DE102014110271B4 - Optoelectronic component and method for producing an optoelectronic component - Google Patents
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Abstract
Verfahren (120) zum Herstellen eines optoelektronischen Bauelementes (400), das Verfahren (120) aufweisend: • ein Bereitstellen (130) eines Substrats (100), • ein Ausbilden (140) einer Schicht auf oder über dem Substrat (100) in einem ersten Bereich (102) und einem zweiten Bereich (104), wobei der erste Bereich (102) neben dem zweiten Bereich (104) angeordnet ist; und • wobei die Schicht im ersten Bereich (102) und im zweiten Bereich (104) wenigstens teilweise gleichzeitig ausgebildet wird, – wobei die Schicht im ersten Bereich (102) mit einer ersten Dicke und einer strukturierten Oberfläche ausgebildet wird; – wobei die Schicht im zweiten Bereich (104) mit einer zweiten Dicke ausgebildet wird, wobei die zweite Dicke größer ist als die erste Dicke; und – wobei die Schicht im ersten Bereich (102) bezüglich sichtbaren Lichts transluzent oder transparent und die Schicht im zweiten Bereich (104) bezüglich sichtbaren Lichts opak und/oder spiegelnd ausgebildet werden.Method (120) for producing an optoelectronic component (400), the method (120) comprising: • providing (130) a substrate (100), • forming (140) a layer on or above the substrate (100) in one first region (102) and a second region (104), wherein the first region (102) is disposed adjacent to the second region (104); and wherein the layer is formed at least partially simultaneously in the first region and in the second region, the layer being formed in the first region having a first thickness and a structured surface; - wherein the layer in the second region (104) is formed with a second thickness, wherein the second thickness is greater than the first thickness; and - wherein the layer in the first region (102) is translucent or transparent to visible light and the layer in the second region (104) is made opaque and / or specular with respect to visible light.
Description
Die Erfindung betrifft ein optoelektronisches Bauelement und ein Verfahren zum Herstellen eines optoelektronischen Bauelements.The invention relates to an optoelectronic component and to a method for producing an optoelectronic component.
In verschiedenen Beleuchtungsanwendungen ist es sinnvoll, dass die Beleuchtungsrichtung einer Beleuchtungsvorrichtung gewechselt werden kann oder eine gleichzeitige Beleuchtung in zueinander entgegengesetzte Richtungen erfolgen kann.In various lighting applications, it makes sense that the illumination direction of a lighting device can be changed or a simultaneous illumination in opposite directions can take place.
Bei einer herkömmlichen hybriden Beleuchtungsvorrichtung mit nebeneinander angeordneten Beleuchtungsbereichen werden die nebeneinander angeordneten Beleuchtungsbereiche unter hohem Herstellungsaufwand produziert. In einem herkömmlichen Verfahren wird eine Beleuchtungsvorrichtung mit einem ersten Beleuchtungsbereich
Dabei wird zunächst der erste Beleuchtungsbereich
In einem weiteren herkömmlichen Verfahren wird das Beleuchtungslicht der Beleuchtungsvorrichtung seitlich mittels Leuchtdioden (light emitting diode – LED) in einen Wellenleiter eingekoppelt, auch bezeichnet als Seiteneinkopplungslösung, wobei ein Wellenleiter als transparente/intransparente Abdeckung der LEDs ausgebildet ist.In another conventional method, the illumination light of the illumination device is laterally coupled by means of light emitting diodes (LED) in a waveguide, also referred to as Seiteneinkopplungslösung, wherein a waveguide is designed as a transparent / opaque cover of the LEDs.
In einem weiteren herkömmlichen Verfahren werden verschiedene singuläre organische Leuchtdioden (organic light emitting diode – OLED) verschiedener Bauformen (transparent, Bottom-Emitter, Top-Emitter) parallel oder seriell angeordnet. Die dazu notwendige Verkabelung der OLEDs und ein hybrider Aufbau aus einzelnen OLEDs kann jedoch sehr aufwändig sein.In another conventional method, various singular organic light emitting diodes (OLEDs) of different types (transparent, bottom emitter, top emitter) are arranged in parallel or in series. However, the necessary wiring of the OLEDs and a hybrid structure of individual OLEDs can be very complex.
X. T. Hao et al. „Colour tunability of polymeric light-emitting diodes with top emission architecture”, Semicond. Sci. Technol., 21 (2006) S. 19–24 zeigt einen Versuchsaufbau, bei dem Indiumzinnoxid (ITO) zwischen einer Silberanode und einem Polymerstapel als geschichtete Anode angebracht wird.X.T. Hao et al. "Color tunability of polymeric light-emitting diodes with top emission architecture", Semicond. Sci. Technol., 21 (2006) pp. 19-24 shows an experimental setup in which indium tin oxide (ITO) is applied between a silver anode and a polymer stack as a layered anode.
Die Aufgabe der Erfindung ist es, ein lateral strukturiertes optoelektronisches Bauelement in vereinfachter Herstellungsweise auszubilden. Das optoelektronische Bauelement ist beispielsweise ein flächenartiges Bauteil, z. B. eine bidirektionale organische Leuchtdioden(organic light emitting diode – OLED)-Leuchte.The object of the invention is to form a laterally structured optoelectronic component in a simplified production manner. The optoelectronic component is for example a sheet-like component, for. B. a bidirectional organic light-emitting diodes (organic light emitting diode - OLED) -Leuchte.
Die Aufgabe wird gemäß einem Aspekt der Erfindung gelöst durch ein optoelektronisches Bauelement, das eine optisch aktive Struktur mit wenigstens einer elektrolumineszierenden Schicht aufweist. Die elektrolumineszierende Schicht ist zum Bereitstellen einer elektromagnetischen Strahlung aus einem elektrischen Strom ausgebildet. Zusätzlich weist das optoelektronische Bauelement wenigstens eine Schicht mit einem ersten Bereich und einem zweiten Bereich auf. Der erste Bereich ist neben dem zweiten Bereich angeordnet. Der erste Bereich und der zweite Bereich sind im Strahlengang der elektromagnetischen Strahlung angeordnet und/oder die Schicht ist ein Teil der optisch aktiven Struktur. Die Schicht weist im ersten Bereich eine erste Dicke und eine strukturierte Oberfläche auf. Im zweiten Bereich weist die Schicht eine zweite Dicke auf, wobei die zweite Dicke größer ist als die erste Dicke. Die Schicht im ersten Bereich werden bezüglich sichtbaren Lichts transluzent oder transparent und die Schicht im zweiten Bereich bezüglich sichtbaren Lichts opak und/oder spiegelnd ausgebildet.The object is achieved according to one aspect of the invention by an optoelectronic component having an optically active structure with at least one electroluminescent layer. The electroluminescent layer is configured to provide electromagnetic radiation from an electrical current. In addition, the optoelectronic component has at least one layer with a first region and a second region. The first area is located next to the second area. The first region and the second region are arranged in the beam path of the electromagnetic radiation and / or the layer is a part of the optically active structure. The layer has a first thickness and a structured surface in the first region. In the second region, the layer has a second thickness, wherein the second thickness is greater than the first thickness. The layer in the first region is made translucent or transparent with respect to visible light, and the layer in the second region is made opaque and / or specular with respect to visible light.
Die beiden Bereiche der Schicht ermöglichen eine lateral strukturierte bidirektionale organische Leuchtdiode mit exakten Übergängen zwischen den verschiedenen Bereichen auf einem Trägersubstrat. Dadurch werden neue Gestaltungsmöglichkeiten für das optoelektronische Bauelement ermöglicht. Weiterhin wird das Defekt- und Partikelrisiko reduziert, das durch den Einsatz von mehreren Schattenmasken erhöht wird. Dies führt zu einer höheren Ausbeute beim Herstellen der optoelektronischen Bauelemente und einem optoelektronischen Bauelement mit einer engen, quasi übergangslosen Aneinanderreihung von unterschiedlich abstrahlenden optoelektronischen Bauelemente-Einheiten bzw. optisch aktiven Strukturen. Dies ermöglicht zudem ein optoelektronisches Bauelement, das im ersten Bereich durchlässig für Licht ist und im zweiten Bereich undruchlässig für Licht ist. Dadurch kann in der elektromagnetische Strahlung emittierenden Fläche eine optische Strukturierung realisiert werden, beispielsweise in Form eines freistehenden Bereiches in der strahlungsemittierenden Fläche. Die elektromagnetische Strahlung emittierende Fläche des optoelektronischen Bauelementes kann auch als optisch aktive Fläche, lichtemittierende Fläche, strahlungsemittierende Fläche, Leuchtfläche oder emittierende Fläche bezeichnet werden. Mittels der optischen Strukturierung der emittierenden Fläche kann in der emittierenden Fläche eine Information dargestellt werden, beispielsweise ein Symbol, ein Schriftzug, ein Piktogramm oder ein Ideogramm.The two regions of the layer enable a laterally structured bi-directional organic light-emitting diode with exact transitions between the different regions on a carrier substrate. This will be new Design options for the optoelectronic device allows. Furthermore, the defect and particle risk is reduced, which is increased by the use of multiple shadow masks. This leads to a higher yield in the production of the optoelectronic components and an optoelectronic component with a narrow, almost seamless sequential arrangement of differently emitting optoelectronic component units or optically active structures. This also allows an optoelectronic device, which is permeable to light in the first region and is suitable for light in the second region. As a result, an optical structuring can be realized in the surface emitting electromagnetic radiation, for example in the form of a freestanding region in the radiation-emitting surface. The surface emitting the electromagnetic radiation of the optoelectronic component may also be referred to as optically active surface, light emitting surface, radiation emitting surface, luminous surface or emitting surface. By means of the optical structuring of the emitting surface, information can be displayed in the emitting surface, for example a symbol, a lettering, a pictogram or an ideogram.
