DE102004018659A1

DE102004018659A1 - Abschlussmodul für eine optische Anordnung

Info

Publication number: DE102004018659A1
Application number: DE102004018659A
Authority: DE
Inventors: Thomas Schletterer
Original assignee: Carl Zeiss SMT GmbH
Current assignee: Carl Zeiss SMT GmbH
Priority date: 2004-04-13
Filing date: 2004-04-13
Publication date: 2005-11-03
Also published as: EP1735666A2; WO2005101121A2; WO2005101121A3; US7545483B2; DE602005017598D1; JP2007533148A; JP4881853B2; JP2011176346A; US20080192215A1; JP5567521B2; EP1735666B1

Abstract

Abschlussmodul für eine optische Anordnung, insbesondere für ein Objektiv für die Mikrolithographie, mit einem eine erste Achse (3.1) aufweisenden optisch wirksamen Abschlusselement (3) und einer das Abschlusselement (3) wenigstens in Richtung der ersten Achse (3.1) fixierenden Halteeinrichtung (2), wobei die Halteeinrichtung (2) zum radialen Klemmen des Abschlusselements (3) ausgebildet ist.

Description

Hintergrund der Erfindung
Die vorliegende Erfindung betrifft ein Abschlussmodul für eine optische Anordnung. Die Erfindung lässt sich im Zusammenhang mit der bei der Herstellung mikroelektronischer Schaltkreise verwendeten Mikrolithographie einsetzen. Sie betrifft daher weiterhin einen Objektivtubus, der sich insbesondere für die Anwendung in einer Mikrolithographieeinrichtung eignet, sowie eine einen solchen Objektivtubus umfassende Mikrolithographieeinrichtung.
Für eine Vielzahl optischer Anwendungen, insbesondere aber im Bereich der oben erwähnten Mikrolithographie, werden aus mehreren Modulen zusammengesetzte Objektivtuben eingesetzt. Die einzelnen Module umfassen dabei in der Regel eines oder mehrere optische Elemente, wie Linsen etc. Den Abschluss eines solchen Objektivtubus in Richtung seiner optischen Achse bildet dabei in der Regel ein Abschlussmodul mit einem entsprechenden optischen Abschlusselement. Ein solches Abschlussmodul stellt gegebenenfalls unter anderem die Abdichtung des Inneren des Objektivtubus gegenüber der Umgebung sicher.
Insbesondere im Bereich der Mikrolithographie ist es erforderlich, die verwendeten optischen Elemente des Objektivtubus, also beispielsweise die Linsen, mit möglichst hoher Präzision im Raum zueinander zu positionieren, um eine entsprechend hohe Abbildungsqualität zu erzielen. Die hohen Genauigkeitsanforderungen sind dabei nicht zuletzt eine Folge des ständigen Bedarfs, die Auflösung der bei der Herstellung mikroelektronischer Schaltkreise verwendeten optischen Systeme zu erhöhen, um die Miniaturisierung der herzustellenden mikroelektronischen Schaltkreise voranzutreiben.
Mit der erhöhten Auflösung steigen nicht nur die Anforderungen an die Positioniergenauigkeit der verwendeten optischen Elemente sondern auch die Anforderungen an die Genauigkeit der verwendeten optischen Elemente selbst. Diese muss im eingebauten Zustand über die gesamte Betriebsdauer möglichst weitgehend aufrechterhalten werden. Dabei ist es insbesondere erforderlich, das optische Element auch während des Betriebs möglichst spannungsarm zu halten, um durch Verformung des optischen Elements bedingte Abbil dungsfehler zu vermeiden. Weiterhin besteht in diesem Zusammenhang der Bedarf, ein möglichst günstiges dynamisches Verhalten des verwendeten optischen Systems mit möglichst hohen Eigenfrequenzen zu erzielen.
Für die optischen Elemente, also die Linsen etc., im Innern des Objektivtubus sind eine Reihe von Maßnahmen bekannt, um eine möglichst verspannungsarme Halterung zu erzielen. So ist beispielsweise aus der Patentanmeldung US 2002/1063741 A1 eine vergleichsweise aufwändige Lagerung für eine solchen Linse im Innern des Objektivtubus bekannt. Auch die Patentschrift DE 101 39 805 C1 und die Patentanmeldung EP 1 094 348 A2 offenbaren Varianten für die Halterung von Linsen im Innern des Objektivtubus.
