DE102004039395B4

DE102004039395B4 - Flow sensor device and corresponding manufacturing method

Info

Publication number: DE102004039395B4
Application number: DE102004039395A
Authority: DE
Inventors: Martin Sandler
Original assignee: Sandler Systemtechnik E K; SANDLER SYSTEMTECHNIK EK
Current assignee: Sandler Systemtechnik E K; SANDLER SYSTEMTECHNIK EK
Priority date: 2003-08-22
Filing date: 2004-08-13
Publication date: 2008-09-11
Anticipated expiration: 2024-08-14
Also published as: DE102004039395A1

Abstract

Strömungssensorvorrichtung (1) zur Erfassung der Strömungsgeschwindigkeit eines Fluids aus einer Verbiegung einer flexiblen Zungeneinrichtung (30; 30'), beispielsweise zur Verwendung in haustechnischen Anlagen, mit:
einer hohlen Aufnahmeeinrichtung (10; 10') mit einer ersten und einer gegenüberliegenden zweiten Öffnung (O1, O2);
der flexiblen Zungeneinrichtung (30; 30'), die in der Strömung des Fluids verbiegbar ist und deren erstes Ende (E1) in der hohlen Aufnahmeeinrichtung (10; 10') angebracht ist;
einer Verbiegungserfassungseinrichtung (41–44) zum Erfassen einer Verbiegung der flexiblen Zungeneinrichtung (30; 30'), die an der flexiblen Zungeneinrichtung (30; 30') angebracht ist und an einem ersten Ende (E1) der flexiblen Zungeneinrichtung (30; 30') elektrisch angeschlossen ist;
einer ersten Verschlusseinrichtung (15; 50'), mit der die erste Öffnung der Aufnahmeeinrichtung (10; 10') verschlossen ist und die eine Verbindungseinrichtung (20, 25; 20', 63') zum Anschliessen der Verbiegungserfassungseinrichtung (41–44) aufweist; und
einer zweiten Verschlusseinrichtung (50; 50'), mit der die zweite Öffnung (O2) der Aufnahmeeinrichtung (10;...Flow sensor device (1) for detecting the flow rate of a fluid from a deflection of a flexible tongue device (30, 30 '), for example for use in building services installations, comprising:
a hollow receiving device (10, 10 ') having a first and an opposite second opening (O1, O2);
the flexible tongue means (30; 30 ') bendable in the flow of the fluid and having its first end (E1) mounted in the hollow receiving means (10; 10');
a flexure detection means (41-44) for detecting a deflection of the flexible tongue means (30; 30 ') attached to the flexible tongue means (30; 30') and at a first end (E1) of the flexible tongue means (30; 30 '). ) is electrically connected;
a first closure device (15; 50 ') with which the first opening of the receiving device (10; 10') is closed and which has a connection device (20,25; 20 ', 63') for connecting the deflection detection device (41-44) ; and
a second closure device (50; 50 '), with which the second opening (O2) of the receiving device (10;

Description

Die vorliegende Erfindung betrifft eine Strömungssensorvorrichtung zur Erfassung der Strömungsgeschwindigkeit eines Fluids aus einer Verbiegung einer flexiblen Zungeneinrichtung, beispielsweise zur Verwendung in haustechnischen Anlagen, sowie ein entsprechendes Herstellungsverfahren.The The present invention relates to a flow sensor device for Recording the flow velocity a fluid from a deflection of a flexible tongue device, For example, for use in building services, as well as a corresponding manufacturing process.

Aus der GB 1 252 433 ist eine Strömungssensorvorrichtung zur Erfassung der Strömungsgeschwindigkeit eines Fluids aus einer Verbiegung einer flexiblen Zungeneinrichtung bekannt. Diese Vorrichtung weist eine hohle Aufnahmeeinrichtung mit einer ersten Öffnung und einer gegenüberliegenden zweiten Öffnung, eine Verbiegungserfassungseinrichtung und Verschlusseinrichtungen für die Öffnungen der Aufnahme-vorrichtung auf. Auch ist eine Vergussmasse im Inneren der Aufnahmevorrichtung vorgesehen.From the GB 1 252 433 For example, a flow sensor device for detecting the flow rate of a fluid from a bend of a flexible tongue device is known. This device comprises a hollow receiving device having a first opening and an opposite second opening, a deflection detection device and closure means for the openings of the receiving device. Also, a potting compound is provided inside the receiving device.

Ohne Beschränkung ihrer allgemeinen Verwendbarkeit werden die vorliegende Erfindung sowie die ihr zugrundeliegende Problematik in bezug Strömungssensorvorrichtungen für Haustechnikanlagen, wie z. B. Wasserleitungen oder Solar-, Klimaversorgungs- bzw. Heizleitungen, erörtert. Derartige Strömungssensorvorrichtungen sind beispielsweise aus nachstehend benannten Druckschriften bekannt.Without restriction their general utility are the present invention as well as its underlying problem with flow sensor devices for home automation systems, such as z. As water pipes or solar, Klimaversorgungs- or heating pipes, discussed. Such flow sensor devices are known, for example from below-mentioned publications.

Aus der US-A-4,788,869 ist eine Strömungssensorvorrichtung zur Erfassung der Strömungsgeschwindigkeit eines Fluids aus einer Verbiegung einer flexiblen Zungeneinrichtung bekannt, welche aufweist: eine hohle Aufnahmeeinrichtung und einer ersten und einer gegenüberliegenden zweiten Öffnung; die flexible Zungeneinrichtung, die in der Strömung des Fluids verbiegbar ist und deren erstes Ende in der hohlen Aufnahmeeinrichtung angebracht ist; eine Verbiegungserfassungseinrichtung zum Erfassen einer Verbiegung der flexiblen Zungeneinrichtung, die an der flexiblen Zungeneinrichtung angebracht ist und an einem ersten Ende der flexiblen Zungeneinrichtung elektrisch angeschlossen ist; eine erste Verschlusseinrichtung, mit der die erste Öffnung der Aufnahmeeinrichtung verschlossen ist und die eine Verbindungseinrichtung zum Anschließen der Verbiegungseinrichtung aufweist; und eine zweite Verschlusseinrichtung, mit der die zweite Öffnung der Auf nahmeeinrichtung verschlossen ist und durch die flexible Zungeneinrichtung derart geführt ist, dass ein zweites Ende der flexiblen Zungeneinrichtung außerhalb der hohlen Aufnahmeeinrichtung liegt.From the US-A-4,788,869 a flow sensor device for detecting the flow rate of a fluid from a flexure of a flexible tongue device is known, comprising: a hollow receiving device and a first and an opposing second opening; the flexible tongue means, which is bendable in the flow of the fluid and whose first end is mounted in the hollow receiving means; bend detection means for detecting deflection of the flexible tongue means mounted on the flexible tongue means and electrically connected to a first end of the flexible tongue means; a first closure device, with which the first opening of the receiving device is closed and which has a connecting device for connecting the bending device; and a second closure device with which the second opening is closed on the receiving device and is guided by the flexible tongue device such that a second end of the flexible tongue device lies outside the hollow receiving device.

Die DE 93 12 642 U1 offenbart eine Vorrichtung zur Strömungsüberwachung, die über einen Gewindeabschnitt in ein Rohr mit entsprechendem Gegengewinde einschraubbar ist.The DE 93 12 642 U1 discloses a device for flow monitoring, which is screwed via a threaded portion in a pipe with a corresponding mating thread.

Die US 6,212,958 B1 offenbart eine Strömungserfassungsvorrichtung, bei der eine flexible Zungeneinrichtung über eine Platteneinrichtung an einer hohlen Aufnahmeeinrichtung angebracht ist, welche einen Absatz aufweist, auf der sich die Platteneinrichtung abstützt.The US 6,212,958 B1 discloses a flow sensing device in which a flexible tongue means is mounted via plate means to a hollow receiver having a shoulder on which the plate means is supported.

Die DE 195 21 381 C2 offenbart ein Volumenstrommessgerät mit einer verbiegbaren Zunge, auf der eine Widerstandsschaltung als Messbrücke und ein Temperaturfühler ausgebildet sind. Insbesondere weist die Biegezunge eine Stufe auf, über der Widerstände der Messbrücke angeordnet sind.The DE 195 21 381 C2 discloses a volumetric flow meter with a bendable tongue on which a resistance circuit is designed as a measuring bridge and a temperature sensor. In particular, the bending tongue has a step above which resistances of the measuring bridge are arranged.

Die US 6,253,625 B1 offenbart eine Strömungserfassungsvorrichtung, welche eine Verbiegungserfassungseinrichtung aufweist, die auf einer Zungeneinrichtung aufgebracht ist.The US 6,253,625 B1 discloses a flow sensing device having a deflection detection device mounted on a tongue device.

Aus der DE 79 02 722 U1 ist ein Dehnungsmessstreifen-Durchflussmessfühler zum Messen einer in geschlossener Rohrleitung fliessenden momentanen Durchflussmenge bekannt, der einen Federstab als Messfühler aufweist, welcher teilweise in die geschlossene Rohrleitung hineinragt und an einer Seite eingespannt ist. Der Messfühler ist mit Dehnungsmessstreifen bestückt, die zu einer Wheatstonschen Brücke geschaltet sind.From the DE 79 02 722 U1 is a strain gauge flow sensor for measuring a flowing in a closed pipe instantaneous flow rate is known, which has a spring rod as a probe, which partially protrudes into the closed pipe and is clamped on one side. The sensor is equipped with strain gauges, which are connected to a Wheatstone bridge.

Die DE 80 32 666 U1 offenbart einen Stauscheiben-Durchflussmesser, der als Messfühler einen biegesteifen Stab auf weist, welcher am Kopf einer Druckhülse befestigt ist, auf deren Aussenflächen Dehnungsmessstreifen aufgeklebt sind.The DE 80 32 666 U1 discloses a baffle plate flow meter, which has a rigid rod as a probe, which is attached to the head of a pressure sleeve, on the outer surfaces of strain gauges are glued.

