesondere ein Elektronenstrahlgerät oder ein lonenstrahlgerät, das einen Probenträger aufweist. Die Erfindung betrifft beispielsweise aber auch ein Teilchenstrahlgerät mit zwei Teilchenstrahlsäulen, insbesondere mit einer Elektronenstrahlsäule und mit einer lonenstrahlsäule, wobei das Teilchenstrahlgerät mit einem Probenträger versehen ist.
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Elektronenstrahlgeräte, insbesondere ein Rasterelektronenmikroskop (nachfolgend auch SEM genannt), werden zur Untersuchung von Proben verwendet, um Kenntnisse hinsichtlich der Eigenschaften und Verhalten dieser Proben unter bestimmten Bedingungen zu erhalten.
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Bei einem SEM wird ein Elektronenstrahl (nachfolgend auch Primärelektronenstrahl genannt) mittels eines Strahlerzeugers erzeugt und durch ein Strahlführungssystem, insbesondere eine Objektivlinse, auf eine zu untersuchende Probe fokussiert. Mittels einer Ablenkeinrichtung wird der Primärelektronenstrahl rasterförmig über eine Oberfläche der zu untersuchenden Probe geführt. Die Elektronen des Primärelektronenstrahls treten dabei in Wechselwirkung mit dem Material der zu untersuchenden Probe. Als Folge der Wechselwirkung entstehen insbesondere Wechselwirkungsteilchen. Insbesondere werden Elektronen von der zu untersuchenden Probe emittiert (sogenannte Sekundärelektronen) und Elektronen des Primärelektronenstrahls an der zu untersuchenden Probe zurückgestreut (sogenannte Rückstreuelektronen). Die Sekundärelektronen und Rückstreuelektronen werden detektiert und zur Bilderzeugung verwendet. Man erhält somit eine Abbildung der zu untersuchenden Probe.
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Ferner ist es aus dem Stand der Technik bekannt, Kombinationsgeräte zur Untersuchung von Proben zu verwenden, bei denen sowohl Elektronen als auch Ionen auf eine zu untersuchende Probe geführt werden können. Beispielsweise ist es bekannt, ein SEM zusätzlich mit einer lonenstrahlsäule auszustatten. Mittels eines in der lonenstrahlsäule angeordneten lonenstrahlerzeugers werden Ionen erzeugt, die zur Präparation einer Probe (beispielsweise zum Abtragen einer Schicht der Probe oder zum Aufbringen von Material auf die Probe) oder auch zur Bildgebung verwendet werden. Das SEM dient hierbei insbesondere zur Beobachtung der Präparation, aber auch zur weiteren Untersuchung der präparierten oder unpräparierten Probe.
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Aus dem Stand der Technik ist es ferner bekannt, ein Teilchenstrahlgerät mit einem Probenträger in Form eines Probentisches zu versehen, auf dem eine zu untersuchende und/oder zu bearbeitende Probe angeordnet wird. Der Probenträger ist beweglich ausgebildet, wobei die bewegliche Ausbildung des Probenträgers durch mehrere Bewegungselemente ermöglicht ist. Die Bewegungselemente ermöglichen eine Bewegung des Probentisches in mindestens eine bestimmte Richtung. Insbesondere ist ein Probenträger bekannt, der mehrere translatorische Bewegungselemente (beispielsweise in Form von Linearantrieben) sowie mehrere rotatorische Bewegungselemente aufweist. Beispielsweise ist ein Probenträger bekannt, der entlang einer ersten Translationsachse (beispielsweise eine x-Achse), entlang einer zweiten Translationsachse (beispielsweise eine y-Achse) sowie entlang einer dritten Translationsachse (beispielsweise eine z-Achse) beweglich angeordnet ist. Die erste Translationsachse, die zweite Translationsachse und die dritte Translationsachse sind senkrecht zueinander orientiert. Der bekannte Probenträger kann zusätzlich auch um eine erste Rotationsachse und um eine zweite Rotationsachse gedreht werden, wobei die erste Rotationsachse und die zweite Rotationsachse senkrecht zueinander orientiert sind.
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Hinsichtlich des oben genannten Standes der Technik wird beispielhaft auf die
EP 1 780 764 A1 verwiesen.
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Ferner wird beispielhaft auf die
US 2010/0059672 A1 sowie die
DE 10 2007 026 847 A1 verwiesen, aus denen jeweils ein Teilchenstrahlgerät bekannt ist, das einen Probenträger aufweist, der durch eine Rotation in eine Untersuchungsposition und/oder Bearbeitungsposition gebracht werden kann.
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Der bekannte Probenträger kann einen Probenhalter aufweisen, an welchem die zu untersuchende Probe angeordnet ist. Zusätzlich kann der bekannte Probenträger weitere Probenhalter aufweisen, an denen jeweils eine weitere zu untersuchende Probe angeordnet ist. Der bzw. die Probenhalter weisen jeweils eine ebene Probenaufnahmefläche und jeweils ein Halteelement auf. Das Haltelement eines jeden Probenhalters ist in jeweils einer Öffnung des Probenträgers eingebracht. In dieser wird das Halteelement beispielsweise mittels einer Schraubverbindung lösbar gehalten.
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Der Probenträger mit den zahlreichen Probenhaltern wird verwendet, um zahlreiche zu untersuchende Proben in einer relativ schnellen Zeit untersuchen zu können. Um eine bestimmte zu untersuchende Probe in einer gewünschten Orientierung auszurichten, ist es bekannt, den Probenträger euzentrisch zu bewegen. Allerdings kommt es durchaus vor, dass bei der euzentrischen Bewegung des Probenträgers Teile des Probenträgers mit Einheiten des Teilchenstrahlgeräts zusammenstoßen, die mit dem Probenträger in einer Probenkammer des Teilchenstrahlgeräts angeordnet sind.
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Das Vorstehende tritt insbesondere in einem Kombinationsgerät auf, das mit zwei Teilchenstrahlsäulen versehen ist. Bei einem solchen Kombinationsgerät ist es beispielsweise vorgesehen, eine zu untersuchende und/oder zu bearbeitende Probe im Bereich eines Koinzidenzpunkts eines ersten Teilchenstrahls und eines zweiten Teilchenstrahls anzuordnen, um eine Untersuchung und/oder eine Bearbeitung der zu untersuchenden und/oder zu bearbeitenden Probe durchzuführen. 1A zeigt eine schematische Darstellung eines Teilchenstrahlgeräts aus dem Stand der Technik. Das Teilchenstrahlgerät weist eine erste Teilchenstrahlsäule 1 und eine zweite Teilchenstrahlsäule 2 auf. Ferner ist ein Probenträger 3 vorgesehen, der - wie oben beschrieben - beweglich ausgebildet ist. An dem Probenträger 3 sind ein erster Probenhalter 4 und ein zweiter Probenhalter 5 angeordnet. An dem ersten Probenhalter 4 ist eine erste Probe 6A angeordnet, welche untersucht und/oder bearbeitet werden soll. Ein von der ersten Teilchenstrahlsäule 1 zur Verfügung gestellter erster Teilchenstrahl 7 und ein von der zweiten Teilchenstrahlsäule 2 zur Verfügung gestellter zweiter Teilchenstrahl 8 treffen sich in einem Koinzidenzpunkt 9 auf der ersten Probe 6A. Um eine Untersuchung und/oder eine Bearbeitung im Koinzidenzpunkt 9 zu ermöglichen, ist es vorgesehen, den ersten Probenhalter 4 möglichst nahe an einem Rand des Probenträgers 3 anzuordnen, wobei der Rand des Probenträgers 3 am nächsten zu der ersten Teilchenstrahlsäule 1 und der zweiten Teilchenstrahlsäule 2 angeordnet ist. Ferner ist der erste Probenhalter 4 manuell (also mit der Hand) derart auf dem Probenträger 3 ausgerichtet worden, dass die erste Probe 6A eine für die Untersuchung und/oder Bearbeitung der ersten Probe 6A mittels des ersten Teilchenstrahls 7 oder des zweiten Teilchenstrahls 8 ausreichende Orientierung aufweist. Die Ausrichtung per Hand ist allerdings aufwendig. Zudem ist eine derartige Ausrichtung oft fehlerhaft. Demnach kann die Durchführung einer Untersuchung an mehreren Proben, die durch Probenhalter an dem Probenträger angeordnet sind, durchaus zeitaufwendig und fehlerhaft sein.
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Ferner kann es durchaus vorkommen, dass eine weitere zu untersuchende und/oder zu bearbeitende Probe auf dem Probenträger 3 angeordnet ist. Dies ist in 1B dargestellt. Um eine an dem zweiten Probenhalter 5 angeordnete zweite Probe 6B zu untersuchen und/oder zu bearbeiten, wird der Probenträger 3 derart bewegt, dass die zweite Probe 6B im Bereich des Koinzidenzpunkts 9 angeordnet ist. Dabei kann es nun aber vorkommen, dass der erste Probenhalter 4 beispielsweise an die erste Teilchenstrahlsäule 1 anstößt.
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Auch bei einer Rotation des Probenträgers 3 um eine Rotationsachse ist es möglich, dass zumindest einer der vorgenannten Probenhalter mit Teilen des Teilchenstrahlgeräts zusammenstößt. Dies ist in 1C dargestellt. Bei einer Rotation des Probenträgers 3 um eine zur optischen Achse der zweiten Teilchenstrahlsäule 2 parallelen Achse kann der zweite Probenhalter 5 an der ersten Teilchenstrahlsäule 1 anstoßen.
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Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, einen Probenträger mit Probenhaltern bzw. ein Teilchenstrahlgerät mit einem Probenträger anzugeben, bei dem vermieden wird, dass bei Einstellung einer Untersuchungsposition und/oder Bearbeitungsposition einer Probe der Probenträger oder eine Einheit des Probenträgers an einem Bauteil des Teilchenstrahlgeräts anstößt, und bei dem eine Untersuchung von zahlreichen Proben mit geringem Zeitaufwand möglich ist.