Ein Problem stellen in diesem Zusammenhang aber die oben genannten Abschlusselemente dar. Sie sind in der Regel dichtend in eine entsprechende Fassung eingesetzt, mit der sie zusammen das Abschlussmodul bilden. Die Abschlusselemente, bei denen es sich oft um Planparallelplatten handelt, werden häufig mit der Fassung verklebt. Diese Art der Befestigung hat zum einen den Nachteil, dass sie nicht verspannungsfrei ist, sodass es zu Deformationen des Abschlusselements kommen kann, welche die Abbildungsqualität des Systems herabsetzen. Zum anderen kann es – auch bei anfangs nahezu spannungsfrei montierten Abschlusselementen – wegen der unvermeidlichen thermischen Ausdehnung des Systems im Betrieb zu solchen unerwünschten Deformationen kommen.
Der vorliegenden Erfindung liegt daher die Aufgabe zu Grunde, ein Abschlussmodul der eingangs genannten Art zur Verfügung zu stellen, welches die oben genannten Nachteile nicht oder zumindest in geringerem Maße aufweist und insbesondere eine zuverlässige und im Betrieb verspannungsfreie exakte Lagerung des Abschlusselements ermöglicht.
Kurze Zusammenfassung der Erfindung
Die vorliegende Erfindung löst diese Aufgabe durch ein Abschlussmodul mit den Merkmalen des Anspruchs 1.
Der vorliegenden Erfindung liegt die Erkenntnis zu Grunde, dass man eine zuverlässige und im Betrieb verspannungsfreie exakte Lagerung des Abschlusselements erhält, wenn die Halteeinrichtung für das Abschlusselement zum radialen Klemmen des Abschlussele ments ausgebildet ist. Mit der radialen Klemmung ist es insbesondere möglich, eine Kontaktgeometrie zwischen dem Abschlusselement und der Halteeinrichtung zu erzielen, die eine weit gehende Deformationsentkopplung zwischen der Halteeinrichtung und dem Abschlusselement gewährleistet. Verformungen der Halteeinrichtung werden somit, wenn überhaupt, nur in einem minimierten Umfang auf das Abschlusselement übertragen.
Ein weiterer Vorteil der radialen Klemmung liegt in der einfacheren Montage und jederzeit möglichen Justage des Abschlusselements. Auf geänderte Randbedingungen kann somit anders als bei den bekannten Abschlussmodulen mit fest eingelassenem Abschlusselement jederzeit schnell und einfach reagiert werden.
Dabei hat es sich im Übrigen gezeigt, dass auch mit einer solchen radialen Klemmverbindung zuverlässig das unerwünschte Eindringen von Fremdmedien bzw. Fremdkörpern etc. in das Innere des Objektivtubus einfach verhindert werden kann.
Ein Gegenstand der vorliegenden Erfindung ist daher ein Abschlussmodul für eine optische Anordnung, insbesondere für ein Objektiv für die Mikrolithographie, mit einem eine erste Achse aufweisenden optisch wirksamen Abschlusselement und einer das Abschlusselement wenigstens in Richtung der ersten Achse fixierenden Halteeinrichtung. Die Halteeinrichtung ist dabei zum radialen Klemmen des Abschlusselements ausgebildet.
Ein weiterer Gegenstand der vorliegenden Erfindung ist ein Abschlusselement für ein erfindungsgemäßes Abschlussmodul sowie eine Halteeinrichtung für ein erfindungsgemäßes Abschlussmodul.
Ein weiterer Gegenstand der vorliegenden Erfindung ist ein Objektivtubus, insbesondere ein Objektivtubus für eine Mikrolithographieeinrichtung, mit einem erfindungsgemäßen Abschlussmodul.
Ein weiterer Gegenstand der vorliegenden Erfindung ist schließlich eine Mikrolithographieeinrichtung zum Transferieren eines auf einer Maske gebildeten Musters auf ein Substrat mit einem optischen Projektionssystem, das einen erfindungsgemäßen Objektivtubus umfasst.
Weitere bevorzugte Ausgestaltungen der Erfindung ergeben sich aus den Unteransprüchen bzw. der nachstehenden Beschreibung eines bevorzugten Ausführungsbeispiels, welche auf die beigefügten Zeichnungen Bezug nimmt.
Kurze Beschreibung der Zeichnungen
1 ist eine schematische perspektivische Darstellung einer bevorzugten Ausführungsform des erfindungsgemäßen Abschlussmoduls;
2 ist ein schematischer Teilschnitt durch die das Abschlussmodul aus 1 entlang Linie II-II;
3 ist eine schematische perspektivische Darstellung der ersten Halteeinrichtung aus 1;
4 ist eine schematische perspektivische Darstellung einer zweiten Halteeinrichtung aus 1;
5 ist eine schematische Darstellung einer bevorzugten Ausführungsform der erfindungsgemäßen Mikrolithographieeinrichtung mit einem erfindungsgemäßen Objektivtubus;
6 ist eine schematische perspektivische Darstellung einer weiteren bevorzugten Ausführungsform des erfindungsgemäßen Abschlussmoduls;
7 ist ein schematischer Teilschnitt durch die das Abschlussmodul aus 6 entlang Linie VII-VII;
8A bis 8H sind schematische Teilschnitte durch weitere bevorzugte Ausführungsformen des erfindungsgemäßen Abschlussmoduls.
