-
Die
Erfindung betrifft ein System und ein Verfahren jeweils gemäß den Merkmalen
der Oberbegriffe der unabhängigen
Patentansprüche.
-
Zur
Versorgung eines Verbrauchers mit elektrischer Leistung und einem
oder mehreren Fluiden, welche von einem Versorgungsmodul durch eine Wandung
hindurch zur Verfügung
gestellt werden, werden in der Vakuumtechnik üblicherweise Verbindungssysteme
mit einzelnen Schraub- und Steckkontakten eingesetzt. Beispielsweise
kann die Schnittstelle zwischen einer Plasmaquelle und einer sogenannten
Matchbox zur Impedanzanpassung mehrere Wasserleitungen, Hochfrequenzleitungen, Gasleitungen
und Gleichstrom (DC)-Stromleitungen umfassen,
die durch die Kesselwand einer Vakuumkammer geführt werden, in der die Quelle
untergebracht ist. Die Schraub- und Steckkontakte sind dabei innerhalb
der Matchbox angeordnet, was zu einer beträchtlichen Baugröße der Matchbox
führt,
da zur Montage bzw. Demontage der Kontakte innerhalb der Matchbox
hantiert werden muss. Die Verwandung von einzelnen Schraub- und
Steckkontakten erhöht
dabei den Arbeitsaufwand bei der Montage bzw. Demontage der Verbindungen.
Ferner ist bei mehreren Verbindungen nicht ohne weiteres eine Verwechslung
von Verbindungen zu vermeiden. Eine korrekte Montage verlangt darüber hinaus
eine beträchtliche
Geschicklichkeit und Sorgfalt, bei deren Fehlen insbesondere Dichtigkeitsprobleme
bei den Fluidverbindungstellen auftreten können.
-
Aufgabe
der Erfindung ist die Schaffung eines Verbindungssystems und eines
Verfahrens zur Durchführung
von elektrischer Leistung und zumindest einem Fluid durch eine Wandung
hindurch, die einen sicheren Verbindungszustand und einen einfachen
und schnellen Übergang
in einen Trennzustand sowie einen einfachen und einen schnellen Übergang
von einem Trennzustand in einen sicheren Verbindungszustand ermöglichen.
-
Die
Aufgabe wird erfindungsgemäß mit den Merkmalen
der unabhängigen
Patentansprüche
gelöst.
-
Erfindungsgemäß ist bei
einem gattungsgemäßen Verbindungssystem
vorgesehen, dass der Steckkontakt als Hohlstecker ausgebildet ist
und der Buchsenkontakt eine dem Hohlstecker angepasste Aufnahme-
und Kontaktöffnung
für den
Hohlstecker umfasst und im Verbindungszustand ein Stromführungsbereich
des Hohlsteckers und ein Stromführungsbereich
des Buchsenkontakts zum Transport elektrischer Leistung und ein Innenbereich
des Hohlsteckers und ein Innenbereich des Buchsensteckers zum Transport
des besagten Fluids verbunden sind.
-
Die
Herstellung eines Verbindungszustands bzw. eines Trennzustands wird
durch die Ausgestaltung von Steckkontakt und Buchsenkontakt als
Hohlstecker mit einem Buchsenkontakt und eine an den Stecker angepasste
Aufnahme- und Kontaktöffnung für den Hohlstecker
erreicht und die Verwendung von Steckkontakt und Buchsenkontakt
sowohl zum Transport von elektrischer Leistung als auch zum Transport
von Fluid beträchtlich
vereinfacht. Durch den Wegfall von separaten Verbindungen für elektrische
Leistung und Fluid werden Montage- und Demontagezeiten beträchtlich
verkürzt.
-
Ferner
ist erfindungsgemäß bei einem
gattungsgemäßen Verbindungssystem
vorgesehen, dass der besagte Steckkontakt mit einer Steckkontakthalterungsplatte
und/oder der besagte Buchsenkontakt in einer Buchsenkontakthalterungsplatte
angeordnet ist und dass Lagerungsmittel vorgesehen sind zur schwimmenden
Lagerung von zumindest einer der Komponenten Steckkontakt, Buchsenkontakt,
Steckkontakthalterungsplatte oder Buchsenkontakthalterungsplatte.