Gemäß einer weiteren Weiterbildung des optoelektronischen Bauelements weist das optoelektronische Bauelement eine erste Elektrode und eine zweite Elektrode auf. Die Schicht weist ein elektrisch leitendes Material auf oder ist daraus gebildet. Beispielsweise ist die Schicht als erste Elektrode oder zweite Elektrode des optoelektronischen Bauelements ausgebildet. Alternativ oder zusätzlich weist die Schicht ein optisch aktives Material auf oder ist daraus gebildet, beispielsweise ein elektrolumineszierendes und/oder fotolumineszierendes Material. Eine elektrisch leitende, elektrolumineszierende Schicht kann als eine Emitterschicht des optoelektronischen Bauelementes ausgebildet sein. Eine elektrisch nicht-leitende, fotolumineszierende Schicht kann als eine Leuchtstoffschicht ausgebildet sein. Die Elektrode als Schicht im Bereich mit zweiter Dicke weist eine geringere Transmission auf als die Elektrode im Bereich mit erster Dicke. Weiterhin erhöht die strukturierte Oberfläche der Elektrode im ersten Bereich die Auskopplung von elektromagnetischer Strahlung aus der optisch aktiven Struktur. Die strukturierte Oberfläche kann somit als Auskoppelstruktur ausgebildet sein, beispielsweise indem die strukturierte Oberfläche eine Strukturierung im Bereich der Wellenlänge der elektromagnetischen Strahlung aufweist. Zusätzlich oder alternativ kann die strukturierte Oberfläche die Stromverteilung in der Elektrode erhöhen. Bei einer Emitterschicht oder Leuchtstoffschicht können mittels der Dicke der Schicht die Eigenschaften der emittierten elektromagnetischen Strahlung eingestellt werden, beispielsweise der Farbort oder das Farbbin. Bei der Emitterschicht erfolgt dies mittels der unterschiedlichen optischen Länge der optischen Kavität bei unterschiedlichen Dicken der Schicht. Bei der Leuchtstoffschicht erfolgt dies mittels des unterschiedlichen absoluten Anteils der in der Leuchtstoffschicht wellenlängenkonvertierten elektromagnetischen Strahlung. Mittels der strukturierten Oberfläche der Emitterschicht oder Leuchtstoffschicht im ersten Bereich kann eine vorgegebene Inhomogenität in der emittierenden Fläche realisiert werden. Beispielsweise kann dadurch ein vorgegebenes Farbmuster in der Leuchtfläche realisiert werden.According to a further development of the optoelectronic component, the optoelectronic component has a first electrode and a second electrode. The layer comprises or is formed from an electrically conductive material. For example, the layer is formed as a first electrode or second electrode of the optoelectronic component. Alternatively or additionally, the layer comprises or is formed from an optically active material, for example an electroluminescent and / or photoluminescent material. An electrically conductive, electroluminescent layer may be formed as an emitter layer of the optoelectronic component. An electrically nonconductive, photoluminescent layer may be formed as a phosphor layer. The electrode as a layer in the region of the second thickness has a lower transmission than the electrode in the region of the first thickness. Furthermore, the structured surface of the electrode in the first region increases the coupling-out of electromagnetic radiation from the optically active structure. The structured surface can thus be embodied as a coupling-out structure, for example in that the structured surface has a structuring in the region of the wavelength of the electromagnetic radiation. Additionally or alternatively, the structured surface may increase the current distribution in the electrode. In the case of an emitter layer or phosphor layer, the properties of the emitted electromagnetic radiation can be adjusted by means of the thickness of the layer, for example the color locus or the color pencil. In the emitter layer, this is done by means of the different optical length of the optical cavity at different thicknesses of the layer. In the case of the phosphor layer this is done by means of the different absolute proportion of the wavelength-converted in the phosphor layer electromagnetic radiation. By means of the structured surface of the emitter layer or phosphor layer in the first region, a given inhomogeneity in the emitting surface can be realized. For example, this allows a given color pattern to be realized in the luminous area.
Gemäß einer weiteren Weiterbildung des optoelektronischen Bauelements weist das optoelektronische Bauelement mittels der Schicht im ersten Bereich eine erste optoelektronische Bauelement-Einheit und im zweiten Bereich eine zweite optoelektronische Bauelement-Einheit auf, wobei sich die erste optoelektronische Bauelement-Einheit von der zweiten optoelektronischen Bauelement-Einheit in wenigstens einer optischen und/oder elektronischen Eigenschaft unterscheidet. Eine optoelektronische Bauelemente-Einheit weist dabei eine erste Elektrode, eine zweite Elektrode und eine organische funktionelle Schichtenstruktur auf, körperlich und/oder elektrisch zwischen der ersten Elektrode und der zweiten Elektrode angeordnet ist. Mehrere optoelektronische Bauelemente-Einheiten können auf einem gemeinsamen Träger nebeneinander oder übereinander gestapelt ausgebildet sein. Dadurch wird ermöglicht, dass zwei unterschiedliche optoelektronische Bauelemente-Einheiten quasi übergangslos nebeneinander ausgebildet werden können. Dadurch kann der Anteil der optisch inaktiven Fläche des optoelektronischen Bauelementes reduziert werden und die Effizienz des optoelektronischen Bauelementes bezüglich der Fläche des Substrates erhöht werden. Beispielsweise werden dadurch mehrfarbig lichtemittierende Bauelemente ermöglicht, ohne oder wenigstens mit reduziertem nicht-lichtemittierenden Bereich zwischen den unterschiedlichen farbig lichtemittierenden Bereichen.According to a further development of the optoelectronic component, the optoelectronic component has a first optoelectronic component unit by means of the layer in the first region and a second optoelectronic component unit in the second region, wherein the first optoelectronic component unit of the second optoelectronic component unit differs in at least one optical and / or electronic property. An optoelectronic component unit has a first electrode, a second electrode and an organic functional layer structure, which is arranged physically and / or electrically between the first electrode and the second electrode. A plurality of optoelectronic component units may be formed on a common carrier next to each other or stacked one above the other. This makes it possible that two different optoelectronic component units can be formed virtually seamlessly next to each other. As a result, the proportion of the optically inactive surface of the optoelectronic component can be reduced and the efficiency of the optoelectronic component can be increased with respect to the surface of the substrate. For example, multi-colored light-emitting components are thereby made possible, without or at least with reduced non-light-emitting region between the different colored light-emitting regions.
Gemäß einer weiteren Weiterbildung ist das optoelektronische Bauelement als organisches optoelektronisches Bauelement ausgebildet, beispielsweise als eine organische Leuchtdiode, ein organischer Fotodetektor und/oder ein organisches Display-Bauelement. Bei einem organischen optoelektronischen Bauelement ist zwischen einer ersten Elektrode und einer zweiten Elektrode eine organische funktionelle Schichtenstruktur ausgebildet. Die organische funktionelle Schichtenstruktur weist die elektrolumineszierende Schicht auf, und weist wenigstens einen organischen Stoff auf oder ist daraus gebildet. Organische optoelektronische Bauelemente weisen den Vorteil auf, dass sie auf einfache Weise bei Temperaturen von unter 150°C auf einer großen Fläche ausgebildet werden können.According to a further development, the optoelectronic component is designed as an organic optoelectronic component, for example as an organic light-emitting diode, an organic photodetector and / or an organic display component. In an organic optoelectronic component, an organic functional layer structure is formed between a first electrode and a second electrode. The organic functional layer structure comprises the electroluminescent layer, and has at least one organic substance or is formed therefrom. Organic optoelectronic components have the advantage that they can be easily formed at temperatures of less than 150 ° C on a large area.
Die Aufgabe wird gemäß einem weiteren Aspekt der Erfindung gelöst durch ein Verfahren zum Herstellen eines optoelektronischen Bauelements, bei dem ein Substrat bereitgestellt wird, und eine Schicht auf oder über dem Substrat ausgebildet wird. Die Schicht wird auf oder über dem Substrat in einem ersten Bereich und einem zweiten Bereich ausgebildet. Der erste Bereich ist neben dem zweiten Bereich angeordnet. Die Schicht wird im ersten Bereich und im zweiten Bereich wenigstens teilweise gleichzeitig ausgebildet. Die Schicht wird im ersten Bereich mit einer ersten Dicke und einer strukturierten Oberfläche ausgebildet. Im zweiten Bereich wird die Schicht mit einer zweiten Dicke ausgebildet, wobei die zweite Dicke größer ist als die erste Dicke. Bezüglich sichtbaren Lichts ist der erste Bereich transluzent oder transparent und der zweite Bereich opak und/oder spiegelnd. The object is achieved according to a further aspect of the invention by a method for producing an optoelectronic component, in which a substrate is provided, and a layer is formed on or above the substrate. The layer is formed on or over the substrate in a first region and a second region. The first area is located next to the second area. The layer is formed at least partially simultaneously in the first region and in the second region. The layer is formed in the first region with a first thickness and a structured surface. In the second region, the layer is formed with a second thickness, wherein the second thickness is greater than the first thickness. With respect to visible light, the first region is translucent or transparent and the second region is opaque and / or reflective.