Detaillierte Beschreibung der Erfindung
Unter Bezugnahme auf die 1 bis 5 wird im Folgenden zunächst eine bevorzugte Ausführungsform eines erfindungsgemäßen Abschlussmoduls 1 für ein Objektiv für die Mikrolithographie beschrieben.
1 zeigt eine schematische perspektivische Darstellung des Abschlussmoduls 1 mit einer erfindungsgemäßen Halteeinrichtung 2, die ein erfindungsgemäßes Abschlusselement 3 in Form einer planparallelen Abschlussplatte mit einer ersten Achse 3.1 hält. Die erste Achse ist dabei eine Symmetrieachse des Abschlusselements 3, die senkrecht auf der Mittenebene des Abschlusselements 3 steht. Die Mittenebene bildet dabei die Haupterstreckungsebene, in der sich das flache Abschlusselement 3 hauptsächlich erstreckt. Bei linsenartig gestalteten Abschlusselementen entspricht die erste Achse in der Regel der optischen Achse des linsenartigen Abschlusselements.
Die Halteeinrichtung umfasst einen inneren Rahmen 2.1, an dem drei Halteelemente – nämlich ein erstes Halteelement 2.2 und zwei zweite Halteelemente 2.3 – gleichmäßig verteilt und befestigt sind. Mit dem Abschlusselement 3 als erstem Kontaktpartner stehen diese Halteelemente 2.2 und 2.3 als jeweils ein zweiter Kontaktpartner in jeweils einer Kontaktpaarung in Eingriff. Dabei üben die Halteelemente 2.2 und 2.3 jeweils eine bezüglich des Abschlusselements 3 radial zur ersten Achse 3.1 hin gerichtete Klemmkraft auf das Abschlusselement 3 aus. Das Abschlusselement 3 wird mit anderen Worten radial durch die Halteelemente 2.2 und 2.3 geklemmt.
Es versteht sich hierbei, dass die jeweilige Klemmkraft nicht notwendigerweise die einzige Kraft sein muss, die von dem jeweiligen Halteelement auf das Abschlusselement ausgeübt wird. Vielmehr können noch weitere Kräfte mit anderer Wirkrichtung von dem jeweiligen Halteelement auf das Abschlusselement ausgeübt werden.
Im jeweiligen Kontaktbereich zwischen dem Halteelement 2.2 bzw. 2.3 und dem Abschlusselement 3 greift ein Vorsprung 2.4 bzw. 2.5 am Halteelement 2.2 bzw. 2.3 als Kontaktelement in eine am Umfang des Abschlusselements 3 umlaufende V-förmige Nut 3.2 ein. Dabei übt der Vorsprung 2.4 bzw. 2.5 am Halteelement 2.2 bzw. 2.3 die radial zur ersten Achse hin gerichtete Klemmkraft auf das Abschlusselement 3 aus.
Die in ihrem Nutgrund verrundete Nut 3.2 ist bezüglich der die neutrale Faser des Abschlusselements 3 darstellenden Mittenebene 3.3 des Abschlusselements 3 symmetrisch ausgebildet. Weiterhin sind die Vorsprünge 2.4 bzw. 2.5 am jeweiligen Halteelement 2.2 bzw. 2.3 so ausgebildet und ausgerichtet, dass die jeweilige auf das Abschlusselement 3 ausgeübte resultierende Klemmkraft im Wesentlichen in dieser senkrecht zur ersten Achse 3.1 verlaufenden Mittenebene 3.3, mithin also in der neutralen Faser verläuft.
Hierdurch wird eine Minimierung der Biegeverformung des Abschlusselements 3 durch die Klemmkräfte erreicht, was sich positiv auf die Abbildungsqualität eines mit einem solchen Abschlussmodul 1 ausgestatteten optischen Systems auswirkt. Es versteht sich hierbei, dass die jeweilige Klemmkraft mehr oder weniger stark vom Verlauf in der neutralen Faser abweichen kann. Dies hängt im Wesentlichen von der Verkippung der ersten Achse 3.1 bezüglich der geometrischen Achse der Halteeinrichtung 2 ab. Wie im Folgenden noch näher erläutert wird, kann diese Verkippung bei dem vorliegenden Abschlussmodul 1 variiert werden.