-
Durch
die schwimmende Lagerung von zumindest einer der Komponenten Steckkontakt,
Buchsenkontakt, Steckkontakthalterungsplatte oder Buchsenkontakthalterungsplatte
ist es möglich,
durch Herstellungstoleranzen, Wärmeverzug
oder bei der Montage bzw. Demontage auftretende Kräfte abzufangen.
Damit werden einseitige Belastungen von Steckkontakt und Buchsenkontakt
verhindert. Derartige einseitige Belastungen können zu elektrischen Überschlägen zwischen
den Kontakten und damit zur thermischen Zerstörung führen.
-
Weiterbildungen
der Erfindung sind den abhängigen
Ansprüchen
zu entnehmen.
-
In
einer Weiterbildung der Erfindung ist vorgesehen, dass die elektrische
Leistung zumindest eine Hochfrequenzkomponente aufweist und der Stromführungsbereich
für diese
Komponente durch den Skin-Effekt bestimmt ist und ein Schutz des
Verbindungsbereichs von Innenbereich des Hohlsteckers und Innenbereich
des Buchsensteckers vor einer Belastung mit Hochfrequenzleistung
erreichbar ist.
-
In
einer Weiterbildung der Erfindung ist die Steckkontakthalterungsplatte
und/oder die Buchsenhalterungsplatte als Isolationsplatte ausgebildet,
womit ein Schutz vor Kriechströmen
erreicht wird.
-
Wenn
entweder der besagte Steckkontakt oder der besagte Buchsenkontakt
ortsfest in der Steckkontakthalterungsplatte bzw. der Buchsenhalterungsplatte
angeordnet ist, kann eine ortsfeste Weiterführung der jeweils daran angeschlossenen Verbindung
zu dem Verbraucher bzw. dem Versorgungsmodul erreicht werden.
-
Wenn
im Außenbereich
der Wandung ein erster Anschlussflansch für einen Anschluss des Versorgungsmoduls
und/oder am Versorgungsmodul ein zweiter Anschlussflansch für einen
Anschluss an den Außenbereich
der Wandung vorgesehen ist, wobei der erste Anschlussflansch und/oder
der zweite Anschlussflansch als den besagten Steck- und Buchsenkontakten
zugeordnete elektrische Abschirmungseinrichtung ausgebildet ist,
kann vorteilhaft eine effektive Hochfrequenzabschirmung des Verbindungssystems
erreicht werden.
-
In
einer Weiterbildung des Verbindungssystems ist vorgesehen, dass
die ersten Lagerungsmittel einen ortsfesten Bestandteil aufweisen,
der Teil des zweiten Anschlussflansch ist und als Stufenbereich
ausgebildet ist, der zumindest einen Teil des Randbereichs der Isolationsplatte
kragenartig umfasst, wobei zwischen dem Stufenbereich und dem besagten
Teil des Randbereichs ein vorgegebenes Spiel zugelassen ist. Damit
lässt sich
auf einfache Weise eine funktionssichere schwimmende Lagerung realisieren.
-
Bei
einer Weiterbildung der Erfindung ist vorgesehen, dass die Isolationsplatte
eine Profilstruktur zur Reduktion von Kriechstrom aufweist, womit
eine erhöhte
Hochspannungssicherheit des Verbindungssystems erreicht wird.
-
Bei
einer Weiterbildung der Erfindung ist vorgesehen, dass die Kontaktbuchse
in einer mit elektrischen Isolationsmitteln versehenen Einführbuchse untergebracht
ist, womit eine erhöhte
Hochspannungsfestigkeit des Verbindungssystems erreicht wird.