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Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß mittels eines Teilchenstrahlgeräts mit den Merkmalen des Anspruchs 1 gelöst. Eine erfindungsgemäße Probenaufnahmeeinrichtung ist durch die Merkmale des Anspruchs 15 gegeben. Weitere Merkmale der Erfindung ergeben sich aus der nachfolgenden Beschreibung, den nachfolgenden Ansprüchen und/oder den beigefügten Figuren.
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Das erfindungsgemäße Teilchenstrahlgerät weist eine Probenkammer auf. Ferner ist das erfindungsgemäße Teilchenstrahlgerät mit einer ersten Teilchenstrahlsäule versehen, die eine erste optische Achse aufweist. Die erste Teilchenstrahlsäule weist einen ersten Strahlerzeuger zur Erzeugung eines ersten Teilchenstrahls und eine erste Objektivlinse zur Fokussierung des ersten Teilchenstrahls auf. Darüber hinaus ist an dem erfindungsgemäßen Teilchenstrahlgerät mindestens ein Detektor zur Detektion von Wechselwirkungsteilchen vorgesehen, die bei einem Auftreffen des ersten Teilchenstrahls auf einer ersten, in der Probenkammer anzuordnenden Probe aufgrund von Wechselwirkungen des ersten Teilchenstrahls mit der ersten Probe entstehen. Insbesondere ist es nun vorgesehen, mittels einer Ablenkeinrichtung den ersten Teilchenstrahl rasterförmig über die Oberfläche der ersten Probe zu führen. Die Oberfläche der ersten Probe sollte dazu in einem Bereich liegen, in dem der erste Teilchenstrahl mittels der Ablenkeinrichtung geführt werden kann. Dieser Bereich wird auch Rasterbereich genannt. Ein Führen des ersten Teilchenstrahls außerhalb des Rasterbereichs ist hier nicht vorgesehen. Die Teilchen des ersten Teilchenstrahls treten bei der rasterförmigen Zuführung in Wechselwirkung mit dem Material der ersten Probe. Als Folge der Wechselwirkung entstehen die Wechselwirkungsteilchen. Beispielsweise werden Elektronen von der ersten Probe emittiert (sogenannte Sekundärelektronen) und/oder Elektronen an der ersten Probe zurückgestreut (sogenannte Rückstreuelektronen). Die Sekundärelektronen und Rückstreuelektronen werden dann mit dem Detektor detektiert und zur Bilderzeugung verwendet. Man erhält somit eine Abbildung der ersten Probe.
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In der Probenkammer ist ein erster Probenhalter angeordnet, der zur Aufnahme einer Probe, beispielsweise der ersten Probe, ausgebildet ist. Der erste Probenhalter ist wiederum an einem Probenträger angeordnet, der beispielsweise als ein Probentisch ausgebildet ist. Bei einer Ausführungsform ist es vorgesehen, dass der erste Probenhalter lösbar an dem Probenträger angeordnet ist. Der Probenträger ist entlang mindestens einer ersten Achse (beispielsweise eine x-Achse) und entlang mindestens einer zweiten Achse (beispielsweise eine y-Achse) beweglich angeordnet. Die erste Achse und die zweite Achse sind in einem ersten Winkel zueinander angeordnet, der unterschiedlich zu 0° und 180° ist. Demnach ist es vorgesehen, dass die erste Achse und die zweite Achse nicht parallel oder koaxial zueinander angeordnet sind. Beispielsweise liegt der erste Winkel in einem Bereich von ca. 45° bis ca. 135° (wobei die Bereichsgrenzen des vorgenannten Bereichs mit umfasst sind). Beispielsweise ist es vorgesehen, dass die erste Achse und die zweite Achse senkrecht zueinander orientiert sind. Darüber hinaus ist der Probenträger um mindestens eine erste Rotationsachse und um mindestens eine zweite Rotationsachse drehbar beweglich angeordnet, wobei die erste Rotationsachse und die zweite Rotationsachse in einem zweiten Winkel zueinander orientiert sind, der unterschiedlich zu 0° und 180° ist. Demnach ist es vorgesehen, dass die erste Rotationsachse und die zweite Rotationsachse nicht parallel oder koaxial zueinander angeordnet sind. Beispielsweise liegt der zweite Winkel in einem Bereich von ca. 45° bis ca. 135° (wobei die Bereichsgrenzen des vorgenannten Bereichs mit umfasst sind). Beispielsweise ist es vorgesehen, dass die erste Rotationsachse und die zweite Rotationsachse senkrecht zueinander orientiert sind.
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Der erste Probenhalter ist um eine dritte Rotationsachse relativ zum Probenträger drehbar angeordnet. Mit anderen Worten ausgedrückt ist der erste Probenhalter relativ zum Probenträger drehbar, und zwar um die dritte Rotationsachse. Die dritte Rotationsachse und die zweite Rotationsachse sind dabei zumindest teilweise lateral versetzt zueinander, beispielsweise vollständig lateral versetzt zueinander angeordnet. Mit anderen Worten ausgedrückt sind die dritte Rotationsachse und die zweite Rotationsachse nicht identisch, sondern seitlich zueinander angeordnet. Ferner ist es beispielsweise vorgesehen, dass die dritte Rotationsachse parallel zu einer der folgenden Achsen, nämlich der ersten Achse, der zweiten Achse, der ersten Rotationsachse und der zweiten Rotationsachse orientiert ist. Alternativ hierzu ist es vorgesehen, dass die dritte Rotationsachse mit mindestens einer der folgenden Achsen, nämlich der ersten Achse, der zweiten Achse, der ersten Rotationsachse und der zweiten Rotationsachse, einen Winkel einschließt, der nicht 0° und nicht 180° beträgt.
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Ferner ist an dem erfindungsgemäßen Teilchenstrahlgerät eine Steuereinrichtung vorgesehen, wobei der erste Probenhalter mittels der Steuereinrichtung um die dritte Rotationsachse in eine Untersuchungsposition und/oder Bearbeitungsposition drehbar ist. In der Untersuchungsposition und/oder Bearbeitungsposition kann die erste Probe insbesondere mittels des ersten Teilchenstrahls untersucht und/oder bearbeitet werden.
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Die Erfindung weist den Vorteil auf, dass durch die Rotation des ersten Probenhalters relativ zum Probenträger um die dritte Rotationsachse ein weiterer Freiheitsgrad geschaffen wird, so dass eine auf dem ersten Probenhalter angeordnete erste Probe für eine Untersuchung und/oder Bearbeitung ausreichend gut in Bezug auf den ersten Teilchenstrahl positionierbar ist. Im Grunde ermöglicht die Erfindung eine Erhöhung der Flexibilität bei der Positionierung der ersten Probe in Bezug auf den ersten Teilchenstrahl. Insbesondere ist es gewährleistet, dass durch eine Rotation des Probenträgers um die zweite Rotationsachse die erste Probe grundsätzlich relativ zur ersten optischen Achse ausgerichtet werden kann. Im Anschluss daran ist es möglich, eine Feineinstellung der Position der ersten Probe in Bezug auf die erste optische Achse und/oder eine Ausrichtung der ersten Probe zu dem Rasterbereich der ersten Teilchenstrahlsäule durch Rotation des ersten Probenhalters um die dritte Rotationsachse vorzunehmen.
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Die Erfindung ist insbesondere auch dann von Vorteil, wenn mittels des Teilchenstrahlgeräts ein Verfahren durchgeführt wird, bei dem eine unterschiedliche Ausrichtung der ersten Probe erforderlich ist. Dies ist beispielsweise bei der Herstellung von mehreren TEM-Lamellen vorgesehen, die aus einer Probe herauspräpariert werden und die jeweils eine unterschiedliche Orientierung aufweisen sollen. Es ist hier nicht notwendig, für die Herstellung derartiger TEM-Lamellen den ersten Probenhalter mit der ersten Probe mehrfach vom Probenträger zu lösen und den ersten Probenhalter erneut an dem Probenträger zu befestigen, wobei hierbei eine erneute Ausrichtung der ersten Probe erfolgt. Für das Vorgenannte ist es vorgesehen, zunächst die Probenkammer zu belüften, den ersten Probenhalter zu lösen und neu auszurichten sowie die Probenkammer erneut abzupumpen, um ein Vakuum herzustellen. Diese zeitaufwändige Prozedur wird bei der Erfindung vermieden.
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Bei einer Ausführungsform des erfindungsgemäßen Teilchenstrahlgeräts ist es alternativ oder zusätzlich vorgesehen, dass die dritte Rotationsachse und die zweite Rotationsachse lateral getrennt zueinander angeordnet sind. Mit anderen Worten ausgedrückt ist es vorgesehen, dass diese seitlich derart zueinander angeordnet bzw. orientiert sind, dass die dritte Rotationsachse und die zweite Rotationsachse sich nicht schneiden. Beispielsweise ist es - wie oben bereits erwähnt - vorgesehen, dass die dritte Rotationsachse und die zweite Rotationsachse parallel zueinander ausgerichtet sind. Alternativ hierzu ist es vorgesehen, dass die dritte Rotationsachse und die zweite Rotationsachse lateral zueinander angeordnet sind, aber sich in einem Punkt schneiden.