Anschaulich wird die Schicht in lateral zueinander angeordneten Bereichen mit unterschiedlichen Dicken in einem einzigen Prozessschritt ausgebildet. Das gleichzeitige Ausbilden der Schicht mit unterschiedlichen Dicken ermöglicht ein Reduzieren der Kosten des Herstellungsverfahrens, indem die Anzahl an notwendigen Maskenebenen reduziert wird. Beispielsweise kann dadurch das Geld für die Verwendung zusätzlicher Masken eingespart werden und die Taktzeiten für das Ausbilden des optoelektronischen Bauelementes werden reduziert. Weiterhin wird dadurch kostengünstig eine laterale Strukturierung der strahlungsemittierenden Fläche ermöglicht. Herkömmlicherweise werden in aufeinanderfolgenden Maskenprozessen Masken über dem Substrat angeordnet. Der Aufwand zum exakten Ausrichten der Maskenöffnungen, beispielsweise durch optische Verfahren, über dem zu bearbeitenden Bereich des Substrats ist sehr hoch. Das gleichzeitige Ausbilden der Schicht im ersten Bereich und im zweiten Bereich bewirkt, dass das Verfahren zum Herstellen des optoelektronischen Bauelementes vereinfacht wird, beispielsweise indem verglichen mit dem herkömmlichen Verfahren ein Ausrichten wenigstens der Maske für das Ausbilden des zweiten Bereiches entfällt. Weiterhin sind für das Ausbilden der Schicht im zweiten Bereich nach dem Ausbilden der Schicht im ersten Bereich keine Justagetoleranzen zu berücksichtigen. Dadurch wird weiterhin ein scharfer, quasi unstetiger, Übergang zwischen dem ersten Bereich und dem zweiten Bereich der Schicht ermöglicht.Illustratively, the layer is formed in regions arranged laterally with different thicknesses in a single process step. The simultaneous formation of the layer of different thicknesses allows to reduce the cost of the manufacturing process by reducing the number of mask layers required. For example, this saves the money for the use of additional masks and the cycle times for the formation of the optoelectronic component are reduced. Furthermore, a cost-effective lateral structuring of the radiation-emitting surface is made possible. Conventionally, masks are placed over the substrate in successive mask processes. The effort for the exact alignment of the mask openings, for example by optical methods, over the area of the substrate to be processed is very high. The simultaneous formation of the layer in the first region and in the second region has the effect of simplifying the method for producing the optoelectronic component, for example by eliminating alignment of at least the mask for forming the second region compared to the conventional method. Furthermore, no adjustment tolerances are to be considered for the formation of the layer in the second region after the formation of the layer in the first region. As a result, a sharp, virtually unsteady transition between the first region and the second region of the layer is furthermore made possible.
Gemäß einer Weiterbildung des Verfahrens weist das Verfahren ferner ein Ausbilden einer optisch aktiven Struktur mit wenigstens einer elektrolumineszierenden Schicht auf. Die elektrolumineszierende Schicht wird zum Bereitstellen einer elektromagnetischen Strahlung aus einem elektrischen Strom ausgebildet. Der erste Bereich und der zweite Bereich der Schicht werden im Strahlengang der elektromagnetischen Strahlung ausgebildet und/oder werden als Teil der optisch aktiven Struktur ausgebildet. Dies ermöglicht, dass der erste Bereich und der zweite Bereich auf den Strahlengang der elektromagnetischen Strahlung einwirken können. Dadurch wird mittels der Schicht das Erscheinungsbild der emittierenden Fläche einstellbar lateral strukturierbar.According to one development of the method, the method further comprises forming an optically active structure having at least one electroluminescent layer. The electroluminescent layer is formed to provide electromagnetic radiation from an electric current. The first region and the second region of the layer are formed in the beam path of the electromagnetic radiation and / or are formed as part of the optically active structure. This allows the first region and the second region to act on the beam path of the electromagnetic radiation. As a result, the appearance of the emitting surface is laterally structurable by means of the layer.
Gemäß einer Weiterbildung des Verfahrens wird die Schicht mittels eines Maskenprozesses mit einer Maske ausgebildet. Die Maske weist einen ersten Maskenbereich und einen zweiten Maskenbereich auf. Der erste Maskenbereich und der zweite Maskenbereich weisen eine oder mehrere Öffnungen auf. Der erste Maskenbereich unterscheidet sich von dem zweiten Maskenbereich in wenigstens einer der nachfolgenden Eigenschaften: der Anordnung von Öffnung(en), dem mittleren Abstand von Öffnungen, der Größe von Öffnungen, der Form von Öffnungen, der Anzahl an Öffnungen, der Anzahldichte an Öffnungen und/oder dem Flächenanteil der Öffnung(en) an dem Maskenbereich. Dies ermöglicht, dass mittels einer Maske eine vorgegebene, lateral strukturierte Schicht auf dem Substrat oder eine vorgegebene, laterale Strukturierung in einer Schicht auf dem Substrat ausgebildet werden kann. Die Maske ist beispielsweise eine mehrlagige Siebmasken oder eine mikrostrukturierte Schattenmasken. Mittels einer mikroskopischen Änderung der Maschendichte und/oder des Maschendurchmessers wird eine Bedampfung von lateral unterschiedlichen Schichtdicken in einem Prozessschritt ermöglicht. Im ersten Maskenbereich und/oder im zweiten Maskenbereich, auch bezeichnet als Maskierungseinheiten, kann die Maske mit einer materialabweisenden Schicht überzogen sein. Dadurch wird die Gleichmäßigkeit der Schicht und die Lebensdauer der Maske erhöht. Weiterhin wird bei einer metallischen Elektrodenabscheidung ermöglicht, dass im ersten Bereich der Schicht eine andere Schichtdicke realisiert wird als im zweiten Bereich der Schicht. Beispielsweise kann eine Elektrode mit Bereichen unterschiedlicher Schichtdicke realisiert werden, wobei die Bereiche transparent oder intransparent sind.According to a development of the method, the layer is formed by means of a mask process with a mask. The mask has a first mask area and a second mask area. The first mask area and the second mask area have one or more openings. The first mask region differs from the second mask region in at least one of: the arrangement of aperture (s), the mean distance of apertures, the size of apertures, the shape of apertures, the number of apertures, the number density of apertures, and / or the area fraction of the opening (s) on the mask area. This makes it possible to form a predetermined, laterally structured layer on the substrate or a predetermined, lateral structuring in a layer on the substrate by means of a mask. The mask is for example a multi-layer screen masks or a microstructured shadow masks. By means of a microscopic change in the mesh density and / or the mesh diameter, vapor deposition of laterally different layer thicknesses in one process step is made possible. In the first mask area and / or in the second mask area, also referred to as masking units, the mask may be coated with a material-repellent layer. This increases the uniformity of the layer and the life of the mask. Furthermore, in the case of a metallic electrode deposition, a different layer thickness is realized in the first region of the layer than in the second region of the layer. For example, an electrode can be realized with regions of different layer thickness, the regions being transparent or non-transparent.
Gemäß einer Weiterbildung des Verfahrens wird die Maske derart über dem Substrat angeordnet, dass der erste Maskenbereich über dem ersten Bereich, und der zweite Maskenbereich über dem zweiten Bereich angeordnet sind. Dies ermöglicht, dass die Schicht gleichzeitig im ersten Bereich und im zweiten Bereich mit unterschiedlicher Dicke ausgebildet wird.According to one development of the method, the mask is arranged above the substrate in such a way that the first mask area is arranged above the first area, and the second mask area is arranged above the second area. This allows the layer to be formed simultaneously in the first region and in the second region of different thickness.
Gemäß einer Weiterbildung des Verfahrens wird die Maske in einem Abstand über dem Substrat angeordnet. Dies ermöglicht, dass Bereiche der Schicht unterhalb undurchlässiger Bereiche der Maske beschichtet, bestrahlt oder entfernt werden. Dadurch kann unbeachtlich der undurchlässigen Bereiche der Maske eine geschlossene Schicht auf dem Substrat ausgebildet werden, oder eine vorgegebene Strukturierung der strukturierten Oberfläche der Schicht ausgebildet werden. Der Grad der geschlossenen Oberfläche kann mittels des Abstandes der Maske zu dem Substrat und dem Abstand der Öffnungen in der Maske eingestellt werden.According to a development of the method, the mask is arranged at a distance above the substrate. This allows areas of the layer to be coated, irradiated, or removed below opaque areas of the mask. This can irrelevant the impermeable Formed areas of the mask, a closed layer on the substrate, or a predetermined structuring of the structured surface of the layer can be formed. The degree of closed surface can be adjusted by means of the distance of the mask to the substrate and the spacing of the openings in the mask.
Gemäß einer Weiterbildung des Verfahrens weist die Maske eine Positionierungsstruktur auf, oder es wird zwischen der Maske und dem Substrat eine Positionierungsstruktur angeordnet. Dadurch kann der Abstand der Maske zum Substrat und/oder die Ausrichtung des ersten Maskenbereichs und des zweiten Maskenbereichs hinsichtlich des auszubildenden ersten Bereichs und zweiten Bereichs der Schicht auf einfache Weise eingestellt werden.According to a development of the method, the mask has a positioning structure, or a positioning structure is arranged between the mask and the substrate. Thereby, the distance of the mask to the substrate and / or the alignment of the first mask region and the second mask region with respect to the first region and the second region of the layer to be formed can be adjusted in a simple manner.
Gemäß einer Weiterbildung des Verfahrens wird die Schicht im ersten Bereich und im zweiten Bereich unter Verwendung einer einzigen Maske ausgebildet. Dies ermöglicht eine Vereinfachung des Verfahrens, indem die Justage in aufeinanderfolgenden Maskenprozessen vereinfacht wird oder entfällt.According to a development of the method, the layer is formed in the first region and in the second region using a single mask. This allows a simplification of the method by simplifying or eliminating the adjustment in successive mask processes.
Gemäß einer Weiterbildung des Verfahrens weist der Maskenprozess ein Gasphasenabscheiden eines Materials durch die Maske auf, beispielsweise ein physikalisches Gasphasenabscheiden, ein chemisches Gasphasenabscheiden, ein Atomlagenabscheiden oder ein Moleküllagenabscheiden. Dies ermöglicht ein direktes, strukturiertes Ausbilden der Schicht in dem ersten Bereich oder dem zweiten Bereich ohne weitere Prozessschritte.According to a development of the method, the mask process comprises a gas phase deposition of a material through the mask, for example a physical vapor deposition, a chemical vapor deposition, an atomic layer deposition or a molecular layer deposition. This enables a direct, structured formation of the layer in the first region or the second region without further process steps.
