DE102015212941A1

DE102015212941A1 - Keramischer Formkörper

Info

Publication number: DE102015212941A1
Application number: DE102015212941.1A
Authority: DE
Inventors: Thomas Betz; Harald Kreß
Original assignee: Ceramtec GmbH
Current assignee: BETZ, THOMAS, DE
Priority date: 2014-07-10
Filing date: 2015-07-10
Publication date: 2016-01-14
Also published as: US20170267591A1; WO2016005557A1; CN106536451A; KR20170028985A; EP3166909A1

Abstract

Die Erfindung betrifft einen keramischen Formkörper (1) mit Aussparungen (2), wobei der Formkörper mindestens zwei Platten (Fügeteile) (3) aus keramischem Werkstoff enthält, nämlich eine untere Bodenplatte (9), eine obere Deckplatte (8) und optional eine oder mehrere Zwischenplatte(n) (7), die stapelförmig aufeinander liegen und miteinander flächig zu dem Formkörper (1) verbunden sind und wobei sich zwischen den Platten (Fügeteile) (3) ein Fügematerial (Paste) befindet.

Description

Die Erfindung betrifft keramische Formkörper mit Aussparungen, Verfahren zu deren Herstellung sowie deren Verwendung.
Trockengepresste, stranggepresste oder foliengegossene keramische Formkörper können besonders leicht im noch ungesinterten Zustand gefräst oder gestanzt werden. Durch Fügen mehrerer Formkörper, beispielsweise durch eine aufgebrachte keramische Paste, können Formkörper mit komplizierteren Geometrien wie hinterschnittige Öffnungen hergestellt werden. Es gibt allerdings gravierende Einschränkungen.
Bei grösseren und/oder ungleichmässig geformten Formkörpern (über etwa 100 mm) können durch eine inhomogene Schwindung beim Sintern Abweichungen von der gewünschten Endgeometrie auftreten. Die Handhabung dünner, aber in der Fläche ausgedehnter Formkörper (beispielsweise bei 1 mm Dicke eine laterale Abmessung von 200·300 mm) ist schwierig. Grossflächige Formteile mit Kanalstrukturen (üblicherweise gefräste trockengepresste Teile) müssten mehrere Millimeter dick sein, um eine ausreichende Stabilität für die Verarbeitung zu bieten. Dünne keramische Folien sind zwar handzuhaben, aber die Kombination (Stackbildung) von vielen Folien mit unterschiedlich weiten Bohrungen oder Fenstern ist schwierig, da die Verdichtung an den Öffnungen beim Laminieren ungleichmässig ist.
Das schnelle, blasenfreie Zusammenbringen grossflächiger, saugender, mit Flüssigkeit beschichteter, mechanisch noch instabiler Formkörper ist schwierig.
Weiterhin ist die Gefahr der Rissbildung während des Sinterns bei komplizierten Geometrien hoch.
Zur Lösung dieser Probleme wurde ein keramischer Formkörper mit Aussparungen entwickelt, welcher dadurch gekennzeichnet ist, dass der Formkörper mindestens zwei Platten (Fügeteile) aus keramischem Werkstoff enthält, nämlich eine untere Bodenplatte, eine obere Deckplatte und optional eine oder mehrere Zwischenplatte(n), die stapelförmig aufeinander liegen und miteinander flächig zu dem Formkörper verbunden sind und wobei sich zwischen den Platten (Fügeteile) ein Fügematerial (Paste) befindet.
Außerdem wird ein Verfahren zur Herstellung der Formkörper vorgeschlagen, welches dadurch gekennzeichnet ist,

a. dass aus einem keramischen Grundmaterial, das mit Grünkörper-Sinterhilfsmitteln versetzt ist, flache keramische Grünkörper-Platten ggf. mit Aussparungen hergestellt und diese anschließend gesintert werden zur Schaffung flacher Keramikplatten,
b. dass die Keramikplatten ggf. gelasert oder hart bearbeitet werden, um die benötigten Aussparungen einzubringen und
c. dass auf die gesinterten Keramikplatten eine Paste des aufgerührten keramischen Grundmaterials versetzt mit Sinterhilfsmitteln aufgetragen wird, die so beschichteten Keramikplatten, auch Fügeteile genannt, zu einem Stapel geschichtet werden und dieser Stapel gesintert wird.