Die V-förmige Nut 3.2 weist in einem die erste Achse enthaltenden Schnitt geradlinige Flanken 3.4 und 3.5 auf. Lediglich im Nutgrund ist sie wie erwähnt verrundet. Der jeweilige Vorsprung 2.4 bzw. 2.5 weist in einem solchen Schnitt einen oberen und einen unteren Krümmungsradius 2.6 bzw. 2.7 auf. Der Abstand der Flanken 3.4 und 3.5 in Richtung der ersten Achse 3.1 sowie der Abstand der Krümmungsradien 2.6 und 2.7 in dieser Richtung sind so aufeinander abgestimmt, dass der Vorsprung 2.4 bzw. 2.5 die Flanken 3.4 und 3.5 in ihrem geradlinigen Bereich kontaktiert.
In einem Schnitt senkrecht zur ersten Achse weist die V-förmige Nut 3.2 einen geringeren Krümmungsradius auf als der zugehörige Vorsprung 2.4 bzw. 2.5 in demselben Schnitt. Hierdurch werden zwei im Wesentlichen punktförmige Kontaktstellen zwischen dem jeweiligen Vorsprung 2.4 bzw. 2.5 und den Flanken 3.4 und 3.5 der Nut 3.2 erzielt. Im Sinne der vorliegenden Erfindung soll dabei der Begriff "im Wesentlichen punktförmige Kontaktstelle" so verstanden werden, dass sich bei ideal steifen Kontaktpartnern mit idealer Geometrie ein punktförmiger Kontakt ergeben würde. Tatsächlich ergibt sich natürlich je nach Steifigkeit der Kontaktpartner und deren Abweichung von der Idealgeometrie eine kleine punktartige Kontaktfläche.
Es versteht sich jedoch, dass bei anderen Varianten der vorliegenden Erfindung auch andere Geometrien der Kontaktstellen vorgesehen sein können. So können beispielsweise linienförmige Kontaktstellen ebenso vorgesehen sein, wie flächige.
Durch die Kontaktpaarung mit zwei im Wesentlichen punktförmigen Kontaktstellen je Halteelement 2.2 bzw. 2.3 ergibt sich eine sich selbst einstellende Klemmpaarung. Hierdurch werden z. B. Niveauunterschiede zwischen den Halteelementen 2.2 und 2.3 schon im Kontaktbereich zwischen dem Halteelement 2.2 bzw. 2.3 und dem Abschlusselement 3 ausgeglichen, ohne dass es zu einer wesentlichen Einleitung von Verspannungen in das Abschlusselement 3 kommt. Dadurch kann ohne aufwändige Lagerung der Halteelemente 2.2 bzw. 2.3 eine hohe Abbildungsqualität erzielt werden.
Die Halteelemente 2.2 bzw. 2.3 halten das Abschlusselement 3 sowohl formschlüssig als auch kraftschlüssig in Richtung seiner ersten Achse 3.1 sowie in radialer Richtung. Weiter hin halten sie das Abschlusselement 3 auch reibschlüssig in seiner Umfangsrichtung. Dies bringt den Vorteil mit sich, dass das Abschlusselement 3 unter Überwindung der Reibkraft einfach um seine erste Achse 3.1 gedreht werden kann, sodass hierdurch gegebenenfalls Abbildungsfehler (Passefehler) des optischen Systems zumindest teilweise kompensiert werden können.
Bei dem vorliegenden Beispiel wird eine eindeutig bestimmte Lagerung des Abschlusselements 3 mit definierten radialen Klemmkräften durch eine Gestaltung mit zwei Festlagern und einem federnden Lager erreicht. Das erste Halteelement 2.2 bildet dabei das federnde Lager, während die beiden zweiten Halteelemente 2.3 jeweils ein Festlager darstellen.
Das in 4 von seiner Unterseite gezeigte plattenförmige zweite Halteelement 2.3 ist dabei über Schrauben 2.8 an seinen beiden Enden 2.9 und 2.10 an einem ringförmigen Absatz 2.11 des inneren Rahmens 2.1 verschraubt. Die Schrauben 2.8 durchgreifen dabei mit radialem Spiel Bohrungen 2.12 und 2.13 im zweiten Halteelement 2.3.
Die exakte radiale Positionierung des zweiten Halteelements 2.3 wird über Anschläge 2.14 an einer ringförmigen Schulter 2.15 des inneren Rahmens 2.1 gewährleistet. Das zweite Halteelement 2.3 wird bei seiner Montage vor dem Festziehen der Schrauben 2.8 radial gegen diese Anschläge 2.14 geschoben, sodass seine rückwärtigen Seitenflächen 2.16 und 2.17 jeweils an einem Anschlag 2.14 anliegen. Aussparungen 2.18 in der Schulter 2.15 gewährleisten dabei, dass das Halteelement 2.3 nur im Bereich seiner Enden 2.9 und 2.10 an der Schulter 2.15 anliegt.
