DE102004026523A1

DE102004026523A1 - Optical component e.g. lens, handling method, involves inserting carrier frame along with component into cleaning equipment, removing frame and component after performing ultrasonic cleaning and releasing component from frame

Info

Publication number: DE102004026523A1
Application number: DE102004026523A
Authority: DE
Inventors: Matthias Dipl.-Ing. Heller
Original assignee: Carl Zeiss SMT GmbH
Current assignee: Carl Zeiss SMT GmbH
Priority date: 2004-05-25
Filing date: 2004-05-25
Publication date: 2005-12-22

Abstract

The method involves receiving an optical component in a carrier frame (1), which is designed for engaging the optical component outside an optically usable surface. The frame along with the component is inserted into cleaning equipment. The frame and the component are removed from the equipment after performing an ultrasonic cleaning. The component is released from the frame and is applied on a retaining frame. An independent claim is also included for a handling system.

Description

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Handhabung von Optikkomponenten und ein zur Durchführung des Verfahrens geeignetes Handhabungssystem.The The invention relates to a method for handling optical components and one to carry the process suitable handling system.

Die Handhabung von Optikkomponenten, insbesondere von Linsen oder Spiegeln, stellt hohe Anforderungen an die anzuwendenden Vorgehensweisen und die dazu benutzbaren Vorrichtungen. Optikkomponenten werden vorzugsweise aus Glas- oder Kristallmaterialien hergestellt und weisen zumindest eine optisch nutzbare Fläche auf, die insbesondere mit Schleif- und/oder Polierverfahren bearbeitet wurde und eine hohe Maßhaltigkeit aufweist, und die weder durch die Handhabung beschädigt, noch verunreinigt werden sollte. Bei der Herstellung, Vergütung und Verarbeitung von Optikkomponenten sind oftmals Reinigungszyklen vorgesehen, bei denen Schmutzpartikel und andere Verunreinigungen unmittelbar vor einem nächsten durchzuführenden Arbeitsschritt, wie insbesondere einer Beschichtung, einem Schleif- oder Poliervorgang oder auch einer Vermessung, von den optisch nutzbaren Flächen bzw. von der gesamten Optikkomponente entfernt werden sol len. Dazu wird die Optikkomponente beispielsweise in eine Wascheinrichtung eingesetzt, in der ein oder mehrere Reinigungsmedien für eine Entfernung der Verunreinigungen eingesetzt werden. Nach Beendigung des Reinigungszyklus ist die Optikkomponente weitgehend von Verunreinigungen befreit. Um die neuerliche Erzeugung bzw. Ablagerung von Verunreinigungen auf der optisch nutzbaren Fläche der Optikkomponente zu verhindern, sollte daher anschließend jeglicher mechanische Kontakt mit der gereinigten, optisch nutzbaren Fläche und jede unnötige manuelle oder automatische Operation an der Optikkomponente vermieden werden. Dem Reinigungszyklus nachfolgende Bearbeitungsschritte für die Optikkomponente erfordern jedoch weitere Handhabungsvorgänge, so dass Vorkehrungen für eine kontaminationsfreie oder kontaminationsarme Handhabung getroffen werden müssen.The Handling of optical components, in particular of lenses or mirrors, makes high demands on the procedures to be followed and the usable devices. Optic components are preferably made of glass or crystal materials and have at least an optically usable area in particular processed with grinding and / or polishing process was and a high dimensional accuracy and neither damaged by handling, nor should be contaminated. In the production, remuneration and Processing of optical components are often cleaning cycles provided where dirt particles and other impurities immediately before another to be performed, such as in particular a coating, a grinding or polishing process or a survey of the optically usable surfaces or should be removed from the entire optical component sol len. This will be for example, the optic component is inserted in a washing device, in the one or more cleaning media for removal of the contaminants be used. After completion of the cleaning cycle is the Optics component largely free of impurities. To the recent generation or deposition of impurities on the optically usable area The optical component should therefore prevent any mechanical contact with the cleaned, optically usable surface and each unnecessary manual or automatic operation on the optical component avoided become. The cleaning cycle subsequent processing steps for the optical component However, require further handling operations, so that provisions for a contamination-free or low-contamination handling must be taken.

Die Aufgabe der Erfindung besteht darin, ein Verfahren und eine Vorrichtung der eingangs genannten Art zu schaffen, die eine besonders einfache und eine zumindest nahezu kontaminationsfreie Handhabung der Optikkomponente ermöglichen.The The object of the invention is a method and a device to create the type mentioned, a particularly simple and an at least almost contamination-free handling of the optical component enable.

Diese Aufgabe wird durch ein Verfahren mit den Merkmalen des Anspruchs 1 gelöst. Vorteilhafte Weiterbildungen sind in den abhängigen Ansprüchen angegeben. Der Wortlaut sämtlicher Ansprüche wird durch Bezugnahme zum Inhalt der Beschreibung gemacht.These The object is achieved by a method having the features of the claim 1 solved. Advantageous developments are specified in the dependent claims. The wording of all claims is incorporated by reference into the content of the description.

Bei einem erfindungsgemäßen Verfahren wird die Optikkomponente in einem ersten Schritt in einem Trägerrahmen aufgenommen, der Haltemittel aufweist, die ein Angreifen an der Optikkomponente und dadurch ein festes Halten der Optikkomponente außerhalb der optisch nutzbaren Fläche ermöglichen. Der Trägerrahmen ermöglicht somit eine stabile Aufnahme der Optikkomponente, wobei die aufgebrachten Haltekräfte ggf. auch während eines nachgeschalteten Reinigungszyklus oder anderer Bearbeitungsvorgänge sichergestellt sind. Mit Hilfe des Trägerrah mens kann die Optikkomponente unter Vermeidung eines direkten mechanischen Kontaktes zur optisch nutzbaren Fläche manuell oder maschinell manipuliert werden. Danach, insbesondere nach Durchführung eines Reinigungs- oder Bearbeitungszyklus, wird die Optikkomponente auf einen Wechselrahmen aufgelegt. Dabei ist eine mechanische Wechselwirkung der Optikkomponente mit dem Wechselrahmen nur außerhalb der optisch nutzbaren Flächen vorgesehen. Dazu ist der Wechselrahmen auf die Geometrie der Optikkomponente abgestimmt. Sobald die Optikkomponente sicher auf dem Wechselrahmen aufliegt, kann sie aus dem Trägerrahmen freigegeben werden, d.h. die von dem Trägerrahmen auf die Optikkomponente ausgeübten Haltekräfte werden aufgehoben und der Trägerrahmen kann entfernt werden.at a method according to the invention the optical component in a first step in a support frame received, the holding means, which is an attack on the Optical component and thereby a firm hold of the optical component outside the optically usable area enable. The carrier frame allows Thus, a stable recording of the optical component, wherein the applied holding forces possibly also during a subsequent cleaning cycle or other machining operations ensured are. With the help of Trägerrah mens can the optical component while avoiding a direct mechanical Contact to the optically usable surface manually or mechanically be manipulated. Thereafter, in particular after carrying out a Cleaning or machining cycle, the optical component is on put on a removable frame. Here is a mechanical interaction the optical component provided with the removable frame only outside the optically usable surfaces. For this, the removable frame is based on the geometry of the optical component Voted. Once the optics component securely on the removable frame rests, it can be released from the support frame are, i. that of the carrier frame the optics component exercised Holding forces are lifted and the carrier frame can be removed.

