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DE102009025147B3 - Method for operating a spectrometer for gas analysis, and spectrometer itself - Google Patents

Method for operating a spectrometer for gas analysis, and spectrometer itself Download PDF

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DE102009025147B3
DE102009025147B3 DE200910025147 DE102009025147A DE102009025147B3 DE 102009025147 B3 DE102009025147 B3 DE 102009025147B3 DE 200910025147 DE200910025147 DE 200910025147 DE 102009025147 A DE102009025147 A DE 102009025147A DE 102009025147 B3 DE102009025147 B3 DE 102009025147B3
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cuvette
spectrometer
gas
measuring
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Carsten Dr. Rathke
Stefan Dr. Bleil
Dominik Högenauer
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ABB AG Germany
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Abstract

Die vorliegende Erfindung betrifft ein Verfahren zum Betrieb eines Spektrometers zur Gasanalyse, sowie Spektrometer selbst, gemäß Oberbegriff der Patentansprüche 1 und 10. Um hierbei eine gleichzeitige, schnelle Spurenmessung mehrerer Gaskomponenten im Probengas zu ermöglichen ist erfindungsgemäß vorgeschlagen, dass zwei oder mehrere unterschiedliche oder gleiche optische Spektrometrieverfahren zeitgleich oder wechselweise betrieben werden, derart, dass diese mindestens ein optisches oder optoelektronisches Bauteil gemeinsam beaufschlagen.The present invention relates to a method for operating a spectrometer for gas analysis, as well as spectrometer itself, according to the preamble of claims 1 and 10. In order to allow simultaneous, rapid tracking of several gas components in the sample gas according to the invention proposed that two or more different or the same optical Spectrometry be operated simultaneously or alternately, such that they act on at least one optical or optoelectronic device together.

Description

Die vorliegende Erfindung betrifft Verfahren zum Betrieb eines Spektrometers zur Gasanalyse, sowie Spektrometer selbst, gemäß Oberbegriff der Patentansprüche 1 und 15.The The present invention relates to methods of operating a spectrometer for gas analysis, and spectrometer itself, according to the preamble of claims 1 and 15th

Zur Gasanalyse werden vielfach und zuverlässig optische Verfahren eingesetzt, bei denen Licht einer Strahlungsquelle durch eine mit einem Gasgemisch mit Messgas durchströmte Küvette durchgeleitet wird. Entlang dieser Durchstrahlungsstrecke werden bestimmte spezifische gaskomponentenabhängige Absorptionen bewirkt. Diese wiederum werden mit einem Deteketor erfasst, so dass aus dem Maß der Absorption bestimmter Wellenlängen auf das spezifische Messgas und die Konzentration der jeweiligen Messgaskomponente geschlossen werden kann. Bekannte Verfahren hierzu sind die non-dispersive-ultraviolet-spectroscopy, kurz NDUV genannt, non-dispersive-infrared-spectroscopy, kurz NDIR genannt, sowie bspw auch die Laserabsorptionsspektroskopie (TDLAS = tunable diode laser absorption spectroscopy). Darüber hinaus gibt es weitere Verfahren.to Gas analysis are widely and reliably used optical methods, in which light from a radiation source through one with a gas mixture perfused with sample gas cuvette is passed through. Along this transmission line will be certain specific gas component dependent absorptions causes. These in turn are recorded with a detecetor, so that from the Measure of Absorption of certain wavelengths on the specific sample gas and the concentration of each Sample gas component can be closed. Known method for this are the non-dispersive ultraviolet spectroscopy, NDUV for short, non-dispersive-infrared-spectroscopy, NDIR for short, as well as, for example, laser absorption spectroscopy (TDLAS = tunable diode laser absorption spectroscopy). Furthermore there are more procedures.

Für bestimmte Spurenmessungen in Messgasen muss die Spektroskopieeinrichtung sensitiv sein, aber es besteht auch die Forderung, unterschiedliche Gaskomponenten zu messen. Ein Umschalten von einer Gaskomponente auf eine andere ist aufwändig, insbesondere wegen der entsprechenden jeweiligen bzw. jeweils neuen Kalibrierung.For certain Trace measurements in measuring gases, the spectroscopy device must be sensitive, but there is also a demand for different gas components to eat. A switch from one gas component to another is consuming, especially because of the respective respective respectively new ones Calibration.

Aus der US 4,798,464 ist ein Spekrometer bekannt, mit welchem Scanverfahren durchgeführt werden können. Doch auch hier ist nur ein Detektor vorgesehen, so dass auch lediglich nur eine Messmethode durchgeführt werden kann.From the US 4,798,464 a spectrometer is known with which scanning methods can be performed. But here, too, only one detector is provided so that only one measurement method can be performed.

Aus diesem Grund ist es notwendig entweder mehrere Gaskomponenten gleichzeitig zu messen oder sehr schnell zwischen diesen umschalten zu können.Out For this reason, it is necessary to either have multiple gas components simultaneously to measure or switch between them very quickly.

Es ist daher die Aufgabe der vorliegenden Erfindung, ein Verfahren sowie eine Einrichtung dahingehend zu verbessern, dass eine gleichzeitige, schnelle Spurenmessung mehrerer Gaskomponenten im Probengas erfolgen kann.It is therefore the object of the present invention, a method and to improve a device such that a simultaneous, fast Trace measurement of multiple gas components in the sample gas can be done.

Die gestellte Aufgabe ist im Hinblick auf ein Verfahren der gattungsgemäßen Art erfindungsgemäß durch die kennzeichnenden Merkmale des Anspruches 1 gelöst.The Asked object is in view of a method of the generic type according to the invention the characterizing features of claim 1 solved.

