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DE102014110271B4 - Optoelectronic component and method for producing an optoelectronic component - Google Patents

Optoelectronic component and method for producing an optoelectronic component Download PDF

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DE102014110271B4
DE102014110271B4 DE102014110271.1A DE102014110271A DE102014110271B4 DE 102014110271 B4 DE102014110271 B4 DE 102014110271B4 DE 102014110271 A DE102014110271 A DE 102014110271A DE 102014110271 B4 DE102014110271 B4 DE 102014110271B4
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optoelectronic component
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Christoph Kefes
Stefan Dechand
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Osram Oled GmbH
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Abstract

Verfahren (120) zum Herstellen eines optoelektronischen Bauelementes (400), das Verfahren (120) aufweisend: • ein Bereitstellen (130) eines Substrats (100), • ein Ausbilden (140) einer Schicht auf oder über dem Substrat (100) in einem ersten Bereich (102) und einem zweiten Bereich (104), wobei der erste Bereich (102) neben dem zweiten Bereich (104) angeordnet ist; und • wobei die Schicht im ersten Bereich (102) und im zweiten Bereich (104) wenigstens teilweise gleichzeitig ausgebildet wird, – wobei die Schicht im ersten Bereich (102) mit einer ersten Dicke und einer strukturierten Oberfläche ausgebildet wird; – wobei die Schicht im zweiten Bereich (104) mit einer zweiten Dicke ausgebildet wird, wobei die zweite Dicke größer ist als die erste Dicke; und – wobei die Schicht im ersten Bereich (102) bezüglich sichtbaren Lichts transluzent oder transparent und die Schicht im zweiten Bereich (104) bezüglich sichtbaren Lichts opak und/oder spiegelnd ausgebildet werden.Method (120) for producing an optoelectronic component (400), the method (120) comprising: • providing (130) a substrate (100), • forming (140) a layer on or above the substrate (100) in one first region (102) and a second region (104), wherein the first region (102) is disposed adjacent to the second region (104); and wherein the layer is formed at least partially simultaneously in the first region and in the second region, the layer being formed in the first region having a first thickness and a structured surface; - wherein the layer in the second region (104) is formed with a second thickness, wherein the second thickness is greater than the first thickness; and - wherein the layer in the first region (102) is translucent or transparent to visible light and the layer in the second region (104) is made opaque and / or specular with respect to visible light.

Description

Die Erfindung betrifft ein optoelektronisches Bauelement und ein Verfahren zum Herstellen eines optoelektronischen Bauelements.The invention relates to an optoelectronic component and to a method for producing an optoelectronic component.

In verschiedenen Beleuchtungsanwendungen ist es sinnvoll, dass die Beleuchtungsrichtung einer Beleuchtungsvorrichtung gewechselt werden kann oder eine gleichzeitige Beleuchtung in zueinander entgegengesetzte Richtungen erfolgen kann.In various lighting applications, it makes sense that the illumination direction of a lighting device can be changed or a simultaneous illumination in opposite directions can take place.

Bei einer herkömmlichen hybriden Beleuchtungsvorrichtung mit nebeneinander angeordneten Beleuchtungsbereichen werden die nebeneinander angeordneten Beleuchtungsbereiche unter hohem Herstellungsaufwand produziert. In einem herkömmlichen Verfahren wird eine Beleuchtungsvorrichtung mit einem ersten Beleuchtungsbereich 702 und einem zweiten Beleuchtungsbereich 704 auf einem Träger 700 mittels eines Mehrmaskenprozesses hergestellt, dargestellt in 7A–C. Der erste Beleuchtungsbereich 702 ist ein transparentes leuchtendes Feld und der zweite Beleuchtungsbereich 704 ein so genannter Bottom-Emitter, der neben dem ersten Beleuchtungsbereich 702 angeordnet ist. Veranschaulicht in 7A sind nur die Kathoden der Beleuchtungsvorrichtung 700 mit unterschiedlicher Transparenz.In a conventional hybrid lighting device with lighting areas arranged next to one another, the lighting areas arranged next to one another are produced with high production costs. In a conventional method, a lighting device is provided with a first lighting area 702 and a second illumination area 704 on a carrier 700 produced by a multi-mask process, shown in FIG 7A -C. The first lighting area 702 is a transparent luminous field and the second lighting area 704 a so-called bottom emitter next to the first lighting area 702 is arranged. Illustrated in 7A are only the cathodes of the lighting device 700 with different transparency.

Dabei wird zunächst der erste Beleuchtungsbereich 702 mittels einer ersten Maske 708 mit einer ersten Öffnung 710 ausgebildet, indem das Material 706 des ersten Beleuchtungsbereiches 702 durch die erste Öffnung 710 auf dem Träger 700 abgeschieden wird, dargestellt in 7B. Anschließend wird eine zweite Maske 714 mit einer zweiten Öffnung 716 über dem Träger 700 angeordnet. Die zweite Öffnung 716 wird dabei über dem Träger 700 neben dem ersten Beleuchtungsbereich 702 ausgerichtet. Durch die zweite Öffnung 716 wird dann das Material 712 auf dem Träger 700 abgeschieden, dargestellt in 7C. Dabei besteht das Risiko, dass schon abgeschiedene Maskenschichten des ersten Beleuchtungsbereiches 702 durch das Abscheiden des Materials 712 des zweiten Beleuchtungsbereiches 704 beeinträchtigt werden, beispielsweise durch Defekte oder Partikel zwischen der zweiten Maske 714 und dem ersten Beleuchtungsbereich 702.First, the first lighting area 702 by means of a first mask 708 with a first opening 710 formed by the material 706 of the first lighting area 702 through the first opening 710 on the carrier 700 is deposited, shown in 7B , Subsequently, a second mask 714 with a second opening 716 over the carrier 700 arranged. The second opening 716 is doing over the carrier 700 next to the first lighting area 702 aligned. Through the second opening 716 then becomes the material 712 on the carrier 700 deposited, shown in 7C , There is the risk that already deposited mask layers of the first illumination area 702 by depositing the material 712 of the second illumination area 704 be affected, for example by defects or particles between the second mask 714 and the first lighting area 702 ,

In einem weiteren herkömmlichen Verfahren wird das Beleuchtungslicht der Beleuchtungsvorrichtung seitlich mittels Leuchtdioden (light emitting diode – LED) in einen Wellenleiter eingekoppelt, auch bezeichnet als Seiteneinkopplungslösung, wobei ein Wellenleiter als transparente/intransparente Abdeckung der LEDs ausgebildet ist.In another conventional method, the illumination light of the illumination device is laterally coupled by means of light emitting diodes (LED) in a waveguide, also referred to as Seiteneinkopplungslösung, wherein a waveguide is designed as a transparent / opaque cover of the LEDs.

In einem weiteren herkömmlichen Verfahren werden verschiedene singuläre organische Leuchtdioden (organic light emitting diode – OLED) verschiedener Bauformen (transparent, Bottom-Emitter, Top-Emitter) parallel oder seriell angeordnet. Die dazu notwendige Verkabelung der OLEDs und ein hybrider Aufbau aus einzelnen OLEDs kann jedoch sehr aufwändig sein.In another conventional method, various singular organic light emitting diodes (OLEDs) of different types (transparent, bottom emitter, top emitter) are arranged in parallel or in series. However, the necessary wiring of the OLEDs and a hybrid structure of individual OLEDs can be very complex.

US 2007/0126681 A1 zeigt ein Verfahren zum Bilden einer Schicht mit unterschiedlichen Schichtdicken in einem Zentralbereich und einem Seitenbereich auf einem Substrat. US 2007/0126681 A1 shows a method of forming a layer having different layer thicknesses in a central area and a side area on a substrate.

X. T. Hao et al. „Colour tunability of polymeric light-emitting diodes with top emission architecture”, Semicond. Sci. Technol., 21 (2006) S. 19–24 zeigt einen Versuchsaufbau, bei dem Indiumzinnoxid (ITO) zwischen einer Silberanode und einem Polymerstapel als geschichtete Anode angebracht wird.X.T. Hao et al. "Color tunability of polymeric light-emitting diodes with top emission architecture", Semicond. Sci. Technol., 21 (2006) pp. 19-24 shows an experimental setup in which indium tin oxide (ITO) is applied between a silver anode and a polymer stack as a layered anode.

US 2009/0231243 A1 zeigt eine organische lichtemittierende Anzeigevorrichtung mit einer Zwischenschichtmit einer Lochtransportschicht, deren Dicke im roten Pixel R am größten ist. US 2009/0231243 A1 shows an organic light-emitting display device with an intermediate layer with a hole transport layer whose thickness in the red pixel R is the largest.

Die Aufgabe der Erfindung ist es, ein lateral strukturiertes optoelektronisches Bauelement in vereinfachter Herstellungsweise auszubilden. Das optoelektronische Bauelement ist beispielsweise ein flächenartiges Bauteil, z. B. eine bidirektionale organische Leuchtdioden(organic light emitting diode – OLED)-Leuchte.The object of the invention is to form a laterally structured optoelectronic component in a simplified production manner. The optoelectronic component is for example a sheet-like component, for. B. a bidirectional organic light-emitting diodes (organic light emitting diode - OLED) -Leuchte.

Die Aufgabe wird gemäß einem Aspekt der Erfindung gelöst durch ein optoelektronisches Bauelement, das eine optisch aktive Struktur mit wenigstens einer elektrolumineszierenden Schicht aufweist. Die elektrolumineszierende Schicht ist zum Bereitstellen einer elektromagnetischen Strahlung aus einem elektrischen Strom ausgebildet. Zusätzlich weist das optoelektronische Bauelement wenigstens eine Schicht mit einem ersten Bereich und einem zweiten Bereich auf. Der erste Bereich ist neben dem zweiten Bereich angeordnet. Der erste Bereich und der zweite Bereich sind im Strahlengang der elektromagnetischen Strahlung angeordnet und/oder die Schicht ist ein Teil der optisch aktiven Struktur. Die Schicht weist im ersten Bereich eine erste Dicke und eine strukturierte Oberfläche auf. Im zweiten Bereich weist die Schicht eine zweite Dicke auf, wobei die zweite Dicke größer ist als die erste Dicke. Die Schicht im ersten Bereich werden bezüglich sichtbaren Lichts transluzent oder transparent und die Schicht im zweiten Bereich bezüglich sichtbaren Lichts opak und/oder spiegelnd ausgebildet.The object is achieved according to one aspect of the invention by an optoelectronic component having an optically active structure with at least one electroluminescent layer. The electroluminescent layer is configured to provide electromagnetic radiation from an electrical current. In addition, the optoelectronic component has at least one layer with a first region and a second region. The first area is located next to the second area. The first region and the second region are arranged in the beam path of the electromagnetic radiation and / or the layer is a part of the optically active structure. The layer has a first thickness and a structured surface in the first region. In the second region, the layer has a second thickness, wherein the second thickness is greater than the first thickness. The layer in the first region is made translucent or transparent with respect to visible light, and the layer in the second region is made opaque and / or specular with respect to visible light.

Die beiden Bereiche der Schicht ermöglichen eine lateral strukturierte bidirektionale organische Leuchtdiode mit exakten Übergängen zwischen den verschiedenen Bereichen auf einem Trägersubstrat. Dadurch werden neue Gestaltungsmöglichkeiten für das optoelektronische Bauelement ermöglicht. Weiterhin wird das Defekt- und Partikelrisiko reduziert, das durch den Einsatz von mehreren Schattenmasken erhöht wird. Dies führt zu einer höheren Ausbeute beim Herstellen der optoelektronischen Bauelemente und einem optoelektronischen Bauelement mit einer engen, quasi übergangslosen Aneinanderreihung von unterschiedlich abstrahlenden optoelektronischen Bauelemente-Einheiten bzw. optisch aktiven Strukturen. Dies ermöglicht zudem ein optoelektronisches Bauelement, das im ersten Bereich durchlässig für Licht ist und im zweiten Bereich undruchlässig für Licht ist. Dadurch kann in der elektromagnetische Strahlung emittierenden Fläche eine optische Strukturierung realisiert werden, beispielsweise in Form eines freistehenden Bereiches in der strahlungsemittierenden Fläche. Die elektromagnetische Strahlung emittierende Fläche des optoelektronischen Bauelementes kann auch als optisch aktive Fläche, lichtemittierende Fläche, strahlungsemittierende Fläche, Leuchtfläche oder emittierende Fläche bezeichnet werden. Mittels der optischen Strukturierung der emittierenden Fläche kann in der emittierenden Fläche eine Information dargestellt werden, beispielsweise ein Symbol, ein Schriftzug, ein Piktogramm oder ein Ideogramm.The two regions of the layer enable a laterally structured bi-directional organic light-emitting diode with exact transitions between the different regions on a carrier substrate. This will be new Design options for the optoelectronic device allows. Furthermore, the defect and particle risk is reduced, which is increased by the use of multiple shadow masks. This leads to a higher yield in the production of the optoelectronic components and an optoelectronic component with a narrow, almost seamless sequential arrangement of differently emitting optoelectronic component units or optically active structures. This also allows an optoelectronic device, which is permeable to light in the first region and is suitable for light in the second region. As a result, an optical structuring can be realized in the surface emitting electromagnetic radiation, for example in the form of a freestanding region in the radiation-emitting surface. The surface emitting the electromagnetic radiation of the optoelectronic component may also be referred to as optically active surface, light emitting surface, radiation emitting surface, luminous surface or emitting surface. By means of the optical structuring of the emitting surface, information can be displayed in the emitting surface, for example a symbol, a lettering, a pictogram or an ideogram.

Gemäß einer weiteren Weiterbildung des optoelektronischen Bauelements weist das optoelektronische Bauelement eine erste Elektrode und eine zweite Elektrode auf. Die Schicht weist ein elektrisch leitendes Material auf oder ist daraus gebildet. Beispielsweise ist die Schicht als erste Elektrode oder zweite Elektrode des optoelektronischen Bauelements ausgebildet. Alternativ oder zusätzlich weist die Schicht ein optisch aktives Material auf oder ist daraus gebildet, beispielsweise ein elektrolumineszierendes und/oder fotolumineszierendes Material. Eine elektrisch leitende, elektrolumineszierende Schicht kann als eine Emitterschicht des optoelektronischen Bauelementes ausgebildet sein. Eine elektrisch nicht-leitende, fotolumineszierende Schicht kann als eine Leuchtstoffschicht ausgebildet sein. Die Elektrode als Schicht im Bereich mit zweiter Dicke weist eine geringere Transmission auf als die Elektrode im Bereich mit erster Dicke. Weiterhin erhöht die strukturierte Oberfläche der Elektrode im ersten Bereich die Auskopplung von elektromagnetischer Strahlung aus der optisch aktiven Struktur. Die strukturierte Oberfläche kann somit als Auskoppelstruktur ausgebildet sein, beispielsweise indem die strukturierte Oberfläche eine Strukturierung im Bereich der Wellenlänge der elektromagnetischen Strahlung aufweist. Zusätzlich oder alternativ kann die strukturierte Oberfläche die Stromverteilung in der Elektrode erhöhen. Bei einer Emitterschicht oder Leuchtstoffschicht können mittels der Dicke der Schicht die Eigenschaften der emittierten elektromagnetischen Strahlung eingestellt werden, beispielsweise der Farbort oder das Farbbin. Bei der Emitterschicht erfolgt dies mittels der unterschiedlichen optischen Länge der optischen Kavität bei unterschiedlichen Dicken der Schicht. Bei der Leuchtstoffschicht erfolgt dies mittels des unterschiedlichen absoluten Anteils der in der Leuchtstoffschicht wellenlängenkonvertierten elektromagnetischen Strahlung. Mittels der strukturierten Oberfläche der Emitterschicht oder Leuchtstoffschicht im ersten Bereich kann eine vorgegebene Inhomogenität in der emittierenden Fläche realisiert werden. Beispielsweise kann dadurch ein vorgegebenes Farbmuster in der Leuchtfläche realisiert werden.According to a further development of the optoelectronic component, the optoelectronic component has a first electrode and a second electrode. The layer comprises or is formed from an electrically conductive material. For example, the layer is formed as a first electrode or second electrode of the optoelectronic component. Alternatively or additionally, the layer comprises or is formed from an optically active material, for example an electroluminescent and / or photoluminescent material. An electrically conductive, electroluminescent layer may be formed as an emitter layer of the optoelectronic component. An electrically nonconductive, photoluminescent layer may be formed as a phosphor layer. The electrode as a layer in the region of the second thickness has a lower transmission than the electrode in the region of the first thickness. Furthermore, the structured surface of the electrode in the first region increases the coupling-out of electromagnetic radiation from the optically active structure. The structured surface can thus be embodied as a coupling-out structure, for example in that the structured surface has a structuring in the region of the wavelength of the electromagnetic radiation. Additionally or alternatively, the structured surface may increase the current distribution in the electrode. In the case of an emitter layer or phosphor layer, the properties of the emitted electromagnetic radiation can be adjusted by means of the thickness of the layer, for example the color locus or the color pencil. In the emitter layer, this is done by means of the different optical length of the optical cavity at different thicknesses of the layer. In the case of the phosphor layer this is done by means of the different absolute proportion of the wavelength-converted in the phosphor layer electromagnetic radiation. By means of the structured surface of the emitter layer or phosphor layer in the first region, a given inhomogeneity in the emitting surface can be realized. For example, this allows a given color pattern to be realized in the luminous area.

Gemäß einer weiteren Weiterbildung des optoelektronischen Bauelements weist das optoelektronische Bauelement mittels der Schicht im ersten Bereich eine erste optoelektronische Bauelement-Einheit und im zweiten Bereich eine zweite optoelektronische Bauelement-Einheit auf, wobei sich die erste optoelektronische Bauelement-Einheit von der zweiten optoelektronischen Bauelement-Einheit in wenigstens einer optischen und/oder elektronischen Eigenschaft unterscheidet. Eine optoelektronische Bauelemente-Einheit weist dabei eine erste Elektrode, eine zweite Elektrode und eine organische funktionelle Schichtenstruktur auf, körperlich und/oder elektrisch zwischen der ersten Elektrode und der zweiten Elektrode angeordnet ist. Mehrere optoelektronische Bauelemente-Einheiten können auf einem gemeinsamen Träger nebeneinander oder übereinander gestapelt ausgebildet sein. Dadurch wird ermöglicht, dass zwei unterschiedliche optoelektronische Bauelemente-Einheiten quasi übergangslos nebeneinander ausgebildet werden können. Dadurch kann der Anteil der optisch inaktiven Fläche des optoelektronischen Bauelementes reduziert werden und die Effizienz des optoelektronischen Bauelementes bezüglich der Fläche des Substrates erhöht werden. Beispielsweise werden dadurch mehrfarbig lichtemittierende Bauelemente ermöglicht, ohne oder wenigstens mit reduziertem nicht-lichtemittierenden Bereich zwischen den unterschiedlichen farbig lichtemittierenden Bereichen.According to a further development of the optoelectronic component, the optoelectronic component has a first optoelectronic component unit by means of the layer in the first region and a second optoelectronic component unit in the second region, wherein the first optoelectronic component unit of the second optoelectronic component unit differs in at least one optical and / or electronic property. An optoelectronic component unit has a first electrode, a second electrode and an organic functional layer structure, which is arranged physically and / or electrically between the first electrode and the second electrode. A plurality of optoelectronic component units may be formed on a common carrier next to each other or stacked one above the other. This makes it possible that two different optoelectronic component units can be formed virtually seamlessly next to each other. As a result, the proportion of the optically inactive surface of the optoelectronic component can be reduced and the efficiency of the optoelectronic component can be increased with respect to the surface of the substrate. For example, multi-colored light-emitting components are thereby made possible, without or at least with reduced non-light-emitting region between the different colored light-emitting regions.

Gemäß einer weiteren Weiterbildung ist das optoelektronische Bauelement als organisches optoelektronisches Bauelement ausgebildet, beispielsweise als eine organische Leuchtdiode, ein organischer Fotodetektor und/oder ein organisches Display-Bauelement. Bei einem organischen optoelektronischen Bauelement ist zwischen einer ersten Elektrode und einer zweiten Elektrode eine organische funktionelle Schichtenstruktur ausgebildet. Die organische funktionelle Schichtenstruktur weist die elektrolumineszierende Schicht auf, und weist wenigstens einen organischen Stoff auf oder ist daraus gebildet. Organische optoelektronische Bauelemente weisen den Vorteil auf, dass sie auf einfache Weise bei Temperaturen von unter 150°C auf einer großen Fläche ausgebildet werden können.According to a further development, the optoelectronic component is designed as an organic optoelectronic component, for example as an organic light-emitting diode, an organic photodetector and / or an organic display component. In an organic optoelectronic component, an organic functional layer structure is formed between a first electrode and a second electrode. The organic functional layer structure comprises the electroluminescent layer, and has at least one organic substance or is formed therefrom. Organic optoelectronic components have the advantage that they can be easily formed at temperatures of less than 150 ° C on a large area.

Die Aufgabe wird gemäß einem weiteren Aspekt der Erfindung gelöst durch ein Verfahren zum Herstellen eines optoelektronischen Bauelements, bei dem ein Substrat bereitgestellt wird, und eine Schicht auf oder über dem Substrat ausgebildet wird. Die Schicht wird auf oder über dem Substrat in einem ersten Bereich und einem zweiten Bereich ausgebildet. Der erste Bereich ist neben dem zweiten Bereich angeordnet. Die Schicht wird im ersten Bereich und im zweiten Bereich wenigstens teilweise gleichzeitig ausgebildet. Die Schicht wird im ersten Bereich mit einer ersten Dicke und einer strukturierten Oberfläche ausgebildet. Im zweiten Bereich wird die Schicht mit einer zweiten Dicke ausgebildet, wobei die zweite Dicke größer ist als die erste Dicke. Bezüglich sichtbaren Lichts ist der erste Bereich transluzent oder transparent und der zweite Bereich opak und/oder spiegelnd. The object is achieved according to a further aspect of the invention by a method for producing an optoelectronic component, in which a substrate is provided, and a layer is formed on or above the substrate. The layer is formed on or over the substrate in a first region and a second region. The first area is located next to the second area. The layer is formed at least partially simultaneously in the first region and in the second region. The layer is formed in the first region with a first thickness and a structured surface. In the second region, the layer is formed with a second thickness, wherein the second thickness is greater than the first thickness. With respect to visible light, the first region is translucent or transparent and the second region is opaque and / or reflective.

Anschaulich wird die Schicht in lateral zueinander angeordneten Bereichen mit unterschiedlichen Dicken in einem einzigen Prozessschritt ausgebildet. Das gleichzeitige Ausbilden der Schicht mit unterschiedlichen Dicken ermöglicht ein Reduzieren der Kosten des Herstellungsverfahrens, indem die Anzahl an notwendigen Maskenebenen reduziert wird. Beispielsweise kann dadurch das Geld für die Verwendung zusätzlicher Masken eingespart werden und die Taktzeiten für das Ausbilden des optoelektronischen Bauelementes werden reduziert. Weiterhin wird dadurch kostengünstig eine laterale Strukturierung der strahlungsemittierenden Fläche ermöglicht. Herkömmlicherweise werden in aufeinanderfolgenden Maskenprozessen Masken über dem Substrat angeordnet. Der Aufwand zum exakten Ausrichten der Maskenöffnungen, beispielsweise durch optische Verfahren, über dem zu bearbeitenden Bereich des Substrats ist sehr hoch. Das gleichzeitige Ausbilden der Schicht im ersten Bereich und im zweiten Bereich bewirkt, dass das Verfahren zum Herstellen des optoelektronischen Bauelementes vereinfacht wird, beispielsweise indem verglichen mit dem herkömmlichen Verfahren ein Ausrichten wenigstens der Maske für das Ausbilden des zweiten Bereiches entfällt. Weiterhin sind für das Ausbilden der Schicht im zweiten Bereich nach dem Ausbilden der Schicht im ersten Bereich keine Justagetoleranzen zu berücksichtigen. Dadurch wird weiterhin ein scharfer, quasi unstetiger, Übergang zwischen dem ersten Bereich und dem zweiten Bereich der Schicht ermöglicht.Illustratively, the layer is formed in regions arranged laterally with different thicknesses in a single process step. The simultaneous formation of the layer of different thicknesses allows to reduce the cost of the manufacturing process by reducing the number of mask layers required. For example, this saves the money for the use of additional masks and the cycle times for the formation of the optoelectronic component are reduced. Furthermore, a cost-effective lateral structuring of the radiation-emitting surface is made possible. Conventionally, masks are placed over the substrate in successive mask processes. The effort for the exact alignment of the mask openings, for example by optical methods, over the area of the substrate to be processed is very high. The simultaneous formation of the layer in the first region and in the second region has the effect of simplifying the method for producing the optoelectronic component, for example by eliminating alignment of at least the mask for forming the second region compared to the conventional method. Furthermore, no adjustment tolerances are to be considered for the formation of the layer in the second region after the formation of the layer in the first region. As a result, a sharp, virtually unsteady transition between the first region and the second region of the layer is furthermore made possible.

