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DE102019204550A1 - Tank device for storing compressed fluids with a sensor device, method for producing a sensor device of the tank device - Google Patents

Tank device for storing compressed fluids with a sensor device, method for producing a sensor device of the tank device Download PDF

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DE102019204550A1
DE102019204550A1 DE102019204550.2A DE102019204550A DE102019204550A1 DE 102019204550 A1 DE102019204550 A1 DE 102019204550A1 DE 102019204550 A DE102019204550 A DE 102019204550A DE 102019204550 A1 DE102019204550 A1 DE 102019204550A1
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DE
Germany
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tank device
tank
sensor
threaded connection
connection element
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
DE102019204550.2A
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German (de)
Inventor
Ingo Brauer
Marc Fischer
Tim Poljansek
Herbert Gruhn
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Robert Bosch GmbH
Original Assignee
Robert Bosch GmbH
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Publication date
Application filed by Robert Bosch GmbH filed Critical Robert Bosch GmbH
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Priority to PCT/EP2020/056410 priority patent/WO2020200669A1/en
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Abstract

Tankvorrichtung (14) zur Speicherung von verdichteten Fluiden, insbesondere Wasserstoff, mit mindestens einem Tankbehälter (18) und einer Sensorvorrichtung (1), welche Sensorvorrichtung (1) ein Gewindeanschlusselement (4) und mit einer Außenwandung (24) umfasst. In dem Gewindeanschlusselement (4) ist eine Druckbohrung (6) ausgebildet, welche Druckbohrung (6) eine Innenwandung (22) aufweist. Außerdem weist die Innenwandung (22) der Druckbohrung (6) und/oder die Außenwandung (24) des Gewindeanschlusselements (4) eine Beschichtung (12) auf, wobei das Gewindeanschlusselement (4) Stahl aus der Klasse der Martensite umfasst.Tank device (14) for storing compressed fluids, in particular hydrogen, with at least one tank container (18) and a sensor device (1), which sensor device (1) comprises a threaded connection element (4) and an outer wall (24). A pressure bore (6) is formed in the threaded connection element (4), which pressure bore (6) has an inner wall (22). In addition, the inner wall (22) of the pressure bore (6) and / or the outer wall (24) of the threaded connection element (4) has a coating (12), the threaded connection element (4) comprising steel from the martensite class.

Description

Die Erfindung betrifft eine Tankvorrichtung zur Speicherung von verdichteten Fluiden mit einer Sensorvorrichtung, insbesondere für einen Brennstoffzellentank zur Speicherung von Wasserstoff, beispielsweise zur Anwendung in Fahrzeugen mit Brennstoffzellenantrieb. Ferner betrifft die Erfindung ein Verfahren zur Herstellung der Sensorvorrichtung und eine Brennstoffzellenanordnung mit solch einer Tankvorrichtung.The invention relates to a tank device for storing compressed fluids with a sensor device, in particular for a fuel cell tank for storing hydrogen, for example for use in vehicles with fuel cell drives. The invention also relates to a method for producing the sensor device and a fuel cell arrangement with such a tank device.

Stand der TechnikState of the art

Die DE 10 2017 204 240 A1 beschreibt eine Tankvorrichtung zur Speicherung von Wasserstoff. Gasförmiger Druckwasserstoff wird u.a. für mobile Anwendungen, bspw. in Kraftfahrzeugen mit einem Druck von 700 bar gespeichert.The DE 10 2017 204 240 A1 describes a tank device for storing hydrogen. Gaseous pressurized hydrogen is stored at a pressure of 700 bar for mobile applications, for example in motor vehicles.

Für die Überwachung der Druckverhältnisse in der Tankvorrichtung werden typischerweise Drucksensorvorrichtungen eingesetzt, die aufgrund ihres Einsatzbereichs mit Wasserstoff in Kontakt treten. Daher werden die Drucksensorvorrichtungen aus Werkstoffen hergestellt, die in der Regel keine oder nur wenig Anfälligkeit zur Wasserstoff-Versprödung aufweisen.To monitor the pressure conditions in the tank device, pressure sensor devices are typically used which, due to their area of application, come into contact with hydrogen. The pressure sensor devices are therefore made from materials which generally have little or no susceptibility to hydrogen embrittlement.