Da die Ebene des zweiten Halteelements 2.3 im montierten Zustand im Wesentlichen senkrecht zur ersten Achse 3.1 und im Wesentlichen parallel zu der auf das Abschlusselement 3 ausgeübten Klemmkraft ausgerichtet ist, bildet das zweite Halteelement 2.3 im montierten Zustand ein in radialer Richtung im Wesentlichen starres Festlager für das Abschlusselement 3.
Den beiden durch die zweiten Halteelemente 2.3 gebildeten radialen Festlagern liegt das erste Halteelement 2.2 als radial federndes Lager gegenüber. Das in 3 gezeigte plattenförmige erste Halteelement 2.2 ist ebenfalls über Schrauben 2.8 an seinen beiden Enden 2.19 und 2.20 an dem ringförmigen Absatz 2.11 des inneren Rahmens 2.1 verschraubt. Die Schrauben 2.8 durchgreifen auch hier mit radialem Spiel Bohrungen 2.21 und 2.22 im ersten Halteelement 2.2.
Um die radial federnde Wirkung zu erzielen ist der erste Vorsprung 2.4 des ersten Halteelements 2.2 federnd an einem ersten Haltekörper 2.23 angeordnet. Dabei kann der erste Vorsprung 2.4 in einer Richtung federn, die zumindest annähernd senkrecht zur ersten Achse 3.1 verläuft. In Richtung der ersten Achse 3.1 ist das erste Halteelement 2.3 im Wesentlichen starr an dem ersten Haltekörper 2.23 angeordnet. Dies wird durch die mittige Anordnung des ersten Vorsprungs 2.4 an einem zweiseitig eingespannten Biegebalken 2.24 erreicht. Dieser Biegebalken 2.24 ist wiederum durch einen in Richtung der ersten Achse 3.1 durchgehenden langgestreckten Schlitz 2.25 im ersten Haltekörper 2.23 ausgebildet.
Bei der Montage, die nach der Montage der zweiten Halteelemente 2.3 erfolgt, wird das erste Halteelement 2.2 – dank des radialen Spiels der Schrauben 2.8 in den Bohrungen 2.21 und 2.22 – so weit radial gegen das Abschlusselement 3 verschoben, bis es mit einer definierten radialen Vorspannung, d.h. mit einer definierten radialen Klemmkraft, an dem Abschlusselement 3 anliegt. Die Vorspannung kann beispielsweise mit einer entsprechenden Lehre oder dergleichen überprüft werden. In dieser Stellung werden dann die Schrauben 2.8 festgezogen. Das erste Halteelement 2.2 liegt dabei nicht an der Schulter 2.15 des inneren Rahmens 2.1 an.
Aufgrund der federnden Gestaltung des ersten Halteelements 2.2 bleibt diese Vorspannung auch bei thermischer Ausdehnung der Bauteile im Betrieb im Wesentlichen konstant. Mit anderen Worten wird durch diese Gestaltung eine thermische Deformationsentkopplung erzielt. Ein weiterer Vorteil dieser Gestaltung liegt in dem Ausgleich von Fertigungstoleranzen, der hierdurch erzielt wird.
Es versteht sich hierbei, dass bei anderen Varianten des erfindungsgemäßen Abschlussmoduls auch vorgesehen sein kann, dass mehr als ein Halteelement derart federnd ausgebildet ist. Insbesondere können auch alle Halteelemente derart federnd ausgebildet sein. Weiterhin versteht es sich, dass die radial federnde Gestaltung auch auf beliebige andere Weise realisiert sein kann. So kann der das Kontaktelement zum Abschlusselement bildende Vorsprung beispielsweise an einem einseitig eingespannten Biegebalken anstelle des beidseitig eingespannten Biegebalkens angeordnet sein.
Wie im Folgenden, insbesondere unter Bezugnahme auf die 2 und 4, erläutert wird, kann über die beiden zweiten Halteelemente 2.3 die Verkippung der ersten Achse 3.1 des Abschlusselements 3 bezüglich der geometrischen Achse 2.26 der Halteeinrichtung 2 eingestellt werden. Diese geometrische Achse 2.26 fällt in dem in 1 dargestellten Zustand mit der ersten Achse 3.1 zusammen.