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Bei einer weiteren Ausführungsform des erfindungsgemäßen Teilchenstrahlgeräts ist es alternativ oder zusätzlich vorgesehen, dass der Probenträger entlang mindestens einer dritten Achse (beispielsweise eine z-Achse) beweglich angeordnet ist. Insbesondere ist es vorgesehen, dass die erste Achse und die dritte Achse in einem dritten Winkel zueinander angeordnet sind, der unterschiedlich zu 0° und 180° ist. Zusätzlich oder alternativ hierzu ist es vorgesehen, dass die zweite Achse und die dritte Achse in einem vierten Winkel zueinander angeordnet sind, der unterschiedlich zu 0° und 180° angeordnet ist. Demnach sieht die Erfindung es vor, dass die erste Achse, die zweite Achse und die dritte Achse nicht koaxial oder parallel zueinander angeordnet sind. Beispielsweise liegt mindestens einer der folgenden Winkel, nämlich der erste Winkel, der dritte Winkel und der vierte Winkel, im Bereich zwischen ca. 45° und 135° (wobei die Bereichgrenzen von diesem Bereich mit umfasst sind). Beispielsweise ist es vorgesehen, dass die erste Achse, die zweite Achse und die dritte Achse senkrecht zueinander angeordnet sind. Ferner ist es beispielsweise vorgesehen, dass die dritte Rotationsachse parallel zu der dritten Achse orientiert ist. Alternativ hierzu ist es vorgesehen, dass die dritte Rotationsachse mit der dritten Achse einen Winkel einschließt, der nicht 0° und nicht 180° beträgt.
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Bei einer Ausführungsform des erfindungsgemäßen Teilchenstrahlgeräts ist es alternativ oder zusätzlich vorgesehen, dass der erste Probenhalter an einer ersten Bewegungseinrichtung angeordnet ist. Diese erste Bewegungseinrichtung wird verwendet, um den ersten Probenhalter um die dritte Rotationsachse zu drehen. Die erste Bewegungseinrichtung ist beispielsweise als mechanische und/oder elektronische Einrichtung ausgebildet. So sieht eine Ausführungsform beispielsweise vor, dass die erste Bewegungseinrichtung einen Zahnradantrieb umfasst, mit dem der erste Probenhalter angetrieben wird, so dass dieser sich um die dritte Rotationsachse dreht.
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Bei einer weiteren Ausführungsform ist es alternativ oder zusätzlich vorgesehen, dass die Steuereinrichtung mit der ersten Bewegungseinrichtung zur Bewegung des ersten Probenhalters verbunden ist. Die Verbindung zwischen der Steuereinrichtung und der ersten Bewegungseinrichtung kann dabei beispielsweise mechanisch, elektronisch und/oder optisch ausgebildet sein. Beispielsweise sind als eine optische Verbindung ein Leuchtmittel und ein Lichtsensor vorgesehen. Beispielsweise ist es bei einer Ausführungsform vorgesehen, dass die Steuereinrichtung mit einem Leuchtmittel versehen ist, mit dem mindestens ein Lichtsignal zur Steuerung der ersten Bewegungseinrichtung an einen Lichtsensor gesendet wird, welcher an der ersten Bewegungseinrichtung angeordnet ist.
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Bei einer weiteren Ausführungsform des erfindungsgemäßen Teilchenstrahlgeräts ist es zusätzlich oder alternativ vorgesehen, dass der erste Probenhalter derart beweglich angeordnet ist, dass eine euzentrische Bewegung des ersten Probenhalters gegeben ist. Vorstehend und auch nachstehend wird unter einer euzentrischen Bewegung eine Bewegung verstanden, bei welcher der Mittelpunkt eines erzeugten Bildes bei der Bewegung ein Fixpunkt ist.
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Bei einer weiteren Ausführungsform des erfindungsgemäßen Teilchenstrahlgeräts ist bei dem Teilchenstrahlgerät zusätzlich oder alternativ vorgesehen, dass der erste Probenhalter derart beweglich angeordnet ist, dass bei einer Bewegung des ersten Probenhalters eine erste vorgegebene Stelle auf einer ersten Probe relativ zu der ersten optischen Achse der ersten Teilchenstrahlsäule ortsfest bleibt.
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Bei einer weiteren Ausführungsform des erfindungsgemäßen Teilchenstrahlgeräts ist es zusätzlich oder alternativ vorgesehen, dass das Teilchenstrahlgerät mindestens einen zweiten Probenhalter aufweist, der an dem Probenträger angeordnet ist. Beispielsweise ist der zweite Probenhalter lösbar an dem Probenträger angeordnet. Der zweite Probenhalter ist zur Aufnahme einer zweiten Probe ausgebildet. Die Erfindung ist somit nicht darauf eingeschränkt, dass nur ein einzelner Probenhalter an dem Probenträger angeordnet ist. Vielmehr sieht die Erfindung auch vor, dass mindestens zwei oder mehr Probenhalter an dem Probenträger angeordnet sind. Der zuvor genannte zweite Probenhalter ist um eine vierte Rotationsachse relativ zum Probenträger drehbar angeordnet. Mit anderen Worten ausgedrückt ist der zweite Probenhalter relativ zum Probenträger drehbar, und zwar um die vierte Rotationsachse. Die vierte Rotationsachse, die dritte Rotationsachse und die zweite Rotationsachse sind dabei zumindest teilweise lateral versetzt zueinander, beispielsweise vollständig lateral versetzt zueinander angeordnet. Mit anderen Worten ausgedrückt sind sie nicht identisch. Vielmehr sind sie seitlich zueinander angeordnet. Ferner ist es beispielsweise vorgesehen, dass die vierte Rotationsachse parallel zu einer der folgenden Achsen, nämlich der ersten Achse, der zweiten Achse, der dritten Achse, der ersten Rotationsachse, der zweiten Rotationsachse und der dritten Rotationsachse orientiert ist. Alternativ hierzu ist es vorgesehen, dass die vierte Rotationsachse mit mindestens einer der folgenden Achsen, nämlich der ersten Achse, der zweiten Achse, der dritten Achse, der ersten Rotationsachse, der zweiten Rotationsachse und der dritten Rotationsachse, einen Winkel einschließt, der nicht 0° und nicht 180° beträgt.
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Bei einer weiteren Ausführungsform des erfindungsgemäßen Teilchenstrahlgeräts ist es alternativ oder zusätzlich vorgesehen, dass die vierte Rotationsachse, die dritte Rotationsachse und die zweite Rotationsachse lateral getrennt zueinander angeordnet sind. Mit anderen Worten ausgedrückt ist es vorgesehen, dass die vierte Rotationsachse, die dritte Rotationsachse und die zweite Rotationsachse seitlich derart zueinander angeordnet bzw. orientiert sind, dass die vierte Rotationsachse, die dritte Rotationsachse und die zweite Rotationsachse sich nicht schneiden. Beispielsweise ist es vorgesehen, dass die vierte Rotationsachse, die dritte Rotationsachse und die zweite Rotationsachse parallel zueinander ausgerichtet sind. Alternativ hierzu ist es vorgesehen, dass die vierte Rotationsachse, die dritte Rotationsachse und die zweite Rotationsachse lateral zueinander angeordnet sind, aber sich in einem Punkt schneiden.
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Die Verwendung von mehreren Probenhaltern, die an dem Probenträger angeordnet sind, ist bei der Erfindung von Vorteil. Die Erfindung ermöglicht dann zum einen einen Probenwechsel, ohne dass der Probenträger oder einer der Probenhalter aus der Probenkammer ausgeschleust werden muss. Zum anderen wird die Gefahr einer Kollision eines der Probenhalter mit einem Bauteil des Teilchenstrahlgeräts vermieden. Sind die mehreren Probenhalter beispielsweise kreisförmig auf dem Probenträger angeordnet, so kann beispielsweise durch eine erste Rotation des Probenträgers um die zweite Rotationsachse ein Probenwechsel erfolgen. Mit anderen Worten ausgedrückt, wird der erste Probenhalter oder der zweite Probenhalter mit einer zu untersuchenden Probe in eine bestimmte Relativposition zur ersten optischen Achse gebracht. Im Anschluss daran wird durch eine Rotation des ersten Probenhalters um die dritte Rotationsachse bzw. des zweiten Probenhalters um die vierte Rotationsachse eine recht schnelle Ausrichtung der ersten Probe bzw. der zweiten Probe zum Rasterbereich der ersten Teilchenstrahlsäule bewirkt. Gleichzeitig wird die Gefahr des Anstoßens des Probenträgers oder des ersten Probenhalters bzw. zweiten Probenhalters mit Bauteilen des Teilchenstrahlgeräts verringert. Ferner ist es bei der Erfindung nicht zwingend notwendig, den ersten Probenhalter bzw. zweiten Probenhalter per Hand auszurichten, um eine ausreichende Orientierung der ersten Probe bzw. zweiten Probe zum Rasterbereich der ersten Teilchenstrahlsäule zu erhalten. Die ausreichende Orientierung kann durch Einstellen der Position der ersten Probe oder der zweiten Probe in Bezug auf den ersten Teilchenstrahl mittels der Rotation des ersten Probenhalters um die dritte Rotationsachse bzw. der Rotation des zweiten Probenhalters um die vierte Rotationsachse bereitgestellt werden.
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Darüber hinaus ist es zusätzlich oder alternativ vorgesehen, den zweiten Probenhalter an einer zweiten Bewegungseinrichtung anzuordnen. Die zweite Bewegungseinrichtung wird verwendet, um den zweiten Probenhalter um die vierte Rotationsachse zu drehen. Die zweite Bewegungseinrichtung ist beispielsweise als mechanische und/oder elektronische Einrichtung ausgebildet. Auch ist es bei einer weiteren Ausführungsform beispielsweise vorgesehen, dass die zweite Bewegungseinrichtung einen Zahnradantrieb umfasst, mit dem der zweite Probenhalter angetrieben wird, so dass dieser sich um die vierte Rotationsachse dreht.
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Bei einer wiederum weiteren Ausführungsform ist es alternativ oder zusätzlich vorgesehen, dass die Steuereinrichtung mit der zweiten Bewegungseinrichtung zur Bewegung des zweiten Probenhalters verbunden ist. Auch die Verbindung zwischen der Steuereinrichtung und der zweiten Bewegungseinrichtung kann dabei beispielsweise mechanisch, elektronisch und/oder optisch ausgebildet sein. Hinsichtlich einer optischen Verbindung kann es auch hier vorgesehen sein, dass die Steuereinrichtung mit einem Leuchtmittel versehen ist, mit dem mindestens ein Lichtsignal zur Steuerung der zweiten Bewegungseinrichtung an einen Lichtsensor gesendet wird, welcher an der zweiten Bewegungseinrichtung angeordnet ist.
