Die
Erfindung betrifft eine Rohrkathode nach dem Oberbegriff des Patentanspruchs
1.The
The invention relates to a tube cathode according to the preamble of the claim
1.
Für das Beschichten
von Materialien sind eine ganze Reihe von Verfahren bekannt, beispielsweise
das Sputterverfahren. Mit diesem Verfahren ist es möglich, auch
Substrate mit großer
Oberfläche
zu beschichten. Die auf die Substrate aufgetragenen Schichten sind
meistens sehr dünn
und weisen eine sehr gleichmäßige Dicke
auf. Mit dem Sputterverfahren können
beispielsweise Fensterscheiben beschichtet werden, wobei auch mehr
als nur eine Schicht auf das Glas aufgetragen werden kann.For coating
Of materials, a whole series of methods are known, for example
the sputtering method. With this method it is possible, too
Substrates with large
surface
to coat. The layers applied to the substrates are
usually very thin
and have a very uniform thickness
on. With the sputtering method can
For example, window panes are coated, and more
as only one layer can be applied to the glass.
Sputteranlagen
weisen oft ein Magnetron auf, wobei zwischen planaren und rotierend
zylindrischen Magnetrons unterschieden wird. Bei den planaren Magnetrons
ist das Target, das aus dem Material besteht, welches auch die spätere Schicht
bildet, parallel zum Substrat angeordnet. Das Target hat dabei die
Form eines rechtwinkligen Parallelepipeds.Sputtering
often have a magnetron, being between planar and rotating
cylindrical magnetron is distinguished. With the planar magnetrons
is the target, which consists of the material, which also the later layer
forms, arranged parallel to the substrate. The target has the
Shape of a rectangular parallelepiped.
Bei
den Rotationsmagnetrons ist das Target rohrförmig ausgebildet und auf einem
zylindrischen Träger
angebracht, in welchem sich in der Regel ein ortsfestes Magnetsystem
befindet. Träger
und Target rotieren um das ortsfeste Magnetsystem, das die Rotationsbewegung
nicht mitmacht und dessen Magnetfelder durch Träger und Target nach außen dringen.at
the Rotationsmagnetrons the target is tubular and formed on a
cylindrical carrier
attached, in which usually a stationary magnet system
located. carrier
and Target rotate around the stationary magnet system that rotates
does not join in and whose magnetic fields penetrate through the carrier and target to the outside.
Der
große
Vorteil dieser rotierenden Magnetrons liegt insbesondere in der
hohen Targetausbeute, die mit etwa 90% weit über der Ausbeute von 20 bis 40%
liegt, die planare Magnetrons aufweisen. Die technischen Anforderungen
an die rotierenden Magnetrons sind jedoch sehr hoch, da es nicht
einfach ist, ein Targetrohr im Hochvakuum zu drehen, wobei das Targetrohr
zudem noch mit einem Kühlsystem
ausgestattet sein muss. Das Hauptproblem ist insbesondere darin
zu sehen, dass das Kühlsystem
komplett gegen das Vakuum abgedichtet sein muss.Of the
size
Advantage of these rotating magnetrons lies in particular in the
high target yield, which at about 90% far exceeds the yield of 20 to 40%
which have planar magnetrons. The technical requirements
However, the rotating magnetrons are very high, as it is not
it is easy to rotate a target tube in a high vacuum, with the target tube
also with a cooling system
must be equipped. The main problem is in particular
to see that the cooling system
must be completely sealed against the vacuum.
Es
ist bereits eine drehbare Rohrkathode bekannt, die eine Fluid-Kühlung aufweist
( DE 102 13 049 A1 ).
Das Fluid-Kühlmittel
strömt
hierbei an der Innenwand eines Targets oder Targetträgers vorbei, wobei
sich zwischen dem Targetträger
bzw. dem Target und der zentralen Längsachse der Rohrkathode eine
zylindrische und elastische Folie befindet. Da diese Folie schlauchmäßig ausgebaut
und zudem flexibel ist, kann sie mit Kühlmittel gefüllt werden,
sodass die Folie mit dem Target direkt in Kontakt tritt und dieses
so wirksam kühlt.It is already known a rotatable tube cathode, which has a fluid cooling ( DE 102 13 049 A1 ). In this case, the fluid coolant flows past the inner wall of a target or target carrier, wherein a cylindrical and elastic film is located between the target carrier or the target and the central longitudinal axis of the tube cathode. As this film is tubed and also flexible, it can be filled with coolant so that the film directly contacts the target, effectively cooling it.
Ein
Nachteil der Rohrkathoden besteht darin, dass, wenn das Target fest
mit dem Targetträgerrohr verbunden
ist, nach Beendigung des Sputterprozesses auch das Targetträgerrohr
nicht wieder verwendet werden kann. Dies ist z. B. der Fall, wenn
das Targetmaterial durch Aufspritzen (WO 02/27057) oder durch Gießen ( EP 1 186 682 A2 , EP 1 216 772 A2 ) auf
das Targetträgerrohr
aufgebracht wird. In diesem Fall ist es nach dem Prozess nicht mehr
möglich,
das Target vom Targetträgerrohr
zu entfernen und das Trägerrohr
wiederzuverwenden.A disadvantage of the tube cathodes is that, when the target is firmly connected to the target carrier tube, after the sputtering process has ended, the target carrier tube can not be reused. This is z. Example, the case when the target material by spraying (WO 02/27057) or by pouring ( EP 1 186 682 A2 . EP 1 216 772 A2 ) is applied to the target carrier tube. In this case, it is no longer possible after the process to remove the target from the target carrier tube and reuse the carrier tube.
Eine
andere Lösung
bietet ein Verfahren, bei dem das Targetmaterial auf das Targetrohr
nur aufgeschoben wird ( US
6 409 897 B1 , EP
1 321 537 A1 ). Damit das Target nach dem Sputterprozess
leicht vom Targetrohr entfernt werden kann, wird zwischen Target
und Targetrohr eine Zwischenschicht angebracht, die ebenfalls leicht
vom Targetrohr zu entfernen ist. Auf die Problematik der Kühlung wird
hierbei nicht eingegangen.Another solution provides a method in which the target material is only pushed onto the target tube ( US Pat. No. 6,409,897 B1 . EP 1 321 537 A1 ). So that the target can be easily removed from the target tube after the sputtering process, an intermediate layer is applied between the target and the target tube, which is likewise easy to remove from the target tube. The problem of cooling is not discussed here.
Der
Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine Rohrkathode mit einem
Kühlsystem
und mit einem wieder verwertbaren Targetträgerrohr bereitzustellen.Of the
Invention is based on the object, a tube cathode with a
cooling system
and with a reusable target carrier tube.
Diese
Aufgabe wird gemäß den Merkmalen des
Patentanspruchs 1 gelöst.These
Task is performed according to the characteristics of
Patent claim 1 solved.