Bevorzugt wird als keramisches Grundmaterial Aluminiumnitrid AlN und als Sinterhilfsmittel Y₂O₃ oder CaO verwendet.
Damit kein unnötig großer Bauraum entsteht, haben die Fügeteile eine Dicke unter 2 mm bevorzugt ≤ 1 mm.
In einer erfindungsgemäßen Ausgestaltung werden auf die Fügeteile vor oder nach dem Sintern des Stapels Metallisierungen aufgebracht. Diese werden bevorzugt aufgedruckt und anschließend versintert oder ausgehärtet.
Zur Schaffung von Kühl- oder Heizräumen und Kanälen werden diese als Aussparungen in die Keramikplatten so eingelasert, dass im gefügten Formkörper Kühl- oder Heizstrukturen, wie Kanäle oder Mäander eingeformt sind. Wenn nach dem Lasern Wandstrukturen in den Keramikplatten verbleiben, kann das Kühl- oder Heizmedium an die Stellen geleitet werden, an denen eine besondere Kühlung oder Heizung bzw. Temperierung erforderlich ist.
Damit Kühl- oder Heizmedium in den Formkörper geleitet werden kann, werden mit dem Formkörper Anschlusselemente oder Verschlusselemente verbunden, die in einer Ausführungsform versintert werden und die mit den Aussparungen verbunden sind.
Die Anschlusselemente sind vorteilhaft Anschlussrohre mit einer Schlauchtülle oder Rohrestücke, die einen auskragenden Flansch aufweisen, der im Bereich der Aussparungen mit dem Formkörper verbunden ist oder der zwischen zwei Keramikplatten versintert ist.
Ein erfindungsgemäßer Formkörper ist dadurch gekennzeichnet, dass der Formkörper aus mindestens zwei Keramikplatten besteht, einer unteren Bodenplatte, optional einer oder mehrerer Zwischenplatte/n und einer oberen Deckplatte, wobei in der Bodenplatte oder Deckplatte Bohrungen, in der Bodenplatte oder der oder den Zwischenplatte/n Kanäle und/oder Ausnehmungen angeordnet sind, wobei die Bohrungen mit den Kanälen und/oder Ausnehmungen verbunden sind.
In einer Ausführungsform ist der Formkörper eine Mikropumpe, die dadurch gekennzeichnet ist, dass sie aus drei Keramikplatten besteht, einer unteren Bodenplatte mit einer Achse auf der ein metallisches oder metallisiertes Flügelrad angeordnet ist, einer Zwischenplatte, die den Förderraum und die Zuleitungen enthält und aus einer oberen Deckplatte, die den Förderraum und die Zuleitungen abdeckt.
Zur Herstellung von geometrisch komplizierten, exakt dimensionierten Formkörpern werden erfindungsgemäß gesinterte flache keramische Platten zunächst gelasert, um die benötigten Aussparungen einzubringen. Dann wird eine Paste von aufgerührter Keramik mit Siebdruck, Walze (oder anderen Beschichtungsverfahren) aufgetragen. Die beschichteten Fügeteile werden dann zu einem Stack zusammengestellt und erneut gesintert.
Besteht die Keramik aus AlN, welches üblicherweise mit einem Sinterhilfsmittel wie Y₂O₃ in einer Konzentration von 2–5% versetzt ist, kann durch Anwendung eines Fügematerials mit einer leicht erhöhten oder erniedrigten Konzentration an Y₂O₃ gegenüber dem Grundmaterial eine verstärkte Diffusion des Y₂O₃ bzw. der gebildeten YAlO-Phasen vom Fügematerial in die Formkörper zu erreicht werden, welche zu einer fast völligen Freiheit von Fehlstellen in der Fügezone und zu hermetisch gasdichten Bauteilen führt.
Da diese vorgesinterten Fügeteile bereits sehr stabil sind, können die einzelnen Fügeteile daher relativ dünn, beispielsweise weniger als 1 mm dick, ausgestaltet werden.
Die Formkörper können im Inneren wie auf der Oberfläche auch metallisiert sein. Eine innere Metallisierung kann besonders geeignet mit hochschmelzenden Metallen wie Platin, Molybdän oder Wolfram erfolgen. Eine äussere Metallisierung kann mit den bekannten Methoden/Materialien erfolgen (W, Mo, Ag, Cu etc.).
Es können in die einzelnen Ebenen des Formkörpers Öffnungen mit unterschiedlichen Durchmessern beispielsweise über Lasern (exakte Geometrie) eingebracht werden, wobei die Öffnungen durch den Formkörper durchgängig gleich gross, oder gestaffelt, oder beliebig alternierend sein können.