Heutzutage werden die Sensorvorrichtungen typischerweise aus einem geeigneten Stahl gefertigt, beispielsweise aus der Klasse der Martensite. Martensite sind kostengünstig und weisen eine hohe mechanische Festigkeit auf.Nowadays the sensor devices are typically made of a suitable steel, for example of the martensite class. Martensites are inexpensive and have high mechanical strength.

Dennoch kann auch hier eine Wasserstoff-Versprödung auftreten, was zu einer Beschädigung der Sensorvorrichtung führen kann. Dadurch ist keine präzise Druckangabe mehr möglich, was zu einer Beeinträchtigung der Funktionsweise der Tankvorrichtung führt.Nevertheless, hydrogen embrittlement can also occur here, which can lead to damage to the sensor device. As a result, precise pressure information is no longer possible, which leads to an impairment of the functioning of the tank device.

Vorteile der ErfindungAdvantages of the invention

Die erfindungsgemäße Einrichtung mit den kennzeichnenden Merkmalen des Anspruchs 1 weist demgegenüber den Vorteil auf, dass durch geeignete Beschichtungen der Sensorvorrichtung eine Wasserstoff-Diffusionssperre erzeugt wird, so dass der Wasserstoff nicht mehr in direktem Kontakt mit der Sensorvorrichtung steht und so eine höhere Robustheit der Sensorvorrichtung und eine optimierte Funktionsweise der gesamten Tankvorrichtung erzielt wird.The device according to the invention with the characterizing features of claim 1 has the advantage that a hydrogen diffusion barrier is generated by suitable coatings of the sensor device, so that the hydrogen is no longer in direct contact with the sensor device and thus a greater robustness of the sensor device and an optimized functioning of the entire tank device is achieved.

Dazu weist die Tankvorrichtung zur Speicherung von verdichteten Fluiden, insbesondere Wasserstoff, mindestens einen Tankbehälter und eine Sensorvorrichtung auf. Die Sensorvorrichtung umfasst ein Gewindeanschlusselement mit einer Außenwandung, in welchem Gewindeanschlusselement eine Druckbohrung ausgebildet ist. Weiterhin weist die Druckbohrung eine Innenwandung auf. Darüber hinaus weist die Innenwandung der Druckbohrung und/oder die Außenwandung des Gewindeanschlusselements eine Beschichtung auf, wobei das Gewindeanschlusselement Stahl aus der Klasse der Martensite umfasst.For this purpose, the tank device for storing compressed fluids, in particular hydrogen, has at least one tank container and a sensor device. The sensor device comprises a threaded connection element with an outer wall, in which threaded connection element a pressure bore is formed. Furthermore, the pressure bore has an inner wall. In addition, the inner wall of the pressure bore and / or the outer wall of the threaded connection element has a coating, the threaded connection element comprising steel from the martensite class.

In vorteilhafter Weiterbildung der Erfindung ist es vorgesehen, dass die Beschichtung Aluminiumoxid (Al2O3) umfasst.In an advantageous development of the invention, it is provided that the coating comprises aluminum oxide (Al 2 O 3 ).

In vorteilhafter Weiterbildung der Erfindung umfasst die Beschichtung Chromoxid (Cr2O3).In an advantageous development of the invention, the coating comprises chromium oxide (Cr 2 O 3 ).

Vorteilhafterweise kann die Beschichtung Hafniumdioxid (HfO2) umfassen.The coating can advantageously comprise hafnium dioxide (HfO 2 ).

Weiterhin betrifft die Erfindung ein Verfahren zur Herstellung einer Beschichtung einer in der oben beschriebenen Tankvorrichtung umfassten Sensorvorrichtung mittels eines ALD-Prozesses (atomic layer deposition, Atomlagenabscheidung) .The invention further relates to a method for producing a coating of a sensor device included in the tank device described above by means of an ALD process (atomic layer deposition).

So kann in einfacher Weise die Sensorvorrichtung vor einer Wasserstoff-Versprödung geschützt werden, ohne die Funktionsweise der Sensorvorrichtung, d.h. die präzise Druckmessung in dem Tankbehälter, zu beeinträchtigen.In this way, the sensor device can be protected from hydrogen embrittlement in a simple manner without the functioning of the sensor device, i. affect the precise pressure measurement in the tank container.