-
Bei
einer Weiterbildung der Erfindung ist vorgesehen, dass die besagte
Kontaktbuchse zwei oder mehr mit dem besagten Kontaktbereich des
Hohlsteckers zusammenwirkende, vorzugsweise federnde HF-Kontaktelemente
aufweist, womit ein sicherer Kontakt und eine einfache Montage bzw.
Demontage zu erreichen ist.
-
In
einer Weiterbildung ist vorgesehen, dass zwischen erster und zweiter
Anschlussflansch elektrische Verbindungsmittel vorgesehen sind,
womit eine verbesserte HF-Abschirmung durch die Flansche erreicht
werden kann.
-
Bei
einer Weiterbildung der Erfindung ist vorgesehen, dass eine Anzahl
von zumindest zwei der besagten Steckkontakte und eine gleiche Anzahl
von Buchsenkontakten vorgesehen sind, womit eine entsprechende Anzahl
von Verbindungen zwischen dem Verbraucher- und dem Versorgungsmodul
sicher und einfach realisiert werden kann.
-
In
einer Weiterbildung der Erfindung ist vorgesehen, dass der Verbraucher
eine Ionenquelle oder eine Plasmastrahlquelle ist. Besonders bevorzugt
ist es, wenn die Quelle zur Durchführung eines PVCD-Vakuumverfahrens,
vorzugsweise mit einer elektrischen Leistung von höchstens
5 KW ausgebildet ist.
-
Bei
einer Weiterbildung ist das Versorgungsmodul eine Matchbox, welche
ein elektrisches Anpassungsnetzwerk für eine Ionenquelle oder eine Plasmastrahlquelle
umfasst, wobei eine Reduzierung der Baugröße der Matchbox erreicht werden
kann. Bei hoher Verwechslungssicherheit und einer Elimination von
Dichtheitsproblemen kann die Montagezeit auf einen Bruchteil der üblichen
Montagezeit reduziert werden.
-
Die
Erfindung umfasst ferner ein gattungsgemäßes Verfahren zur Durchführung von
elektrischer Leistung und zumindest einem Fluid, bei dem erfindungsgemäß vorgesehen
ist, dass der Steckkontakt als Hohlstecker aus einem elektrische
leitenden Material besteht und der Buchsenkontakt eine dem Hohlstecker
angepasste Aufnahme- und Kontaktöffnung
für den
Hohlstecker umfasst und im Verbindungszustand ein Stromführungsbereich
des Hohlsteckers und ein Stromführungsbereich
des Buchsenkontakts zum Transport elektrischer Leistung und/oder
ein Innenbereich des Hohlsteckers und ein Innenbereich des Buchsensteckers
zum Transport des besagten Fluids verbunden sind.
-
Ferner
ist bei einem erfindungsgemäßen Verfahren
zur Durchführung
von elektrischer Leistung und zumindest einem Fluid durch eine Wandung vorgesehen,
dass der besagte Steckkontakt mit einer Steckkontakthalterungsplatte
und/oder der besagte Buchsenkontakt in einer Buchsenhalterungskontaktplatte
angeordnet ist und dass Lagerungsmittel zur schwimmenden Lagerung
von zumindest einer der Komponenten Steckkontakt, Buchsenkontakt,
Steckkontakthalterungsplatte oder Buchsenkontakthalterungsplatte
vorgesehen sind.
-
Weitere
Weiterbildungen, Ausführungsbeispiele
und Vorteile der Erfindung sind unabhängig von ihrer Zusammenfassung
in Patentansprüchen und
ohne Beschränkung
der Allgemeinheit der nachfolgenden Beschreibung sowie Darstellung
anhand von Zeichnungen zu entnehmen.
-
Es
zeigen in schematischer Darstellung
-
1 ein
erfindungsgemäßes Verbindungssystem
in einem Trennzustand
-
2 einen
Steckkontakt und einen Buchsenkontakt eines erfindungsgemäßen Verbindungssystems
in einem Verbindungszustand.