In die gefügten Formkörper können auch Kanäle oder Mäander (Kühl- oder Heizstrukturen) eingearbeitet sein, die zum Temperieren verwendet werden können.
Die Formkörper können Aussparungen auch aus Gründen der Gewichtsersparnis besitzen, wobei letztendlich nur ein feines stabiles Keramikgerüst entsteht.
Mehrere aus n Ebenen gefügte Formkörper können auch lateral wie Kacheln mit weiteren Formkörpern hermetisch dicht verbunden sein.
Verwendung finden solche geschichteten Formkörper z.B. in Vakuumchucks, Heizplatten, Kühlern.
Das nachfolgende Beispiel soll die Erfindung näher erläutern, ohne sie einzuschränken.
Beispiel:
Drei halbkreisförmige, foliengegossene und gesinterte Platten – 1 mm dick, Radius 100 mm – aus AlN mit Y₂O₃ als Sinterhilfsmittel, werden gelasert. Dabei werden unterschiedlich grosse Kreise aus jeder Platte derart ausgeschnitten, dass nach Übereinanderlegen der 3 Platten auch unterschiedlich weite Öffnungen zentrisch aufeinander liegen. Eine Paste aus AlN und Y₂O₃ wird durch Suspendieren der Feststoffe in einem geeigneten Öl (Siebdrucköl oder Pastenorganik) hergestellt. Die wird im Siebdruckverfahren auf die zu verbindenden Platten gedruckt und die so beschichteten Platten dann aufeinander gelegt/verklebt.
Diese Anordnung von drei verklebten AlN-Platten wird bei geeigneten Temperaturen in N₂ gesintert.
Mit den erfindungsgemäßen Formkörpern können auch Formteile zur Kühlung von Leistungs-Bauelementen, Lichtquellen oder temperatursensiblen Bauteilen hergestellt werden.
Der Ausdruck "im Wesentlichen" bzw. "etwa" bedeutet im Sinne der Erfindung Abweichungen vom jeweils exakten Wert um +/–10%, bevorzugt um +/–5% und/oder Abweichungen in Form von für die Funktion unbedeutenden Änderungen.
Die erfindungsgemäßen Formkörper enthalten somit mehrere Platten, die jeweils aus keramischem Werkstoff bestehen und stapelförmig aufeinander liegend und miteinander flächig zu dem Formkörper verbunden sind. Bevorzugt weist der Formkörper auf seiner Oberfläche Metallisierungen auf, auf die Leistungsbauelemente aufgelötet sein können. Im Formkörper befindet sich zum Temperieren eine Kühl- oder Heizstruktur, d.h. Strömungswege für ein Kühl- oder Heizmedium, die von einem Kühl oder Heizmedium, bevorzugt einer Kühl oder Heizflüssigkeit beaufschlagt werden, sodass die Kühl- oder Heizstruktur zum Temperieren verwendet werden kann. Das Kühl- oder Heizmedium wird durch die Kühl- oder Heizstruktur gepumpt, gesaugt oder kann durch Schwerkraft hindurch fließen. Damit das Kühl- oder Heizmedium in den Formkörper geleitet werden kann, befinden sich in der Bodenplatte oder in der Deckplatte zumindest zwei Öffnungen, die mit Anschlussflanschen verbunden sein können. In einer vorzugsweisen Ausgestaltung befinden sich die Kühl- oder Heizkanäle in Achsrichtung parallel zu den Oberflächenseiten der Boden- oder Deckplatte.
Bevorzugt befindet sich in der Bodenplatte des erfindungsgemäßen Formkörpers zumindest eine Erhebung, die auf der gleichen Höhe wie der Randbereich der Bodenplatte ist. Diese Erhebungen weisen also die volle Höhe der Bodenplatte auf und dienen erstens zum Leiten des Kühl- oder Heizmediums und zweitens als Auflagefläche für die Deckplatte oder die sich darüber befindliche Keramikplatte.
Der keramische Werkstoff der Keramikplatten kann ausgewählt sein aus einer oder mehreren der nachstehenden Gruppen: Aluminiumoxid, Aluminiumnitrid, Siliziumnitrid, Siliziumcarbid oder eine Mischkeramik aus Aluminiumoxid und Zirkonoxid (ATZ oder ZTA) bzw. Siliziumoxid (Alumosilikat).
Weiterbildungen, Vorteile und Anwendungsmöglichkeiten der Erfindung ergeben sich auch aus der nachfolgenden Beschreibung von Ausführungsbeispielen. Dabei sind alle beschriebenen und/oder bildlich dargestellten Merkmale für sich oder in beliebiger Kombination grundsätzlich Gegenstand der Erfindung, unabhängig von ihrer Zusammenfassung in den Ansprüchen oder deren Rückbeziehung. Auch wird der Inhalt der Ansprüche zu einem Bestandteil der Beschreibung gemacht.