Die DE 30 44 219 A1 offenbart eine Einrichtung zum Messen von Durchflussmengen von Gasen oder Flüssigkeiten in Kanälen, insbesondere in Rohren, mit einem in dem Kanal anzuordnenden Messwertgeber und einer Auswerte- und Anzeigeeinrichtung, wobei der Messwertgeber einen unter Strömungsbedingungen elastisch verformbaren Messkörper aufweist, der in seiner Verformungszone einen oder mehrere Dehnungsmessstreifen trägt.The DE 30 44 219 A1 discloses a device for measuring flow rates of gases or liquids in channels, in particular in tubes, with a sensor to be arranged in the channel and an evaluation and display device, wherein the transmitter has a measuring device elastically deformable under flow conditions, which in its deformation zone one or more Strain gage carries.

13 zeigt eine schematische Querschnittsansicht einer bekannten Strömungssensorvorrichtung zur Erfassung der Strömungsgeschwindigkeit eines Fluids aus einer Verbiegung einer flexiblen Zungeneinrichtung. 13 shows a schematic cross-sectional view of a known flow sensor device for detecting the flow velocity of a fluid from a bend of a flexible tongue device.

In 13 bezeichnet Bezugszeichen R eine Rohrleitung, in der eine Fluidströmung ST vorgesehen ist, beispielsweise die Strömung von Wasser in einem Heizungsrohr. In die Wand der Rohrleitung R eingesetzt bzw. eingeschraubt bzw. eingeklebt ist eine Strömungssensorvorrichtung SS, die aus einem Grundkörper G und einer biegsamen Zunge Z besteht, wobei auf letzterer Dehnungsmessstreifen DD1, DD2 angebracht sind. In der Fluidströmung ST verbiegt sich die Zunge Z in einer Verbiegungsrichtung V, was eine Dehnung bzw. Stauchung der Dehnungsmessstreifen DD1, DD2 bewirkt, welche als Signal SIG am Grundkörper G abgreifbar ist.In 13 reference symbol R denotes a pipeline in which a fluid flow ST is provided, for example the flow of water in a heating pipe. In the wall of the pipe R is inserted or screwed or glued is a flow sensor device SS, which consists of a base body G and a flexible tongue Z, being mounted on the latter strain gauges DD1, DD2. In the fluid flow ST the tongue Z bends in a direction of bending V, which causes an expansion or compression of the strain gauges DD1, DD2, which can be tapped as the signal SIG on the main body G.

Als nachteilhaft bei den bekannten Strömungssensorvorrichtungen des oben beschriebenen Typs hat sich die Tatsache herausgestellt, dass sie einerseits sehr empfindlich bzw. störungsanfällig sind und nur schwer herstellbar, d. h. mit relativ hohem Fertigungsaufwand, der eine Serienproduktion äusserst schwierig macht.When disadvantageous in the known flow sensor devices of The type described above has proved the fact that On the one hand, they are very sensitive or prone to failure and are difficult to produce d. H. with a relatively high production cost, which expresses a series production makes difficult.

Daher ist es Aufgabe der vorliegenden Erfindung, eine verbesserte Strömungssensorvorrichtung und ein entsprechendes Herstellungsverfahren zu schaffen, welche weniger empfindlich und einfacher aufbaubar sind.Therefore It is an object of the present invention, an improved flow sensor device and to create a corresponding manufacturing process, which less sensitive and easier to build.

Der erfindungsgemässe Strömungssensorvorrichtung gemäss Anspruch 1 und das entsprechende Herstellungsverfahren gemäss Anspruch 28 weisen gegenüber dem bekannten Lösungsansatz den Vorteil auf, dass sie robust und leicht herstellbar sind.Of the invention Flow sensor device according to Claim 1 and the corresponding manufacturing method according to claim 28 facing the known approach to the Advantage on that they are robust and easy to produce.

Die der vorliegenden Erfindung zugrundeliegende Idee besteht darin, dass eine hohle Aufnahmevorrichtung vorzusehen, in der die Zungeneinrichtung einspannbar ist und die durch zwei Öffnungen zugänglich ist, die später durch zwei Verschlusseinrichtungen verschliessbar sind. Insbesondere ist mindestens eine der ersten Verschlusseinrichtung und der zweiten Verschlusseinrichtung eine Vergussmassenfüllung, welche die flexible Zungeneinrichtung in einem Bereich zwischen der Verbiegungserfassungseinrichtung und dem ersten Ende einspannt. Diese Vergussmassenfüllung sollte eine geeignete mechanische (insbesondere Druck und Temperatur) und chemische Beständigkeit aufweisen. Vorteilhafterweise kann die Vergussmassenfüllung gleichzeitig zum Schutz empfindlicher elektronischer Bestandteile in der Aufnahmeeinrichtung genutzt werden.The The idea underlying the present invention is that that to provide a hollow receiving device in which the tongue device is clamped and which is accessible through two openings, The later can be closed by two closure devices. Especially is at least one of the first closure device and the second Closure device a Vergussmassenfüllung which the flexible Tongue device in a region between the deflection detection device and the first end clamps. This Vergussmassenfüllung should a suitable mechanical (especially pressure and temperature) and Chemical resistance exhibit. Advantageously, the Vergussmassenfüllung simultaneously to Protection of sensitive electronic components in the receiving device be used.

In den Unteransprüchen finden sich vorteilhafte Weiterbildungen und Verbesserungen des jeweiligen Gegenstandes der Erfindung.In the dependent claims find advantageous developments and improvements of respective subject of the invention.

Gemäss einer bevorzugten Weiterbildung weist die hohle Aufnahmeeinrichtung einen Werkzeugeingriffsabschnitt, vorzugsweise einen Aussensechskantabschnitt mit der ersten Öffnung, und einen Aussengewindeabschnitt mit der zweiten Öffnung auf, so dass der Werkzeugeingriffsabschnitt lateral über den Aussengewindeabschnitt übersteht. Dies hat den Vorteil, dass eine einfache und reversible Montage sowie eine Ausrichtung möglich sind und ein Anschlag vorgesehen ist, der ein zu tiefes Einschrauben, das eine Beschädigung der Zungeneinrichtung bewirken könnte, verhinderbar ist.According to one preferred development, the hollow receiving device has a Tool engaging portion, preferably a hexagon section with the first opening, and an externally threaded portion with the second opening, so that the tool engaging portion projects laterally beyond the male threaded portion. This has the advantage of having a simple and reversible assembly as well an alignment possible and a stop is provided, which is too deep screwing, that a damage could cause the tongue device is preventable.

Gemäss einer weiteren bevorzugten Weiterbildung ist die flexible Zungeneinrichtung über eine Platteneinrichtung an der hohlen Aufnahmeeinrichtung angebracht, und die hohle Aufnahmeeinrichtung einen Absatz aufweist, auf der die Platteneinrichtung in Richtung der zweiten Öffnung abgestützt ist. Dies hat den Vorteil, dass eine genaue Ausrichtung der Zungeneinrichtung in der Aufnahmeeinrichtung möglich ist.According to one Another preferred development is the flexible tongue device via a plate device attached to the hollow receiving device, and the hollow receiving device a Paragraph on which the disk device in the direction of second opening supported is. This has the advantage that a precise alignment of the tongue device possible in the recording device is.

Gemäss einer weiteren bevorzugten Weiterbildung ist die Platteneinrichtung eine Leiterplatteneinrichtung, auf der elektronische Bauelemente zur Verarbeitung der Signale der Verbiegungserfassungseinrichtung vorgesehen sind. Dies hat den Vorteil, dass die Elektronik in die Aufnahmeeinrichtung integriert ist.According to one Another preferred embodiment, the disk device is a Printed circuit board device on which electronic components for processing the signals of the deflection detection device are provided. This has the advantage that the electronics integrated into the receiving device is.

Gemäss einer weiteren bevorzugten Weiterbildung ist die erste Verschlusseinrichtung kappenförmig, wobei die Verbindungseinrichtung eine integrierte Steckereinrichtung umfasst. Dies hat den Vorteil, dass eine einfache Steckerschnittstelle geschaffen ist.According to one Another preferred embodiment is the first closure device cap-shaped, wherein the connecting device is an integrated plug device includes. This has the advantage of having a simple connector interface is created.

Gemäss einer weiteren bevorzugten Weiterbildung ist die erste Verschlusseinrichtung mit der Platteneinrichtung und der Aufnahmeeinrichtung verbunden.According to one Another preferred embodiment is the first closure device connected to the disk device and the receiving device.

Gemäss einer weiteren bevorzugten Weiterbildung schliesst die erste Verschlusseinrichtung im wesentlichen bündig mit der ersten Öffnung ab.According to one Another preferred embodiment closes the first closure device essentially flush with the first opening from.

Gemäss einer weiteren bevorzugten Weiterbildung schliesst die zweite Verschlusseinrichtung im wesentlichen bündig mit der zweiten Öffnung abschliesst.According to one Another preferred embodiment closes the second closure device essentially flush with the second opening concludes.

Gemäss einer weiteren bevorzugten Weiterbildung ist die Verbiegungserfassungseinrichtung auf einer Folieneinrichtung vorgesehen, die auf der flexiblen Zungeneinrichtung aufgeklebt ist. Dies trägt ebenfalls zur leichten Montierbarkeit bei.According to one Another preferred development is the deflection detection device provided on a film device on the flexible tongue device is glued on. This also contributes for easy mounting.