Anschließend wird ein Halterahmen, der ebenfalls in seiner Geometrie auf die Optikkomponente abgestimmt ist, aufgelegt, wodurch eine Sandwichanordnung aus dem zuunterst angeordneten Wechselrahmen, der darauf abgelegten Optikkomponente und dem auf die Optikkomponente aufgelegten Halterahmen gebildet wird. Diese Sandwichanordnung wird nun derartig mit Kräften beaufschlagt, dass zeitweilig für die Dauer der Kraftbeaufschlagung ein fester Verbund zwischen Wechselrahmen, Optikkomponente und Halterahmen entsteht und eine gemeinsame Wendebewegung durchgeführt werden kann. Am Ende der Wendebewegung liegt die Optikkomponente auf dem Halterahmen auf, während der Wechselrahmen auf der Optikkomponente aufliegt und ohne weiteres entfernt werden kann.Subsequently, will a holding frame, which also in its geometry on the optical component is tuned, hung up, creating a sandwich arrangement from the at the bottom arranged removable frame, the optical component deposited thereon and the holding frame placed on the optical component becomes. This sandwich arrangement is now subjected to such forces, that temporarily for the duration of the application of force, a fixed bond between removable frames, Optics component and holding frame is created and a common turning movement carried out can be. At the end of the turning movement is the optical component on the support frame on while the removable frame rests on the optical component and readily can be removed.

Der Halterahmen kann insbesondere ein spezifisch gestalteter Aufnahmerahmen für einen nachfolgenden Bearbeitungsprozess, wie eine Beschichtung oder einen Poliervorgang, sein. Da für derartige Bearbeitungsvorgänge in der Regel eine spezifische Aufnahme der Optikkomponente erforderlich ist, besteht zumeist nicht die Möglichkeit, den Halterahmen so zu gestalten, dass ein unmittelbares Auflegen der im Träger rahmen aufgenommenen Optikkomponente auf den Halterahmen und eine Betätigung der Haltemittel zur Freigabe der Optikkomponente möglich ist.Of the Holding frame may in particular a specifically designed mounting frame for a subsequent one Machining process, such as a coating or a polishing process, be. As for such edits usually a specific image of the optical component required is, there is usually not the possibility to design the support frame so that an immediate hang up the frame in the carrier recorded optical component on the support frame and an actuation of the Holding means for releasing the optical component is possible.

Durch das erfindungsgemäße Verfahren wird mit wenigen einfachen Schritten ein hinsichtlich der optisch nutzbaren Fläche berührungsloses Handhabungsverfahren bereitgestellt, das in wenigen Schritten ein Auflegen der Optikkomponente auf einen Halterahmen mit der richtigen Orientierung der optisch nutzbaren Fläche ermöglicht und somit eine besonders vorteilhafte, da kontaminationsarme, Handhabung der Optikkomponente zur Vorbereitung eines nachfolgenden Bearbeitungsschrittes ermöglicht.By the inventive method is a few simple steps in terms of optical usable area contactless Handling method provided in a few steps Placing the optical component on a support frame with the right one Orientation of the optically usable surface allows and thus a special advantageous because low-contamination, handling of the optical component to prepare for a subsequent processing step allows.

In Ausgestaltung der Erfindung sind zwischen der Aufnahme der Optikkomponente im Trägerrahmen und dem Auflegen auf den Wechselrahmen folgende Verfahrensschritte vorgesehen: Einsetzen des mit der Optikkomponente bestückten Trägerrahmens in eine Wascheinrichtung, Durchführung eines Waschvorganges, insbesondere eines Ultraschallwaschvorgangs, Entnehmen des mit der Optikkomponente bestückten Trägerrahmens aus der Wascheinrichtung. Durch den vorgeschalteten Waschvorgang wird die Optikkomponente optimal auf den nachfolgenden Bearbeitungsvorgang vorbereitet. Dabei wird das Risiko einer Beschädigung oder Verunreinigung der optisch nutzbaren Fläche auf ein Minimum reduziert. Die Durchführung des Waschvorgangs in dem Trägerrahmen bedeutet eine optimale Waschwirkung gepaart mit einer vorteilhaften Handhabung der Optikkomponente in der Wascheinrichtung, insbesondere im Hinblick auf Waschmittelrückstände auf der optisch nutzbaren Fläche der Optikkomponente. Da der Trägerrahmen beim Waschvorgang ebenfalls gereinigt wird, bleibt die Optikkomponente danach mit einem gereinigtem Werkzeug in Kontakt, das den gleichen Reinigungsvorgang durchlaufen hat.In Embodiment of the invention are between the inclusion of the optical component in the carrier frame and laying on the removable frame following steps provided: insertion of the equipped with the optical component support frame in a washing device, performing a Washing process, in particular an ultrasonic washing process, removal of the equipped with the optical component support frame from the washing device. Through the upstream washing process the optical component is optimally adapted to the subsequent machining process prepared. This will increase the risk of damage or contamination the optically usable surface a minimum reduced. Carrying out the washing process in the support frame means an optimal washing action coupled with a beneficial Handling of the optical component in the washing device, in particular with regard to detergent residues the optically usable area the optical component. As the carrier frame is also cleaned during the washing process, the optical component remains then contact with a cleaned tool that is the same Has undergone cleaning process.

In weiterer Ausgestaltung der Erfindung ist ein Einsetzen der von dem Halterahmen gehaltenen Optikkomponente in eine Beschichtungseinrichtung vorgesehen. Eine derartige Beschichtungseinrichtung kann insbesondere eine PVD-Beschichtungsanlage mit Planetengetriebe sein, in der die von dem Halterahmen gehaltene Optikkomponente zur Vergütung mit einer dünnen, optisch wirksamen Schicht, z.B. einer Antireflexionsschicht oder einer Spiegelschicht überzogen wird.In Another embodiment of the invention is an insertion of the Holding frame held optical component provided in a coating device. Such a coating device can in particular be a PVD coating system be with planetary gear, in which held by the holding frame Optics component for remuneration with a thin, optically active layer, e.g. an antireflection coating or a mirror layer coated becomes.