Die erfindungsgemäßen keramischen Formkörper können als temperierbarer Vakuumchuck für die Fertigung von Si-Wafern verwendet werden.
Zudem eignen sich die erfindungsgemäßen keramischen Formkörper zur Verwendung als Setterplatte beispielsweise für das Metal-Injection-Molding.
Die erfindungsgemäßen keramischen Formkörper sind außerdem als (beheizbares/ kühlbares) Modul für die Temperierung von Energiespeichern wie Batterien oder Akkus verwendbar.
Die Erfindung wird im Folgenden anhand der Figuren von Ausführungsbeispielen näher erläutert.
1 zeigt einen Ausschnitt aus einem erfindungsgemäßen keramischen Formkörper 1, der aus mehreren Keramikplatten 3 besteht. Mit dem Bezugszeichen 7 sind Zwischenplatten aus einem keramischen Material bezeichnet. Auf die oberste Zwischenplatte 7 ist eine keramische Deckplatte 8 gelegt und versintert. In der Deckplatte 8 sind Bohrungen 10 eingebracht, durch die ein Kühlmedium in den Formkörper eingeleitet werden kann. In die Zwischenplatten 3 sind Aussparungen 2 eingelasert, die im Formkörper Bohrungen, Kanäle und Ausnehmungen 12 bilden. Zum Anschluss von Temperiermedien sind Anschlusselemente 4 mit dem Formkörper 1 verbunden. Diese Anschlusselemente haben in der gezeigten Ausführungsform einen auskragenden Flansch 6 und eine durchgehende Bohrung 17, die mit den Aussparungen 2 oder Ausnehmungen 12 in Verbindung steht. (Nicht gezeigt: die Anschlusselemente können in Form von Schlauchtüllen oder Rohrstücken ausgestaltet sein). Der auskragende Flansch 6 ist entweder auf den Formkörper 1 aufgeklebt, kann aber auch zwischen zwei Keramikplatten 3 eingesintert werden.
2 zeigt die gleiche Ausführungsform wie in 1, jedoch nur mit einem Anschlusselement 4.
3 zeigt die gleiche Ausführungsform wie in den 1 und 2, jedoch zusätzlich mit einem Verschlusselement 5 und einer Bodenplatte 9.
Die 4 und 5 zeigen einen erfindungsgemäßen Formkörper 1, der in dieser Ausführungsform die exemplarische Ausgestaltung einer Mikropumpe darstellt. Die Mikropumpe besteht aus drei Keramikplatten 3, einer unteren Bodenplatte 9 mit einer Achse 13 auf der ein metallisches oder metallisiertes Flügelrad 14 (nur schematisch eingezeichnet) angeordnet ist, einer Zwischenplatte 7, die als Ausnehmung 12 einen Förderraum 15 enthält und mit Zuleitungen 16 bzw. Kanälen 11 für das zu fördernde Medium. Eine obere Deckplatte 8 deckt den Förderraum 15 und die Zuleitungen 16 ab. Bezugszeichen 18 zeigt schematisch eine Paste vor dem Sintern. In 5 ist das Flügelrad 14 nicht gezeigt.
In den 6 und 7 ist ein Formkörper 1 vor dem Sintern aus zwei Keramikplatten 3 gezeigt. Dieser besteht aus einer Bodenplatte 9 und einer Deckplatte 8. In die Bodenplatte 9 ist eine Aussparung 2 eingelasert. Außerdem führen zwei Bohrungen 10 von außen in die Aussparung 2. In der Aussparung in der Bodenplatte 9 ist eine Erhebung 19 angeordnet, deren Oberfläche auf der gleichen Höhe wie der Randbereich 21 der Bodenplatte 9 ist. Diese Erhebung 19 weist also die volle Höhe der Bodenplatte 9 auf und dient erstens zum Leiten des Kühlmediums und zweitens als Auflagefläche für die Deckplatte 8. Die Erhebung 19 ist zwischen den Bohrungen 10 angeordnet, so dass sich ein gewünschter Strömungsweg bildet.
In den 8, 9 und 10 ist ein Formkörper 1 mit einem Kanal 11 gezeigt, der durch ein Verschlusselement 5 nach außen verschlossen ist. Dieses Verschlusselement 5 kann aufgeklebt oder aber auch versintert werden. In den 11 und 12 ist jeweils ein Anschlusselement 4 mit radialen Auskragungen 6 gezeigt. Das Anschlusselement 4 gemäß 12 besteht aus einem flexiblen Material, z. B. Gummi und kann mit seinen Haken 20 die Kanäle verschließen.