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Bei einer weiteren Ausführungsform des erfindungsgemäßen Teilchenstrahlgeräts ist es zusätzlich oder alternativ vorgesehen, dass die Steuereinrichtung sowohl mit der ersten Bewegungseinrichtung als auch mit der zweiten Bewegungseinrichtung verbunden ist. Bei einer wiederum weiteren Ausführungsform ist es dabei zusätzlich oder alternativ vorgesehen, dass mindestens eine der Verbindungen zwischen der Steuereinrichtung und einer der beiden Bewegungseinrichtungen beispielsweise mechanisch, elektronisch und/oder optisch ausgebildet ist. Die vorstehenden Ausführungsformen ermöglichen, dass mit der Steuereinrichtung zum einen die Rotation des ersten Probenhalters um die dritte Rotationsachse steuerbar ist. Zum anderen ist mit der Steuereinrichtung die Rotation des zweiten Probenhalters um die vierte Rotationsachse steuerbar. Es wird explizit darauf hingewiesen, dass die Erfindung hierauf nicht eingeschränkt ist und die Anzahl der Steuereinrichtungen geeignet wählbar ist. So ist bei einer alternativen Ausführungsform vorgesehen, dass die Rotation des ersten Probenhalters von einer ersten Steuereinrichtung gesteuert wird und dass die Rotation des zweiten Probenhalters von einer zweiten Steuereinrichtung gesteuert wird.
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Bei einer wiederum weiteren Ausführungsform ist es zusätzlich oder alternativ vorgesehen, dass die erste Bewegungseinrichtung und die zweite Bewegungseinrichtung durch eine einzelne Bewegungseinheit gebildet sind. Beispielsweise ist diese einzelne Bewegungseinheit als Antriebseinheit ausgebildet, die über mechanische Bauteile zum einen mit dem ersten Probenhalter und zum anderen mit dem zweiten Probenhalter verbunden ist, so dass mittels der Antriebseinheit sowohl der erste Probenhalter als auch der zweite Probenhalter bewegt werden können.
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Bei einer Ausführungsform des erfindungsgemäßen Teilchenstrahlgeräts ist alternativ oder zusätzlich vorgesehen, dass die erste Teilchenstrahlsäule als Elektronenstrahlsäule oder als lonenstrahlsäule ausgebildet ist. Ist die erste Teilchenstrahlsäule als Elektronenstrahlsäule ausgebildet, so erzeugt der erste Strahlerzeuger einen Elektronenstrahl als ersten Teilchenstrahl. Ist jedoch die erste Teilchenstrahlsäule als lonenstrahlsäule ausgebildet, so erzeugt der erste Strahlerzeuger einen lonenstrahl als ersten Teilchenstrahl. Die erste Objektivlinse fokussiert den ersten Teilchenstrahl auf die erste Probe oder die zweite Probe. Bei einer Wechselwirkung des ersten Teilchenstrahls mit der ersten Probe oder der zweiten Probe entstehen Wechselwirkungsteilchen, die durch den Detektor detektiert werden können. Bei der Wechselwirkung des ersten Teilchenstrahls in Form eines Elektronenstrahls mit der ersten Probe oder der zweiten Probe entstehen Wechselwirkungsteilchen, insbesondere in Form von Sekundärelektronen und Rückstreuelektronen, die zur Bilderzeugung verwendet werden können.
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Bei einer weiteren Ausführungsform des erfindungsgemäßen Teilchenstrahlgeräts ist es zusätzlich oder alternativ vorgesehen, dass das Teilchenstrahlgerät eine zweite Teilchenstrahlsäule mit einer zweiten optischen Achse aufweist. Die zweite Teilchenstrahlsäule weist einen zweiten Strahlerzeuger zur Erzeugung eines zweiten Teilchenstrahls und eine zweite Objektivlinse auf, die beispielsweise zur Fokussierung des zweiten Teilchenstrahls beispielsweise auf die erste Probe oder die zweite Probe dient. Insbesondere ist es vorgesehen, dass die erste Teilchenstrahlsäule als Elektronenstrahlsäule ausgebildet ist und dass die zweite Teilchenstrahlsäule als lonenstrahlsäule ausgebildet ist. Bei einer weiteren Ausführungsform des erfindungsgemäßen Teilchenstrahlgeräts ist es alternativ vorgesehen, dass die erste Teilchenstrahlsäule als lonenstrahlsäule ausgebildet ist und dass die zweite Teilchenstrahlsäule als Elektronenstrahlsäule ausgebildet ist. Bei einer wiederum weiteren Ausführungsform des erfindungsgemäßen Teilchenstrahlgeräts ist es vorgesehen, dass sowohl die erste Teilchenstrahlsäule als auch die zweite Teilchenstrahlsäule jeweils als lonenstrahlsäule ausgebildet sind. Bei einer wiederum weiteren alternativen Ausführungsform ist es vorgesehen, dass sowohl die erste Teilchenstrahlsäule als auch die zweite Teilchenstrahlsäule jeweils als Elektronenstrahlsäule ausgebildet sind.
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Bei einer weiteren Ausführungsform des erfindungsgemäßen Teilchenstrahlgeräts ist es alternativ oder zusätzlich vorgesehen, dass der erste Probenhalter derart beweglich angeordnet ist, dass bei einer Bewegung des ersten Probenhalters eine zweite vorgegebene Stelle auf einer Probe, beispielsweise der ersten Probe, relativ zu der zweiten optischen Achse der zweiten Teilchenstrahlsäule ortsfest bleibt.
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Dabei ist es beispielsweise vorgesehen, dass die weiter oben bereits genannte erste vorgegebene Stelle auf der ersten Probe und die zweite vorgegebene Stelle auf der ersten Probe identisch sind.
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Bei einer wiederum weiteren Ausführungsform des erfindungsgemäßen Teilchenstrahlgeräts ist es zusätzlich oder alternativ vorgesehen, dass der zweite Probenhalter derart beweglich angeordnet ist, dass bei einer Bewegung des zweiten Probenhalters eine dritte vorgegebene Stelle auf einer Probe, beispielsweise der zweiten Probe, relativ zu der ersten optischen Achse der ersten Teilchenstrahlsäule ortsfest bleibt.
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Bei einer weiteren Ausführungsform des erfindungsgemäßen Teilchenstrahlgeräts ist es zusätzlich oder alternativ vorgesehen, dass der zweite Probenhalter derart beweglich angeordnet ist, dass bei einer Bewegung des zweiten Probenhalters eine vierte vorgegebene Stelle auf einer Probe, beispielsweise der zweiten Probe, relativ zu der zweiten optischen Achse der zweiten Teilchenstrahlsäule ortsfest bleibt.
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Dabei ist es beispielsweise vorgesehen, dass die weiter oben bereits genannte dritte vorgegebene Stelle auf der zweiten Probe und die vierte vorgegebene Stelle auf der zweiten Probe identisch sind.
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Die Erfindung betrifft auch eine Probenaufnahmeeinrichtung, insbesondere für ein Teilchenstrahlgerät, das beispielsweise eines der oben genannten Merkmale oder eine Kombination von mindestens zwei der oben genannten Merkmale aufweist. Die Probenaufnahmeeinrichtung kann dabei ebenfalls eines der oben genannten Merkmale oder eine Kombination von mindestens zwei der oben genannten Merkmale aufweisen.
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Die erfindungsgemäße Probenaufnahmeeinrichtung weist mindestens einen ersten Probenhalter zur Aufnahme einer ersten Probe sowie mindestens einen Probenträger auf, an dem der erste Probenhalter angeordnet ist. Der Probenträger ist entlang mindestens einer ersten Achse (beispielsweise eine x-Achse) und entlang mindestens einer zweiten Achse (beispielsweise eine y-Achse) beweglich angeordnet. Die erste Achse und die zweite Achse sind in einem ersten Winkel zueinander angeordnet, der unterschiedlich zu 0° und 180° ist. Demnach ist es vorgesehen, dass die erste Achse und die zweite Achse nicht parallel oder koaxial zueinander angeordnet sind. Beispielsweise liegt der erste Winkel in einem Bereich von ca. 45° bis ca. 135° (wobei die Bereichsgrenzen des vorgenannten Bereichs mit umfasst sind). Beispielsweise ist es vorgesehen, dass die erste Achse und die zweite Achse senkrecht zueinander orientiert sind. Ferner ist der Probenträger um mindestens eine erste Rotationsachse und um mindestens eine zweite Rotationsachse drehbar angeordnet, wobei die erste Rotationsachse und die zweite Rotationsachse in einem zweiten Winkel zueinander angeordnet sind, der unterschiedlich zu 0° und 180° ist. Demnach ist es vorgesehen, dass die erste Rotationsachse und die zweite Rotationsachse nicht parallel oder koaxial zueinander angeordnet sind. Beispielsweise liegt der zweite Winkel in einem Bereich von ca. 45° bis ca. 135° (wobei die Bereichsgrenzen des vorgenannten Bereichs mit umfasst sind). Beispielsweise ist es vorgesehen, dass die erste Rotationsachse und die zweite Rotationsachse senkrecht zueinander orientiert sind. Des Weiteren ist der erste Probenhalter um eine dritte Rotationsachse relativ zum Probenträger drehbar angeordnet. Demnach ist der erste Probenhalter relativ zum Probenträger drehbar, und zwar um die dritte Rotationsachse. Die dritte Rotationsachse und die zweite Rotationsachse sind zumindest teilweise lateral versetzt zueinander angeordnet.
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Ferner ist an der erfindungsgemäßen Probenaufnahmeeinrichtung eine Steuereinrichtung vorgesehen, wobei der erste Probenhalter mittels der Steuereinrichtung um die dritte Rotationsachse in eine Untersuchungsposition und/oder Bearbeitungsposition drehbar ist. In der Untersuchungsposition und/oder Bearbeitungsposition kann die erste Probe insbesondere mittels eines Teilchenstrahls untersucht und/oder bearbeitet werden.
