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Die
Erfindung betrifft einen Versorgungsendblock zur Versorgung einer
Sputterkathode mit einem Kühlmittel, sowie in einer Weiterbildung
zur Versorgung einer Sputterkathode mit elektrischer Spannung.
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Zur
Erreichung eines gleichmäßigen Materialabtrags
vom Target eines Magnetrons wurden verschiedene Lösungen
für Sputtereinrichtungen zur Beschichtung von Substraten
durch Kathodenzerstäubung vorgeschlagen. So ist aus
US 4,356,073 eine drehbare
Sputterkathode bekannt, die neben anderen Komponenten ein langgestrecktes
zylindrisches Rohrelement umfasst, das mit einer Schicht des gewünschten
Beschichtungsmaterials versehen ist. Aus
US 4,443,318 ist ebenfalls eine drehbare Sputterkathode
bekannt, die ein langgestrecktes zylindrisches Rohrelement, Mittel
zur Drehung des Rohrelements und Targetmittel mit Beschichtungsmaterial
umfasst, die lösbar an dem Rohrelement angebracht sind.
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Bei
den genannten Lösungen kann durch Drehung des Rohrelements
erreicht werden, dass der Materialabtrag über den gesamten
Umfang des Rohr-Targets gleichmäßig erfolgt und
auf diese Weise die Bildung von Vertiefungen oder Gräben
im Targetmaterial verhindert werden.
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Unter
dem Begriff Sputtereinrichtung soll im Sinne dieser Anmeldung eine
Anordnung verstanden werden, die mindestens ein Magnetsystem zur
Erzeugung eines Magnetfelds und eine Sputterkathode mit einem oder
mehreren Targets zur Bereitstellung von Beschichtungsmaterial umfasst.
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Zur
Versorgung der Sputtereinrichtung mit einem Kühlmittel
oder/und elektrischer Spannung sowie gegebenenfalls weiterer Medien,
beispielsweise Luft zur Spülung, werden innerhalb der Vakuumkammer
der Beschichtungsvorrichtung so genannte Endblöcke montiert.
Die Übertragung der Drehbewegung auf das Targetrohr erfolgt
meist mittels eines ersten Endblocktyps, des sogenannten Antriebsendblocks. Ein
zweiter Endblocktyp, der auch als Versorgungsendblock bezeichnet
wird, weist Anschlüsse für die Einspeisung der
benötigten Medien, beispielsweise ein Kühlmittel
und die elektrische Spannungsversorgung der in der Vakuumkammer
angeordneten Sputtereinrichtung, sowie gegebenenfalls für
weitere Medien auf. Beide Medien (Kühlmittel und elektrische Spannung)
werden also dem Versorgungsendblock getrennt zugeführt
und in vorgelagerten Baugruppen auf gleiches elektrisches Potential
gebracht.
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In
DE 10 2007 049 735
A1 wird hingegen vorgeschlagen, den Kühlmittelanschluss
und den Stromanschluss unmittelbar an der Einspeisestelle in den
Versorgungsendblock so zusammenzuführen, dass das Kühlmittel
beim Eintritt in das Gehäuse des Versorgungsendblocks auf
das Potential der angelegten elektrischen Spannung gebracht wird.
Wird ein Umbau oder eine Wartung der Beschichtungsvorrichtung erforderlich,
so ist der Austausch des Versorgungsendblocks relativ aufwendig,
weil alle Medien einzelne Zuleitungen haben, deren Verbindungen mit
dem Versorgungsendblock einzeln gelöst und hergestellt
werden müssen.
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Aus
EP 1 365 436 A2 ist
es bekannt, mechanische Belastungen für Kugellager und
Isolatoren durch die Gestaltung einer leicht beweglichen Lagerung
der Medienübergabebauteile innerhalb des Versorgungsendblocks
herabzusetzen.
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Die
Aufgabe der Erfindung besteht daher darin, einen Versorgungsendblock
zur Versorgung einer Sputtereinrichtung mit einem Kühlmittel
anzugeben, der einfach aufgebaut und leicht montierbar und demontierbar
ist.
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Erfindungsgemäß werden
diese Aufgaben durch den nachfolgend beschriebenen Versorgungsendblock
gelöst.