Gemäß einer Weiterbildung des Verfahrens weist das Verfahren ferner ein Ausbilden einer optisch aktiven Struktur mit wenigstens einer elektrolumineszierenden Schicht auf. Die elektrolumineszierende Schicht wird zum Bereitstellen einer elektromagnetischen Strahlung aus einem elektrischen Strom ausgebildet. Der erste Bereich und der zweite Bereich der Schicht werden im Strahlengang der elektromagnetischen Strahlung ausgebildet und/oder werden als Teil der optisch aktiven Struktur ausgebildet. Dies ermöglicht, dass der erste Bereich und der zweite Bereich auf den Strahlengang der elektromagnetischen Strahlung einwirken können. Dadurch wird mittels der Schicht das Erscheinungsbild der emittierenden Fläche einstellbar lateral strukturierbar.According to one development of the method, the method further comprises forming an optically active structure having at least one electroluminescent layer. The electroluminescent layer is formed to provide electromagnetic radiation from an electric current. The first region and the second region of the layer are formed in the beam path of the electromagnetic radiation and / or are formed as part of the optically active structure. This allows the first region and the second region to act on the beam path of the electromagnetic radiation. As a result, the appearance of the emitting surface is laterally structurable by means of the layer.

Gemäß einer Weiterbildung des Verfahrens wird die Schicht mittels eines Maskenprozesses mit einer Maske ausgebildet. Die Maske weist einen ersten Maskenbereich und einen zweiten Maskenbereich auf. Der erste Maskenbereich und der zweite Maskenbereich weisen eine oder mehrere Öffnungen auf. Der erste Maskenbereich unterscheidet sich von dem zweiten Maskenbereich in wenigstens einer der nachfolgenden Eigenschaften: der Anordnung von Öffnung(en), dem mittleren Abstand von Öffnungen, der Größe von Öffnungen, der Form von Öffnungen, der Anzahl an Öffnungen, der Anzahldichte an Öffnungen und/oder dem Flächenanteil der Öffnung(en) an dem Maskenbereich. Dies ermöglicht, dass mittels einer Maske eine vorgegebene, lateral strukturierte Schicht auf dem Substrat oder eine vorgegebene, laterale Strukturierung in einer Schicht auf dem Substrat ausgebildet werden kann. Die Maske ist beispielsweise eine mehrlagige Siebmasken oder eine mikrostrukturierte Schattenmasken. Mittels einer mikroskopischen Änderung der Maschendichte und/oder des Maschendurchmessers wird eine Bedampfung von lateral unterschiedlichen Schichtdicken in einem Prozessschritt ermöglicht. Im ersten Maskenbereich und/oder im zweiten Maskenbereich, auch bezeichnet als Maskierungseinheiten, kann die Maske mit einer materialabweisenden Schicht überzogen sein. Dadurch wird die Gleichmäßigkeit der Schicht und die Lebensdauer der Maske erhöht. Weiterhin wird bei einer metallischen Elektrodenabscheidung ermöglicht, dass im ersten Bereich der Schicht eine andere Schichtdicke realisiert wird als im zweiten Bereich der Schicht. Beispielsweise kann eine Elektrode mit Bereichen unterschiedlicher Schichtdicke realisiert werden, wobei die Bereiche transparent oder intransparent sind.According to a development of the method, the layer is formed by means of a mask process with a mask. The mask has a first mask area and a second mask area. The first mask area and the second mask area have one or more openings. The first mask region differs from the second mask region in at least one of: the arrangement of aperture (s), the mean distance of apertures, the size of apertures, the shape of apertures, the number of apertures, the number density of apertures, and / or the area fraction of the opening (s) on the mask area. This makes it possible to form a predetermined, laterally structured layer on the substrate or a predetermined, lateral structuring in a layer on the substrate by means of a mask. The mask is for example a multi-layer screen masks or a microstructured shadow masks. By means of a microscopic change in the mesh density and / or the mesh diameter, vapor deposition of laterally different layer thicknesses in one process step is made possible. In the first mask area and / or in the second mask area, also referred to as masking units, the mask may be coated with a material-repellent layer. This increases the uniformity of the layer and the life of the mask. Furthermore, in the case of a metallic electrode deposition, a different layer thickness is realized in the first region of the layer than in the second region of the layer. For example, an electrode can be realized with regions of different layer thickness, the regions being transparent or non-transparent.

Gemäß einer Weiterbildung des Verfahrens wird die Maske derart über dem Substrat angeordnet, dass der erste Maskenbereich über dem ersten Bereich, und der zweite Maskenbereich über dem zweiten Bereich angeordnet sind. Dies ermöglicht, dass die Schicht gleichzeitig im ersten Bereich und im zweiten Bereich mit unterschiedlicher Dicke ausgebildet wird.According to one development of the method, the mask is arranged above the substrate in such a way that the first mask area is arranged above the first area, and the second mask area is arranged above the second area. This allows the layer to be formed simultaneously in the first region and in the second region of different thickness.

Gemäß einer Weiterbildung des Verfahrens wird die Maske in einem Abstand über dem Substrat angeordnet. Dies ermöglicht, dass Bereiche der Schicht unterhalb undurchlässiger Bereiche der Maske beschichtet, bestrahlt oder entfernt werden. Dadurch kann unbeachtlich der undurchlässigen Bereiche der Maske eine geschlossene Schicht auf dem Substrat ausgebildet werden, oder eine vorgegebene Strukturierung der strukturierten Oberfläche der Schicht ausgebildet werden. Der Grad der geschlossenen Oberfläche kann mittels des Abstandes der Maske zu dem Substrat und dem Abstand der Öffnungen in der Maske eingestellt werden.According to a development of the method, the mask is arranged at a distance above the substrate. This allows areas of the layer to be coated, irradiated, or removed below opaque areas of the mask. This can irrelevant the impermeable Formed areas of the mask, a closed layer on the substrate, or a predetermined structuring of the structured surface of the layer can be formed. The degree of closed surface can be adjusted by means of the distance of the mask to the substrate and the spacing of the openings in the mask.

Gemäß einer Weiterbildung des Verfahrens weist die Maske eine Positionierungsstruktur auf, oder es wird zwischen der Maske und dem Substrat eine Positionierungsstruktur angeordnet. Dadurch kann der Abstand der Maske zum Substrat und/oder die Ausrichtung des ersten Maskenbereichs und des zweiten Maskenbereichs hinsichtlich des auszubildenden ersten Bereichs und zweiten Bereichs der Schicht auf einfache Weise eingestellt werden.According to a development of the method, the mask has a positioning structure, or a positioning structure is arranged between the mask and the substrate. Thereby, the distance of the mask to the substrate and / or the alignment of the first mask region and the second mask region with respect to the first region and the second region of the layer to be formed can be adjusted in a simple manner.

Gemäß einer Weiterbildung des Verfahrens wird die Schicht im ersten Bereich und im zweiten Bereich unter Verwendung einer einzigen Maske ausgebildet. Dies ermöglicht eine Vereinfachung des Verfahrens, indem die Justage in aufeinanderfolgenden Maskenprozessen vereinfacht wird oder entfällt.According to a development of the method, the layer is formed in the first region and in the second region using a single mask. This allows a simplification of the method by simplifying or eliminating the adjustment in successive mask processes.

Gemäß einer Weiterbildung des Verfahrens weist der Maskenprozess ein Gasphasenabscheiden eines Materials durch die Maske auf, beispielsweise ein physikalisches Gasphasenabscheiden, ein chemisches Gasphasenabscheiden, ein Atomlagenabscheiden oder ein Moleküllagenabscheiden. Dies ermöglicht ein direktes, strukturiertes Ausbilden der Schicht in dem ersten Bereich oder dem zweiten Bereich ohne weitere Prozessschritte.According to a development of the method, the mask process comprises a gas phase deposition of a material through the mask, for example a physical vapor deposition, a chemical vapor deposition, an atomic layer deposition or a molecular layer deposition. This enables a direct, structured formation of the layer in the first region or the second region without further process steps.

Gemäß einer Weiterbildung des Verfahrens wird das Material der Schicht oder ein Vormaterial des Materials der Schicht mit der zweiten Dicke oder mit einer dritten Dicke, die größer ist als die zweite Dicke, flächig auf dem Substrat ausgebildet. Weiterhin weist das Verfahren ein Bestrahlen des Materials oder des Vormaterials der Schicht durch die Maske auf, beispielsweise ein Bestrahlen des Vormaterials mit einer elektromagnetischen Strahlung und/oder einem Teilchenstrahl, beispielsweise einem Elektronen- oder Ionenstrahl, oder eines chemisch reaktiven Stoffs. Mittels der Bestrahlung wird das Material oder das Vormaterial chemisch umgewandelt. Das Vormaterial kann dadurch in den bestrahlten Bereichen zum Material umgewandelt werden, beispielsweise mittels eines Vernetzungsprozesses und/oder eines Aushärtens. Der nichtbestrahlte Bereich aus Vormaterial kann anschließend entfernt werden, beispielsweise nasschemisch mittels eines Lösungsmittels oder eines Ätzmediums. Alternativ wird das Material mittels der Bestrahlung chemisch reduziert, beispielsweise zersetzt oder degradiert. Der bestrahlte Bereich aus reduziertem Material kann entfernt werden, beispielsweise nasschemisch mittels eines Lösungsmittels oder eines Ätzmediums.According to a development of the method, the material of the layer or a starting material of the material of the layer with the second thickness or with a third thickness that is greater than the second thickness is formed flat on the substrate. Furthermore, the method comprises irradiating the material or the starting material of the layer through the mask, for example irradiating the starting material with an electromagnetic radiation and / or a particle beam, for example an electron or ion beam, or a chemically reactive substance. By means of irradiation, the material or the starting material is chemically converted. The starting material can thereby be converted into the material in the irradiated areas, for example by means of a crosslinking process and / or hardening. The non-irradiated area of starting material can then be removed, for example wet-chemically by means of a solvent or an etching medium. Alternatively, the material is chemically reduced by the irradiation, for example decomposed or degraded. The irradiated area of reduced material can be removed, for example wet-chemically by means of a solvent or an etching medium.

Gemäß einer Weiterbildung des Verfahrens wird das Material der Schicht mit der zweiten Dicke oder mit einer dritten Dicke, die größer ist als die zweite Dicke, flächig auf dem Substrat ausgebildet. Weiterhin weist das Verfahren einen Ätzprozess auf, wobei mittels eines Ätzmediums durch die Maske ein Teil der Schicht wenigstens im ersten Bereich entfernt wird. Dadurch wird die Schicht im ersten Bereich mit erster Dicke und strukturierter Oberfläche ausgebildet. Das Ätzmedium kann ein chemisch und/oder physikalisch wirkendes Ätzmedium sein, beispielsweise ein Oxidationsmittel oder ein Reduktionsmittel, beispielsweise Kaliumhydroxid, Chlorwasserstoff, Fluorwasserstoffsäure; oder ein Plasma. Das Material der Schicht mit der zweiten Dicke oder mit einer dritten Dicke, die größer ist als die zweite Dicke, wird mittels der Maske in unterschiedlichem Grad aus dem ersten Bereich und dem zweiten Bereich entfernt. Dies ermöglicht weiterhin ein Ausbilden der strukturierten Oberfläche der Schicht im ersten Bereich. Zusätzlich kann auf diese Weise die Oberfläche der Schicht im zweiten Bereich strukturiert werden.According to a development of the method, the material of the layer with the second thickness or with a third thickness, which is greater than the second thickness, is formed flat on the substrate. Furthermore, the method has an etching process, wherein a part of the layer is removed at least in the first region by means of an etching medium through the mask. As a result, the layer is formed in the first region with the first thickness and structured surface. The etching medium may be a chemically and / or physically acting etching medium, for example an oxidizing agent or a reducing agent, for example potassium hydroxide, hydrogen chloride, hydrofluoric acid; or a plasma. The material of the second thickness layer or of a third thickness greater than the second thickness is removed from the first area and the second area to different degrees by the mask. This further allows forming the structured surface of the layer in the first region. In addition, the surface of the layer in the second region can be structured in this way.

Ausführungsbeispiele der Erfindung sind in den Figuren dargestellt und werden im Folgenden näher erläutert.Embodiments of the invention are illustrated in the figures and are explained in more detail below.

Es zeigen:Show it:

1A, B schematische Darstellungen eines Ausführungsbeispiels eines Verfahrens zum Herstellen eines optoelektronischen Bauelements; 1A , B are schematic representations of an embodiment of a method for producing an optoelectronic component;

2 eine schematische Querschnittsansicht einer Vorstufe eines optoelektronischen Bauelements im Verfahren zum Herstellen des optoelektronischen Bauelements; 2 a schematic cross-sectional view of a precursor of an optoelectronic component in the method for producing the optoelectronic device;

3A–C schematische Darstellungen verschiedener Weiterbildungen des Verfahrens zum Herstellen des optoelektronischen Bauelements; 3A -C schematic representations of various developments of the method for producing the optoelectronic component;

4A–F schematische Darstellungen verschiedener Weiterbildungen des optoelektronischen Bauelements; 4A -F schematic representations of various developments of the optoelectronic device;

5A–C schematische Darstellungen verschiedener Weiterbildungen des optoelektronischen Bauelements; 5A -C schematic representations of various developments of the optoelectronic component;

6A, B schematische Darstellungen verschiedener Weiterbildungen des optoelektronischen Bauelements; und 6A B shows schematic representations of various developments of the optoelectronic component; and

7A–C ein herkömmliches Verfahren zum Herstellen eines optoelektronischen Bauelements. 7A -C a conventional method for producing an optoelectronic component.

In der folgenden ausführlichen Beschreibung wird auf die beigefügten Zeichnungen Bezug genommen, die Teil dieser Beschreibung bilden und in denen zur Veranschaulichung spezifische Ausführungsbeispiele gezeigt sind, in denen die Erfindung ausgeübt werden kann. In dieser Hinsicht wird Richtungsterminologie wie etwa „oben”, „unten”, „vorne”, „hinten”, „vorderes”, „hinteres”, usw. mit Bezug auf die Orientierung der beschriebenen Figur(en) verwendet. Da Komponenten von Ausführungsbeispielen in einer Anzahl verschiedener Orientierungen positioniert werden können, dient die Richtungsterminologie zur Veranschaulichung und ist auf keinerlei Weise einschränkend. Es versteht sich, dass andere Ausführungsbeispiele benutzt und strukturelle oder logische Änderungen vorgenommen werden können. Es versteht sich, dass die Merkmale der hierin beschriebenen verschiedenen Ausführungsbeispiele miteinander kombiniert werden können, sofern nicht spezifisch anders angegeben. Die folgende ausführliche Beschreibung ist deshalb nicht in einschränkendem Sinne aufzufassen, und der Schutzumfang der vorliegenden Erfindung wird durch die angefügten Ansprüche definiert. In the following detailed description, reference is made to the accompanying drawings, which form a part of this specification, and in which is shown by way of illustration specific embodiments in which the invention may be practiced. In this regard, directional terminology such as "top", "bottom", "front", "back", "front", "rear", etc. is used with reference to the orientation of the described figure (s). Because components of embodiments may be positioned in a number of different orientations, the directional terminology is illustrative and is in no way limiting. It should be understood that other embodiments may be utilized and structural or logical changes may be made. It should be understood that the features of the various embodiments described herein may be combined with each other unless specifically stated otherwise. The following detailed description is therefore not to be taken in a limiting sense, and the scope of the present invention is defined by the appended claims.

Im Rahmen dieser Beschreibung werden die Begriffe ”verbunden”, ”angeschlossen” sowie ”gekoppelt” verwendet zum Beschreiben sowohl einer direkten als auch einer indirekten Verbindung, eines direkten oder indirekten Anschlusses sowie einer direkten oder indirekten Kopplung. In den Figuren werden identische oder ähnliche Elemente mit identischen Bezugszeichen versehen, soweit dies zweckmäßig ist.As used herein, the terms "connected," "connected," and "coupled" are used to describe both direct and indirect connection, direct or indirect connection, and direct or indirect coupling. In the figures, identical or similar elements are provided with identical reference numerals, as appropriate.

Ein optoelektronisches Bauelement kann ein, zwei oder mehr optoelektronische Bauelemente aufweisen. Optional kann ein optoelektronisches Bauelement auch ein, zwei oder mehr elektronische Bauelemente aufweisen. Ein elektronisches Bauelement kann beispielsweise ein aktives und/oder ein passives Bauelement aufweisen. Ein aktives elektronisches Bauelement kann beispielsweise eine Rechen-, Steuer- und/oder Regeleinheit und/oder einen Transistor aufweisen. Ein passives elektronisches Bauelement kann beispielsweise einen Kondensator, einen widerstand, eine Diode oder eine Spule aufweisen.An optoelectronic component may have one, two or more optoelectronic components. Optionally, an optoelectronic component may also have one, two or more electronic components. An electronic component may have, for example, an active and / or a passive component. An active electronic component may have, for example, a computing, control and / or regulating unit and / or a transistor. A passive electronic component may for example comprise a capacitor, a resistor, a diode or a coil.

Ein optoelektronisches Bauelement kann ein elektromagnetische Strahlung emittierendes Bauelement oder ein elektromagnetische Strahlung absorbierendes Bauelement sein. Ein elektromagnetische Strahlung absorbierendes Bauelement kann beispielsweise eine Solarzelle oder ein Fotodetektor sein. Ein elektromagnetische Strahlung emittierendes Bauelement kann in verschiedenen Ausführungsbeispielen ein elektromagnetische Strahlung emittierendes Halbleiter-Bauelement sein und/oder als eine elektromagnetische Strahlung emittierende Diode, als eine organische elektromagnetische Strahlung emittierende Diode, als ein elektromagnetische Strahlung emittierender Transistor oder als ein organischer elektromagnetische Strahlung emittierender Transistor ausgebildet sein. Die Strahlung kann beispielsweise Licht im sichtbaren Bereich, UV-Licht und/oder Infrarot-Licht sein. In diesem Zusammenhang kann das elektromagnetische Strahlung emittierende Bauelement beispielsweise als Licht emittierende Diode (light emitting diode, LED) als organische Licht emittierende Diode (organic light emitting diode, OLED), als Licht emittierender Transistor oder als organischer Licht emittierender Transistor ausgebildet sein. Das Licht emittierende Bauelement kann in verschiedenen Ausführungsbeispielen Teil einer integrierten Schaltung sein. Weiterhin kann eine Mehrzahl von Licht emittierenden Bauelementen vorgesehen sein, beispielsweise untergebracht in einem gemeinsamen Gehäuse.An optoelectronic component may be an electromagnetic radiation emitting component or an electromagnetic radiation absorbing component. An electromagnetic radiation absorbing component may be, for example, a solar cell or a photodetector. In various embodiments, a component emitting electromagnetic radiation can be a semiconductor device emitting electromagnetic radiation and / or a diode emitting electromagnetic radiation, a diode emitting organic electromagnetic radiation, a transistor emitting electromagnetic radiation or a transistor emitting organic electromagnetic radiation be. The radiation may, for example, be light in the visible range, UV light and / or infrared light. In this context, the electromagnetic radiation emitting device may be formed, for example, as a light emitting diode (LED) as an organic light emitting diode (OLED), as a light emitting transistor or as an organic light emitting transistor. The light emitting device may be part of an integrated circuit in various embodiments. Furthermore, a plurality of light-emitting components may be provided, for example housed in a common housing.

1A, B veranschaulichen ein Ausführungsbeispiel eines Verfahrens zum Herstellen eines optoelektronischen Bauelements. 1A B illustrate an exemplary embodiment of a method for producing an optoelectronic component.

Das optoelektronische Bauelement wird mittels eines Maskenprozesses ausgebildet. Der Maskenprozess weist ein Anordnen einer Maske 108 über einem Substrat 100 auf. Die Maske 108 wird in einem Abstand 110 über dem Substrat 100 angeordnet.The optoelectronic component is formed by means of a mask process. The mask process includes placing a mask 108 over a substrate 100 on. The mask 108 will be at a distance 110 above the substrate 100 arranged.

Die Maske 108 weist einen ersten Maskenbereich 112 und einen zweiten Maskenbereich 114 auf. Der erste Maskenbereich 112 der Maske 108 unterscheidet sich in wenigstens einer Eigenschaft von dem zweiten Maskenbereich 114 der Maske 108. Die Maske 108 weist eine Vielzahl an Öffnungen auf, mittels derer ein erster Bereich 102 einer Schicht und ein zweiter Bereich 104 der Schicht gleichzeitig ausgebildet werden. Die Öffnungen der Maske 108 sind durchlässig für ein Material oder eine Bestrahlung – wie unten noch ausführlicher beschrieben wird und in 1A mittels des Pfeils 106 veranschaulicht ist. Die Maske 108 wird unten noch ausführlicher beschrieben.The mask 108 has a first mask area 112 and a second mask area 114 on. The first mask area 112 the mask 108 differs in at least one property of the second mask area 114 the mask 108 , The mask 108 has a plurality of openings, by means of which a first area 102 a layer and a second area 104 the layer can be formed simultaneously. The openings of the mask 108 are permeable to a material or radiation - as will be described in more detail below, and in US Pat 1A by means of the arrow 106 is illustrated. The mask 108 will be described in more detail below.

Mittels der unterschiedlich eingerichteten Maskenbereiche, des ersten Maskenbereichs 112 und des zweiten Maskenbereichs 114, und der Anordnung der Maske 108 in einem Abstand 110 über dem Substrat 100 wird in einem einzigen Prozessschritt eine Schicht mit einem ersten Bereich 102 und einem zweiten Bereich 104 ausgebildet. Mit anderen Worten: es wird ein Verfahren 120 zum Herstellen eines optoelektronischen Bauelementes 400 bereitgestellt. Das Verfahren 120 weist ein Bereitstellen 130 eines Substrats 100, und auf oder über dem Substrat 100 ein Ausbilden 140 einer Schicht mit oder in einem ersten Bereich 102 und einem zweiten Bereich 104 auf, beispielsweise veranschaulicht in dem Ablaufdiagramm in 1B. Der erste Bereich 102 ist neben dem zweiten Bereich 104 angeordnet. Die Schicht wird im ersten Bereich 102 und im zweiten Bereich 104 wenigstens teilweise gleichzeitig ausgebildet. Die Schicht wird im ersten Bereich 102 mit einer ersten Dicke und einer strukturierten Oberfläche ausgebildet. Im zweiten Bereich 104 wird die Schicht mit einer zweiten Dicke ausgebildet, wobei die zweite Dicke größer ist als die erste Dicke.By means of differently set mask areas, the first mask area 112 and the second mask area 114 , and the arrangement of the mask 108 at a distance 110 above the substrate 100 becomes a layer with a first area in a single process step 102 and a second area 104 educated. In other words, it becomes a procedure 120 for producing an optoelectronic component 400 provided. The procedure 120 has a provision 130 a substrate 100 , and on or over the substrate 100 a training 140 a layer with or in a first area 102 and a second area 104 for example, illustrated in the flowchart in FIG 1B , The first area 102 is next to the second area 104 arranged. The layer is in the first area 102 and in the second area 104 at least partially formed simultaneously. The layer is in the first area 102 formed with a first thickness and a textured surface. In the second area 104 the layer is formed with a second thickness, wherein the second thickness is greater than the first thickness.