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Hinsichtlich der Vorteile der erfindungsgemäßen Probenaufnahmeeinrichtung wird auf die bereits weiter oben genannten Vorteile des erfindungsgemäßen Teilchenstrahlgeräts verwiesen.
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Bei einer Ausführungsform der erfindungsgemäßen Probenaufnahmeeinrichtung ist es alternativ oder zusätzlich vorgesehen, dass die dritte Rotationsachse und die zweite Rotationsachse lateral getrennt zueinander angeordnet sind. Mit anderen Worten ausgedrückt ist es vorgesehen, dass diese seitlich derart zueinander angeordnet bzw. orientiert sind, dass die dritte Rotationsachse und die zweite Rotationsachse sich nicht schneiden. Beispielsweise ist es vorgesehen, dass die dritte Rotationsachse und die zweite Rotationsachse parallel zueinander ausgerichtet sind. Alternativ hierzu ist es vorgesehen, dass die dritte Rotationsachse und die zweite Rotationsachse lateral zueinander angeordnet sind, aber sich in einem Punkt schneiden. Ferner ist es beispielsweise vorgesehen, dass die dritte Rotationsachse und die zweite Rotationsachse einen Winkel einschließen, der nicht 0° und nicht 180° beträgt.
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Bei einer weiteren Ausführungsform der erfindungsgemäßen Probenaufnahmeeinrichtung ist es alternativ oder zusätzlich vorgesehen, dass der Probenträger entlang mindestens einer dritten Achse (beispielsweise eine z-Achse) beweglich angeordnet ist. Insbesondere ist es vorgesehen, dass die erste Achse und die dritte Achse in einem dritten Winkel zueinander angeordnet sind, der unterschiedlich zu 0° und 180° ist. Zusätzlich oder alternativ hierzu ist es vorgesehen, dass die zweite Achse und die dritte Achse in einem vierten Winkel zueinander angeordnet sind, der unterschiedlich zu 0° und 180° angeordnet ist. Demnach sieht die Erfindung es vor, dass die erste Achse, die zweite Achse und die dritte Achse nicht koaxial oder parallel zueinander angeordnet sind. Beispielsweise liegt mindestens einer der folgenden Winkel, nämlich der erste Winkel, der dritte Winkel und der vierte Winkel, im Bereich zwischen ca. 45° und ca. 135° (wobei die Bereichgrenzen von diesem Bereich mit umfasst sind). Beispielsweise ist es vorgesehen, dass die erste Achse, die zweite Achse und die dritte Achse senkrecht zueinander angeordnet sind.
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Bei einer weiteren Ausführungsform ist es vorgesehen, dass die dritte Rotationsachse parallel zu einer der folgenden Achsen, nämlich der ersten Achse, der zweiten Achse, der dritten Achse und der ersten Rotationsachse orientiert ist. Alternativ hierzu ist es vorgesehen, dass die dritte Rotationsachse mit mindestens einer der folgenden Achsen, nämlich der ersten Achse, der zweiten Achse, der dritten Achse und der ersten Rotationsachse einen Winkel einschließt, der nicht 0° und nicht 180° beträgt.
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Bei einer Ausführungsform der erfindungsgemäßen Probenaufnahmeeinrichtung ist es zusätzlich oder alternativ vorgesehen, dass der erste Probenhalter an einer ersten Bewegungseinrichtung angeordnet ist. Die erste Bewegungseinrichtung wird verwendet, um den ersten Probenhalter um die dritte Rotationsachse zu drehen. Die erste Bewegungseinrichtung ist beispielsweise als mechanische und/oder elektronische Einrichtung ausgebildet. Auch ist es bei einer weiteren Ausführungsform beispielsweise vorgesehen, dass die erste Bewegungseinrichtung einen Zahnradantrieb umfasst, mit dem der erste Probenhalter angetrieben wird, so dass dieser sich um die dritte Rotationsachse dreht.
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Bei einer weiteren Ausführungsform der erfindungsgemäßen Probenaufnahmeeinrichtung ist mindestens ein zweiter Probenhalter an dem Probenträger angeordnet. An dem zweiten Probenhalter kann eine zweite Probe angeordnet werden. Somit ist auch die erfindungsgemäße Probenaufnahmeeinrichtung nicht darauf eingeschränkt, dass nur ein einzelner Probenhalter an dem Probenträger angeordnet ist. Vielmehr ist es auch vorgesehen, mindestens zwei oder mehr Probenhalter an dem Probenträger anzuordnen. Der zuvor genannte zweite Probenhalter ist um eine vierte Rotationsachse relativ zum Probenträger drehbar angeordnet. Mit anderen Worten ausgedrückt ist der zweite Probenhalter relativ zum Probenträger drehbar, und zwar um die vierte Rotationsachse. Ferner ist es vorgesehen, dass die vierte Rotationsachse, die dritte Rotationsachse und die zweite Rotationsachse zumindest teilweise lateral versetzt zueinander angeordnet sind. Bei einer weiteren Ausführungsform ist es vorgesehen, dass die vierte Rotationsachse, die dritte Rotationsachse und die zweite Rotationsachse lateral getrennt zueinander angeordnet sind. Mit anderen Worten ausgedrückt ist es vorgesehen, dass die vierte Rotationsachse, die dritte Rotationsachse und die zweite Rotationsachse seitlich derart zueinander angeordnet bzw. orientiert sind, dass die vierte Rotationsachse, die dritte Rotationsachse und die zweite Rotationsachse sich nicht schneiden. Beispielsweise ist es vorgesehen, dass die vierte Rotationsachse, die dritte Rotationsachse und die zweite Rotationsachse parallel zueinander ausgerichtet sind. Alternativ hierzu ist es vorgesehen, dass die vierte Rotationsachse, die dritte Rotationsachse und die zweite Rotationsachse lateral zueinander angeordnet sind, aber sich in einem Punkt schneiden. Sie schließen zueinander einen Winkel ein, der sich von 0° und 180° unterscheidet.
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Auch bei der erfindungsgemäßen Probenaufnahmeeinrichtung ist es zusätzlich oder alternativ vorgesehen, den zweiten Probenhalter an einer zweiten Bewegungseinrichtung anzuordnen. Die zweite Bewegungseinrichtung wird verwendet, um den zweiten Probenhalter um die vierte Rotationsachse zu drehen. Die zweite Bewegungseinrichtung ist beispielsweise als mechanische und/oder elektronische Einrichtung ausgebildet. Auch ist es bei einer weiteren Ausführungsform beispielsweise vorgesehen, dass die zweite Bewegungseinrichtung einen Zahnradantrieb umfasst, mit dem der zweite Probenhalter angetrieben wird, so dass dieser sich um die vierte Rotationsachse dreht.
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Bei einer wiederum weiteren Ausführungsform ist es alternativ oder zusätzlich vorgesehen, dass die Steuereinrichtung mit der zweiten Bewegungseinrichtung zur Bewegung des zweiten Probenhalters verbunden ist. Auch die Verbindung zwischen der Steuereinrichtung und der zweiten Bewegungseinrichtung kann dabei beispielsweise mechanisch, elektronisch und/oder optisch ausgebildet sein (vgl. das bereits weiter oben Gesagte).
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Bei einer weiteren Ausführungsform der Probenaufnahmeeinrichtung ist es beispielsweise vorgesehen, dass die vierte Rotationsachse parallel zu einer der folgenden Achsen, nämlich der ersten Achse, der zweiten Achse, der dritten Achse, der ersten Rotationsachse, der zweiten Rotationsachse und der dritten Rotationsachse orientiert ist. Alternativ hierzu ist es vorgesehen, dass die vierte Rotationsachse mit mindestens einer der folgenden Achsen, nämlich der ersten Achse, der zweiten Achse, der dritten Achse, der ersten Rotationsachse, der zweiten Rotationsachse und der dritten Rotationsachse einen Winkel einschließt, der nicht 0° und nicht 180° beträgt.
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Bei einer Ausführungsform der erfindungsgemäßen Probenaufnahmeeinrichtung ist es vorgesehen, dass die Steuereinrichtung sowohl mit der ersten Bewegungseinrichtung als auch mit der zweiten Bewegungseinrichtung verbunden ist. Bei einer wiederum weiteren Ausführungsform ist es dabei vorgesehen, dass mindestens eine der Verbindungen zwischen der Steuereinrichtung und einer der beiden Bewegungseinrichtungen beispielsweise mechanisch, elektronisch und/oder optisch ausgebildet ist. Die vorstehenden Ausführungsformen ermöglichen, dass mit der Steuereinrichtung zum einen die Rotation des ersten Probenhalters um die dritte Rotationsachse steuerbar ist. Zum anderen ist mit der Steuereinrichtung die Rotation des zweiten Probenhalters um die vierte Rotationsachse steuerbar.
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Bei einer wiederum weiteren Ausführungsform der erfindungsgemäßen Probenaufnahmeeinrichtung ist es zusätzlich oder alternativ vorgesehen, dass die erste Bewegungseinrichtung und die zweite Bewegungseinrichtung durch eine einzelne Bewegungseinheit gebildet sind. Beispielsweise ist diese einzelne Bewegungseinheit als Antriebseinheit ausgebildet, die über mechanische Bauteile zum einen mit dem ersten Probenhalter und zum anderen mit dem zweiten Probenhalter verbunden ist, so dass mittels der Antriebseinheit sowohl der erste Probenhalter als auch der zweite Probenhalter bewegt werden können.