Weitere vorteilhafte Ausgestaltungen sind in den abhängigen Ansprüchen 2 bis 14 angegeben.Further advantageous embodiments are in the dependent claims 2 to 14 indicated.

Im Hinblick auf eine Einrichtung der gattungsgemäßen Art ist die gestellte Aufgabe erfindungsgemäß durch die kennzeichnenden Merkmale des Anspruches 15 gelöst.in the With regard to a device of the generic type is the task according to the invention the characterizing features of claim 15 solved.

Vorteilhafte Ausgestaltungen der Einrichtung sind in den übrigen Ansprüchen angegeben.advantageous Embodiments of the device are specified in the remaining claims.

Kern der verfahrensgemäßen Erfindung ist es, dass zwei oder mehrere unterschiedliche oder gleiche optische Spektrometrieverfahren zeitgleich oder wechselweise betrieben werden, derart, dass diese mindestens ein optisches oder optoelektronisches Bauteil gemeinsam beaufschlagen.core the inventive method is it that two or more different or the same optical Spectrometry be operated simultaneously or alternately, such that these at least one optical or optoelectronic Apply component together.

Hiermit ist nun die gleichzeitige, schnelle Spurenmessung mehrerer Gaskomponenten, etwa HCl + SO2 + H2O oder NO + NO2 + NH3 möglich. Die nachfolgend noch beschriebenen, vorzugsweise kombinierten Verfahren erfüllen jedes für sich die gestellten Anforderungen an hohe Sensitivität, Selektivität, Stabilität und Messgeschwindigkeit, für bis zu zwei Gaskomponenten aus den genannten Dreiergruppen, jedoch nicht für alle drei Gaskomponenten. Der Grund hierfür liegt in der geringen Absorptionsstärke bestimmter Gasmoleküle in dem Spektralbereich der von der jeweiligen Lichtquelle (z. B. UV-VIS-Lampe bzw. NIR-Laserdiode) abgegebenen elektromagnetischen Strahlung. Um diese Gasmoleküle detektieren zu können, ist es erforderlich extrem lange Wege mit Licht zu durchstrahlen. Dieses gelingt nur durch die Integration von optischen Langwegzellen in den Gasanalysator, z. B. vom Typ „White”, „Herriott” oder „Integrated Cavity Output Spectroscopy (ICOS)”, was entsprechend aufwendig und kostspielig ist. Andere Gasmoleküle sind wegen fehlender Absorptionsübergänge in dem zur Verfügung stehenden Spektralbereich überhaupt nicht detektierbar.Herewith is now the simultaneous, fast trace measurement of several gas components, about HCl + SO2 + H2O or NO + NO2 + NH3 possible. The following described, preferably combined methods meet each for themselves the requirements for high sensitivity, selectivity, stability and measuring speed, for until to two gas components from the mentioned groups of three, but not for all three gas components. The reason for this lies in the low absorption strength of certain gas molecules in the spectral range from that of the respective light source (eg UV-VIS lamp or NIR laser diode) emitted electromagnetic radiation. To these gas molecules to be able to detect It is necessary to radiate extremely long distances with light. This succeeds only through the integration of long-range optical cells in the gas analyzer, z. B. "White", "Herriott" or "Integrated Cavity Output Spectroscopy (ICOS) " which is correspondingly expensive and expensive. Other gas molecules are because of lack of absorption transitions in the to disposal standing spectral range at all not detectable.

Bei TDLAS-Gasanalysatoren ist z. B. die Empfindlichkeit für die Gase NO und NO2 sehr gering. Nachweisgrenzen liegen für NO typischerweise bei 1000 ppb bei 1 m optischer Weglänge, für NO2 bei 340 ppb bei 1 m optischer Weglänge. SO2 ist im Spektralbereich von Laserdioden (NIR bis max. 3000 nm) sogar gar nicht nachweisbar. Andere Moleküle, wie z. B. NH3, HCl und H2O sind mit diesem Messverfahren dagegen besonders empfindlich messbar.at TDLAS gas analyzers is z. B. the sensitivity to the gases NO and NO2 very low. Detection limits are typically 1000 for NO ppb at 1 m optical path length, for NO2 at 340 ppb at 1 m optical path length. SO2 is in the spectral range of laser diodes (NIR up to 3000 nm) even undetectable. Other molecules, such as. NH3, HCl and H2O are particularly sensitive to this measurement method measurable.

Demgegenüber bietet die UV-VIS-GFC und -IFC-Fotometrie deutlich niedrigere Nachweisgrenzen für NO und NO2, nämlich ca. 20 ppb bei 1 m optischer Weglänge. Ebenso empfindlich ist SO2 messbar. NH3 ist dagegen wegen großer Querempfindlichkeitsprobleme im UV-Bereich nur eingeschränkt messbar. HCl und H2O zeigen im UV-VIS keine Absorptionen und sind daher dort nicht messbar.On the other hand offers the UV-VIS GFC and IFC photometry significantly lower detection limits for NO and NO2, namely about 20 ppb at 1 m optical path length. Equally sensitive SO2 measurable. NH3 is, however, because of large cross-sensitivity problems only limited measurable in the UV range. HCl and H2O show no absorption in the UV-VIS and are therefore there not measurable.

Somit ist die erfindungsgemäße verfahrensmäßige und einrichtungsmäßige Kombination optimal.Thus, the procedural and device combination according to the invention is opti times.