-
In 1 ist
in schematischer Weise ein erfindungsgemäßes Verbindungssystem in einem
Trennzustand dargestellt. 2 zeigt
einen Steckkontakt und einen Buchsenkontakt eines erfindungsgemäßen Verbindungssystems
in einem Verbindungszustand. Gleiche Komponenten sind mit gleichen
Bezugszeichen versehen. Grundsätzlich
sind Isolatoren ind den Figuren mit doppelter Schraffur dargestellt.
-
Ein
erfindungsgemäßes System
dient der Durchführung
von elektrischer Leistung und zumindest einem Fluid durch eine Wandung 3 hindurch
zur Versorgung eines Verbrauchers durch einen Versorgungsmodul.
Vorzugsweise ist der Verbraucher eine HF-Ionenquelle oder eine HF-Plasmastrahlquelle, beispielsweise
für einen
Boxcoater. Derartige Quellen können
vorteilhaft zur Durchführung
eines PVCD-Vakuumverfahrens eingesetzt werden. Besonders bevorzugt
sind kleinere Anlagen mit Quellen mit einer elektrischen Leistung
von weniger als 5 KW, da hier eine höhere Kompaktheit besonders
vorteilhaft ist. Bei der durchgeführten elektrischen Leistung kann
es sich um Gleichstrom (DC) -, Hochfrequenz (HF) – von 1.000
Hertz und mehr oder um eine Überlagerung
von HF- und DC-Leistung handeln. Besonders bevorzugt ist eine Hochfrequenzleistung
von 13,56 MHz. Die verwendeten elektrischen Spannungen können in
einem Bereich zwischen 10 und mehreren 100 Volt liegen, allerdings
auch bis in den Kilovolt – Bereich
reichen. Das Versorgungsmodul kann eine als Hohlraumresonator ausgebildete
Matchbox sein, welche ein elektrisches Anpassungsnetzwerk für eine Ionenquelle
oder eine Plasmastrahlquelle umfasst.
-
Bei
den durchzuführenden
Fluiden kann es sich um Wasser, vorzugsweise mit einer vorgegebenen
niedrigen Leitfähigkeit,
oder um Prozessgase für die
zu versorgenden Verbraucher, insbesondere Quellen, handeln. Auch
Vakuum wird im Kontext der Erfindung als Fluid bezeichnet.
-
Das
Versorgungsmodul liegt in einem Bereich einer ersten Seite S1 und der Verbraucher in einem Bereich einer
zweiten Seite S2 der Wandung 3 Bevorzugt
ist die Wandung 3, eine Kesselwand einer Vakuumkammer.
An der Wandung 3 ist das Gehäuse 1 einer Ionen-
oder Plasmaquelle angeordnet. Zur Abdichtung ist zwischen dem Gehäuse 1 der
Ionenquelle und der Wandung 3 ein 0-Ring 2 vorgesehen. In
dem Bereich der Seite S2 kann Vakuum oder
atmosphärischer
Druck herrschen.
-
An
einer, beispielsweise aus Aluminium gefertigten, Gehäusewand 8 des
Versorgungsmoduls ist ein Anschlussflansch 9a für einen
Anschluss an den Außenbereich
bzw. einen an dem Außenbereich der
Wandung 3 angeordneten Anschlussflansch 6a vorgesehen.
-
Das
Verbindungssystem umfasst einen in einem Durchführungsbereich 4a der
Wandung 3 angeordneten Steckkontakt 5 sowie einen
in dem Versorgungsmodul angeordneten Buchsenkontakt 13.
In 1 sind zwei Paare von Steckkontakten 5, 5' und Buchsenkontakten 13, 13' dargestellt.
Es versteht sich, dass der erfindungsgemäße Buchsenkontakt zur Abfuhr
von Fluid bzw. elektrischer Leistung eingesetzt werden kann, wie
aus dem linken Paar Hohlstecker-Kontaktbuchse ersichtlich ist. Zur
Vereinfachung wird die Erfindung gemäß 1 im Wesentlichen
an Hand der Kontakte 5 und 13 beschrieben.