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Der
vorgeschlagene Versorgungsendblock zur Versorgung einer Sputterkathode
mit einem Kühlmittel umfasst ein Gehäuse mit einer
Anschlussöffnung und einer die Anschlussöffnung
umschließenden ersten Befestigungsfläche zur Anbringung
des Gehäuses an einer Stützfläche sowie
mit einer Lageröffnung, ein in der Lageröffnung
angeordnetes Trägerbauteil mit einem Wellenlager, eine
im Wellenlager des Trägerbauteils drehbar gelagerte Welle
zur Anbringung eines Targetrohrs, ein Stützmittel zur Anbringung
eines Magnetsystems sowie im Gehäuse relativ zum Trägerbauteil
ortsfest angeordnete Kühlmittelleitungen mit Kühlmittelanschlüssen,
wobei die Kühlmittelleitungen aus mindestens zwei Leitungsabschnitten
zusammengesetzt sind, welche durch eine Steckverbindung lösbar
miteinander verbindbar sind.
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Im
allgemeinen sind die Anschlussöffnung und die Lageröffnung
des Gehäuses im rechten Winkel zueinander angeordnet, was
dazu führt, dass ein an der Welle befestigtes Targetrohr
parallel zu der Stützfläche verläuft,
an der das Gehäuse befestigt sind. Es sollen jedoch auch
Ausführungsformen umfasst sein, bei denen die Lageröffnung
und die Anschlussöffnung unter einem beliebigen anderen
Winkel zueinander angeordnet sind, einschließlich einer parallelen
Anordnung von Anschlussöffnung und Lageröffnung,
wodurch das Targetrohr senkrecht zur Stützfläche
verläuft.
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Die
Stützfläche ist dabei im Allgemeinen die Oberfläche
einer Kammerwand oder eines Kammerdeckels einer Vakuumbeschichtungsanlage,
oder eines Magnetrongehäuses.
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Das
Trägerbauteil ist im Allgemeinen so gestaltet, dass es
innerlich Kanäle aufweist, die von den Kühlmittelleitungen
gespeist werden und auf diese Weise selbst Leitungsabschnitte der
Kühlmittelleitungen darstellen. Diese Leitungsabschnitte
sind so gestaltet, dass sie das Einströmen von Kühlmittel
in das an der Welle befestigte Targetrohr hinein und das Ausströmen
aus dem Targetrohr heraus ermöglichen.
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Die
Kühlmittelleitungen weisen an ihren freien Enden Kühlmittelanschlüsse
auf, an welche zum Betrieb des Magnetrons externe Kühlmittelleitungen, beispielsweise
Rohre oder flexible Schläuche, angeschlossen werden, die
eine Zirkulation des Kühlmittels zwischen dem Targetrohr
und einem externen Kühlaggregat ermöglichen.
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Die
Kühlmittelanschlüsse können dabei außerhalb
des Gehäuses des Endblocks angeordnet sein. Handelt es
sich bei der Stützfläche, an der der Endblock
befestigt wird, um eine Kammerwand oder einen Kammerdeckel einer
Vakuumbeschichtungsanlage, so sind die Kühlmittelanschlüsse
im beschriebenen Fall auch außerhalb der Vakuumkammer angeordnet.
In einer anderen Ausgestaltung, die unten näher erläutert
wird, können die Kühlmittelanschlüsse
jedoch auch im Innern des Gehäuses des Endblocks angeordnet
sein.
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Die
Kühlmittelleitungen sind an mindestens einer Stelle zwischen
dem Trägerbauteil und den Kühlmittelanschlüssen
in aneinandergrenzende Leitungsabschnitte unterteilt, die durch
eine Steckverbindung lösbar so miteinander verbindbar sind,
dass sie gemeinsam eine durchgehende Kühlmittelleitung bilden.
Die einzelnen Leitungsabschnitte können dabei starr ausgebildet
sein, beispielsweise indem die Leitungsabschnitte durch Kanäle
im Innern von starren Bauteilen gebildet sind. Dadurch wird die
Betätigung der Steckverbindung bei der Montage und Demontage
des Endblocks erleichtert. Jedoch sind auch Ausführungsformen
umfasst, bei denen die Kühlmittelleitungen flexibel sind.
In diesem Fall muss die Steckverbindung manuell verbunden und gelöst werden,
es sei denn, die Steckverbinder sind separat abgestützt.