Die
Erfindung betrifft somit eine Rohrkathode mit einem auf einem Targetträgerrohr
befindlichen Target. Die Kühlung
des während
eines Sputterprozesses erwärmten
Targets erfolgt dadurch, dass ein Kühlmedium, beispielsweise Wasser,
direkt wenigstens auf Teilbereiche der Innenseite des Targets gelangt.
Das Kühlmedium
strömt
dabei an der Innenwand bzw. Teilbereichen der Innenwand des Targets vorbei
und nimmt die Wärme
des Targets auf. Nach Aufnahme der Wärme durch das Kühlmedium
wird das Kühlmedium
nach außen
abgeführt.The
The invention thus relates to a tube cathode having one on a target carrier tube
located target. The cooling
during the
heated a sputtering process
Targets takes place in that a cooling medium, for example water,
directly reaches at least portions of the inside of the target.
The cooling medium
flows
while on the inner wall or portions of the inner wall of the target over
and takes the heat
of the target. After absorption of the heat by the cooling medium
becomes the cooling medium
outward
dissipated.
Der
mit der Erfindung erzielte Vorteil der Erfindung besteht insbesondere
in der sehr effektiven Kühlung
der Rohrkathode, weil die Kühlflüssigkeit
direkt mit dem Target in Kontakt steht. Dieser direkte Kontakt wird
dadurch erreicht, dass das Targetträgerrohr Öffnungen besitzt, wodurch die
Kühlflüssigkeit direkt
an das Target gelangen kann.Of the
achieved with the invention advantage of the invention is in particular
in the very effective cooling
the tube cathode, because the cooling liquid
directly in contact with the target. This direct contact will
achieved in that the target carrier tube has openings, whereby the
Coolant directly
can get to the target.
Ein
weiterer Vorteil besteht darin, dass bei einer Ausgestaltung der
Erfindung eine Verbindung von Target und Targetträgerrohr über eine
teure Lotverbindung, wie z. B. eine Indium-Zinn-Lotverbindung, entfällt. Dies
ist durch einen Mitnehmer möglich,
der das Target mit dem Targetträgenohr
fest verbindet, wodurch Dichtungsprobleme gelöst werden. Das Target kann
damit nicht vom Targetträgerrohr
abreißen,
wie es häufig
der Fall ist, wenn Target und Targetträgerrohr über eine Lotverbindung miteinander
verbunden sind.One
Another advantage is that in one embodiment of the
Invention a compound of the target and the target tube over a
expensive solder joint, such. As an indium-tin-solder, omitted. This
is possible by a driver,
the target with the target ear
firmly connects, whereby sealing problems are solved. The target can
so that not from the target carrier tube
tear off,
as is often the case
the case is when the target and the target carrier tube are connected by a solder joint
are connected.
Dadurch
dass der Mitnehmer Target und Targetträgerrohr fest miteinander verbindet,
wird auch eine Relativbewegung des Targets zum Targetträgerrohr
ausgeschlossen.Because the driver Target and Tar Getter tube firmly connects with each other, a relative movement of the target is excluded to the target carrier tube.
Ausführungsbeispiele
der Erfindung sind in den Zeichnungen dargestellt und werden im
Folgenden näher
erläutert.
Es zeigen:embodiments
The invention are illustrated in the drawings and are in
Following closer
explained.
Show it:
1 eine
schematische Darstellung einer Vakuumkammer einer Beschichtungsanlage
mit einer Rohrkathode; 1 a schematic representation of a vacuum chamber of a coating system with a tube cathode;
2a einen
Längsschnitt
durch ein erstes Ausführungsbeispiel
einer erfindungsgemäßen Rohrkathode; 2a a longitudinal section through a first embodiment of a tube cathode according to the invention;
2b einen
Längsschnitt
durch ein zweites Ausführungsbeispiel
einer erfindungsgemäßen Rohrkathode; 2 B a longitudinal section through a second embodiment of a tube cathode according to the invention;
3a einen
Querschnitt durch die Rohrkathode gemäß 2a; 3a a cross section through the tube cathode according to 2a ;
3b einen
Querschnitt durch die Rohrkathode gemäß 2b; 3b a cross section through the tube cathode according to 2 B ;
4 eine
Explosionsdarstellung eines Ausschnitts der Rohrkathode gemäß 2a; 4 an exploded view of a section of the tube cathode according to 2a ;
5 einen
Längsschnitt
durch ein drittes Ausführungsbeispiel
einer erfindungsgemäßen Rohrkathode; 5 a longitudinal section through a third embodiment of a tube cathode according to the invention;
6 einen
Querschnitt durch die in 5 dargestellte Rohrkathode. 6 a cross section through the in 5 illustrated tube cathode.
In 1 ist
eine schematische Darstellung einer Vakuumkammer 1 einer
Beschichtungsanlage mit einer Rohrkathode 2 gezeigt.In 1 is a schematic representation of a vacuum chamber 1 a coating system with a tube cathode 2 shown.
Diese
Rohrkathode 2 kann über
einen in einem Stutzen 3 befindlichen Antrieb in eine Drehbewegung
versetzt werden. An diesem Stutzen 3 sind ein Einlass 4 und
ein Auslass 5 für
ein Fluid-Kühlmittel
vorgesehen. In der Vakuumkammer 1 der Beschichtungsanlage
ist ein flächiges
Substrat 6 zu sehen, das entweder auf dem Boden 7 aufliegt
oder über
den Boden hinwegbewegt wird. An den äußeren beiden Enden der Rohrkathode 2 sind
ein Aufnahmeflansch 11 und ein Flansch 24 zu erkennen,
die mit der Rohrkathode 2 in Verbindung stehen. Des Weiteren
ist ein Mitnehmer 12 zu erkennen, der an der Rohrkathode 2 angebracht
ist und eine Verbindung zu einem in der 1 nicht
erkennbaren Targetträgenohr
herstellt. Durch eine Rezipientenwand 10 der Vakuumkammer 1 führt ein
Gaszufluss 8.This tube cathode 2 can over one in a neck 3 located drive are placed in a rotary motion. At this neck 3 are an inlet 4 and an outlet 5 provided for a fluid coolant. In the vacuum chamber 1 The coating system is a flat substrate 6 to see that either on the ground 7 rests on or is moved across the ground. At the outer two ends of the tube cathode 2 are a receiving flange 11 and a flange 24 to recognize that with the tube cathode 2 keep in touch. Furthermore, a driver 12 to recognize the at the tube cathode 2 is attached and connect to one in the 1 produces unrecognizable Targettragohr. Through a recipient wall 10 the vacuum chamber 1 leads a gas inflow 8th ,
An
der Rohrkathode 2 liegt eine Spannungsquelle 9 an,
wobei die Rohrkathode 2 mit dem negativen Pol verbunden
ist. Der positive Pol der Spannungsquelle 9 ist mit dem
Boden 7 der Vakuumkammer 1 verbunden. Bei dieser
Spannungsquelle 9 kann es sich, wie in 1 dargestellt,
um eine Gleichspannungsquelle handeln, die eine Sputterleistung
von 90 kW bereitstellt.At the tube cathode 2 there is a voltage source 9 on, with the tube cathode 2 connected to the negative pole. The positive pole of the voltage source 9 is with the ground 7 the vacuum chamber 1 connected. At this voltage source 9 it can be, as in 1 shown to be a DC voltage source that provides a sputtering power of 90 kW.