Claims

Keramischer Formkörper (1) mit Aussparungen (2), dadurch gekennzeichnet, dass der Formkörper mindestens zwei Platten (Fügeteile) (3) aus keramischem Werkstoff enthält, nämlich eine untere Bodenplatte (9), eine obere Deckplatte (8) und optional eine oder mehrere Zwischenplatte(n) (7), die stapelförmig aufeinander liegen und miteinander flächig zu dem Formkörper (1) verbunden sind und wobei sich zwischen den Platten (Fügeteile) (3) ein Fügematerial (Paste) befindet.
Keramischer Formkörper (1) nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass als Aussparungen (2) in den Platten (3) Strukturen wie Kanäle oder Mäander eingeformt sind.
Keramischer Formkörper (1) nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass die einzelnen Fügeteile (3) eine Dicke von unter 2 mm bevorzugt ≤ 1 mm aufweisen.
Keramischer Formkörper (1) nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass die Bodenplatte (9) und die Deckplatte (8) Bohrungen (10) aufweisen und in der Bodenplatte (9) oder der/den Zwischenplatte(n) (7) Kanäle (11) und/oder Ausnehmungen (12) vorhanden sind, wobei die Bohrungen (10) mit den Kanälen (11) und/oder Ausnehmungen (12) verbunden sind.
Keramischer Formkörper (1) nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass der Formkörper (1) auf seiner Oberfläche eine Metallisierung aufweist.
Keramischer Formkörper (1) nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass der Formkörper (1) eine innere Metallisierung, insbesondere aus Platin, Molybdän oder Wolfram aufweist.
Keramischer Formkörper (1) nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass sich in den einzelnen Ebenen des Formkörpers (1) Öffnungen mit unterschiedlichen Durchmessern befinden, wobei die Öffnungen durch den Formkörper (1) durchgängig gleich groß oder gestaffelt oder beliebig alternierend sind.
Keramischer Formkörper (1) nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass in den Formkörper (1) eine Kühl- oder Heizstruktur, die Strömungswege (Kühl- bzw. Heizkanäle) für das Kühl- oder Heizmedium umfasst, eingearbeitet ist und das Kühl- oder Heizmedium durch die Kühl- oder Heizstruktur gepumpt werden kann, wobei sich in der Bodenplatte (9) oder in der Deckplatte (8) zumindest zwei Öffnungen befinden, die mit Anschlussflanschen verbunden sein können.
Keramischer Formkörper (1) nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, dass sich die Kühl- oder Heizkanäle in Achsrichtung parallel zu den Oberflächenseiten der Boden- oder Deckplatte (8, 9) befinden.
Keramischer Formkörper nach Anspruch 8 und 9, dadurch gekennzeichnet, dass Anschlusselemente (4) oder Verschlusselemente (5) mit dem Formkörper (1) verbunden sind, bevorzugt versintert sind, die mit den Aussparungen (2) verbunden sind.
Keramischer Formkörper (1) nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, dass die Anschlusselemente (4) Anschlussrohre sind, die einen auskragenden Flansch (6) aufweisen, der im Bereich der Aussparungen (2) mit dem Formkörper (1) verbunden ist oder der zwischen zwei Keramikplatten (3) versintert ist.
Keramischer Formkörper (1) nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass sich in der Bodenplatte (9) zumindest eine Erhebung befindet, die auf der gleichen Höhe wie der Randbereich der Bodenplatte (9) ist, also die volle Höhe der Bodenplatte (9) aufweist.