-
Im
Durchführungsbereich
der Wandung 3 ist eine Steckkontakthalterungsplatte 4b angeordnet,
an der der Steckkontakt 5 untergebracht ist. Der Steckkontakt 5 weist
dabei einen Teil, der in den Bereich S1 sowie
einen Teil, der in den Bereich S2 hineinragt, auf.
Der Buchsenkontakt 13 ist in einer Buchsenhalterungsplatte 11 angeordnet,
die an der Wand 8 des Versorgungsmoduls angeordnet ist.
-
Die
Steckkontakthalterungsplatte 4b und/oder die Buchsenkontakthalterungsplatte 11 sind vorzugsweise
als Isolationsplatte, vorzugsweise aus Keramik oder Kunststoff,
ausgebildet. Zur Unterbindung von Kriechströmen weist die Platte 11 ein
vorzugsweise stufenartiges Profil auf. In weiteren Ausführungsformen
der Erfindung sind eine oder beide Halterungsplatten in die Wandung
integriert.
-
Steckkontakt 5 und
Buchsenkontakt 13 sind in einen Verbindungszustand oder
in einen Trennzustand versetzbar. Der Steckkontakt 5 ist
als Hohlstecker aus einem elektrisch leitenden Material ausgebildet
und kann eine Hohlwelle sein. Der Hohlstecker 5 weist einen
Innenbereich 5a auf, der die Seite S1 und
die Seite S2 verbindet. Der Buchsenkontakt 13 ist ebenfalls
aus einem elektrisch leitenden Material und weist eine dem Hohlstecker 5 angepasste
Aufnahme- und Kontaktöffnung 21 für den Hohlstecker 5 auf. Die Öffnung 21 ist
Teil eines Innenbereichs 13a des Buchsenkontaktes 13.
Im Verbindungszustand sind ein Stromführungsbereich des Hohlsteckers 5 und ein
Stromführungsbereich
des Buchsenkontakts 13 zum Transport elektrischer Leistung
verbunden. Gleichzeitig sind der Innenbereich 5a des Hohlsteckers 5 und
der Innenbereich 13a des Buchsensteckers 13 zum
Transport des besagten Fluids im Verbindungszustand miteinander
verbunden. Neben dem stofflichen Transport von Fluid durch die Wandung
kann mit dem erfindungsgemäßen System auch
eine Kühlung
im Bereich der elektrischen Kontakte bewirkt werden.
-
Die
Aufnahme- und Kontaktöffnung 21 für den Hohlstecker 5 beinhaltet
einen oder mehrere mit einem Kontaktbereich 5b des Hohlsteckers 5 zusammenwirkende
Kontaktelemente 15. Vorzugsweise sind die Kontaktelemente 15 als
federnde Kontaktelemente, insbesondere für HF-Leistung, ausgebildet. Besonders
bevorzugt ist ein gefederter Ringkontakt 15.
-
Der
Hohlstecker 5 ist im vorliegenden Ausführungsbeispiel zweistufig ausgebildet,
und weist einen Kontaktbereich 5b mit einem größeren Durchmesser
und in einen Endbereich 5c mit einem kleineren Durchmesser
auf. In der Aufnahme- und Kontaktöffnung 21 sind dem
Hohlstecker 5 zugeordnete elastische Dichtelemente für eine Vakuum-
und Fluiddichtung vorgesehen. Vorzugsweise handelt es sich hierbei
um einen 0-Ring 14. In der Ausführungsform der Erfindung mit
einem zweistufigen Hohlstecker 5 ist der elektrische Kontakt
zwischen Hohlstecker 5 und Kontaktbuchse 13 vorzugsweise
von dem Bereich getrennt, in dem eine Vakuumabdichtung erfolgt.
Es versteht sich, dass auch bei einer einstufigen Ausführungsform
eine derartige Funktionstrennung sinnvoll sein kann, da damit eine
elektrische und/oder thermische Belastung des Vakuumdichtungsbereichs
reduziert werden kann.
-
Die
Kontaktbuchse 13 ist in einer mit elektrischen Isolationsmittel
versehenen Einführbuchse 12 untergebracht,
mit der die Isolation insbesondere gegenüber Kriechströmen verbessert
werden kann.