2a zeigt
einen Längsschnitt
durch die Rohrkathode 2, die ein auf ein Targetträgerrohr 14 aufgesetztes
Target 13 aufweist. Das Target 13 ist über einen
Mitnehmer 12 mit dem Targetträgenohr 14 fest verbunden.
Bei dem Mitnehmer 12 handelt es sich beispielsweise um
eine Schraube oder um einen Stift. Das Target 13 kann auch über mehrere
Mitnehmer mit dem Targetträgerrohr
verbunden sein, wobei die Mitnehmer an verschiedenen Stellen angeordnet sind. 2a shows a longitudinal section through the tube cathode 2 putting on a target carrier tube 14 attached target 13 having. The target 13 is about a driver 12 with the target ear 14 firmly connected. At the driver 12 it is for example a screw or a pin. The target 13 can also be connected via a plurality of carriers with the target carrier tube, wherein the drivers are arranged at different locations.
An
den beiden Enden des Targetträgerrohrs 14 mit
dem daran angebrachten Target 13 befinden sich zwei Flansche 11, 24.
Dabei ist am Flansch 24 ein weiterer Flansch 22 angeordnet,
der die Rohrkathode 2 zusätzlich stabilisiert.At the two ends of the target carrier tube 14 with the attached target 13 There are two flanges 11 . 24 , It is on the flange 24 another flange 22 arranged, which the tube cathode 2 additionally stabilized.
Bei
dem Mitnehmer 12 handelt es sich, wie bereits erwähnt, um
einen Arretierstift, der durch das Target 13 hindurchgreift
und im Targetträgerrohr 14 verankert
ist. Dadurch kann das Target 13 nicht gegenüber dem
Targetträgerrohr 14 verdreht
werden. Target 13 und Targetträgerrohr 14 werden
somit stets gemeinsam bewegt. Um Dichtungsprobleme zu vermeiden,
liegt der Mitnehmer 12 außerhalb des Innenbereichs 21 der
Rohrkathode 2.At the driver 12 As already mentioned, this is a locking pin that passes through the target 13 passes through and in the target carrier tube 14 is anchored. This allows the target 13 not opposite to the target carrier tube 14 to be twisted. target 13 and target carrier tube 14 are thus always moved together. To avoid sealing problems, lies the driver 12 outside the interior 21 the tube cathode 2 ,
Vorteilhaft
ist hierbei, dass mittels des Mitnehmers 12 das Target 13 mit
dem Targetträgerrohr 14 verbunden
ist, ohne dass es einer teuren Indium-Zinn-Lotverbindung zwischen
Targetträgerrohr 14 und
Target 13 bedarf. Da der Mitnehmer 12 die Indium-Zinn-Lotverbindung
ersetzt, ist ein Abriss des Targets 13 nicht mehr möglich. Durch
Entfernen des Mitnehmers 12 kann auch das Target 13 leicht
vom Targetträgerrohr 14 genommen
werden.The advantage here is that by means of the driver 12 the target 13 with the target carrier tube 14 connected without the need for an expensive indium-tin-solder connection between the target support tube 14 and Target 13 requirement. Because the driver 12 replacing the indium-tin-solder compound is a demolition of the target 13 not possible anymore. By removing the driver 12 can also be the target 13 slightly from the target carrier tube 14 be taken.
Die
Rezipientenwand 10 besitzt einen Durchbruch 26.
An diese Rezipientenwand 10 schließen sich ein Aufnahmeflansch 11 und
der Stutzen 3 an. In diesem Stutzen 3 befindet
sich ein Drehantrieb, der die Rohrkathode 2 in eine Drehbewegung
versetzen kann, wobei das Target 13 zusammen mit dem Targetträgerrohr 14 um
einen ortsfesten Innenkörper 31 rotiert.
Dabei bildet der Aufnahmeflansch 11 einen Teil des mit
dem Antrieb in Verbindung stehenden Antriebssystems.The recipient wall 10 owns a breakthrough 26 , To this recipient wall 10 close a receiving flange 11 and the neck 3 at. In this neck 3 there is a rotary drive, which is the tube cathode 2 in a rotational movement, the target 13 together with the target carrier tube 14 around a stationary inner body 31 rotates. The receiving flange forms 11 a portion of the drive system associated with the drive.
Der
Aufnahmeflansch 11 besitzt mindestens einen Fluidzufluss 15, über den
ein flüssiges
Kühlmittel
in den Innenbereich 21 der Rohrkathode 2 gedrückt wird.
Dieses Kühlmittel,
beispielsweise Wasser oder eine Wasser aufweisende Lösung, gelangt über einen
Fluidabfluss 16 wieder nach draußen. Der Innenkörper 31 ist
auf Achsen 32, 33 angeordnet, wobei der Innenkörper 31 fest
mit den Achsen 32, 33 in Verbindung steht. Wie
in 2a zu erkennen, greifen die Achsen 32, 33 mit
ihren Enden 19, 20 in den Flansch 24 bzw.
den Aufnahmeflansch 11 ein. Da die Achsen 32, 33 jedoch
nur lose oder über
Kugellager in dem Flansch 24 bzw. dem Aufnahmeflansch 11 angeordnet
sind, machen sie und damit der Innenkörper 31 die Drehbewegung
der Rohrkathode 2 um die Längsachse nicht mit. Durch sein
Eigengewicht bleibt der Innenkörper 31 gewissermaßen ortsfest
angeordnet.The mounting flange 11 has at least one fluid inlet 15 over which a liquid coolant enters the interior 21 the tube cathode 2 is pressed. This coolant, for example water or a water-containing solution, passes through a fluid drain 16 back outside. Of the inner body 31 is on axes 32 . 33 arranged, wherein the inner body 31 stuck with the axles 32 . 33 communicates. As in 2a to recognize, grab the axes 32 . 33 with their ends 19 . 20 in the flange 24 or the receiving flange 11 one. Because the axes 32 . 33 but only loose or over ball bearings in the flange 24 or the receiving flange 11 are arranged, make them and thus the inner body 31 the rotational movement of the tube cathode 2 not around the longitudinal axis. By its own weight remains the inner body 31 sort of stationary arranged.
Es
ist auch möglich,
dass zwar die Achsen 32, 33 fest mit dem Flansch 24 bzw.
dem Aufnahmeflansch 11 verbunden sind, jedoch der Innenkörper 31 nur
auf den Achsen 32, 33 lose aufliegt. Hierdurch werden
zwar die Achsen 32, 33, nicht aber der Innenkörper 31 sowie
eine daran befestigte Wanne 25 bewegt.It is also possible that while the axes 32 . 33 firmly with the flange 24 or the receiving flange 11 are connected, but the inner body 31 only on the axes 32 . 33 loosely. This will be the axes 32 . 33 but not the inner body 31 and a tub attached thereto 25 emotional.