Die Erfindung betrifft auch einen Trägerrahmen gemäß Anspruch 4. Durch einen derartigen Trägerrahmen wird eine sichere Halterung der Optikkomponente ermöglicht, wobei durch das bewegliche und festlegbare Klemmelement eine Aufnahme unterschiedlich großer Optikkomponenten in dem Trägerrahmen möglich ist. Die Halteelemente und das Klemmelement sind dazu so an dem Trägerrahmen angebracht, dass sie an der Optikkomponente nur außerhalb einer optisch nutzbaren Fläche angreifen. Der Grundrahmen kann aus formstabilen Streben hergestellt sein, die insbesondere aus einem metallischen Werkstoff, wie einem rostfreien Chromnickelstahl oder Titan, ausgeführt sind. An dem Grundrahmen sind Halteelemente angebracht, die eine kraft- und/oder formschlüssige Verbindung mit der Optikkomponente eingehen können und als Widerlager für die Optikkomponente und zur Aufnahme von Kräften dienen.The The invention also relates to a support frame according to claim 4. By such a support frame a secure mounting of the optical component is made possible wherein by the movable and fixable clamping element a receptacle different sizes Optical components in the support frame possible is. The holding elements and the clamping element are so on the Carrier frame attached, that they are on the optical component only outside of an optically usable area attack. The base frame can be made of dimensionally stable struts be, in particular of a metallic material, such as stainless chromium nickel steel or titanium. At the base frame are holding elements attached, the force and / or positive connection can go with the optical component and as an abutment for the optical component and serve to absorb forces.

Zu Aufbringung von Kräften, insbesondere von Haltekräften, auf die Optikkomponente, ist zumindest ein zwischen einer Ruhestellung und einer Halteposition bewegliches, festlegbares Klemmelement an einer am Grundrahmen angebrachten Betätigungseinrichtung vorgesehen. Das Klemmelement übt in der Halteposition eine Haltekraft auf die Optikkomponente aus. Dazu kann es aus der Ruhestellung durch Aufbringung einer Betätigungskraft in die Halteposition gebracht werden. In der Halteposition kann das Klemmelement durch eine Arretierungsvorrichtung festgelegt werden, wobei die Arretierungsvorrichtung entweder als statische oder als dynamische Arretierung ausgeführt sein kann. Während bei einer statischen Arretierung die aufgebrachte Haltekraft nach Festlegung konstant bleibt, ist bei einer dynamischen Arretierung eine, insbesondere elastisch verwirklichte, variable Haltekraftkomponente vorgesehen, die auch unter veränderten Umgebungsbedingungen, wie z.B. Temperaturveränderungen, eine minimale und/oder maximale Haltekraft auf die Optikkomponente sicherstellt. Eine derartige dynamische Arretierung kann insbesondere durch Federmittel in der Arretierungsvorrichtung und/oder der Betätigungseinrichtung vorgesehen sein.To Application of forces, especially holding forces, on the optical component is at least one between a rest position and a holding position movable, fixable clamping element provided on the base frame mounted actuator. The clamping element exercises in the holding position, a holding force on the optical component. For this it can from the rest position by applying an actuating force be brought into the holding position. In the holding position can the clamping element are fixed by a locking device, wherein the locking device either as static or as dynamic locking executed can be. While at a static locking the applied holding force after Fixing remains constant is with a dynamic lock a, in particular elastically realized, variable holding force component provided, which also changed under Environmental conditions, such as Temperature changes, a minimum and / or ensures maximum holding force on the optical component. Such Dynamic locking can in particular by spring means in the Locking device and / or the actuator provided be.

In weiterer Ausgestaltung der Erfindung sind die Halteelemente und das zumindest eine Klemmelement jeweils als Doppelkonus ausgeführt. Ein Doppelkonus weist zumindest zwei koaxial angeordnete und hinsichtlich ihrer Kegelwinkel gegenüberstehende Kegel oder Kegelstümpfe auf, die insbesondere mit der jeweils kleineren Stirnfläche gegenüberliegen und vorzugsweise mit diesen Stirnflächen unmittelbar aneinander anliegen, während die jeweils größeren Stirnflächen voneinander wegweisen. Durch einen derartigen Doppelkonus lässt sich eine besonders sichere Halterung der Optikkomponente erzielen, gleichzeitig wird eine minimale Auflagefläche der Halteelemente und des Klemmelementes an der Optikkomponente verwirklicht, was insbesondere für Trocknungsvorgänge nach einem vorgeschalteten Waschzyklus in flüssigen Medien von besonderer Bedeutung ist, um Spuren an der Optikkomponente zu verhindern, die insbesondere durch Waschmittelreste oder Flüssigkeitstropfen hervorgerufen werden könnten. Ein Doppelkonus ermöglicht auch die Aufnahme von Optikkomponenten mit unterschiedlicher Randdicke, wobei immer ein sicherer Halt und eine minimale Auflagefläche verwirklicht sind.In Another embodiment of the invention, the holding elements and the at least one clamping element is in each case designed as a double cone. One Double cone has at least two coaxially arranged and in terms their cone angle opposite Cones or truncated cones on, in particular with the respective smaller end face opposite and preferably with these faces abut each other directly, while the respective larger end faces from each other face away. By such a double cone can be a particularly secure Holder of the optical component achieve at the same time is a minimum bearing surface the holding elements and the clamping element on the optical component realized, which is especially for drying operations after an upstream washing cycle in liquid media of particular importance is to prevent traces on the optical component, in particular through detergent residues or liquid drops could be caused. A double cone allows also the inclusion of optical components with different edge thickness, whereby always a secure hold and a minimum contact surface realized are.

In weiterer Ausgestaltung der Erfindung sind die Halteelemente und/oder das Klemmelement aus einem zumindest geringfügig nachgiebigen, insbesondere elastischen Kunststoffmaterial hergestellt. Dadurch lässt sich eine besonders günstige Haltewirkung bzw. Klemmwirkung gegenüber der Optikkomponente erzielen, da einerseits die üblicherweise für Optikkomponenten verwendeten Glas- oder Kristallmaterialien eine hohe Sprödigkeit aufweisen und andererseits durch die geringeren Auflageflächen zwischen Halteelementen bzw. Klemmelementen und der Optikkomponente besonders hohe Flächenpressungen auftreten können, die zu Ausplatzungen oder sonstigen Beschädigungen an der Optikkomponente führen könnten. Das für die Halteelemente und/oder Klemmelemente verwendete Kunststoffmaterial sollte eine ausreichende Elastizität aufweisen, um Belastungsspitzen zwischen Halteelementen und/oder Klemmelementen und der Optikkomponente auf ein moderates Maß zu senken und somit eine Beschädigung der Optikkomponente zu verhindern. Als Kunststoffmaterialien kommen insbesondere Materialien aus der Gruppe der Polytetrafluorethylene oder der Polyetheretherketone in Frage. Der Begriff Kunststoff umfasst dabei auch Gummimaterialien und Elastomere.In a further embodiment of the invention the holding elements and / or the clamping element made of an at least slightly resilient, in particular elastic plastic material. This makes it possible to achieve a particularly favorable holding action or clamping action relative to the optical component, since on the one hand the glass or crystal materials usually used for optical components have high brittleness and, on the other hand, particularly high surface pressures can occur due to the smaller contact surfaces between holding elements or clamping elements and the optical component. which could lead to Ausplatzungen or other damage to the optical component. The plastic material used for the holding elements and / or clamping elements should have sufficient elasticity to reduce load peaks between holding elements and / or clamping elements and the optical component to a moderate level and thus to prevent damage to the optical component. As plastic materials in particular materials from the group of polytetrafluoroethylenes or polyetheretherketones come into question. The term plastic also includes rubber materials and elastomers.