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Nachfolgend wird die Erfindung anhand von Ausführungsbeispielen näher erläutert. Dabei zeigen
- 1 schematische Darstellungen von Teilchenstrahlgeräten nach dem Stand der Technik;
- 2 eine schematische Darstellung eines Teilchenstrahlgeräts mit einer einzelnen Teilchenstrahlsäule;
- 3 eine schematische Darstellung eines Probenträgers;
- 4 eine weitere schematische Darstellung des Probenträgers nach 3;
- 5 eine schematische Darstellung eines Teilchenstrahlgeräts mit zwei Teilchenstrahlsäulen;
- 6 eine weitere schematische Darstellung der Anordnung der Teilchenstrahlsäulen gemäß der 5;
- 7A eine schematische Seitenansicht eines weiteren Probenträgers;
- 7B eine weitere schematische Darstellung des Probenträgers nach 7A; sowie
- 8 eine schematische Darstellung einer Halteeinrichtung des Probenträgers nach 7A.
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2 zeigt eine schematische Darstellung eines Teilchenstrahlgeräts 100 in Form eines SEM mit einer ersten Teilchenstrahlsäule 101, die als Elektronenstrahlsäule ausgebildet ist. Es wird aber bereits jetzt ausdrücklich darauf hingewiesen, dass die Erfindung nicht auf ein SEM eingeschränkt ist. Vielmehr ist die Erfindung bei jedem Teilchenstrahlgerät einsetzbar, insbesondere bei einem lonenstrahlgerät.
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Die erste Teilchenstrahlsäule 101 weist eine erste optische Achse 102, einen ersten Strahlerzeuger in Form einer Elektronenquelle 103 (Kathode), eine erste Elektrode 104 in Form einer Extraktionselektrode sowie eine zweiten Elektrode 105 in Form einer Anode auf, die gleichzeitig ein Ende eines ersten Strahlführungsrohrs 106 bildet. Beispielsweise ist die Elektronenquelle 103 ein thermischer Feldemitter. Elektronen, die aus der Elektronenquelle 103 austreten, werden aufgrund einer Potentialdifferenz zwischen der Elektronenquelle 103 und der zweiten Elektrode 105 auf Anodenpotential beschleunigt. Es wird demnach ein erster Teilchenstrahl in Form eines Elektronenstrahls bereitgestellt.
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Ferner weist das Teilchenstrahlgerät 100 eine erste Objektivlinse 107 auf, die in eine Probenkammer 113 des Teilchenstrahlgeräts 100 ragt. Die erste Objektivlinse 107 weist eine Bohrung auf, durch welche das erste Strahlführungsrohr 106 geführt ist. Die erste Objektivlinse 107 ist ferner mit Polschuhen 108 versehen, in denen Spulen 109 angeordnet sind. Hinter dem ersten Strahlführungsrohr 106 ist eine elektrostatische Verzögerungseinrichtung angeordnet. Diese weist eine Rohrelektrode 110 auf, welche ein Ende des ersten Strahlführungsrohrs 106 bildet. Ferner weist die elektrostatische Verzögerungseinrichtung eine Einzelelektrode 111 auf, die benachbart zur Rohrelektrode 110 entlang der ersten optischen Achse 102 angeordnet ist. In der Probenkammer 113 ist ein Probenträger 112 angeordnet, auf den weiter unten noch näher eingegangen wird.
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Die Rohrelektrode 110 liegt gemeinsam mit dem ersten Strahlführungsrohr 106 auf Anodenpotential, während die Einzelelektrode 111 sowie eine auf dem Probenträger 112 angeordnete erste Probe 114 und eine auf dem Probenträger 112 angeordnete zweite Probe 115 auf einem gegenüber dem Anodenpotential niedrigen Potential liegen. Auf diese Weise können die Elektronen des ersten Teilchenstrahls auf eine gewünschte Energie abgebremst werden, die für die Untersuchung und/oder Bearbeitung der auf dem Probenträger 112 angeordneten ersten Probe 114 und/oder der zweiten Probe 115 erforderlich ist. Die erste Teilchenstrahlsäule 101 weist zudem ein Rastermittel 116 auf, durch die der erste Teilchenstrahl abgelenkt wird, so dass der erste Teilchenstrahl über die auf dem Probenträger 112 angeordnete erste Probe 114 und/oder die zweite Probe 115 gerastert werden kann.
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Zur Bildgebung werden mittels eines im ersten Strahlführungsrohr 106 angeordneten Detektors 117 Sekundärelektronen und/oder Rückstreuelektronen detektiert, die aufgrund der Wechselwirkungen des ersten Teilchenstrahls mit der ersten Probe 114 oder der zweiten Probe 115 entstehen. Die von dem Detektor 117 erzeugten Signale werden zur Bildgebung an eine Elektronikeinheit (nicht dargestellt) übermittelt.
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Nachfolgend wird nun auf den Probenträger 112 näher eingegangen. Der Probenträger 112 weist eine Probenaufnahme 120 auf, an der ein erster Probenhalter 118 angeordnet ist. An dem ersten Probenhalter 118 wiederum ist die erste Probe 114 angeordnet. Ferner ist an der Probenaufnahme 120 ein zweiter Probenhalter 119 angeordnet, an dem die zweite Probe 115 angeordnet ist. Sowohl der erste Probenhalter 118 als auch der zweite Probenhalter 119 können lösbar an der Probenaufnahme 120 befestigt sein. Wie oben bereits erwähnt, ist die Anzahl der Probenhalter durchaus variabel. So ist es bei einer weiteren Ausführungsform vorgesehen, dass durchaus noch weitere Probenhalter an der Probenaufnahme 120 angeordnet sind.
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Der Probenträger 112 ist als beweglicher Probentisch ausgebildet, welcher in den 3 und 4 schematisch dargestellt ist. Der Probenträger 112 weist die als ebene Fläche ausgebildete Probenaufnahme 120 auf, an welcher der erste Probenhalter 118 und der zweite Probenhalter 119 angeordnet sind (diese sind in 3 aus Übersichtsgründen nicht dargestellt). Der als Probentisch ausgebildete Probenträger 112 weist Bewegungselemente auf, welche eine Bewegung des Probenträgers 112 derart sicherstellen, dass ein interessierender Bereich auf der ersten Probe 114 oder der zweiten Probe 115 mittels des ersten Teilchenstrahls untersucht und/oder bearbeitet werden kann.
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Die Bewegungselemente sind in den 3 und 4 schematisch dargestellt. Der Probenträger 112 weist ein erstes Bewegungselement 121 an einem Gehäuse 122 der Probenkammer 113 auf, in welcher der Probenträger 112 angeordnet ist. Mit dem ersten Bewegungselement 121 wird eine Bewegung des Probenträgers 112 entlang der z-Achse (erste Translationsachse) ermöglicht. Ferner ist ein zweites Bewegungselement 123 vorgesehen. Das zweite Bewegungselement 123 ermöglicht eine Rotation des Probenträgers 112 um eine erste Rotationsachse 124, welche auch als „Tilt-Achse“ bezeichnet wird. Somit ermöglicht das zweite Bewegungselement 123 eine Rotation der an der Probenaufnahme 120 angeordneten ersten Probe 114 und/oder der zweiten Probe 115 um die erste Rotationsachse 124.
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An dem zweiten Bewegungselement 123 ist ein drittes Bewegungselement 125 angeordnet, welches als Führung für einen Schlitten ausgebildet ist und sicherstellt, dass der Probenträger 112 in x-Richtung beweglich ist (zweite Translationsachse). Der vorgenannte Schlitten ist wiederum ein weiteres Bewegungselement, nämlich ein viertes Bewegungselement 126. Das vierte Bewegungselement 126 ist derart ausgebildet, dass der Probenträger 112 in y-Richtung beweglich ist (dritte Translationsachse). Hierzu weist das vierte Bewegungselement 126 eine Führung auf, in der ein weiterer Schlitten geführt ist, an dem die Probenaufnahme 120 angeordnet ist.
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Die Probenaufnahme 120 ist wiederum mit einem fünften Bewegungselement 127 ausgebildet, welches es ermöglicht, dass die Probenaufnahme 120 um eine zweite Rotationsachse 128 drehbar ist.
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Die erste Translationsachse, die zweite Translationsachse und die dritte Translationsachse sind jeweils senkrecht zueinander ausgerichtet. Darüber hinaus ist die zweite Rotationsachse 128 senkrecht zur ersten Rotationsachse 124 orientiert.
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Aufgrund der oben beschriebenen Anordnung weist der Probenträger 112 des hier diskutierten Ausführungsbeispiels folgende kinematische Kette auf: Erstes Bewegungselement 121 (Bewegung entlang der z-Achse) - zweites Bewegungselement 123 (Rotation um die erste Rotationsachse 124) - drittes Bewegungselement 125 (Bewegung entlang der x-Achse) - viertes Bewegungselement 126 (Bewegung entlang der y-Achse) - fünftes Bewegungselement 127 (Rotation um die zweite Rotationsachse 128). Es wird aber explizit darauf hingewiesen, dass die Erfindung nicht auf die vorgenannte kinematische Kette eingeschränkt ist. Vielmehr sehen weitere Ausführungsformen andere Anordnungen und Zusammensetzungen der kinematischen Kette vor.
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Um eine Bewegung der einzelnen vorgenannten Bewegungselemente zu steuern, ist eine Steuereinrichtung 142 vorgesehen, welche mit dem Probenträger 112 bzw. mit mindestens einem der vorgenannten Bewegungselemente verbunden ist (vgl. 2). Die Verbindung zwischen der Steuereinrichtung 142 und der bzw. den vorgenannten Bewegungseinrichtung(en) kann dabei beispielsweise mechanisch, elektronisch und/oder optisch ausgebildet sein, wobei auf das bereits weiter oben Gesagte verwiesen wird.
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Wie aus der 4 ersichtlich ist, sind an der Probenaufnahme 120 der erste Probenhalter 118 und der zweite Probenhalter 119 angeordnet. Der erste Probenhalter 118 ist um eine dritte Rotationsachse 129 relativ zur Probenaufnahme 120 drehbar angeordnet. Darüber hinaus ist der zweite Probenhalter 119 um eine vierte Rotationsachse 130 relativ zur Probenaufnahme 120 drehbar angeordnet. In anderen Worten ausgedrückt ist die erste Probe 114, die auf dem ersten Probenhalter 118 angeordnet ist, relativ zu der Probenaufnahme 120 drehbar. Auch ist die zweite Probe 115, die auf dem zweiten Probenhalter 119 angeordnet ist, relativ zu der Probenaufnahme 120 drehbar.