Auch
bei dieser Variante sind der Innenkörper 31 sowie die
Wanne 25 ortsfest in der Rohrkathode 2 angeordnet
und machen so die Drehbewegung um die Längsachse der Rohrkathode 2 nicht
mit.Also in this variant are the inner body 31 as well as the tub 25 stationary in the tube cathode 2 arranged and thus make the rotational movement about the longitudinal axis of the tube cathode 2 not with.
Der
Innenbereich 21 der Rohrkathode 2 wird durch das
Targetträgerrohr 14 umschlossen.The interior 21 the tube cathode 2 is through the target carrier tube 14 enclosed.
In
dem Targetträgerrohr 14,
welches vorzugsweise aus eisenhaltigen Legierungen, z. B. VA-Stählen, besteht,
sind mehrere ortsfeste Magnete angeordnet. Man erkennt in 2a einen
Magneten 28, der in einer Wanne 25 angeordnet
ist. Diese Wanne 25 ist wiederum an dem Innenkörper 31 befestigt. Da
die Wanne 25 ortsfest angebracht ist, bewegt sich auch
der in ihr angeordnete Magnet 28 nicht mit dem Targetträgerrohr 14 und
dem Target 13. Der Magnet 28 verläuft im Innern
der Wanne 25 entlang einer Längsachse, die durch die Rohrkathode 2 verläuft.In the target carrier tube 14 which is preferably made of iron-containing alloys, for. As VA steels, consists of several stationary magnets are arranged. One recognizes in 2a a magnet 28 in a sink 25 is arranged. This tub 25 is again on the inner body 31 attached. As the tub 25 Fixed in place, also moves the arranged in her magnet 28 not with the target carrier tube 14 and the target 13 , The magnet 28 runs inside the tub 25 along a longitudinal axis passing through the tubular cathode 2 runs.
Entlang
der Drehachse der Rohrkathode 2 befindet sich zwischen
dem Target 13 und dem Targetträgerrohr 14 ein Zwischenraum 23.
In diesen Zwischenraum 23 kann die Kühlflüssigkeit über den Fluid-Zufluss 15 und
einen Spalt 57 und von dort über am Targetträgerrohr 14 vorgesehene Öffnungen 34 bis 40 in
das Targetträgerrohr 14 gelangen
und über den
Fluidabfluss 16 wieder aus dem Targetträgerrohr 14 austreten.
Durch den beschriebenen Fluss der Kühlflüssigkeit kommt das Target 13 unmittelbar
mit der Kühlflüssigkeit
in Berührung,
wodurch es direkt gekühlt
wird. Dabei ist eine optimale Kühlung
dann am besten gewährleistet,
wenn die Strömung
der Kühlflüssigkeit
turbulent ist.Along the axis of rotation of the tube cathode 2 is located between the target 13 and the target carrier tube 14 a gap 23 , In this space 23 can the coolant through the fluid inlet 15 and a gap 57 and from there over on the target carrier tube 14 provided openings 34 to 40 into the target carrier tube 14 arrive and over the fluid drain 16 again from the target carrier tube 14 escape. Due to the described flow of the cooling liquid, the target comes 13 directly in contact with the cooling liquid, whereby it is cooled directly. In this case, optimal cooling is best ensured when the flow of the cooling fluid is turbulent.
Eine
turbulente oder auch laminare Strömung kann dadurch eingestellt
werden, dass bei einem gegebenen Kühlsystem mit einem definierten Aufbau
der Strömungstyp über die
Druckdifferenz eingestellt wird.A
turbulent or laminar flow can be adjusted
be that for a given cooling system with a defined construction
the flow type over the
Pressure difference is set.
Bei
einer laminaren Strömung
können
sich allerdings dünne
Grenzbereiche bilden, die sich so weit aufheizen, dass es zum so
genannten „Filmsieden" kommt. Es entsteht
dann an der Wand des Zwischenraums 23 Wasserdampf, der
wärmedämmend wirkt,
da der Wasserdampf die Wärme
der Wände nur
unzureichend abführt.In a laminar flow, however, thin boundary areas can form, which heat up enough to cause so-called "film boiling." It then forms on the wall of the gap 23 Water vapor, which has a heat-insulating effect, since the steam dissipates the heat of the walls only insufficiently.
Bevorzugt
wird deshalb eine turbulente Strömung,
bei der sich das Kühlmittel
am besten verteilt. Unabhängig
davon, welcher Strömungstyp
eingestellt wird, ist es wichtig, dass sich im Kühlmittel keine Luftblasen befinden,
welche die Kühlleistung
des Kühlmittels
reduzieren würden.Prefers
therefore becomes a turbulent flow,
at the point of the coolant
best distributed. Independently
of which flow type
it is important that there are no air bubbles in the coolant,
which the cooling capacity
of the coolant
would reduce.
An
das rohrförmige
Target 13 sowie an das Targetträgerrohr 14 ist auf
der linken Seite der Flansch 24 aufgesetzt, damit sich
das Targetträgerrohr 14 nicht
horizontal verschieben kann. Um zu verhindern, dass Kühlflüssigkeit
aus dem Innenraum 21 entweichen und in den unter Vakuum
stehenden Teil der Vakuumkammer 1 gelangen kann, wird der Flansch 24 mit
dem Target 13 über
einen Dichtungsring 17, beispielsweise einen O-Gummiring
verbunden.To the tubular target 13 as well as to the target carrier tube 14 is on the left side of the flange 24 put on so that the target carrier tube 14 can not move horizontally. To prevent coolant from the interior 21 escape and into the vacuum part of the vacuum chamber 1 the flange becomes 24 with the target 13 over a sealing ring 17 , For example, connected to an O-rubber ring.
So
wie auf der linken Seite der Rohrkathode 2 der Flansch 24 und
das Target 13 über
den Dichtungsring 17 miteinander verbunden sind, ist auf
der rechten Seite das Target 13 über einen Dichtungsring 18 mit
dem Aufnahmeflansch 11 fest verbunden, um zu verhindern,
dass an dieser Stelle Kühlflüssigkeit aus
dem Zwischenraum 23 austreten kann.As on the left side of the tube cathode 2 the flange 24 and the target 13 over the sealing ring 17 are connected to each other, on the right side is the target 13 over a sealing ring 18 with the mounting flange 11 firmly connected to prevent coolant at this point from the gap 23 can escape.
Das
Kühlmittel,
welches sich im Innern 21 der Rohrkathode 2 und
im Zwischenraum 23 befindet, befindet sich somit in einem
geschlossenen System, da es lediglich über den Fluidzufluss 15 in
das Innere 21 der Rohrkathode 2 gelangen kann
und über
den Fluidabfluss 16 wieder aus diesem Innern 21 abfließen kann.The coolant, which is inside 21 the tube cathode 2 and in the space 23 is thus located in a closed system, as it is only about the fluid flow 15 in the interior 21 the tube cathode 2 can reach and over the fluid drain 16 again from this interior 21 can drain away.