Keramischer Formkörper (1) nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass das keramische Grundmaterial der Platten (3) ausgewählt ist aus Aluminiumoxid, Aluminiumnitrid, Siliziumnitrid und/oder Siliziumcarbid oder aus einer Mischkeramik aus Aluminiumoxid und Zirkonoxid bzw. Siliziumoxid und ggfls. ein Sinterhilfsmittel enthält.
Keramischer Formkörper (1) nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass das Fügematerial ausgewählt ist aus Aluminiumoxid, Aluminiumnitrid, Siliziumnitrid und/oder Siliziumcarbid oder aus einer Mischkeramik aus Aluminiumoxid und Zirkonoxid bzw. Siliziumoxid und ein Sinterhilfsmittel enthält.
Keramischer Formkörper (1) nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass das Fügematerial als Sinterhilfsmittel Y₂O₃ oder CaO enthält.
Keramischer Formkörper (1) nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass das keramische Grundmaterial Aluminiumnitrid AlN ist.
Keramischer Formkörper (1) nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass das Sinterhilfsmittel des Fügematerials eine leicht erhöhte oder erniedrigte Konzentration gegenüber dem Sinterhilfsmittel des keramischen Grundmaterials aufweist.
Keramischer Formkörper (1) nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass das Sinterhilfsmittel des keramischen Grundmaterials in einer Konzentration von 2 bis 5% enthalten ist und das Fügematerial eine erhöhte Konzentration an Sinterhilfsmittel gegenüber dem Grundmaterial von etwa +1 bis +5% aufweist.
Keramischer Formkörper (1) nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass das Sinterhilfsmittel Y₂O₃ oder CaO ist.
Verfahren zur Herstellung eines flachen keramischen Formkörpers (1) nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, a. dass aus einem keramischen Grundmaterial, das mit Sinterhilfsmitteln versetzt ist, flache keramische Grünkörper-Platten hergestellt und diese anschließend gesintert werden zur Schaffung flacher Keramikplatten (3), b. dass die in die Keramikplatten (3) die benötigten Aussparungen (2) eingebracht werden, c. dass auf die gesinterten Keramikplatten (3) eine Paste des keramischen Grundmaterials versetzt mit Sinterhilfsmitteln aufgetragen wird, die so beschichteten Keramikplatten (3), auch Fügeteile (3) genannt, zu einem Stapel geschichtet werden und dieser Stapel gesintert wird.
Verfahren nach Anspruch 20, dadurch gekennzeichnet, dass die einzelnen Fügeteile (3) eine Dicke unter 2 mm bevorzugt ≤ 1 mm haben.
Verfahren nach Anspruch 20 oder 21, dadurch gekennzeichnet, dass auf die Fügeteile (3) vor oder nach dem Sintern des Stapels Metallisierungen aufgebracht werden.
Verfahren nach einem der Ansprüche 20 bis 22, dadurch gekennzeichnet, dass die Aussparungen (2) in die Keramikplatten (3) so eingebracht werden, dass im gefügten Formkörper (1) Strukturen, wie Kanäle oder Mäander eingeformt sind.
Verfahren nach einem der Ansprüche 20 bis 23, dadurch gekennzeichnet, dass mit dem Formkörper (1) Anschlusselemente (4) oder Verschlusselemente (5) verbunden, bevorzugt versintert werden, die mit den Aussparungen (2) verbunden sind.
Verfahren nach Anspruch 24, dadurch gekennzeichnet, dass die Anschlusselemente (4) Anschlussrohre sind, die einen auskragenden Flansch (6) aufweisen, der im Bereich der Aussparungen (2) mit dem Formkörper (1) verbunden ist oder der zwischen zwei Keramikplatten (3) versintert ist.