Indem die Maske 108 in dem Abstand 110 über dem Substrat 100 angeordnet ist, sind die Öffnungen in der Maske frei von direktem Kontakt mit dem Substrat 100. Dadurch kommt es beim Bedampfen zu einer Unterdampfung der Material-undurchlässigen Bereiche der Maske 108, beispielsweise der Stege im Sieb. Die Unterdampfung ist mikroskopisch sichtbar, kann jedoch makroskopisch unscheinbar sein. Mittels des Abscheidens von Material der Schicht durch die Maske 108 auf das Substrat 100 wird mittels der partiellen Abschattierung des Substrats 100 eine Schicht mit lateral unterschiedlichen Schichtdicken gebildet. Die teilweise Abschirmung der Oberfläche des Substrates 102 führt somit zu verringerten Dicken der Schicht. Die Schicht mit der verringerten Dicke kann wenigstens transluzent erscheinen. Die Schicht erscheint somit insgesamt mittels einer Maske 108 lateral strukturiert undurchsichtig oder durchsichtig. Statt eines Mehrmaskenprozesses für die unterschiedlichen Schichtdicken kann je nach gewünschter Flächenlichtquelle eine vereinfachte Herstellung von bidirektionalen organischen Leuchtdioden, ein Bottom- oder ein Top-Emitter bereitgestellt werden.By the mask 108 in the distance 110 above the substrate 100 is arranged, the openings in the mask are free of direct contact with the substrate 100 , As a result, vaporization of the material impermeable areas of the mask occurs 108 , For example, the webs in the sieve. The underdamping is microscopically visible, but may be macroscopically inconspicuous. By depositing material of the layer through the mask 108 on the substrate 100 is by means of the partial shading of the substrate 100 a layer formed with laterally different layer thicknesses. The partial shielding of the surface of the substrate 102 thus results in reduced thicknesses of the layer. The layer of reduced thickness may appear at least translucent. The layer thus appears overall by means of a mask 108 laterally structured opaque or transparent. Instead of a multi-mask process for the different layer thicknesses, a simplified production of bidirectional organic light-emitting diodes, a bottom emitter or a top emitter can be provided depending on the desired surface light source.

In einer Weiterbildung ist die Maske 108 als eine mikrostrukturierte Schattenmaske oder Siebstruktur ausgebildet.In one development is the mask 108 formed as a microstructured shadow mask or screen structure.

In einer Weiterbildung wird die Schicht mit erstem Bereich 102 und zweitem Bereich 104 ausgebildet, indem das Substrat 100 durch die Maske 108 mit einem Material bedampft wird. In einer Weiterbildung wird die Schicht mit erstem Bereich 102 und zweitem Bereich 104 als eine elektrische Kontaktschicht des optoelektronischen Bauelementes ausgebildet, beispielsweise eine Metallschicht. In einer Weiterbildung wird das optoelektronische Bauelement als eine Flächenlichtquelle ausgebildet.In one development, the layer is the first area 102 and second area 104 formed by the substrate 100 through the mask 108 is steamed with a material. In one development, the layer is the first area 102 and second area 104 is formed as an electrical contact layer of the optoelectronic component, for example a metal layer. In a development, the optoelectronic component is designed as a surface light source.

Ferner wird eine optisch aktive Struktur 414 ausgebildet, beispielsweise veranschaulicht in 4A. Die optisch aktive Struktur 414 wird mit wenigstens einer elektrolumineszierenden Schicht ausgebildet. Die elektrolumineszierende Schicht wird zum Bereitstellen einer elektromagnetischen Strahlung aus einem elektrischen Strom ausgebildet. Die Schicht im ersten Bereich 102 und die Schicht im zweiten Bereich 104 sind im Strahlengang der elektromagnetischen Strahlung angeordnet und/oder ist/sind Teil der optisch aktiven Struktur 414.Further, an optically active structure 414 trained, for example, illustrated in 4A , The optically active structure 414 is formed with at least one electroluminescent layer. The electroluminescent layer is formed to provide electromagnetic radiation from an electric current. The layer in the first area 102 and the layer in the second area 104 are arranged in the beam path of the electromagnetic radiation and / or are / are part of the optically active structure 414 ,

In einer Weiterbildung wird die Schicht mittels eines Maskenprozesses mit einer Maske 108 ausgebildet wird, wobei die Maske 108 einen ersten Maskenbereich 112 und einen zweiten Maskenbereich 114 aufweist. Der erste Maskenbereich 112 unterscheidet sich von dem zweiten Maskenbereich 114 in wenigstens einer der nachfolgenden Eigenschaften: der Anordnung von Öffnungen, dem mittleren Abstand von Öffnungen, der Größe von Öffnungen, der Form von Öffnungen, der Anzahl an Öffnungen, der Anzahldichte an Öffnungen und/oder dem Flächenanteil an Öffnung an dem Maskenbereich 108.In a further development, the layer is masked by means of a mask process with a mask 108 is formed, wherein the mask 108 a first mask area 112 and a second mask area 114 having. The first mask area 112 differs from the second mask area 114 in at least one of the following: the arrangement of apertures, the mean spacing of apertures, the size of apertures, the shape of apertures, the number of apertures, the number density of apertures, and / or the area ratio of apertures on the mask portion 108 ,

In einer Weiterbildung wird die Schicht im ersten Bereich 102 und im zweiten Bereich 104 unter Verwendung einer einzigen Maske 108 ausgebildet.In a further development, the layer is in the first area 102 and in the second area 104 using a single mask 108 educated.

In einer Weiterbildung weist der Maskenprozess ein Gasphasenabscheiden eines Materials durch die Maske 108 auf, beispielsweise ein physikalisches Gasphasenabscheiden, ein chemisches Gasphasenabscheiden, ein Atomlagenabscheiden oder ein Moleküllagenabscheiden. Alternativ weist der Maskenprozess ein Bestrahlen des Materials der Schicht durch die Maske 108 auf, beispielsweise ein Bestrahlen mittels einer elektromagnetischen Strahlung und/oder eines Teilchenstrahls. Alternativ ist der Maskenprozess als ein Ätzprozess eingerichtet, wobei mittels eines Ätzmediums durch die Maske 108 ein Teil der Schicht wenigstens im ersten Bereich 102 entfernt wird.In a development, the mask process comprises a gas phase deposition of a material through the mask 108 for example, a physical vapor deposition, a chemical vapor deposition, an atomic layer deposition or a molecular layer deposition. Alternatively, the masking process comprises irradiating the material of the layer through the mask 108 on, for example, irradiation by means of electromagnetic radiation and / or a particle beam. Alternatively, the mask process is set up as an etching process, by means of an etching medium through the mask 108 a part of the layer at least in the first area 102 Will get removed.

Die Maske 108 weist einen ersten Maskenbereich 112 und einen zweiten Maskenbereich 114 auf, wobei wenigstens der erste Maskenbereich 112 zwei oder mehr Öffnungen aufweist. Der zweite Maskenbereich 114 weist eine oder mehrere Öffnungen auf. Alternativ ist der zweite Maskenbereich 114 als eine undurchlässige Struktur ausgebildet ist, beispielsweise undurchlässig bezüglich eines Abscheidens des Materials der Schicht. Die Maske 108 wird derart über dem Substrat angeordnet, dass der erste Maskenbereich 112 über dem ersten Bereich 102 und der zweite Maskenbereich 114 über dem zweiten Bereich 104 angeordnet sind.The mask 108 has a first mask area 112 and a second mask area 114 on, wherein at least the first mask area 112 has two or more openings. The second mask area 114 has one or more openings. Alternatively, the second mask area 114 is formed as an impermeable structure, for example, impermeable to a deposition of the material of the layer. The mask 108 is placed over the substrate such that the first mask area 112 over the first area 102 and the second mask area 114 over the second area 104 are arranged.

Die Maske 108 ist aus einem Stück gebildet, beispielsweise als ein Siebraster oder als eine mikrostrukturierte Platte.The mask 108 is formed in one piece, for example as a sieve screen or as a microstructured plate.

Die Schicht ist im zweiten Bereich 104 im Wesentlichen planar ausgebildet, beispielsweise so, dass die Oberfläche der Schicht im zweiten Bereich 104 eine Rauheit von weniger als 0,25 μm aufweist. Alternativ weist die strukturierte Oberfläche der Schicht im ersten Bereich 102 eine erste Strukturierung auf und die Schicht im zweiten Bereich 104 eine strukturierte Oberfläche mit einer zweiten Strukturierung auf, wobei sich die zweite Strukturierung von der ersten Strukturierung unterscheidet. Die zweite Strukturierung unterscheidet sich von der ersten Strukturierung in einer der nachfolgenden Eigenschaften der Strukturen: im Aspektverhältnis, der Form oder der Periodizität.The layer is in the second area 104 formed substantially planar, for example, such that the surface of the layer in the second region 104 has a roughness of less than 0.25 μm. Alternatively, the structured surface of the layer in the first region 102 a first structuring on and the layer in the second area 104 a structured surface having a second structuring, wherein the second structuring is different from the first structuring. The second structuring differs from the first structuring in one of the following properties of the structures: in aspect ratio, shape or periodicity.

In einer Weiterbildung wird die Schicht derart ausgebildet, dass sie im ersten Bereich 102 einen Unterschied in wenigstens einer optischen und/oder elektrischen Eigenschaft aufweist als im zweiten Bereich 104.In a development, the layer is formed such that it in the first area 102 has a difference in at least one optical and / or electrical characteristic than in the second region 104 ,

In einer Weiterbildung wird bezüglich sichtbaren Lichts der erste Bereich 102 transluzent oder transparent und der zweite Bereich 104 opak und/oder spiegelnd ausgebildet. In einer Weiterbildung wird das optoelektronische Bauelement derart ausgebildet, dass der erste Bereich 102 ein erstes sichtbares Licht und der zweite Bereich 104 ein zweites sichtbares Licht emittiert, wobei das erste sichtbare Licht und das zweite sichtbare Lichte einen unterschiedlichen Farbort, eine unterschiedliche Helligkeit und/oder eine unterschiedliche Sättigung aufweisen.In a development, the first area is with respect to visible light 102 translucent or transparent and the second area 104 opaque and / or specular. In a development, the optoelectronic component is designed such that the first region 102 a first visible light and the second area 104 emits a second visible light, wherein the first visible light and the second visible light have a different color location, a different brightness and / or a different saturation.

In einer Weiterbildung wird die Schicht mit oder aus einem elektrisch leitenden Material gebildet, beispielsweise als eine Elektrode des optoelektronischen Bauelements ausgebildet. Alternativ oder zusätzlich wird die Schicht mit oder aus einem optisch aktiven Material ausgebildet, beispielsweise einem elektrolumineszierenden und/oder fotolumineszierenden Material.In one development, the layer is formed with or made of an electrically conductive material, for example formed as an electrode of the optoelectronic component. Alternatively or additionally, the layer is formed with or from an optically active material, for example an electroluminescent and / or photoluminescent material.

Das optoelektronische Bauelement wird als organisches optoelektronisches Bauelement ausgebildet, beispielsweise als eine organische Leuchtdiode, ein organischer Fotodetektor und/oder ein organisches Display-Bauelement. In einer Weiterbildung das optoelektronische Bauelement als Display-Bauelement mit einer Vielzahl an Bildpunkten ausgebildet wird, wobei jeder Bildpunkt aus zwei oder mehr Untereinheiten gebildet wird und die erste optoelektronische Bauelement-Einheit 420 und die zweite optoelektronische Bauelement-Einheit 410 als Untereinheiten eines Bildpunktes ausgebildet werden.The optoelectronic component is formed as an organic optoelectronic component, for example as an organic light-emitting diode, an organic photodetector and / or an organic display component. In a development, the optoelectronic component is designed as a display component having a large number of pixels, wherein each pixel is formed from two or more subunits and the first optoelectronic component unit 420 and the second optoelectronic device unit 410 be formed as subunits of a pixel.

2 veranschaulicht eine Vorstufe eines optoelektronischen Bauelements im Verfahren zum Herstellen des optoelektronischen Bauelements, das beispielsweise weitgehend den in 1 gezeigten Ausführungsbeispielen entsprechen kann. In der schematischen Seitenansicht in 2 ist der Bedampfungsfall veranschaulicht, wobei die Unterdampfung einer nicht anliegenden Schattenmaske 108 ausgenutzt wird. 2 FIG. 2 illustrates a precursor of an optoelectronic component in the method for producing the optoelectronic component, which for example largely corresponds to that in FIG 1 shown embodiments may correspond. In the schematic side view in 2 the vapor deposition case is illustrated, with the underdamping of a non-adjacent shadow mask 108 is exploited.

In der schematischen Querschnittsansicht A-A in 2 ist die Maske 108 in einem Abstand 110 über dem Substrat 100 nach dem Ausbilden der Schicht mit erstem Bereich 102 und zweitem Bereich 104 auf dem Substrat 100 veranschaulicht.In the schematic cross-sectional view AA in 2 is the mask 108 at a distance 110 above the substrate 100 after forming the layer with the first region 102 and second area 104 on the substrate 100 illustrated.

Die Schicht mit erstem Bereich 102 und zweitem Bereich 104 ist in der in 2 veranschaulichten Weiterbildung als zweite Elektrode 214 des optoelektronischen Bauelementes ausgebildet, wie unten noch ausführlicher beschrieben wird.The layer with the first area 102 and second area 104 is in the in 2 illustrated training as a second electrode 214 of the optoelectronic component, as will be described in more detail below.

Die Maske 108 mit erstem Maskenbereich 112 und zweitem Maskenbereich 114 ist im Abstand 110 mittels einer Positionierungsstruktur 202 über dem Substrat 100 angeordnet, wie unten noch ausführlicher beschrieben wird.The mask 108 with first mask area 112 and second mask area 114 is in the distance 110 by means of a positioning structure 202 above the substrate 100 arranged as described in more detail below.

In der in 2 veranschaulichten Weiterbildung der Maske 108 weist der erste Maskenbereich 112 eine Anordnung einer Vielzahl von Öffnungen auf. Der zweite Maskenbereich 114 ist als eine Öffnung ausgebildet.In the in 2 illustrated embodiment of the mask 108 indicates the first mask area 112 an arrangement of a plurality of openings. The second mask area 114 is formed as an opening.

In einer Weiterbildung des Verfahrens 120 wird das Material der Schicht mit erstem Bereich 102 und zweitem Bereich 104 durch die Maske 108 auf das Substrat 100 abgeschieden.In a further development of the method 120 becomes the material of the layer with the first area 102 and second area 104 through the mask 108 on the substrate 100 deposited.

Auf das Substrat 100 im Bereich unterhalb des ersten Maskenbereichs 112 der Maske 108 gelangt weniger Material auf die Oberfläche des Substrats 100 als auf das Substrat 100 im Bereich unterhalb des zweiten Bereichs 114 der Maske 108. Somit weist die Schicht im zweiten Bereich 104 eine größere Schichtdicke auf als im ersten Bereich 102 der Schicht. Mittels der Anordnung der Maske 108 im Abstand 110 über dem Substrat 100 werden die Bereiche zwischen den Öffnungen des ersten Maskenbereichs 112 der Maske 108 hinterbeschichtet. Dadurch wird die Schicht in dem ersten Bereich 102 mit einer strukturierten Oberfläche ausgebildet, in 2 veranschaulicht mittels der welligen Oberfläche der Schicht 214 im Bereich 102, während die Schicht 214 im zweiten Bereich 104 eine planare Oberfläche aufweist.On the substrate 100 in the area below the first mask area 112 the mask 108 gets less material on the surface of the substrate 100 than on the substrate 100 in the area below the second area 114 the mask 108 , Thus, the layer in the second area 104 a greater layer thickness than in the first area 102 the layer. By means of the arrangement of the mask 108 at a distance 110 above the substrate 100 become the areas between the openings of the first mask area 112 the mask 108 behind coated. This will make the layer in the first area 102 formed with a textured surface, in 2 illustrated by the wavy surface of the layer 214 in the area 102 while the shift 214 in the second area 104 has a planar surface.

Im Rahmen dieser Beschreibung ist das Substrat 100 eine Struktur mit einer Oberfläche, auf der die Schicht mit erstem Bereich 102 und zweitem Bereich 104 ausgebildet wird. In der in 2 veranschaulichten Weiterbildung weist das Substrat 100 auf: einen Träger 200, eine erste Elektrode 210 auf oder über dem Träger 200; eine organische funktionelle Schichtenstruktur 212 auf oder über der ersten Elektrode 210; mehrere elektrische Anschlüsse 218, die mit der ersten Elektrode 210 (nicht veranschaulicht) oder der zweiten Elektrode 214 körperlich verbunden und elektrisch gekoppelt sind; und elektrische Isolierungen 204, die die erste Elektrode 210 von der zweiten Elektrode 214 elektrisch isolieren. Weiterbildungen des optoelektronischen Bauelementes und der veranschaulichten Schichten sind in 4A bis 4F ausführlicher beschrieben.In the context of this description is the substrate 100 a structure with a surface on which the layer with the first area 102 and second area 104 is trained. In the in 2 illustrated embodiment, the substrate 100 on: a carrier 200 , a first electrode 210 on or above the vehicle 200 ; an organic functional layer structure 212 on or above the first electrode 210 ; several electrical connections 218 that with the first electrode 210 (not illustrated) or the second electrode 214 physically connected and electrically coupled; and electrical insulations 204 that the first electrode 210 from the second electrode 214 electrically isolate. Further developments of the optoelectronic component and the illustrated layers are in 4A to 4F described in more detail.

3A bis 3C veranschaulichen verschiedene Weiterbildungen des Verfahrens zum Herstellen des optoelektronischen Bauelements, die beispielsweise weitgehend den oben gezeigten Ausführungsbeispielen entsprechen können. 3A to 3C illustrate various developments of the method for producing the optoelectronic device, which may for example largely correspond to the embodiments shown above.

In einer Weiterbildung des Verfahrens 120 wird die Schicht mit erstem Bereich 102 und zweitem Bereich 104 ausgebildet indem ein Material 306 von einer Materialquelle 304 durch die Maske 108 auf das Substrat 100 abgeschieden wird. Das Material 306 wird von der Materialquelle 304 in einem Öffnungswinkel auf das Substrat 100 aufgebracht. Die Materialquelle 304 ist beispielsweise eine für das physikalische oder chemische Gasphasenabscheiden oder für das Atomlagenabscheiden verwendbare Quelle.In a further development of the method 120 becomes the layer with first area 102 and second area 104 trained by a material 306 from a source of material 304 through the mask 108 on the substrate 100 is deposited. The material 306 gets from the material source 304 at an opening angle to the substrate 100 applied. The material source 304 is, for example, a source usable for physical or chemical vapor deposition or atomic layer deposition.

Die Maske 108 wird in einem Abstand 110 über dem Substrat 100 angeordnet. In dem Abstand 110 ist eine Positionierungsstruktur 202 angeordnet. Darüber ist eine Struktur 310 mit Öffnungen angeordnet. Die Maske 108 weist die Positionierungsstruktur 202 auf. Alternativ ist die Positionierungsstruktur 202 zwischen der Maske 108 und dem Substrat 100 angeordnet wird.The mask 108 will be at a distance 110 above the substrate 100 arranged. In the distance 110 is a positioning structure 202 arranged. Above is a structure 310 arranged with openings. The mask 108 has the positioning structure 202 on. Alternatively, the positioning structure 202 between the mask 108 and the substrate 100 is arranged.

Die Struktur 310 mit Öffnungen kann auch als Fadenstruktur 310 bezeichnet werden. Die Fadenstruktur 310 ist eine Anordnung von Fäden, mit wenigstens einem ersten Faden und einem zweiten Faden, wobei der erste Faden und der zweite Faden eine Öffnung ausbilden mit einer Fläche. Alternativ ist die Fadenstruktur 310 als eine mikrostrukturierte Platte 310 oder eine Siebstruktur 310 mit Stegen ausgebildet sein, beispielsweise veranschaulicht in 3A.The structure 310 with openings can also be used as a thread structure 310 be designated. The thread structure 310 is an array of filaments having at least a first filament and a second filament, the first filament and the second filament forming an aperture having a surface. Alternatively, the thread structure 310 as a microstructured plate 310 or a sieve structure 310 formed with webs, for example illustrated in 3A ,

Die Maske 108 weist die Positionierungsstruktur 202 und die Fadenstruktur 310 auf und ist auf oder über dem Substrat 100 angeordnet. Alternativ weist die Maske 108 die Fadenstruktur 310 auf, und ist auf oder über der Positionierungsstruktur 202 über dem Substrat 100 angeordnet.The mask 108 has the positioning structure 202 and the thread structure 310 on and is on or above the substrate 100 arranged. Alternatively, the mask indicates 108 the thread structure 310 on, and is on or above the positioning structure 202 above the substrate 100 arranged.

Die Positionierungsstruktur 202 wird bezüglich des Substrats 100 in einer ersten Ebene angeordnet und die Fadenstruktur 310 in einer zweiten Ebene. Dadurch, dass die Fadenstruktur 310 in dem Abstand 110 über dem Substrat 100 angeordnet ist, wird wenigstens ein Teil 302 des Substrates 100 unter bzw. hinter der Fadenstruktur 310 hinterbeschichtet bzw. unterbedampft, beispielsweise veranschaulicht in 3A. Die Fadenstruktur 310 bewirkt die partielle Abschattierung des Materials der Schicht. Dadurch kann die erste Dicke und die Strukturierung der Oberfläche des ersten Bereichs 102 der Schicht 102 eingestellt werden. Der Strukturbereich der Unterdampfung, Unterbelichtung oder Unterätzung ist abhängig von der Breite der undurchlässigen Bereiche der Maske 108 im Strahlengengang des Materials 306, der Strahlung oder des Ätzmediums, beispielsweise der Stegbreite der Fadenstruktur 310. Weiterhin ist der Strukturbereich abhängig von der Dicke des undurchlässigen Bereichs, beispielsweise der Stegdicke der Fadenstruktur 310. Weiterhin ist der Strukturbereich abhängig von der Dicke der Positionierungsstruktur 202, das heißt dem minimalen Abstand der Öffnungen der Maske 108 von der Oberfläche des Substrats 100. Der Abstand 110 und/oder die Dicke der Positionierungsstruktur 202 bewirkt bzw. bewirken beispielsweise die gewünschte Unterdampfung bzw. Abschattierung der Oberfläche des Substrats 100.The positioning structure 202 becomes relative to the substrate 100 arranged in a first plane and the thread structure 310 in a second level. Because of the thread structure 310 in the distance 110 above the substrate 100 is arranged is at least a part 302 of the substrate 100 under or behind the thread structure 310 back-coated or under-evaporated, for example illustrated in FIG 3A , The thread structure 310 causes partial shading of the material of the layer. This allows the first thickness and the structuring of the surface of the first area 102 the layer 102 be set. The structure range of underdamping, underexposure or undercut depends on the width of the impermeable areas of the mask 108 in the beam access of the material 306 , the radiation or the etching medium, for example the web width of the thread structure 310 , Furthermore, the structural area is dependent on the thickness of the impermeable area, for example the web thickness of the thread structure 310 , Furthermore, the structure area is dependent on the thickness of the positioning structure 202 That is, the minimum distance of the openings of the mask 108 from the surface of the substrate 100 , The distance 110 and / or the thickness of the positioning structure 202 causes or effect, for example, the desired Unterdampfung or shading of the surface of the substrate 100 ,

In einer Weiterbildung ist die Positionierungsstruktur 202 derart ausgebildet, dass die Fadenstruktur 310 in dem Abstand 110 über dem Substrat 100 mittels eines körperlichen Kontaktes der Fadenstruktur 310 mit der Positionierungsstruktur 202 und/oder der Positionierungsstruktur 202 mit dem Substrat 100 angeordnet wird.In a further development is the positioning structure 202 formed such that the thread structure 310 in the distance 110 above the substrate 100 by means of a physical contact of the thread structure 310 with the positioning structure 202 and / or the positioning structure 202 with the substrate 100 is arranged.

Weiterhin ist die Positionierungsstruktur 202 derart ausgebildet, dass der erste Maskenbereich 112 direkt über dem ersten Bereich 102 und der zweite Maskenbereich 114 direkt über dem zweiten Bereich 104 positionierbar sind. Die Positionierungsstruktur 202 ist beispielsweise als ein Rahmen ausgebildet.Furthermore, the positioning structure 202 formed such that the first mask area 112 directly above the first area 102 and the second mask area 114 directly above the second area 104 are positionable. The positioning structure 202 is designed, for example, as a frame.

In einer Weiterbildung des Verfahrens 102 wird das Substrat 100 unter der Maske 108 und der Materialquelle 304 hindurchgeführt, veranschaulicht in 3A mittels des Pfeils 308. Mit anderen Worten: das Substrat 100 wird im sogenannten Inline-Modus über die eine Linearquelle gefahren. Dies ermöglicht das Ausbilden der Schicht mit erstem Bereich 102 und zweitem Bereich 104 auf einem relativ großen Substrat 100 mittels einer relativ kleinen, quasi punktförmigen, Material- oder Strahlungsquelle.In a further development of the method 102 becomes the substrate 100 under the mask 108 and the material source 304 passed through, illustrated in 3A by means of the arrow 308 , In other words: the substrate 100 is driven in so-called inline mode via the one linear source. This makes it possible to form the layer with the first region 102 and second area 104 on a relatively large substrate 100 by means of a relatively small, quasi punctiform, material or radiation source.