Eine
Möglichkeit,
aus dem Innern 21 der Rohrkathode 2 zu entweichen,
besteht somit für
das Kühlmittel
nicht, zumal zum einen das Target 13 über den Mitnehmer 12 fest
mit dem Targetträgerrohr 14 verbunden
ist und zum andern die Flansche 22, 24 bzw. der
Aufnahmeflansch 11 den Innenraum 21 seitlich abschließen. Die
Dichtungsringe 17, 18 verhindern, dass Kühlflüssigkeit
aus dem Innern 21 entweichen und in die Vakuumkammer 1 gelangen
kann.One way from the inside 21 the tube cathode 2 to escape, therefore, does not exist for the coolant, especially for a target 13 about the driver 12 firmly with the target carrier tube 14 connected to the other and the flanges 22 . 24 or the receiving flange 11 the interior 21 complete laterally. The sealing rings 17 . 18 prevent coolant from the interior 21 escape and into the vacuum chamber 1 can get.
Wird
nun eine Spannung an die Rohrkathode 2 angelegt, beginnt
der Sputterprozess. Während des
Sputterprozesses rotiert das Target 13 mit dem Targetträgerrohr 14 um
den ortsfesten Magneten 28 bzw. um den Innenkörper 31.
Damit wird gewährleistet,
dass das Target 13 gleichmäßig auf seiner äußeren Oberfläche abgetragen
wird. Ist der Sputterprozess abgeschlossen und die Kühlflüssigkeit
aus dem Inneren 21 entfernt, können der Mitnehmer 12,
die Flansche 22 und 24 und die Dichtungsringe 17, 18, beispielsweise
O-Gummiringe, abgenommen
werden. Das verbrauchte rohrförmige
Target 13, welches nur noch lose am Targetträgerrohr 14 anliegt,
kann nun bequem ausgewechselt werden, ohne dass das Targetträgerrohr 14 mit
entfernt werden muss.Now a voltage to the tube cathode 2 created, the sputtering process begins. During the sputtering process, the target rotates 13 with the target carrier tube 14 around the stationary magnet 28 or around the inner body 31 , This will ensure that the target 13 evenly on its exterior ren surface is removed. Is the sputtering process completed and the cooling liquid from the inside 21 removed, can the driver 12 , the flanges 22 and 24 and the sealing rings 17 . 18 For example, O-rubber rings are removed. The spent tubular target 13 , which only loose on the target carrier tube 14 is now easily replaced, without the target carrier tube 14 must be removed with.
Ein
neues Target lässt
sich nun aufsetzen und mittels der Dichtungsringe 17, 18 und
des Mitnehmers 12 sowie der Flansche 22 und 24 am
Targetträgerrohr 14 befestigen.
Der Sputterprozess kann erneut gestartet werden.A new target can now be put on and by means of the sealing rings 17 . 18 and the driver 12 as well as the flanges 22 and 24 on the target carrier tube 14 Fasten. The sputtering process can be restarted.
Die
in 2a gezeigte Anordnung mit der in der Vakuumkammer 1 angeordneten
Rohrkathode 2 ist besonders für kleinere Rohrkathoden 2 geeignet. Solche
Rohrkathoden 2 können
so angeordnet werden, dass sie nur mit einer Seite an der Rezipientenwand 10 angekoppelt
sind. Die andere Seite ragt dagegen frei in die Vakuumkammer 1.
Rohrkathoden, die auf diese Weise in der Vakuumkammer 1 angeordnet
sind, werden auch als „cantilevered" bezeichnet.In the 2a shown arrangement with the in the vacuum chamber 1 arranged tubular cathode 2 is especially for smaller tube cathodes 2 suitable. Such tube cathodes 2 can be arranged so that they only have one side on the recipient wall 10 are coupled. By contrast, the other side projects freely into the vacuum chamber 1 , Tube cathodes, which in this way in the vacuum chamber 1 are also referred to as "cantilevered".
Längere Rohrkathoden 2 können nicht
mehr einseitig in der Vakuumkammer 1 angekoppelt werden.
Solche längeren
Rohrkathoden 2 werden vorzugsweise auf einer der Rezipientenwand 10 gegenüber liegenden
Wand, die in 2a nicht dargestellt ist, abgestützt.Longer tube cathodes 2 can no longer be one-sided in the vacuum chamber 1 be coupled. Such longer tube cathodes 2 are preferably on one of the recipient wall 10 opposite wall, in 2a not shown, supported.
2b zeigt
einen Längsschnitt
durch eine zweite Ausführungsform
der erfindungsgemäßen Rohrkathode 2.
Im Gegensatz zu der in 2a dargestellten Rohrkathode 2 liegt
bei dieser Variante das Targetträgerrohr 14 direkt
am Target 13 an, wobei das Target 13 wiederum über den
Mitnehmer 12 mit dem Targetträgerrohr 14 verbunden
ist. Es ist jedoch auch möglich,
dass das Target 13 mit dem Targetträgerrohr 14 über mehrere
Mitnehmer verbunden ist. Es kann sich dabei um mehrere Mitnehmer
um den Umfang des Targets 13 herum handeln und/oder um Mitnehmer
nur an den Enden des Targets 13. 2 B shows a longitudinal section through a second embodiment of the tube cathode according to the invention 2 , Unlike the in 2a shown tube cathode 2 In this variant lies the target carrier tube 14 directly at the target 13 on, with the target 13 again via the driver 12 with the target carrier tube 14 connected is. However, it is also possible that the target 13 with the target carrier tube 14 connected via several carriers. It may involve several drivers around the perimeter of the target 13 trade around and / or around takers only at the ends of the target 13 ,
Wie
schon in der 2a gezeigt, besitzt das Targetträgerrohr 14 Öffnungen 44 bis 49,
wodurch die Kühlflüssigkeit
direkt mit dem Target 13 in Berührung kommen kann, d. h. dort,
wo sich die Öffnungen 44 bis 49 befinden.