Um die Verkippung der ersten Achse 3.1 des Abschlusselements 3 bezüglich der geometrischen Achse 2.26 der Halteeinrichtung 2 einstellen zu können, sind der innere Rahmen 2.1 und das jeweilige zweite Halteelement 2.3 so gestaltet und angeordnet, dass das zweite Halteelement 2.3 im montierten Zustand ebenfalls einen zweiseitig eingespannten Biegebalken darstellt, dessen Mittenbereich 2.27 in Richtung der ersten Achse 3.1 bzw. der geometrischen Achse 2.26 frei auslenkbar ist.
In diesem Mittenbereich 2.27 ist auch der das Abschlusselement 3 kontaktierende Vorsprung 2.5, also das Kontaktelement zum Abschlusselement 3, angeordnet. Eine Auslenkung des Mittenbereichs 2.27 in Richtung der ersten Achse 3.1 bzw. der geometrischen Achse 2.26 wird folglich auf das Abschlusselement 3 übertragen. Durch Auslenken der beiden in Umfangsrichtung beabstandeten Vorsprünge 2.5 der zweiten Halteelemente 2.3 ist es somit möglich, die Verkippung der ersten Achse 3.1 bezüglich der geometrischen Achse 2.26 – in gewissen Grenzen – beliebig zu verstellen. Die oben beschriebene Kontaktgeometrie mit jeweils zwei im Wesentlichen punktförmigen Kontaktstellen je Kontaktpaarung sorgt hierbei im Übrigen dafür, dass dabei höchstens vergleichsweise geringen Verspannungen in das Abschlusselement 3 eingeleitet werden.
Zur Auslenkung des Mittenbereichs 2.27 in Richtung der ersten Achse 3.1 bzw. der geometrischen Achse 2.26 wirkt ein im Bereich des Absatzes 2.11 am inneren Rahmen 2.1 angeordnetes Stellelement 2.29 mit einer Kontaktfläche 2.28 im Mittenbereich 2.27 des zweiten Halteelements 2.3 zusammen. Bei dem Stellelement 2.29 handelt es sich im vorliegenden Fall um ein passives Stellelement in Form einer Stellschraube 2.29, die in den inneren Rahmen 2.1 eingeschraubt ist. Es versteht sich jedoch, dass bei anderen Varianten der Erfindung auch aktive Stellelemente, wie Piezoaktuatoren etc., vorgesehen sein können. Mit solchen aktiven Stellelementen lässt sich dann über eine entsprechende Regelung eine regelmäßige, gegebenenfalls sogar kontinuierliche Nachführung der Verkippung erzielen.
Um das definierte Auslenken des Mittenbereichs 2.27 zu ermöglichen bzw. zu erleichtern, weist das jeweilige zweite Halteelement 2.3 zwischen seinen Endbereichen 2.9 und 2.10 und dem Mittenbereich 2.27 zwei Biegebereiche 2.30 und 2.31 mit definiert reduziertem Querschnitt auf. Bei der Auslenkung des Mittenbereichs 2.27 in Richtung der ersten Achse 3.1 bzw. der geometrischen Achse 2.26 erfahren die Biegebereiche 2.30 und 2.31 dann eine definierte Verformung.
Durch die vorstehend beschriebene Gestaltung mit den beiden axial verstellbaren Festlagern in Form der zweiten Halteelemente 2.3 und dem nicht axial verstellbaren federnden Lager in Form des ersten Halteelements 2.2 lässt sich wie erwähnt die Verkippung der ersten Achse 3.1 einstellen. Es versteht sich jedoch, dass bei anderen Varianten der vorliegenden Erfindung auch eine komplette axiale Verstellung des Abschlusselements 3 in Richtung seiner ersten Achse vorgesehen sein kann. Mit anderen Worten können sämtliche Halteelemente entsprechend axial auslenkbar ausgebildet sein.
Wie insbesondere 2 zu entnehmen ist, ist zwischen dem inneren Rahmen 2.1 dem Abschlusselement 3 ein ringförmiger Spalt 4 mit in Umfangsrichtung im wesentlichen konstanter radialer Abmessung ausgebildet. Um ein Eindringen von Fremdmedien oder Fremdkörpern durch diesen Spalt 4 in das Innere einer optischen Anordnung mit dem Abschlussmodul 1 zu verhindern, weist die Halteeinrichtung 2 einen Spülkanal 2.32 auf. Über diesen Spülkanal 2.32 kann ein Spülmedium in das Innere des Abschlussmoduls 1 geleitet werden. Dieses Spülmedium entweicht dann über den Spalt 4 aus dem Inneren des Abschlussmoduls 1 und verhindert so das Eindringen unerwünschter Substanzen in das Innere der optischen Anordnung über den Spalt 4.