Gemäß einer Weiterbildung des Verfahrens wird das Material der Schicht oder ein Vormaterial des Materials der Schicht mit der zweiten Dicke oder mit einer dritten Dicke, die größer ist als die zweite Dicke, flächig auf dem Substrat ausgebildet. Weiterhin weist das Verfahren ein Bestrahlen des Materials oder des Vormaterials der Schicht durch die Maske auf, beispielsweise ein Bestrahlen des Vormaterials mit einer elektromagnetischen Strahlung und/oder einem Teilchenstrahl, beispielsweise einem Elektronen- oder Ionenstrahl, oder eines chemisch reaktiven Stoffs. Mittels der Bestrahlung wird das Material oder das Vormaterial chemisch umgewandelt. Das Vormaterial kann dadurch in den bestrahlten Bereichen zum Material umgewandelt werden, beispielsweise mittels eines Vernetzungsprozesses und/oder eines Aushärtens. Der nichtbestrahlte Bereich aus Vormaterial kann anschließend entfernt werden, beispielsweise nasschemisch mittels eines Lösungsmittels oder eines Ätzmediums. Alternativ wird das Material mittels der Bestrahlung chemisch reduziert, beispielsweise zersetzt oder degradiert. Der bestrahlte Bereich aus reduziertem Material kann entfernt werden, beispielsweise nasschemisch mittels eines Lösungsmittels oder eines Ätzmediums.According to a development of the method, the material of the layer or a starting material of the material of the layer with the second thickness or with a third thickness that is greater than the second thickness is formed flat on the substrate. Furthermore, the method comprises irradiating the material or the starting material of the layer through the mask, for example irradiating the starting material with an electromagnetic radiation and / or a particle beam, for example an electron or ion beam, or a chemically reactive substance. By means of irradiation, the material or the starting material is chemically converted. The starting material can thereby be converted into the material in the irradiated areas, for example by means of a crosslinking process and / or hardening. The non-irradiated area of starting material can then be removed, for example wet-chemically by means of a solvent or an etching medium. Alternatively, the material is chemically reduced by the irradiation, for example decomposed or degraded. The irradiated area of reduced material can be removed, for example wet-chemically by means of a solvent or an etching medium.
Gemäß einer Weiterbildung des Verfahrens wird das Material der Schicht mit der zweiten Dicke oder mit einer dritten Dicke, die größer ist als die zweite Dicke, flächig auf dem Substrat ausgebildet. Weiterhin weist das Verfahren einen Ätzprozess auf, wobei mittels eines Ätzmediums durch die Maske ein Teil der Schicht wenigstens im ersten Bereich entfernt wird. Dadurch wird die Schicht im ersten Bereich mit erster Dicke und strukturierter Oberfläche ausgebildet. Das Ätzmedium kann ein chemisch und/oder physikalisch wirkendes Ätzmedium sein, beispielsweise ein Oxidationsmittel oder ein Reduktionsmittel, beispielsweise Kaliumhydroxid, Chlorwasserstoff, Fluorwasserstoffsäure; oder ein Plasma. Das Material der Schicht mit der zweiten Dicke oder mit einer dritten Dicke, die größer ist als die zweite Dicke, wird mittels der Maske in unterschiedlichem Grad aus dem ersten Bereich und dem zweiten Bereich entfernt. Dies ermöglicht weiterhin ein Ausbilden der strukturierten Oberfläche der Schicht im ersten Bereich. Zusätzlich kann auf diese Weise die Oberfläche der Schicht im zweiten Bereich strukturiert werden.According to a development of the method, the material of the layer with the second thickness or with a third thickness, which is greater than the second thickness, is formed flat on the substrate. Furthermore, the method has an etching process, wherein a part of the layer is removed at least in the first region by means of an etching medium through the mask. As a result, the layer is formed in the first region with the first thickness and structured surface. The etching medium may be a chemically and / or physically acting etching medium, for example an oxidizing agent or a reducing agent, for example potassium hydroxide, hydrogen chloride, hydrofluoric acid; or a plasma. The material of the second thickness layer or of a third thickness greater than the second thickness is removed from the first area and the second area to different degrees by the mask. This further allows forming the structured surface of the layer in the first region. In addition, the surface of the layer in the second region can be structured in this way.
Ausführungsbeispiele der Erfindung sind in den Figuren dargestellt und werden im Folgenden näher erläutert.Embodiments of the invention are illustrated in the figures and are explained in more detail below.
Es zeigen:Show it:
In der folgenden ausführlichen Beschreibung wird auf die beigefügten Zeichnungen Bezug genommen, die Teil dieser Beschreibung bilden und in denen zur Veranschaulichung spezifische Ausführungsbeispiele gezeigt sind, in denen die Erfindung ausgeübt werden kann. In dieser Hinsicht wird Richtungsterminologie wie etwa „oben”, „unten”, „vorne”, „hinten”, „vorderes”, „hinteres”, usw. mit Bezug auf die Orientierung der beschriebenen Figur(en) verwendet. Da Komponenten von Ausführungsbeispielen in einer Anzahl verschiedener Orientierungen positioniert werden können, dient die Richtungsterminologie zur Veranschaulichung und ist auf keinerlei Weise einschränkend. Es versteht sich, dass andere Ausführungsbeispiele benutzt und strukturelle oder logische Änderungen vorgenommen werden können. Es versteht sich, dass die Merkmale der hierin beschriebenen verschiedenen Ausführungsbeispiele miteinander kombiniert werden können, sofern nicht spezifisch anders angegeben. Die folgende ausführliche Beschreibung ist deshalb nicht in einschränkendem Sinne aufzufassen, und der Schutzumfang der vorliegenden Erfindung wird durch die angefügten Ansprüche definiert. In the following detailed description, reference is made to the accompanying drawings, which form a part of this specification, and in which is shown by way of illustration specific embodiments in which the invention may be practiced. In this regard, directional terminology such as "top", "bottom", "front", "back", "front", "rear", etc. is used with reference to the orientation of the described figure (s). Because components of embodiments may be positioned in a number of different orientations, the directional terminology is illustrative and is in no way limiting. It should be understood that other embodiments may be utilized and structural or logical changes may be made. It should be understood that the features of the various embodiments described herein may be combined with each other unless specifically stated otherwise. The following detailed description is therefore not to be taken in a limiting sense, and the scope of the present invention is defined by the appended claims.
Im Rahmen dieser Beschreibung werden die Begriffe ”verbunden”, ”angeschlossen” sowie ”gekoppelt” verwendet zum Beschreiben sowohl einer direkten als auch einer indirekten Verbindung, eines direkten oder indirekten Anschlusses sowie einer direkten oder indirekten Kopplung. In den Figuren werden identische oder ähnliche Elemente mit identischen Bezugszeichen versehen, soweit dies zweckmäßig ist.As used herein, the terms "connected," "connected," and "coupled" are used to describe both direct and indirect connection, direct or indirect connection, and direct or indirect coupling. In the figures, identical or similar elements are provided with identical reference numerals, as appropriate.
Ein optoelektronisches Bauelement kann ein, zwei oder mehr optoelektronische Bauelemente aufweisen. Optional kann ein optoelektronisches Bauelement auch ein, zwei oder mehr elektronische Bauelemente aufweisen. Ein elektronisches Bauelement kann beispielsweise ein aktives und/oder ein passives Bauelement aufweisen. Ein aktives elektronisches Bauelement kann beispielsweise eine Rechen-, Steuer- und/oder Regeleinheit und/oder einen Transistor aufweisen. Ein passives elektronisches Bauelement kann beispielsweise einen Kondensator, einen widerstand, eine Diode oder eine Spule aufweisen.An optoelectronic component may have one, two or more optoelectronic components. Optionally, an optoelectronic component may also have one, two or more electronic components. An electronic component may have, for example, an active and / or a passive component. An active electronic component may have, for example, a computing, control and / or regulating unit and / or a transistor. A passive electronic component may for example comprise a capacitor, a resistor, a diode or a coil.
Ein optoelektronisches Bauelement kann ein elektromagnetische Strahlung emittierendes Bauelement oder ein elektromagnetische Strahlung absorbierendes Bauelement sein. Ein elektromagnetische Strahlung absorbierendes Bauelement kann beispielsweise eine Solarzelle oder ein Fotodetektor sein. Ein elektromagnetische Strahlung emittierendes Bauelement kann in verschiedenen Ausführungsbeispielen ein elektromagnetische Strahlung emittierendes Halbleiter-Bauelement sein und/oder als eine elektromagnetische Strahlung emittierende Diode, als eine organische elektromagnetische Strahlung emittierende Diode, als ein elektromagnetische Strahlung emittierender Transistor oder als ein organischer elektromagnetische Strahlung emittierender Transistor ausgebildet sein. Die Strahlung kann beispielsweise Licht im sichtbaren Bereich, UV-Licht und/oder Infrarot-Licht sein. In diesem Zusammenhang kann das elektromagnetische Strahlung emittierende Bauelement beispielsweise als Licht emittierende Diode (light emitting diode, LED) als organische Licht emittierende Diode (organic light emitting diode, OLED), als Licht emittierender Transistor oder als organischer Licht emittierender Transistor ausgebildet sein. Das Licht emittierende Bauelement kann in verschiedenen Ausführungsbeispielen Teil einer integrierten Schaltung sein. Weiterhin kann eine Mehrzahl von Licht emittierenden Bauelementen vorgesehen sein, beispielsweise untergebracht in einem gemeinsamen Gehäuse.An optoelectronic component may be an electromagnetic radiation emitting component or an electromagnetic radiation absorbing component. An electromagnetic radiation absorbing component may be, for example, a solar cell or a photodetector. In various embodiments, a component emitting electromagnetic radiation can be a semiconductor device emitting electromagnetic radiation and / or a diode emitting electromagnetic radiation, a diode emitting organic electromagnetic radiation, a transistor emitting electromagnetic radiation or a transistor emitting organic electromagnetic radiation be. The radiation may, for example, be light in the visible range, UV light and / or infrared light. In this context, the electromagnetic radiation emitting device may be formed, for example, as a light emitting diode (LED) as an organic light emitting diode (OLED), as a light emitting transistor or as an organic light emitting transistor. The light emitting device may be part of an integrated circuit in various embodiments. Furthermore, a plurality of light-emitting components may be provided, for example housed in a common housing.