Im Gegensatz zu dem Ausführungsbeispiel
der 2a kommt bei dem Ausführungsbeispiel der 2b das
Fluid nur partiell mit dem Target in Berührung. Durch die Rohrkathode 2 verläuft der
auf den Achsen 33, 32 angebrachte Innenkörper 31,
an dem eine Wanne 25 befestigt ist. In dieser Wanne 25 sind
drei Magnetreihen angeordnet, von denen nur eine Magnetreihe 42 zu
erkennen ist. Die Wanne 25 und der an den Achsen 32, 33 angeordnete
Innenkörper 31 sind
ortsfest angebracht, sodass das Target 13 sowie das Targetträgerrohr 14 um den
Innenkörper 31 sowie
die Wanne 25 mit dem Magneten 42 rotieren können. Auch
in der in 2b gezeigten Anordnung befindet
sich das Kühlmittel
in einem geschlossenen System. Anders als bei der Ausführungsform
der 2a führt
bei der Ausführungsform
der 2b der Fluidzufluss 15 nicht in einen Spalt 57,
sondern direkt in das Innere 21 des Targetträgerrohrs 14.As in the 2a shown has the target carrier tube 14 openings 44 to 49 , which causes the coolant to flow directly to the target 13 can come into contact, ie where the openings 44 to 49 are located. In contrast to the embodiment of 2a comes in the embodiment of 2 B the fluid is only partially in contact with the target. Through the tube cathode 2 it runs on the axles 33 . 32 attached inner body 31 where a tub 25 is attached. In this tub 25 are arranged three rows of magnets, of which only one magnetic series 42 can be seen. The tub 25 and the on the axles 32 . 33 arranged inner body 31 are fixed in place, so that the target 13 as well as the target carrier tube 14 around the inner body 31 as well as the tub 25 with the magnet 42 can rotate. Also in the in 2 B The arrangement shown, the coolant is in a closed system. Unlike the embodiment of the 2a leads in the embodiment of the 2 B the fluid inflow 15 not in a gap 57 but directly into the interior 21 of the target carrier tube 14 ,
3a zeigt
einen Querschnitt durch die Rohrkathode 2 gemäß 2a mit
dem Target 13 und dem Targetträgerrohr 14. Im Innern 21 des
Targetträgerrohrs 14 ist
eine Magnetanordnung mit den Magneten 28 bis 30 zu
sehen. Das Targetträgerrohr 14 besitzt Öffnungen 50 bis 52,
durch die die Kühlflüssigkeit
in den Zwischenraum 23 gelangen kann, wodurch diese Flüssigkeit
mit dem Target 13 in Berührung kommt. Dadurch kann die
Flüssigkeit
das Target 13 direkt kühlen.
Der Mitnehmer 12 ist in der 3a nicht
dargestellt. 3a shows a cross section through the tube cathode 2 according to 2a with the target 13 and the target carrier tube 14 , At the inside 21 of the target carrier tube 14 is a magnet arrangement with the magnets 28 to 30 to see. The target carrier tube 14 has openings 50 to 52 through which the cooling fluid enters the gap 23 can reach, causing this liquid to the target 13 comes into contact. This allows the liquid to target 13 cool directly. The driver 12 is in the 3a not shown.
3b zeigt
einen Querschnitt durch die in 2b dargestellte
Rohrkathode 2. Das Targetträgerrohr 14 besitzt
wiederum Magnete 41 bis 43 in seinem Innern 21 sowie Öffnungen 53 bis 56,
in die Flüssigkeit
eintreten kann. Im Gegensatz zu 3a besitzt
die Anordnung jedoch keinen Zwischenraum 23, sodass das
Target 13 direkt am Targetträgerrohr 14 anliegt. Über die Öffnungen 53 bis 56 kann
jedoch auch bei dieser Variante die Kühlflüssigkeit mit dem Target 13 in
Kontakt treten. Die direkte Kühlung
findet dort statt, wo sich die Öffnungen 53 bis 56 befinden. An
den Stellen, wo das Kühlungsmittel
nicht direkt mit dem Target 13 in Berührung steht, wird die an dem Target 13 auftretende
Wärme über das
Targetträgerrohr 14 abgeführt und
somit das Targetträgerrohr 14 durch
das Kühlmittel
gekühlt.
Diese in 2b bzw. 3b gezeigte
Variante der Targetkühlung
wird vor allem für
weiche Targetmaterialien wie z. B. Cu, Al, Zn, Sn, Ag angewendet. 3b shows a cross section through the in 2 B illustrated tube cathode 2 , The target carrier tube 14 in turn has magnets 41 to 43 in his heart 21 as well as openings 53 to 56 into which liquid can enter. In contrast to 3a However, the arrangement has no gap 23 so the target 13 directly on the target carrier tube 14 is applied. About the openings 53 to 56 However, even in this variant, the cooling liquid with the target 13 contact. The direct cooling takes place where the openings 53 to 56 are located. In the places where the coolant is not directly with the target 13 is in contact with the target 13 occurring heat over the target carrier tube 14 dissipated and thus the target carrier tube 14 cooled by the coolant. This in 2 B respectively. 3b shown variant of the target cooling is mainly for soft target materials such. As Cu, Al, Zn, Sn, Ag applied.
Der
Vorteil dieser Variante besteht darin, dass gegen Ende des Sputterprozesses,
d. h. wenn das Target 13 nur noch eine geringe Dicke aufweist, das
Target 13 durch das Targetträgerrohr 14 gestützt wird.
Damit wird verhindert, dass das Target 13 durchhängt.The advantage of this variant is that towards the end of the sputtering process, ie when the target 13 only has a small thickness, the target 13 through the target carrier tube 14 is supported. This will prevent the target 13 sags.
Der
Mitnehmer 12 ist bei der Darstellung der 3b ebenfalls
nicht gezeigt.The driver 12 is in the presentation of 3b also not shown.
4 zeigt
eine Explosionsdarstellung eines Ausschnitts der Rohrkathode 2 gemäß 2a mit dem
rohrförmigen
Target 13 und dem Targetträgerrohr 14. Das Targetträgerrohr 14 weist Öffnungen 38 bis 40 auf,
durch die die Kühlflüssigkeit
aus dem Innern des Targetträgerrohrs 14 in
Richtung auf das Target 13 austreten kann. Der Durchmesser
des Targetträgerrohrs 14 ist
so groß,
dass sich zwischen dem Target 13 und dem Targetträgerrohr 14 ein
Zwischenraum befindet. Der Durchmesser des Targetträgerrohrs 14 ist
entsprechend größer, wenn
es entsprechend der Variante gemäß 2b direkt
am Target 13 anliegt. 4 shows an exploded view of a section of the tube cathode 2 according to 2a with the tubular target 13 and the target carrier tube 14 , The target carrier tube 14 has openings 38 to 40 through, through which the cooling liquid from the interior of the target carrier tube 14 towards the target 13 can escape. The diameter of the tar getträgerrohrs 14 is so big that is between the target 13 and the target carrier tube 14 a gap is located. The diameter of the target carrier tube 14 is correspondingly larger, if it according to the variant according to 2 B directly at the target 13 is applied.
Im
Innern des Targetträgerrohrs 14 ist
der Innenkörper 31 mit
der Wanne 25 zu sehen, in der die Magnete 28 bis 30 angeordnet
sind.Inside the target carrier tube 14 is the inner body 31 with the tub 25 to see in which the magnets 28 to 30 are arranged.
Die
Größe und die
Form der Öffnungen 38 bis 40 sind
nicht entscheidend. Vielmehr ist es von Bedeutung, dass durch die Öffnungen 38 bis 40 eine ständige Kühlung durch
die Flüssigkeit
erfolgt. Statt wenigen großen
können
auch viele kleine Öffnungen vorgesehen
werden.The size and shape of the openings 38 to 40 are not crucial. Rather, it is important that through the openings 38 to 40 a constant cooling by the liquid takes place. Instead of a few large, many small openings can be provided.