Anschaulich ist in 3A das Wirkungsprinzip der lateral partiell mikrostrukturierten Schattenmaske 108 als eine Maske 108 mit Unterdampfung veranschaulicht. Die Öffnungen der Schattenmaske 108 weisen eine Abmessung von ungefähr 10 μm bis ungefähr 100 μm, beispielsweise von ungefähr 20 μm bis ungefähr 75 μm, beispielsweise von ungefähr 50 μm, auf. Partiell kann die Maske 108 auch ein 20er-Raster aufweisen mit Abmessungen der Öffnungen von ca. 30 μm bis 40 μm. Mittels der Abschirmung des Substrates 100 mittels der Maske 108 entsteht eine Schicht mit einer reduzierten Schichtdicke, und beispielsweise mit lateraler Welligkeit. Der Abstand 110 der Maske 108 über dem Substrat 100 weist einen Wert in einem Bereich von ungefähr 100 μm bis ungefähr 1000 mm, beispielsweise von ungefähr 500 μm bis ungefähr 10 mm, beispielsweise von ungefähr 1 mm, auf.It is clear in 3A the principle of action of the laterally partially microstructured shadow mask 108 as a mask 108 illustrated with underdamping. The openings of the shadow mask 108 have a dimension of from about 10 μm to about 100 μm, for example from about 20 μm to about 75 μm, for example from about 50 μm. Partially, the mask 108 also have a 20-grid with dimensions of the openings of about 30 microns to 40 microns. By means of the shielding of the substrate 100 by means of the mask 108 This results in a layer with a reduced layer thickness, and for example with lateral waviness. The distance 110 the mask 108 above the substrate 100 has a value in a range of about 100 μm to about 1000 mm, for example, from about 500 μm to about 10 mm, for example, about 1 mm.

In einer Weiterbildung der Maske 108 weist die Maske 108 zusätzlich eine flächige Struktur 312 mit wenigstens einer Öffnung auf, beispielsweise veranschaulicht in 3B. Die Fläche der Öffnung der flächigen Struktur 312 ist größer als die mittlere Fläche der Öffnungen der Fadenstruktur 310. Die flächige Struktur 312 kann auch als eine Schablonenstruktur 312 bezeichnet werden. Die Schablonenstruktur 312 kann beispielsweise als eine strukturierte oder eine mikrostrukturierte Platte ausgebildet sein. Die Schablonenstruktur 312 weist eine oder mehrere vorgegebene Öffnung(en) mit jeweils einer Fläche auf. Die Fläche der Öffnung der Fadenstruktur 310 ist kleiner als die Fläche der Öffnung der Schablonenstruktur 312. Dadurch kann die Schablonenstruktur 312 verwendet werden, um die durchlässige Fläche der Fadenstruktur 310 auf einfache Weise zu verkleinern. In a further development of the mask 108 assigns the mask 108 in addition a flat structure 312 with at least one opening, for example illustrated in FIG 3B , The area of the opening of the flat structure 312 is greater than the mean area of the openings of the thread structure 310 , The flat structure 312 can also act as a template structure 312 be designated. The template structure 312 For example, it may be formed as a patterned or microstructured plate. The template structure 312 has one or more predetermined openings (s), each with a surface. The area of the opening of the thread structure 310 is smaller than the area of the opening of the template structure 312 , This allows the template structure 312 used to make the permeable area of the thread structure 310 in a simple way to downsize.

Die Schablonenstruktur 312 ist im Strahlengang des Materials 306 oder der Bestrahlung (nicht veranschaulicht) über dem Substrat 100 angeordnet. Die Fadenstruktur 310 und die Schablonenstruktur 312 werden derart über dem Substrat angeordnet, dass wenigstens eine Öffnung der Schablonenstruktur 312 und wenigstens eine Öffnung der Fadenstruktur 310 über dem ersten Bereich 102 angeordnet sind, so dass eine zusammenhängende Öffnung durch die Maske 108 ausgebildet wird. Beispielsweise bei der zweiten Elektrode des optoelektronischen Bauelementes als Schicht mit erstem Bereich und zweitem Bereich wird die zweite Elektrode 214 und/oder die strukturierte Oberfläche der zweiten Elektrode 214 im ersten Bereich 104 durch die Öffnung der Schablonenstruktur 312 und die Öffnung der Fadenstruktur 310 ausgebildet.The template structure 312 is in the beam path of the material 306 or irradiation (not illustrated) over the substrate 100 arranged. The thread structure 310 and the template structure 312 are arranged above the substrate such that at least one opening of the template structure 312 and at least one opening of the thread structure 310 over the first area 102 are arranged so that a contiguous opening through the mask 108 is trained. For example, in the second electrode of the optoelectronic component as a layer with first region and second region, the second electrode 214 and / or the structured surface of the second electrode 214 in the first area 104 through the opening of the template structure 312 and the opening of the thread structure 310 educated.

Die Schablonenstruktur 312 ist in einer dritten Ebene über dem Substrat 100 angeordnet. Alternativ ist die Schablonenstruktur 312 in der zweiten Ebene angeordnet und die Fadenstruktur 310 in der dritten Ebene.The template structure 312 is in a third plane above the substrate 100 arranged. Alternatively, the template structure 312 arranged in the second level and the thread structure 310 in the third level.

In einer Weiterbildung ist die Schablonenstruktur 312 aus einer Epoxidverbindung gebildet oder weist eine solche auf. Die Schablonenstruktur 312 stellt eine zusätzliche Möglichkeit der lateralen Strukturierung dar, beispielsweise für großflächige Abschattierungen. Dadurch kann die Fadenstruktur 310 aus einem einzigen Raster erzeugt werden. Dies vereinfacht das Herstellungsverfahren der Schicht, da eine Fadenstruktur 310 für eine Vielzahl unterschiedlicher Schablonenstrukturen 312 verwendet werden kann.In a further development is the template structure 312 formed from an epoxy compound or has such. The template structure 312 represents an additional possibility of lateral structuring, for example, for large-scale shading. This allows the thread structure 310 be generated from a single grid. This simplifies the manufacturing process of the layer, since a thread structure 310 for a variety of different template structures 312 can be used.

Mittels der Schablonenstruktur 312 kann auf einfache Weise die Schicht mit erstem Bereich 102 und zweitem Bereich 104 flächig über dem Substrat ausgebildet werden. Dadurch wird eine laterale Strukturierung der Fadenstruktur 310 optional mittels auch des ersten Bereichs 102 und des zweiten Bereichs 104 der Schicht ausgebildet. Dies ermöglicht, dass eine Fadenstruktur 310 für eine Vielzahl unterschiedlicher Schablonenstrukturen 312 verwendet werden kann. Dies ermöglicht ein flexibles, kundenspezifisches Ausbilden unterschiedlichster Designs des optoelektronischen Bauelements.By means of the template structure 312 can easily layer the first area 102 and second area 104 be formed flat over the substrate. This results in a lateral structuring of the thread structure 310 optionally also by means of the first area 102 and the second area 104 the layer formed. This allows for a thread structure 310 for a variety of different template structures 312 can be used. This enables a flexible, customer-specific design of very different designs of the optoelectronic component.

In einer Weiterbildung wirkt die Schablonenstruktur 312 als Positionierungsstruktur 202, indem die Schablonenstruktur 312 zwischen der Fadenstruktur 310 und dem Substrat 100 angeordnet wird, beispielsweise auf dem Substrat 100. Dadurch kann die Fadenstruktur 310 auf einfache Weise in dem Abstand 110 über dem Substrat 100 angeordnet werden und eine separate Positionierungsstruktur 202 optional werden.In a further development, the template structure acts 312 as a positioning structure 202 by changing the template structure 312 between the thread structure 310 and the substrate 100 is arranged, for example on the substrate 100 , This allows the thread structure 310 in a simple way in the distance 110 above the substrate 100 be arranged and a separate positioning structure 202 become optional.

In einer weiteren Weiterbildung der Maske 108 weist die Maske 108 eine Antihaftbeschichtung 314 freiliegend auf der Oberfläche der Maske 108 auf, beispielsweise veranschaulicht in 3C. Die Antihaftbeschichtung 314 ist derart ausgebildet, dass sie eine Antihaftwirkung bezüglich des Materials 304 der Schicht mit erstem Bereich 102 und zweitem Bereich 104 aufweist. Dadurch wird das Material 306 der Schicht, welches die Öffnungen der Fadenstruktur 310 beim Abscheiden verschließen könnte, einfacher von der Maske 108 entfernbar bzw. haftet gar nicht erst an der Maske 108. Dies ermöglicht, dass die Maske 108 einfacher und kostengünstiger gereinigt und wiederverwendet werden kann.In a further development of the mask 108 assigns the mask 108 a non-stick coating 314 exposed on the surface of the mask 108 on, for example, in 3C , The non-stick coating 314 is designed to have an anti-adhesive effect on the material 304 the layer with the first area 102 and second area 104 having. This will be the material 306 the layer containing the openings of the thread structure 310 could close off on deposition, easier on the mask 108 removable or does not stick to the mask 108 , This allows the mask 108 easier and cheaper to clean and reuse.

In einer Weiterbildung weist die Antihaftbeschichtung bezüglich des Materials, das durch die Maske 308 gelangt, eine Lotus-Oberflächenstruktur auf derart, dass die Antihaftbeschichtung einen Lotus-Effekt aufweist.In a further development, the non-stick coating with respect to the material that passes through the mask 308 reaches a Lotus surface structure in such a way that the non-stick coating has a lotus effect.

4A bis 4F veranschaulichen verschiedene Weiterbildungen des optoelektronischen Bauelements, die beispielsweise weitgehend den oben gezeigten Ausführungsbeispielen entsprechen können. 4A to 4F illustrate various developments of the optoelectronic device, which may for example largely correspond to the embodiments shown above.

In einem Ausführungsbeispiel weist das optoelektronische Bauelement 400 eine optisch aktive Struktur 414 mit wenigstens einer elektrolumineszierenden Schicht auf. Die elektrolumineszierende Schicht ist zum Bereitstellen einer elektromagnetischen Strahlung aus einem elektrischen Strom ausgebildet. Weiterhin weist das optoelektronische Bauelement 400 wenigstens eine Schicht mit einem ersten Bereich 102 und einem zweiten Bereich 104 auf, wobei der erste Bereich 102 neben dem zweiten Bereich 104 angeordnet ist, und der erste Bereich 102 und der zweite Bereich 104 im Strahlengang der elektromagnetischen Strahlung angeordnet sind und/oder die Schicht ein Teil der optisch aktiven Struktur 414 ist. Die Schicht im ersten Bereich 102 weist eine erste Dicke und eine strukturierte Oberfläche auf, und die Schicht im zweiten Bereich 104 eine zweite Dicke, wobei die zweite Dicke größer ist als die erste Dicke.In one embodiment, the optoelectronic component 400 an optically active structure 414 with at least one electroluminescent layer. The electroluminescent layer is configured to provide electromagnetic radiation from an electrical current. Furthermore, the optoelectronic component 400 at least one layer with a first area 102 and a second area 104 on, the first area 102 next to the second area 104 is arranged, and the first area 102 and the second area 104 are arranged in the beam path of the electromagnetic radiation and / or the layer is a part of the optically active structure 414 is. The layer in the first area 102 has a first thickness and a textured surface, and the layer in the second area 104 a second thickness, wherein the second thickness is greater than the first thickness.

Das optoelektronische Bauelement 400 weist eine optisch aktive Struktur 414 auf oder über dem Träger 200 auf.The optoelectronic component 400 has an optically active structure 414 on or above the vehicle 200 on.

Die optisch aktive Struktur 414 weist wenigstens eine erste Elektrode 210, eine organische funktionelle Schichtenstruktur 212 und eine zweite Elektrode 214 auf, die eine oder mehrere Schicht(en) mit einem ersten Bereich 102 und einem zweiten Bereich 104 aufweist bzw. aufweisen oder derart ausgebildet ist bzw. sind.The optically active structure 414 has at least one first electrode 210 , an organic functional layer structure 212 and a second electrode 214 on which one or more layer (s) with a first area 102 and a second area 104 have or have or are designed in such a way or are.

In den in 4A bis 4F veranschaulichten Weiterbildungen des optoelektronischen Bauelementes 400 ist zur Veranschaulichung jeweils die zweite Elektrode 214 als Schicht mit erstem Bereich 102 und zweitem Bereich 104 ausgebildet bzw. eingerichtet.In the in 4A to 4F illustrated developments of the optoelectronic component 400 is for illustrative purposes the second electrode 214 as a layer with the first area 102 and second area 104 trained or furnished.

In einer Weiterbildung ist mittels der Schicht im ersten Bereich 102 eine erste optoelektronische Bauelement-Einheit 420 und im zweiten Bereich 104 eine zweite optoelektronische Bauelement-Einheit 410 ausgebildet, wobei sich die erste optoelektronische Bauelement-Einheit 420 von der zweiten optoelektronischen Bauelement-Einheit 410 in wenigstens einer optischen und/oder elektronischen Eigenschaft unterscheidet. Mit anderen Worten: mittels der zweiten Elektrode 214 mit erstem Bereich 102 und zweitem Bereich 104 wird in dem optoelektronischen Bauelement 400 eine erste optoelektronische Bauelemente-Einheit 420 und eine zweite optoelektronische Bauelemente-Einheit 410 realisiert, beispielsweise veranschaulicht in 4A. Die erste optoelektronische Bauelemente-Einheit 420 ist definiert als der flächige Teil der optisch aktiven Struktur 414 mit dem ersten Bereich 102 der zweiten Elektrode 214, und die zweite optoelektronische Bauelemente-Einheit 410 mittels des Teils der optisch aktiven Struktur 414 mit dem zweiten Bereich 104 der zweiten Elektrode 214.In a development is by means of the layer in the first area 102 a first optoelectronic component unit 420 and in the second area 104 a second optoelectronic component unit 410 formed, wherein the first optoelectronic component unit 420 from the second optoelectronic component unit 410 differs in at least one optical and / or electronic property. In other words: by means of the second electrode 214 with first area 102 and second area 104 is in the optoelectronic device 400 a first optoelectronic component unit 420 and a second optoelectronic component unit 410 realized, for example, illustrated in 4A , The first optoelectronic component unit 420 is defined as the planar part of the optically active structure 414 with the first area 102 the second electrode 214 , and the second optoelectronic component unit 410 by means of the part of the optically active structure 414 with the second area 104 the second electrode 214 ,

In einer Weiterbildung, beispielsweise veranschaulicht in 4A, ist die zweite Elektrode 214 mit erstem Bereich 102 und zweitem Bereich 104 derart ausgebildet, dass der erste Bereich 102 und der zweite Bereich 104 der zweiten Elektrode 214 körperlich miteinander verbunden sind und einen scharfen, quasi unstetigen, diskreten oder stufenförmigen Übergang aufweisen.In a development, for example, illustrated in 4A , is the second electrode 214 with first area 102 and second area 104 formed such that the first area 102 and the second area 104 the second electrode 214 are physically interconnected and have a sharp, quasi discontinuous, discrete or stepped transition.

In der in 4A veranschaulichten Weiterbildung der zweiten Elektrode 214 ist der zweite Bereich 104 der zweiten Elektrode 214 mittels der zweiten Dicke des elektrisch leitenden Materials der zweiten Elektrode 214 opak und/oder spiegelnd. Dadurch ist die zweite optoelektronische Bauelemente-Einheit 410 als eine nach unten elektromagnetische Strahlung emittierende Bauelemente-Einheit ausgebildet, das heißt als ein Bottom-Emitter, veranschaulicht mittels des Pfeils 434. Der erste Bereich 102 der zweiten Elektrode 214 weist eine erste Dicke auf, bei der die zweite Elektrode 214 wenigstens teilweise transparent oder transluzent bezüglich der emittierten elektromagnetischen Strahlung ist. Dadurch ist die erste optoelektronische Bauelemente-Einheit 420 eine in zwei Richtungen emittierende optoelektronische Bauelemente-Einheit, auch bezeichnet als bidirektional elektromagnetische Strahlung emittierend, veranschaulicht mittels der Pfeile 430, 432.In the in 4A illustrated development of the second electrode 214 is the second area 104 the second electrode 214 by the second thickness of the electrically conductive material of the second electrode 214 opaque and / or reflective. As a result, the second optoelectronic component unit 410 as a downwardly emitting electromagnetic radiation device unit, that is, as a bottom emitter, illustrated by means of the arrow 434 , The first area 102 the second electrode 214 has a first thickness at which the second electrode 214 at least partially transparent or translucent with respect to the emitted electromagnetic radiation. As a result, the first optoelectronic component unit 420 a bi-directionally emitting optoelectronic component unit, also referred to as bidirectional emitting electromagnetic radiation, illustrated by means of the arrows 430 . 432 ,

Somit kann mittels einer einzigen Maske 108, und somit auf einfachere Weise, eine lateral strukturierte zweite Elektrode 214 ausgebildet werden, die im ersten Bereich 102 transparent oder transluzent ist, und im zweiten Bereich 104 opak und/oder spiegelnd ist. Dadurch wird ein optoelektronisches Bauelement 400 realisiert, dass nebeneinander in wenigstens eine unterschiedliche Hauptemissionsrichtung elektromagnetische Strahlung emittierende Bauelemente-Einheiten 410, 420 auf einem gemeinsamen Träger 200 aufweist. Mittels der einen einzigen Maske 108 können die Justagetoleranzen zum Ausrichten mehrerer Masken nacheinander über dem Träger 200 entfallen oder reduziert werden, so dass zwischen den optoelektronischen Bauelemente-Einheiten 410, 420 ein besonders scharfer Übergang realisiert werden kann.Thus, by means of a single mask 108 , and thus in a simpler way, a laterally structured second electrode 214 be trained in the first area 102 is transparent or translucent, and in the second area 104 opaque and / or reflective. This will be an optoelectronic device 400 realized that side by side in at least one different main emission direction electromagnetic radiation emitting device units 410 . 420 on a common carrier 200 having. By means of a single mask 108 The adjustment tolerances can be used to align multiple masks one after the other over the carrier 200 eliminated or reduced, so that between the optoelectronic component units 410 . 420 a particularly sharp transition can be realized.

Weiterhin weist das optoelektronische Bauelement 400 in einem Strahlengang oder in mehreren Strahlengängen der elektromagnetischen Strahlungen 430, 432, 434 eine Auskoppelstruktur auf (nicht veranschaulicht), beispielsweise auf dem Träger oder der Abdeckung des optoelektronischen Bauelementes. Die Auskoppelstruktur weist eingebettet in einer Matrix bezüglich der elektromagnetischen Strahlung streuende Partikel auf.Furthermore, the optoelectronic component 400 in one beam path or in several beam paths of the electromagnetic radiation 430 . 432 . 434 a coupling-out structure (not illustrated), for example on the carrier or the cover of the optoelectronic component. The coupling-out structure has particles embedded in a matrix with respect to the electromagnetic radiation-scattering particles.

Weiterhin weist das optoelektronische Bauelement 400 eine Verkapselungsstruktur auf. Die Verkapselungsstruktur weist eine Barrierendünnschicht 408, eine Verbindungsschicht 424 und eine Abdeckung 426 auf. Alternativ ist die Barrierendünnschicht 408 optional, so dass die Abdeckung 426 direkt auf der optisch aktiven Struktur 414 und dem Substrat 100 mittels der Verbindungsschicht 424 verbunden ist. Alternativ ist die Abdeckung 426 und/oder die Verbindungsschicht 424 optional, so dass die optisch aktive Struktur 414 mittels der Barrierendünnschicht 408 hermetisch abgedichtet ist. Bei einer Verkapselungsstruktur mit Verbindungsschicht 424 und Barrierendünnschicht 408 wirkt die Verbindungsschicht 424 als ein mechanischer Schutz für die Barrierendünnschicht 408. Bei einer Verkapselungsstruktur mit Abdeckung 426 und Barrierendünnschicht 408 wirkt die Abdeckung 426 als ein mechanischer Schutz bezüglich der Barrierendünnschicht 408, und kann beispielsweise mittels eines Plasmaspritzens direkt auf der Barrierendünnschicht 408 ausgebildet werden.Furthermore, the optoelectronic component 400 an encapsulation structure. The encapsulation structure has a barrier thin film 408 , a tie layer 424 and a cover 426 on. Alternatively, the barrier thin film 408 optional, leaving the cover 426 directly on the optically active structure 414 and the substrate 100 by means of the bonding layer 424 connected is. Alternatively, the cover 426 and / or the tie layer 424 optional, so that the optically active structure 414 by means of the barrier thin film 408 hermetically sealed. In an encapsulation structure with interconnect layer 424 and barrier thin film 408 the connection layer acts 424 as a mechanical protection for the barrier thin film 408 , In an encapsulation structure with cover 426 and barrier thin film 408 the cover works 426 as a mechanical protection with respect to the barrier thin film 408 , and may for example by means of a plasma spraying directly on the barrier thin film 408 be formed.

Das veranschaulichte optoelektronische Bauelement 400 ist monolithisch ausgebildet, indem die Verkapselungsstruktur ungefähr die gleiche Abmessung aufweist wie der Träger 200.The illustrated optoelectronic component 400 is formed monolithic in that the encapsulation structure has approximately the same dimension as the carrier 200 ,

In einer weiteren Weiterbildung, beispielsweise veranschaulicht in 4B, wird das optoelektronische Bauelement 400 mit einem Zwischenbereich 436 zwischen dem ersten Bereich 102 und dem zweiten Bereich 104 der zweiten Elektrode 214 ausgebildet. In einer weiteren Weiterbildung ist der Zwischenbereich 436 ein Teil der zweiten Elektrode 214 und unterscheidet sich in wenigstens einer elektrischen und/oder optischen Eigenschaft zu dem ersten Bereich 102 und dem zweiten Bereich 104 der zweiten Elektrode, beispielsweise weist der Zwischenbereich 436 eine dritte Dicke auf, die unterschiedliche zu der ersten Dicke und der zweiten Dicke ist. Alternativ ist der Zwischenbereich 436 frei von Material der zweiten Elektrode 214. In der in 4B veranschaulichten Weiterbildung des optoelektronischen Bauelementes 400 ist in dem Zwischenbereich 436 ein Teil der wenigstens teilweise transluzenten Barrierendünnschicht 408 ausgebildet. Dadurch kann bei einer elektrisch isolierenden Barrierendünnschicht 408 der erste Bereich 102 der zweiten Elektrode 214 von dem zweiten Bereich 104 der zweiten Elektrode 214 elektrisch isoliert werden. Dies ermöglicht ein elektrisch voneinander unabhängiges, individuelles Ansteuern der nebeneinander angeordneten ersten optoelektronischen Bauelemente-Einheit 420 und der zweiten optoelektronischen Bauelemente-Einheit 410, wie ausführlicher noch unten beschrieben wird. Das Ansteuern kann beispielsweise mittels eines Bereitstellens eines Stromes an die Elektroden 210, 214 der optoelektronischen Bauelemente-Einheit 410, 420 realisiert sein, beispielsweise eines Wechselstromes, eines Gleichstromes, eines pulsamplitudenmodulierten Stromes oder eines Puls-Code-modulierten Stromes.In a further development, for example illustrated in 4B , becomes the optoelectronic component 400 with an intermediate area 436 between the first area 102 and the second area 104 the second electrode 214 educated. In a further development is the intermediate area 436 a part of the second electrode 214 and differs in at least one electrical and / or optical characteristic to the first region 102 and the second area 104 the second electrode, for example, has the intermediate region 436 a third thickness that is different to the first thickness and the second thickness. Alternatively, the intermediate area 436 free of material of the second electrode 214 , In the in 4B illustrated embodiment of the optoelectronic device 400 is in the intermediate area 436 a part of the at least partially translucent barrier thin film 408 educated. As a result, in the case of an electrically insulating barrier thin film 408 the first area 102 the second electrode 214 from the second area 104 the second electrode 214 be electrically isolated. This enables an electrically independent, individual control of the juxtaposed first optoelectronic component unit 420 and the second optoelectronic device unit 410 as described in more detail below. The driving, for example, by means of providing a current to the electrodes 210 . 214 the optoelectronic component unit 410 . 420 be realized, for example, an alternating current, a direct current, a pulse amplitude modulated current or a pulse-code-modulated current.

In einer Weiterbildung sind die erste Elektrode 210 der ersten optoelektronischen Bauelemente-Einheit 420 und die erste Elektrode 210 der zweiten optoelektronischen Bauelemente-Einheit 410 elektrisch und/oder körperlich voneinander isoliert (nicht veranschaulicht). Die erste Elektrode 210 ist wenigstens teilweise transluzent ausgebildet.In a further development, the first electrode 210 the first optoelectronic component unit 420 and the first electrode 210 the second optoelectronic component unit 410 electrically and / or physically isolated from each other (not illustrated). The first electrode 210 is at least partially translucent.