Das optoelektronische Bauelement wird mittels eines Maskenprozesses ausgebildet. Der Maskenprozess weist ein Anordnen einer Maske
Die Maske
Mittels der unterschiedlich eingerichteten Maskenbereiche, des ersten Maskenbereichs
Indem die Maske
In einer Weiterbildung ist die Maske
In einer Weiterbildung wird die Schicht mit erstem Bereich
Ferner wird eine optisch aktive Struktur
In einer Weiterbildung wird die Schicht mittels eines Maskenprozesses mit einer Maske
In einer Weiterbildung wird die Schicht im ersten Bereich
In einer Weiterbildung weist der Maskenprozess ein Gasphasenabscheiden eines Materials durch die Maske
Die Maske
Die Maske
Die Schicht ist im zweiten Bereich
In einer Weiterbildung wird die Schicht derart ausgebildet, dass sie im ersten Bereich
In einer Weiterbildung wird bezüglich sichtbaren Lichts der erste Bereich
In einer Weiterbildung wird die Schicht mit oder aus einem elektrisch leitenden Material gebildet, beispielsweise als eine Elektrode des optoelektronischen Bauelements ausgebildet. Alternativ oder zusätzlich wird die Schicht mit oder aus einem optisch aktiven Material ausgebildet, beispielsweise einem elektrolumineszierenden und/oder fotolumineszierenden Material.In one development, the layer is formed with or made of an electrically conductive material, for example formed as an electrode of the optoelectronic component. Alternatively or additionally, the layer is formed with or from an optically active material, for example an electroluminescent and / or photoluminescent material.
Das optoelektronische Bauelement wird als organisches optoelektronisches Bauelement ausgebildet, beispielsweise als eine organische Leuchtdiode, ein organischer Fotodetektor und/oder ein organisches Display-Bauelement. In einer Weiterbildung das optoelektronische Bauelement als Display-Bauelement mit einer Vielzahl an Bildpunkten ausgebildet wird, wobei jeder Bildpunkt aus zwei oder mehr Untereinheiten gebildet wird und die erste optoelektronische Bauelement-Einheit
In der schematischen Querschnittsansicht A-A in
Die Schicht mit erstem Bereich
Die Maske
In der in
In einer Weiterbildung des Verfahrens
Auf das Substrat
Im Rahmen dieser Beschreibung ist das Substrat
In einer Weiterbildung des Verfahrens
Die Maske
Die Struktur
Die Maske
Die Positionierungsstruktur
In einer Weiterbildung ist die Positionierungsstruktur
Weiterhin ist die Positionierungsstruktur
In einer Weiterbildung des Verfahrens
Anschaulich ist in
In einer Weiterbildung der Maske
Die Schablonenstruktur
Die Schablonenstruktur
In einer Weiterbildung ist die Schablonenstruktur
Mittels der Schablonenstruktur
In einer Weiterbildung wirkt die Schablonenstruktur
In einer weiteren Weiterbildung der Maske
In einer Weiterbildung weist die Antihaftbeschichtung bezüglich des Materials, das durch die Maske
In einem Ausführungsbeispiel weist das optoelektronische Bauelement
Das optoelektronische Bauelement
Die optisch aktive Struktur
In den in
In einer Weiterbildung ist mittels der Schicht im ersten Bereich
In einer Weiterbildung, beispielsweise veranschaulicht in
In der in
Somit kann mittels einer einzigen Maske
Weiterhin weist das optoelektronische Bauelement
Weiterhin weist das optoelektronische Bauelement
Das veranschaulichte optoelektronische Bauelement
In einer weiteren Weiterbildung, beispielsweise veranschaulicht in
In einer Weiterbildung sind die erste Elektrode
In einer weiteren Weiterbildung, beispielsweise veranschaulicht in
In einer weiteren Weiterbildung, beispielsweise veranschaulicht in
In einer weiteren Weiterbildung ist die laterale optische Strukturierung
Alternativ oder zusätzlich ist die optisch laterale Strukturierung
Mittels der lateralen optischen Strukturierung
In einer Weiterbildung ist die laterale optische Strukturierung
Das optoelektronischer Bauelement
In einer Weiterbildung des optoelektronischen Bauelementes
In einer Weiterbildung des optoelektronischen Bauelementes
In einer Weiterbildung des optoelektronischen Bauelementes
In einer Weiterbildung des optoelektronischen Bauelementes
In einer Weiterbildung des optoelektronischen Bauelementes
In einer Weiterbildung des optoelektronischen Bauelementes
Weiterhin können die optoelektronischen Bauelemente-Einheiten
In einer Weiterbildung weist die organische funktionelle Schichtenstruktur
In einer Weiterbildung ist die Schicht im zweiten Bereich
In einer Weiterbildung weist die strukturierte Oberfläche der Schicht im ersten Bereich
Eine Strukturierung weist eine periodische und/oder zufällige Anordnung von Erhebungen und/oder Vertiefungen in der Oberfläche auf. Die Erhebungen und/oder Vertiefungen können eine konvexe und/oder konkave Form aufweisen; beispielsweise lochförmig, grabenförmig oder linsenförmig sein.A structuring has a periodic and / or random arrangement of elevations and / or depressions in the surface. The elevations and / or depressions may have a convex and / or concave shape; for example, be hole-shaped, trench-shaped or lenticular.
In einer Weiterbildung ist die Schicht derart ausgebildet, dass die Schicht im ersten Bereich
In einer Weiterbildung ist bezüglich sichtbaren Lichts der erste Bereich
In einer Weiterbildung ist das optoelektronische Bauelement derart ausgebildet, dass der erste Bereich
In einer Weiterbildung ist ein Zwischenbereich
In einer Weiterbildung weist das Substrat
In einer Weiterbildung weisen die erste optoelektronische Bauelement-Einheit
In einer Weiterbildung ist die erste optoelektronische Bauelement-Einheit
In einer Weiterbildung ist das optoelektronische Bauelement
In einer Weiterbildung ist das optoelektronische Bauelement als Display-Bauelement mit einer Vielzahl an Bildpunkten ausgebildet, wobei jeder Bildpunkt aus zwei oder mehr Untereinheiten gebildet ist und die erste optoelektronische Bauelement-Einheit
Das optoelektronische Bauelement
Das hermetisch dichte Substrat weist den Träger
Der aktive Bereich ist ein elektrisch aktiver Bereich und/oder ein optisch aktiver Bereich. Der aktive Bereich ist beispielsweise der Bereich des optoelektronischen Bauelements
Der elektrisch aktive Bereich weist die erste Elektrode
Die organische funktionelle Schichtenstruktur
Die Verkapselungsstruktur kann eine zweite Barrierendünnschicht
Die Barriereschicht kann eines der nachfolgenden Materialien aufweisen oder daraus gebildet sein: Aluminiumoxid, Zinkoxid, Zirkoniumoxid, Titanoxid, Hafniumoxid, Tantaloxid, Lanthaniumoxid, Siliziumoxid, Siliziumnitrid, Siliziumoxinitrid, Indiumzinnoxid, Indiumzinkoxid, Aluminium-dotiertes Zinkoxid, Poly(p-phenylenterephthalamid), Nylon 66, sowie Mischungen und Legierungen derselben.The barrier layer may include or be formed from any of the following materials: alumina, zinc oxide, zirconia, titania, hafnia, tantalum oxide, lanthano, silica, silicon nitride, silicon oxynitride, indium tin oxide, indium zinc oxide, aluminum doped zinc oxide, poly (p-phenylene terephthalamide), nylon 66, as well as mixtures and alloys thereof.
Die Barriereschicht wird mittels eines der folgenden Verfahren ausgebildet: ein Atomlagenabscheideverfahrens (Atomic Layer Deposition (ALD)), beispielsweise ein plasmaunterstütztes Atomlagenabscheideverfahren (Plasma Enhanced Atomic Layer Deposition (PEALD)) oder ein plasmaloses Atomlageabscheideverfahren (Plasma-less Atomic Layer Deposition (PLALD)); ein chemisches Gasphasenabscheideverfahren (Chemical Vapor Deposition (CVD)), beispielsweise ein plasmaunterstütztes Gasphasenabscheideverfahren (Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition (PECVD)) oder ein plasmaloses Gasphasenabscheideverfahren (Plasma-less Chemical Vapor Deposition (PLCVD)); oder alternativ mittels anderer geeigneter Abscheideverfahren.The barrier layer is formed by one of the following methods: Atomic Layer Deposition (ALD), for example Plasma Enhanced Atomic Layer Deposition (PEALD) or a Plasma-less Atomic Layer Deposition (PLALD). ; a chemical vapor deposition (CVD) process, for example, plasma enhanced chemical vapor deposition (PECVD) or plasmaless plasma vapor deposition (PLCVD); or alternatively by other suitable deposition methods.
Die Barriereschicht weist eine Schichtdicke von ungefähr 0,1 nm (eine Atomlage) bis ungefähr 1000 nm auf, beispielsweise eine Schichtdicke von ungefähr 10 nm bis ungefähr 100 nm gemäß einer Ausgestaltung, beispielsweise ungefähr 40 nm gemäß einer Ausgestaltung.The barrier layer has a layer thickness of about 0.1 nm (one atomic layer) to about 1000 nm, for example, a layer thickness of about 10 nm to about 100 nm according to a Embodiment, for example, about 40 nm according to an embodiment.