Gemäss einer weiteren bevorzugten Weiterbildung ist eine Temperaturerfassungseinrichtung vorgesehen, die an der flexiblen Zungeneinrichtung angebracht ist und an einem ersten Ende der flexiblen Zungeneinrichtung elektrisch angeschlossen ist. Dies hat den Vorteil, das einerseits die Temperatur des Fluids separat erfassbar ist und andererseits bei der Ermittlung der Strömungsgeschwindigkeit berücksichtigt werden kann.According to one Another preferred development, a temperature detection device is provided, which is attached to the flexible tongue means and on a first end of the flexible tongue device electrically connected is. This has the advantage, on the one hand the temperature of the fluid is separately detectable and on the other hand, in determining the flow velocity considered can be.

Gemäss einer weiteren bevorzugten Weiterbildung ist die Temperaturerfassungseinrichtung auf der Folieneinrichtung vorgesehen.According to one Another preferred development is the temperature detection device provided on the film device.

Gemäss einer weiteren bevorzugten Weiterbildung weist die Folieneinrichtung Kontakte zum Anschliessen der Verbiegungserfassungseinrichtung und/oder der Temperaturerfassungseinrichtung auf.According to another preferred next The film device has contacts for connecting the bending detection device and / or the temperature detection device.

Gemäss einer weiteren bevorzugten Weiterbildung ist eine Verdrahtungseinrichtung auf der flexiblen Zungeneinrichtung zum Anschliessen der Verbiegungserfassungseinrichtung und/oder der Temperaturerfassungseinrichtung vorgesehen.According to one Another preferred development is a wiring device on the flexible tongue means for connecting the deflection detecting means and / or the temperature detection device provided.

Gemäss einer weiteren bevorzugten Weiterbildung ist die Folieneinrichtung auf die flexible Zungeneinrichtung aufgeklebt, wobei die Kontakte auf der Oberseite die Verdrahtungseinrichtung kontaktieren.According to one Another preferred development is the film device glued on the flexible tongue means, the contacts on the Top contact the wiring device.

Gemäss einer weiteren bevorzugten Weiterbildung weist die flexible Zungeneinrichtung eine Vorderseite und eine Rücksei te auf, wobei eine Stufe ausserhalb der hohlen Aufnahmeeinrichtung zumindest auf einer der beiden Seiten vorgesehen ist, an der sich die flexible Zungeneinrichtung von einer ersten Dicke in einem ersten Bereich in der hohlen Aufnahmeeinrichtung und angrenzend an die hohle Aufnahmeeinrichtung auf eine zweite grössere Dicke in einem zweiten Bereich ausserhalb der hohlen Aufnahmeeinrichtung verdickt.According to one Another preferred embodiment has the flexible tongue device a front and a back te on, with a step outside the hollow receiving device is provided at least on one of the two sides, at the itself the flexible tongue means of a first thickness in a first Area in the hollow receptacle and adjacent to the hollow receiving device to a second greater thickness in a second Thickened area outside the hollow receiving device.

Gemäss einer weiteren bevorzugten Weiterbildung ist die Verbiegungserfassungseinrichtung in dem ersten Bereich vorgesehen. Da dieser Bereich dünner ist, lässt sich so eine bessere Empfindlichkeit erzielen.According to one Another preferred development is the deflection detection device provided in the first area. Since this area is thinner, let yourself to achieve better sensitivity.

Gemäss einer weiteren bevorzugten Weiterbildung ist die Temperaturerfassungseinrichtung in dem zweiten Bereich vorgesehen. Da dieser Bereich dicker ist, lässt sich so eine bessere thermische Ankopplung erzielen.According to one Another preferred development is the temperature detection device provided in the second area. Since this area is thicker, let yourself to achieve such a better thermal coupling.

Gemäss einer weiteren bevorzugten Weiterbildung ist die Vergussmassenfüllung teilweise über der Folieneinrichtung vorgesehen und überdeckt den Bereich mit den Kontakten.According to one Another preferred development is the Vergussmassenfüllung partly above Foil device provided and covers the area with the Contacts.

Gemäss einer weiteren bevorzugten Weiterbildung ist die flexible Zungeneinrichtung mit der Verbiegungserfassungseinrichtung zumindest ausserhalb der hohlen Aufnahmeeinrichtung mit einer Schutzbeschichtung beschichtet.According to one Another preferred development is the flexible tongue device with the deflection detection device at least outside the hollow receiving device coated with a protective coating.

Gemäss einer weiteren bevorzugten Weiterbildung weist die Schutzbeschichtung eine geringe Dicke vorzugsweise im Nanometerbereich auf.According to one Another preferred embodiment has the protective coating a small thickness preferably in the nanometer range.

Gemäss einer weiteren bevorzugten Weiterbildung ist eine mit der Verbiegungserfassungseinrichtung verbindbare Anzeigeeinrichtung vorgesehen, die von aussen auf die hohle Aufnahmeeinrichtung aufsteckbar ist.According to one Another preferred development is one with the deflection detection device connectable display device provided from the outside to the hollow receiving device is attachable.

Gemäss einer weiteren bevorzugten Weiterbildung sind die Verbiegungserfassungseinrichtung und/oder der Temperaturerfassungseinrichtung sowie deren Verdrahtung unter Zwischensetzung einer Isolationsschicht auf der Zungeneinrichtung direkt aufgebracht.According to one Another preferred development is the bending detection device and / or the temperature detection device and its wiring under Interposition of an insulating layer on the tongue device directly applied.

Gemäss einer weiteren bevorzugten Weiterbildung weist der Querschnitt des zweiten Bereichs der Zungeneinrichtung eine Tropfenform oder Halbtropfenform auf.According to one Another preferred embodiment, the cross section of the second Area of the tongue device a drop shape or half-drop shape on.

Gemäss einer weiteren bevorzugten Weiterbildung sind die erste Verschlusseinrichtung und die zweite Verschlusseinrichtung eine einzige mechanisch beständige Vergussmassenfüllung.According to one Another preferred development is the first closure device and the second closure device a single mechanically resistant Vergussmassenfüllung.

Gemäss einer weiteren bevorzugten Weiterbildung ist eine mit der Verbiegungserfassungseinrichtung verbundene Schaltungseinrichtung auf der Zungeneinrichtung angebracht, welche in der Vergussmassenfüllung eingebettet ist.According to one Another preferred development is one with the deflection detection device connected circuit means mounted on the tongue means, which in the Vergussmassenfüllung is embedded.

Gemäss einer weiteren bevorzugten Weiterbildung bilden die Enden der Verdrahtungseinrichtung die Kontakte der Steckereinrichtung.According to one Another preferred development form the ends of the wiring device the contacts of the connector device.

Ausführungsbeispiele der Erfindung sind in den Zeichnungen dargestellt und in der nachfolgenden Beschreibung näher erläutert.embodiments The invention is illustrated in the drawings and in the following Description closer explained.

Es zeigen:It demonstrate:

1 eine erste seitliche Draufsicht auf eine Strömungssensorvorrichtung gemäss einer ersten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung; 1 a first side elevational view of a flow sensor device according to a first embodiment of the present invention;

2 eine zweite seitliche Draufsicht auf die Strömungssensorvorrichtung gemäss der ersten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung; 2 a second side elevational view of the flow sensor device according to the first embodiment of the present invention;

3 eine obere Draufsicht auf die Strömungssensorvorrichtung gemäss der ersten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung; 3 an upper plan view of the flow sensor device according to the first embodiment of the present invention;

4 eine erste Querschnittsansicht der Strömungssensorvorrichtung gemäss der ersten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung; 4 a first cross-sectional view of the flow sensor device according to the first embodiment of the present invention;

5 eine zweite Querschnittsansicht der Strömungssensorvorrichtung gemäss der ersten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung; 5 a second cross-sectional view of the flow sensor device according to the first embodiment of the present invention;

6 eine Explosionsansicht der Strömungssensorvorrichtung gemäss der ersten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung; 6 an exploded view of the flow sensor device according to the first embodiment of the present invention;

7 eine obere Draufsicht auf eine Zungeneinrichtung einer Strömungssensorvorrichtung gemäss einer zweiten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung; 7 an upper plan view of a tongue device of a flow sensor device according to a second embodiment of the present invention present invention;

8 eine schematische Darstellung der in die Aufnahmeeinrichtung eingeführte Zungeneinrichtung gemäss der zweiten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung; 8th a schematic representation of the inserted into the receiving device tongue device according to the second embodiment of the present invention;

9 eine schematische Darstellung der in die Aufnahmeeinrichtung eingeführte und in eine Vergussform gespannte Zungeneinrichtung gemäss der zweiten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung; 9 a schematic representation of the introduced into the receiving device and in a mold tense tongue device according to the second embodiment of the present invention;

10 eine schematische Darstellung der in der Aufnahmeeinrichtung vergossenen Zungeneinrichtung gemäss der zweiten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung; 10 a schematic representation of the molded in the receiving device tongue device according to the second embodiment of the present invention;

11 eine schematische Darstellung der in der Aufnahmeeinrichtung vergossenen Zungeneinrichtung gemäss der zweiten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung um 90° verdreht gegenüber 10; 11 a schematic representation of the potted in the receiving device tongue device according to the second embodiment of the present invention rotated by 90 ° 10 ;

12 eine obere Draufsicht auf eine Strömungssensorvorrichtung mit einer Anzeigeeinrichtung gemäss einer dritten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung; und 12 a top plan view of a flow sensor device with a display device according to a third embodiment of the present invention; and

13 eine schematische Querschnittsansicht einer bekannten Strömungssensorvorrichtung zur Erfassung der Strömungsgeschwindigkeit eines Fluids aus einer Verbiegung einer flexiblen Zungeneinrichtung. 13 a schematic cross-sectional view of a known flow sensor device for detecting the flow rate of a fluid from a bend of a flexible tongue device.

In den Figuren bezeichnen gleiche Bezugszeichen gleiche oder funktionsgleiche Bestandteile.In the same reference numerals designate the same or functionally identical Ingredients.

1 zeigt eine erste seitliche Draufsicht auf eine Strömungssensorvorrichtung gemäss einer ersten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung. 1 shows a first side elevational view of a flow sensor device according to a first embodiment of the present invention.