In einer weiteren Weiterbildung, beispielsweise veranschaulicht in 4C, ist in dem Zwischenbereich 436 und/oder in den Schichten bzw. Strukturen über oder unter dem Zwischenbereich 436 eine elektrisch leitende Struktur 438 ausgebildet. Die elektrisch leitende Struktur 438 kann in oder auf dem Träger 200, der ersten Elektrode 410, der organischen funktionellen Schichtenstruktur 412 und/oder der Barrierendünnschicht 408 ausgebildet sein. Die elektrisch leitende Struktur 438 kann beispielsweise eine elektrische Verbindungsschicht oder eine elektrische Sammelschiene sein. Die elektrisch leitende Struktur 438 ist zu einem elektrisch leitenden Verbinden der optoelektronischen Bauelemente-Einheiten 410, 420 eingerichtet. Alternativ oder zusätzlich ist die elektrisch leitende Struktur 438 zu einem Erhöhen der Flächenstromverteilung in den optoelektronischen Bauelemente-Einheiten 410, 420 eingerichtet.In a further development, for example illustrated in 4C , is in the intermediate area 436 and / or in the layers or structures above or below the intermediate region 436 an electrically conductive structure 438 educated. The electrically conductive structure 438 can in or on the carrier 200 , the first electrode 410 , the organic functional layer structure 412 and / or the barrier thin film 408 be educated. The electrically conductive structure 438 For example, it may be an electrical connection layer or an electrical busbar. The electrically conductive structure 438 is an electrically conductive connection of the optoelectronic component units 410 . 420 set up. Alternatively or additionally, the electrically conductive structure 438 for increasing the area current distribution in the optoelectronic component units 410 . 420 set up.

In einer weiteren Weiterbildung, beispielsweise veranschaulicht in 4D, ist in der ersten optoelektronischen Bauelemente-Einheit 420 eine laterale optische Strukturierung 440 ausgebildet. Die laterale optische Strukturierung 440 ist in dem Strahlengang wenigstens einer Emissionsrichtung der von der ersten optoelektronischen Bauelemente-Einheit 420 emittierten elektromagnetischen Strahlung 430, 432 ausgebildet. Die laterale optische Strukturierung 440 ist derart ausgebildet, dass sie den Strahlengang wenigstens einer dieser elektromagnetischen Strahlungen 430,432 umlenkt und/oder wenigstens einen Teil dieser elektromagnetischen Strahlung 430, 432 absorbiert. Die laterale optische Strukturierung 440 kann bezüglich der elektromagnetischen Strahlung 430, 432 beispielsweise optisch inaktiv, transparenter, reflektierender oder spiegelnder ausgebildet als der Bereich der ersten optoelektronischen Bauelement-Einheit 420, der frei ist von lateraler optischer Strukturierung 440.In a further development, for example illustrated in 4D , is in the first optoelectronic devices unit 420 a lateral optical structuring 440 educated. The lateral optical structuring 440 is in the beam path of at least one emission direction of the first optoelectronic component unit 420 emitted electromagnetic radiation 430 . 432 educated. The lateral optical structuring 440 is formed such that it the beam path of at least one of these electromagnetic radiation 430 . 432 deflects and / or at least part of this electromagnetic radiation 430 . 432 absorbed. The lateral optical structuring 440 can with respect to the electromagnetic radiation 430 . 432 For example, optically inactive, transparent, reflective or reflective formed as the area of the first optoelectronic component unit 420 which is free of lateral optical structuring 440 ,

In einer weiteren Weiterbildung ist die laterale optische Strukturierung 440 aus einem Leuchtstoff gebildet, der zu einem Wellenlängenkonvertieren wenigstens eines Teils der transmittierenden elektromagnetischen Strahlung eingerichtet ist.In a further development, the lateral optical structuring 440 formed of a phosphor adapted to wavelength-convert at least a portion of the transmissive electromagnetic radiation.

Alternativ oder zusätzlich ist die optisch laterale Strukturierung 440 in der zweiten optoelektronischen Bauelemente-Einheit 410 ausgebildet.Alternatively or additionally, the optically lateral structuring 440 in the second optoelectronic component unit 410 educated.

Mittels der lateralen optischen Strukturierung 440 kann auf einfache Weise in der strahlungsemittierenden Fläche der optoelektronischen Bauelemente-Einheiten 410, 420 der optisch aktiven Struktur 414 eine Information optisch dargestellt werden.By means of the lateral optical structuring 440 can in a simple way in the radiation-emitting surface of the optoelectronic component units 410 . 420 the optically active structure 414 an information is visually displayed.

In einer Weiterbildung ist die laterale optische Strukturierung 440 als ein elektrisch leitender oder elektrisch isolierender Zwischenbereich 436 ausgebildet.In a further development, the lateral optical structuring 440 as an electrically conductive or electrically insulating intermediate region 436 educated.

Das optoelektronischer Bauelement 400 kann eine beliebige Anzahl und/oder Größe von Flächen und/oder Richtungen strahlungsemittierender Bereiche, das heißt optoelektronischer Bauelemente-Einheiten, aufweisen.The optoelectronic component 400 can have any number and / or size of areas and / or directions of radiation-emitting areas, that is to say optoelectronic component units.

In einer Weiterbildung des optoelektronischen Bauelementes 400 weist das optoelektronische Bauelement 400 Bauelement-externe Anschlüsse 218 auf. Mittels der Bauelement-externen Anschlüsse 218 sind die optoelektronischen Bauelemente-Einheiten 410, 420 mit einem elektrischen Strom von einer Bauelement-externen Energiequelle versorgbar. Die erste Elektrode 210 und die zweite Elektrode 214 sind jeweils mit einem elektrischen Anschluss 218 elektrisch verbunden. Die erste Elektrode 210 und die zweite Elektrode 214 der optoelektronischen Bauelemente-Einheiten 410, 420 weisen jeweils einen körperlichen Kontakt mit einem elektrischen Anschluss 218 auf. Alternativ ist die erste Elektrode 210 bzw. die zweite Elektrode 214 mittels einer elektrischen Verbindungsstruktur 438 elektrisch mit dem jeweiligen Anschluss 218 der Elektrode verbunden. Die erste optoelektronischer Bauelement-Einheit 420 und die zweite optoelektronischen Bauelement-Einheit 410 können eine oder mehrere gemeinsame Elektroden bzw. Kontaktierungen (einen Pol) aufweisen, beispielsweise veranschaulicht in 4E. In a further development of the optoelectronic component 400 has the optoelectronic component 400 Component-external connections 218 on. By means of the component-external connections 218 are the optoelectronic component units 410 . 420 supplied with an electric current from a component-external power source. The first electrode 210 and the second electrode 214 are each with an electrical connection 218 electrically connected. The first electrode 210 and the second electrode 214 the optoelectronic component units 410 . 420 each have a physical contact with an electrical connection 218 on. Alternatively, the first electrode 210 or the second electrode 214 by means of an electrical connection structure 438 electrically with the respective connection 218 connected to the electrode. The first optoelectronic component unit 420 and the second optoelectronic device unit 410 may comprise one or more common electrodes or contacts (one pole), for example illustrated in FIG 4E ,

In einer Weiterbildung des optoelektronischen Bauelementes 400, beispielsweise veranschaulicht in 4F, weisen die erste optoelektronische Bauelemente-Einheit 420 und die zweite optoelektronische Bauelement 410 jeweils einen elektrischen Anschluss 218 auf, der von der anderen optoelektronischen Bauelemente-Einheit elektrisch isoliert ist. Mit anderen Worten die optoelektronischen Bauelemente-Einheiten 410, 420 weisen getrennte Kontaktierung (einen Pol) auf. Dies ermöglicht eine getrennte Ansteuerung der optoelektronischen Bauelemente-Einheiten 410, 420.In a further development of the optoelectronic component 400 , for example, illustrated in 4F , assign the first optoelectronic device unit 420 and the second opto-electronic device 410 one electrical connection each 218 which is electrically isolated from the other optoelectronic component unit. In other words, the optoelectronic component units 410 . 420 have separate contact (one pole). This allows a separate control of the optoelectronic component units 410 . 420 ,

In einer Weiterbildung des optoelektronischen Bauelementes 400 weisen die optoelektronischen Bauelemente-Einheiten 410, 420 eine gemeinsame elektrische Kontaktierung auf. Alternativ ist die elektrische Kontaktierung der optoelektronischen Bauelemente-Einheiten 410, 420 elektrisch und/oder körperlich getrennt.In a further development of the optoelectronic component 400 have the optoelectronic component units 410 . 420 a common electrical contact on. Alternatively, the electrical contacting of the optoelectronic component units 410 . 420 electrically and / or physically separated.

In einer Weiterbildung des optoelektronischen Bauelementes 400 weisen die optoelektronischen Bauelemente-Einheiten 410, 420 eine gemeinsame Kontaktelektrode auf. Alternativ ist die Kontaktelektrode der optoelektronischen Bauelemente-Einheiten 410, 420 elektrisch und/oder körperlich getrennt.In a further development of the optoelectronic component 400 have the optoelectronic component units 410 . 420 a common contact electrode. Alternatively, the contact electrode of the optoelectronic component units 410 . 420 electrically and / or physically separated.

In einer Weiterbildung des optoelektronischen Bauelementes 400 weisen die optoelektronischen Bauelemente-Einheiten 410, 420 eine gemeinsame organische funktionelle Schichtenstruktur 212 auf. Alternativ weisen die optoelektronischen Bauelemente-Einheiten 410, 420 organische funktionelle Schichtenstrukturen 212 auf, die elektrisch und/oder körperlich voneinander getrennt sind.In a further development of the optoelectronic component 400 have the optoelectronic component units 410 . 420 a common organic functional layer structure 212 on. Alternatively, the optoelectronic component units 410 . 420 organic functional layer structures 212 which are electrically and / or physically separated from each other.

In einer Weiterbildung des optoelektronischen Bauelementes 400 weisen die optoelektronischen Bauelemente-Einheiten 410, 420 eine der nachfolgenden Bauformen auf: Top-Emitter, Bottom-Emitter, bidirektionaler Emitter.In a further development of the optoelectronic component 400 have the optoelectronic component units 410 . 420 one of the following designs: top emitter, bottom emitter, bidirectional emitter.

Weiterhin können die optoelektronischen Bauelemente-Einheiten 410, 420 mit oder ohne Barrierendünnschicht 408 ausgebildet sein. Weiterhin kann die organischen funktionellen Schichtenstruktur der optoelektronischen Bauelemente-Einheiten 410, 420 vollständig von Metallisierung abgedeckt sein, oder strukturiert sein und teilweise freiliegen. Mit anderen Worten: es ist eine beliebige Kombination von Kontaktierung aller Kontakte denkbar, und Kombinationen ohne elektrische Isolierung 204.Furthermore, the optoelectronic component units 410 . 420 with or without barrier thin film 408 be educated. Furthermore, the organic functional layer structure of the optoelectronic component units 410 . 420 be completely covered by metallization, or be textured and partially exposed. In other words, any combination of contacting all contacts is conceivable, and combinations without electrical isolation 204 ,

In einer Weiterbildung weist die organische funktionelle Schichtenstruktur 212 eine Schicht mit einem ersten Bereich 102 und einem zweiten Bereich 104 auf. Dadurch kann mittels der lateral unterschiedlichen organischen funktionellen Schichtenstruktur 212 von den optoelektronischen Bauelemente-Einheiten 410, 420 elektromagnetische Strahlung mit unterschiedlicher Farbe emittiert werden.In a further development, the organic functional layer structure 212 a layer with a first area 102 and a second area 104 on. As a result, by means of the laterally different organic functional layer structure 212 from the optoelectronic component units 410 . 420 electromagnetic radiation of different colors are emitted.

In einer Weiterbildung ist die Schicht im zweiten Bereich 104 im Wesentlichen planar, beispielsweise weist die Oberfläche der Schicht im zweiten Bereich 104 eine Rauheit von weniger als 0,25 μm auf.In a further development, the layer is in the second area 104 substantially planar, for example, the surface of the layer in the second region 104 a roughness of less than 0.25 microns.

In einer Weiterbildung weist die strukturierte Oberfläche der Schicht im ersten Bereich 102 eine erste Strukturierung auf und die Schicht im zweiten Bereich 104 eine strukturierte Oberfläche mit einer zweiten Strukturierung, wobei sich die zweite Strukturierung von der ersten Strukturierung unterscheidet. Die zweite Strukturierung kann unterschiedlich zu der ersten Strukturierung sein in einer der folgenden Eigenschaften der Strukturen: im Aspektverhältnis, der Form, der Periodizität.In a development, the structured surface of the layer in the first area 102 a first structuring on and the layer in the second area 104 a structured surface having a second structuring, the second structuring being different from the first structuring. The second structuring may be different from the first structuring in one of the following properties of the structures: the aspect ratio, the shape, the periodicity.

Eine Strukturierung weist eine periodische und/oder zufällige Anordnung von Erhebungen und/oder Vertiefungen in der Oberfläche auf. Die Erhebungen und/oder Vertiefungen können eine konvexe und/oder konkave Form aufweisen; beispielsweise lochförmig, grabenförmig oder linsenförmig sein.A structuring has a periodic and / or random arrangement of elevations and / or depressions in the surface. The elevations and / or depressions may have a convex and / or concave shape; for example, be hole-shaped, trench-shaped or lenticular.

In einer Weiterbildung ist die Schicht derart ausgebildet, dass die Schicht im ersten Bereich 102 einen Unterschied in wenigstens einer optischen und/oder elektrischen Eigenschaft aufweist im Vergleich zum zweiten Bereich 104.In a development, the layer is formed such that the layer in the first area 102 has a difference in at least one optical and / or electrical characteristic compared to the second range 104 ,

In einer Weiterbildung ist bezüglich sichtbaren Lichts der erste Bereich 102 transluzent oder transparent, und der zweite Bereich 104 opak und/oder spiegelnd.In a development, the first region is with respect to visible light 102 translucent or transparent, and the second area 104 opaque and / or reflective.

In einer Weiterbildung ist das optoelektronische Bauelement derart ausgebildet, dass der erste Bereich 102 ein erstes sichtbares Licht und der zweite Bereich 104 ein zweites sichtbares Licht emittiert, wobei das erste sichtbare Licht und das zweite sichtbare Licht einen unterschiedlichen Farbort, eine unterschiedliche Helligkeit und/oder eine unterschiedliche Sättigung aufweisen. In a development, the optoelectronic component is designed such that the first region 102 a first visible light and the second area 104 emits a second visible light, wherein the first visible light and the second visible light have a different color location, a different brightness and / or a different saturation.

In einer Weiterbildung ist ein Zwischenbereich 436 zwischen dem ersten Bereich 102 und dem zweiten Bereich 104 auf dem Substrat frei von der Schicht.In one development is an intermediate area 436 between the first area 102 and the second area 104 on the substrate free from the layer.

In einer Weiterbildung weist das Substrat 100 unter oder in dem Zwischenbereich 436 eine elektrische Sammelschiene auf.In a further development, the substrate 100 under or in the intermediate area 436 an electric busbar on.

In einer Weiterbildung weisen die erste optoelektronische Bauelement-Einheit 420 und die zweite optoelektronische Bauelement-Einheit 410 wenigstens eine gemeinsame Elektrode und/oder einen gemeinsamen elektrischen Bauelement-externen Anschluss 218 auf.In a further development, the first optoelectronic component unit 420 and the second optoelectronic device unit 410 at least one common electrode and / or a common electrical component-external connection 218 on.

In einer Weiterbildung ist die erste optoelektronische Bauelement-Einheit 420 von der zweiten optoelektronischen Bauelement-Einheit 410 derart elektrisch isoliert, dass der Betriebsstrom der ersten optoelektronischen Bauelement-Einheit 420 nur durch die erste optoelektronische Bauelement-Einheit 420 fließt und der Betriebsstrom der zweiten optoelektronischen Bauelement-Einheit 410 nur durch die zweite optoelektronische Bauelement-Einheit 410 fließt.In a development, the first optoelectronic component unit 420 from the second optoelectronic component unit 410 electrically isolated such that the operating current of the first optoelectronic component unit 420 only through the first optoelectronic component unit 420 flows and the operating current of the second optoelectronic component unit 410 only through the second optoelectronic component unit 410 flows.

In einer Weiterbildung ist das optoelektronische Bauelement 400 als organisches optoelektronisches Bauelement 400 ausgebildet, beispielsweise als eine organische Leuchtdiode, ein organischer Fotodetektor und/oder ein organisches Display-Bauelement.In a development, the optoelectronic component 400 as an organic optoelectronic component 400 formed, for example, as an organic light-emitting diode, an organic photodetector and / or an organic display device.

In einer Weiterbildung ist das optoelektronische Bauelement als Display-Bauelement mit einer Vielzahl an Bildpunkten ausgebildet, wobei jeder Bildpunkt aus zwei oder mehr Untereinheiten gebildet ist und die erste optoelektronische Bauelement-Einheit 420 und die zweite optoelektronische Bauelement-Einheit 410 als Untereinheiten eines Bildpunktes ausgebildet sind.In one development, the optoelectronic component is designed as a display component with a large number of pixels, each pixel being formed from two or more subunits and the first optoelectronic component unit 420 and the second optoelectronic device unit 410 are formed as subunits of a pixel.

Das optoelektronische Bauelement 400 weist ein hermetisch dichtes Substrat, einen aktiven Bereich und eine Verkapselungsstruktur auf.The optoelectronic component 400 has a hermetically sealed substrate, an active region and an encapsulation structure.

Das hermetisch dichte Substrat weist den Träger 200 und eine Barriereschicht auf.The hermetically sealed substrate has the carrier 200 and a barrier layer up.

Der aktive Bereich ist ein elektrisch aktiver Bereich und/oder ein optisch aktiver Bereich. Der aktive Bereich ist beispielsweise der Bereich des optoelektronischen Bauelements 400, in dem elektrischer Strom zum Betrieb des optoelektronischen Bauelements 400 fließt und/oder in dem elektromagnetische Strahlung erzeugt und/oder absorbiert wird. Anschaulich beschreibt die elektrisch aktive Struktur 414 die horizontale Ausdehnung des vertikalen aktiven Bereichs.The active region is an electrically active region and / or an optically active region. The active region is, for example, the region of the optoelectronic component 400 in which electrical current for operation of the optoelectronic component 400 flows and / or generated and / or absorbed in the electromagnetic radiation. Clearly describes the electrically active structure 414 the horizontal extent of the vertical active area.

Der elektrisch aktive Bereich weist die erste Elektrode 210, die organische funktionelle Schichtenstruktur 212 und die zweiten Elektrode 214 auf.The electrically active region has the first electrode 210 , the organic functional layer structure 212 and the second electrode 214 on.

Die organische funktionelle Schichtenstruktur 212 kann ein, zwei oder mehr funktionelle Schichtenstruktur-Einheiten und eine, zwei oder mehr Zwischenschichtstruktur(en) zwischen den Schichtenstruktur-Einheiten aufweisen. Die organische funktionelle Schichtenstruktur 212 kann beispielsweise eine erste organische funktionelle Schichtenstruktur-Einheit, eine Zwischenschichtstruktur und eine zweite organische funktionelle Schichtenstruktur-Einheit aufweisen.The organic functional layer structure 212 may comprise one, two or more functional layered structure units and one, two or more interlayer structures between the layered structure units. The organic functional layer structure 212 For example, it may comprise a first organic functional layer structure unit, an interlayer structure, and a second organic functional layer structure unit.

Die Verkapselungsstruktur kann eine zweite Barrierendünnschicht 408, eine Verbindungsschicht 424 und eine Abdeckung 426 aufweisen.The encapsulation structure may be a second barrier thin film 408 , a tie layer 424 and a cover 426 exhibit.

Die Barriereschicht kann eines der nachfolgenden Materialien aufweisen oder daraus gebildet sein: Aluminiumoxid, Zinkoxid, Zirkoniumoxid, Titanoxid, Hafniumoxid, Tantaloxid, Lanthaniumoxid, Siliziumoxid, Siliziumnitrid, Siliziumoxinitrid, Indiumzinnoxid, Indiumzinkoxid, Aluminium-dotiertes Zinkoxid, Poly(p-phenylenterephthalamid), Nylon 66, sowie Mischungen und Legierungen derselben.The barrier layer may include or be formed from any of the following materials: alumina, zinc oxide, zirconia, titania, hafnia, tantalum oxide, lanthano, silica, silicon nitride, silicon oxynitride, indium tin oxide, indium zinc oxide, aluminum doped zinc oxide, poly (p-phenylene terephthalamide), nylon 66, as well as mixtures and alloys thereof.

Die Barriereschicht wird mittels eines der folgenden Verfahren ausgebildet: ein Atomlagenabscheideverfahrens (Atomic Layer Deposition (ALD)), beispielsweise ein plasmaunterstütztes Atomlagenabscheideverfahren (Plasma Enhanced Atomic Layer Deposition (PEALD)) oder ein plasmaloses Atomlageabscheideverfahren (Plasma-less Atomic Layer Deposition (PLALD)); ein chemisches Gasphasenabscheideverfahren (Chemical Vapor Deposition (CVD)), beispielsweise ein plasmaunterstütztes Gasphasenabscheideverfahren (Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition (PECVD)) oder ein plasmaloses Gasphasenabscheideverfahren (Plasma-less Chemical Vapor Deposition (PLCVD)); oder alternativ mittels anderer geeigneter Abscheideverfahren.The barrier layer is formed by one of the following methods: Atomic Layer Deposition (ALD), for example Plasma Enhanced Atomic Layer Deposition (PEALD) or a Plasma-less Atomic Layer Deposition (PLALD). ; a chemical vapor deposition (CVD) process, for example, plasma enhanced chemical vapor deposition (PECVD) or plasmaless plasma vapor deposition (PLCVD); or alternatively by other suitable deposition methods.

Die Barriereschicht weist eine Schichtdicke von ungefähr 0,1 nm (eine Atomlage) bis ungefähr 1000 nm auf, beispielsweise eine Schichtdicke von ungefähr 10 nm bis ungefähr 100 nm gemäß einer Ausgestaltung, beispielsweise ungefähr 40 nm gemäß einer Ausgestaltung.The barrier layer has a layer thickness of about 0.1 nm (one atomic layer) to about 1000 nm, for example, a layer thickness of about 10 nm to about 100 nm according to a Embodiment, for example, about 40 nm according to an embodiment.

Die Barriereschicht ist optional, wenn der Träger 200 bereits hermetisch dicht ist, beispielsweise ein Glas, ein Metall oder ein Metalloxid aufweist oder daraus gebildet ist.The barrier layer is optional when the wearer 200 is already hermetically sealed, for example, comprises a glass, a metal or a metal oxide or is formed therefrom.

Der Träger 200 weist Glas, Quarz, und/oder ein Halbleitermaterial auf oder ist daraus gebildet. Alternativ oder zusätzlich weist der Träger eine Kunststofffolie oder ein Laminat mit einer oder mit mehreren Kunststofffolien auf oder ist daraus gebildet sein. Der Kunststoff ist ein oder mehrere Polyolefine (beispielsweise Polyethylen (PE) mit hoher oder niedriger Dichte oder Polypropylen (PP)), Polyvinylchlorid (PVC), Polystyrol (PS), Polyester und/oder Polycarbonat (PC), Polyethylenterephthalat (PET), Polyethersulfon (PES) und/oder Polyethylennaphthalat (PEN). Alternativ oder zusätzlich weist der Träger 200 ein Metall auf oder ist daraus gebildet, beispielsweise Kupfer, Silber, Gold, Platin, Eisen, beispielsweise eine Metallverbindung, beispielsweise Stahl.The carrier 200 comprises glass, quartz, and / or a semiconductor material or is formed therefrom. Alternatively or additionally, the carrier comprises or is formed from a plastic film or a laminate with one or more plastic films. The plastic is one or more polyolefins (for example high or low density polyethylene (PE) or polypropylene (PP)), polyvinyl chloride (PVC), polystyrene (PS), polyester and / or polycarbonate (PC), polyethylene terephthalate (PET), polyethersulfone (PES) and / or polyethylene naphthalate (PEN). Alternatively or additionally, the carrier 200 a metal or formed therefrom, for example copper, silver, gold, platinum, iron, for example a metal compound, for example steel.

Der Träger 200 kann als Wellenleiter für die elektromagnetische Strahlung ausgebildet sein, beispielsweise transparent oder transluzent sein hinsichtlich der emittierten elektromagnetischen Strahlung.The carrier 200 may be formed as a waveguide for the electromagnetic radiation, for example, be transparent or translucent with respect to the emitted electromagnetic radiation.