Die Erfindung betrifft auch einen Wechselrahmen zur Aufnahme einer Optikkomponente mit den Merkmalen des Anspruchs 7. Der Wechselrahmen ermöglicht eine temporäre Aufnahme der in dem Trägerrahmen gehaltenen Optikkomponente und erlaubt gleichzeitig ein Abnehmen des Trägerrahmens von der Optikkomponente, ohne aufwendige Handhabungsschritte durchführen zu müssen. Dazu weist der Wechselrahmen einen vorzugsweise plattenförmigen Grundkörper auf, der einen auf die Form der aufzunehmenden Optikkomponente angepassten Durchbruch aufweist. An dem Durchbruch ist vorzugsweise längs einer Berandung ein zumindest abschnittsweise verlaufender Bund für eine Auflage der Optikkomponente vorgesehen, um eine positionsgenaue Aufnahme der Optikkomponente am Wechselrahmen sicherzustellen. An dem plattenförmigen Grundkörper sind ausgehend vom Durchbruch mehrere Ausklinkungen vorgesehen. Diese erlauben einerseits ein Durchtauchen der Halte- und/oder Klemmelemente des Trägerrahmens durch den Wech selrahmen, so dass die im Trägerrahmen gehaltene Optikkomponente auf den Bund des Wechselrahmens aufgesetzt werden kann. Andererseits sind die Ausklinkungen so gestaltet, dass eine Bewegung des mindestens einen Klemmelementes bei aufgelegter Optikkomponente ermöglicht wird, so dass eine problemlose Betätigung des Trägerrahmens und damit eine Freigabe der Optikkomponente gewährleistet werden kann.The The invention also relates to a removable frame for receiving an optical component with the features of claim 7. The removable frame allows a temporary Recording the in the support frame held optical component while allowing a decrease of the support frame of the optical component, without consuming handling steps to perform have to. For this purpose, the removable frame has a preferably plate-shaped body, the one adapted to the shape of the male optical component breakthrough having. At the breakthrough is preferably at least along a boundary Sectionally extending waistband for an edition of the optical component provided to a positionally accurate recording of the optical component on the removable frame. Are on the plate-shaped body starting from the breakthrough provided several notches. These on the one hand allow dipping of the holding and / or clamping elements the support frame by the Wech selrahmen, so that held in the support frame optical component can be placed on the collar of the removable frame. on the other hand the notches are designed so that a movement of at least a clamping element is possible with the optical component applied, allowing a hassle-free operation the support frame and thus a release of the optical component can be ensured.

Die Erfindung betrifft auch ein Handhabungssystem mit den Merkmalen des Anspruchs 9. Dieses Handhabungssystem erlaubt eine sichere Aufnahme der Optikkomponente in einen Trägerrahmen, ein zeitweiliges Auflegen der Optikkomponente auf einen Wechselrahmen, die Betätigung und Entfernung des Trägerrahmens und ein einfaches Umsetzen der Optikkomponente auf einen Halterrahmen, der zur Aufnahme der Optikkomponente in einem nachfolgenden Bearbeitungsprozess vorgesehen ist.The The invention also relates to a handling system having the features of claim 9. This handling system allows a secure recording of Optical component in a support frame, a temporary placement of the optical component on a removable frame, the operation and removal of the support frame and a simple conversion of the optical component on a holder frame, for receiving the optical component in a subsequent machining process is provided.

Weitere Vorteile und Merkmale der Erfindung ergeben sich aus den Ansprüchen sowie aus der nachfolgenden Beschreibung eines bevorzugten Ausführungsbeispiels, das anhand der Zeichnungen dargestellt ist.Further Advantages and features of the invention will become apparent from the claims and from the following description of a preferred embodiment, which is illustrated by the drawings.

1 zeigt in ebener Darstellung eine Draufsicht auf einen Trägerrahmen, 1 shows a plan view of a support frame,

2 zeigt in ebener Darstellung eine seitliche Schnittansicht des Trägerrahmens, 2 shows in a planar representation a side sectional view of the support frame,

3 zeigt in ebener Darstellung eine vordere Schnittansicht des Trägerrahmens, 3 shows in a planar representation of a front sectional view of the support frame,

4 zeigt in ebener Darstellung eine Draufsicht auf einen Wechselrahmen, 4 shows a plan view of a removable frame,

5 zeigt in ebener Darstellung einen Teilausschnitt einer Seitenansicht des Wechselrahmens, 5 shows a plan view of a partial section of a side view of the removable frame,

6 zeigt in ebener Darstellung eine Schnittansicht eines Halterahmens, 6 shows a plan view of a sectional view of a holding frame,

7 zeigt zeigt in ebener Darstellung einen Teilausschnitt des Halterahmens gemäß 6 7 shows a plan view of a partial section of the holding frame according to 6

8 zeigt eine ebene, schematische Darstellung des Trägerrahmens, der Optikkomponente und des Wechselrahmens, 8th shows a planar, schematic representation of the support frame, the optical component and the removable frame,

9. zeigt eine ebene, schematische Darstellung einer Sandwichanordnung mit Wechselrahmen, Optikkomponente und Halterahmen nach Durchführung der erfindungsgemäßen Handhabung. 9 , shows a planar, schematic representation of a sandwich assembly with removable frame, optical component and support frame after performing the handling according to the invention.