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Dadurch
ist es möglich, den Endblock nach dem Lösen seiner
Verbindung zur Anschlussfläche, die ein Kammerdeckel einer
Vakuumbeschichtungsanlage, ein Magnetrongehäuse oder ähnliches
sein kann, durch einfaches Abziehen zu demontieren. Die Steckverbindung
löst sich ohne weitere Arbeitsschritte; die externen Kühlmittelzu-
und -ableitungen brauchen von den Kühlmittelanschlüssen
nicht getrennt werden.
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In
einem ersten Ausführungsbeispiel ist vorgesehen, dass ein
erster Leitungsabschnitt durch das Trägerbauteil führt
und ein zweiter Leitungsabschnitt durch ein Anschlussbauteil führt,
an welchem die Kühlmittelanschlüsse angeordnet
sind, wobei das Trägerbauteil und das Anschlussbauteil
an ihren einander zugewandten Seiten komplementär ausgebildete
Steckverbinder aufweisen.
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In
einer Weiterbildung des ersten Ausführungsbeispiels ist
vorgesehen, dass ein erster Leitungsabschnitt durch das Trägerbauteil
führt, ein zweiter Leitungsabschnitt durch ein Anschlussbauteil führt,
an welchem die Kühlmittelanschlüsse angeordnet
sind, und ein dritter Leitungsabschnitt durch mindestens ein zwischen
dem Trägerbauteil und dem Anschlussbauteil angeordnetes
Zusatzbauteil führt, wobei komplementär ausgebildete
Steckverbinder an den einander zugewandten Seiten von Trägerbauteil und
Zusatzbauteil, oder/und von Zusatzbauteil und Anschlussbauteil,
angeordnet sind.
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In
einer einfachen Ausgestaltung weist das Anschlussbauteil eine zweite
Befestigungsfläche zur Anbringung an einer Stützfläche
auf. Dadurch wird das Anschlussbauteil mit der Stützfläche
fest verbunden.
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Alternativ
kann vorgesehen sein, dass weiterhin eine Befestigungseinrichtung
vorgesehen ist mit einer dritten Befestigungsfläche zur
Anbringung der Befestigungseinrichtung an einer Stützfläche
und mit einem Lagersitz für das Anschlussbauteil, wobei das
Anschlussbauteil im Lagersitz relativ zur dritten Befestigungsfläche
in der Betätigungsrichtung der Steckverbindung beweglich
gelagert ist. Die Beweglichkeit des Anschlussbauteils kann in der
Betätigungsrichtung der Steckverbindung oder/und quer dazu
oder/und um eine Querachse verdrehbar (kippbar) realisiert sein,
so dass im letzteren Fall ein Kippen des Anschlussbauteils relativ
zur Stützfläche möglich ist.
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Eine
derartige „schwimmende” Lagerung des Anschlussbauteils
hat den Vorteil, dass das Verbinden und Lösen der Steckverbindung
erleichtert wird und Bauteiltoleranzen sowie Wärmedehnungen einzelner
Bauteile ausgeglichen werden. Der Lagersitz für das Anschlussbauteil
kann dabei die Beweglichkeit des Anschlussbauteils beispielsweise
dadurch gewährleisten, dass das Anschlussbauteil im Lagersitz
verschiebbar ist, oder dass das Anschlussbauteil im Lagersitz der
Befestigungseinrichtung elastisch, z. B. in einer Gummimanschette
oder auf einem Federelement, gelagert ist.
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Wie
weiter oben bereits beschrieben wurde, können die Kühlmittelleitungen
durch die Anschlussöffnung hindurch aus dem Gehäuse
führen und die Kühlmittelanschlüsse außerhalb
des Gehäuses angeordnet sein oder die Kühlmittelleitungen
sind vollständig im Gehäuse untergebracht und
die Kühlmittelanschlüsse innerhalb des Gehäuses
angeordnet.
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Ein
weiteres Ausführungsbeispiel des beschriebenen Endblocks
ist so ausgestaltet, dass zwei in der Steckverbindung aneinandergrenzende
Leitungsabschnitte nichtparallel, beispielsweise rechtwinklig, zur
Betätigungsrichtung der Steckverbindung verlaufen. Dadurch
wird vermieden, dass der in den Kühlmittelleitungen herrschende
Druck auf die Steckverbinder eine in der Betätigungsrichtung
der Steckverbindung wirkende Kraft ausübt und so die beiden Steckverbinder
auseinanderdrückt.