In 5 ist
ein Längsschnitt
durch eine weitere Ausführungsform
der erfindungsgemäßen Rohrkathode 59 dargestellt,
die mit ihrem rechten Ende an einen Körper 60 angeflanscht
ist.In 5 is a longitudinal section through a further embodiment of the tube cathode according to the invention 59 represented with its right end to a body 60 is flanged.
Durch
den Körper 60 führt ein
Rohr 65 direkt in das Innere der Rohrkathode 59.
Dieses Rohr 65 ist mit einem hier nicht dargestellten Antrieb
verbunden und bildet so ein Antriebssystem, mittels dem die Rohrkathode 59 um
die eigene Längsachse
gedreht werden kann. Es ist jedoch auch möglich, dass lediglich der Körper 60 mit
dem Antrieb in Verbindung steht und somit Bestandteil eines Antriebssystems ist.Through the body 60 leads a pipe 65 directly into the interior of the tubular cathode 59 , This pipe 65 is connected to a drive, not shown here, and thus forms a drive system by means of which the tube cathode 59 can be rotated around its own longitudinal axis. However, it is also possible that only the body 60 is in communication with the drive and thus is part of a drive system.
An
der dem Körper 60 gegenüber liegenden Seite
ist ein Träger 61 an
ein Targetträgerrohr 62 angeflanscht.
Um das Targetträgerrohr 62 herum
ist ein Target 63 angeordnet, wobei sich zwischen dem Target 63 und
dem Targetträgerrohr 62 ein
Zwischenraum 64 befindet. Das Targetträgerrohr 62 mit dem darüber angeordneten
Target 63 ist mit dem Rohr 65 über Abschottungen 66, 67 verbunden.At the body 60 opposite side is a carrier 61 to a target carrier tube 62 flanged. To the target carrier tube 62 around is a target 63 arranged, being between the target 63 and the target carrier tube 62 a gap 64 located. The target carrier tube 62 with the target arranged above it 63 is with the pipe 65 about foreclosures 66 . 67 connected.
Der
Träger 61 verfügt über eine
Abschirmung 99, sodass sich zwischen dieser Abschirmung 99 und
dem Target 63 ein Dunkelraum 100 befindet. Dieser
Dunkelraum 100 verhindert, dass es in diesem Bereich auf
Grund von dort auftretenden Spannungen zu Überschlägen kommt oder ein Glimmen auftritt.
Auch auf der dem Dunkelraum 100 gegenüber liegenden Seite ist ein
Dunkelraum 102 zu sehen. Dieser Dunkelraum 102 befindet
sich zwischen dem Target 63 und einer an dem Körper 60 angeordneten Abschirmung 101.The carrier 61 has a shield 99 so that is between this shielding 99 and the target 63 a dark room 100 located. This dark room 100 prevents flashovers in this area as a result of voltages occurring there or a glimmer occurs. Also on the dark room 100 opposite side is a dark room 102 to see. This dark room 102 is located between the target 63 and one on the body 60 arranged shielding 101 ,
Das
Rohr 65 ist mit einem nicht dargestellten Antrieb verbunden,
durch den es in eine Drehbewegung um seine Längsachse versetzt werden kann. Dadurch,
dass das Targetträgerrohr 62 über die
Abschottungen 66, 67 mit dem Rohr 65 in
Verbindung steht, wird das Targetträgerrohr 62 mit dem
daran angeordneten Target 63 sowie dem Träger 61 ebenfalls um
die Längsachse
gedreht.The pipe 65 is connected to a drive, not shown, by which it can be set in a rotational movement about its longitudinal axis. Thereby, that the target carrier tube 62 about the foreclosures 66 . 67 with the pipe 65 communicates, becomes the target carrier tube 62 with the target disposed thereon 63 as well as the carrier 61 also rotated about the longitudinal axis.
Da
das Target 63 über
einen Mitnehmer 68 mit dem Targetträgerrohr 62 verbunden
ist, wird eine Relativbewegung von Target 63 zu Targetträgerrohr 62 verhindert.
Das Target 63 wird somit stets in der gleichen Geschwindigkeit
wie das Targetträgerrohr 62 bewegt.Because the target 63 about a driver 68 with the target carrier tube 62 is connected, a relative movement of Target 63 to target carrier tube 62 prevented. The target 63 thus always at the same speed as the target carrier tube 62 emotional.
Das
Rohr 65 dient nicht nur als Antrieb für Targetträgerrohr 62 und Target 63,
sondern auch zum Kühlen
des Targets 63. Dabei wird das Kühlmittel in Richtung des Pfeils 69 in
das Rohr 65 gedrückt.
Das Kühlmittel
gelangt sodann in eine Verteilerkammer 70 und von dort
aus in Richtung der Pfeile 92, 93 über Öffnungen 71, 72 in
den zwischen Target 63 und Targetträgerrohr 62 liegenden
Zwischenraum 64. Das Kühlmittel
kann hierdurch die ganze Innenfläche
des Targets 63 direkt kühlen.The pipe 65 not only serves as drive for target carrier tube 62 and Target 63 but also to cool the target 63 , The coolant is in the direction of the arrow 69 in the pipe 65 pressed. The coolant then enters a distribution chamber 70 and from there in the direction of the arrows 92 . 93 over openings 71 . 72 in the between target 63 and target carrier tube 62 lying gap 64 , The coolant can thereby the entire inner surface of the target 63 cool directly.
Die
Verteilerkammer 70 befindet sich zum einen zwischen der
Abschottung 67 und dem Träger 61 und ist zum
andern vom Targetträgerrohr 62 umgeben.
Zusätzliche
Dichtungselemente 84, 86, 89, 90 aus
einem gummielastischen Material sorgen dafür, dass das Kühlmittel
die Verteilerkammer 70 nur über die Öffnungen 71, 72 verlassen
kann. Bei diesen Dichtungselementen handelt es sich zum Beispiel um
O-Dichtungsringe 84, 86; 89, 90.The distribution chamber 70 is located on the one hand between the foreclosure 67 and the carrier 61 and to the other of the target carrier tube 62 surround. Additional sealing elements 84 . 86 . 89 . 90 Made of a rubber-elastic material ensure that the coolant the distribution chamber 70 only over the openings 71 . 72 can leave. These sealing elements are, for example, O-rings 84 . 86 ; 89 . 90 ,
Nachdem
das Kühlmittel
die Innenwand des Targets 63 gekühlt hat, gelangt es über weitere Öffnungen 73, 74 in
Richtung der Pfeile 75, 76 wieder nach draußen.After the coolant the inner wall of the target 63 cooled, it passes through other openings 73 . 74 in the direction of the arrows 75 . 76 back outside.