Hierbei ist vorteilhaft ausgestaltet, dass die Messverfahren mindestens ein optisches oder optoelektronisches Bauteil wie Lichtquelle, Linse, Spiegel, Strahlenteiler, Messküvette, Interferenzfilter, Gasfilter und Detektor einzeln oder in Kombination verwenden.in this connection is advantageously configured that the measuring method at least an optical or opto-electronic component such as light source, lens, Mirror, beam splitter, cuvette, Interference filter, gas filter and detector individually or in combination use.

In weiterer vorteilhafter Ausgestaltung ist angegeben, dass die beiden oder mehrere mit einer gemeinsamen Messküvettenanordnung arbeitenden Messverfahren mit einer Laserlichtquelle und einem entsprechenden Laserlichtdetektor einerseits, und einer UV-Lichtquelle und einem UV-Lichtdetektor anderseits arbeiten. Auf diese Weise können sogar zwei sehr verschiedene Messmethoden gleichzeitig eingesetzt werden.In Another advantageous embodiment is indicated that the two or several measuring methods working with a common measuring cuvette arrangement with a laser light source and a corresponding laser light detector on the one hand, and a UV light source and a UV light detector on the other hand work. In this way, even two very different Measurement methods are used simultaneously.

Weiterhin ist ausgestaltet, dass die beiden oder mehrere Messverfahren mit einer Laserlichtquelle und einem entsprechenden Laserlichtdetektor einerseits, und einer Infrarot-Lichtquelle und einem Infrarot-Lichtdetektor andererseits arbeiten.Farther is designed that using two or more measurement methods a laser light source and a corresponding laser light detector on the one hand, and an infrared light source and an infrared light detector on the other hand work.

Auch kann vorgesehen werden, dass die beiden oder mehrere Messverfahren mit einer Laserlichtquelle und einem entsprechenden Laserlichtdetektor einerseits, und einen Quantenkaskadenlaser und einem QCL-Detektor anderseits arbeiten.Also can be provided that the two or more measuring methods with a laser light source and a corresponding laser light detector on the one hand, and a quantum cascade laser and a QCL detector on the other hand work.

In weiterer vorteilhafter Ausgestaltung ist angegeben, dass zumindest die Kalibration beider oder mehrerer Licht-/Signalstrecken über ein gemeinsames drehbares, mit verschiedenen Kalibrationsküvetten versehenes Kalibrationsrad erfolgt. So können die Kalibrierküvetten zweier völlig verschiedener Messaufbauten sogar in einem gemeinsamen Kalibrations- oder Küvettenrad angeordnet werden. Damit ist die Summe der benötigten Teile für die erfindungsgemäße Messanordnung kleiner als die Summe der benötigten Teile der beiden Messanordnungen. D. h. in erfindungsgemäßer Weise nutzen die parallel arrangierten Messanordnungen dieselbe Messküvette und dasselbe Kalibrationsrad. Dies ist neben der messtechnischen Funktionalität ein erheblicher konstruktiver Vorteil.In Another advantageous embodiment is specified that at least the calibration of both or several light / signal paths over one common rotatable, provided with different calibration cuvettes Calibration wheel is done. So can the calibration cells two completely different measurement setups even in a common calibration or cuvette wheel to be ordered. Thus, the sum of the required parts for the measuring arrangement according to the invention less than the sum of the needed Parts of the two measuring arrangements. Ie. in accordance with the invention the parallel arranged measuring arrangements use the same measuring cuvette and the same calibration wheel. This is in addition to the metrological functionality a considerable constructive advantage.

Weiterhin ist vorgeschlagen, dass in den Messverfahren mindestens ein oder mehrere Detektoren zur Aufnahme von Referenzsignalen der Lichtquellen angeordnet sind.Farther It is proposed that at least one or several detectors for receiving reference signals of the light sources are arranged.

In weiterer vorteilhafter Ausgestaltung ist daher angegeben, dass die Kalibrationsküvetten auf dem Kalibrationsrad derart verteilt angeordnet werden, dass die jeweiligen für den UV-Licht-Strahlengang und den Laserlicht-Strahlengang wirksame Küvetten jeweils diametral gegenüberliegend angeordnet sind.In further advantageous embodiment is therefore stated that the Kalibrationsküvetten be arranged distributed on the Kalibrationsrad such that the respective ones for the UV light beam path and the laser light beam path effective cuvettes diametrically opposite each other are arranged.

Ferner ist weiter ausgestaltet, dass die Auswertung beider Signale in einer gemeinsamen Auswerteeinrichtung für jeweils unterschiedliche Gaskomponenten erfolgt. Somit ist für zwei mehr unabhängige Messmethoden auch nur eine Auswerteinrichtung vorzusehen.Further is further configured that the evaluation of both signals in one common evaluation device for each different Gas components takes place. Thus, for two more independent measurement methods to provide only an evaluation device.

Alternativ kann aber auch vorgesehen werden, dass die Auswertung beider oder mehrerer Signale in einer gemeinsamen Auswerteeinrichtung für jeweils dieselbe Gaskomponente oder dieselben Gaskomponenten erfolgt. So kann dieselbe Gaskomponente mit zwei unabhängigen Methoden gemessen werden.alternative but it can also be provided that the evaluation of both or more Signals in a common evaluation for each the same gas component or components take place. So The same gas component can be measured with two independent methods.