Die erste Elektrode ist als Anode oder als Kathode ausgebildet.The first electrode is formed as an anode or as a cathode.

Die erste Elektrode 210 weist eines der folgenden elektrisch leitfähigen Materialien auf oder ist daraus gebildet: ein Metall; ein leitfähiges transparentes Oxid (transparent conductive Oxide, TCO); ein Netzwerk aus metallischen Nanodrähten und -teilchen, beispielsweise aus Ag, die beispielsweise mit leitfähigen Polymeren kombiniert sind; ein Netzwerk aus Kohlenstoff-Nanoröhren, die beispielsweise mit leitfähigen Polymeren kombiniert sind; Graphen-Teilchen und -Schichten; ein Netzwerk aus halbleitenden Nanodrähten; ein elektrisch leitfähiges Polymer; ein Übergangsmetalloxid; und/oder deren Komposite. Die erste Elektrode 210 besteht aus einem Metall oder weist ein Metall aus den folgenden Materialien: Ag, Pt, Au, Mg, Al, Ba, In, Ca, Sm oder Li, sowie Verbindungen, Kombinationen oder Legierungen dieser Materialien, beispielsweise Mo/Al/Mo; Cr/Al/Cr; Ag/Mg, Al. Alternativ oder zusätzlich weist die erste Elektrode 210 ein transparentes leitfähiges Oxid aus den folgenden Materialien auf: beispielsweise Metalloxide: beispielsweise Zinkoxid, Zinnoxid, Cadmiumoxid, Titanoxid, Indiumoxid, oder Indium-Zinn-Oxid (ITO). Neben binären Metallsauerstoffverbindungen, wie beispielsweise ZnO, SnO2, oder In2O3 gehören auch ternäre Metallsauerstoffverbindungen, beispielsweise AlZnO, Zn2SnO4, CdSnO3, ZnSnO3, MgIn2O4, GaInO3, Zn2In2O5 oder In4Sn3O12 oder Mischungen unterschiedlicher transparenter leitfähiger Oxide zu der Gruppe der TCOs und können für die erste Elektrode 210 eingesetzt werden. Weiterhin entsprechen die TCOs nicht zwingend einer stöchiometrischen Zusammensetzung und können ferner p-dotiert oder n-dotiert sein, bzw. lochleitend (p-TCO) oder elektronenleitend (n-TCO) sein.The first electrode 210 comprises or is formed from one of the following electrically conductive materials: a metal; a conductive transparent oxide (TCO); a network of metallic nanowires and particles, such as Ag, combined, for example, with conductive polymers; a network of carbon nanotubes combined, for example, with conductive polymers; Graphene particles and layers; a network of semiconducting nanowires; an electrically conductive polymer; a transition metal oxide; and / or their composites. The first electrode 210 consists of a metal or comprises a metal of the following materials: Ag, Pt, Au, Mg, Al, Ba, In, Ca, Sm or Li, as well as compounds, combinations or alloys of these materials, for example Mo / Al / Mo; Cr / Al / Cr; Ag / Mg, Al. Alternatively or additionally, the first electrode 210 a transparent conductive oxide of the following materials: for example, metal oxides: for example, zinc oxide, tin oxide, cadmium oxide, titanium oxide, indium oxide, or indium tin oxide (ITO). In addition to binary metal oxygen compounds, such as ZnO, SnO 2 , or In 2 O 3 also include ternary metal oxygen compounds, such as AlZnO, Zn 2 SnO 4 , CdSnO 3 , ZnSnO 3 , MgIn 2 O 4 , GaInO 3 , Zn 2 In 2 O 5 or In 4 Sn 3 O 12 or mixtures of different transparent conductive oxides to the group of TCOs and can for the first electrode 210 be used. Furthermore, the TCOs do not necessarily correspond to a stoichiometric composition and may furthermore be p-doped or n-doped, or hole-conducting (p-TCO) or electron-conducting (n-TCO).

Die erste Elektrode 210 weist eine Schicht oder einen Schichtenstapel mehrerer Schichten desselben Materials oder unterschiedlicher Materialien auf. In einer Weiterbildung ist die erste Elektrode 210 gebildet von einem Schichtenstapel einer Kombination einer Schicht eines Metalls auf einer Schicht eines TCOs, oder umgekehrt. Ein Beispiel ist eine Silberschicht, die auf einer Indium-Zinn-Oxid-Schicht (ITO) aufgebracht ist (Ag auf ITO), oder ITO-Ag-ITO Multischichten.The first electrode 210 has a layer or a layer stack of multiple layers of the same material or different materials. In a development, the first electrode 210 formed by a stack of layers of a combination of a layer of a metal on a layer of a TCO, or vice versa. An example is a silver layer deposited on an indium tin oxide (ITO) layer (Ag on ITO) or ITO-Ag-ITO multilayers.

Die erste Elektrode weist eine Schichtdicke auf in einem Bereich von 10 nm bis 500 nm, beispielsweise von kleiner 25 nm bis 250 nm, beispielsweise von 50 nm bis 100 nm.The first electrode has a layer thickness in a range from 10 nm to 500 nm, for example from less than 25 nm to 250 nm, for example from 50 nm to 100 nm.

Die erste Elektrode 210 ist mit einem ersten elektrischen Anschluss 218 verbunden, an den ein erstes elektrisches Potential anlegbar ist. Das erste elektrische Potential wird von einer Bauelement-externen Energiequelle bereitgestellt, beispielsweise veranschaulicht in 6A, beispielsweise einer Stromquelle oder einer Spannungsquelle. Alternativ wird das erste elektrische Potential an einen elektrisch leitfähigen Träger 200 angelegt und der ersten Elektrode 210 durch den Träger 200 mittelbar elektrisch zugeführt. Das erste elektrische Potential ist beispielsweise das Massepotential oder ein anderes vorgegebenes Bezugspotential.The first electrode 210 is with a first electrical connection 218 connected, to which a first electrical potential can be applied. The first electrical potential is provided by a device external power source, for example as illustrated in FIG 6A , For example, a power source or a voltage source. Alternatively, the first electrical potential is applied to an electrically conductive carrier 200 applied and the first electrode 210 through the carrier 200 indirectly supplied electrically. The first electrical potential is, for example, the ground potential or another predetermined reference potential.

Die organische funktionelle Schichtenstruktur 212 weist eine oder mehrere organische funktionelle Schichtenstrukturen auf, beispielsweise 3, 4, 5, 6, 7, 8, 9, 10, oder sogar mehr, beispielsweise 15 oder mehr, beispielsweise 70, die jeweils gleich oder unterschiedlich ausgebildet sind.The organic functional layer structure 212 has one or more organic functional layer structures, for example 3, 4, 5, 6, 7, 8, 9, 10, or even more, for example 15 or more, for example 70, each of which is the same or different.

Die organische funktionelle Schichtenstruktur-Einheit 212 weist eine Lochinjektionsschicht, eine Lochtransportschicht, eine Emitterschicht, eine Elektronentransportschicht und eine Elektroneninjektionsschicht auf. In der organischen funktionellen Schichtenstruktur-Einheit 212 kann eine oder mehrere der genannten Schichten vorgesehen sein, wobei gleiche Schichten einen körperlichen Kontakt aufweisen können, nur elektrisch miteinander verbunden sein können oder sogar elektrisch voneinander isoliert ausgebildet sein können, beispielsweise nebeneinander ausgebildet sein können. Einzelne Schichten der genannten Schichten können optional sein.The organic functional layered structure unit 212 has a hole injection layer, a hole transport layer, an emitter layer, an electron transport layer, and an electron injection layer. In the organic functional layer structure unit 212 one or more of said layers may be provided, wherein like layers may have physical contact, may only be electrically connected to each other, or may even be formed electrically insulated from each other, for example, formed side by side. Individual layers of said layers may be optional.

Die Lochinjektionsschicht weist eines oder mehrere der folgenden Materialien auf oder ist daraus gebildet: HAT-CN, Cu(I)pFBz, MoOx, WOx, VOx, ReOx, F4-TCNQ, NDP-2, NDP-9, Bi(III)pFBz, Fl6CuPc; NPB (N,N'-Bis(naphthalen-1-yl)-N,N'-bis(phenyl)-benzidin); beta-NPB N,N'-Bis(naphthalen-2-yl)-N,N'-bis(phenyl)-benzidin); TPD (N,N'-Bis(3-methylphenyl)-N,N'-bis(phenyl)-benzidin); Spiro TPD (N,N'-Bis(3-methylphenyl)-N,N'-bis(phenyl)-benzidin); Spiro-NPB (N,N'-Bis(naphthalen-1-yl)-N,N'-bis(phenyl)-spiro); DMFL-TPD N,N'-Bis(3-methylphenyl)-N,N'-bis(phenyl)-9,9-dimethyl-fluoren); DMFL-NPB (N,N'-Bis(naphthalen-1-yl)-N,N'-bis(phenyl)-9,9-dimethyl-fluoren); DPFL-TPD (N,N'-Bis(3-methylphenyl)-N,N'-bis(phenyl)-9,9-diphenyl-fluoren); DPFL-NPB (N,N'-Bis(naphthalen-1-yl)-N,N'-bis(phenyl)-9,9-diphenyl-fluoren); Spiro-TAD (2,2',7,7'-Tetrakis(n,n-diphenylamino)-9,9'-spirobifluoren); 9,9-Bis[4-(N,N-bis-biphenyl-4-yl-amino)phenyl]-9H-fluoren; 9,9-Bis[4-(N,N-bis-naphthalen-2-yl-amino)phenyl]-9H-fluoren; 9,9-Bis[4-(N,N'-bis-naphthalen-2-yl-N,N'-bis-phenyl-amino)-phenyl]-9H-fluor; N,N'-bis(phenanthren-9-yl)-N,N'-bis(phenyl)-benzidin; 2,7-Bis[N,N-bis(9,9-spiro-bifluorene-2-yl)-amino]-9,9-spiro-bifluoren; 2,2'-Bis[N,N-bis(biphenyl-4-yl)amino]9,9-spiro-bifluoren; 2,2'-Bis(N,N-di-phenyl-amino)9,9-spiro-bifluoren; Di-[4-(N,N-ditolyl-amino)-phenyl]cyclohexan; 2,2',7,7'-tetra(N,N-di-tolyl)amino-spiro-bifluoren; und/oder N,N,N',N'-tetra-naphthalen-2-yl-benzidin. The hole injection layer comprises one or more of the following materials or is formed therefrom: HAT-CN, Cu (I) pFBz, MoO x, WO x, VO x, ReO x, F4-TCNQ, NDP-2, NDP-9, Bi (III) pFBz, Fl6 CuPc; NPB (N, N'-bis (naphthalen-1-yl) -N, N'-bis (phenyl) -benzidine); beta-NPB N, N'-bis (naphthalen-2-yl) -N, N'-bis (phenyl) -benzidine); TPD (N, N'-bis (3-methylphenyl) -N, N'-bis (phenyl) benzidine); Spiro TPD (N, N'-bis (3-methylphenyl) -N, N'-bis (phenyl) benzidine); Spiro-NPB (N, N'-bis (naphthalen-1-yl) -N, N'-bis (phenyl) -spiro); DMFL-TPD N, N'-bis (3-methylphenyl) -N, N'-bis (phenyl) -9,9-dimethyl-fluorene); DMFL-NPB (N, N'-bis (naphthalen-1-yl) -N, N'-bis (phenyl) -9,9-dimethyl-fluorene); DPFL-TPD (N, N'-bis (3-methylphenyl) -N, N'-bis (phenyl) -9,9-diphenyl-fluorene); DPFL-NPB (N, N'-bis (naphthalen-1-yl) -N, N'-bis (phenyl) -9,9-diphenyl-fluorene); Spiro-TAD (2,2 ', 7,7'-tetrakis (n, n-diphenylamino) -9,9'-spirobifluorene); 9,9-bis [4- (N, N-bis-biphenyl-4-yl-amino) phenyl] -9H-fluorene; 9,9-bis [4- (N, N-bis-naphthalen-2-yl-amino) phenyl] -9H-fluorene; 9,9-bis [4- (N, N'-bis-naphthalen-2-yl-N, N'-bis-phenyl-amino) -phenyl] -9-fluoro; N, N'-bis (phenanthrene-9-yl) -N, N'-bis (phenyl) benzidine; 2,7-bis [N, N-bis (9,9-spiro-bifluorenes-2-yl) amino] -9,9-spiro-bifluorene; 2,2'-bis [N, N-bis (biphenyl-4-yl) amino] 9,9-spiro-bifluorene; 2,2'-bis (N, N-di-phenyl-amino) 9,9-spiro-bifluorene; Di- [4- (N, N-ditolyl-amino) -phenyl] cyclohexane; 2,2 ', 7,7'-tetra (N, N-di-tolyl) amino-spiro-bifluorene; and / or N, N, N ', N'-tetra-naphthalen-2-yl-benzidine.

Die Lochinjektionsschicht weist eine Schichtdicke auf in einem Bereich von ungefähr 10 nm bis ungefähr 1000 nm, beispielsweise in einem Bereich von ungefähr 30 nm bis ungefähr 300 nm, beispielsweise in einem Bereich von ungefähr 50 nm bis ungefähr 200 nm.The hole injection layer has a layer thickness in a range of about 10 nm to about 1000 nm, for example in a range of about 30 nm to about 300 nm, for example in a range of about 50 nm to about 200 nm.

Die Lochtransportschicht weist eines oder mehrere der folgenden Materialien auf oder ist daraus gebildet: NPB (N,N'-Bis(naphthalen-1-yl)-N,N'-bis(phenyl)-benzidin); beta-NPB N,N'-Bis(naphthalen-2-yl)-N,N'-bis(phenyl)-benzidin); TPD (N,N'-Bis(3-methylphenyl)-N,N'-bis(phenyl)-benzidin); Spiro TPD (N,N'-Bis(3-methylphenyl)-N,N'-bis(phenyl)-benzidin); Spiro-NPB (N,N'-Bis(naphthalen-1-yl)-N,N'-bis(phenyl)-spiro); DMFL-TPD N,N'-Bis(3-methylphenyl)-N,N'-bis(phenyl)-9,9-dimethyl-fluoren); DMFL-NPB (N,N'-Bis(naphthalen-1-yl)-N,N'-bis(phenyl)-9,9-dimethyl-fluoren); DPFL-TPD (N,N'-Bis(3-methylphenyl)-N,N'-bis(phenyl)-9,9-diphenyl-fluoren); DPFL-NPB (N,N'-Bis(naphthalen-1-yl)-N,N'-bis(phenyl)-9,9-diphenyl-fluoren); Spiro-TAD (2,2',7,7'-Tetrakis(n,n-diphenylamino)-9,9'-spirobifluoren); 9,9-Bis[4-(N,N-bis-biphenyl-4-yl-amino)phenyl]-9H-fluoren; 9,9-Bis[4-(N,N-bis-naphthalen-2-yl-amino)phenyl]-9H-fluoren; 9,9-Bis[4-(N,N'-bis-naphthalen-2-yl-N,N'-bis-phenyl-amino)-phenyl]-9H-fluor; N,N'-bis(phenanthren-9-yl)-N,N'-bis(phenyl)-benzidin; 2,7-Bis[N,N-bis(9,9-spiro-bifluorene-2-yl)-amino]-9,9-spiro-bifluoren; 2,2'-Bis[N,N-bis(biphenyl-4-yl)amino]9,9-spiro-bifluoren; 2,2'-Bis(N,N-di-phenyl-amino)9,9-spiro-bifluoren; Di-[4-(N,N-ditolyl-amino)-phenyl]cyclohexan; 2,2',7,7'-tetra(N,N-di-tolyl)amino-spiro-bifluoren; und N,N,N',N'-tetra-naphthalen-2-yl-benzidin, ein tertiäres Amin, ein Carbazolderivat, ein leitendes Polyanilin und/oder Polyethylendioxythiophen.The hole transport layer comprises or is formed from one or more of the following materials: NPB (N, N'-bis (naphthalen-1-yl) -N, N'-bis (phenyl) -benzidine); beta-NPB N, N'-bis (naphthalen-2-yl) -N, N'-bis (phenyl) -benzidine); TPD (N, N'-bis (3-methylphenyl) -N, N'-bis (phenyl) benzidine); Spiro TPD (N, N'-bis (3-methylphenyl) -N, N'-bis (phenyl) benzidine); Spiro-NPB (N, N'-bis (naphthalen-1-yl) -N, N'-bis (phenyl) -spiro); DMFL-TPD N, N'-bis (3-methylphenyl) -N, N'-bis (phenyl) -9,9-dimethyl-fluorene); DMFL-NPB (N, N'-bis (naphthalen-1-yl) -N, N'-bis (phenyl) -9,9-dimethyl-fluorene); DPFL-TPD (N, N'-bis (3-methylphenyl) -N, N'-bis (phenyl) -9,9-diphenyl-fluorene); DPFL-NPB (N, N'-bis (naphthalen-1-yl) -N, N'-bis (phenyl) -9,9-diphenyl-fluorene); Spiro-TAD (2,2 ', 7,7'-tetrakis (n, n-diphenylamino) -9,9'-spirobifluorene); 9,9-bis [4- (N, N-bis-biphenyl-4-yl-amino) phenyl] -9H-fluorene; 9,9-bis [4- (N, N-bis-naphthalen-2-yl-amino) phenyl] -9H-fluorene; 9,9-bis [4- (N, N'-bis-naphthalen-2-yl-N, N'-bis-phenyl-amino) -phenyl] -9-fluoro; N, N'-bis (phenanthrene-9-yl) -N, N'-bis (phenyl) benzidine; 2,7-bis [N, N-bis (9,9-spiro-bifluorenes-2-yl) amino] -9,9-spiro-bifluorene; 2,2'-bis [N, N-bis (biphenyl-4-yl) amino] 9,9-spiro-bifluorene; 2,2'-bis (N, N-di-phenyl-amino) 9,9-spiro-bifluorene; Di- [4- (N, N-ditolyl-amino) -phenyl] cyclohexane; 2,2 ', 7,7'-tetra (N, N-di-tolyl) amino-spiro-bifluorene; and N, N, N ', N'-tetra-naphthalen-2-yl-benzidine, a tertiary amine, a carbazole derivative, a conductive polyaniline and / or polyethylenedioxythiophene.

Die Lochtransportschicht weist eine Schichtdicke auf in einem Bereich von ungefähr 5 nm bis ungefähr 50 nm, beispielsweise in einem Bereich von ungefähr 10 nm bis ungefähr 30 nm, beispielsweise ungefähr 20 nm.The hole transport layer has a layer thickness in a range of about 5 nm to about 50 nm, for example in a range of about 10 nm to about 30 nm, for example about 20 nm.

Eine Emitterschicht weist organische Polymere, organische Oligomere, organische Monomere, organische kleine, nichtpolymere Moleküle („small molecules”) oder eine Kombination dieser Materialien auf oder ist daraus gebildet. Das optoelektronische Bauelement 400 weist in einer Emitterschicht eines oder mehrere der folgenden Materialien auf oder ist daraus gebildet: organische oder organometallische Verbindungen, wie Derivate von Polyfluoren, Polythiophen und Polyphenylen (beispielsweise 2- oder 2,5-substituiertes Poly-p-phenylenvinylen) sowie Metallkomplexe, beispielsweise Iridium-Komplexe wie blau phosphoreszierendes FIrPic (Bis(3,5-difluoro-2-(2-pyridyl)phenyl-(2-carboxypyridyl)-iridium III), grün phosphoreszierendes Ir(ppy)3 (Tris(2-phenylpyridin)iridium III), rot phosphoreszierendes Ru (dtb-bpy)3·2(PF6) (Tris[4,4'-di-tert-butyl-(2,2')-bipyridin]ruthenium(III)komplex) sowie blau fluoreszierendes DPAVBi (4,4-Bis[4-(di-p-tolylamino)styryl]biphenyl), grün fluoreszierendes TTPA (9,10-Bis[N,N-di-(p-tolyl)-amino]anthracen) und rot fluoreszierendes DCM2 (4-Dicyanomethylen)-2-methyl-6-julolidyl-9-enyl-4H-pyran) als nichtpolymere Emitter. Solche nichtpolymeren Emitter sind beispielsweise mittels thermischen Verdampfens abscheidbar. Ferner können Polymeremitter eingesetzt werden, welche beispielsweise mittels eines nasschemischen Verfahrens abscheidbar sind, wie beispielsweise einem Aufschleuderverfahren („Spin Coating”). Die Emittermaterialien können in geeigneter Weise in einem Matrixmaterial eingebettet sein, beispielsweise einer technischen Keramik oder einem Polymer, beispielsweise einem Epoxid; oder einem Silikon.An emitter layer comprises or is formed from organic polymers, organic oligomers, organic monomers, organic small non-polymeric molecules ("small molecules") or a combination of these materials. The optoelectronic component 400 comprises or is formed from one or more of the following materials in an emitter layer: organic or organometallic compounds, such as derivatives of polyfluorene, polythiophene and polyphenylene (for example 2- or 2,5-substituted poly-p-phenylenevinylene) and metal complexes, for example iridium Complexes such as blue phosphorescent FIrPic (bis (3,5-difluoro-2- (2-pyridyl) phenyl- (2-carboxypyridyl) iridium III), green phosphorescing Ir (ppy) 3 (tris (2-phenylpyridine) iridium III ), red phosphorescent Ru (dtb-bpy) 3 * 2 (PF 6) (tris [4,4'-di-tert-butyl- (2,2 ') - bipyridine] ruthenium (III) complex), and blue fluorescent DPAVBi (4,4-bis [4- (di-p-tolylamino) styryl] biphenyl), green fluorescent TTPA (9,10-bis [N, N-di- (p-tolyl) -amino] anthracene) and red fluorescent DCM2 (4-dicyanomethylene) -2-methyl-6-julolidyl-9-enyl-4H-pyran) as a non-polymeric emitter. Such non-polymeric emitters can be deposited by means of thermal evaporation, for example. It is also possible to use polymer emitters which can be deposited, for example, by means of a wet-chemical process, for example a spin coating process. The emitter materials may be suitably embedded in a matrix material, for example a technical ceramic or a polymer, for example an epoxide; or a silicone.

Die Emitterschicht weist einfarbig oder verschiedenfarbig (zum Beispiel blau und gelb oder blau, grün und rot) emittierende Emittermaterialien auf. Alternativ weist die Emitterschicht mehrere Teilschichten auf, die Licht unterschiedlicher Farbe emittieren. Mittels eines Mischens der verschiedenen Farben weist die Emission von Licht mit einem weißen Farbeindruck resultieren. Alternativ ist auch vorgesehen, im Strahlengang der durch diese Schichten erzeugten Primäremission einen Leuchtstoff (Konvertermaterial) anzuordnen, der die Primärstrahlung zumindest teilweise absorbiert und eine Sekundärstrahlung anderer Wellenlänge emittiert, so dass sich aus einer (noch nicht weißen) Primärstrahlung durch die Kombination von primärer Strahlung und sekundärer Strahlung ein weißer Farbeindruck ergibt.The emitter layer has single-color or different-colored (for example blue and yellow or blue, green and red) emitting emitter materials. Alternatively, the emitter layer has a plurality of partial layers which emit light of different colors. By means of mixing the different colors, the emission of light results in a white color impression. Alternatively, it is also provided to arrange a phosphor (converter material) in the beam path of the primary emission generated by these layers, which contains the primary radiation at least partially absorbed and emitted a secondary radiation of different wavelengths, so that results from a (not yet white) primary radiation by the combination of primary radiation and secondary radiation, a white color impression.

Die Emitterschicht weist eine Schichtdicke auf in einem Bereich von ungefähr 5 nm bis ungefähr 50 nm, beispielsweise in einem Bereich von ungefähr 10 nm bis ungefähr 30 nm, beispielsweise ungefähr 20 nm.The emitter layer has a layer thickness in a range of about 5 nm to about 50 nm, for example in a range of about 10 nm to about 30 nm, for example about 20 nm.