Die Barriereschicht ist optional, wenn der Träger
Der Träger
Der Träger
Die erste Elektrode ist als Anode oder als Kathode ausgebildet.The first electrode is formed as an anode or as a cathode.
Die erste Elektrode
Die erste Elektrode
Die erste Elektrode weist eine Schichtdicke auf in einem Bereich von 10 nm bis 500 nm, beispielsweise von kleiner 25 nm bis 250 nm, beispielsweise von 50 nm bis 100 nm.The first electrode has a layer thickness in a range from 10 nm to 500 nm, for example from less than 25 nm to 250 nm, for example from 50 nm to 100 nm.
Die erste Elektrode
Die organische funktionelle Schichtenstruktur
Die organische funktionelle Schichtenstruktur-Einheit
Die Lochinjektionsschicht weist eines oder mehrere der folgenden Materialien auf oder ist daraus gebildet: HAT-CN, Cu(I)pFBz, MoOx, WOx, VOx, ReOx, F4-TCNQ, NDP-2, NDP-9, Bi(III)pFBz, Fl6CuPc; NPB (N,N'-Bis(naphthalen-1-yl)-N,N'-bis(phenyl)-benzidin); beta-NPB N,N'-Bis(naphthalen-2-yl)-N,N'-bis(phenyl)-benzidin); TPD (N,N'-Bis(3-methylphenyl)-N,N'-bis(phenyl)-benzidin); Spiro TPD (N,N'-Bis(3-methylphenyl)-N,N'-bis(phenyl)-benzidin); Spiro-NPB (N,N'-Bis(naphthalen-1-yl)-N,N'-bis(phenyl)-spiro); DMFL-TPD N,N'-Bis(3-methylphenyl)-N,N'-bis(phenyl)-9,9-dimethyl-fluoren); DMFL-NPB (N,N'-Bis(naphthalen-1-yl)-N,N'-bis(phenyl)-9,9-dimethyl-fluoren); DPFL-TPD (N,N'-Bis(3-methylphenyl)-N,N'-bis(phenyl)-9,9-diphenyl-fluoren); DPFL-NPB (N,N'-Bis(naphthalen-1-yl)-N,N'-bis(phenyl)-9,9-diphenyl-fluoren); Spiro-TAD (2,2',7,7'-Tetrakis(n,n-diphenylamino)-9,9'-spirobifluoren); 9,9-Bis[4-(N,N-bis-biphenyl-4-yl-amino)phenyl]-9H-fluoren; 9,9-Bis[4-(N,N-bis-naphthalen-2-yl-amino)phenyl]-9H-fluoren; 9,9-Bis[4-(N,N'-bis-naphthalen-2-yl-N,N'-bis-phenyl-amino)-phenyl]-9H-fluor; N,N'-bis(phenanthren-9-yl)-N,N'-bis(phenyl)-benzidin; 2,7-Bis[N,N-bis(9,9-spiro-bifluorene-2-yl)-amino]-9,9-spiro-bifluoren; 2,2'-Bis[N,N-bis(biphenyl-4-yl)amino]9,9-spiro-bifluoren; 2,2'-Bis(N,N-di-phenyl-amino)9,9-spiro-bifluoren; Di-[4-(N,N-ditolyl-amino)-phenyl]cyclohexan; 2,2',7,7'-tetra(N,N-di-tolyl)amino-spiro-bifluoren; und/oder N,N,N',N'-tetra-naphthalen-2-yl-benzidin. The hole injection layer comprises one or more of the following materials or is formed therefrom: HAT-CN, Cu (I) pFBz, MoO x, WO x, VO x, ReO x, F4-TCNQ, NDP-2, NDP-9, Bi (III) pFBz, Fl6 CuPc; NPB (N, N'-bis (naphthalen-1-yl) -N, N'-bis (phenyl) -benzidine); beta-NPB N, N'-bis (naphthalen-2-yl) -N, N'-bis (phenyl) -benzidine); TPD (N, N'-bis (3-methylphenyl) -N, N'-bis (phenyl) benzidine); Spiro TPD (N, N'-bis (3-methylphenyl) -N, N'-bis (phenyl) benzidine); Spiro-NPB (N, N'-bis (naphthalen-1-yl) -N, N'-bis (phenyl) -spiro); DMFL-TPD N, N'-bis (3-methylphenyl) -N, N'-bis (phenyl) -9,9-dimethyl-fluorene); DMFL-NPB (N, N'-bis (naphthalen-1-yl) -N, N'-bis (phenyl) -9,9-dimethyl-fluorene); DPFL-TPD (N, N'-bis (3-methylphenyl) -N, N'-bis (phenyl) -9,9-diphenyl-fluorene); DPFL-NPB (N, N'-bis (naphthalen-1-yl) -N, N'-bis (phenyl) -9,9-diphenyl-fluorene); Spiro-TAD (2,2 ', 7,7'-tetrakis (n, n-diphenylamino) -9,9'-spirobifluorene); 9,9-bis [4- (N, N-bis-biphenyl-4-yl-amino) phenyl] -9H-fluorene; 9,9-bis [4- (N, N-bis-naphthalen-2-yl-amino) phenyl] -9H-fluorene; 9,9-bis [4- (N, N'-bis-naphthalen-2-yl-N, N'-bis-phenyl-amino) -phenyl] -9-fluoro; N, N'-bis (phenanthrene-9-yl) -N, N'-bis (phenyl) benzidine; 2,7-bis [N, N-bis (9,9-spiro-bifluorenes-2-yl) amino] -9,9-spiro-bifluorene; 2,2'-bis [N, N-bis (biphenyl-4-yl) amino] 9,9-spiro-bifluorene; 2,2'-bis (N, N-di-phenyl-amino) 9,9-spiro-bifluorene; Di- [4- (N, N-ditolyl-amino) -phenyl] cyclohexane; 2,2 ', 7,7'-tetra (N, N-di-tolyl) amino-spiro-bifluorene; and / or N, N, N ', N'-tetra-naphthalen-2-yl-benzidine.
Die Lochinjektionsschicht weist eine Schichtdicke auf in einem Bereich von ungefähr 10 nm bis ungefähr 1000 nm, beispielsweise in einem Bereich von ungefähr 30 nm bis ungefähr 300 nm, beispielsweise in einem Bereich von ungefähr 50 nm bis ungefähr 200 nm.The hole injection layer has a layer thickness in a range of about 10 nm to about 1000 nm, for example in a range of about 30 nm to about 300 nm, for example in a range of about 50 nm to about 200 nm.
Die Lochtransportschicht weist eines oder mehrere der folgenden Materialien auf oder ist daraus gebildet: NPB (N,N'-Bis(naphthalen-1-yl)-N,N'-bis(phenyl)-benzidin); beta-NPB N,N'-Bis(naphthalen-2-yl)-N,N'-bis(phenyl)-benzidin); TPD (N,N'-Bis(3-methylphenyl)-N,N'-bis(phenyl)-benzidin); Spiro TPD (N,N'-Bis(3-methylphenyl)-N,N'-bis(phenyl)-benzidin); Spiro-NPB (N,N'-Bis(naphthalen-1-yl)-N,N'-bis(phenyl)-spiro); DMFL-TPD N,N'-Bis(3-methylphenyl)-N,N'-bis(phenyl)-9,9-dimethyl-fluoren); DMFL-NPB (N,N'-Bis(naphthalen-1-yl)-N,N'-bis(phenyl)-9,9-dimethyl-fluoren); DPFL-TPD (N,N'-Bis(3-methylphenyl)-N,N'-bis(phenyl)-9,9-diphenyl-fluoren); DPFL-NPB (N,N'-Bis(naphthalen-1-yl)-N,N'-bis(phenyl)-9,9-diphenyl-fluoren); Spiro-TAD (2,2',7,7'-Tetrakis(n,n-diphenylamino)-9,9'-spirobifluoren); 9,9-Bis[4-(N,N-bis-biphenyl-4-yl-amino)phenyl]-9H-fluoren; 9,9-Bis[4-(N,N-bis-naphthalen-2-yl-amino)phenyl]-9H-fluoren; 9,9-Bis[4-(N,N'-bis-naphthalen-2-yl-N,N'-bis-phenyl-amino)-phenyl]-9H-fluor; N,N'-bis(phenanthren-9-yl)-N,N'-bis(phenyl)-benzidin; 2,7-Bis[N,N-bis(9,9-spiro-bifluorene-2-yl)-amino]-9,9-spiro-bifluoren; 2,2'-Bis[N,N-bis(biphenyl-4-yl)amino]9,9-spiro-bifluoren; 2,2'-Bis(N,N-di-phenyl-amino)9,9-spiro-bifluoren; Di-[4-(N,N-ditolyl-amino)-phenyl]cyclohexan; 2,2',7,7'-tetra(N,N-di-tolyl)amino-spiro-bifluoren; und N,N,N',N'-tetra-naphthalen-2-yl-benzidin, ein tertiäres Amin, ein Carbazolderivat, ein leitendes Polyanilin und/oder Polyethylendioxythiophen.The hole transport layer comprises or is formed from one or more of the following materials: NPB (N, N'-bis (naphthalen-1-yl) -N, N'-bis (phenyl) -benzidine); beta-NPB N, N'-bis (naphthalen-2-yl) -N, N'-bis (phenyl) -benzidine); TPD (N, N'-bis (3-methylphenyl) -N, N'-bis (phenyl) benzidine); Spiro TPD (N, N'-bis (3-methylphenyl) -N, N'-bis (phenyl) benzidine); Spiro-NPB (N, N'-bis (naphthalen-1-yl) -N, N'-bis (phenyl) -spiro); DMFL-TPD N, N'-bis (3-methylphenyl) -N, N'-bis (phenyl) -9,9-dimethyl-fluorene); DMFL-NPB (N, N'-bis (naphthalen-1-yl) -N, N'-bis (phenyl) -9,9-dimethyl-fluorene); DPFL-TPD (N, N'-bis (3-methylphenyl) -N, N'-bis (phenyl) -9,9-diphenyl-fluorene); DPFL-NPB (N, N'-bis (naphthalen-1-yl) -N, N'-bis (phenyl) -9,9-diphenyl-fluorene); Spiro-TAD (2,2 ', 7,7'-tetrakis (n, n-diphenylamino) -9,9'-spirobifluorene); 9,9-bis [4- (N, N-bis-biphenyl-4-yl-amino) phenyl] -9H-fluorene; 9,9-bis [4- (N, N-bis-naphthalen-2-yl-amino) phenyl] -9H-fluorene; 9,9-bis [4- (N, N'-bis-naphthalen-2-yl-N, N'-bis-phenyl-amino) -phenyl] -9-fluoro; N, N'-bis (phenanthrene-9-yl) -N, N'-bis (phenyl) benzidine; 2,7-bis [N, N-bis (9,9-spiro-bifluorenes-2-yl) amino] -9,9-spiro-bifluorene; 2,2'-bis [N, N-bis (biphenyl-4-yl) amino] 9,9-spiro-bifluorene; 2,2'-bis (N, N-di-phenyl-amino) 9,9-spiro-bifluorene; Di- [4- (N, N-ditolyl-amino) -phenyl] cyclohexane; 2,2 ', 7,7'-tetra (N, N-di-tolyl) amino-spiro-bifluorene; and N, N, N ', N'-tetra-naphthalen-2-yl-benzidine, a tertiary amine, a carbazole derivative, a conductive polyaniline and / or polyethylenedioxythiophene.