In weiterer vorteilhafter Ausgestaltung ist angegeben, dass zumindest einer der beiden Strahlengänge in gefalteter Anordnung betrieben wird, derart, dass an der der Strahlungsquelle gegenüberliegenden Seite ein entsprechender Reflektor vorgesehen ist. So können effektive Signalwege durch das Messgas erhöht werden um einen optimalen Wirkungsquerschnitt für die Absorption zu erhalten. Dadurch wird die Messgenauigkeit deutlich erhöht.In Another advantageous embodiment is specified that at least one of the two beam paths is operated in a folded arrangement, such that at the Radiation source opposite Side a corresponding reflector is provided. So can be effective Signal paths increased by the sample gas to obtain an optimal absorption absorption cross section. As a result, the measurement accuracy is significantly increased.

In weiterer vorteilhafter Ausgestaltung ist angegeben, dass beide Strahlungsgänge in gefalteter Anordnung betrieben werden, derart, dass die Detektoren für beide Strahlengänge auf derselben Seite in Bezug auf die Messküvette platziert sind, wie die Strahlungsquellen. Dies führt zu einer erheblichen Kompaktheit.In Another advantageous embodiment is specified that both radiation paths in a folded arrangement be operated, such that the detectors for both beam paths on the same side with respect to the cuvette as the radiation sources. this leads to to a considerable compactness.

Eine vorteilhafte Ausgestaltung besteht darin, dass die beiden oder mehrere Strahlengänge die Messküvette in der Art durchlaufen, dass die Strahlenquellen und der Detektor oder die Detektoren an unterscheidlichen Seiten angeordnet sind.A advantageous embodiment is that the two or more beam paths the cuvette go through in the way that the radiation sources and the detector or the detectors are arranged on different sides.

Im Hinblick auf ein Spektrometer zur Gasanalyse besteht der Kern der Erfindung darin, dass zwei oder mehr optische Spektrometer mit einer gemeinsamen von Messgas durchströmten Messküvette kombiniert sind, derart dass zwei oder mehr Strahlungsquellen und ein oder mehrere Detektoren jeweils nebeneinander angeordnet sind und dass zwei oder mehrere optische Absorptionstrecken durch die eine gemeinsame, mit dem zu analysierenen Messgas durchströmte Küvette oder Küvettenanordnung verlaufen.in the With regard to a spectrometer for gas analysis is the core of Invention in that two or more optical spectrometers with a common flowed through by measuring gas cuvette are combined, such that two or more radiation sources and one or more detectors are each arranged side by side and that two or more optical absorption paths through the one common cuvette through which the gas to be analyzed flows or Cuvette arrangement run.

Hierzu ist vorteilhaft ausgestaltet, dass die beiden oder mehere Spektrometer in einer zusammenhängenden Messeinrichtung angeordnet sind und mit einer gemeinsamen elektronischen Auswerteeinrichtung versehen sind, die die Messwerte der Spektrometer auswertet.For this is advantageously designed that the two or more spectrometers in a coherent way Measuring device are arranged and with a common electronic Evaluation device are provided, which are the measured values of the spectrometer evaluates.

Weiterhin vorteilhaft ist es, dass für beide oder mehrere Spektrometer ein gemeinsames Kalibrationsrad vorgesehen ist, in welchem Kalibrierküvetten für sowohl den Strahlengang des einen Spektrometers, als auch für den Strahlengang des anderen Spektrometers integriert sind.It is also advantageous that for both or more spectrometers a common calib rationsrad is provided in which calibration cuvettes are integrated for both the beam path of a spectrometer, as well as for the beam path of the other spectrometer.

Ein Ausführungsbeispiel der Erfindung ist in der Zeichnung dargestellt und nachfolgend näher erläutert.One embodiment The invention is illustrated in the drawing and explained in more detail below.

Es zeigt:It shows:

1: Multikomponenten-Gasanalysator, direkter optischer Weg mit Trennung von Strahlungsquellen und Empfängern. 1 : Multicomponent gas analyzer, direct optical path with separation of radiation sources and receivers.

2: Alternative Multikomponenten-Gasanalysator mit gefaltetem optischem Weg und kompakter Anordnung von Strahlungsquellen und Empfängern. 2 : Alternative multicomponent gas analyzer with folded optical path and compact arrangement of radiation sources and receivers.

3: Alternative Multikomponenten-Gasanalysator mit direktem optischen Weg und kompakter Anordnung von Strahlungsquellen und Empfängern. 3 : Alternative multicomponent gas analyzer with direct optical path and compact arrangement of radiation sources and receivers.

4: Multikomponenten-Gasanalysator, mit kombiniertem kurzen und langem optischen Weg 4 : Multi-component gas analyzer, with combined short and long optical path

Da die TDLAS und die UV-VIS-GFC- und -IFC-Fotometrie unterschiedliche Vorteile bieten, ist hier erfindungsgemäß vorgeschlagen beide Messverfahren zu kombinieren. Aufgrund der geringen Größe der Laser- und Detektormodule des TDLAS-Analysators und dem Fehlen beweglicher Teile lässt sich dieser Analysator gut baulich mit dem durch die beweglichen Filterräder mechanisch aufwendigeren Fotometer verbinden.There the TDLAS and the UV-VIS GFC and IFC photometry different To offer advantages is proposed here according to the invention both measuring methods to combine. Due to the small size of the laser and detector modules TDLAS analyzer and the absence of moving parts This analyzer works well with the mechanical filter wheels connect more complex photometer.

