DE102005024181B4

DE102005024181B4 - Transporteinrichtung, insbesondere zur Verwendung in einer Vakuumkammer

Info

Publication number: DE102005024181B4
Application number: DE102005024181A
Authority: DE
Inventors: Jochen Krause; Michael Hofmann
Original assignee: Von Ardenne Anlagentechnik GmbH
Current assignee: Von Ardenne Anlagentechnik GmbH
Priority date: 2005-05-23
Filing date: 2005-05-23
Publication date: 2007-08-02
Anticipated expiration: 2025-05-24
Also published as: US7490714B2; US20060260914A1; DE102005024181A1

Abstract

Transporteinrichtung (6), insbesondere zur Verwendung in einer Vakuumkammer (5) zum Transportieren eines flächigen Substrats (8) durch die Vakuumkammer (5), umfassend einen Bandförderer mit mindestens einem um mindestens zwei drehbar gelagerte Umlenkrollen (1) geführten flexiblen Endlosband (2), wobei mindestens eine Umlenkrolle (1) antreibbar ist, dadurch gekennzeichnet, dass weiterhin ein Füllelement (3) vorgesehen ist, das zum Ausfüllen mindestens des von dem oder den Endlosbändern (2) umfassten Raums in diesem Raum angeordnet ist.

Description

Die Erfindung betrifft eine Transporteinrichtung, insbesondere zur Verwendung in einer Vakuumkammer zum Transportieren eines flächigen Substrats durch die Vakuumkammer, mit den Merkmalen des Anspruchs 1.

Bei der industriellen Bearbeitung flächiger Substrate, beispielsweise beim Beschichten von Flachglasscheiben in Beschichtungsanlagen, vorzugsweise Magnetronsputteranlagen, müssen oftmals von der Umgebungsluft abweichende Umgebungsbedingungen geschaffen werden, beispielsweise eine Inertgasatmosphäre oder ein Vakuum. In In-Line-Beschichtungsanlagen werden dazu vor- und nachgelagerte Schleusenkammern bzw. Pufferkammern zur Ankopplung an das Prozessvakuum vorgesehen. Der Auf- und Abbau des Vakuums in der Vakuumkammer einer solchen Magnetronsputteranlage soll möglichst schnell erfolgen, und das Vakuum soll einen vorgegebenen Mindestevakuierungsgrad aufweisen, um die notwendige Bearbeitungsgeschwindigkeit in der Beschichtungsanlage und einen wirtschaftlichen Beschichtungsprozess zu erreichen.

Für den Transport des Substrats durch die Vakuumkammer werden üblicherweise Transporteinrichtungen verwendet, die eine Mehrzahl angetriebener Umlenkrollen oder einen Bandförderer mit einem oder mehreren um mindestens zwei angetriebene Umlenkrollen geführten flexiblen Endlosband umfassen.

Diese Transporteinrichtungen weisen in vertikaler Richtung Abmessungen auf, die ein Mehrfaches der Dickenabmessung des flächigen Substrats betragen. Der Raum, den die Umlenkrollen in der Schleusenkammer einnehmen einschließlich des zwischen ihnen befindlichen ungenutzten Raumes muss vollständig evakuiert werden. Dieser Raum erhöht das zu evakuierende Volumen der Vakuumkammer beträchtlich. Die für die Evakuierung (Herstellen des Vakuums) bzw. Flutung der Vakuumkammer (Rückführung des Vakuumkammerdrucks auf atmosphärischen Druck), und hierbei insbesondere für die Evakuierung bzw. Flutung der Schleusenkammern, erforderliche Zeit sowie der energetische Aufwand hierfür steigen daher bei Verwendung einer derartigen Transporteinrichtung an. Darüber hinaus nimmt bei gleich bleibender Pumpleistung der verwendeten Vakuumpumpen der erzielbare Evakuierungsgrad mit steigendem Volumen ab.