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Beliebige
andere Winkel sind von diesem Gedanken mit umfasst, beispielsweise
wenn die Steckverbinder miteinander in Kontakt tretende konische
Flächen aufweisen, die den Vorteil haben, beim Fügen
der Steckverbindung selbstfindend zu wirken. In diesem Fall wird
die durch den Druck des Kühlmittels bewirkte Kraft zwischen
den Steckverbindern zumindest gegenüber Ausführungen,
bei denen die aneinandergrenzenden Leitungsabschnitte der Kühlmittelleitungen
parallel zur Betätigungsrichtung der Steckverbindung ausgerichtet
sind, reduziert.
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In
einer weiteren Ausgestaltung des Endblocks ist im Trägerbauteil
oder/und im Anschlussbauteil oder und im Zusatzbauteil mindestens
eine Leckageleitung angeordnet. Diese kann beispielsweise so gestaltet
sein, dass sie in der Steckverbindung oder in den Bereich der Welle
mündet, so dass dort ungewollt austretendes Kühlmittel
abgesaugt werden kann. Dadurch wird der Endblock sicherer betreibbar,
weil gegebenenfalls zwischen den Steckverbindern austretendes Kühlmittel
ständig abgesaugt werden kann und so weder in das Innere
des Gehäuses noch in die Vakuumkammer gelangen kann. Die
Leckageleitungen können dabei in ähnlicher Weise
wie die Kühlmittelleitungen aus Leitungsabschnitten bestehen,
die als Kanäle in den oben genannten Bauteilen ausgeführt
sind.
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In
einer Weiterbildung der Erfindung kann vorgesehen sein, dass weiterhin
mindestens ein Elektroanschluss zur Versorgung einer Sputterkathode
mit elektrischer Spannung vorgesehen ist. Dieser Elektroanschluss
kann mit mindestens einem Kühlmittelanschluss elektrisch
leitend verbunden sein, beispielsweise indem der Elektroanschluss
und der Kühlmittelanschluss am Anschlussbauteil angeordnet
sind und das Anschlussbauteil aus elektrisch leitendem Material
gefertigt ist. Auf diese Weise wird das Kühlmittel bereits
beim Einspeisen in die Kühlmittelanschlüsse auf
das benötigte Potenzial gebracht.
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In
einer andern Weiterbildung der Erfindung kann vorgesehen sein, dass
weiterhin eine Antriebseinrichtung zum Antreiben der Welle vorgesehen
ist. Dadurch wirkt der Versorgungsendblock gleichzeitig als Antriebsendblock
für das Targetrohr. Dadurch sind Magnetrons möglich,
bei denen das Targetrohr freitragend an nur einem Endblock angebracht
wird.
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Nachfolgend
werden Ausführungsbeispiele der Erfindung anhand von Zeichnungen
näher erläutert. Dabei zeigen
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1 eine
Schnittansicht eines ersten Ausführungsbeispiels,
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2 eine
Schnittansicht eines zweiten Ausführungsbeispiels,
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3 eine
erste Schnittansicht eines dritten Ausführungsbeispiels,
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4 eine
zweite Schnittansicht eines dritten Ausführungsbeispiels,
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5 die
Montage/Demontage des Endblocks gemäß dem dritten
Ausführungsbeispiel
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Bei
dem in 1 dargestellten Ausführungsbeispiel ist
an einer ersten Stützfläche 11 eines Kammerdeckels 1 einer
Vakuumbeschichtungsanlage ein Endblock befestigt. Der Endblock hat
ein Gehäuse 2 mit einer Anschlussöffnung 21 und
einer Lageröffnung 23, die senkrecht, d. h. unter
einem Winkel von 90° zueinander ausgerichtet sind. Zwischen der
ersten Befestigungsfläche 22 des Gehäuses 2 und
der ersten Stützfläche 11 des Kammerdeckels 1 ist
ein Isolatorelement 24 zur elektrischen Isolation zwischen
Gehäuse 2 und Kammerdeckel 1 angeordnet.
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In
der Lageröffnung 23 des Gehäuses 2 ist ein
Trägerbauteil 3 mit fluiddichten Dichtungselementen 32 gelagert.