In 1 bezeichnet Bezugszeichen 1 allgemein eine Strömungssensorvorrichtung, die eine schraubenkopfförmige, hohle Aufnahmeeinrichtung 10 aufweist, welche einen oberen Werkzeugeingriffsabschnitt 10a in Form eines Aussensechskantabschnittes sowie einen unteren Aussengewindeabschnitt 10b aufweist. Bei diesem Ausführungsbeispiel ist die Aufnahmeeinrichtung 10 ein aus Messing gedrehtes Metallteil.In 1 denotes reference numeral 1 in general, a flow sensor device comprising a helical, hollow receiving device 10 having an upper tool engaging portion 10a in the form of a hexagon section and a lower male thread section 10b having. In this embodiment, the receiving device 10 a brass part turned metal part.

Wie aus 1 ersichtlich, ist der Werkzeugeingriffsabschnitt 10a gegenüber dem Aussengewindeabschnitt 10b lateral verbreitert, so dass dieser als Anschlag für eine Rohrleitung dienen kann, in die die Strömungssensorvorrichtung 1 eingeschraubt wird, was ein unabsichtliches Beschädigen oder Verbiegen der Zungeneinrichtung 30 verhindern kann.How out 1 can be seen, is the tool engaging portion 10a opposite the male thread section 10b laterally widened so that it can serve as a stop for a pipeline into which the flow sensor device 1 is screwed, causing unintentional damage or bending of the tongue device 30 can prevent.

Da zur genauen Erfassung der Strömungsgeschwindigkeit die Zungeneinrichtung 30 im wesentlichen senkrecht zur Strömung angeordnet sein muss, ist es empfehlenswert, dass der Aussengewindeabschnitt 10b eine Teflon-Beschichtung aufweist, die es ermöglicht, dass er nicht vollkommen in das Gewinde der Rohrleitung angezogen sein muss.As for the accurate detection of the flow velocity, the tongue device 30 must be arranged substantially perpendicular to the flow, it is recommended that the male thread section 10b has a Teflon coating that allows it not to be fully tightened into the threads of the tubing.

Auch eine dichtende Kontermutter auf dem Gewindeabschnitt, eine dickere Dichtung, ein Hanf- oder Teflonband oder eine Dichtmasse o. ä. auf dem Gewindeabschnitt könnten dies gewährleisten.Also a sealing lock nut on the threaded section, a thicker one Seal, a hemp or Teflon tape or a sealant o. Ä. On the threaded portion could ensure this.

Eine nicht dargestellte Markierung zeigt aussen an der Aufnahmeeinrichtung 10 zweckmässigerweise die Zungenorientierung an.A marker, not shown, shows the outside of the receiving device 10 Conveniently the tongue orientation.

Wie weiterhin aus 1 ersichtlich, ist eine flexible Zungeneinrichtung 30 aus Federstahl in der hohlen Aufnahmeeinrichtung 10 eingespannt und die untere Öffnung O2 der Aufnahmeeinrichtung 10 mit einer Vergussmassenfüllung, bei diesem Beispiel einem Epoxidharz, fluiddicht und mechanisch/thermisch stabil vergossen.How to continue 1 can be seen, is a flexible tongue device 30 made of spring steel in the hollow receptacle 10 clamped and the lower opening O2 of the receiving device 10 with a Vergussmassenfüllung, cast in this example, an epoxy resin, fluid-tight and mechanically / thermally stable.

In 1 ist die Vorderseite VS der flexiblen Zungeneinrichtung 30 erkenntlich, die eine ebene Oberfläche aufweist, wobei im Gegensatz dazu die Rückseite eine Stufe 32 aufweist, an der sich die Zunge zu ihrem zweiten Ende E2 hin verdickt. Somit unterteilt die Stufe 32 die Zunge in einen ersten dünneren Abschnitt 30a (z. B. 0,1–0,5 mm dick), der in der Aufnahmeeinrichtung 10 eingespannt ist, und einen zweiten dickeren Abschnitt 30b (z. B. 0,2–0,6 mm dick), der sich von der Stufe 32 bis zu ihrem zweiten Ende E2 erstreckt.In 1 is the front VS of the flexible tongue device 30 recognizable, which has a flat surface, in contrast, the back has a step 32 at which the tongue thickens towards its second end E2. Thus, the step divided 32 the tongue into a first thinner section 30a (eg 0.1-0.5 mm thick) in the receiving device 10 is clamped, and a second thicker section 30b (eg 0.2-0.6 mm thick), which is different from the step 32 extends to its second end E2.

Eine solche Stufe könnte im übrigen alternativ oder zusätzlich auch auf der Vorderseite VS vorgesehen sein.A such a stage could Furthermore alternatively or additionally also be provided on the front side VS.

Im Gegensatz zum Dickenprofil ist das bei dieser Ausführungsform gewählte Breitenprofil homogen. Dies erbringt insofern Vorteile, als dass kein unerwünschter Partikeleinfang (z. B. von Fasern) auftritt.in the Contrary to the thickness profile is that in this embodiment elected Width profile homogeneous. This provides advantages in that as no unwanted Particle capture (eg of fibers) occurs.

Im übrigen sind die Ecken und Kanten der Zungeneinrichtung 30 zweckmässigerweise abgerundet.Otherwise, the corners and edges of the tongue device 30 conveniently rounded.

Aufgeklebt auf die Vorderseite VS der flexiblen Zungeneinrichtung 30 ist eine Folieneinrichtung 40, welche aufgesputterte Dehnungsmessstreifen 41, 42, 43, 44 aufweist, die durch nicht gezeigte auf der Folieneinrichtung befindliche Leiterbahnen zu einer Wheatstonschen Messbrücke verschaltet sind. Die Dehnungsmessstreifen 41 bis 44 befinden sich dabei auf dem dünneren Abschnitt 30a der Zungeneinrichtung 30.Glued on the front VS of the flexible tongue device 30 is a foil device 40 , which sputtered strain gauges 41 . 42 . 43 . 44 has, which are connected by not shown on the film device tracks to a Wheatstone measuring bridge. The strain gauges 41 to 44 are on the thinner section 30a the tongue device 30 ,

Weiterhin vorgesehen auf der Folieneinrichtung 40 ist eine Temperatureinrichtung 45, beispielsweise ein Platin-Widerstand, welcher auf dem dickeren Abschnitt 30b der flexiblen Zungeneinrichtung 30 liegt. Auch die Temperaturerfassungseinrichtung 50 weist auf der Folie befindliche Leiterbahnen auf, die einen elektrischen Anschluss bilden, wie nachstehend detaillierter erläutert wird.Further provided on the film device 40 is a temperature device 45 For example, a platinum resistor, which on the thicker section 30b the flexible tongue device 30 lies. Also the temperature detection device 50 has traces on the foil which form an electrical connection, as will be explained in more detail below.

In bekannter Weise dienen dabei die Dehnungsmessstreifen 41 bis 44 zum Liefern eines Signals, das ein Mass für die Strömungsgeschwindigkeit eines Mediums ist, das auf die Zungeneinrichtung 30 einwirkt. Die Temperaturerfassungseinrichtung 45 wird zur Erfassung der Temperatur des fluiden Mediums benutzt, da sich mit der Temperatur die Viskosität und mit der Viskosität der Umrechnungsfaktor für die Strömungsgeschwindigkeit ändert. Auch für die Kompensation von internen Temperatureffekten der Auswerteelektronik in der Aufnahmeeinrichtung, die ja thermisch an das Fluid angekoppelt ist, ist die Temperaturerfassungseinrichtung 45 verwendbar.In a known manner serve the strain gauges 41 to 44 for providing a signal indicative of the rate of flow of a medium incident upon the tongue means 30 acts. The temperature detection device 45 is used to detect the temperature of the fluid as the viscosity changes with temperature and the flow rate conversion factor changes with viscosity. Also for the compensation of internal temperature effects of the evaluation in the receiving device, which is indeed thermally coupled to the fluid, the temperature detection device 45 usable.

Die Anordnung der Dehnungsmessstreifen 41 bis 44 auf dem dünneren Abschnitt 30a hat den Vorteil, dass die Empfindlichkeit erhöht ist.The arrangement of the strain gauges 41 to 44 on the thinner section 30a has the advantage that the sensitivity is increased.

2 zeigt eine zweite seitliche Draufsicht auf die Strömungssensorvorrichtung gemäss der ersten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung. 2 shows a second side plan view of the flow sensor device according to the first embodiment of the present invention.

Mit Bezug auf 2 ist auch die erste Öffnung O1 der Aufnahmeeinrichtung 10 ersichtlich, welche eine kappenförmige Verschlusseinrichtung 15 aufweist, in die eine Steckereinrichtung 20 mit männlichen Anschlussstiften 25 integriert ist. Die Innenkontur IK der Aufnahmeeinrichtung 10 liegt dabei im wesentlichen bündig an der kappenförmigen Einrichtung 15 an und ist beispielsweise mit dieser fluiddicht verklebt.Regarding 2 is also the first opening O1 of the receiving device 10 can be seen which a cap-shaped closure device 15 has, in which a plug device 20 with male pins 25 is integrated. The inner contour IK of the receiving device 10 lies substantially flush with the cap-shaped device 15 and, for example, glued to this fluid-tight.

Alternativ ist es möglich, dass die Steckereinrichtung nicht Bestandteil der oberen Verschlusseinrichtung ist, sondern auf der Leiterplatteneinrichtung 60 vorgesehen ist und von der oberen Verschlusseinrichtung 15 lediglich eingefasst ist.Alternatively, it is possible that the plug device is not part of the upper closure device, but on the circuit board device 60 is provided and from the upper closure device 15 is only framed.

Dies hat den Vorteil erhöhter Verpolsicherheit und einfacherer Vormontagemöglichkeit.This has the advantage of increased Reverse polarity and easier pre-assembly.