Ein Trägerrahmen 1 weist zwei Haltestreben 11 und zwei Verbindungsstreben 12 auf, die jeweils an Endbereichen miteinander verbunden sind und insbesondere aus Edelstahl oder Titan hergestellt sind. Während die parallel zueinander ausgerichteten Haltestreben 11 geradlinig ausgeführt sind und jeweils über einen Teil ihrer Länge eine Führungskulisse 7 in Form eines Langlochs aufweisen, sind die Verbindungsstreben 12 jeweils mittig mit einem verrundeten Knick mit einem Knickwinkel von ca. 40° versehen. Damit weist der Grundrahmen 2 insgesamt eine im Wesentlichen sechseckige Kontur auf. An einer der Verbindungsstreben 12 sind jeweils benachbart zu dem verrundeten Knickbereich zwei Zapfen 10 angeschweißt, die sich orthogonal zu einer durch den Grundrahmen aufgespannten Ebene erstrecken und zur Aufnahme der Halteelemente 3 vorgesehen sind. An den Haltestreben 11 sind jeweils gegenüberliegend Schwenkhebel 6 vorgesehen, die drehbeweglich um ortho gonal zur Ebene des Grundrahmens ausgerichtete Schwenkachsen 13 angebracht sind.A carrier frame 1 has two struts 11 and two connecting struts 12 on, which are connected to each other at end regions and in particular made of stainless steel or titanium. While the parallel aligned struts 11 are executed in a straight line and in each case over part of its length a guide slot 7 in the form of a slot are the connecting struts 12 each center with a rounded kink with a bend angle of about 40 ° provided. This indicates the base frame 2 Overall, a substantially hexagonal contour. At one of the connecting struts 12 are each adjacent to the rounded kink area two spigot 10 welded, which extend orthogonal to a plane spanned by the base frame plane and receiving the holding elements 3 are provided. At the struts 11 are each opposite pivot lever 6 provided, the pivotable about ortho gonal to the plane of the base frame pivot axes 13 are attached.

In einiger Entfernung von den Schwenkachsen 13 ist der Schwenkhebel an einem beweglich angebrachten Stützhebel 8 angelenkt, der seinerseits mit einem Führungszapfen 14 in der Führungskulisse 7 bewegbar ist. An einem der Schwenkachse 13 abgewandten Ende des Schwenkhebels 6 ist an einem orthogonal zur Ebene des Grundrahmens erstreckten, nicht näher dargestellten Zapfen ein Klemmelement 4 angebracht, das als Doppelkonus aus Kunststoff ausgeführt ist und in Zusammenwirkung mit den Halteelementen 3 eine im wesentlichen formschlüssige Aufnahme einer Optikkomponente 26 im Trägerrahmen 1 ermöglicht. Durch die Ausgestaltung der Halteelemente 3 und der Klemmelemente 4 als Doppelkonus können Optikkomponenten 26, insbesondere Rundoptikkomponenten oder vieleckige optische Komponenten, mit unterschiedlichen Geometrien und Querschnitten sicher formschlüssig in dem Trägerrahmen 1 gehalten werden. Wie in 1 dargestellt, umschließen die Halteelemente 3 und die Klemmelemente 4 mit einer 4-Punkt-Lagerung die Optikkomponente an deren Seitenflächen bzw. in optisch nicht genutzten Randbereichen der Stirnflächen.At some distance from the pivot axes 13 is the pivot lever on a movably mounted support lever 8th hinged, in turn, with a guide pin 14 in the lead setting 7 is movable. At one of the pivot axis 13 opposite end of the pivot lever 6 is at a orthogonal to the plane of the base frame extended, not shown pin a clamping element 4 attached, which is designed as a double cone made of plastic and in cooperation with the holding elements 3 a substantially positive reception of an optical component 26 in the carrier frame 1 allows. Due to the design of the retaining elements 3 and the clamping elements 4 as a double cone optic components 26 , in particular round optical components or polygonal optical components, with different geometries and cross sections securely positively in the support frame 1 being held. As in 1 shown, enclose the holding elements 3 and the clamping elements 4 with a 4-point mounting the optical component on the side surfaces or in optically unused edge regions of the end faces.

Anhand der in 2 dargestellten seitlichen Schnittansicht des Trägerrahmens 1 ist erkennbar, dass der Führungszapfen 14 mit einem Rändel 9 für eine einfache Handhabung ausgestattet ist. Der Stützhebel 8 ist endseitig gabelförmig gestaltet, umgreift die Haltestrebe 11 und erlaubt damit ein zwangsgeführtes Gleiten des Führungszapfens 14 in der nicht dargestellten Führungskulisse 7. Durch eine Wirkverbindung eines am Führungszapfen 14 und am gabelförmigen Bereich des Stützhebels 8 vorgesehenen Gewindes ist eine Festlegung des Stützhebels 8 an der Haltestrebe 11 durch Klemmung des gabelförmigen Bereichs des Stützhebels 8 ermöglicht. Durch eine Verschiebung des gabelförmigen Bereichs des Stützhebels 8 und damit des Führungszapfens 14 längs der Führungskulisse 7 findet eine kombinierte translatorische und rotatorische Bewegung des Stützhebels 8 statt, die ihrerseits durch die kinematische Kopplung mit dem Schwenkhebel 6 zu einer Schwenkbewegung des Schwenkhebels 6 führt. Dadurch wird das Klemmelement 4, wie in 1 dargestellt, auf einer Kreisbahn um den Drehpunkt 13 bewegt und kann auf die Optikkomponente 26 zu bzw. von dieser wegbewegt werden. Die Zapfen 10 für die in 2 nicht dargestellten Halteelemente 3 sind an der Verbindungsstrebe 12 angeschweisst und weisen an einem der Verbindungsstrebe 12 abgewandten Ende ein Schraubgewinde zum Aufschrauben der Halteelmente 3 auf, gleiches gilt für die Haltebolzen 27 der ebenfalls nicht dargestellten Klemmelemente 4.On the basis of in 2 shown lateral sectional view of the support frame 1 it can be seen that the guide pin 14 with a knurl 9 is equipped for easy handling. The support lever 8th is fork-shaped at the end, engages around the retaining strut 11 and thus allows a positively guided sliding of the guide pin 14 in the guide slot, not shown 7 , By an operative connection of a guide pin 14 and at the fork-shaped portion of the support lever 8th provided thread is a determination of the support lever 8th at the support strut 11 by clamping the forked portion of the support lever 8th allows. By a displacement of the fork-shaped portion of the support lever 8th and thus the guide pin 14 along the guide slot 7 finds a combined translational and rotational movement of the support lever 8th in turn, by the kinematic coupling with the pivot lever 6 to a pivoting movement of the pivot lever 6 leads. This will cause the clamping element 4 , as in 1 shown on a circular path around the fulcrum 13 moves and can affect the optics component 26 be moved to or from this. The cones 10 for the in 2 not shown holding elements 3 are at the connecting strut 12 welded on and point to one of the connecting strut 12 opposite end of a screw thread for screwing the Halteelmente 3 on, the same applies to the retaining bolts 27 also not shown clamping elements 4 ,