Es ist daher erforderlich, hochleistungsfähige Vakuumpumpen vorzusehen, da die Geschwindigkeit des Evakuierens einer Schleusenkammer das taktbestimmende Element für den Betrieb der Gesamtanlage ist und die Prozesssicherheit wesentlich vom erzielten Evakuierungsgrad abhängt.

Um die zum Evakuieren erforderliche Zeit zu verkürzen, können Vakuumpumpen mit erhöhter Saugleistung verwendet werden oder das Volumen der Schleusenkammer verringert werden. Der Verringerung des Volumens der Schleusenkammer ist jedoch durch die erwähnten notwendigen Abmessungen der Umlenkrollen eine Grenze gesetzt. Die Erhöhung der Saugleistung der Vakuumpumpe führt andererseits zu höherem Energieverbrauch und ist daher unwirtschaftlich und damit unerwünscht.

In DE 197 14 271 wurde zur Verminderung des von der Transporteinrichtung benötigten Volumens vorgeschlagen, das Untertrum 26 des Endlosbandes mittels Ablenkrollen 24, 25 auf geringen Abstand zum Obertrum 18 anzuheben und das Obertrum 18 und das Untertrum 26 in Nuten 17 in der Bodenwand 4 der Vakuumkammer zu führen. Nachteilig an dieser Lösung sind der hohe Aufwand zur Herstellung der Bodenwand der Vakuumkammer und der relativ hohe Montageaufwand für die Transporteinrichtung, insbesondere im Wartungsfall.

Die Aufgabe der vorliegenden Erfindung besteht daher darin, eine Transporteinrichtung, insbesondere im Bereich der Schleusenkammern, der oben angegebenen Art vorzuschlagen, bei der das von der Transporteinrichtung umschlossene Luftvolumen möglichst klein ist, um das insgesamt zu evakuierende Volumen der Vakuumkammer möglichst gering zu halten, und die dennoch wartungsfreundlich aufgebaut, ortsunabhängig betreibbar und bei bestehenden Vakuumkammern einfach nachrüstbar ist.

Erfindungsgemäß wird die Aufgabe gelöst durch eine Transporteinrichtung mit den Merkmalen des Anspruchs 1. Vorteilhafte Ausgestaltungen der Erfindung sind Gegenstand von Unteransprüchen.

Die erfindungsgemäße Transporteinrichtung ist insbesondere zur Verwendung in einer Vakuumkammer zum Transportieren eines flächigen Substrats durch die Vakuumkammer geeignet und umfasst einen Bandförderer mit mindestens einem um mindestens zwei Umlenkrollen geführten flexiblen Endlosband, wobei mindestens eine Umlenkrolle antreibbar ist, und ist dadurch gekennzeichnet, dass weiterhin ein Füllelement vorgesehen ist, das zum Ausfüllen mindestens des von dem oder den Endlosbändern umfassten Raums in diesem Raum angeordnet ist.

Endlosbänder im Sinne dieser Anmeldung können jeden beliebigen Querschnitt haben. Abhängig von der gewünschten Anwendung wird der Fachmann aus den bekannten Typen von Endlosbändern den für seinen Zweck am besten geeigneten Typ auswählen, beispielsweise einen Rundriemen mit kreisförmigem Querschnitt, einen Flachriemen mit einem flachen rechteckigen Querschnitt, einen Keilriemen mit trapezförmigem Querschnitt, einen Riemen mit T-förmigem Querschnitt usw.

Umlenkrollen im Sinne dieser Anmeldung können sowohl walzenförmige Rollen, d.h. Rollen mit einer Länge, die größer ist als ihr Durchmesser, als auch radförmige Rollen, d.h. Rollen mit einer Länge, die kleiner ist als ihr Durchmesser, sein. Darüber hinaus sollen unter dem Begriff Umlenkrollen Rollen der genannten Art mit oder ohne Oberflächenstruktur, d.h. in Umfangsrichtung verlaufenden Nuten oder Wülsten zur Führung von Endlosbändern, reibungserhöhenden Oberflächenstrukturen oder glatter Oberfläche verstanden werden.