Des weiteren ist in 2 die Rückseite der flexiblen Zungeneinrichtung 30 dargestellt, auf der sich die Stufe 32 befindet, die den Anstieg vom dünneren Abschnitt 30a zum dickeren Abschnitt 30b bildet.Furthermore, in 2 the back of the flexible tongue device 30 shown, on which the step 32 which is the rise from the thinner section 30a to the thicker section 30b forms.

3 zeigt eine obere Draufsicht auf die Strömungssensorvorrichtung gemäss der ersten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung. 3 shows a top plan view of the flow sensor device according to the first embodiment of the present invention.

Die in 3 gezeigten Elemente sind bereits vorstehend im Zusammenhang mit 1 und 2 erläutert worden. Zusätz lich in 3 angedeutet sind die Schnittlinien AA' und BB' entsprechend den Schnitten in 4 und 5.In the 3 The elements shown are already associated with above 1 and 2 been explained. In addition to 3 indicated are the section lines AA 'and BB' corresponding to the sections in 4 and 5 ,

4 zeigt eine erste Querschnittsansicht der Strömungssensorvorrichtung gemäss der ersten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung. 4 shows a first cross-sectional view of the flow sensor device according to the first embodiment of the present invention.

Aus der ersten Querschnittsansicht von 4, welche entlang der Line A-A' von 3 verläuft, ist ersichtlich, wie die flexible Zungeneinrichtung 30 im Inneren der Aufnahmeeinrichtung 10 eingespannt ist.From the first cross-sectional view of 4 , which along the line AA 'of 3 runs, can be seen as the flexible tongue device 30 inside the receiving device 10 is clamped.

Die Zungeneinrichtung 30 ist nämlich in einer Aussparung (vgl. 6) einer Leiterplatteneinrichtung 60 mechanisch befestigt, z. B. angeklebt oder angelötet, welche in die obere Öffnung O1 der Aufnahmeeinrichtung 10 eingesetzt ist und auf einem Absatz 11 der Aufnahmeeinrichtung 10 aufliegt. Die kappenförmige Verschlusseinrichtung 50 ist auf dieser Leiterplatteneinrichtung 60 aufgeklebt und dichtet deren Innenraum I hermetisch ab. Die Leiterplatteneinrichtung 60 und die kappenförmige Verschlusseinrichtung 15 können mit der Innenkontur IK der Aufnahmeeinrichtung 10 verklebt oder verklemmt sein.The tongue device 30 is namely in a recess (see. 6 ) of a printed circuit board device 60 mechanically fastened, z. B. glued or soldered, which in the upper opening O1 of the receiving device 10 is inserted and on a paragraph 11 the receiving device 10 rests. The cap-shaped closure device 50 is on this circuit board device 60 adheres and seals their interior I hermetically. The printed circuit board device 60 and the cap-shaped closure device 15 can with the inner contour IK of the receiving device 10 glued or jammed.

Wie weiterhin aus 4 ersichtlich, sind Enden 63 von aufgeklebten Leitungsdrähten 47, die über den oberen Bereich der flexiblen Zungeneinrichtung 30 zu deren erstem Ende E1 geführt sind, zur Oberseite der Leiterplatteneinrichtung 60 geführt. Von dort aus sind sie über Anschlussdrähte 65 mit elektronischen Bauelementen 61, 62 auf der Leiterplatteneinrichtung 60 bzw. mit den Anschlussstiften 25 der Steckereinrichtung 20 verbunden. Somit ist die Auswerteelektronik mit den Bauelementen 61, 62 im Innenraum I zwischen Leiterplatteneinrichtung 60 und kappenförmiger Verschlusseinrichtung 15 integriert.How to continue 4 seen are ends 63 of glued lead wires 47 passing over the top of the flexible tongue device 30 are guided to the first end E1, to the top of the circuit board device 60 guided. From there they are over connecting wires 65 with electronic components 61 . 62 on the circuit board device 60 or with the pins 25 the plug device 20 connected. Thus, the evaluation with the components 61 . 62 in the interior I between circuit board device 60 and cap-shaped closure device 15 integrated.

Die Leitungsdrähte 47 sind durch eine nicht gezeigte Isolationsschicht gegenüber der Zungeneinrichtung 30 aus Federstahl isoliert und stehen mit Kontakten 46, die sich auf der Oberseite der Folieneinrichtung 40 befinden, mit der internen (nicht gezeigten) Verdrahtung der Zungeneinrichtung 40 in elektrischer Verbindung.The wires 47 are by an insulating layer, not shown, with respect to the tongue device 30 insulated from spring steel and stand with contacts 46 that are on top of the film device 40 with the internal wiring (not shown) of the tongue device 40 in electrical connection.

Weiterhin zeigt 4, dass die Vergussmassenfüllung 50 sich von der zweiten Öffnung O2 der Aufnahmeeinrichtung 10 bis zur Unterseite der Leiterplatteneinrichtung 60 erstreckt und den Abschnitt der Folieneinrichtung 40, welcher die Kontakte 46 trägt, ebenfalls hermetisch abdichtet.Further shows 4 that the Vergussmassenfüllung 50 from the second opening O2 of the receiving device 10 to the bottom of the circuit board device 60 extends and the section of the film device 40 which the contacts 46 carries, also hermetically sealed.

Andererseits wäre es auch möglich, einzelne Drähte an der Folieneinrichtung 40 anzubringen und diese mit der Zungeneinrichtung 30 und mit der Leiterplatteneinrichtung 60 zu verbinden.On the other hand, it would also be possible to use individual wires on the foil device 40 to install and this with the tongue device 30 and with the circuit board device 60 connect to.

Aus der Darstellung von 4 wird deutlich, dass die gewählte Art der Verschlüsse der Aufnahmeeinrichtung 10 einerseits gewährleistet, dass einerseits kein Fluid in die im Innenraum I der kappenförmigen Verschlusseinrichtung 15 befindliche Elektronik gelangen kann, und andererseits auch die elektrische Verbindung von der Folieneinrichtung 40 zur Leiterplatteneinrichtung 60 fluiddicht mechanisch stabil isoliert ist.From the presentation of 4 it becomes clear that the chosen type of closures of the receiving device 10 on the one hand ensures that, on the one hand, no fluid in the interior of the I cup-shaped closure device 15 located electronics, and on the other hand, the electrical connection of the film device 40 to the PCB device 60 fluid-tight mechanically stable isolated.

5 zeigt eine zweite Querschnittsansicht der Strömungssensorvorrichtung gemäss der ersten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung. 5 shows a second cross-sectional view of the flow sensor device according to the first embodiment of the present invention.

In der zweiten Schnittansicht gemäss 5, welche entlang der Linie B-B' von 3 verläuft, ist die Einspannung der Zungeneinrichtung 30 von der Schmalseite her erkennbar. Dabei sind aus Gründen der Übersichtlichkeit nicht alle Elemente von 4 eingezeichnet. Insbesondere ist in 5 ein wei teres elektronisches Bauteil 64 auf der Leiterplatteneinrichtung 60 erkennbar, welches zur besagten Auswerteeinrichtung gehört und ebenfalls durch einen Anschlussdraht 65 kontaktiert ist.In the second sectional view according to 5 , which along the line BB 'of 3 runs, is the clamping of the tongue device 30 recognizable from the narrow side. For reasons of clarity, not all elements of 4 located. In particular, in 5 a white teres electronic component 64 on the circuit board device 60 recognizable, which belongs to said evaluation device and also by a connecting wire 65 is contacted.

Weiter ist in 5 ein Teil einer Oberflächenbeschichtung 70 angedeutet, welcher zumindest die gesamte Zungeneinrichtung 30 ausserhalb der Vergussmasse 50 abdeckt. Die Oberflächenbeschichtung 70 ist eine sehr dünne Beschichtung im Nannometerbereich und bietet einen Schutz der Folieneinrichtung 40 gegenüber Einflüssen des Fluids. Aus Gründen der Übersichtlichkeit ist die Oberflächenbeschichtung 70 in 5 nur am unteren Ende E2 der Zungeneinrichtung 30 angedeutet.Next is in 5 a part of a surface coating 70 indicated, which at least the entire tongue device 30 outside the potting compound 50 covers. The surface coating 70 is a very thin coating in the nanometer range and provides protection of the film device 40 against influences of the fluid. For the sake of clarity, the surface coating 70 in 5 only at the lower end E2 of the tongue device 30 indicated.

Als besonders herstellungsfreundlich zum Aufbringen der Oberflächenbeschichtung 70 hat sich ein Aufdampfverfahren erwiesen, bei dem die fertig montierte und vergossene Strömungssensorvorrichtung 1 in einen entsprechenden Rezipienten mit Hilfe des Aussengewindeabschnitts 10b eingespannt wird. In diesem Fall ersteckt sich die Oberflächenbeschichtung 70 auch auf die Vergussmassenfüllung 50 und den unteren Rand des Aussengewindeabschnitts 10b.As a particularly easy to manufacture for applying the surface coating 70 has proven a vapor deposition method in which the ready assembled and potted flow sensor device 1 in a corresponding recipient with the help of the externally threaded portion 10b is clamped. In this case, the surface coating extends 70 also on the Vergussmassenfüllung 50 and the lower edge of the male threaded portion 10b ,

Doch auch eine Beschichtung der nur mit der Folieneinrichtung 40 und den Leitungsdrähten 47 als Leiterbahnen versehenen Zungeneinrichtung 30 ist denkbar.But also a coating of only with the film device 40 and the wires 47 provided as conductor tracks tongue device 30 is conceivable.