Aus 3 ist zu entnehmen, dass zur Halterung des Haltebolzens 27 des Klemmelementes 4 die zwei Schwenkhebel 6 gegenüberliegend an der jeweils zugehörigen Haltestrebe 11 angeordnet sind und in einem Zwischenraum den Stützhebel 8 umschließen, mit dem sie über eine Gelenkachse 15 drehbeweglich verbunden sind. Die Haltebolzen 27 für die als Doppelkonus ausgeführten Klemmelemente 4 sind an den Schwenkhebeln 6 angeschraubt und weisen an den den Schwenkhebeln 6 abgewandten Enden Schraubgewinde auf, die für ein Aufschrauben der Klemmelemente 4 vorgesehen sind. Die Klemmelemente 4 sind ebenso wie die nicht dargestellten Halteelemente 3 einstückig ausgeführt und weisen zwei mit den jeweils kleineren Stirnflächen gegenüberliegend angeordnete Kegelabschnitte mit unterschiedlichen Kegelwinkeln auf, zwischen denen eine asymmetrische, V-förmige Haltenut gebildet ist.Out 3 it can be seen that for holding the retaining bolt 27 of the clamping element 4 the two pivot levers 6 opposite to the respectively associated holding strut 11 are arranged and in a space the support lever 8th enclose with which they have a hinge axis 15 are rotatably connected. The retaining bolts 27 for the clamping elements designed as a double cone 4 are at the swivel levers 6 screwed on and point to the swivel levers 6 facing away from screw thread on which for screwing the clamping elements 4 are provided. The clamping elements 4 are as well as the holding elements, not shown 3 designed in one piece and have two with the respective smaller end faces oppositely arranged conical sections with different cone angles, between which an asymmetrical, V-shaped retaining groove is formed.

Der in 4 dargestellte Wechselrahmen weist einen plattenförmigen, insbesondere aus Edelstahl gefertigten, Grundkörper 16 auf, der mit einem Durchbruch 17 versehen ist, wobei eine im wesentlichen kreisrunde Form des Durchbruchs 17 der Geometrie einer nicht dargestellten Rundoptikkomponente entspricht und eine im wesentlichen formschlüs sige Aufnahme der Rundoptikkomponente insbesondere durch einen abschnittsweise längs der Berandung des Durchbruchs 17 verlaufenden, nach innen vorspringenden Bund 18 verwirklicht ist. Der Bund 18 und eine in 5 näher dargestellte, seitliche Wandung 21 des Durchbruchs 17 stellen die nahezu spielfreie, formschlüssige Aufnahme der Optikkomponente sicher, da eine Spielpassung zwischen der Rundoptikkomponente und dem Wechselrahmen vorgesehen ist. Diese wird dadurch erreicht, dass der Innendurchmesser der Wandung 17 nur wenige Zehntel Milimeter größer als der Außendurchmesser der aufzunehmenden Rundoptikkomponente ist, während der Innendurchmesser des Bundes 18 kleiner als der Außendurchmeser der Rundoptikkomponente ist. Für die Aufnahme vieleckiger Optikkomponenten findet eine entsprechende Anpassung des Wechselrahmens 20 statt, so dass dann ebenfalls eine Spielpassung verwirklicht werden kann. Ausgehend von dem Durchbruch 17 erstrecken sich gemäß 4 vier U-förmige Ausklinkungen 19, die jeweils so angebracht sind, dass sie ein einfaches Eintauchen des mit der Optikkomponente 26 bestückten Trägerrahmens 1 in den Wechselrahmen 20 ermöglichen. Die Umfangsbreite und die radiale Tiefe der Ausklinkungen sind ca. 50% bis 80% größer als der Durchmesser der Halte- bzw. Klemmelemente. Dadurch wird durch die Ausklinkungen 19 nach Auflegen der Optikkomponente 26 in den Wechselrahmen 20 ein Verschwenken der Klemmelemente 4 ermöglicht, ohne dabei einen unerwünschten mechanischen Kontakt zwischen Trägerrahmen 1, Optikkomponente 26 und/oder Wechselrahmen 20 hervorzurufen.The in 4 Removable frame shown has a plate-shaped, in particular made of stainless steel, body 16 on that with a breakthrough 17 is provided, wherein a substantially circular shape of the opening 17 corresponds to the geometry of a round optical component, not shown, and a substantially formschlüs SIGE recording the round optics component in particular by a section along the edge of the opening 17 extending, inwardly projecting collar 18 is realized. The Bund 18 and one in 5 shown in detail, lateral wall 21 the breakthrough 17 ensure the almost backlash-free, positive fit of the optical component, since a clearance fit between the round optics and the removable frame is provided. This is achieved by the fact that the inner diameter of the wall 17 only a few tenths of a millimeter larger than the outer diameter of the male optical component is while the inner diameter of the Federal 18 smaller than the outer diameter of the round optical component. For receiving polygonal optic components finds a corresponding adaptation of the removable frame 20 instead, so that then also a clearance can be realized. Starting from the breakthrough 17 extend according to 4 four U-shaped notches 19 , which are each mounted so that they allow easy immersion of the optical component 26 fitted carrier frame 1 in the removable frame 20 enable. The circumferential width and the radial depth of the notches are approximately 50% to 80% greater than the diameter of the holding or clamping elements. This will be through the notches 19 after Aufle conditions of the optical component 26 in the removable frame 20 a pivoting of the clamping elements 4 allows without causing unwanted mechanical contact between support frame 1 , Optical component 26 and / or removable frame 20 cause.

In dem in 5 dargestellten Teilschnitt durch den Grundkörper 16 ist zu erkennen, wie der umlaufende Bund 18 nach innen über die Kontur des Durchbruchs 17 herausragt und somit eine Auflagefläche für die nicht dargestellte Optikkomponente 26 bietet. Dazu ist der Durchmesser des nach innen ragenden Bundes 18 geringer als der Durchmesser der Optikkomponente 26, so dass die Optikkomponente 26 auf dem Bund 18 aufgelegt werden kann. Der Durchmesser des Durchbruchs ist nahe zu identisch mit dem Durchmesser der Optikkomponente 26 und ermöglicht somit die nahezu spielfreie Aufnahme der Optikkomponente 26.In the in 5 illustrated partial section through the body 16 can be seen as the encircling collar 18 inward over the contour of the breakthrough 17 protrudes and thus a support surface for the optical component, not shown 26 offers. This is the diameter of the inwardly projecting covenant 18 less than the diameter of the optical component 26 so the optics component 26 on the fret 18 can be hung up. The diameter of the aperture is close to identical to the diameter of the optical component 26 and thus allows the almost play-free recording of the optical component 26 ,

Der in 6 dargestellte Halterahmen 22, der insbesondere aus Edelstahl hergestellt ist und die Form eines flachen Ringes hat, weist einen an die Kontur der nicht dargestellten Optikkomponente 26 angepassten, kreisförmigen Durchbruch 23 mit einem nach innen vorspringenden umlaufenden Bund 24 auf, wodurch die Optikkomponente 26 formschlüssig mit Spielpassung gehalten werden kann. Der Halterahmen 22 weist weiterhin einen nach außen gewandten umlaufenden Haltebund 25 auf, der zur Aufnahme in einem nicht dargestellten Substatrathalters (Planeten) eines Planetengetriebes einer PVD-Beschichtungsanlage vorgesehen ist. 7 stellt den umlaufenden Bund 24 des Halterahmens 22 näher dar.The in 6 illustrated holding frame 22 In particular, made of stainless steel and has the shape of a flat ring, has a to the contour of the optical component, not shown 26 adapted, circular breakthrough 23 with an inwardly projecting circumferential collar 24 on, causing the optics component 26 can be held positively with clearance. The support frame 22 also has an outwardly facing circumferential retaining collar 25 on, which is provided for receiving in a substrate holder (planets), not shown, a planetary gear of a PVD coating system. 7 represents the encircling collar 24 of the holding frame 22 closer.