Der Spalt 4 kann dabei vergleichsweise geringe Abmessungen aufweisen, sodass schon geringe Volumenströme des Spülmediums ausreichen, um diesen Effekt zu erzielen. Insbesondere bei so genannten Immersionsanwendungen, bei denen die optische Anordnung in eine Flüssigkeit eingetaucht ist, das Abschlusselement also auf seiner Außenseite von einem flüssigen Medium umgeben ist, kann auch der Aufbau und die Aufrechterhaltung eines entsprechenden statischen Drucks ausreichen, um diese Wirkung zu erzielen. Ein kontinuierliches Entweichen des Spülmediums durch den Spalt 4 ist hier nicht zwingend erforderlich.
Wie insbesondere aus 1 ersichtlich ist, weist die Halteeinrichtung 2 weiterhin einen vom inneren Rahmen 2.1 radial beabstandeten ringförmigen äußeren Flansch 2.33 auf. Dieser äußere Flansch 2.33 dient als Anschluss zu den angrenzenden Bauteilen einer optischen Anordnung, an der das Abschlussmodul 1 befestigt ist. Hierzu weist der äußere Flansch 2.33 drei gleichmäßig am Umfang verteilte Anschlussbereiche 2.34 mit Durchgangsbohrungen für Befestigungsschrauben oder dergleichen auf. Weiterhin können im Bereich der Durchgangsbohrungen Distanzstücke 2.35 vorgesehen sein, über die der axiale Abstand zu den angrenzenden Bauteilen eingestellt werden kann. Dank entsprechenden Spiels der Befestigungsschrauben in den Durchgangsbohrungen kann das gesamte Abschlussmodul 1 quer zur ersten Achse 3.1 bezüglich der angrenzenden Bauteile justiert werden.
Der innere Rahmen 2.1 ist mit dem äußeren Flansch 2.33 über eine kegelmantelförmige umlaufende Wandung 2.36 verbunden. In Umfangsrichtung vor und nach dem jeweiligen Anschlussbereich 2.34 erstrecken sich radiale Schlitze 2.37 und 2.38 durch den äußeren Flansch 2.33. in die Wandung 2.36 hinein. Die radialen Schlitze 2.37 und 2.38 sind in Richtung der ersten Achse durchgehend, sodass in Richtung der ersten Achse federnde Stege 2.39. ausgebildet sind. Die federnden Stege 2.39 stellen dabei eine thermische Deformationsentkopplung zwischen dem Abschlussmodul und den daran angrenzenden Bauteilen sicher. Sie erstrecken sich so weit in Richtung des inneren Rahmens, dass eine gewisse vorgegebene Mindeststeifigkeit der Halteeinrichtung 2 noch eingehalten ist.
Im vorliegenden Beispiel ist das Material der Komponenten der Halteeinrichtung 2 hinsichtlich seines thermischen Ausdehnungskoeffizienten auf das Material des Abschlusselements 3 abgestimmt. Mit anderen Worten bestehen die Komponenten der Halteeinrichtung 2 aus einem Werkstoff, der den gleichen Wärmeausdehnungskoeffizienten wie das Abschlusselement 3 hat. Besteht das Abschlusselement 3 beispielsweise aus Quarz, sind die Komponenten der Halteeinrichtung 2 aus Invar, Zerodur oder keramischen Werkstoffen gefertigt. Besteht das Abschlusselement 3 aus Kalziumfluorid, so sind die Komponenten der Halteeinrichtung 2 bevorzugt aus einem entsprechenden Edelstahl gefertigt.
Dadurch kommt es zu keinen thermisch bedingten unterschiedlichen Ausdehnungen. Die radiale Federwirkung des ersten Halteelements 2.2 dient dann nur zur Erzeugung der Klemmkraft, die im Betrieb im Wesentlichen nicht variiert. Damit kann die auf das Abschlusselement 3 ausgeübte Klemmkraft im gesamten Betrieb in engen Grenzen auf das erforderliche Maß beschränkt werden. Dies wirkt sich positiv auf die Deformationen des Abschlusselements 3 aus. Das Abschlusselement 3 wird dann in allen Raumrichtungen weitestgehend formschlüssig gehalten.
Es versteht sich hierbei jedoch, dass bei anderen Varianten der Erfindung gegebenenfalls auch nur eine teilweise Anpassung einzelner Komponenten der Halteeinrichtung hinsichtlich des Wärmeausdehnungskoeffizienten vorgesehen sein kann.