Durch die Einfügung des Füllelements in die Transporteinrichtung wird das von der Transporteinrichtung umschlossene Luftvolumen gegenüber herkömmlichen Lösungen signifikant verringert. Dadurch verkleinert sich das zu evakuierende Volumen der Vakuumkammer, insbesondere der Schleusenkammern. Die Vakuumkammer kann schneller evakuiert und belüftet werden. Dennoch ist die Transporteinrichtung wartungsfreundlich aufgebaut. Wartungsarbeiten sind leicht durchführbar, weil die Endlosbänder und die Umlenkrollen leicht zugänglich sind. Die erfindungsgemäße Transporteinrichtung kann auch bei bestehenden Vakuumkammern einfach nachgerüstet werden.

Das Füllelement ist ein zusätzlicher Bestandteil der Transporteinrichtung, d.h. es gehört zur Transporteinrichtung. Dadurch ist die Transporteinrichtung unabhängig von einer Montageoberfläche, an der sie angebracht werden soll und kann auch ohne diese und unabhängig von ihr verwendet werden. Bei Verwendung der erfindungsgemäßen Transporteinrichtung in einer Vakuumkammer kann die Vakuumkammer eine leichte, einfach gestaltete, preiswerte, beispielsweise aus Blech hergestellte Bodenwand aufweisen.

Vorteilhaft weist das Füllelement Lageraufnahmen zur drehbaren Lagerung der Umlenkrollen auf und die Umlenkrollen sind in diesen Lageraufnahmen drehbar gelagert.

Durch die Aufnahme von Lageraufnahmen in das Füllelement bildet die gesamte Transporteinrichtung mit Endlosbändern und Umlenkrollen eine kompakte Baugruppe, die bedarfsweise im Ganzen montiert und demontiert werden kann. Hierdurch werden Wartungsarbeiten, insbesondere wenn die Transporteinrichtung in eine Maschine, wie beispielsweise eine Vakuumkammer, eingebaut ist, nochmals erleichtert, da die Bestandteile der Transporteinrichtung leichter zugänglich sind, wenn die gesamte Transporteinrichtung aus der Maschine entnommen werden kann.

Weiter vorteilhaft sind mehrere Umlenkrollen auf einer gemeinsamen, am Füllelement gelagerten Welle angeordnet, so dass sie von einem gemeinsamen Antriebsmittel antreibbar sind.

Diese Ausgestaltung bietet sich insbesondere bei erfindungsgemäßen Transporteinrichtungen an, die mehrere Endlosbänder und je Endlosband ein Paar von Umlenkrollen aufweisen. Jedes Endlosband wird über zwei Umlenkrollen geführt, von denen eines den Anfang und das andere das Ende des Transportweges definiert. Üblicherweise wird bei derartigen Anordnungen nur eine der beiden Umlenkrollen, beispielsweise die am Anfang des Transportweges angeordnete, angetrieben.

Werden nun alle am Anfang des Transportweges angeordneten Umlenkrollen der Transporteinrichtung auf einer gemeinsamen Welle angeordnet, so können alle Endlosbänder mit nur einem Antriebsmittel angetrieben werden, indem das eine Ende der gemeinsamen Welle beispielsweise mit einem Elektromotor verbunden wird.

In einer Ausgestaltung der Erfindung ist mindestens eine Umlenkrolle in einer Aussparung des Füllelements angeordnet.

Dies ist besonders vorteilhaft, um auch die Luft aus dem Raum neben der bzw. zwischen den Umlenkrollen durch das Füllelement zu verdrängen. Hierdurch wird eine weitere Verringerung des zu evakuierenden Volumens erreicht.

Ebenfalls vorteilhaft weist das Füllelement eine oder mehrere Nuten zur Führung des oder der Endlosbänder auf.