Die Verwendung des Handhabungssystems wird am Beispiel der Handhabung einer Plankonvexlinse erläutert, die nach vorausgegangenen Fräs- und Polierschritten erst gewaschen und anschließend mit einer Antireflexschicht bedampft werden soll. Für die Benutzung des Handhabungssystems wird, wie in 8 schematisch und nicht maßstabsgetreu dargestellt, zunächst die als Plankonvexlinse gestaltete Optikkomponente 26 derart in den Trägerrahmen 1 eingesetzt, dass der Randbereich der Optikkomponente 26 mit den Halteelementen 3 in Wirkverbindung tritt und dort formschlüssig aufgenommen wird. Anschließend werden die Klemmelemente 4 durch Verschieben der Stützhebel 8 unter Verschwenkung der Schwenkhebel 6 an den Randbereich der Optikkomponente angelegt und unter Aufbringung einer Haltekraft durch Betätigung der Führungszapfen 14 arretiert. Damit ist die Optikkomponente 26 an vier über den Umfang verteilten Lagerstellen form- und kraftschlüssig in dem Trägerrahmen aufgenommen. Dabei wird durch die elastische Deformierbarkeit der Halteelemente 3 und der Klemmelemente 4 eine Übertragung der Haltekräfte auf die Optikkomponente 26 ohne Span nungsspitzen im Glas- oder Kristallmaterial der Optikkomponente 26 verwirklicht. Bedingt durch die Doppelkonusform der Halteelemente 3 und der Klemmelemente 4, sowie durch die Verstellbarkeit der Klemmelemente 4 können Optikkomponenten unterschiedlicher Geometrien und Größen in dem Trägerrahmen aufgenommen werden. Der Kontaktbereich zwischen der Optikkomponente 26 und den Halteelementen 3 bzw. Klemmelementen 4 ist prinzipiell als Linienberührung bzw. als Punktberührung anzusehen. Durch die Elastizität der Halteelemente 3 und der Klemmelemente 4 wird der Kontaktbereich bei größeren Haltekräften leicht vergrößert, so dass eine kleinflächige Kontaktzone entsteht, die den Randbereich der Optikkomponente kraft- und formschlüssig umschließt und somit eine Relativbewegung der Optikkomponente 26 in dem Trägerrahmen 1 erschwert.The use of the handling system will be explained using the example of the handling of a plano-convex lens which, after previous milling and polishing steps, is first washed and subsequently vapor-coated with an antireflection coating. For the use of the handling system, as in 8th shown schematically and not true to scale, first designed as a plano-convex lens optical component 26 such in the carrier frame 1 used that the edge area of the optical component 26 with the retaining elements 3 enters into operative connection and is recorded there form-fitting. Subsequently, the clamping elements 4 by moving the support lever 8th under pivoting the pivot lever 6 applied to the edge region of the optical component and under application of a holding force by actuation of the guide pin 14 locked. This is the optical component 26 positively and non-positively received in four four circumferentially spaced bearings in the support frame. It is characterized by the elastic deformability of the holding elements 3 and the clamping elements 4 a transfer of holding forces on the optical component 26 No voltage peaks in the glass or crystal material of the optical component 26 realized. Due to the double cone shape of the retaining elements 3 and the clamping elements 4 , as well as the adjustability of the clamping elements 4 Optic components of different geometries and sizes can be accommodated in the support frame. The contact area between the optical component 26 and the holding elements 3 or clamping elements 4 is to be regarded in principle as a line contact or as a point contact. Due to the elasticity of the retaining elements 3 and the clamping elements 4 the contact area is slightly increased with larger holding forces, so that a small-area contact zone is formed, which positively and positively surrounds the edge region of the optical component and thus a relative movement of the optical component 26 in the carrier frame 1 difficult.

Anschließend kann die in dem Trägerrahmen 1 aufgenommene Optikkomponente 26 in eine nicht dargestellte Wascheinrichtung eingesetzt werden, in der ein flüssiges Waschmedium mit Ultraschall beaufschlagt wird und damit eine Reinigungswirkung an den Oberflächen der Optikkomponente erzielt werden kann. Nachfolgend wird der Trägerrahmen 1 mit der Optikkomponente 26 aus der Wascheinrichtung entnommen und beide werden gemeinsam getrocknet.Subsequently, the in the support frame 1 recorded optics component 26 be used in a washing device, not shown, in which a liquid washing medium is subjected to ultrasound and thus a cleaning effect on the surfaces of the optical component can be achieved. The following will be the carrier frame 1 with the optics component 26 removed from the washing device and both are dried together.

Anschließend wird die in dem Trägerrahmen 1 aufgenommene Optikkomponente 26 auf den Wechselrahmen 20 aufgelegt. Dabei ist die Optikkomponente 26 mit Hilfe der Halteelemente 3 und der Klemmelemente 4 zunächst noch formschlüssig in dem Trägerrahmen 1 aufgenommen. Beim Auflegen auf den Wechselrahmen 20 tauchen die Halteelemente 3 und die Klemmelemente 4 in die für sie vorgesehenen Ausklinkungen 19 ein, bis die Optikkomponente 26 mit ihren außerhalb der optische nutzbaren Linsenfläche mit dem umlaufenden Bund 18 des Wechselrahmens 20 in Kontakt tritt und dadurch formschlüssig in dem Wechselrahmen 20 aufgenommen wird. Anschließend können die Klemmelemente 4 innerhalb der Ausklinkungen des Wechselrahmens 20 aus der Halteposition in die Ruhestellung nach außen verschwenkt werden, wozu die Führungszapfen 14 gelöst werden und die Stützhebel 8 längs der Führungskulissen 7 verschoben werden. Bedingt durch die U-förmig gestalteten Ausklinkungen 19 in dem Wechselrahmen 20 kann die Bewegung der Klemmelemente 4 ungehindert stattfinden, da die Ausrichtung und Dimensionierung der Ausklinkungen 19 so gewählt ist, dass eine Bewegung der Klemmelemente 4 nicht zu einem mechanischen Kontakt mit dem Wechselrahmen 20 führt. Der Trägerrahmen 1 in kann dann in einem nachfolgenden Schritt nach oben entfernt werden. Zu diesem Zeitpunkt liegt die Glaskomponente 26 mit ihrem Eigengewicht ausschließlich auf dem Wechselrahmen 20 formschlüssig auf.Subsequently, the in the support frame 1 recorded optics component 26 on the removable frame 20 hung up. Here is the optics component 26 with the help of the holding elements 3 and the clamping elements 4 initially still positively in the support frame 1 added. When placing on the removable frame 20 dive the retaining elements 3 and the clamping elements 4 in the notches provided for them 19 one until the optics component 26 with their outside the optically usable lens surface with the encircling collar 18 of the removable frame 20 comes into contact and thereby positively in the removable frame 20 is recorded. Subsequently, the clamping elements 4 within the notches of the removable frame 20 be pivoted out of the holding position in the rest position to the outside, including the guide pin 14 be solved and the support lever 8th along the leading scenes 7 be moved. Due to the U-shaped notches 19 in the removable frame 20 can the movement of the clamping elements 4 take place unhindered, since the alignment and dimensioning of the notches 19 is chosen so that a movement of the clamping elements 4 not to a mechanical contact with the removable frame 20 leads. The carrier frame 1 in can then be removed in a subsequent step upwards. At this time lies the glass component 26 with its own weight only on the removable frame 20 positive locking.