In vorteilhafter Weiterbildung ist es vorgesehen, dass die Beschichtung eine Dicke von 50 nm bis 400 nm aufweist. So ist ein optimaler Schutz der beteiligten Bauteile vor einer Wasserstoff-Versprödung gewährleistet, ohne die Funktionsweise der Sensorvorrichtung zu beeinträchtigen.In an advantageous further development it is provided that the coating has a thickness of 50 nm to 400 nm. This ensures optimum protection of the components involved from hydrogen embrittlement without impairing the functionality of the sensor device.

In weiterer Ausgestaltung der Erfindung ist es vorgesehen, dass die Druckbohrung mehrstufig ausgebildet ist. Vorteilhafterweise ist die Druckbohrung zylinderförmig ausgebildet. Dadurch kann eine konstruktiv einfache und kostengünstige Herstellung erzielt werden.In a further embodiment of the invention, it is provided that the pressure bore is designed in multiple stages. The pressure bore is advantageously cylindrical. A structurally simple and inexpensive production can thereby be achieved.

In vorteilhafter Weiterbildung umfasst die Sensorvorrichtung ein Sensorelement, welches Sensorelement eine drucksensitive Dünnschicht in Form einer Membran aufweist. So kann eine ordentliche Funktionsweise der Sensorvorrichtung erzielt werden.In an advantageous development, the sensor device comprises a sensor element, which sensor element has a pressure-sensitive thin layer in the form of a membrane. A proper functioning of the sensor device can thus be achieved.

In weiterer Ausgestaltung der Erfindung ist es vorgesehen, dass das Sensorelement mittels einer Schweißnahtverbindung fest mit dem Gewindeanschlusselement verbunden ist.In a further embodiment of the invention it is provided that the sensor element is firmly connected to the threaded connection element by means of a welded joint.

In vorteilhafter Weiterbildung ist es vorgesehen, dass das Sensorelement und das Gewindeanschlusselement als einteiliges Bauteil ausgebildet sind, welches einteilige Bauteil mittels eines Siliziumwafer-Prozesses hergestellt ist. Dadurch wird ein kompakter Aufbau der gesamten Sensorvorrichtung erzielt.In an advantageous development, it is provided that the sensor element and the threaded connection element are designed as a one-piece component, which one-piece component by means of a Silicon wafer process is manufactured. This achieves a compact design of the entire sensor device.

In vorteilhafter Weiterbildung ist das Sensorelement aus einem Metall, vorzugsweise aus der Klasse der Martensite, hergestellt. So wird neben der Beschichtung der mit Wasserstoff in Kontakt tretenden Stellen des Sensorelements ein zusätzlicher Schutz vor einer möglichen Wasserstoff-Versprödung erzielt.In an advantageous development, the sensor element is made from a metal, preferably from the martensite class. In addition to the coating of the areas of the sensor element that come into contact with hydrogen, additional protection against possible hydrogen embrittlement is achieved.

Die beschriebene Tankvorrichtung zur Speicherung von verdichteten Fluiden eignet sich vorzugsweise in einer Brennstoffzellenanordnung zur Speicherung von Wasserstoff für den Betrieb einer Brennstoffzelle.The tank device described for storing compressed fluids is preferably suitable in a fuel cell arrangement for storing hydrogen for operating a fuel cell.

Die beschriebene Tankvorrichtung zur Speicherung von verdichteten Fluiden eignet sich vorzugsweise in einem Fahrzeug mit einem Antrieb mit gasförmigen Kraftstoffen.The tank device described for storing compressed fluids is preferably suitable in a vehicle with a drive with gaseous fuels.

FigurenlisteFigure list

In der Zeichnung sind Ausführungsbeispiele einer Tankvorrichtung zur Speicherung von verdichteten Fluiden mit einer Sensorvorrichtung dargestellt. Es zeigt in

  • 1 ein erstes Ausführungsbeispiel einer erfindungsgemäßen Sensorvorrichtung im Längsschnitt,
  • 2 ein zweites Ausführungsbeispiel einer erfindungsgemäßen Sensorvorrichtung im Längsschnitt,
  • 3 eine Tankvorrichtung mit einem Ausführungsbeispiel der erfindungsgemäßen Sensorvorrichtung im Längsschnitt.
In the drawing, exemplary embodiments of a tank device for storing compressed fluids with a sensor device are shown. It shows in
  • 1 a first embodiment of a sensor device according to the invention in longitudinal section,
  • 2 a second embodiment of a sensor device according to the invention in longitudinal section,
  • 3 a tank device with an embodiment of the sensor device according to the invention in longitudinal section.