-
Falls
die elektrische Leistung zumindest eine Hochfrequenzkomponente aufweist,
ist bei dem erfindungsgemäßen Verbindungssystem
vorzugsweise der Skin-Effekt berücksichtigt.
Der Skin-Effekt führt zu
Stromführung
bei Hochfrequenz weitgehend an den Oberflächen eines Leiters. Man spricht
von einer Eindringtiefe des Stroms in die Oberfläche, z.B. bei Kupfer von 20μm. Das bedeutet,
dass man bei einem Leiter nur eine Materialdicke von 20 μm bräuchte und alles
weitere Material im Inneren des Leiters für die Stromführung nicht
benötigt
wird. In einer bevorzugten Ausführungsform
ist der Stromführungsbereich des
Hohlsteckers 5 und/oder des Buchsenkontakts 13 für eine Hf – Komponente
der elektrischen Leistung durch den Skin-Effekt bestimmt. Bevorzugt
ist in diesem Fall eine hohe Leitfähigkeit der Oberflächenbereiche
der Kontakte, in denen der Strom aufgrund des Skin-Effekts hauptsächlich geführt wird.
Derartige Oberflächenbereiche
können
beispielsweise aus Silber oder einem anderen hochleitenden Material ausgebildet
sein. Für
diese Komponente wird der Strom weitestgehend an der Oberfläche geführt, um dem
Skin-Effekt entsprechend zu berücksichtigen.
-
Die
hohe Leistungsdichte bei kleinen Leitungsabmessungen und die typischerweise
auftretenden Blindströme
können
zu einer erhöhten
Wärmebelastung
der Stromführenden
Bereiche führen. Erfindungsgemäß ist vorgesehen,
dass der Hohlstecker und/oder der Buchsenkontakt derart ausgelegt sind,
dass eine Kühlung
durch das durchgeführte
Fluid erfolgt, so dass vorgegebene Betriebstemperaturen eingehalten
werden.
-
Eine
Zuführung
von elektrischer Leistung zum Buchsenkontakt 13 erfolgt
durch ein vorzugsweise flexibles Anschlussblech 17, das
vorzugsweise für
Hochfrequenz ausgelegt ist. Eine Zuführung von Fluid erfolgt durch
einen vorzugsweise isolierten Fluidanschlußschlauch 20, der
mit einer Fluidverschraubung 19 unter Einsatz einer Druckscheibe 18,
die das Anschlussblech 17 plan andrückt, an dem Buchsenkontakt 13 angebracht
ist.
-
Zur
schwimmenden Lagerung des Buchsenkontakts 13 sind Lagerungsmittel
in der Buchsenhalterungskontaktplatte 11 vorgesehen, um
auftretende Kräfte
abzufangen. Vorzugsweise läßt die schwimmende
Lagerung ein radiales und/oder axiales Spiel des Buchsenkontakts 13 relativ
zur Buchsenhalterungskontaktplatte 11 zu. Die schwimmende
Lagerung kann beispielsweise durch eine um einen Umfang des Buchsenkontakts
umlaufende Nut, die in einen Vorsprung der Buchsenhalterungskontaktplatte 11 eingreift,
ausgebildet sein.
-
Die
Buchsenhalterungskontaktplatte 11 ist ebenfalls schwimmend
gelagert. Der Anschlussflansch 9a weist einen ortsfesten
Bestandteil 9b auf, der zumindest einen Teil des Randbereichs
der Buchsenhalterungskontaktplatte 11 kragenartig umfasst, wobei
ein vorgegebenes Spiel zugelassen ist. Der ortsfeste Bestandteil
ist vorzugsweise integrierter Teil des Anschlussflansch 9a.
Zwischen dem ortsfesten Bestandteil 9b und dem Randbereich
der Buchsenhalterungskontaktplatte 11 ist ein 0-Ring vorgesehen, der
eine gewisse Haltekraft ausübt,
damit z.B. bei einer Demontage und anschließender Montage die Position
der Platte nicht neu gefunden werden muss.