Anschließend wird der Halterahmen 22 so auf die Optikkomponente 26 aufgelegt, dass er dem Wechselrahmen 20 gegenüberliegend angeordnet ist und ebenfalls eine Stirnseite der Optikkomponente 26 formschlüssig aufnimmt. Dann kann die aus dem Wechselrahmen 20, dem Halterahmen 22 und der dazwischenliegenden Optikkomponente 26 gebildete Sandwichanordnung so von Hand gegriffen werden, dass ausgehend vom Wechselrahmen 20 und vom Halterahmen 22 Druckkräfte auf den Rand der Optikkomponente 26 ausgeübt werden, die in Wirkverbindung mit dem Formschluss ein Einklemmen und dadurch eine sichere Aufnahme der Optikkomponente 26 gewährleisten. Dann wird die Sandwichanordnung unter Ausübung der manuell aufgebrachten Druckkräfte gewendet, so dass der ursprünglich unterhalb des Optikkomponente 26 angeordnete Wechselrahmen 20 auf der Optikkomponente 26 aufliegt, während diese auf dem Halterahmen 22 aufliegt (vgl. 9). Nach Ablegen der Sandwichanordnung kann nun der Wechselrahmen 20 nach oben entfernt werden und die auf dem Halterahmen 22 aufliegende Optikkomponente 26 durch Angreifen an dem Halterahmen 22 ohne weiteres einem nachfolgenden Bearbeitungsprozess zugeführt werden.Subsequently, the holding frame 22 so on the optical component 26 I feel like he's the interchangeable frame 20 is arranged opposite and also an end face of the optical component 26 positively receives. Then that can be out of the removable frame 20 , the support frame 22 and the intermediate optical component 26 formed sandwich assembly to be grasped by hand, that starting from the removable frame 20 and the support frame 22 Pressure forces on the edge of the optical component 26 be exercised, the pinching in operative connection with the positive connection and thereby secure reception of the optical component 26 guarantee. Then, the sandwich assembly is turned by applying the manually applied compressive forces, so that the originally below the optical component 26 arranged removable frame 20 on the optics component 26 rests while these on the support frame 22 rests on (cf. 9 ). After placing the sandwich assembly can now change the frame 20 to be removed upwards and those on the holding frame 22 Overlying optical component 26 by attacking the support frame 22 be readily supplied to a subsequent processing process.

Claims

Method for handling an optical component ( 26 ), in particular a lens to be coated, comprising the steps of: receiving the optical component in a support frame ( 1 ) used to engage the optical component ( 26 ) is formed outside of an optically usable surface, placing the optical component ( 26 ) on a removable frame ( 20 ); Releasing the optics component ( 26 ) from the support frame ( 1 ); Removing the carrier frame ( 1 ); Placing a retaining frame ( 22 ) on the optical component ( 26 ) for forming a sandwich assembly of removable frames ( 20 ), Optical component ( 26 ) and holding frame ( 22 ); Clamping the optical component ( 26 ) between the removable frame ( 20 ) and the holding frame ( 22 ); Turning the sandwich assembly such that the optical component ( 26 ) on the support frame ( 22 ); Removing the removable frame ( 20 ).

Method according to claim 1, characterized in that between the reception of the optical component ( 26 ) in the support frame ( 1 ) and placing it on the removable frame ( 20 ) the following steps are performed: Inserting the with the optical component ( 26 ) equipped carrier frame ( 1 ) in a washing device, carrying out a washing process, in particular an ultrasonic washing process, removing the with the optical component ( 26 ) equipped carrier frame ( 1 ) from the washing device.

Method according to claim 1 or 2, characterized in that that of the holding frame ( 22 ) held optical component ( 26 ) is used after removal of the support frame in a coating device, in particular in a PVD coating system with planetary gear.

Support frame ( 1 ) for holding an optical component ( 26 ), in particular for use in a method according to claims 1 to 3, comprising: - a base frame ( 2 ), on which at least one retaining element ( 3 ), - at least one, between a rest position and a holding position movable, fixable clamping element ( 4 ) attached to one of the base frame ( 2 ) ( 5 ) and for a holding force generation on the optical component ( 26 ) is provided.

Support frame according to claim 4, characterized in that two holding elements ( 3 ) and / or two clamping elements ( 4 ) are provided.

Support frame according to claim 4 or 5, characterized in that the holding elements ( 3 ) and the at least one clamping element ( 4 ) are each designed as a double cone.

Support frame according to claim 5 or 6, characterized in that the holding elements ( 3 ) and / or the clamping element ( 4 ) are made of an elastic plastic material, in particular from the group of polytetrafluoroethylenes or polyetheretherketones.

Removable frame ( 20 ) for receiving an optical component ( 26 ), in particular for use in a method according to claims 1 to 3, with a plate-shaped basic body ( 16 ), who made a breakthrough ( 17 ), wherein the breakthrough ( 17 ) one of the optical component ( 26 ) has substantially corresponding shape, and with notches ( 19 ) in the body ( 16 ), based on the breakthrough ( 17 ) and for a non-contact immersion of at the edge region of the optical component pending holding elements ( 3 ) and / or clamping elements ( 4 ) when handling the optical component ( 26 ) are provided.

Interchangeable frame according to claim 8, characterized in that one along a boundary of the opening ( 17 ) at least in sections running bundle ( 18 ) for a circulation of a Randbe range of the optical component to be recorded ( 26 ) is provided.

Handling system, in particular for carrying out the method according to one of Claims 1 to 3, with a support frame ( 1 ) according to one of claims 4 to 7, - a removable frame ( 20 ) according to claim 8 or 9 and - a ring-shaped holding frame ( 22 ) with support collar ( 24 ).