Die Oberflächenbeschichtung 70 ist derart auslegbar, dass sie eine Dreifachfunktion erfüllt, nämlich einen Korrosionsschutz und eine Anti-Haft-Funktion (z. B. Lotuseffekt) sowie eine elektrische Isolation bzw. eine Abdichtung gegenüber dem Fluid. Auch sollte sie hinsichtlich der Biegebeanspruchung dauerelastisch sein, also keine Alterungsprobleme hinsichtlich von Rissen aufweisen.The surface coating 70 is designed so that it fulfills a triple function, namely a corrosion protection and an anti-sticking function (eg lotus effect) as well as an electrical insulation or a seal against the fluid. Also, it should be permanently elastic in terms of bending stress, so have no aging problems in terms of cracks.

6 zeigt eine Explosionsansicht der Strömungssensorvorrichtung gemäss der ersten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung. 6 shows an exploded view of the flow sensor device according to the first embodiment of the present invention.

In der Explosionsdarstellung von 6 sind die wesentlichen Einzelteile der Strömungssensorvorrichtung 1 einzeln im unverbundenen Zustand dargestellt, um das Herstellungsverfahren näher zu erläutern.In the exploded view of 6 are the essential parts of the flow sensor device 1 individually in the unconnected state to explain the manufacturing process in more detail.

Wie bereits angesprochen, wird zunächst die Aufnahmeeinrichtung 10 aus einem Messing-Drehteil hergestellt.As already mentioned, first the receiving device 10 made of a brass turned part.

In einem weiteren Fertigungsschritt wird die Folieneinrichtung 40 auf die Zungeneinrichtung 30 aufgeklebt.In a further manufacturing step, the film device 40 on the tongue device 30 glued.

Auf der gestuften flexiblen Zungeneinrichtung 10 werden dann die Leitungsdrähte 47 mittels Verklebung angebracht, wobei die Leitungsdrähte 47 durch eine nicht gezeigte Isolationsschicht von der metallischen Zungeneinrichtung 10 isoliert sind und am ersten Ende E1 der Zungeneinrichtung 30 überstehen.On the stepped flexible tongue device 10 then become the lead wires 47 attached by gluing, wherein the lead wires 47 by an insulating layer, not shown, of the metallic tongue device 10 are isolated and at the first end E1 of the tongue device 30 survive.

Dann werden die Kontakte 46 an der Oberseite mit den entsprechenden Leitungsdrähten 47 kontaktiert, welche auf der Oberfläche der Zungeneinrichtung 30 angebracht sind.Then the contacts 46 at the top with the appropriate wires 47 contacted, which on the surface of the tongue device 30 are attached.

Vor dem mechanischen Anbringen der Zungeneinrichtung 30 an die Leiterplatteneinrichtung 60 werden die elektronischen Bauelemente 61, 62, 64 und ggfs. die Steckereinrichtung auf der Oberseite der Leiterplatteneinrichtung 60 bestückt und mittels der Anschlussdrähte 65 verdrahtet.Before the mechanical attachment of the tongue device 30 to the circuit board device 60 become the electronic components 61 . 62 . 64 and, if necessary, the plug device on the upper side of the printed circuit board device 60 fitted and by means of connecting wires 65 wired.

Die Leiterplatteneinrichtung 60 weist einen Ausschnitt AU auf, in den die Zungeneinrichtung 30 danach einsteckbar und verklebbar ist.The printed circuit board device 60 has a section AU, in which the tongue device 30 then plugged in and glued.

Nach Montage der Zungeneinrichtung 30 an die Leiterplatteneinrichtung 60 wird die kappenförmige Verschlusseinrichtung 15 auf die Leiterplatteneinrichtung 60 geklebt, wobei ihr Kleberand den dadurch gebildeten Innenraum hermetisch verschliesst.After mounting the tongue device 30 to the circuit board device 60 becomes the cap-shaped closure device 15 on the circuit board device 60 glued, with their adhesive edge hermetically closes the interior formed thereby.

Nunmehr wird das Ende E2 der Zungeneinrichtung 30 durch die Öffnung O1 der Aufnahmeeinrichtung 10 eingeführt und durchgeschoben, bis die Leiterplatteneinrichtung 60 auf dem Absatz 11 der Aufnahmeeinrichtung 10 aufsitzt.Now, the end E2 of the tongue device 30 through the opening O1 of the receiving device 10 inserted and pushed through until the circuit board device 60 on the heel 11 the receiving device 10 seated.

Zuvor wird die Innenkontur IK der Aufnahmeeinrichtung 10 mit einem Klebstoff beschichtet, der für einen sicheren Halt der kappenförmigen Verschlusseinrichtung 15 und der Leiterplatteneinrichtung 60 im Werkzeugeingriffsabschnitt 10a der Aufnahmeeinrichtung 10 sorgt. Auch eine Verklemmung oder Verrastung ist hier möglich.Previously, the inner contour IK of the receiving device 10 coated with an adhesive, the for a secure hold of the cap-shaped closure device 15 and the circuit board device 60 in the tool engaging section 10a the receiving device 10 provides. A jamming or locking is possible here.

In einem abschliessenden Fertigungsschritt wird dann die Vergussmassenfüllung 50 von der Öffnung O2 in die Aufnahmeeinrichtung 10 eingeführt, um auch diese Öffnung O2 hermetisch gegenüber dem Fluid zu verschliessen.In a final manufacturing step then the Vergussmassenfüllung 50 from the opening O2 in the receiving device 10 introduced to hermetically seal this opening O2 against the fluid.

Prinzipiell könnte die Anbringung der kappenförmigen Verschlusseinrichtung 15 auch nach Montage der Zungeneinrichtung 30 mit die Leiterplatteneinrichtung 60 in der Aufnahmeeinrichtung 10 vollzogen werden.In principle, the attachment of the cap-shaped closure device 15 even after installation of the tongue device 30 with the circuit board device 60 in the receiving device 10 be done.

7 zeigt eine obere Draufsicht auf eine Zungeneinrichtung einer Strömungssensorvorrichtung gemäss einer zweiten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung. 7 shows a top plan view of a tongue device of a flow sensor device according to a second embodiment of the present invention.

In 7 bezeichnet Bezugszeichen 30' eine modifizierte flexible Zungeneinrichtung, welche keine Stufe aufweist. Wie bei der ersten Ausführungsform sind die Verbiegungserfas sungseinrichtung 41 bis 44 und Temperaturerfassungseinrichtung 45 mittels einer Folieneinrichtung auf der Zungeneinrichtung 30 aufgebracht.In 7 denotes reference numeral 30 ' a modified flexible tongue device which has no step. As in the first embodiment, the bending detecting device is the bending detection device 41 to 44 and temperature detecting means 45 by means of a foil device on the tongue device 30 applied.

Im Unterschied zur obigen ersten Ausführungsform ist auf der Zungeneinrichtung 30' weiterhin eine gedruckte Schaltungseinrichtung 40' vorgesehen, auf der die elektronischen Bauelemente 61, 62, 64 angebracht sind. Steckpins 47' erstrecken sich über das obere Ende E1 der Zungeneinrichtung 30' hinaus und dienen zum Anschluss der gedruckten Schaltungseinrichtung 40' und der damit über Verbindungsleitungen 46' verbundenen Verbiegungserfassungseinrichtung 41 bis 44 bzw. Temperaturerfassungseinrichtung 45.In contrast to the above first embodiment is on the tongue device 30 ' furthermore a printed circuit device 40 ' provided on which the electronic components 61 . 62 . 64 are attached. plug pins 47 ' extend beyond the upper end E1 of the tongue device 30 ' and serve to connect the printed circuit device 40 ' and the over it over connection lines 46 ' connected bending detection device 41 to 44 or temperature detection device 45 ,

8 zeigt eine schematische Darstellung der in die Aufnahmeeinrichtung eingeführte Zungeneinrichtung gemäss der zweiten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung. 8th shows a schematic representation of the inserted into the receiving device tongue device according to the second embodiment of the present invention.

Mit Bezug auf 8 ist die Zungeneinrichtung 30' in eine Aufnahmeeinrichtung 10' eingeführt, welche ähnlich aufgebaut ist, wie die Aufnahmeeinrichtung 10 der ersten Ausführungsform, und insbesondere einen Werkzeugabschnitt 10a' und einen Gewindeabschnitt 10b' aufweist. Im Unterschied zur ersten Ausführungsform ist bei der Aufnahmeeinrichtung 10' allerdings keine Platteneinrichtung vorgesehen und der entsprechende Absatz 11 weggelassen.Regarding 8th is the tongue device 30 ' in a receiving device 10 ' introduced, which is constructed similar to the receiving device 10 the first embodiment, and in particular a tool portion 10a ' and a threaded portion 10b ' having. In contrast to the first embodiment is in the receiving device 10 ' However, no plate device provided and the corresponding paragraph 11 omitted.

9 zeigt eine schematische Darstellung der in die Aufnahmeeinrichtung eingeführte und in eine Vergussform eingespannte Zungeneinrichtung gemäss der zweiten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung. 9 shows a schematic representation of the introduced into the receiving device and clamped in a casting mold tongue device according to the second embodiment of the present invention.

Um die Zungeneinrichtung 30' zur Anbringung in der Aufnahmeeinrichtung 10' zu haltern, ist gemäß 9 eine Vergussformeinrichtung F1, F2 vorgesehen, von der ein Abschnitt F1 an der oberen Öffnung O1 der Aufnahmeeinrichtung 10' anliegt und ein unterer Abschnitt F2 an der unteren Öffnung O2 anliegt. Der obere Abschnitt F1 der Vergussformeinrichtung weist einen Bereich F1A auf, der eine integrierte Steckereinrichtung 20' an der ersten Öffnung O1 um die Enden 63' der Steckpins 47' beim anschließenden Vergießen ausspart. Im oberen Bereich von 9 ist eine Draufsicht auf den Bereich F1a gezeigt, woraus ersichtlich wird, dass die Enden 63' der Steckpins 47' durch die Unterseite des Bereichs F1a geführt werden. Durch den unteren Abschnitt F2 der Vergussformeinrichtung ist die Zungeneinrichtung 30' geführt.To the tongue device 30 ' for mounting in the receiving device 10 ' to hold, is according to 9 a Vergussformeinrichtung F1, F2 provided, of which a portion F1 at the upper opening O1 of the receiving device 10 ' is applied and a lower portion F2 abuts the lower opening O2. The upper section F1 of the casting mold device has a region F1A, which is an integrated plug device 20 ' at the first opening O1 around the ends 63 ' the pins 47 ' spared during the subsequent casting. In the upper area of 9 is shown a plan view of the area F1a, from which it is apparent that the ends 63 ' the pins 47 ' be guided through the bottom of the area F1a. Through the lower portion F2 of the Vergussformeinrichtung is the tongue device 30 ' guided.