Die Elektronentransportschicht weist eines oder mehrere der folgenden Materialien auf oder ist daraus gebildet: NET-18; 2,2',2''-(1,3,5-Benzinetriyl)-tris(1-phenyl-1-H-benzimidazole); 2-(4-Biphenylyl)-5-(4-tert-butylphenyl)-1,3,4-oxadiazole,2,9-Dimethyl-4,7-diphenyl-1,10-phenanthroline (BCP); 8-Hydroxyquinolinolato-lithium, 4-(Naphthalen-1-yl)-3,5-diphenyl-4H-1,2,4-triazole; 1,3-Bis[2-(2,2'-bipyridine-6-yl)-1,3,4-oxadiazo-5-yl]benzene; 4,7-Diphenyl-1,10-phenanthroline (BPhen); 3-(4-Biphenylyl)-4-phenyl-5-tert-butylphenyl-1,2,4-triazole; Bis(2-methyl-8-quinolinolate)-4-(phenylphenolato)aluminium; 6,6'-Bis[5-(biphenyl-4-yl)-1,3,4-oxadiazo-2-yl]-2,2'-bipyridyl; 2-phenyl-9,10-di(naphthalen-2-yl)-anthracene; 2,7-Bis[2-(2,2'-bipyridine-6-yl)-1,3,4-oxadiazo-5-yl]-9,9-dimethylfluorene; 1,3-Bis[2-(4-tert-butylphenyl)-1,3,4-oxadiazo-5-yl]benzene; 2-(naphthalen-2-yl)-4,7-diphenyl-1,10-phenanthroline; 2,9-Bis(naphthalen-2-yl)-4,7-diphenyl-1,10-phenanthroline; Tris(2,4,6-trimethyl-3-(pyridin-3-yl)phenyl)borane; 1-methyl-2-(4-(naphthalen-2-yl)phenyl)-1H-imidazo[4,5-f][1,10]phenanthrolin; Phenyl-dipyrenylphosphine Oxide; Naphtahlintetracarbonsäuredianhydrid bzw. dessen Imide; Perylentetracarbonsäuredianhydrid bzw. dessen Imide; und Stoffen basierend auf Silolen mit einer Silacyclopentadieneinheit.The electron transport layer comprises or is formed from one or more of the following materials: NET-18; 2,2 ', 2' '- (1,3,5-Benzinetriyl) -tris (1-phenyl-1-H-benzimidazole); 2- (4-biphenylyl) -5- (4-tert-butylphenyl) -1,3,4-oxadiazoles, 2,9-dimethyl-4,7-diphenyl-1,10-phenanthrolines (BCP); 8-hydroxyquinolinolato-lithium, 4- (naphthalen-1-yl) -3,5-diphenyl-4H-1,2,4-triazoles; 1,3-bis [2- (2,2'-bipyridine-6-yl) -1,3,4-oxadiazo-5-yl] benzene; 4,7-diphenyl-1,10-phenanthroline (BPhen); 3- (4-biphenylyl) -4-phenyl-5-tert-butylphenyl-1,2,4-triazole; Bis (2-methyl-8-quinolinolate) -4- (phenylphenolato) aluminum; 6,6'-bis [5- (biphenyl-4-yl) -1,3,4-oxadiazo-2-yl] -2,2'-bipyridyl; 2-phenyl-9,10-di (naphthalen-2-yl) anthracenes; 2,7-bis -9,9-dimethylfluorene [2- (2,2'-bipyridine-6-yl) -1,3,4-oxadiazo-5-yl]; 1,3-bis [2- (4-tert-butylphenyl) -1,3,4-oxadiazo-5-yl] benzene; 2- (naphthalen-2-yl) -4,7-diphenyl-1,10-phenanthroline; 2,9-bis (naphthalen-2-yl) -4,7-diphenyl-1,10-phenanthroline; Tris (2,4,6-trimethyl-3- (pyridin-3-yl) phenyl) borane; 1-methyl-2- (4- (naphthalen-2-yl) phenyl) -1H-imidazo [4,5-f] [1,10] phenanthroline; Phenyl-dipyrenylphosphine oxides; Naphthalenetetracarboxylic dianhydride or its imides; Perylenetetracarboxylic dianhydride or its imides; and silanol-based materials containing a silacyclopentadiene moiety.

Die Elektronentransportschicht weist eine Schichtdicke auf in einem Bereich von ungefähr 5 nm bis ungefähr 50 nm, beispielsweise in einem Bereich von ungefähr 10 nm bis ungefähr 30 nm, beispielsweise ungefähr 20 nm.The electron transport layer has a layer thickness in a range of about 5 nm to about 50 nm, for example in a range of about 10 nm to about 30 nm, for example about 20 nm.

Die Elektroneninjektionsschicht weist eines oder mehrere der folgenden Materialien auf oder ist daraus gebildet: NDN-26, MgAg, Cs2CO3, Cs3PO4, Na, Ca, K, Mg, Cs, Li, LiF; 2,2',2''-(1,3,5-Benzinetriyl)-tris(1-phenyl-1-H-benzimidazole); 2-(4-Biphenylyl)-5-(4-tert-butylphenyl)-1,3,4-oxadiazole,2,9-Dimethyl-4,7-diphenyl-1,10-phenanthroline (BCP); 8-Hydroxyquinolinolato-lithium, 4-(Naphthalen-1-yl)-3,5-diphenyl-4H-1,2,4-triazole; 1,3-Bis[2-(2,2'-bipyridine-6-yl)-1,3,4-oxadiazo-5-yl]benzene; 4,7-Diphenyl-1,10-phenanthroline (BPhen); 3-(4-Biphenylyl)-4-phenyl-5-tert-butylphenyl-1,2,4-triazole; Bis(2-methyl-8-quinolinolate)-4-(phenylphenolato)aluminium; 6,6'-Bis[5-(biphenyl-4-yl)-1,3,4-oxadiazo-2-yl]-2,2'-bipyridyl; 2-phenyl-9,10-di(naphthalen-2-yl)-anthracene; 2,7-Bis[2-(2,2'-bipyridine-6-yl)-1,3,4-oxadiazo-5-yl]-9,9-dimethylfluorene; 1,3-Bis[2-(4-tert-butylphenyl)-1,3,4-oxadiazo-5-yl]benzene; 2-(naphthalen-2-yl)-4,7-diphenyl-1,10-phenanthroline; 2,9-Bis(naphthalen-2-yl)-4,7-diphenyl-1,10-phenanthroline; Tris(2,4,6-trimethyl-3-(pyridin-3-yl)phenyl)borane; 1-methyl-2-(4-(naphthalen-2-yl)phenyl)-1H-imidazo[4,5-f][1,10]phenanthroline; Phenyl-dipyrenylphosphine Oxide; Naphtahlintetracarbonsäuredianhydrid bzw. dessen Imide; Perylentetracarbonsäuredianhydrid bzw. dessen Imide; und Stoffen basierend auf Silolen mit einer Silacyclopentadieneinheit.The electron injection layer comprises or is formed from one or more of the following materials: NDN-26, MgAg, Cs 2 CO 3 , Cs 3 PO 4 , Na, Ca, K, Mg, Cs, Li, LiF; 2,2 ', 2''- (1,3,5-Benzinetriyl) -tris (1-phenyl-1-H-benzimidazole); 2- (4-biphenylyl) -5- (4-tert-butylphenyl) -1,3,4-oxadiazoles, 2,9-dimethyl-4,7-diphenyl-1,10-phenanthrolines (BCP); 8-hydroxyquinolinolato-lithium, 4- (naphthalen-1-yl) -3,5-diphenyl-4H-1,2,4-triazoles; 1,3-bis [2- (2,2'-bipyridine-6-yl) -1,3,4-oxadiazo-5-yl] benzene; 4,7-diphenyl-1,10-phenanthroline (BPhen); 3- (4-biphenylyl) -4-phenyl-5-tert-butylphenyl-1,2,4-triazoles; Bis (2-methyl-8-quinolinolate) -4- (phenylphenolato) aluminum; 6,6'-bis [5- (biphenyl-4-yl) -1,3,4-oxadiazo-2-yl] -2,2'-bipyridyl; 2-phenyl-9,10-di (naphthalen-2-yl) anthracenes; 2,7-bis -9,9-dimethylfluorene [2- (2,2'-bipyridine-6-yl) -1,3,4-oxadiazo-5-yl]; 1,3-bis [2- (4-tert-butylphenyl) -1,3,4-oxadiazo-5-yl] benzene; 2- (naphthalen-2-yl) -4,7-diphenyl-1,10-phenanthroline; 2,9-bis (naphthalen-2-yl) -4,7-diphenyl-1,10-phenanthroline; Tris (2,4,6-trimethyl-3- (pyridin-3-yl) phenyl) borane; 1-methyl-2- (4- (naphthalen-2-yl) phenyl) -1H-imidazo [4,5-f] [1,10] phenanthroline; Phenyl-dipyrenylphosphine oxides; Naphthalenetetracarboxylic dianhydride or its imides; Perylenetetracarboxylic dianhydride or its imides; and silanol-based materials containing a silacyclopentadiene moiety.

Die Elektroneninjektionsschicht weist eine Schichtdicke auf in einem Bereich von ungefähr 5 nm bis ungefähr 200 nm, beispielsweise in einem Bereich von ungefähr 20 nm bis ungefähr 50 nm, beispielsweise ungefähr 30 nm.The electron injection layer has a layer thickness in a range of about 5 nm to about 200 nm, for example, in a range of about 20 nm to about 50 nm, for example about 30 nm.

Bei einer organischen funktionellen Schichtenstruktur 212 mit zwei oder mehr organischen funktionellen Schichtenstruktur, kann die zweite organische funktionelle Schichtenstruktur-Einheit über oder neben der ersten funktionellen Schichtenstruktur-Einheiten ausgebildet sein. Elektrisch zwischen den organischen funktionellen Schichtenstruktur-Einheiten ist eine Zwischenschichtstruktur ausgebildet.For an organic functional layer structure 212 with two or more organic functional layer structure, the second organic functional layer structure unit may be formed over or adjacent to the first functional layer structure units. Electrically between the organic functional layer structure units, an intermediate layer structure is formed.

Die Zwischenschichtstruktur ist als eine Zwischenelektrode ausgebildet, beispielsweise gemäß einer der Ausgestaltungen der ersten Elektrode 210. Eine kann weist mit einer externen Spannungsquelle elektrisch verbunden sein. Die externe Spannungsquelle stellt an der Zwischenelektrode ein drittes elektrisches Potential bereit. Alternativ weist die Zwischenelektrode jedoch keinen externen elektrischen Anschluss auf, und damit ein schwebendes elektrisches Potential.The interlayer structure is formed as an intermediate electrode, for example, according to one of the configurations of the first electrode 210 , One may be electrically connected to an external voltage source. The external voltage source provides a third electrical potential at the intermediate electrode. Alternatively, however, the intermediate electrode has no external electrical connection, and thus a floating electrical potential.

Alternativ ist die Zwischenschichtstruktur als eine Ladungsträgerpaar-Erzeugungs-Schichtenstruktur (charge generation layer, CGL) ausgebildet. Eine Ladungsträgerpaar-Erzeugungs-Schichtenstruktur weist eine oder mehrere elektronenleitende Ladungsträgerpaar-Erzeugungs-Schicht(en) und eine oder mehrere lochleitende Ladungsträgerpaar-Erzeugungs-Schicht(en) auf. Die elektronenleitende Ladungsträgerpaar-Erzeugungs-Schicht(en) und die lochleitende Ladungsträgerpaar-Erzeugungs-Schicht(en) können jeweils aus einem intrinsisch leitenden Stoff oder einem Dotierstoff in einer Matrix gebildet sein. Die Ladungsträgerpaar-Erzeugungs-Schichtenstruktur sollte hinsichtlich der Energieniveaus der elektronenleitenden Ladungsträgerpaar-Erzeugungs-Schicht(en) und der lochleitenden Ladungsträgerpaar-Erzeugungs-Schicht(en) derart ausgebildet sein, dass an der Grenzfläche einer elektronenleitenden Ladungsträgerpaar-Erzeugungs-Schicht mit einer lochleitenden Ladungsträgerpaar-Erzeugungs-Schicht ein Trennung von Elektron und Loch erfolgt. Die Ladungsträgerpaar-Erzeugungs-Schichtenstruktur weist ferner zwischen benachbarten Schichten eine Diffusionsbarriere auf.Alternatively, the interlayer structure is formed as a charge generation layer (CGL) layer structure. A charge carrier pair generation layer structure comprises one or more electron-conducting charge carrier pair generation layer (s) and one or more hole-conducting charge carrier pair generation layer (s). The electron-conductive charge carrier pair generation layer (s) and the hole-conducting charge carrier pair generation layer (s) may each be formed of an intrinsic conductive substance or a dopant in a matrix. The charge carrier pair generation layer structure should be designed with respect to the energy levels of the electron-conducting charge carrier pair generation layer (s) and the hole-conducting charge carrier pair generation layer (s) such that at the interface of an electron-conducting charge carrier pair Generation layer with a hole-conducting carrier pair generation layer, a separation of electron and hole takes place. The carrier pair generation layer structure further has a diffusion barrier between adjacent layers.

Das optoelektronische Bauelement 400 weist optional weitere organische funktionale Schichten auf, beispielsweise angeordnet auf oder über der einen oder mehreren Emitterschicht(en) oder auf oder über der oder den Elektronentransportschicht(en). Die weiteren organischen funktionalen Schichten können beispielsweise interne oder externe Einkoppel-/Auskoppelstrukturen sein, die die Funktionalität und damit die Effizienz des optoelektronischen Bauelements 400 weiter verbessern.The optoelectronic component 400 Optionally, it has further organic functional layers, for example, disposed on or over the one or more emitter layers or on or over the electron transport layer (s). The further organic functional layers can be, for example, internal or external coupling-in / coupling-out structures that increase the functionality and thus the efficiency of the optoelectronic component 400 improve further.

Die zweite Elektrode 214 ist gemäß einer der Ausgestaltungen der ersten Elektrode 210 ausgebildet, wobei die erste Elektrode 210 und die zweite Elektrode 214 gleich oder unterschiedlich ausgebildet sein können. Die zweite Elektrode 214 ist als Anode, also als löcherinjizierende Elektrode, ausgebildet oder als Kathode, also als eine elektroneninjizierende Elektrode.The second electrode 214 is according to one of the embodiments of the first electrode 210 formed, wherein the first electrode 210 and the second electrode 214 may be the same or different. The second electrode 214 is formed as an anode, that is, as a hole-injecting electrode, or as a cathode, that is, as an electron-injecting electrode.

Die zweite Elektrode 214 weist einen zweiten elektrischen Anschluss auf, an den ein zweites elektrisches Potential anlegbar ist. Das zweite elektrische Potential wird von der gleichen oder einer anderen Energiequelle bereitgestellt wie das erste elektrische Potential und/oder das optionale dritte elektrische Potential. Das zweite elektrische Potential ist unterschiedlich zu dem ersten elektrischen Potential und/oder dem optional dritten elektrischen Potential. Das zweite elektrische Potential weist beispielsweise einen Wert auf derart, dass die Differenz zu dem ersten elektrischen Potential einen Wert in einem Bereich von ungefähr 1,5 V bis ungefähr 20 V aufweist, beispielsweise einen Wert in einem Bereich von ungefähr 2,5 V bis ungefähr 15 V, beispielsweise einen Wert in einem Bereich von ungefähr 3 V bis ungefähr 12 V.The second electrode 214 has a second electrical connection to which a second electrical potential can be applied. The second electrical potential is provided by the same or a different energy source as the first electrical potential and / or the optional third electrical potential. The second electrical potential is different from the first electrical potential and / or the optionally third electrical potential. For example, the second electric potential has a value such that the difference from the first electric potential has a value in a range of about 1.5V to about 20V, for example, a value in a range of about 2.5V to about 15V, for example, a value in a range of about 3V to about 12V.

Die Barrierendünnschicht 408 ist gemäß einer der Ausgestaltungen der oben beschriebenen Barriereschicht ausgebildet.The barrier thin film 408 is formed according to one of the embodiments of the barrier layer described above.

Ferner ist darauf hinzuweisen, dass in Ausführungsbeispielen auch ganz auf eine Barrierendünnschicht 408 verzichtet sein kann. In solch einer Ausgestaltung weist die Verkapselungsstruktur eine weitere Barriere auf, wodurch eine Barrierendünnschicht 408 optional wird, beispielsweise die Abdeckung 426, beispielsweise eine Kavitätsglasverkapselung oder eine metallische Verkapselung.It should also be pointed out that in embodiments also entirely on a barrier thin film 408 can be dispensed with. In such an embodiment, the encapsulation structure has a further barrier, whereby a barrier thin layer 408 becomes optional, for example, the cover 426 For example, a Kavitätsglasverkapselung or a metallic encapsulation.

Ferner sind zusätzlich noch eine oder mehrere Ein-/Auskoppelschichten in dem optoelektronischen Bauelementes 400 ausgebildet, beispielsweise eine externe Auskoppelfolie auf oder über dem Träger 200 (nicht dargestellt) oder eine interne Auskoppelschicht (nicht dargestellt) im Schichtenquerschnitt des optoelektronischen Bauelementes 400. Die Ein-/Auskoppelschicht weist eine Matrix und darin verteilt Streuzentren bezüglich der elektromagnetischen Strahlung auf, wobei der mittlere Brechungsindex der Ein-/Auskoppelschicht größer oder kleiner ist als der mittlere Brechungsindex der Schicht, aus der die elektromagnetische Strahlung bereitgestellt wird. Ferner können zusätzlich eine oder mehrere Entspiegelungsschichten (beispielsweise kombiniert mit der zweiten Barrierendünnschicht 408) in dem optoelektronischen Bauelement 400 vorgesehen sein.Furthermore, one or more input / output coupling layers are additionally provided in the optoelectronic component 400 formed, for example, an external Auskoppelfolie on or above the carrier 200 (not shown) or an internal coupling-out layer (not shown) in the layer cross-section of the optoelectronic component 400 , The input / outcoupling layer has a matrix and scattering centers with respect to the electromagnetic radiation distributed therein, wherein the mean refractive index of the input / outcoupling layer is greater or smaller than the average refractive index of the layer from which the electromagnetic radiation is provided. In addition, one or more antireflection layers (for example combined with the second barrier thin layer 408 ) in the optoelectronic component 400 be provided.

Die Verbindungsschicht 424 ist aus einem Klebstoff oder einem Lack gebildet.The connection layer 424 is made of an adhesive or a varnish.

Eine Verbindungsschicht 424 aus einem transparenten Material weist beispielsweise Partikel auf, die elektromagnetische Strahlung streuen, beispielsweise lichtstreuende Partikel. Dadurch wirkt die Verbindungsschicht 424 als Streuschicht und führt zu einer Verbesserung des Farbwinkelverzugs und der Auskoppeleffizienz.A connection layer 424 From a transparent material, for example, has particles that scatter electromagnetic radiation, such as light-scattering particles. This affects the connection layer 424 as a scattering layer and leads to an improvement in the color angle distortion and the coupling-out efficiency.

Als lichtstreuende Partikel können dielektrische Streupartikel vorgesehen sein, beispielsweise aus einem Metalloxid, beispielsweise Siliziumoxid (SiO2), Zinkoxid (ZnO), Zirkoniumoxid (ZrO2), Indium-Zinn-Oxid (ITO) oder Indium-Zink-Oxid (IZO), Galliumoxid (Ga2Ox) Aluminiumoxid, oder Titanoxid. Auch andere Partikel können geeignet sein, sofern sie einen Brechungsindex haben, der von dem effektiven Brechungsindex der Matrix der Verbindungsschicht 224 verschieden ist, beispielsweise Luftblasen, Acrylat, oder Glashohlkugeln. Ferner können beispielsweise metallische Nanopartikel, Metalle wie Gold, Silber, Eisen-Nanopartikel oder dergleichen als lichtstreuende Partikel vorgesehen sein.Dielectric scattering particles may be provided as light-scattering particles, for example of a metal oxide, for example silicon oxide (SiO 2 ), zinc oxide (ZnO), zirconium oxide (ZrO 2 ), indium tin oxide (ITO) or indium zinc oxide (IZO), Gallium oxide (Ga 2 O x ) alumina, or titanium oxide. Other particles may also be suitable provided they have a refractive index that is greater than the effective refractive index of the matrix of the bonding layer 224 is different, for example, air bubbles, acrylate, or glass bubbles. Furthermore, for example, metallic nanoparticles, metals such as gold, silver, iron nanoparticles or the like can be provided as light-scattering particles.

Die Verbindungsschicht 424 weist eine Schichtdicke von größer als 1 μm auf, beispielsweise eine Schichtdicke von mehreren μm.The connection layer 424 has a layer thickness of greater than 1 .mu.m, for example, a layer thickness of several microns.

In einer Weiterbildung ist zwischen der zweiten Elektrode 214 und der Verbindungsschicht 224 noch eine elektrisch isolierende Schicht (nicht dargestellt) ausgebildet, beispielsweise SiN, beispielsweise mit einer Schichtdicke in einem Bereich von ungefähr 300 nm bis ungefähr 1,5 μm, beispielsweise mit einer Schichtdicke in einem Bereich von ungefähr 500 nm bis ungefähr 1 μm, um elektrisch instabile Materialien zu schützen, beispielsweise während eines nasschemischen Prozesses.In a development is between the second electrode 214 and the tie layer 224 an electrically insulating layer (not shown) is formed, for example, SiN, for example, with a layer thickness in a range of about 300 nm to about 1.5 microns, for example, with a layer thickness in a range of about 500 nm to about 1 micron to electrically to protect unstable materials, for example during a wet-chemical process.

Die Verbindungsschicht 424 ist optional, beispielsweise falls die Abdeckung 426 direkt auf der zweiten Barrierendünnschicht 408 ausgebildet wird, beispielsweise eine Abdeckung 426 aus Glas, die mittels Plasmaspritzens ausgebildet wird.The connection layer 424 is optional, for example if the cover 426 directly on the second barrier thin film 408 is trained for example, a cover 426 made of glass, which is formed by means of plasma spraying.

Ferner kann das optoelektronische Bauelement 400 eine sogenannte Getter-Schicht oder Getter-Struktur aufweisen, beispielsweise eine lateral strukturierte Getter-Schicht (nicht dargestellt). Die Getter-Schicht weist ein Material auf oder ist daraus gebildet, das Stoffe, die schädlich für den elektrisch aktiven Bereich sind, absorbiert und bindet, beispielsweise Wasserdampf und/oder Sauerstoff. Eine Getter-Schicht weist beispielsweise ein Zeolith-Derivat auf oder ist daraus gebildet. Die Getter-Schicht weist eine Schichtdicke von größer als ungefähr 1 μm auf, beispielsweise von mehreren μm.Furthermore, the optoelectronic component 400 a so-called getter layer or getter structure, for example, a laterally structured getter layer (not shown). The getter layer comprises or is formed from a material that absorbs and binds substances that are detrimental to the electrically active region, such as water vapor and / or oxygen. For example, a getter layer comprises or is formed from a zeolite derivative. The getter layer has a layer thickness of greater than approximately 1 μm, for example of several μm.

Auf oder über der Verbindungsschicht 224 ist die Abdeckung 426 ausgebildet oder angeordnet. Die Abdeckung 426 wird mittels der Verbindungsschicht 224 mit der optisch aktiven Struktur 414 verbunden und schützt diesen vor schädlichen Stoffen. Die Abdeckung 426 ist beispielsweise eine Glasabdeckung 426, eine Metallfolienabdeckung 426 oder eine abgedichtete Kunststofffolien-Abdeckung 426. Die Glasabdeckung 426 ist beispielsweise mittels einer Fritten-Verbindung (engl. glass frit bonding/glass soldering/seal glass bonding) mittels eines herkömmlichen Glaslotes in den geometrischen Randbereichen des optoelektronischen Bauelementes 400 verbunden.On or above the tie layer 224 is the cover 426 trained or arranged. The cover 426 is by means of the bonding layer 224 with the optically active structure 414 connected and protects it from harmful substances. The cover 426 is for example a glass cover 426 , a metal foil cover 426 or a sealed plastic film cover 426 , The glass cover 426 is for example by means of a frit bonding / glass soldering / seal glass bonding by means of a conventional glass solder in the geometric edge regions of the optoelectronic component 400 connected.

5A bis 5C veranschaulichen verschiedene Weiterbildungen des optoelektronischen Bauelements, die beispielsweise weitgehend den oben gezeigten Ausführungsbeispielen entsprechen können. 5A to 5C illustrate various developments of the optoelectronic device, which may for example largely correspond to the embodiments shown above.