Im Innern des Trägerbauteils 3 verlaufen Leitungsabschnitte 36 von
Kühlmittelleitungen. Außerdem weist das Trägerbauteil 3 ein
Wellenlager 31 auf, in dem mit Kugellagern 33 und
Dichtungselementen 34 eine im Ausführungsbeispiel
als Hohlwelle ausgeführte Welle 4 so gelagert
ist, dass der daran befindliche Flansch 41 außerhalb
des Gehäuses 2 angeordnet ist, so dass am Flansch 41 ein (hier
nicht dargestelltes) Targetrohr angebracht werden kann.
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Im
Innern der Welle 4 ist ein mit dem Trägerbauteil 3 einstückig
ausgebildetes, im Ausführungsbeispiel als Hohlzapfen ausgeführtes
Stützmittel 35 angeordnet, an dem ein Magnetsystem
so angebracht werden kann, dass es innerhalb des mit der Welle 4 verbundenen
Targetrohrs angeordnet ist.
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Mit
der zweiten Stützfläche 12 des Kammerdeckels 1 ist
ein Anschlussbauteil 5 über ein Isolationselement 54 verbunden,
welches in seinem Innern ebenfalls Leitungsabschnitte 55 von
Kühlmittelleitungen aufweist. Dazu ist m Anschlussbauteil 5 ein Flansch 52 mit
einer zweiten Befestigungsfläche 53 angeordnet.
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Außerhalb
des Gehäuses 2 und auf der entgegengesetzten Seite
des Kammerdeckels 1 sind am Anschlussbauteil 5 zwei
Kühlmittelanschlüsse 51 angeordnet, an
die externe Kühlmittelleitungen anschließbar sind.
Außerdem ist ebenfalls an dieser Seite des Anschlussbauteils 5 ein
Elektroanschluss 58 vorgesehen. Da das Anschlussbauteil 5 aus
einem elektrisch leitenden Material gefertigt ist, wird das an den
Kühlmittelanschlüssen 51 in das Anschlussbauteil 5 einströmende
Kühlmittel auf das benötigte elektrische Potenzial
gebracht.
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Das
Anschlussbauteil 5 und das Trägerbauteil 3 weisen
komplementär geformte Steckverbinder 56, 37 auf,
die gegeneinander durch Dichtungselemente 57 abgedichtet
sind. In dieser durch die Steckverbinder 56, 37 gebildeten
Steckverbindung sind die im Anschlussbauteil 5 und im Trägerbauteil 3 verlaufenden
Leitungsabschnitte 55, 36 der Kühlmittelleitungen
miteinander verbunden, wobei die Leitungsabschnitte 55, 36 parallel
zur Betätigungsrichtung der Steckverbindung verlaufen.
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Bei
der hier dargestellten Ausführungsform ragt der Steckverbinder 37 des
Trägerbauteils 3 über die Befestigungsfläche 22 des
Gehäuses 2 aus der Anschlussöffnung 21 heraus.
Das Anschlussbauteil 5 ist so am Kammerdeckel 1 angeordnet,
dass die Kühlmittelanschlüsse 51 außerhalb
der Vakuumkammer angeordnet sind.
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In 2 ist
ein weiteres Ausführungsbeispiel dargestellt, das mit dem
in 1 dargestellten weitgehend überein stimmt.
Allerdings ragt in diesem Ausführungsbeispiel das Anschlussbauteil 5 durch eine Öffnung
im Kammerdeckel 1 und durch die Anschlussöffnung 21 hindurch
in das Gehäuse 2 hinein. Dadurch sind die durch
die Steckverbinder 37, 56 von Anschlussbauteil 5 und
Trägerbauteil 3 gebildete Steckverbindung sowie
die Kühlmittelanschlüsse 51 und der Elektroanschluss 58 im
Innern des Gehäuses 2 angeordnet.
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Die 3 bis 5 zeigen
ein drittes Ausführungsbeispiel eines Versorgungsendblocks
in zwei Schnittdarstellungen sowie die Montage und Demontage dieses
Endblocks. Dabei ist zwischen dem Trägerbauteil 3 und
dem Anschlussbauteil 5 ein Zusatzbauteil 7 mit
einem Steckverbinder 72 angeordnet. Der Steckverbinder 72 ist
komplementär zum Steckverbinder 56 des Anschlussbauteils 5 ausgebildet.
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Mit
dem Trägerbauteil 3 ist das Zusatzbauteil 7 fest
verbunden, wobei die Leitungsabschnitte 71 im Zusatzbauteil 7 und
die Leitungsabschnitte 36 im Trägerbauteil 3 parallel
zur Betätigungsrichtung der Steckverbindung verlaufen.