Durch eine (nicht dargestellte) Einführöffnung wird zur Montage der Zungeneinrichtung 30' in der Aufnahmeeinrichtung 10' das gesamte Innere der Aufnahmeeinrichtung 10' zwischen den Formabschnitten F1 und F2 vergossen.By (not shown) insertion opening is for mounting the tongue device 30 ' in the receiving device 10 ' the entire interior of the recording device 10 ' potted between the mold sections F1 and F2.

10 zeigt eine schematische Darstellung der in der Aufnahmeeinrichtung vergossenen Zungeneinrichtung gemäss der zweiten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung. 10 shows a schematic representation of the molded in the receiving device tongue device according to the second embodiment of the present invention.

10 zeigt die montierte Strömungssensorvorrichtung gemäß der zweiten Ausführungsform nach dem Vergießen und nach dem Entfernen der Vergussformeinrichtung E1, F2. Deutlich erkennbar ist die Einbettung der Zungeneinrichtung 30' in einer Vergussmassenfüllung 50', wobei an der Oberseite der Aufnahmeeinrichtung 10' eine integrierte, vorzugsweise codierte Steckereinrichtung 20' ausgespart ist, deren Kontakte von den Enden 63' der Steckpins 47' gebildet sind. 10 shows the assembled flow sensor device according to the second embodiment after the casting and after the removal of the Vergussformeinrichtung E1, F2. Clearly recognizable is the embedding of the tongue device 30 ' in a Vergussmassenfüllung 50 ' , being at the top of the receiving device 10 ' an integrated, preferably coded plug device 20 ' is recessed whose contacts from the ends 63 ' the pins 47 ' are formed.

11 zeigt eine schematische Darstellung der in der Aufnahmeeinrichtung vergossenen Zungeneinrichtung gemäss der zweiten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung um 90° verdreht gegenüber 10. 11 shows a schematic representation of the potted in the receiving device tongue device according to the second embodiment of the present invention rotated by 90 ° 10 ,

12 zeigt eine obere Draufsicht auf eine Strömungssensorvorrichtung mit einer Anzeigeeinrichtung gemäss einer dritten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung. 12 shows a top plan view of a flow sensor device with a display device according to a third embodiment of the present invention.

Bei der in 12 gezeigten dritten Ausführungsform ist als zusätzliches Element eine Anzeigeeinrichtung 100 vorgesehen, welche einen Innensechskantausschnitt A aufweist, der über den Werkzeugeingriffsabschnitt 10a der Aufnahmeeinrichtung 10 steckbar ist. Des weiteren weist die Anzeigeeinrichtung 100 einen Steckerabschnitt S mit weiblichen Kontakthülsen K aus, die mit der Steckereinrichtung 20 der kappenförmigen Verschlusseinrichtung 15 in Eingriff treten kann, z. B. verrastet.At the in 12 shown third embodiment is an additional element as a display device 100 provided, which has a hexagonal recess A, which extends over the tool engaging portion 10a the admission direction 10 is pluggable. Furthermore, the display device 100 a connector portion S with female contact sleeves K made with the plug device 20 the cap-shaped closure device 15 can engage, for. B. locked.

Die Anzeigeeinrichtung 100 weist weiterhin zwei numerische Displays D1, D2 auf, auf denen beispielsweise die erfasste Strömungsgeschwindigkeit und die erfasste Temperatur darstellbar sind. Als vorteilhaft bei dieser dritten Ausführungsform hat sich die Tatsache erwiesen, dass eine einzige Anzeigeeinrichtung 100 für verschiedene Strömungssensorvorrichtungen 1 verwendbar ist und durch die gewählte Art der Steckverbindung problemlos auf- und abnehmbar ist, wobei die Anzeigeeinrichtung z. B. durch Software konfigurierbar ist.The display device 100 also has two numerical displays D1, D2, on which, for example, the detected flow velocity and the detected temperature can be displayed. As advantageous in this third embodiment has proved the fact that a single display device 100 for various flow sensor devices 1 is usable and easily by the selected type of connector up and is removable, wherein the display device z. B. is configurable by software.

Selbstverständlich kann anstatt der aufsteckbaren Anzeigeeinrichtung 100 eine alternative oder zusätzliche Verbindung von der Steckereinrichtung 20 zu einer nicht gezeigten Reglereinrichtung vorgesehen sein.Of course, instead of the attachable display device 100 an alternative or additional connection from the connector device 20 be provided to a control device, not shown.

Obwohl die vorliegenden Erfindung vorstehend anhand bevorzugter Ausführungsbeispiele beschrieben wurde, ist sie darauf nicht beschränkt, sondern vielfältig modifizierbar.Even though the present invention above based on preferred embodiments is described, it is not limited thereto, but variously modifiable.

Insbesondere sind die gewählten Materialien nur beispielhaft und vielfältig modifizierbar.Especially are the chosen ones Materials only by way of example and variously modifiable.

Insbesondere könnte die Zungeneinrichtung anstatt aus Federstahl auch aus Kunststoff, Silizium, Kohlenstoff-Fasermaterial o. ä. hergestellt sein.Especially could the tongue device instead of spring steel and plastic, Silicon, carbon fiber material o. Ä. Made be.

Auch die Aufnahmeeinrichtung könnte aus einem anderen Metall oder aus Kunststoff bestehen.Also the receiving device could made of a different metal or plastic.

Anstatt der Dehnmessstreifen können auch piezoresistive Elemente oder mikromechanische Dehnungsmessfühler in beliebiger Anordnung verwendet werden. Auch ist der Temperatursensor nicht auf den Platinwiderstand beschränkt.Instead of the strain gauges can also piezoresistive elements or micromechanical strain gauges in Any arrangement can be used. Also, the temperature sensor not limited to platinum resistance.

Die erste Verschlusseinrichtung könnte statt einer Steckereinrichtung auch eine Lötverbindungseinrichtung o. ä. aufweisen.The first closure device could instead of a plug device, a solder connection device o.

Anstatt der Folieneinrichtung könnten sämtliche Messstreifen und die Temperaturerfassungseinrichtung sowie deren Verdrahtung unter Zwischensetzung einer geeigneten Isolationsschicht auf der Zungeneinrichtung direkt aufgebracht sein, z. B. durch Sputtern.Instead of the film device could all Measuring strip and the temperature detection device and their Wiring with interposition of a suitable insulation layer be applied directly on the tongue device, z. B. by sputtering.

Obwohl der Breitenquerschnitt der Zungeneinrichtung im Ausführungsbeispiel konstant gezeigt ist, könnte man sich auch andere Querschnitte, insbesondere eine konische Verschmälerung zum zweiten Ende hin, vorstellen.Even though the width cross section of the tongue device in the embodiment could be shown constantly one also has other cross sections, in particular a conical narrowing to second end, imagine.

Weiterhin könnte der verdickte Abschnitt 30b der Zunge auch eine fluiddynamisch günstige Tropfenform oder Halbtropfenform annehmen, je nachdem ob eine Stufung auf einer oder beiden Seiten gewünscht ist.Furthermore, the thickened section could 30b the tongue also assume a fluid-dynamic favorable drop shape or half-drop shape, depending on whether a grading on one or both sides is desired.

Auch kann als Oberflächenbeschichtung ein dünner Lack o. ä. verwendet werden und nicht nur die erwähnte Nanobeschichtung.Also can be used as a surface coating a thinner one Paint or similar used and not just the mentioned nano-coating.

Die Verbiegungserfassungseinrichtung und/oder die Temperaturerfassungseinrichtung können ebenso wie die Leiterbahnen der Schaltungseinrichtung 40' gedruckt bzw. gesputtert werden.The deflection detection device and / or the temperature detection device as well as the conductor tracks of the circuit device 40 ' printed or sputtered.

Statt der Steckpins können auch Kontaktpads verwendet werden.Instead of the pins can also contact pads are used.

Claims

Flow sensor device ( 1 ) for detecting the flow velocity of a fluid from a bend of a flexible tongue device ( 30 ; 30 ' ), for example for use in building services installations, comprising: a hollow receiving device ( 10 ; 10 ' ) having first and opposite second openings (O1, O2); the flexible tongue device ( 30 ; 30 ' ) which is bendable in the flow of the fluid and whose first end (E1) in the hollow receiving device ( 10 ; 10 ' ) is attached; a deflection detection device ( 41 - 44 ) for detecting a deflection of the flexible tongue device ( 30 ; 30 ' ) attached to the flexible tongue device ( 30 ; 30 ' ) and at a first end (E1) of the flexible tongue device ( 30 ; 30 ' ) is electrically connected; a first closure device ( 15 ; 50 ' ), with which the first opening of the receiving device ( 10 ; 10 ' ) is closed and the one connection device ( 20 . 25 ; 20 ' . 63 ' ) for connecting the bending detection device ( 41 - 44 ) having; and a second closure device ( 50 ; 50 ' ), with which the second opening (O2) of the receiving device ( 10 ; 10 ' ) and through which the flexible tongue device ( 30 ; 30 ' ) is performed such that a second end (E2) of the flexible tongue device ( 30 ; 30 ' ) outside the hollow receiving device ( 10 ; 10 ' ) lies; wherein at least one of the first closure devices ( 15 ; 50 ' ) and the second closure device ( 50 ; 50 ' ) a mechanically resistant casting compound filling ( 50 ; 50 ' ); and the Vergussmassenfüllung ( 50 ; 50 ' ) the flexible tongue device ( 30 ; 30 ' ) in a region between the deflection detection device ( 41 - 44 ) and the first end (E1) clamped.