Beschreibung der AusführungsbeispieleDescription of the exemplary embodiments

1 zeigt ein erstes Ausführungsbeispiel einer erfindungsgemäßen Sensorvorrichtung 1 im Längsschnitt. Die Sensorvorrichtung 1 weist ein Sensorelement 2, ein Gewindeanschlusselement 4 und ein Schraubenelement 10 auf. Das Gewindeanschlusselement 4 und das Schraubenelement 10 sind dabei fest miteinander verbunden. 1 shows a first embodiment of a sensor device according to the invention 1 in longitudinal section. The sensor device 1 has a sensor element 2 , a threaded connector 4th and a screw element 10 on. The threaded connection element 4th and the screw element 10 are firmly connected to each other.

Das Sensorelement 2 weist eine drucksensitive Dünnschicht in Form einer Membran 28 auf und ist mit dem Gewindeanschlusselement 4 über eine Schweißnahtverbindung 8 fest verbunden.The sensor element 2 has a pressure-sensitive thin layer in the form of a membrane 28 on and is with the threaded connection element 4th via a welded joint 8th firmly connected.

Weiterhin weist das Gewindeanschlusselement 4 eine stufenförmige Druckbohrung 6 mit einer Innenwandung 22 auf, wobei die Druckbohrung 6 an einem dem Schraubenelement 10 abgewandten Ende 32 eine Öffnung 30 aufweist. An einem der Öffnung 30 abgewandten Ende der Druckbohrung 6 ist das Sensorelement 2 angeordnet.Furthermore, the threaded connection element 4th a stepped pressure hole 6th with an inner wall 22nd on, with the pressure hole 6th on one of the screw element 10 remote end 32 an opening 30th having. At one of the opening 30th remote end of the pressure bore 6th is the sensor element 2 arranged.

Das Gewindeanschlusselement 4 weist eine Außenwandung 24 auf, an der ein Gewinde 26 ausgebildet ist.The threaded connection element 4th has an outer wall 24 on which a thread 26th is trained.

Weiterhin sind das Gewindeanschlusselement 4 und das Sensorelement 2 aus einem Metall der Klasse der Martensite, beispielsweise 1.4542, hergestellt.Furthermore, the threaded connection element 4th and the sensor element 2 made of a metal of the martensite class, for example 1.4542.

2 zeigt ein zweites Ausführungsbeispiel einer erfindungsgemäßen Sensorvorrichtung 1 im Längsschnitt. 2 shows a second embodiment of a sensor device according to the invention 1 in longitudinal section.

Bauteile mit gleicher Funktion wurden mit derselben Bezugsziffer bezeichnet.Components with the same function have been given the same reference number.

Das zweite Ausführungsbeispiel entspricht in Funktion und Aufbau weitestgehend dem ersten Ausführungsbeispiel. Im Unterschied zum ersten Ausführungsbeispiel ist hier das Sensorelement 2 und das Gewindeanschlusselement 4 als ein einteiliges Bauteil ausgebildet. Dabei wird das Sensorelement 2 mittels Siliziumwafer-Prozesse auf das Gewindeanschlusselement 4 aufgeglast. So können im Gegensatz zu einer Verwendung mit einer Schweißnahtverbindung höhere Druckbereiche erzielt werden.The second exemplary embodiment largely corresponds to the first exemplary embodiment in terms of function and structure. In contrast to the first exemplary embodiment, the sensor element is here 2 and the threaded connection element 4th designed as a one-piece component. The sensor element 2 on the threaded connection element using silicon wafer processes 4th glazed. In contrast to the use with a welded joint, higher pressure ranges can be achieved.

Weiterhin ist die Druckbohrung 6 hier zylinderförmig ausgebildet.There is also the pressure hole 6th here is cylindrical.