Als weitere Besonderheit ist hier auch die gemeinsame Nutzung des „Kalibrierrads” mit eingebauten gasgefüllten Justierzellen durch den TDLAS und das UV-VIS-GFC- und -IFC-Fotometer zu nennen. Die Justierzellen dienen beim Fotometer zur Nachjustierung der Empfindlichkeit und beim TDLAS zur Nachjustierung der Emissionswellenlänge des Diodenlasers z. B. über die Betriebstemperatur der Diode.When Another special feature here is the common use of the "calibration wheel" with built-in gas-filled Calibration cells through the TDLAS and the UV-VIS GFC and IFC photometer to call. The adjustment cells are used for the photometer for readjustment the sensitivity and the TDLAS for readjustment of the emission wavelength of the Diode laser z. B. over the operating temperature of the diode.

Alternative Ausgestaltungen dieser Erfindung könnten durch folgende Varianten entstehen:

  • • Einsatz eines Quantenkaskadenlasers an der Stelle des Diodenlasers in dem Laseranalysator und/oder
  • • Nutzung des IR-Spektralbereichs an der Stelle des UV-VIS-Spektralbereichs im GFC-/IFC-Fotometer.
Alternative embodiments of this invention could arise from the following variants:
  • Use of a quantum cascade laser at the location of the diode laser in the laser analyzer and / or
  • • Use of the IR spectral range at the location of the UV-VIS spectral range in the GFC / IFC photometer.

1 zeigt einen erfindungsgemäßen Multikomponenten-Gasanalysator mit einem einfachen optischen Weg. Dabei ist eine UV-Strahlungsquelle 2 neben einer Laserlichtquelle angeordnet, derart, dass die Strahlengänge gleichsam die Messstrecke durchlaufen. Der Ausgangslichtstrahl der UV-Strahlungsquelle 2 trifft auf einen Strahlteiler 5 der einen Teilstrahl hindurch lässt, und den anderen Teilstrahl ablenkt zu einem Referenz-Detektor 6. Der austretende Teilstrahl durchstrahlt die Messküvette 1, durch die Messgas hindurch geleitet wird. Entlang der Strecke durch die Messküvette 1 findet eine gaskomponenten-spezifische und konzentrationsabhängige Absorption des UV-Lichtes statt. Nachfolgend trifft der UV-Lichtstrahl auf einen Detektor 8. Dieser ermittelt sodann die sogenannte gasspezifische Absorption. Zwischen Messküvette 1 und Detektor 8 ist ein drehbares Kalibrierrad 7 mit einer Mehrzahl von Kalibrierküvetten angeordnet. Zwischen UV-Lichtquelle 2 und Strahlenteiler 5 ist ein Filterrad 4 mit einer Mehrzahl von Filtern drehbar angeordnet. Parallel zur UV-Lichtquelle 2 befindet sich eine Laserlichtquelle 3, deren Lichtstrahl gleichsam in die Messküvette 1 eintritt. Hinter der Küvette ist für das TDL-Signal ein entsprechender Detektor 9 angeordnet. 1 shows a multi-component gas analyzer according to the invention with a simple optical path. This is a UV radiation source 2 arranged in addition to a laser light source, such that the beam paths through the measuring path as it were. The output light beam of the UV radiation source 2 meets a beam splitter 5 which allows one sub-beam through, and deflects the other sub-beam to a reference detector 6 , The emerging partial beam radiates through the measuring cuvette 1 through which sample gas is passed. Along the route through the cuvette 1 a gas component-specific and concentration-dependent absorption of the UV light takes place. Subsequently, the UV light beam hits a detector 8th , This then determines the so-called gas-specific absorption. Between measuring cuvette 1 and detector 8th is a rotatable calibration wheel 7 arranged with a plurality of calibration cuvettes. Between UV light source 2 and beam splitter 5 is a filter wheel 4 rotatably arranged with a plurality of filters. Parallel to the UV light source 2 there is a laser light source 3 , whose light beam, as it were, into the measuring cuvette 1 entry. Behind the cuvette is a corresponding detector for the TDL signal 9 arranged.

Der Lichtstrahl vor Eintritt in den Detektor 9 ist in Bezug auf die Lage des Kalibrierrades 7 so ausgerichtet, dass sich das Kalibrierrad auch im optischen Weg des Laserlichtstrahls liegt. Auf diese Weise kann das Kalibrierrad gemeinsam sowohl für den UV-Lichtkanal als auch den Laserlichtkanal gemeinsam genutzt werden. Die Verteilung von Laserlicht-Kalibrierküvetten und UV-Licht-Kalibrierküvetten ist dabei so gewählt, dass sinnreiche Kombinationen von Kalibrierküvettenpositionen sowohl für den einen als auch für den anderen Strahlengang erreicht werden.The light beam before entering the detector 9 is in relation to the position of the calibration wheel 7 aligned so that the Kalibrierrad also lies in the optical path of the laser light beam. In this way, the Kalibrierrad can be shared in common for both the UV light channel and the laser light channel. The distribution of laser light calibration cuvettes and UV light calibration cuvettes is chosen so that ingenious combinations of calibration cuvette positions are achieved for both the one and the other beam path.

2 zeigt einen gefalteten Strahlengang, der auf einer Seite der Messküvette mit der Anordnung eines Retroreflektors 10 realisiert wird. Stahlenquellen 2 und 14, und der kombinierte UV- und NIR-Detektor 13 und sind kombiniert auf einer Seite der Anordnung plaziert. Die Faltung entsteht durch die besagte Anordnung eines Umlenkspiegels (Retrospiegels) 10 für beide Strahlengänge. 2 shows a folded beam path on one side of the cuvette with the arrangement of a retroreflector 10 is realized. steel sources 2 and 14 , and the combined UV and NIR detector 13 and are placed in combination on one side of the assembly. The folding is created by the said arrangement of a deflecting mirror (retro-mirror) 10 for both beam paths.