Flow sensor device according to claim 1, characterized in that the hollow receiving device ( 10 ; 10 ' ) a tool engaging portion ( 10a ; 10a ' ), preferably an outer hexagonal section with the first opening (O1), and an outer threaded section ( 10b ; 10b ' ) with the second opening (O2), and that the tool engaging portion (O2) 10a ; 10a ' ) laterally over the male threaded portion ( 10b ; 10b ' ) survives.

Flow sensor device according to claim 1 or 2, characterized in that the flexible tongue device ( 30 ) via a disk device ( 60 ) on the hollow receiving device ( 10 ), and the hollow receiving device ( 10 ) a paragraph ( 11 ) on which the disk device ( 60 ) is supported in the direction of the second opening (O2).

Flow sensor device according to claim 1, 2 or 3, characterized in that the disk device ( 60 ) is a printed circuit board device on which electronic components ( 61 . 62 . 64 ) for processing the signals of the deflection detection device ( 41 - 44 ) are provided.

Flow sensor device according to at least one of the preceding claims, characterized in that the first closure device ( 15 ) is cap-shaped and the connecting device ( 20 . 25 ) comprises an integrated plug device.

Flow sensor device according to claim 5 in conjunction with claim 4, characterized in that the first closure device ( 15 ) with the disk device ( 60 ) and the receiving device ( 10 ) connected is.

Flow sensor device according to at least one of the preceding claims, characterized in that the first closure device ( 15 ; 50 ' ) terminates substantially flush with the first opening (O1).

Flow sensor device according to at least one of the preceding claims, characterized in that the second closure device ( 50 ; 50 ' ) terminates substantially flush with the second opening (O2).

Flow sensor device according to at least one of the preceding claims, characterized in that the deflection detection device ( 41 - 44 ) on a film device ( 40 ) provided on the flexible tongue device ( 30 ) is glued.

Flow sensor device according to at least one of the preceding claims, characterized in that a temperature detection device ( 45 ) provided on the flexible tongue device ( 30 ; 30 ' ) and at a first end (E1) of the flexible tongue device ( 30 ; 30 ' ) is electrically connected.

Flow sensor device according to claim 10 in conjunction with claim 9, characterized in that the temperature detection device ( 45 ) on the film device ( 40 ) is provided.

Flow sensor device according to at least one of the preceding claims 9 to 11, characterized in that the film device ( 40 ) Contacts ( 46 ) for connecting the bending detection device ( 41 - 44 ) and / or the temperature detection device ( 45 ) having.

Flow sensor device according to at least one of the preceding claims, characterized in that a wiring device ( 47 ; 47 ' ) on the flexible tongue device ( 30 ; 30 ' ) for connecting the bending detection device ( 41 - 44 ) and / or the temperature detection device ( 45 ) is provided.

Flow sensor device according to claim 13 in conjunction with claim 12, characterized in that the film device ( 40 ) on the flexible tongue device ( 10 ) and the contacts ( 46 ) on top of the wiring device ( 47 . 63 ) to contact.

Flow sensor device according to at least one of the preceding claims, characterized in that the flexible tongue device ( 30 ) has a front (VS) and a back (RS), wherein a step ( 32 ) outside the hollow receiving device ( 10 ) is provided on at least one of the two sides, at which the flexible tongue device of a first thickness in a first area ( 30a ) in the hollow receiving device and adjacent to the hollow receiving device to a second greater thickness in a second region ( 30b ) outside the hollow receiving device ( 10 ) thickened.

Flow sensor device according to claim 15, characterized in that the deflection detection device ( 41 - 44 ) in the first area ( 30a ) is provided.

Flow sensor device according to claim 15 or 16, characterized in that the temperature detection device ( 45 ) in the second area ( 30b ) is provided.

Flow sensor device according to claim 12 in conjunction with claim 9, characterized in that the Vergussmassenfüllung ( 50 ) partially over the film device ( 40 ) and the area with the contacts ( 46 ) covered.

Flow sensor device according to at least one of the preceding claims, characterized in that the flexible tongue device ( 30 ) with the deflection detection device ( 41 - 44 ) at least outside the hollow receiving device ( 10 ) with a protective coating ( 70 ), preferably also over the second closure device ( 50 ) and the receiving device ( 10 ), is coated.

Flow sensor device according to claim 19, characterized in that the protective coating ( 70 ) has a small thickness, preferably in the nanometer range.

Flow sensor device according to at least one of the preceding claims, characterized in that one with the deflection detection device ( 41 - 44 ) connectable display device ( 100 ), which from the outside to the hollow receiving device ( 10 ) can be plugged.

Flow sensor device according to at least one of the preceding claims, characterized in that the deflection detection device ( 41 - 44 ) and / or the temperature detection device ( 45 ) and their wiring with interposition of an insulating layer on the tongue device ( 30 ; 30 ' ) are applied directly.

Flow sensor device according to at least one of the preceding claims, characterized in that a plug device ( 20 ; 20 ' ) and from the first closure device ( 15 ; 50 ' ) is enclosed.

Flow sensor device according to at least one of the preceding claims 16 to 24, characterized in that the cross-section of the second region ( 30b ) of the tongue device ( 30 ) has a teardrop shape or half-drop shape.

Flow sensor device according to claim 1, characterized in that the first closure device ( 50 ' ) and the second closure device ( 50 ' ) a single mechanically resistant Vergussmassenfüllung ( 50 ' ) are.

Flow sensor device according to claim 25, characterized in that one with the deflection detection device ( 41 - 44 ) connected circuit device ( 40 ' ) on the tongue device ( 30 ' ), which in the Vergussmassenfüllung ( 50 ' ) is embedded.

Flow sensor device according to claim 23 in conjunction with claim 13, characterized in that the ends ( 63 ' ) of the wiring device ( 47 ' ) the plug pins of the plug device ( 20 ' ) form.

A method of manufacturing a flow sensor device according to claim 1 comprising the steps of: providing the hollow receiver (10); 10 ; 10 ' ) with the first and an opposite second opening (O1, O2); Attaching the first end (E1) of the flexible tongue device ( 30 ; 30 ' ) in the hollow receiving device ( 10 ; 10 ' ); Attaching the first closure device ( 15 ; 50 ' ) in the hollow receiving device ( 10 ; 10 ' ); and attaching the second closure device ( 50 ; 50 ' ) in the hollow receiving device ( 10 ; 10 ' ); wherein as at least one of the first closure device ( 15 ; 50 ' ) and the second closure device ( 50 ; 50 ' ) a mechanically resistant casting compound filling ( 50 ; 50 ' ) in the receiving device ( 10 ) is filled through the first and / or opposite second opening (O1, O2).

Method according to claim 28, characterized in that the flexible tongue device ( 30 ) via a disk device ( 60 ) in the hollow receiving device ( 10 ), and the hollow receiving device ( 10 ) a paragraph ( 11 ) on which the disk device ( 60 ) is supported in the direction of the second opening (O2).

A method according to claim 29, characterized in that the first closure device ( 15 ) with the disk device ( 60 ) and the receiving device ( 10 ) is connected.

Method according to claim 29 or 30, characterized in that the plate device ( 60 ) on the paragraph ( 11 ) is glued.

Method according to at least one of claims 28 to 31, characterized in that the second closure device ( 50 ) is a mechanically resistant Vergussmassenfüllung.

Method according to at least one of claims 28 to 32, characterized in that the bending detection device ( 41 - 44 ) on a film device ( 40 ) provided on the flexible tongue device ( 30 ) and connected before attaching the first end of the flexible tongue device ( 30 ) at the receiving device ( 10 ) he follows.

Method according to at least one of claims 28 to 33, characterized in that the flexible tongue device ( 10 ) with the deflection detection device ( 41 - 44 ) at least outside the hollow receiving device ( 10 ) with a protective coating ( 70 )), preferably also over the second closure device ( 50 ) and the receiving device ( 10 ), is coated.

A method according to claim 34, characterized in that the coating after the attachment of the second closure device ( 50 ) he follows.

A method according to claim 34, characterized in that the coating before attaching the first end of the flexible tongue means ( 30 ) in the hollow receiving device ( 10 ) he follows.

Method according to at least one of claims 34 to 36, characterized in that the coating by a vapor deposition or a dipping method or a spraying method.

Method according to at least one of claims 29 to 37, characterized in that the plate device ( 60 ) is a printed circuit board device on which electronic components ( 61 . 62 . 64 ) for processing the signals of the deflection detection device ( 41 - 44 ) before attaching the tongues device ( 30 ) at the disk device ( 60 ).

Method according to claim 28, characterized in that as the first closure device ( 50 ' ) and the second closure device ( 50 ' ) a single mechanically resistant Vergussmassenfüllung ( 50 ' ) is filled.

A method according to claim 39, characterized in that a molding device (F1, F2) is used, the tongue device ( 30 ' ) during filling and curing of Vergussmassenfüllung ( 50 ; 50 ' ) holds.

Method according to claim 40, characterized in that the casting mold device (F1, F2) has a region (F1a) which has an integrated plug device ( 20 ' ) at the first opening (O1) around ends ( 63 ' ) one of the tongue device ( 30 ' ) above wiring device ( 47 ' ) when filling out.

Method according to at least one of claims 39 to 41, characterized in that a with the deflection detection device ( 41 - 44 ) connected circuit device ( 40 ' ) on the tongue device ( 30 ' ), which in the Vergussmassenfüllung ( 50 ' ) is embedded during filling.