Einerseits wird hierdurch auch der Raum neben dem bzw. zwischen den Endlosbändern zumindest teilweise vom Füllelement ausgefüllt, wodurch das zu evakuierende Volumen weiter verringert wird. Andererseits erhalten die Endlosbänder eine seitliche Führung, wodurch Ungenauigkeiten beim Transport der Substrate vermieden werden. Besonders vorteilhaft sind die Nuten auf der Oberseite des Füllelements so ausgeführt, dass die Endlosbänder über die Nut und damit über die Oberfläche des Füllelements hinausragen. Die Nuten auf der Unterseite des Füllelements können hingegen zum Schutz der Endlosbänder so tief ausgeführt sein, dass die Endlosbänder vollständig in ihnen aufgenommen werden.

In einer Ausgestaltung der Erfindung weist das Füllelement Befestigungsmittelaufnahmen zur Befestigung der Transporteinrichtung an einer Montageoberfläche auf.

Dies ist besonders vorteilhaft, wenn die sonstigen Bestandteile der Transporteinrichtung, wie Endlosbänder, Umlenkrollen, Antriebsmittel usw. mit dem Füllelement zu einer kompakten Baugruppe verbunden sind. Die Transporteinrichtung kann in diesem Falle an einer dafür vorgesehenen Montageoberfläche, beispielsweise der Bodenwand einer Vakuumkammer, in einfacher Weise befestigt werden. Die einzelnen Bestandteile der Transporteinrichtung weisen schon vor dem Einbau der Transporteinrichtung festgelegte Positionen zueinander auf und müssen nicht, wie dies bei unabhängiger Montage der einzelnen Bestandteile notwendig wäre, aufwendig ausgerichtet und in ihren jeweiligen Positionen fixiert werden. Die Transporteinrichtung wird im Ganzen lediglich an den Befestigungsmittelaufnahmen befestigt.

Die Befestigungsmittelaufnahmen können beispielsweise Sacklöcher mit Innengewinde, seitlich am Füllelement angeordnete Laschen mit Durchgangsbohrungen o.ä. sein.

Vorteilhaft sind die Befestigungsmittelaufnahmen als Abstandhalter zu einer Montageoberfläche ausgeführt.

Insbesondere für die Verwendung der erfindungsgemäßen Transporteinrichtung in einer Vakuumkammer bringt die Ausführung der Befestigungsmittelaufnahmen als Abstandhalter einen wichtigen Vorteil mit sich:
Bisher werden Schleusenkammern von Beschichtungsanlagen zur Beschichtung flächiger Substrate üblicherweise durch eine an der Oberseite der Schleusenkammer angeordnete Belüftungsöffnung geflutet, d.h. belüftet. Der Grund hierfür liegt darin, dass bei einer Belüftung von der Bodenwand der Vakuumkammer her die Gefahr besteht, dass das flächige Substrat von der Transportvorrichtung abgehoben oder sogar zerstört wird.

Bei der Belüftung von der Oberseite der Schleusenkammer her ist zumindest das Abheben des Substrats nicht zu befürchten, da die einströmende Luft das Substrat nur fester auf die Transporteinrichtung drückt. Dennoch besteht auch hier die Gefahr, dass das Substrat durch den hohen Druck der einströmenden Luft zerstört wird. Gegenwärtig wird dem entgegengewirkt, indem zwischen der Belüftungsöffnung an der Oberseite der Schleusenkammer und der Transporteinrichtung bzw. dem darauf liegenden flächigen Substrat eine Prallplatte vorgesehen wird, die den Druck der einströmenden Luft aufnimmt und diese zunächst parallel zur Transportebene verteilt. Dadurch wird der auf das Substrat ausgeübte Druck der einströmenden Luft soweit abgeschwächt, dass das Substrat nicht zerstört werden kann.