Es
handelt sich also wiederum um einen Kühlkreislauf, bei dem das Kühlmittel
das Target 63 kühlt
und die während
des Sputterprozesses auftretende Wärme vom Target 63 aufnimmt,
um dann die Beschichtungsanlage über
den am Stutzen 3 angeordneten Auslass 5, wie in 1 gezeigt,
wieder zu verlassen.It is thus again a cooling circuit in which the coolant is the target 63 cools and the heat occurring during the sputtering process from the target 63 then the coating system over the at the neck 3 arranged outlet 5 , as in 1 shown to leave again.
Der
Kühlkreislauf
bildet auch hier ein geschlossenes System, weil das Kühlmittel
lediglich über
das Rohr 65 in Richtung des Pfeils 69 in die Rohrkathode 59 gelangen
kann und es die Rohrkathode 59 nur in Richtung der Pfeile 75, 76 wieder
verlassen kann.The cooling circuit also forms a closed system here, because the coolant only through the pipe 65 in the direction of the arrow 69 in the tube cathode 59 and it can reach the tube cathode 59 only in the direction of the arrows 75 . 76 can leave again.
Damit
das Kühlmittel
nicht nach außen
in die Vakuumkammer 1 der Beschichtungsanlage gelangt, verfügt die Rohrkathode 59 über mehrere
Dichtungselemente 77 bis 86. Weitere Dichtungselemente 87 bis 90 verhindern,
dass in den Innenraum 104 der Rohrkathode 59 Kühlmittel
gelangen kann. Diese Dichtungselemente 87 bis 90 sind
zwischen den beiden Abschottungen 66, 67 und dem
daran angeordneten Targetträgerrohr 62 angebracht.So that the coolant does not escape to the outside in the vacuum chamber 1 the coating plant passes, has the tubular cathode 59 over several sealing elements 77 to 86 , Other sealing elements 87 to 90 prevent in the interior 104 the tube cathode 59 Coolant can get. These sealing elements 87 to 90 are between the two foreclosures 66 . 67 and the target carrier tube disposed thereon 62 appropriate.
Im
Innenraum 104 der Rohrkathode 59 ist an dem Rohr 65 eine
Wanne 105 derart angeordnet, dass sie die Drehbewegung
der Rohrkathode 59 nicht mitmacht. Dies ist z. B. dadurch
möglich,
dass die Wanne 105 frei drehbar um das Rohr 65 angeordnet
ist.In the interior 104 the tube cathode 59 is on the pipe 65 a tub 105 arranged so that they the rotational movement of the tube cathode 59 does not participate. This is z. B. thereby possible that the tub 105 freely rotatable around the pipe 65 is arranged.
Im
Innern 91 der Wanne 105 ist ein Magnetsystem,
bestehend aus mehreren Magnetreihen vorgesehen, von denen lediglich
eine Magnetreihe 94 zu erkennen ist.At the inside 91 the tub 105 is a magnet system consisting of several rows of magnets, of which only one series of magnets 94 can be seen.
Unterhalb
der Rohrkathode 59 im Bereich des Trägers 61 ist eine Lagerschale 95 angeordnet, von
der nur ein Ausschnitt gezeigt ist. Diese Lagerschale 95 dient
als zusätzliche
Stütze
für lange Rohrtargets 59.
Für Rohrtargets 59 mit
nur einer sehr geringen Länge
ist eine solche Lagerschale 95 nicht nötig.Below the tube cathode 59 in the area of the carrier 61 is a bearing cup 95 arranged, of which only a section is shown. This bearing shell 95 serves as additional support for long tube targets 59 , For pipe targets 59 with only a very small length is such a bearing shell 95 not necessary.
6 zeigt
einen Querschnitt A-A durch die in 5 dargestellte
Rohrkathode 59. Zu sehen ist wiederum die Lagerschale 95,
die sich unterhalb der Rohrkathode 59 im Bereich des Trägers befindet. 6 shows a cross section AA through the in 5 illustrated tube cathode 59 , You can see again the bearing shell 95 extending below the tube cathode 59 located in the area of the carrier.
Zu
erkennen ist zudem die Abschirmung 99, wobei zwischen dem
Target 63 und der Abschirmung 99 der Dunkelraum 100 ausgebildet
ist.You can also see the shielding 99 , being between the target 63 and the shield 99 the dark room 100 is trained.
Im
Innenraum 104 der Rohrkathode 59 verläuft das
Rohr 65, in dem sich das Kühlmittel befindet, welches
sich in Richtung des Trägers
bewegt, um über
die Öffnung 103 in
den Zwischenraum 64 zu gelangen. An dem Rohr 65 ist
die Wanne 105 angeordnet, die das Rohr 65 nur
umgibt, ohne daran befestigt zu sein. Die Wanne 105 liegt
somit lediglich auf dem Rohr 65 auf. Bewegt sich die Rohrkathode 59 und
damit auch das Rohr 65, so bewegt sich die Wanne 105 mit
den darin angeordneten Magneten 94, 97, 98 nicht
mit. Die Wanne 105 sowie die daran angebrachten Magnete 94, 97, 98 sind
somit ortsfest in der Rohrkathode 59 angeordnet.In the interior 104 the tube cathode 59 the pipe runs 65 in which the coolant is located, which moves in the direction of the carrier to the opening 103 in the gap 64 to get. On the pipe 65 is the tub 105 arranged the pipe 65 only surrounds without being attached to it. The tub 105 is thus only on the pipe 65 on. Moves the tube cathode 59 and therefore also the pipe 65 That's how the tub moves 105 with the magnets arranged therein 94 . 97 . 98 not with. The tub 105 as well as the attached magnets 94 . 97 . 98 are thus stationary in the tube cathode 59 arranged.
Weil
im Innenraum 104 der Rohrkathode 59 kein Kühlmittel
vorhanden ist, ist die Lebensdauer der Magnete 95, 97, 98 erheblich
erhöht,
da es zu keiner durch das Kühlmittel
verursachten Korrosion kommt.Because in the interior 104 the tube cathode 59 No coolant is present, the life of the magnets 95 . 97 . 98 significantly increased, since it does not cause any corrosion caused by the coolant.
Ferner
ist in 6 der Mitnehmer 68, z. B. ein Arretierstift,
zu erkennen, der das Target 63 mit dem Targetträgerrohr 62 verbindet.
Das Target 63 ist damit fest mit dem Targetträgerrohr 62 verbunden und
macht somit die Drehbewegung um die Längsachse mit.Furthermore, in 6 the driver 68 , z. As a locking pin, to recognize the target 63 with the target carrier tube 62 combines. The target 63 is thus fixed to the target carrier tube 62 connected and thus makes the rotational movement about the longitudinal axis.
Durch
den Mitnehmer 68 gestaltet sich auch das Wechseln des Targets 68 einfach.
Nachdem der Träger
entfernt worden ist, kann durch Entfernen des Mitnehmers 68 das
Target 63 vom Targetträgerrohr 62 abgenommen
werden und das Target 63 durch ein anderes ersetzt werden.By the driver 68 The change of the target is also possible 68 easy. After the carrier has been removed, it can be removed by removing the driver 68 the target 63 from the target carrier tube 62 be removed and the target 63 be replaced by another.