Die Lochtransportschicht weist eine Schichtdicke auf in einem Bereich von ungefähr 5 nm bis ungefähr 50 nm, beispielsweise in einem Bereich von ungefähr 10 nm bis ungefähr 30 nm, beispielsweise ungefähr 20 nm.The hole transport layer has a layer thickness in a range of about 5 nm to about 50 nm, for example in a range of about 10 nm to about 30 nm, for example about 20 nm.
Eine Emitterschicht weist organische Polymere, organische Oligomere, organische Monomere, organische kleine, nichtpolymere Moleküle („small molecules”) oder eine Kombination dieser Materialien auf oder ist daraus gebildet. Das optoelektronische Bauelement
Die Emitterschicht weist einfarbig oder verschiedenfarbig (zum Beispiel blau und gelb oder blau, grün und rot) emittierende Emittermaterialien auf. Alternativ weist die Emitterschicht mehrere Teilschichten auf, die Licht unterschiedlicher Farbe emittieren. Mittels eines Mischens der verschiedenen Farben weist die Emission von Licht mit einem weißen Farbeindruck resultieren. Alternativ ist auch vorgesehen, im Strahlengang der durch diese Schichten erzeugten Primäremission einen Leuchtstoff (Konvertermaterial) anzuordnen, der die Primärstrahlung zumindest teilweise absorbiert und eine Sekundärstrahlung anderer Wellenlänge emittiert, so dass sich aus einer (noch nicht weißen) Primärstrahlung durch die Kombination von primärer Strahlung und sekundärer Strahlung ein weißer Farbeindruck ergibt.The emitter layer has single-color or different-colored (for example blue and yellow or blue, green and red) emitting emitter materials. Alternatively, the emitter layer has a plurality of partial layers which emit light of different colors. By means of mixing the different colors, the emission of light results in a white color impression. Alternatively, it is also provided to arrange a phosphor (converter material) in the beam path of the primary emission generated by these layers, which contains the primary radiation at least partially absorbed and emitted a secondary radiation of different wavelengths, so that results from a (not yet white) primary radiation by the combination of primary radiation and secondary radiation, a white color impression.
Die Emitterschicht weist eine Schichtdicke auf in einem Bereich von ungefähr 5 nm bis ungefähr 50 nm, beispielsweise in einem Bereich von ungefähr 10 nm bis ungefähr 30 nm, beispielsweise ungefähr 20 nm.The emitter layer has a layer thickness in a range of about 5 nm to about 50 nm, for example in a range of about 10 nm to about 30 nm, for example about 20 nm.
Die Elektronentransportschicht weist eines oder mehrere der folgenden Materialien auf oder ist daraus gebildet: NET-18; 2,2',2''-(1,3,5-Benzinetriyl)-tris(1-phenyl-1-H-benzimidazole); 2-(4-Biphenylyl)-5-(4-tert-butylphenyl)-1,3,4-oxadiazole,2,9-Dimethyl-4,7-diphenyl-1,10-phenanthroline (BCP); 8-Hydroxyquinolinolato-lithium, 4-(Naphthalen-1-yl)-3,5-diphenyl-4H-1,2,4-triazole; 1,3-Bis[2-(2,2'-bipyridine-6-yl)-1,3,4-oxadiazo-5-yl]benzene; 4,7-Diphenyl-1,10-phenanthroline (BPhen); 3-(4-Biphenylyl)-4-phenyl-5-tert-butylphenyl-1,2,4-triazole; Bis(2-methyl-8-quinolinolate)-4-(phenylphenolato)aluminium; 6,6'-Bis[5-(biphenyl-4-yl)-1,3,4-oxadiazo-2-yl]-2,2'-bipyridyl; 2-phenyl-9,10-di(naphthalen-2-yl)-anthracene; 2,7-Bis[2-(2,2'-bipyridine-6-yl)-1,3,4-oxadiazo-5-yl]-9,9-dimethylfluorene; 1,3-Bis[2-(4-tert-butylphenyl)-1,3,4-oxadiazo-5-yl]benzene; 2-(naphthalen-2-yl)-4,7-diphenyl-1,10-phenanthroline; 2,9-Bis(naphthalen-2-yl)-4,7-diphenyl-1,10-phenanthroline; Tris(2,4,6-trimethyl-3-(pyridin-3-yl)phenyl)borane; 1-methyl-2-(4-(naphthalen-2-yl)phenyl)-1H-imidazo[4,5-f][1,10]phenanthrolin; Phenyl-dipyrenylphosphine Oxide; Naphtahlintetracarbonsäuredianhydrid bzw. dessen Imide; Perylentetracarbonsäuredianhydrid bzw. dessen Imide; und Stoffen basierend auf Silolen mit einer Silacyclopentadieneinheit.The electron transport layer comprises or is formed from one or more of the following materials: NET-18; 2,2 ', 2' '- (1,3,5-Benzinetriyl) -tris (1-phenyl-1-H-benzimidazole); 2- (4-biphenylyl) -5- (4-tert-butylphenyl) -1,3,4-oxadiazoles, 2,9-dimethyl-4,7-diphenyl-1,10-phenanthrolines (BCP); 8-hydroxyquinolinolato-lithium, 4- (naphthalen-1-yl) -3,5-diphenyl-4H-1,2,4-triazoles; 1,3-bis [2- (2,2'-bipyridine-6-yl) -1,3,4-oxadiazo-5-yl] benzene; 4,7-diphenyl-1,10-phenanthroline (BPhen); 3- (4-biphenylyl) -4-phenyl-5-tert-butylphenyl-1,2,4-triazole; Bis (2-methyl-8-quinolinolate) -4- (phenylphenolato) aluminum; 6,6'-bis [5- (biphenyl-4-yl) -1,3,4-oxadiazo-2-yl] -2,2'-bipyridyl; 2-phenyl-9,10-di (naphthalen-2-yl) anthracenes; 2,7-bis -9,9-dimethylfluorene [2- (2,2'-bipyridine-6-yl) -1,3,4-oxadiazo-5-yl]; 1,3-bis [2- (4-tert-butylphenyl) -1,3,4-oxadiazo-5-yl] benzene; 2- (naphthalen-2-yl) -4,7-diphenyl-1,10-phenanthroline; 2,9-bis (naphthalen-2-yl) -4,7-diphenyl-1,10-phenanthroline; Tris (2,4,6-trimethyl-3- (pyridin-3-yl) phenyl) borane; 1-methyl-2- (4- (naphthalen-2-yl) phenyl) -1H-imidazo [4,5-f] [1,10] phenanthroline; Phenyl-dipyrenylphosphine oxides; Naphthalenetetracarboxylic dianhydride or its imides; Perylenetetracarboxylic dianhydride or its imides; and silanol-based materials containing a silacyclopentadiene moiety.
Die Elektronentransportschicht weist eine Schichtdicke auf in einem Bereich von ungefähr 5 nm bis ungefähr 50 nm, beispielsweise in einem Bereich von ungefähr 10 nm bis ungefähr 30 nm, beispielsweise ungefähr 20 nm.The electron transport layer has a layer thickness in a range of about 5 nm to about 50 nm, for example in a range of about 10 nm to about 30 nm, for example about 20 nm.