Mit der Befestigung der erfindungsgemäßen Transporteinrichtung in der Nähe der Bodenwand der Vakuumkammer, d.h. mit einem vorgebbaren Abstand, der durch die Ausführung der Befestigungsmittelaufnahmen als Abstandhalter definiert wird, kann die Vakuumkammer gefahrlos von der Bodenwand her belüftet werden. Die durch eine unterhalb der Transporteinrichtung in der Bodenwand vorgesehene Belüftungsöffnung einströmende Luft trifft zunächst auf das Füllelement und wird dadurch in dem durch die Befestigungsmittel definierten Abstand zwischen Bodenwand und Füllelement parallel zur Transportebene der Substrate in der Vakuumkammer verteilt. Das Substrat kann durch die einströmende Luft weder angehoben noch zerstört werden.

Alternativ oder zusätzlich kann das Füllelement an seiner Unterseite zusätzlich einen oder mehrere Kanäle zur Luftverteilung aufweisen, so dass einströmende Luft schnell und effektiv in der Vakuumkammer verteilt wird. Derartige Kanäle können beispielsweise als Nuten oder Bohrungen ausgeführt sein.

Besonders vorteilhaft ist die Verwendung der erfindungsgemäßen Transporteinrichtung in einer Vakuumkammer, wobei die Transporteinrichtung oberhalb einer in einer Bodenwand der Vakuumkammer angeordneten Belüftungsöffnung mit einem Abstand zur Bodenwand angeordnet ist, der das Eindringen von Luft durch die Belüftungsöffnung in die Vakuumkammer ermöglicht.

Nachfolgend wird die Erfindung anhand von Ausführungsbeispielen und zugehörigen Zeichnungen näher erläutert. Dabei zeigen