Hingegen verlaufen die Leitungsabschnitte 71 des Zusatzbauteils 7 und
die Leitungsabschnitte 55 des Anschlussbauteils 5 im Bereich
der Schnittstelle zwischen den Steckverbindern 72, 56 quer
zur Betätigungsrichtung der Steckverbindung, so dass der
Druck des Kühlmittels die Steckverbindung nicht auseinanderdrücken
kann.
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Zusätzlich
sind im Anschlussbauteil 5, im Zusatzbauteil 7 und
im Trägerbauteil 3 Leitungsabschnitte 59, 74, 38 von
Leckageleitungen angeordnet, die an der Oberseite des Anschlussbauteils 5 münden,
so dass während des Betriebs ungewollt austretendes Kühlmittel
abgesaugt werden kann. Eine dieser Leckageleitungen ist zentral
so angeordnet, dass sie durch das Anschlussbauteil 5 in
die Steckverbindung zwischen Anschlussbauteil 5 und Zusatzbauteil 7 reicht.
Zwei weitere Leckageleitungen sind so angeordnet, dass sie durch
das Anschlussbauteil 5, das Zusatzbauteil 7 und
das Trägerbauteil 3 bis in den Bereich der Welle 4 reichen.
Die Leitungsabschnitte 59, 74 dieser beiden Leckageleitungen
im Bereich der Schnittstelle zwischen den Steckverbindern 72, 56 quer
zur Betätigungsrichtung der Steckverbindung angeordnet.
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Das
Anschlussbauteil 5 ist im Lagersitz 63 einer Befestigungseinrichtung 6 beweglich
gelagert. Dieser Lagersitz ist durch ein Isolationselement 62 gebildet,
das die zweite Befestigungsfläche 53, die vom
Flansch 52 des Anschlussbauteils 5 gebildet ist, umschließt.
Die Befestigungseinrichtung 6 ist mit einer dritten Befestigungsfläche 61 an
der zweiten Stützfläche 12 des Kammerdeckels 1 angebracht.
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Die
Demontage des Endblocks erfolgt, indem das Gehäuse 2 vom
Isolatorelement 24 gelöst und anschließend
in der Betätigungsrichtung der Steckverbindung abgezogen
wird, wobei sich die Steckverbinder 56, 72 von
Anschlussbauteil 5 und Zusatzbauteil 7 lösen.
Das Zusatzbauteil 7 bleibt mit dem Trägerbauteil 3 fest
verbunden; die Kühlmittelanschlüsse 51 können
mit den externen Kühlmittelleitungen verbunden bleiben.
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Bezugszeichenliste
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- 1
- Kammerdeckel
- 11
- erste
Stützfläche
- 12
- zweite
Stützfläche
- 2
- Gehäuse
- 21
- Anschlussöffnung
- 22
- erste
Befestigungsfläche
- 23
- Lageröffnung
- 24
- Isolationselement
- 3
- Trägerbauteil
- 31
- Wellenlager
- 32
- Dichtungselement
- 33
- Kugellager
- 34
- Dichtungselement
- 35
- Stützmittel
- 36
- Leitungsabschnitt
der Kühlmittelleitung
- 37
- Steckverbinder
- 38
- Leitungsabschnitt
der Leckageleitung
- 4
- Welle
- 41
- Flansch
- 5
- Anschlussbauteil
- 51
- Kühlmittelanschluss
- 52
- Flansch
- 53
- zweite
Befestigungsfläche
- 54
- Isolationselement
- 55
- Leitungsabschnitt
der Kühlmittelleitung
- 56
- Steckverbinder
- 57
- Dichtungselement
- 58
- Elektroanschluss
- 59
- Leitungsabschnitt
der Leckageleitung
- 6
- Befestigungseinrichtung
- 61
- dritte
Befestigungsfläche
- 62
- Isolationselement
- 63
- Lagersitz
- 7
- Zusatzbauteil
- 71
- Leitungsabschnitt
der Kühlmittelleitung
- 72
- Steckverbinder
- 73
- Dichtungselement
- 74
- Leitungsabschnitt
der Leckageleitung
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ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG
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-
Zitierte Patentliteratur
-
- - US 4356073 [0002]
- - US 4443318 [0002]
- - DE 102007049735 A1 [0006]
- - EP 1365436 A2 [0007]