In den beiden Ausführungsbeispielen ist die Innenwandung 22 der Druckbohrung und Teile der Außenwandung 24 mit Ausnahme des Gewindes 26 mit einer Beschichtung 12 mittels eines ALD-Prozesses (atomic layer deposition, Atomlagenabscheidung) ausgebildet. Dabei handelt es sich um ein Verfahren, das mittels chemischer Reaktionen sehr dünne Schichten eines Ausgangsmaterials auf einem Substratmaterial, hier die Innenwandung 22 bzw. die Außenwandung 24, abscheidet.In the two exemplary embodiments, the inner wall is 22nd the pressure bore and parts of the outer wall 24 except for the thread 26th with a coating 12 formed by means of an ALD process (atomic layer deposition). This is a process that uses chemical reactions to create very thin layers of a starting material on a substrate material, here the inner wall 22nd or the outer wall 24 , separates.

Es werden insbesondere die Stellen der Sensorvorrichtung 1 mit einer Beschichtung 12 behaftet, die mit gasförmigem Medium, beispielsweise Wasserstoff, in Berührung kommen. Die Beschichtung 12 weist dabei eine Dicke von 50 nm bis 400 nm auf. So kann eine Wasserstoff-Diffusionssperre erzielt werden, so dass der Wasserstoff nicht durch das Gewindeanschlusselement 4 durch diffundieren kann, was zu einem Leck in der Tankvorrichtung 14 führen könnte. Die Beschichtung 12 umfasst hier Aluminiumoxid (Al2O3).There are in particular the locations of the sensor device 1 with a coating 12 afflicted that come into contact with a gaseous medium, for example hydrogen. The coating 12 has a thickness of 50 nm to 400 nm. A hydrogen diffusion barrier can thus be achieved so that the hydrogen does not pass through the threaded connection element 4th can diffuse through, causing a leak in the tank device 14th could lead. The coating 12 here includes aluminum oxide (Al 2 O 3 ).

Neben Aluminiumoxid (Al2O3) sind auch Beschichtungen möglich, die Chromoxid (Cr2O3) oder Hafniumdioxid (HfO2) umfassen.In addition to aluminum oxide (Al 2 O 3 ), coatings that include chromium oxide (Cr 2 O 3 ) or hafnium dioxide (HfO 2 ) are also possible.

3 zeigt eine Tankvorrichtung 14 zur Speicherung von verdichteten Fluiden, insbesondere Wasserstoff, in schematischer Ansicht. Diese Tankvorrichtung 14 findet beispielsweise Anwendung in Fahrzeugen mit Brennstoffzellenantrieb. 3 shows a tank device 14th for the storage of compressed fluids, especially hydrogen, in a schematic view. This tank device 14th is used, for example, in vehicles with fuel cell drives.

Die Tankvorrichtung 14 weist einen Tankbehälter 18 auf, in dem die Sensorvorrichtung 1 integriert ist. Weiterhin versorgt die Tankvorrichtung 14 über eine Verbindungsleitung 20 eine Brennstoffzellenanordnung 16 mit Wasserstoff.The tank device 14th has a tank container 18th on in which the sensor device 1 is integrated. Furthermore supplies the tank device 14th via a connecting line 20th a fuel cell assembly 16 with hydrogen.

Die Anzahl der Tankbehälter 18 kann dabei beliebig gewählt werden, wobei jeder Tankbehälter 18 jeweils eine Sensorvorrichtung 1 aufweist, durch welche der Druck und die Füllstandshöhe in dem jeweiligen Tankbehälter 18 präzise ermittelt werden kann.The number of tank containers 18th can be chosen arbitrarily, with each tank container 18th one sensor device each 1 has, through which the pressure and the fill level in the respective tank container 18th can be precisely determined.

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  • DE 102017204240 A1 [0002]DE 102017204240 A1 [0002]

Claims (14)