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Sowohl die dritte Rotationsachse 129 als auch die vierte Rotationsachse 130 sind im Wesentlichen parallel zur zweiten Rotationsachse 128 orientiert. Ferner sind die dritte Rotationsachse 129 und die vierte Rotationsachse 130 zur zweiten Rotationsachse 128 lateral beabstandet. Darüber hinaus sind sowohl die dritte Rotationsachse 129 als auch die vierte Rotationsachse 130 im Wesentlichen senkrecht zur ersten Rotationsachse 124 orientiert.
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5 zeigt ein weiteres Ausführungsbeispiel der Erfindung, welches an einem Teilchenstrahlgerät 100' verwirklicht ist. Das Teilchenstrahlgerät 100' weist zwei Teilchenstrahlsäulen auf, nämlich eine erste Teilchenstrahlsäule 101 und eine zweite Teilchenstrahlsäule 131, die an einer Probenkammer 113 angeordnet sind. Die erste Teilchenstrahlsäule 101 ist als Elektronenstrahlsäule ausgebildet und ist hinsichtlich der Probenkammer 113 vertikal angeordnet. Die erste Teilchenstrahlsäule 101 weist denselben Aufbau wie die erste Teilchenstrahlsäule 101 gemäß der 2 auf. Demnach sind gleiche Bauteile mit gleichen Bezugszeichen versehen. Zusätzlich ist ein Kondensor 132 für den ersten Teilchenstrahl in Form des Elektronenstrahls dargestellt.
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Die zweite Teilchenstrahlsäule 131 ist als lonenstrahlsäule ausgebildet und ist um einen Winkel von ca. 50° zur ersten Teilchenstrahlsäule 101 angeordnet. Die zweite Teilchenstrahlsäule 131 weist einen lonenstrahlerzeuger 133 auf, mittels dessen Ionen erzeugt werden, die einen zweiten Teilchenstrahl in Form eines lonenstrahls bilden. Die Ionen werden mittels einer Extraktionselektrode 134 auf ein vorgebbares Potential beschleunigt. Der zweite Teilchenstrahl gelangt dann durch eine lonenoptik der zweiten Teilchenstrahlsäule 131, wobei die lonenoptik eine Kondensorlinse 135 und eine Anordnung von weiteren Linsen 136 aufweist, welche eine zweite Objektivlinse bilden. Die Linsen 136 erzeugen schließlich eine lonensonde, die auf die an dem ersten Probenhalter 118 angeordnete erste Probe 114 oder auf die an dem zweiten Probenhalter 119 angeordnete zweite Probe 115 fokussiert wird.
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Oberhalb der Linsen 136 (also in Richtung des lonenstrahlerzeugers 133) sind eine einstellbare Blende 137, eine erste Elektrodenanordnung 138 und eine zweite Elektrodenanordnung 139 angeordnet, wobei die erste Elektrodenanordnung 138 und die zweite Elektrodenanordnung 139 als Rasterelektroden ausgebildet sind.
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Mittels der ersten Elektrodenanordnung 138 und der zweiten Elektrodenanordnung 139 wird der zweite Teilchenstrahl über die Oberfläche der ersten Probe 114 oder der zweiten Probe 115 gerastert, wobei die erste Elektrodenanordnung 138 in eine erste Richtung und die zweite Elektrodenanordnung 139 in eine zweite Richtung wirken, die der ersten Richtung entgegengesetzt ist. Damit erfolgt das Rastern zum Beispiel in x-Richtung. Das Rastern in einer dazu senkrechten y-Richtung erfolgt durch weitere, um 90° verdrehte Elektroden (nicht dargestellt) an der ersten Elektrodenanordnung 138 und an der zweiten Elektrodenanordnung 139.
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Die in der 5 dargestellten Abstände zwischen den einzelnen Elementen des Teilchenstrahlgeräts 100' sind übertrieben dargestellt, um die einzelnen Elemente des Teilchenstrahlgeräts 100' besser darzustellen. In der Probenkammer 113 ist wiederum der Probenträger 112 angeordnet, der identisch zu dem Probenträger 112 gemäß den 2 bis 4 ausgebildet ist.
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6 zeigt die Anordnung der ersten Teilchenstrahlsäule 101 und der zweiten Teilchenstrahlsäule 131 gemäß der 5 in einer weiteren schematischen Darstellung in Bezug auf den Probenträger 112. Die erste optische Achse 102 und die zweite optische Achse 140 treffen sich wiederum in einem Koinzidenzpunkt 141.
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Bei sämtlichen der vorgenannten Ausführungsbeispiele ist die Steuereinrichtung 142 vorgesehen, welche die Bewegung des Probenträgers 112 steuert. Hierzu ist die erste Steuereinrichtung 142 mit dem Probenträger 112 verbunden, beispielsweise über eine mechanisch, eine elektronische und/oder optische Verbindung (vgl. das bereits weiter oben Gesagte).
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Ferner weisen die vorgenannten Ausführungsbeispiele eine erste Bewegungseinrichtung auf, an welcher der erste Probenhalter 118 angeordnet ist. Die erste Bewegungseinrichtung wird verwendet, um den ersten Probenhalter 118 um die dritte Rotationsachse 129 zu drehen. Die erste Bewegungseinrichtung ist beispielsweise als mechanische und/oder elektronische Einrichtung ausgebildet. Auch ist es bei einer weiteren Ausführungsform beispielsweise vorgesehen, dass die erste Bewegungseinrichtung einen Zahnradantrieb umfasst, mit dem der erste Probenhalter 118 angetrieben wird, so dass dieser sich um die dritte Rotationsachse 129 dreht. Die erste Bewegungseinrichtung ist mit der Steuereinrichtung 142 verbunden, um die Rotation des ersten Probenhalters 118 um die dritte Rotationsachse 129 zu steuern.
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Darüber hinaus weisen die vorgenannten Ausführungsbeispiele eine zweite Bewegungseinrichtung auf, an dem der zweite Probenhalter 119 angeordnet ist. Die zweite Bewegungseinrichtung wird verwendet, um den zweiten Probenhalter 119 um die vierte Rotationsachse 130 zu drehen. Auch die zweite Bewegungseinrichtung ist beispielsweise als mechanische und/oder elektronische Einrichtung ausgebildet. Ferner ist es bei einer weiteren Ausführungsform beispielsweise vorgesehen, dass die zweite Bewegungseinrichtung einen Zahnradantrieb umfasst, mit dem der zweite Probenhalter 119 angetrieben wird, so dass dieser sich um die vierte Rotationsachse 130 dreht. Die zweite Bewegungseinrichtung ist mit der Steuereinrichtung 142 verbunden, um die Rotation des zweiten Probenhalters 119 um die vierte Rotationsachse 130 zu steuern.
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Durch die Ansteuerung der ersten Bewegungseinrichtung und der zweiten Bewegungseinrichtung mittels der Steuereinrichtung 142 können die erste Probe 114 und die zweite Probe 115 in eine Untersuchungsposition und/oder Bearbeitungsposition gebracht werden. In der Untersuchungsposition und/oder der Bearbeitungsposition kann die erste Probe 114 bzw. die zweite Probe 115 mittels des ersten Teilchenstrahls und/oder des zweiten Teilchenstrahls untersucht und/oder bearbeitet werden.
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7A zeigt in einer schematischen Seitenansicht ein Ausführungsbeispiel des Probenträgers 112. An der Probenaufnahme 120 sind unter 90° der erste Probenhalter 118 mit der ersten Probe 114 (in 7A nicht dargestellt), der zweite Probenhalter 119 mit der zweiten Probe 115 (in 7A nicht dargestellt), ein dritter Probenhalter mit einer dritten Probe (nicht dargestellt) und ein vierter Probenhalter mit einer vierten Probe (nicht dargestellt) angeordnet. Jeder der vorgenannten Probenhalter ist in jeweils einer Halteraufnahme 143 eines Zahnrads 144 angeordnet (vgl. 7B). Somit weist das in 7A dargestellte Ausführungsbeispiel vier Zahnräder 144 auf, die unter 90° zueinander angeordnet sind. Ferner sind die Mittelpunkte der Halteraufnahmen 143 die Orte, durch welche die dritte Rotationsachse 129, die vierte Rotationsachse 130, eine fünfte Rotationsachse 145 des dritten Probenhalters und eine sechste Rotationsachse 146 des vierten Probenhalters verlaufen (vgl. 7B). Bei dem hier dargestellten Ausführungsbeispiel sind die dritte Rotationsachse 129, die vierte Rotationsachse 130, die fünfte Rotationsachse 145 und die sechste Rotationsachse 146 parallel beabstandet zueinander orientiert.
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Jedes der vier Zahnräder 144 greift in ein zentrales Antriebszahnrad 147 ein, durch dessen Mittelpunkt die zweite Rotationsachse 128 verläuft. Das zentrale Antriebszahnrad 147 ist mit einer Antriebseinheit in Form eines Antriebsmotors 148 verbunden. Der Antriebsmotor 148 ist derart ausgelegt, dass er das zentrale Antriebszahnrad 147 bewegen kann. Hierdurch werden dann auch die Zahnräder 144 angetrieben, so dass die vorgenannten Probenhalter ebenfalls gedreht werden.
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Die Probenaufnahme 120 ist ferner mit einem ersten Verbindungselement 149 versehen, mit dem die Probenaufnahme 120 an einem zweiten Verbindungselement 150 einer Halteeinrichtung 151 angeordnet werden kann. Die Halteeinrichtung 151 ist in 8 schematisch dargestellt. Sowohl das erste Verbindungselement 149 als auch das zweite Verbindungselement 150 sind beispielsweise in Form eines Schwalbenschwanzes ausgebildet.