1 eine Transporteinrichtung gemäß einem ersten Ausführungsbeispiel,
2 eine Transporteinrichtung gemäß einem zweiten Ausführungsbeispiel und
3 die Verwendung der erfindungsgemäßen Transporteinrichtung in der Vakuumkammer einer Beschichtungsanlage.
In 1 ist eine einfache Ausgestaltung der erfindungsgemäßen Transporteinrichtung dargestellt.
Die Transporteinrichtung umfasst zwei Umlenkrollen 1, drei Endlosbänder 2 und ein Füllelement 3.
Die Umlenkrollen 1 sind walzenförmig ausgeführt. Sie dienen zur Führung und zum Antrieb aller drei Endlosbänder 2, die im Ausführungsbeispiel einen flachen rechteckigen Querschnitt aufweisen. Die Umlenkrollen 1 bestehen aus einem walzenförmigen Rotor 11, der auf einer Achse 12 drehbar gelagert ist. Die Achse 12 ragt beidseitig aus dem Rotor 11 heraus, so dass die Umlenkrollen 1 an diesen freien Enden der Achse 12 gelagert werden können. Die Lagerung selbst ist in der Figur nicht dargestellt.
Zwischen dem von den Umlenkrollen 1 und den Endlosbändern 2 umschlossenen Raum ist der Füllkörper 3 angeordnet. Dieser weist eine annähernd quaderförmige Gestalt auf. Lediglich die den Umlenkrollen 1 zugewandten Seiten des Füllkörpers 3 sind konkav ausgeführt, so dass diese Seiten des Füllkörpers 3 den Umlenkrollen 1 auf der gesamten Höhe des Füllkörpers 3 möglichst nahe kommen, um einen möglichst großen Teil des umschlossenen Volumens einzunehmen.
In 2 ist eine verbesserte Ausgestaltung der erfindungsgemäßen Transporteinrichtung dargestellt.
Die Transporteinrichtung umfasst sechs Umlenkrollen 1, drei Endlosbänder 2 und ein Füllelement 3.
Die Umlenkrollen 1 sind radförmig ausgeführt. Jedes Paar von Umlenkrollen 1 dient zur Führung und zum Antrieb eines der drei Endlosbänder 2, die im Ausführungsbeispiel einen kreisförmigen Querschnitt aufweisen. Die Umlenkrollen 1 weisen eine im Querschnitt halbkreisförmige Umfangsnut 13 zur Aufnahme des Endlosbands 2 auf.
Jeweils drei der sechs Umlenkrollen 1 sind an je einem Ende des Füllelements 3 angeordnet. Sie definieren damit den Anfang bzw. das Ende des mit der Transporteinrichtung realisierbaren Transportweges. Jede dieser beiden Gruppen von drei Umlenkrollen 1 weist eine gemeinsame Welle 14 auf, auf der die Umlenkrollen 1 gelagert sind. Die Welle 14 ist mit Wälzlagern 15 in einer Bohrung des Füllelements 3 gelagert. Die Wälzlager 15 sind in dafür vorgesehenen Lageraufnahmen 35 des Füllelements 3 angeordnet.
Durch die Anordnung mehrerer Umlenkrollen 1 auf einer gemeinsamen Welle 14 sind diese durch ein gemeinsames Antriebsmittel 4 antreibbar, das im Ausführungsbeispiel ein Elektromotor mit integriertem Getriebe ist. Das Antriebsmittel 4 ist seitlich am Füllelement 3 angeordnet und mit der gemeinsamen Welle 14 verbunden.
Jede Umlenkrolle 1 ist in einer dafür vorgesehenen Aussparung 31 des Füllelements 3 angeordnet, so dass auch der Raum zwischen den Umlenkrollen 1 vom Füllelement 3 ausgefüllt ist.
Der Füllkörper 3 ist zwischen dem von den Umlenkrollen 1 und den Endlosbändern 2 umschlossenen Raum angeordnet und weist eine annähernd quaderförmige Grundform auf. Diese Grundform wird lediglich durchbrochen von den Aussparungen 31 und den Nuten 33 und 34.
Die obere Nut 33 ist dabei so gestaltet, dass sie einen halbkreisförmigen Querschnitt aufweist. Das Obertrum des in der oberen Nut 33 verlaufenden Endlosbands 2 ragt daher etwa zur Hälfte aus der oberen Nut 33 über die Oberseite des Füllelements 3 hinaus, so dass kein Kontakt zwischen einem auf dem Obertrum des Endlosbandes 33 liegenden Substrat und dem Füllelement 3 entstehen kann.
Die untere Nut 34 hingegen ist so tief ausgearbeitet, dass das Untertrum des Endlosbands 2 vollständig darin verschwindet. Dadurch wird das Endlosband 2 auf der Unterseite des Füllelements 3 vor Beschädigungen geschützt.
An jeder Längsseite des Füllelements 3 sind zwei Befestigungsmittelaufnahmen 32 zur Anbringung der Transporteinrichtung an einer Montageoberfläche angeordnet. Im Ausführungsbeispiel sind die Befestigungsmittelaufnahmen 32 als Laschen mit je einer Durchgangsbohrung ausgeführt.
Wie aus 2, insbesondere der Schnittdarstellung A-A erkennbar ist, sind die Befestigungsmittelaufnahmen 32 als Abstandhalter zu einer Montageoberfläche ausgeführt, indem der äußere Bereich der Laschen abwärts bis unterhalb der Unterseite des Füllelements 3 gekröpft sind. Dadurch wird zwischen der Unterseite des Füllelements 3 und der Montageoberfläche, beispielsweise der Bodenwand einer Vakuumkammer, ein Abstand definiert.
In 3 ist eine bevorzugte Verwendung der erfindungsgemäßen Transporteinrichtung in der Vakuumkammer einer Beschichtungsanlage dargestellt.
Die Vakuumkammer 5 ist ein geschlossener, evakuierbarer Raum, der von Wänden aus Blech begrenzt ist. In der Bodenwand 51 ist eine Belüftungsöffnung 52 vorgesehen, die bedarfsweise auch als Entlüftungsöffnung bei der Evakuierung der Vakuumkammer 5 verwendbar ist, vorgesehen.
Oberhalb der Belüftungsöffnung 52 ist eine Transporteinrichtung 6 mit einem Füllelement 3 zum Transport flächiger Substrate 8 durch die Vakuumkammer 5 auf der Bodenwand 51 der Vakuumkammer 5 angeordnet. Durch die an der Transporteinrichtung 6 vorgesehenen, der Befestigung der Transporteinrichtung 6 an der Bodenwand 51 der Vakuumkammer 5 dienenden Befestigungsmittelaufnahmen 32, ist zwischen der Bodenwand 51 und der Transporteinrichtung 6 ein Abstand definiert.
Wird die Vakuumkammer 5 durch Einlassen von Luft durch die Belüftungsöffnung 52 belüftet, so trifft die eintretende Luft auf das Füllelement 3 der Transporteinrichtung 6 und wird von diesem parallel zur Transportebene der Substrate 8 in der Vakuumkammer 5 verteilt. Dadurch können die Substrate 8 nicht durch die eintretende Luft angehoben oder zerstört werden.