Mittels der lateralen Strukturierung der zweiten Elektrode 214 mit einem ersten Bereich 102 und einem zweiten Bereich 104 kann ein optoelektronisches Bauelement 400 realisiert werden, bei dem in der strahlungsemittierenden Fläche optisch unterschiedliche, freistehende Bereiche ausgebildet sind, beispielsweise veranschaulicht in 5A bis 5C.By means of the lateral structuring of the second electrode 214 with a first area 102 and a second area 104 can be an optoelectronic device 400 be realized, in which optically different, free-standing areas are formed in the radiation-emitting surface, for example, illustrated in 5A to 5C ,

In einer Weiterbildung, beispielsweise veranschaulicht in 5A, ist ein erster Bereich 504 ausgebildet, der wenigstens optisch transluzent ist; und ein zweiter Bereich 502, der eine erste elektromagnetische Strahlung 510 emittiert. Der transluzente erste Bereich 504 ist dabei von dem strahlungsemittierenden zweiten Bereich 502 umgeben derart, dass der erste Bereich 504 freistehend in dem zweiten Bereich 502 ausgebildet ist.In a development, for example, illustrated in 5A , is a first area 504 formed, which is at least optically translucent; and a second area 502 , which is a first electromagnetic radiation 510 emitted. The translucent first area 504 is from the radiation-emitting second area 502 surrounded such that the first area 504 detached in the second area 502 is trained.

In einer Weiterbildung, beispielsweise veranschaulicht in 5B, weist das optoelektronische Bauelement 400 einen dritten Bereich 506 auf, der eine zweite elektromagnetische Strahlung 520 emittiert. Der dritte Bereich 506 ist neben dem zweiten Bereich 502 angeordnet und umgibt zusammen mit dem zweiten Bereich 502 den ersten Bereich 504, so dass dieser freistehend ist. Der dritte Bereich 506 kann derart ausgebildet sein, dass die zweite elektromagnetische Strahlung 520 in eine andere Richtung als die erste elektromagnetische Strahlung 510 emittiert wird, und/oder dass die zweite elektromagnetische Strahlung 520 eine andere optische Eigenschaft aufweist als die erste elektromagnetische Strahlung 510, beispielsweise einen anderen Farbort. Der zweite Bereich kann in Emissionsrichtung der ersten elektromagnetische Strahlung beispielsweise reflektierender und/oder einer opak erscheinen. Dieses optoelektronische Bauelement 400 kann beispielsweise realisiert werden, indem der zweite Bereich 502 des optoelektronischen Bauelementes 400 eine oben beschriebene Schicht mit zweitem Bereich 102 aufweist, und der dritte Bereich 506 des optoelektronischen Bauelementes 400 eine oben beschriebene Schicht mit zweitem Bereich 104 aufweist. Die Schicht ist im zweiten Bereich 502 des optoelektronischen Bauelementes als zweite Elektrode 114 und im dritten Bereich 506 des optoelektronischen Bauelementes 400 als erste Elektrode 210 ausgebildet; und der Träger 200 ist wenigstens transluzent. Dadurch kann ein optoelektronisches Bauelement 400 realisiert werden, das in der strahlungsemittierenden Fläche einen freistehenden, transparenten ersten Bereich 504 aufweist, der von unterschiedlich strahlungsemittierenden Bereichen 502, 506 umgeben ist.In a development, for example, illustrated in 5B , Shows the optoelectronic component 400 a third area 506 on that a second electromagnetic radiation 520 emitted. The third area 506 is next to the second area 502 arranged and surrounds together with the second area 502 the first area 504 so that it is freestanding. The third area 506 may be formed such that the second electromagnetic radiation 520 in a different direction than the first electromagnetic radiation 510 is emitted, and / or that the second electromagnetic radiation 520 has a different optical property than the first electromagnetic radiation 510 For example, another color location. The second region may appear, for example, reflective and / or opaque in the emission direction of the first electromagnetic radiation. This optoelectronic component 400 for example, can be realized by the second area 502 of the optoelectronic component 400 a layer described above with a second area 102 and the third area 506 of the optoelectronic component 400 a layer described above with a second area 104 having. The layer is in the second area 502 of the optoelectronic component as a second electrode 114 and in the third area 506 of the optoelectronic component 400 as the first electrode 210 educated; and the carrier 200 is at least translucent. As a result, an optoelectronic component 400 be realized that in the radiation-emitting surface a free-standing, transparent first area 504 having, of different radiation-emitting areas 502 . 506 is surrounded.

In einer weiteren Weiterbildung, beispielsweise veranschaulicht in 5C, ist der erste Bereich 504 als ein wenigstens teilweise transparenter oder transluzenter elektromagnetische Strahlung emittierender vierter Bereich 508 ausgebildet. Dadurch kann ein optoelektronisches Bauelement realisiert werden, das in der strahlungsemittierenden Fläche einen freistehenden, transluzenten oder transparenten Bereich 508 aufweist, der von unterschiedlichen Strahlung emittierenden Bereichen 502, 506 umgeben ist. Dieses optoelektronische Bauelement 400 kann beispielsweise realisiert werden, indem der vierte Bereich 508 des optoelektronischen Bauelementes 400 eine Schicht mit einem oben beschriebenen ersten Bereich 102 aufweist, und der zweite Bereich 502 und der dritte Bereich 506 des optoelektronischen Bauelementes 400 eine Schicht mit einem oben beschriebenen zweiten Bereich 104 aufweisen. Die Schicht mit einem zweiten Bereich 104 ist im zweiten Bereich 502 des optoelektronischen Bauelementes als erste Elektrode 210 ausgebildet, und im dritten Bereich 506 des optoelektronischen Bauelementes 400 als zweite Elektrode 214, oder umgekehrt.In a further development, for example illustrated in 5C , is the first area 504 as a fourth region emitting at least partially transparent or translucent electromagnetic radiation 508 educated. As a result, an optoelectronic component can be realized, which in the radiation-emitting surface is a freestanding, translucent or transparent region 508 having, of different radiation emitting areas 502 . 506 is surrounded. This optoelectronic component 400 can be realized, for example, by the fourth area 508 of the optoelectronic component 400 a layer having a first region described above 102 and the second area 502 and the third area 506 of the optoelectronic component 400 a layer having a second region described above 104 exhibit. The layer with a second area 104 is in the second area 502 of the optoelectronic component as the first electrode 210 trained, and in the third area 506 of the optoelectronic component 400 as a second electrode 214 , or the other way around.

6A und 6B veranschaulichen verschiedene Weiterbildungen des optoelektronischen Bauelements, die beispielsweise weitgehend den oben gezeigten Ausführungsbeispielen entsprechen können. 6A and 6B illustrate various developments of the optoelectronic device, which may for example largely correspond to the embodiments shown above.

In einer Weiterbildung des optoelektronischen Bauelementes 400, beispielsweise veranschaulicht in 6A, sind die optoelektronischen Bauelemente-Einheiten 410, 420 elektrisch unabhängig voneinander ansteuerbar ausgebildet, und wie oben ausführlicher beschrieben ist. Die optoelektronischen Bauelemente-Einheiten 410, 420 sind mittels elektrischer Verbindungsleitungen 608, 610, 612, 614 und mittels einer Steuervorrichtung 602 mit einer Bauelement-externen elektrischen Energiequelle 604 elektrisch verbunden. Die Steuervorrichtung ist ferner mit einer Ermittlungsvorrichtung 606 verbunden, beispielsweise einem Sensor. Dadurch wird ein optoelektronisches Bauelement 400 realisiert, bei dem in Abhängigkeit von dem Signal der Ermittlungseinrichtung 606 die optoelektronischen Bauelemente-Einheiten 410, 420 mittels der Steuervorrichtung 602 bestromt werden. Eine Anordnung solcher optoelektronischen Bauelemente 400 in einem Raum, beispielsweise veranschaulicht in 6B, kann zu einer spezifischen Ausleuchtung des Raumes verwendet werden.In a further development of the optoelectronic component 400 , for example, illustrated in 6A , are the optoelectronic device units 410 . 420 electrically controllable independently of each other, and as described in more detail above. The optoelectronic component units 410 . 420 are by means of electrical connection lines 608 . 610 . 612 . 614 and by means of a control device 602 with a device-external electrical power source 604 electrically connected. The control device is further provided with a detection device 606 connected, for example, a sensor. This will be an optoelectronic device 400 realized in which, depending on the signal of the detection means 606 the optoelectronic component units 410 . 420 by means of the control device 602 be energized. An arrangement of such optoelectronic components 400 in a room, for example, illustrated in 6B , can be used for a specific illumination of the room.

In einer Weiterbildung weist die externe elektrische Energiequelle 604 eine externe Steuerung auf, beispielsweise Lan/WAN, Bus, oder ein extern gesteuertes Netzteil.In a further development, the external electrical energy source 604 an external control, such as Lan / WAN, bus, or an externally controlled power supply.

In einer Weiterbildung ist die Steuervorrichtung 602 als eine Strom- und/oder Spannungsansteuerung ausgebildet.In a development, the control device 602 designed as a current and / or voltage control.

In einer Weiterbildung ist die erste optoelektronische Bauelemente-Einheit 420 als eine Flächenlichtquelle eingerichtet, und die zweite optoelektronische Bauelemente-Einheit 410 als eine strahlungsermittelnde Einrichtung, beispielsweise als Fotodetektor für Bauelement-externe elektromagnetische Strahlung und/oder die von der ersten optoelektronischen Bauelemente-Einheit 420 emittierte elektromagnetische Strahlung.In a development, the first optoelectronic component unit 420 as a surface light source, and the second optoelectronic component unit 410 as a radiation-determining device, for example as a photodetector for device-external electromagnetic radiation and / or that of the first optoelectronic component unit 420 emitted electromagnetic radiation.

In dem in 6B veranschaulichten Anwendungsbeispiel sind in dem Raum 630 Stelen 620 angeordnet. Eine Stele 620 weist optoelektronische Bauelemente 400 auf, deren Hauptemissionsrichtung in eine erste Richtung 622 zeigen, und optoelektronische Bauelemente 400, deren Hauptemissionsrichtung in eine zweite Richtung 624 zeigen, die der ersten Richtung entgegen gerichtet ist. Die Hauptemissionsrichtung kann mittels des zweiten Bereiches 104 der Schicht vorgegeben sein.In the in 6B Illustrated application example are in the room 630 steles 620 arranged. A stele 620 has optoelectronic components 400 whose main emission direction is in a first direction 622 show, and optoelectronic devices 400 whose main emission direction is in a second direction 624 show, which is directed in the first direction opposite. The main emission direction may be by means of the second region 104 be given the layer.

Die Ermittlungsvorrichtung 606 kann beispielsweise einen Bewegungssensor aufweisen, so dass in Abhängigkeit von der Bewegung einer Person im Raum 630 eine Stele 620 Licht in unterschiedliche Richtungen emittiert. Dadurch kann beispielsweise der Raum in Bewegungsrichtung der Person im Raum mittels der zweiten optoelektronischen Bauelement-Einheit 410 ausgeleuchtet werden. Der Bereich des Raumes, aus dem die Person sich auf die Stele 620 zu bewegt, kann mittels des ersten optoelektronischen Bauelementes 420 ausgeleuchtet werden. Alternativ kann die erste optoelektronische Bauelemente-Einheit als ein Positions- oder Nachtlicht der Stele 620 ausgebildet sein.The investigative device 606 For example, it may include a motion sensor such that it depends on the movement of a person in the room 630 a stele 620 Light emitted in different directions. As a result, for example, the space in the direction of movement of the person in the room by means of the second optoelectronic component unit 410 be lit up. The area of the room from which the person is standing on the stele 620 moved to, by means of the first optoelectronic component 420 be lit up. Alternatively, the first optoelectronic device unit as a position or night light of the stele 620 be educated.

Dadurch ergibt sich als Vorteil ein monolithischer Aufbau für das optoelektronischer Bauelement 400 bzw. für die Stele 620, der mit reduzierten Maskenebenen zu reduzierten Kosten hergestellt werden kann. Die Ansteuerung der Stelen 620 ermöglicht eine Beleuchtung des Raumes 630 nur dort, wo sich Personen aufhalten.This results in the advantage of a monolithic structure for the optoelectronic device 400 or for the stele 620 which can be made with reduced mask levels at a reduced cost. The control of the steles 620 allows lighting of the room 630 only where people are.

Die Erfindung ist nicht auf die angegebenen Ausführungsbeispiele beschränkt. Beispielsweise können beliebige Schichten des optoelektronischen Bauelementes als Schicht mit erstem Bereich und zweitem Bereich ausgebildet werden, in unterschiedlicher Form und Abmessung; mittels eines Abscheideprozesses durch eine Maske, eines Bestrahlungsprozesses durch die Maske oder eines Abtragungsprozesses durch die Maske.The invention is not limited to the specified embodiments. By way of example, any desired layers of the optoelectronic component can be formed as a layer having a first region and a second region, in different shapes and dimensions; by means of a deposition process through a mask, an irradiation process through the mask or a removal process through the mask.

Claims (14)

Verfahren (120) zum Herstellen eines optoelektronischen Bauelementes (400), das Verfahren (120) aufweisend: • ein Bereitstellen (130) eines Substrats (100), • ein Ausbilden (140) einer Schicht auf oder über dem Substrat (100) in einem ersten Bereich (102) und einem zweiten Bereich (104), wobei der erste Bereich (102) neben dem zweiten Bereich (104) angeordnet ist; und • wobei die Schicht im ersten Bereich (102) und im zweiten Bereich (104) wenigstens teilweise gleichzeitig ausgebildet wird, – wobei die Schicht im ersten Bereich (102) mit einer ersten Dicke und einer strukturierten Oberfläche ausgebildet wird; – wobei die Schicht im zweiten Bereich (104) mit einer zweiten Dicke ausgebildet wird, wobei die zweite Dicke größer ist als die erste Dicke; und – wobei die Schicht im ersten Bereich (102) bezüglich sichtbaren Lichts transluzent oder transparent und die Schicht im zweiten Bereich (104) bezüglich sichtbaren Lichts opak und/oder spiegelnd ausgebildet werden.Procedure ( 120 ) for producing an optoelectronic component ( 400 ), the procedure ( 120 ) comprising: • providing ( 130 ) of a substrate ( 100 ), • a training ( 140 ) of a layer on or over the substrate ( 100 ) in a first area ( 102 ) and a second area ( 104 ), the first area ( 102 ) next to the second area ( 104 ) is arranged; and wherein the layer in the first region ( 102 ) and in the second area ( 104 ) is formed at least partially simultaneously, - wherein the layer in the first region ( 102 ) is formed with a first thickness and a textured surface; - wherein the layer in the second area ( 104 ) is formed with a second thickness, wherein the second thickness is greater than the first thickness; and - wherein the layer in the first region ( 102 ) translucent or transparent with respect to visible light and the layer in the second region ( 104 ) are made opaque and / or specular with respect to visible light. Verfahren (120) gemäß Anspruch 1, ferner aufweisend: ein Ausbilden einer optisch aktiven Struktur (414), mit wenigstens einer elektrolumineszierenden Schicht, wobei die elektrolumineszierenden Schicht zum Bereitstellen einer elektromagnetischen Strahlung aus einem elektrischen Strom ausgebildet wird; wobei der erste Bereich (102) und der zweite Bereich (104) der Schicht im Strahlengang der elektromagnetischen Strahlung und/oder als Teil der optisch aktiven Struktur (414) ausgebildet werden.Procedure ( 120 ) according to claim 1, further comprising: forming an optically active structure ( 414 ), with at least one electroluminescent layer, wherein the electroluminescent layer for Providing an electromagnetic radiation is formed from an electric current; the first area ( 102 ) and the second area ( 104 ) of the layer in the beam path of the electromagnetic radiation and / or as part of the optically active structure ( 414 ) be formed. Verfahren (120) gemäß Anspruch 1 oder 2, wobei die Schicht mittels eines Maskenprozesses mit einer Maske (108) ausgebildet wird, wobei die Maske (108) einen ersten Maskenbereich (112) und einen zweiten Maskenbereich (114) aufweist, die jeweils wenigstens eine Öffnung aufweisen, wobei sich der erste Maskenbereich (112) von dem zweiten Maskenbereich (114) in wenigstens einer Eigenschaft aus der Gruppe der nachfolgenden Eigenschaften unterscheidet: der Anordnung von Öffnung, dem mittleren Abstand von Öffnungen, der Größe von Öffnungen, der Form von Öffnungen, der Anzahl an Öffnungen, der Anzahldichte an Öffnungen und/oder dem Flächenanteil an Öffnung an dem Maskenbereich (112, 114).Procedure ( 120 ) according to claim 1 or 2, wherein the layer by means of a mask process with a mask ( 108 ) is formed, wherein the mask ( 108 ) a first mask area ( 112 ) and a second mask area ( 114 ), each having at least one opening, wherein the first mask area ( 112 ) from the second mask area ( 114 ) in at least one of the following properties: the arrangement of aperture, the mean spacing of apertures, the size of apertures, the shape of apertures, the number of apertures, the number density of apertures, and / or the area ratio of apertures at the mask area ( 112 . 114 ). Verfahren (120) gemäß Anspruch 3, wobei die Maske (108) derart über dem Substrat (100) angeordnet wird, dass der erste Maskenbereich (112) über dem ersten Bereich (102), und der zweite Maskenbereich (114) über dem zweiten Bereich (104) angeordnet sind.Procedure ( 120 ) according to claim 3, wherein the mask ( 108 ) above the substrate ( 100 ) is arranged, that the first mask area ( 112 ) over the first area ( 102 ), and the second mask area ( 114 ) over the second area ( 104 ) are arranged. Verfahren (120) gemäß Anspruch 3 oder 4, wobei die Maske (108) in einem Abstand (110) über dem Substrat (100) angeordnet wird.Procedure ( 120 ) according to claim 3 or 4, wherein the mask ( 108 ) at a distance ( 110 ) above the substrate ( 100 ) is arranged. Verfahren (120) gemäß einem der Ansprüche 3 bis 5, wobei die Maske (108) eine Positionierungsstruktur (202) aufweist oder zwischen der Maske (108) und dem Substrat (100) eine Positionierungsstruktur (202) angeordnet wird.Procedure ( 120 ) according to one of claims 3 to 5, wherein the mask ( 108 ) a positioning structure ( 202 ) or between the mask ( 108 ) and the substrate ( 100 ) a positioning structure ( 202 ) is arranged. Verfahren (120) gemäß einem der Ansprüche 1 bis 6, wobei die Schicht im ersten Bereich (102) und im zweiten Bereich (104) unter Verwendung einer einzigen Maske (108) ausgebildet wird.Procedure ( 120 ) according to one of claims 1 to 6, wherein the layer in the first region ( 102 ) and in the second area ( 104 ) using a single mask ( 108 ) is formed. Verfahren (120) gemäß einem der Ansprüche 3 bis 7, wobei der Maskenprozess ein Gasphasenabscheiden eines Materials (106, 306) durch die Maske (108) aufweist, vorzugsweise ein physikalisches Gasphasenabscheiden, ein chemisches Gasphasenabscheiden, ein Atomlagenabscheiden oder ein Moleküllagenabscheiden.Procedure ( 120 ) according to one of claims 3 to 7, wherein the mask process comprises a vapor deposition of a material ( 106 . 306 ) through the mask ( 108 ), preferably a physical vapor deposition, a chemical vapor deposition, an atomic layer deposition or a molecular layer deposition. Verfahren (120) gemäß einem der Ansprüche 3 bis 7, wobei das Material der Schicht oder ein Vormaterial des Materials der Schicht mit der zweiten Dicke oder mit einer dritten Dicke, die größer ist als die zweite Dicke, flächig auf dem Substrat (100) ausgebildet wird, und das Material oder das Vormaterial durch die Maske (108) bestrahlt wird, vorzugsweise mittels einer elektromagnetischen Strahlung und/oder einem Teilchenstrahl.Procedure ( 120 ) according to one of claims 3 to 7, wherein the material of the layer or a pre-material of the material of the layer with the second thickness or with a third thickness, which is greater than the second thickness, flat on the substrate ( 100 ) is formed, and the material or the starting material through the mask ( 108 ) is irradiated, preferably by means of an electromagnetic radiation and / or a particle beam. Verfahren (120) gemäß einem der Ansprüche 3 bis 7, wobei das Material der Schicht mit der zweiten Dicke oder mit einer dritten Dicke, die größer ist als die zweite Dicke, flächig auf dem Substrat (100) ausgebildet wird, wobei mittels eines Ätzprozesses ein Ätzmedium durch die Maske (108) ein Teil der Schicht wenigstens im ersten Bereich (102) entfernt.Procedure ( 120 ) according to one of claims 3 to 7, wherein the material of the layer with the second thickness or with a third thickness, which is greater than the second thickness, flat on the substrate ( 100 ) is formed, wherein by means of an etching process, an etching medium through the mask ( 108 ) a part of the layer at least in the first area ( 102 ) away. Optoelektronisches Bauelement (400), aufweisend: • eine optisch aktive Struktur (414) mit wenigstens einer elektrolumineszierenden Schicht, wobei die elektrolumineszierende Schicht zum Bereitstellen einer elektromagnetischen Strahlung aus einem elektrischen Strom ausgebildet ist; und • wenigstens eine Schicht mit einem ersten Bereich (102) und einem zweiten Bereich (104), wobei der erste Bereich (102) neben dem zweiten Bereich (104) angeordnet ist, und der erste Bereich (102) und der zweite Bereich (104) im Strahlengang der elektromagnetischen Strahlung angeordnet sind und/oder die Schicht ein Teil der optisch aktiven Struktur (414) ist; • wobei die Schicht im ersten Bereich (102) eine erste Dicke und eine strukturierte Oberfläche aufweist, und die Schicht im zweiten Bereich (104) eine zweite Dicke aufweist, wobei die zweite Dicke größer ist als die erste Dicke, und • wobei bezüglich sichtbaren Lichts der erste Bereich (102) transluzent oder transparent ist und der zweite Bereich (104) opak und/oder spiegelnd ist.Optoelectronic component ( 400 ), comprising: an optically active structure ( 414 ) having at least one electroluminescent layer, wherein the electroluminescent layer is configured to provide an electromagnetic radiation from an electric current; and at least one layer with a first region ( 102 ) and a second area ( 104 ), the first area ( 102 ) next to the second area ( 104 ), and the first area ( 102 ) and the second area ( 104 ) are arranged in the beam path of the electromagnetic radiation and / or the layer is a part of the optically active structure ( 414 ); Where the layer in the first area ( 102 ) has a first thickness and a structured surface, and the layer in the second region ( 104 ) has a second thickness, wherein the second thickness is greater than the first thickness, and wherein, with respect to visible light, the first region (FIG. 102 ) is translucent or transparent and the second area ( 104 ) is opaque and / or reflective. Optoelektronisches Bauelement (400) nach Anspruch 11, wobei das optoelektronische Bauelement (400) wenigsten eine erste Elektrode (210) und eine zweite Elektrode (214 aufweist, wobei die Schicht ein elektrisch leitendes Material aufweist oder daraus gebildet ist, vorzugsweise als erste Elektrode (210) oder zweite Elektrode (214) ausgebildet ist; und/oder wobei die Schicht ein optisch aktives Material aufweist oder daraus gebildet ist, vorzugsweise ein elektrolumineszierendes und/oder fotolumineszierendes Material.Optoelectronic component ( 400 ) according to claim 11, wherein the optoelectronic component ( 400 ) at least one first electrode ( 210 ) and a second electrode ( 214 wherein the layer comprises or is formed from an electrically conductive material, preferably as a first electrode ( 210 ) or second electrode ( 214 ) is trained; and / or wherein the layer comprises or is formed from an optically active material, preferably an electroluminescent and / or photoluminescent material. Optoelektronisches Bauelement (400) nach einem der Ansprüche 11 bis 12, wobei mittels der Schicht im ersten Bereich (102) eine erste optoelektronische Bauelement-Einheit (420) und im zweiten Bereich (104) eine zweite optoelektronische Bauelement-Einheit (410) ausgebildet ist, wobei sich die erste optoelektronische Bauelement-Einheit (420) von der zweiten optoelektronischen Bauelement-Einheit (410) in wenigstens einer optischen und/oder elektronischen Eigenschaft unterscheidet.Optoelectronic component ( 400 ) according to one of claims 11 to 12, wherein by means of the layer in the first region ( 102 ) a first optoelectronic component unit ( 420 ) and in the second area ( 104 ) a second optoelectronic component unit ( 410 ), wherein the first optoelectronic component unit ( 420 ) of the second optoelectronic component unit ( 410 ) differs in at least one optical and / or electronic characteristic. Optoelektronisches Bauelement (400) nach einem der Ansprüche 11 bis 13, wobei das optoelektronische Bauelement (400) als organisch optoelektronisches Bauelement (400) ausgebildet ist, vorzugsweise als eine organische Leuchtdiode, ein organischer Fotodetektor und/oder ein organisches Display-Bauelement.Optoelectronic component ( 400 ) according to any one of claims 11 to 13, wherein the optoelectronic component ( 400 ) as an organic optoelectronic component ( 400 ), preferably as an organic light-emitting diode, an organic photodetector and / or an organic display component.
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