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Wenn das erste Verbindungselement 149 mit dem zweiten Verbindungselement 150 verbunden ist, ist ein Stecker 152 der Probenaufnahme 120 (vgl. 7A) mit einer Steckbuchse 153 der Halteeinrichtung 151 (vgl. 8) verbunden. Durch diese Steckverbindung ist es möglich, den Antriebsmotor 148 anzusteuern.
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Die Halteeinrichtung 151 ist kreisförmig ausgebildet und weist an deren Umfang kreisförmige Kontakte 154 auf, welche mit Schleifkontakten 155, die mit der Steuereinrichtung 142 verbunden sind, in Kontakt sind. Hierdurch ist es möglich, mittels der Steuereinrichtung 142 den Antriebsmotor 148 anzusteuern.
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Das zweite Verbindungselement 150 ist rotationssymmetrisch ausgebildet und weist einen Mittelpunkt auf, durch den die zweite Rotationsachse 128 verläuft.
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Bei einer weiteren Ausführungsform ist es vorgesehen, dass der Antriebsmotor 148 mit mindestens einer Messeinrichtung versehen ist, wodurch es möglich ist, die Rotationswinkel der vorgenannten Probenhalter zu bestimmen.
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Bei den vorbeschriebenen Ausführungsformen ist/sind der erste Probenhalter 118, der zweite Probenhalter 119, der dritte Probenhalter und/oder der vierte Probenhalter derart beweglich angeordnet, dass bei einer Bewegung des ersten Probenhalters 118, des zweiten Probenhalters 119, des dritten Probenhalters und/oder des vierten Probenhalters Objektdetails, welche auf den jeweiligen Proben der jeweiligen Probenhalter untersucht und/oder bearbeitet werden, nicht den Rasterbereich verlassen. Hierzu ist es vorgesehen, dass man bei einer Drehung eines der vorgenannten Probenhalter eine Bewegung mindestens einer der Achsen der kinematischen Kette derart veranlasst, dass das untersuchte und/oder bearbeitete Objektdetail auf der jeweiligen Probe im Rasterbereich und somit im dargestellten Bild verbleibt. Die vorgenannten Probenhalter weisen hierzu eine Eigenschaft auf, welche unter dem Begriff „computereuzentrisch“ bekannt ist. Nach einer Installation der Probenaufnahme 120 bzw. Probenträgers 112 werden mittels eines Kalibrierungsverfahrens jeweils Ablagen (Abstände) zwischen der zweiten Rotationsachse 128 und der optischen Achse 102 der ersten Teilchenstrahlsäule 101 ermittelt und abgespeichert. Entsprechend können zusätzlich auch die Ablagen (Abstände) jeder einzelnen der dritten Rotationsachse 129, der vierten Rotationsachse 130 und der weiteren Rotationsachsen von der optischen Achse 102 der ersten Teilchenstrahlsäule 101 ermittelt und abgespeichert werden. Dann kann auf die vorgenannten Probenhalter jeweils ein Kalibrierungsobjekt angeordnet werden, das eine markante Probenstelle aufweist. Im Anschluss daran werden bei einer geringen Vergrößerung des Teilchenstrahlgeräts 100 (also bei einem großen Rasterbereich) bei unterschiedlichen, bekannten Drehstellungen um die zweite Rotationsachse 128, um die dritte Rotationsachse 129, um die vierte Rotationsachse 130 sowie um mögliche weitere Rotationsachsen Bilder aufgezeichnet und ausgewertet. Aus dieser Auswertung wird nun ermittelt, welche Strecke die markante Probenstelle bei einer Rotation um eine der jeweiligen Rotationsachsen wandert. Wenn die Vergrößerung bekannt ist, dann lässt sich auf diesem Wege die Ablage (der Abstand) zwischen jeder der Rotationsachsen (nämlich der zweiten Rotationsachse 128, der dritten Rotationsachse 129, der vierten Rotationsachse 130 und jeder weiteren Rotationsachse) und der optischen Achse 102 der ersten Teilchenstrahlsäule 101 nach Betrag und Richtung ermitteln. Wenn nun nachfolgend Bilder einer realen Probe, beispielsweise die erste Probe 114 oder die zweite Probe 115, aufgenommen werden, kann aus den vorhandenen, abgespeicherten Werten der Ablagen zwischen den jeweiligen vorgenannten Rotationsachsen, um die gedreht wird, und den Drehwinkeln, um die jeweils gedreht wird, von der Steuereinrichtung 142 des Teilchenstrahlgeräts 100 ermittelt werden, um welche Strecken der Probenträger 112 entlang der ersten Achse und der zweiten Achse bewegt werden muss, damit sich ein Punkt auf der optischen Achse 102 der ersten Teilchenstrahlsäule 101 genau um die Strecke durch die (Linear-)Bewegungen entlang der ersten Achse und der zweiten Achse zurück bewegt, die er sich aufgrund der Drehung um die zweite Rotationsachse 128, der dritten Rotationsachse 129, der vierten Rotationsachse 130 und/oder weiterer Rotationsachsen vorbewegt. Die (Linear-) Antriebe entlang der ersten Achse und der zweiten Achse werden dann so von der Steuereinrichtung 142 des Teilchenstrahlgeräts 100 angesteuert, dass die zusammengesetzte Linearbewegung entlang der ersten Achse und der zweiten Achse gerade die Bewegung kompensiert, die ein Punkt auf der optischen Achse 102 der ersten Teilchenstrahlsäule 101 aufgrund der Drehbewegung um die zweite Rotationsachse, um die dritte Rotationsachse, um die vierte Rotationsachse und/oder jeder weiteren Rotationsachse erfährt.
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Auch ist es bei den vorgenannten Ausführungsbeispielen vorgesehen, dass der erste Probenhalter 118, der zweite Probenhalter 119, der dritte Probenhalter und/oder der vierte Probenhalter derart beweglich angeordnet ist/sind, dass bei einer Bewegung des ersten Probenhalters 118 bzw. des zweiten Probenhalters 119 bzw. des dritten Probenhalters bzw. vierten Probenhalters eine vorgegebene Stelle auf der ersten Probe 114 bzw. auf der zweiten Probe 115 bzw. der dritten Probe bzw. der vierten Probe relativ zu der ersten optischen Achse 102 der ersten Teilchenstrahlsäule 101 oder der zweiten optischen Achse 140 der zweiten Teilchenstrahlsäule 131 ortsfest bleibt. Alternativ hierzu ist es vorgesehen, dass der Probenträger 112 derart beweglich angeordnet ist, dass bei einer Bewegung des Probenträgers 112 eine vorgegebene Stelle auf der ersten Probe 114 bzw. der zweiten Probe 115 bzw. der dritten Probe bzw. der vierten Probe relativ zu der ersten optischen Achse 102 der ersten Teilchenstrahlsäule 101 oder der zweiten optischen Achse 140 der zweiten Teilchenstrahlsäule 131 ortsfest bleibt.
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Die in den Figuren dargestellten Ausführungsbeispiele weisen sämtliche Vorteile und Wirkungen auf, die bereits weiter oben dargestellt wurden.
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Bezugszeichenliste
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- 1
- erste Teilchenstrahlsäule nach dem Stand der Technik
- 2
- zweite Teilchenstrahlsäule nach dem Stand der Technik
- 3
- Probenträger nach dem Stand der Technik
- 4
- erster Probenhalter nach dem Stand der Technik
- 5
- zweiter Probenhalter nach dem Stand der Technik
- 6A
- erste Probe nach dem Stand der Technik
- 6B
- zweite Probe nach dem Stand der Technik
- 7
- erster Teilchenstrahl nach dem Stand der Technik
- 8
- zweiter Teilchenstrahl nach dem Stand der Technik
- 9
- Koinzidenzpunkt nach dem Stand der Technik
- 100, 100'
- Teilchenstrahlgerät
- 101
- erste Teilchenstrahlsäule
- 102
- optische Achse der ersten Teilchenstrahlsäule
- 103
- erster Strahlerzeuger (Elektronenquelle)
- 104
- erste Elektrode
- 105
- zweite Elektrode
- 106
- erstes Strahlführungsrohr
- 107
- erste Objektivlinse
- 108
- Polschuhe
- 109
- Spulen
- 110
- Rohrelektrode
- 111
- Einzelelektrode
- 112
- Probenträger
- 113
- Probenkammer
- 114
- erste Probe
- 115
- zweite Probe
- 116
- Rastermittel
- 117
- Detektor
- 118
- erster Probenhalter
- 119
- zweiter Probenhalter
- 120
- Probenaufnahme
- 121
- erstes Bewegungselement
- 122
- Gehäuse
- 123
- zweites Bewegungselement
- 124
- erste Rotationsachse
- 125
- drittes Bewegungselement
- 126
- viertes Bewegungselement
- 127
- fünftes Bewegungselement
- 128
- zweite Rotationsachse
- 129
- dritte Rotationsachse
- 130
- vierte Rotationsachse
- 131
- zweite Teilchenstrahlsäule
- 132
- Kondensor
- 133
- lonenstrahlerzeuger
- 134
- Extraktionselektrode
- 135
- Kondensorlinse
- 136
- weitere Linsen als zweite Objektivlinse
- 137
- einstellbare Blende
- 138
- erste Elektrodenanordnung
- 139
- zweite Elektrodenanordnung
- 140
- zweite optische Achse
- 141
- Koinzidenzpunkt im Teilchenstrahlgerät 100'
- 142
- Steuereinrichtung
- 143
- Halteraufnahme
- 144
- Zahnrad
- 145
- fünfte Rotationsachse
- 146
- sechste Rotationsachse
- 147
- zentrales Antriebszahnrad
- 148
- Antriebsmotor
- 149
- erstes Verbindungselement
- 150
- zweites Verbindungselement
- 151
- Halteeinrichtung
- 152
- Stecker
- 153
- Steckbuchse
- 154
- kreisförmige Kontakte
- 155
- Schleifkontakte