-
Wie
bereits erwähnt,
ist an der Wandung 3 bzw. Kesselwand ein Anschlussflansch 6a vorgesehen,
der einen Anschluss des Versorgungsmoduls bzw. des Anschlussflansches 9a umfasst.
Zur Verbesserung der Positionierung bei der Herstellung des Verbindungszustandes
weisen die Flansche 6a und 9a einander zugeordnete
Positioniermittel auf, die als Positionierstift 10a und
zugehörige
Positionierbohrung 10b ausgebildet sind.
-
Die
Anschlussflansche 6a und 9a sind aus einem leitfähigen Material,
um eine verbesserte HF-Abschirmung zu ermöglichen. Um eine hierfür nützliche
elektrische Verbindung zu gewährleisten, ist
am Anschlussflansch 6a an einem Bereich 6b ein Kontaktelement 7a,
vorzugsweise als gefederter Ringkontakt ausgebildet, vorgesehen,
der mit einem Kontaktbereich 7b des Bestandteils 9b des
Anschlussflanschs 9a im Verbindungszustand zusammenwirkt. Über die
Teile 6a und 9a wird ein Anschlag realisiert.
-
Es
versteht sich, dass die Erfindung sämtliche Ausführungsformen
umfasst, bei denen der besagte Steckkontakt in einer Steckkontakthalterungsplatte
und/oder der besagte Buchsenkontakt in einer Buchsenkontakthalterungsplatte
angeordnet ist und Lagerungsmittel zur schwimmenden Lagerung von zumindest
einer der Komponenten Steckkontakt, Buchsenkontakt, Steckkontakthalterungsplatte
oder Buchsenkontakthalterungsplatte vorgesehen sind.
-
Bevorzugt
sind Ausführungsformen
der Erfindung mit einer Mehrzahl von Steckkontakten und zugeordneten
Buchsenkontakten mit Anordnungsmustern, die eine Vertauschung der
Kontaktpaare verhindern, beispielsweise nicht-rotationssymmetrischen
Mustern. Die Steck- oder
Buchsenkontakte sind vorzugsweise jeweils schwimmend gelagert Das erfindungsgemäße Verbindungssystem
realisiert eine Multifunktionsdurchführung, mit der die Durchführung von
elektrischer Leistung und Fluid integriert erfolgen kann. Vorteilhaft
ist, dass im Verbindungszustand Steckkontakt und Buchsenkontakt
vakuumdicht verbunden sein können,
um eine sichere Funktion der Ionen- oder Plasmaquelle zu gewährleisten.
-
- 1
- Gehäuse-Ionenquelle
- 2
- 0-Ring
- 3
- Wandung,
Kesselwand
- 4a
- Durchführbereich
- 4b
- Isolationsplatte
- 5
- Kontaktstecker,
Hohlstecker
- 5'
- Kontaktstecker
bzw. Hohlstecker
- 5a
- Innenbereich
- 5b
- Kontaktbereich
- 5c
- Endbereich
- 6a
- Anschlussflansch
- 6b
- Kontaktbereich
- 7a
- gefederter
Ringkontakt
- 7b
- Kontaktbereich
- 8
- Gehäusewand
Matchbox
- 9a
- Anschlussflansch
- 9b
- Bestandteil
Anschlussflansch
- 10a
- Positionierstift
- 10b
- Positionierbohrung
- 11
- Kontaktbuchsenhalterung,
Isolationsplatte
- 12
- Einführungsbuchse
- 13
- Buchsenkontakt
- 13'
- Buchsenkontakt
- 13a
- Innenbereich
- 14
- 0-Ring
- 15
- gefederter
Ringkontakt
- 16
- 0-Ring
für schwimmende
Lagerung
- 17
- Anschlussblech
- 18
- Druckscheibe
- 19
- Fluidverschraubung
- 20
- Fluidanschlußschlauch
- 21
- Aufnahme-
und Kontaktöffnung