Tankvorrichtung (14) zur Speicherung von verdichteten Fluiden, insbesondere Wasserstoff, mit mindestens einem Tankbehälter (18) und einer Sensorvorrichtung (1), welche Sensorvorrichtung (1) ein Gewindeanschlusselement (4) mit einer Außenwandung (24) umfasst, in welchem Gewindeanschlusselement (4) eine Druckbohrung (6) ausgebildet ist, welche Druckbohrung (6) eine Innenwandung (22) aufweist, dadurch gekennzeichnet, dass die Innenwandung (22) der Druckbohrung (6) und/oder die Außenwandung (24) des Gewindeanschlusselements (4) eine Beschichtung (12) aufweist, wobei das Gewindeanschlusselement (4) Stahl aus der Klasse der Martensite umfasst.Tank device (14) for storing compressed fluids, in particular hydrogen, with at least one tank container (18) and a sensor device (1), which sensor device (1) comprises a threaded connection element (4) with an outer wall (24), in which threaded connection element (4 ) a pressure bore (6) is formed, which pressure bore (6) has an inner wall (22), characterized in that the inner wall (22) of the pressure bore (6) and / or the outer wall (24) of the threaded connection element (4) has a coating (12), wherein the threaded connection element (4) comprises steel from the class of martensites. Tankvorrichtung (14) nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Beschichtung (12) Aluminiumoxid (Al2O3) umfasst.Tank device (14) after Claim 1 , characterized in that the coating (12) comprises aluminum oxide (Al 2 O 3 ). Tankvorrichtung (14) nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Beschichtung (12) Chromoxid (Cr2O3) umfasst.Tank device (14) after Claim 1 , characterized in that the coating (12) comprises chromium oxide (Cr 2 O 3 ). Tankvorrichtung (14) nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Beschichtung (12) Hafniumdioxid (HfO2) umfasst.Tank device (14) after Claim 1 , characterized in that the coating (12) comprises hafnium dioxide (HfO 2 ). Tankvorrichtung (14) nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Beschichtung (12) eine Dicke von 50 nm bis 400 nm aufweist.Tank device (14) according to one of the preceding claims, characterized in that the coating (12) has a thickness of 50 nm to 400 nm. Tankvorrichtung (4) nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Druckbohrung (6) mehrstufig ausgebildet ist.Tank device (4) according to one of the preceding claims, characterized in that the pressure bore (6) is designed in several stages. Tankvorrichtung (4) nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, dass die Druckbohrung (6) zylinderförmig ausgebildet ist.Tank device (4) according to one of the Claims 1 to 5 , characterized in that the pressure bore (6) is cylindrical. Tankvorrichtung (14) nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Sensorvorrichtung (1) ein Sensorelement (2) umfasst, welches Sensorelement (2) eine drucksensitive Dünnschicht in Form einer Membran (28) aufweist.Tank device (14) according to one of the preceding claims, characterized in that the sensor device (1) comprises a sensor element (2), which sensor element (2) has a pressure-sensitive thin layer in the form of a membrane (28). Tankvorrichtung (14) nach dem vorhergehenden Anspruch, dadurch gekennzeichnet, dass das Sensorelement (2) mittels einer Schweißnahtverbindung (8) fest mit dem Gewindeanschlusselement (4) verbunden ist.Tank device (14) according to the preceding claim, characterized in that the sensor element (2) is firmly connected to the threaded connection element (4) by means of a welded seam connection (8). Tankvorrichtung (14) nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, dass das Sensorelement (2) und das Gewindeanschlusselement (4) als einteiliges Bauteil ausgebildet sind.Tank device (14) after Claim 8 , characterized in that the sensor element (2) and the threaded connection element (4) are designed as a one-piece component. Tankvorrichtung (14) nach einem der Ansprüche 8 bis 10, dadurch gekennzeichnet, dass das Sensorelement (2) aus einem Metall, vorzugsweise aus der Klasse der Martensite, hergestellt ist.Tank device (14) according to one of the Claims 8 to 10 , characterized in that the sensor element (2) is made from a metal, preferably from the class of martensites. Brennstoffzellenanordnung (16) mit einer Tankvorrichtung (14) nach einem der vorhergehenden Ansprüche.Fuel cell arrangement (16) with a tank device (14) according to one of the preceding claims. Fahrzeug mit einer Tankvorrichtung (14) zur Speicherung von verdichteten Fluiden nach einem der Ansprüche 1 bis 11.Vehicle with a tank device (14) for storing compressed fluids according to one of the Claims 1 to 11 . Verfahren zur Herstellung einer Beschichtung (12) einer in einer Tankvorrichtung (14) umfassten Sensorvorrichtung (1) nach einem der Ansprüche 1 bis 11 mittels eines ALD-Prozesses (atomic layer deposition, Atomlagenabscheidung).Method for producing a coating (12) of a sensor device (1) comprised in a tank device (14) according to one of the Claims 1 to 11 by means of an ALD process (atomic layer deposition).
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