1: Umlenkrolle
11: Rotor
12: Achse
13: Umfangsnut
14: Welle
15: Wälzlager
2: Endlosband
3: Füllkörper
31: Aussparung
32: Befestigungsmittelaufnahme
33: Obere Nut
34: Untere Nut
4: Antriebsmittel
5: Vakuumkammer
51: Bodenwand
52: Belüftungsöffnung
6: Transporteinrichtung
7: Abstand
8: Flächiges Substrat

Claims

Transporteinrichtung (6), insbesondere zur Verwendung in einer Vakuumkammer (5) zum Transportieren eines flächigen Substrats (8) durch die Vakuumkammer (5), umfassend einen Bandförderer mit mindestens einem um mindestens zwei drehbar gelagerte Umlenkrollen (1) geführten flexiblen Endlosband (2), wobei mindestens eine Umlenkrolle (1) antreibbar ist, dadurch gekennzeichnet, dass weiterhin ein Füllelement (3) vorgesehen ist, das zum Ausfüllen mindestens des von dem oder den Endlosbändern (2) umfassten Raums in diesem Raum angeordnet ist.
Transporteinrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass das Füllelement (3) Lageraufnahmen (15) zur drehbaren Lagerung der Umlenkrollen (1) aufweist und die Umlenkrollen (1) in diesen Lageraufnahmen (15) drehbar gelagert sind.
Transporteinrichtung nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass mehrere Umlenkrollen (1) auf einer gemeinsamen, am Füllelement (3) gelagerten Welle (14) angeordnet sind, so dass sie von einem gemeinsamen Antriebsmittel (4) antreibbar sind.
Transporteinrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass mindestens eine Umlenkrolle (1) in einer Aussparung (31) des Füllelements (3) angeordnet ist.
Transporteinrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass das Füllelement (3) eine oder mehrere Nuten (33, 34) zur Führung des oder der Endlosbänder (2) aufweist.
Transporteinrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass das Füllelement (3) Befestigungsmittelaufnahmen (32) zur Befestigung der Transporteinrichtung (6) an einer Montageoberfläche aufweist.
Transporteinrichtung nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, dass die Befestigungsmittelaufnahmen (32) als Abstandhalter zu einer Montageoberfläche ausgeführt sind.
Transporteinrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass das Füllelement (3) an seiner Unterseite zusätzlich einen oder mehrere Kanäle zur Luftverteilung aufweist.
Verwendung der Transporteinrichtung (6) nach einem der Ansprüche 1 bis 7 in einer Vakuumkammer (5), dadurch gekennzeichnet, dass die Transporteinrichtung (6) oberhalb einer in einer Bodenwand (51) der Vakuumkammer (5) angeordneten Belüftungsöffnung (52) mit einem Abstand (7) zur Bodenwand (51) angeordnet ist, der das Eindringen von Luft durch die Belüftungsöffnung (52) in die Vakuumkammer (5) ermöglicht.