3 zeigt einen einfachen Strahlengang bei dem Strahlenquellen 2 und 14 und Detektoren 8 und 12 räumlich voneinander trennbar oder auch kombinierbar sind. Dabei ist die Messküvette 1 so platziert, dass sie an beiden Enden mit Umlenkspiegeln 11 versehen ist, so dass die Strahlungequellen und die Detektoren wieder auf einer Seite der Anordnung platziert sind. 3 shows a simple beam path in the radiation sources 2 and 14 and detectors 8th and 12 spatially separable or combinable. The measuring cuvette is here 1 placed so that they are at both ends with deflecting mirrors 11 is provided so that the Strahlungequellen and the detectors are placed again on one side of the arrangement.

4 zeigt einen einfachen Strahlengang in Kombination mit einer Vergrößerung der optischen Weglänge in gleichem Messvolumen. Dies wird durch Mehrfachreflexion erreicht. Strahlenquellen und Detektoren sind räumlich voneinander trennbar. Dabei durchläuft der UV-Strahl die Messküvette 1 geradlinig, während die Strahlung der NIR Strahlungsquelle viermal umgelenkt wird, bis sie sie über einen weiteren Umlenkspiegel ausgekoppelt wird auf den Detektor. 4 shows a simple beam path in combination with an increase in the optical path length in the same measurement volume. This is achieved by multiple reflection. Radiation sources and detectors are spatially separable. The UV beam passes through the measuring cuvette 1 straight, while the radiation of the NIR radiation The source is deflected four times until it is coupled out via another deflection mirror on the detector.

11
Messküvettecuvette
22
UV-StrahlungsquelleUV radiation source
33
LaserlichtquelleLaser light source
44
Filterradfilter wheel
55
Strahlenteilerbeamsplitter
66
Referenzdetektorreference detector
77
Kalibrierradcalibration wheel
88th
UV_DetektorUV_Detektor
99
LaserlichtdetektorLaser light detector
1010
Retroreflektorretroreflector
1111
Umlenkspiegeldeflecting
1212
NIR DetektorNIR detector
1313
Kombinierter UV- und NIR-Detektorcombined UV and NIR detector
1414
NIR StrahlungsquelleNIR radiation source

Claims (16)