Die Elektroneninjektionsschicht weist eines oder mehrere der folgenden Materialien auf oder ist daraus gebildet: NDN-26, MgAg, Cs2CO3, Cs3PO4, Na, Ca, K, Mg, Cs, Li, LiF; 2,2',2''-(1,3,5-Benzinetriyl)-tris(1-phenyl-1-H-benzimidazole); 2-(4-Biphenylyl)-5-(4-tert-butylphenyl)-1,3,4-oxadiazole,2,9-Dimethyl-4,7-diphenyl-1,10-phenanthroline (BCP); 8-Hydroxyquinolinolato-lithium, 4-(Naphthalen-1-yl)-3,5-diphenyl-4H-1,2,4-triazole; 1,3-Bis[2-(2,2'-bipyridine-6-yl)-1,3,4-oxadiazo-5-yl]benzene; 4,7-Diphenyl-1,10-phenanthroline (BPhen); 3-(4-Biphenylyl)-4-phenyl-5-tert-butylphenyl-1,2,4-triazole; Bis(2-methyl-8-quinolinolate)-4-(phenylphenolato)aluminium; 6,6'-Bis[5-(biphenyl-4-yl)-1,3,4-oxadiazo-2-yl]-2,2'-bipyridyl; 2-phenyl-9,10-di(naphthalen-2-yl)-anthracene; 2,7-Bis[2-(2,2'-bipyridine-6-yl)-1,3,4-oxadiazo-5-yl]-9,9-dimethylfluorene; 1,3-Bis[2-(4-tert-butylphenyl)-1,3,4-oxadiazo-5-yl]benzene; 2-(naphthalen-2-yl)-4,7-diphenyl-1,10-phenanthroline; 2,9-Bis(naphthalen-2-yl)-4,7-diphenyl-1,10-phenanthroline; Tris(2,4,6-trimethyl-3-(pyridin-3-yl)phenyl)borane; 1-methyl-2-(4-(naphthalen-2-yl)phenyl)-1H-imidazo[4,5-f][1,10]phenanthroline; Phenyl-dipyrenylphosphine Oxide; Naphtahlintetracarbonsäuredianhydrid bzw. dessen Imide; Perylentetracarbonsäuredianhydrid bzw. dessen Imide; und Stoffen basierend auf Silolen mit einer Silacyclopentadieneinheit.The electron injection layer comprises or is formed from one or more of the following materials: NDN-26, MgAg, Cs 2 CO 3 , Cs 3 PO 4 , Na, Ca, K, Mg, Cs, Li, LiF; 2,2 ', 2''- (1,3,5-Benzinetriyl) -tris (1-phenyl-1-H-benzimidazole); 2- (4-biphenylyl) -5- (4-tert-butylphenyl) -1,3,4-oxadiazoles, 2,9-dimethyl-4,7-diphenyl-1,10-phenanthrolines (BCP); 8-hydroxyquinolinolato-lithium, 4- (naphthalen-1-yl) -3,5-diphenyl-4H-1,2,4-triazoles; 1,3-bis [2- (2,2'-bipyridine-6-yl) -1,3,4-oxadiazo-5-yl] benzene; 4,7-diphenyl-1,10-phenanthroline (BPhen); 3- (4-biphenylyl) -4-phenyl-5-tert-butylphenyl-1,2,4-triazoles; Bis (2-methyl-8-quinolinolate) -4- (phenylphenolato) aluminum; 6,6'-bis [5- (biphenyl-4-yl) -1,3,4-oxadiazo-2-yl] -2,2'-bipyridyl; 2-phenyl-9,10-di (naphthalen-2-yl) anthracenes; 2,7-bis -9,9-dimethylfluorene [2- (2,2'-bipyridine-6-yl) -1,3,4-oxadiazo-5-yl]; 1,3-bis [2- (4-tert-butylphenyl) -1,3,4-oxadiazo-5-yl] benzene; 2- (naphthalen-2-yl) -4,7-diphenyl-1,10-phenanthroline; 2,9-bis (naphthalen-2-yl) -4,7-diphenyl-1,10-phenanthroline; Tris (2,4,6-trimethyl-3- (pyridin-3-yl) phenyl) borane; 1-methyl-2- (4- (naphthalen-2-yl) phenyl) -1H-imidazo [4,5-f] [1,10] phenanthroline; Phenyl-dipyrenylphosphine oxides; Naphthalenetetracarboxylic dianhydride or its imides; Perylenetetracarboxylic dianhydride or its imides; and silanol-based materials containing a silacyclopentadiene moiety.
Die Elektroneninjektionsschicht weist eine Schichtdicke auf in einem Bereich von ungefähr 5 nm bis ungefähr 200 nm, beispielsweise in einem Bereich von ungefähr 20 nm bis ungefähr 50 nm, beispielsweise ungefähr 30 nm.The electron injection layer has a layer thickness in a range of about 5 nm to about 200 nm, for example, in a range of about 20 nm to about 50 nm, for example about 30 nm.
Bei einer organischen funktionellen Schichtenstruktur
Die Zwischenschichtstruktur ist als eine Zwischenelektrode ausgebildet, beispielsweise gemäß einer der Ausgestaltungen der ersten Elektrode
Alternativ ist die Zwischenschichtstruktur als eine Ladungsträgerpaar-Erzeugungs-Schichtenstruktur (charge generation layer, CGL) ausgebildet. Eine Ladungsträgerpaar-Erzeugungs-Schichtenstruktur weist eine oder mehrere elektronenleitende Ladungsträgerpaar-Erzeugungs-Schicht(en) und eine oder mehrere lochleitende Ladungsträgerpaar-Erzeugungs-Schicht(en) auf. Die elektronenleitende Ladungsträgerpaar-Erzeugungs-Schicht(en) und die lochleitende Ladungsträgerpaar-Erzeugungs-Schicht(en) können jeweils aus einem intrinsisch leitenden Stoff oder einem Dotierstoff in einer Matrix gebildet sein. Die Ladungsträgerpaar-Erzeugungs-Schichtenstruktur sollte hinsichtlich der Energieniveaus der elektronenleitenden Ladungsträgerpaar-Erzeugungs-Schicht(en) und der lochleitenden Ladungsträgerpaar-Erzeugungs-Schicht(en) derart ausgebildet sein, dass an der Grenzfläche einer elektronenleitenden Ladungsträgerpaar-Erzeugungs-Schicht mit einer lochleitenden Ladungsträgerpaar-Erzeugungs-Schicht ein Trennung von Elektron und Loch erfolgt. Die Ladungsträgerpaar-Erzeugungs-Schichtenstruktur weist ferner zwischen benachbarten Schichten eine Diffusionsbarriere auf.Alternatively, the interlayer structure is formed as a charge generation layer (CGL) layer structure. A charge carrier pair generation layer structure comprises one or more electron-conducting charge carrier pair generation layer (s) and one or more hole-conducting charge carrier pair generation layer (s). The electron-conductive charge carrier pair generation layer (s) and the hole-conducting charge carrier pair generation layer (s) may each be formed of an intrinsic conductive substance or a dopant in a matrix. The charge carrier pair generation layer structure should be designed with respect to the energy levels of the electron-conducting charge carrier pair generation layer (s) and the hole-conducting charge carrier pair generation layer (s) such that at the interface of an electron-conducting charge carrier pair Generation layer with a hole-conducting carrier pair generation layer, a separation of electron and hole takes place. The carrier pair generation layer structure further has a diffusion barrier between adjacent layers.
Das optoelektronische Bauelement
Die zweite Elektrode
Die zweite Elektrode
Die Barrierendünnschicht
Ferner ist darauf hinzuweisen, dass in Ausführungsbeispielen auch ganz auf eine Barrierendünnschicht
Ferner sind zusätzlich noch eine oder mehrere Ein-/Auskoppelschichten in dem optoelektronischen Bauelementes
Die Verbindungsschicht
Eine Verbindungsschicht
Als lichtstreuende Partikel können dielektrische Streupartikel vorgesehen sein, beispielsweise aus einem Metalloxid, beispielsweise Siliziumoxid (SiO2), Zinkoxid (ZnO), Zirkoniumoxid (ZrO2), Indium-Zinn-Oxid (ITO) oder Indium-Zink-Oxid (IZO), Galliumoxid (Ga2Ox) Aluminiumoxid, oder Titanoxid. Auch andere Partikel können geeignet sein, sofern sie einen Brechungsindex haben, der von dem effektiven Brechungsindex der Matrix der Verbindungsschicht
Die Verbindungsschicht
In einer Weiterbildung ist zwischen der zweiten Elektrode
Die Verbindungsschicht
Ferner kann das optoelektronische Bauelement
Auf oder über der Verbindungsschicht
Mittels der lateralen Strukturierung der zweiten Elektrode
In einer Weiterbildung, beispielsweise veranschaulicht in
In einer Weiterbildung, beispielsweise veranschaulicht in
In einer weiteren Weiterbildung, beispielsweise veranschaulicht in
In einer Weiterbildung des optoelektronischen Bauelementes
In einer Weiterbildung weist die externe elektrische Energiequelle
In einer Weiterbildung ist die Steuervorrichtung
In einer Weiterbildung ist die erste optoelektronische Bauelemente-Einheit
In dem in
Die Ermittlungsvorrichtung
Dadurch ergibt sich als Vorteil ein monolithischer Aufbau für das optoelektronischer Bauelement
Die Erfindung ist nicht auf die angegebenen Ausführungsbeispiele beschränkt. Beispielsweise können beliebige Schichten des optoelektronischen Bauelementes als Schicht mit erstem Bereich und zweitem Bereich ausgebildet werden, in unterschiedlicher Form und Abmessung; mittels eines Abscheideprozesses durch eine Maske, eines Bestrahlungsprozesses durch die Maske oder eines Abtragungsprozesses durch die Maske.The invention is not limited to the specified embodiments. By way of example, any desired layers of the optoelectronic component can be formed as a layer having a first region and a second region, in different shapes and dimensions; by means of a deposition process through a mask, an irradiation process through the mask or a removal process through the mask.
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---|---|---|---|---|
US20070126681A1 (en) * | 2005-12-05 | 2007-06-07 | Canon Kabushiki Kaisha | Display apparatus and method for manufacturing same |
US20090231243A1 (en) * | 2008-03-13 | 2009-09-17 | Samsung Mobile Display Co., Ltd. | Organic light-emitting display apparatus and method of manufacturing the same |
Non-Patent Citations (1)
Title |
---|
X.T. Hao et al.: Colour tunability of polymeric light-emitting diodes with top emission architecture. In: Semicond. Sci. Technol., 21, 2006, S. 19-24. * |
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