Verfahren zum Betrieb eines Spektrometers zur Gasanalyse, mit Strahlungsquelle, Detektor, sowie Filterrad und Kalibrationsküvettenrad, bei welchem zwischen Strahlungsquelle und Detektor die vom Messgas durchströmte Absorptionstrecke innerhalb einer Messküvette verläuft, dadurch gekennzeichnet, dass zwei oder mehrere unterschiedliche optische Spektrometrieverfahren zeitgleich oder wechselweise betrieben werden, derart, dass diese mindestens ein optisches oder optoelektronisches Bauteil gemeinsam beaufschlagen, und dass die beiden oder mehrere Messverfahren mit einer Laserlichtquelle und einem entsprechenden Laserlichtdetektor einerseits, und einer UV-Lichtquelle und einem UV-Lichtdetektor anderseits arbeiten.Method for operating a spectrometer for gas analysis, with radiation source, detector, and filter wheel and calibration cuvette wheel, in which between the radiation source and detector the absorption path through which the sample gas flows within a cuvette, characterized in that two or more different optical spectrometry are operated simultaneously or alternately, in such a way that these act together on at least one optical or optoelectronic component, and that the two or more measuring methods work with a laser light source and a corresponding laser light detector on the one hand, and a UV light source and one UV light detector on the other hand. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Messverfahren mindestens ein optisches oder optoelektronisches Bauteil wie Lichtquelle, Linse, Spiegel, Strahlenteiler, Messküvette, Interferenzfilter, Gasfilter und Detektor einzeln oder in Kombination verwenden.Method according to claim 1, characterized in that that the measuring methods at least one optical or optoelectronic Component such as light source, lens, mirror, beam splitter, measuring cuvette, interference filter, Use gas filter and detector individually or in combination. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die beiden oder mehrere Messverfahren mit einer Laserlichtquelle und einem entsprechenden Laserlichtdetektor einerseits, und einer Infrarot-Lichtquelle und einem Infrarot-Lichtdetektor andererseits arbeiten.Method according to claim 1, characterized in that that the two or more measuring methods with a laser light source and a corresponding laser light detector on the one hand, and a Infrared light source and an infrared light detector on the other hand. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die beiden oder mehrere Messverfahren mit einer Laserlichtquelle und einem entsprechenden Laserlichtdetektor einerseits, und einem Quantenkaskadenlaser und einem QCL-Detektor anderseits arbeiten.Method according to claim 1, characterized in that that the two or more measuring methods with a laser light source and a corresponding laser light detector on the one hand, and a quantum cascade laser and a QCL detector, on the other hand. Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass zumindest die Kalibration beider Licht-/Signalstrecken über ein gemeinsames drehbares, mit verschiedenen Kalibrationsküvetten versehenes Kalibrationsrad erfolgt.Method according to claim 1 or 2, characterized that at least the calibration of both light / signal paths over a common rotatable, provided with different calibration cuvettes Calibration wheel is done. Verfahren nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, dass in den Messverfahren mindestens ein oder mehrere Detektoren zur Aufnahme von Referenzsignalen der Lichtquellen angeordnet sind.Method according to claim 2, characterized in that that in the measuring method at least one or more detectors are arranged for receiving reference signals of the light sources. Verfahren nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, dass die Kalibrationsküvetten auf dem Kalibrationsrad derart verteilt angeordnet werden, dass diese für die jeweiligen Spektrometrieverfahren gleichsam verwendet werden.Method according to claim 5, characterized in that that the calibration cuvettes be arranged distributed on the Kalibrationsrad such that these for the respective spectrometric methods are used as it were. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche 1 bis 7, dadurch gekennzeichnet, dass die Auswertung beider oder mehrerer Signale in einer gemeinsamen Auswerteeinrichtung für jeweils unterschiedliche Gaskomponenten erfolgt.Method according to one of the preceding claims 1 to 7, characterized in that the evaluation of two or more Signals in a common evaluation for each different gas components takes place. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche 1 bis 7, dadurch gekennzeichnet, dass die Auswertung beider oder mehrerer Signale in einer gemeinsamen Auswerteeinrichtung für jeweils dieselbe Gaskomponente oder dieselben Gaskomponenten erfolgt.Method according to one of the preceding claims 1 to 7, characterized in that the evaluation of two or more Signals in a common evaluation for each the same gas component or components take place. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die beiden oder mehrere Strahlengänge die Messküvette in der Art durchlaufen, dass die Strahlenquellen und der Detektor oder die Detektoren an unterscheidlichen Seiten angeordnet sind.Method according to one of the preceding claims, characterized characterized in that the two or more beam paths the cuvette go through in the way that the radiation sources and the detector or the detectors are arranged on different sides. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass zumindestens einer der beiden Strahlengänge in gefalteter Anordnung betrieben wird, derart, dass auf der der Strahlungsquelle gegenüberliegenden Seite ein entsprechender Reflektor vorgesehen ist.Method according to one of the preceding claims, characterized characterized in that at least one of the two beam paths in a folded arrangement is operated, such that on the opposite of the radiation source Side a corresponding reflector is provided. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass beide oder mehere Strahlengänge in gefalteter Anordnung betrieben werden, derart, dass die Detektoren und die Strahlungsquellen für beide oder mehrere Strahlengänge auf derselben Seite der Messküvette platziert sind.Method according to one of the preceding claims, characterized characterized in that both or more beam paths operated in a folded arrangement be such that the detectors and the radiation sources for both or multiple beam paths on the same side of the cuvette are placed. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass zumindest einer der beiden Strahlengänge in Mehrfachreflexion betrieben wird, zur Verlängerung der optischen aktiven Weglänge für die Absorption.Method according to one of the preceding claims, characterized characterized in that at least one of the two beam paths in multiple reflection is operated, for extension the optical active path length for the Absorption. Spektrometer zur Gasanalyse, mit Strahlungsquelle, Detektor, sowie Filterrad und Kalibrationsküvettenrad, bei welchem zwischen Strahlungsquelle und Detektor die vom Messgas durchströmte Absorptionsstrecke innerhalb einer Messküvette verläuft, dadurch gekennzeichnet, dass zwei oder mehrere optische Spektrometer mit einer gemeinsamen von Messgas durchströmten Messküvette kombiniert sind, derart dass zwei oder mehrere Strahlungsquellen und zwei oder mehrere Detektoren jeweils nebeneinander angeordnet sind und gleichsam die Absorptionsstrecke mit dem zu analysierenden Messgas durchströmte Küvette oder Küvettenanordnung durchlaufen, dass das Spektrometer mit einer Laserlichtquelle und einem entsprechenden Laserlichtdetektor einerseits, und einer UV-Lichtquelle und einem UV-Lichtdetektor versehen ist.Spectrometer for gas analysis, with radiation source, detector, filter wheel and calibrator onsküvettenrad, in which between the radiation source and detector, the flowed through by the measurement gas absorption path runs within a cuvette, characterized in that two or more optical spectrometers are combined with a common measuring cuvette flowed through by measuring gas, such that two or more radiation sources and two or more detectors each side by side are arranged and, as it runs through the absorption path with the sample gas to be analyzed flowed cuvette or cuvette arrangement that the spectrometer is provided with a laser light source and a corresponding laser light detector on the one hand, and a UV light source and a UV light detector. Spektrometer nach Anspruch 14, dadurch gekennzeichnet, dass die beiden oder mehrere Spektrometer in einer zusammenhängenden Messeinrichtung angeordnet sind und mit einer gemeinsamen elektronischen Auswerteeinrichtung versehen sind, die die Messwerte beider oder mehrerer Spektrometer auswertet.Spectrometer according to claim 14, characterized that the two or more spectrometers in a coherent Measuring device are arranged and with a common electronic Evaluation are provided, the measured values of both or evaluates several spectrometers. Spektrometer nach Anspruch 14 oder 15, dadurch gekennzeichnet, dass für beide oder mehrere Spektrometer ein gemeinsames Kalibrationsrad vorgesehen ist, in welchem Kalibrierküvetten für sowohl den Strahlengang des einen Spektrometers, als auch für den Strahlengang des anderen oder der anderen Spektrometer integriert sind.Spectrometer according to claim 14 or 15, characterized that for both or more spectrometers share a common calibration wheel is provided, in which calibration cuvettes for both the beam path of the a spectrometer, as well as for the beam path of the other or the other spectrometer integrated are.
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Cited By (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102010056137A1 (en) * 2010-12-23 2012-06-28 Abb Ag Optical gas analyzer device with means for calibrating the frequency spectrum
DE102012000038A1 (en) 2012-01-03 2013-07-04 Humboldt-Universität Zu Berlin laser device
DE102014000651B3 (en) * 2014-01-17 2015-05-13 Gottfried Wilhelm Leibniz Universität Hannover Device for determining a concentration of a chemical substance
EP3163291A1 (en) * 2016-12-02 2017-05-03 Sick Ag Measuring instrument for the determination of concentrations of several gas components
WO2017076656A1 (en) * 2015-11-05 2017-05-11 Robert Bosch Gmbh Exhaust gas sensor and method for operating an exhaust gas sensor for a vehicle
EP3321658A1 (en) * 2016-11-09 2018-05-16 Sick Ag Two-channel measuring device
DE102018102059A1 (en) 2018-01-30 2019-08-01 Gottfried Wilhelm Leibniz Universität Hannover Method and device for determining a concentration
EP2944944B1 (en) * 2014-05-12 2021-10-20 General Electric Company Gas detector and method of detection

Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102621063B (en) * 2012-03-05 2013-11-13 哈尔滨工业大学 Small-size oxygen measuring device based on porous material gas cell
CN104237126B (en) * 2014-09-09 2017-03-01 中国科学院电工研究所 A kind of optoacoustic spectroscopy detection means of employing axial multilayer optical filter dish structure
EP3561487B1 (en) 2018-04-25 2023-01-18 ABB Schweiz AG Measuring device for analysis of a composition of a combustible gas with a filter chamber arranged in front of a detector

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4798464A (en) * 1985-02-21 1989-01-17 The Perkin-Elmer Corporation Scanning array spectrophotometer
DE4115425C1 (en) * 1991-05-10 1992-08-27 Hartmann & Braun Ag, 6000 Frankfurt, De
DE102006056867A1 (en) * 2006-12-01 2008-06-12 Deutsche Institute für Textil- und Faserforschung Denkendorf (DITF) Institut für Textilchemie und Chemiefasern (ITCF) Sensor for determining concentration of materials contained in fluid or gaseous medium, has measuring head comprises comprise of transmitter unit emitting transmission light beams and receiver unit has semiconductor receiver element

Family Cites Families (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE3822946A1 (en) * 1988-07-07 1990-01-11 Bodenseewerk Geraetetech MULTI-COMPONENTS - PHOTOMETER
US6396056B1 (en) * 1999-07-08 2002-05-28 Air Instruments And Measurements, Inc. Gas detectors and gas analyzers utilizing spectral absorption
WO2003019160A2 (en) * 2001-08-21 2003-03-06 Spx Corporation Open path emission sensing system
DE10205525B4 (en) * 2002-04-04 2009-06-25 Gunther Prof. Dr.-Ing. Krieg Carbon dioxide purity control method and apparatus for beverage industry applications

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4798464A (en) * 1985-02-21 1989-01-17 The Perkin-Elmer Corporation Scanning array spectrophotometer
DE4115425C1 (en) * 1991-05-10 1992-08-27 Hartmann & Braun Ag, 6000 Frankfurt, De
DE102006056867A1 (en) * 2006-12-01 2008-06-12 Deutsche Institute für Textil- und Faserforschung Denkendorf (DITF) Institut für Textilchemie und Chemiefasern (ITCF) Sensor for determining concentration of materials contained in fluid or gaseous medium, has measuring head comprises comprise of transmitter unit emitting transmission light beams and receiver unit has semiconductor receiver element

Cited By (16)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20130276509A1 (en) * 2010-12-23 2013-10-24 Abb Ag Optical gas analyzer device having means for calibrating the frequency spectrum
DE102010056137B4 (en) * 2010-12-23 2014-03-27 Abb Ag Optical gas analyzer device with means for calibrating the frequency spectrum
US9448215B2 (en) * 2010-12-23 2016-09-20 Abb Ag Optical gas analyzer device having means for calibrating the frequency spectrum
DE102010056137A1 (en) * 2010-12-23 2012-06-28 Abb Ag Optical gas analyzer device with means for calibrating the frequency spectrum
DE102012000038A1 (en) 2012-01-03 2013-07-04 Humboldt-Universität Zu Berlin laser device
WO2013102541A1 (en) 2012-01-03 2013-07-11 Humboldt-Universität Zu Berlin Tunable semiconductor laser having an external grating and replaceable laser diode
DE102014000651B3 (en) * 2014-01-17 2015-05-13 Gottfried Wilhelm Leibniz Universität Hannover Device for determining a concentration of a chemical substance
WO2015106969A1 (en) 2014-01-17 2015-07-23 Gottfried Wilhelm Leibniz Universität Hannover Device for determining a concentration of a chemical substance
US10247665B2 (en) 2014-01-17 2019-04-02 Gottfried Wilhelm Leibniz Universitaet Hannover Device for determining a concentration of a chemical substance
EP2944944B1 (en) * 2014-05-12 2021-10-20 General Electric Company Gas detector and method of detection
WO2017076656A1 (en) * 2015-11-05 2017-05-11 Robert Bosch Gmbh Exhaust gas sensor and method for operating an exhaust gas sensor for a vehicle
EP3321658A1 (en) * 2016-11-09 2018-05-16 Sick Ag Two-channel measuring device
EP3163291A1 (en) * 2016-12-02 2017-05-03 Sick Ag Measuring instrument for the determination of concentrations of several gas components
WO2019149776A1 (en) 2018-01-30 2019-08-08 Gottfried Wilhelm Leibniz Universität Hannover Method and device for determining a concentration
DE102018102059B4 (en) * 2018-01-30 2020-10-22 Gottfried Wilhelm Leibniz Universität Hannover Method and device for determining a concentration
DE102018102059A1 (en) 2018-01-30 2019-08-01 Gottfried Wilhelm Leibniz Universität Hannover Method and device for determining a concentration

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