5 zeigt eine schematische Darstellung einer bevorzugten Ausführungsform der erfindungsgemäßen Mikrolithographieeinrichtung 5. Die Mikrolithographieeinrichtung 5 umfasst ein optisches Projektionssystem 6 mit einem Beleuchtungssystem 7, einer Maske 8 und einem Objektivtubus 9 mit einer optischen Objektivachse 9.1. Das Beleuchtungssystem 7 beleuchtet eine Maske 8. Auf der Maske 8 befindet sich ein Muster, welches über den Objektivtubus 9 auf ein Substrat 10, beispielsweise einen Wafer, projiziert wird.
Der Objektivtubus 9 umfasst eine Serie von optischen Modulen 9.2 mit optischen Elementen wie Linsen oder dergleichen. An dem dem Substrat zugewandten Ende ist der Objektivtubus 9 durch das Abschlussmodul 1 aus 1 abgeschlossen. Das Abschlussmodul 1 ist mit einer Spüleinrichtung 11 verbunden, die über den Spülkanal 2.32 ein Spülmedium in das Innere des Abschlussmoduls 1 führt.
Die 6 und 7 zeigen eine schematische Darstellungen einer weiteren bevorzugten Ausführungsform des erfindungsgemäßen Abschlussmoduls 1'. Diese Ausführungsform unterscheidet sich in ihrer grundsätzlichen Funktionsweise und ihrem grundsätzlichen Aufbau nicht von derjenigen aus den 1 bis 4, sodass hier hauptsächlich nur of die Unterschiede eingegangen wird.
Der Unterschied zur Ausführungsform aus den 1 bis 4 besteht in der Umkehrung der Kontaktgeometrie zwischen den Halteelementen 2.2' und 2.3' der Halteeinrichtung 2' und dem Abschlusselement 3'. So bildet hier ein Kontaktelement 2.4' bzw. 2.5' mit einer V-förmige Nut 2.40' an dem jeweiligen Halteelement 2.2' und 2.3' den Kontaktpartner zu dem umlaufenden Rand des planparallelen Abschlusselements 3', der jeweils in diese Nut 2.40' eingreift.
Auch hier ist allerdings wieder durch entsprechende Abstimmung der Krümmungsradien der Kontaktpartner sichergestellt, dass im Bereich jeder Kontaktpaarung zwischen dem jeweiligen Halteelement 2.2' bzw. 2.3' und dem Abschlusselement 3' zwei im Wesentlichen punktförmige Kontaktstellen mit den oben beschriebenen Vorteilen einer spannungsarmen Lagerung vorliegen.
Weiterhin ist auch hier wieder durch eine Gestaltung mit dem ersten Halteelement 2.2' als radial federndem Lager und den beiden zweiten Halteelementen 2.3' als Festlager die oben beschriebene eindeutig bestimmte Lagerung des Abschlusselements 3' gewährleistet. Die radial federnde Gestaltung des ersten Halteelements 2.2' ist ähnlich wie bei der Ausführung aus 1 bis 4 durch die Anordnung des Kontaktelements 2.4' an einem senkrecht zur ersten Achse 3.1' federnden beidseitig eingespannten Biegebalken realisiert. Dieser Biegebalken ist wiederum durch einen in Richtung der ersten Achse 3.1' durchgehenden Schlitz 2.25' im Haltekörper 2.23' ausgebildet.
Ein weiterer Unterschied zur Ausführung aus 1 bis 4 besteht darin, dass alle Halteelement 2.2' und 2.3' über ein aktives Stellelement 2.29' an dem inneren Rahmen 2.1' der Halteeinrichtung 2' befestigt sind. Das aktive Stellelement 2.29' verstellt das jeweilige Halteelement 2.2' und 2.3' in Richtung der ersten Achse 3.1'. Über diese Stellelemente 2.29' kann somit nicht nur die Verkippung der ersten Achse 3.1' eingestellt werden, sondern auch der axiale Abstand des Abschlusselements 3' zu einem angrenzenden optischen Bauteil. Ebenso kann hierüber auch die Abmessung des umlaufenden Spalts 4' eingestellt werden, der sich zwischen dem Abschlusselement 3' und dem ringförmigen Absatz 2.41' am inneren Rahmen 2.1' ausbildet.
Die 8A bis 8H sind schematische Teilschnitte durch weitere bevorzugte Ausführungsformen des erfindungsgemäßen Abschlussmoduls. Sie zeigen anhand schematischer Teilschnitte unterschiedliche Möglichkeiten der Kontaktpaarung zwischen dem Abschlusselement 3'' und dem jeweiligen Halteelement 2.2''.
Die Kontaktpaarungen aus 8A bis 8C ähneln dabei der Kontaktpaarung, wie sie bei dem Abschlusselement 3 aus den 1 bis 4 zur Anwendung kommen kann. Diese Kotaktpaarungen mit einer Nut in dem Abschlusselement 3'' eignen sich grundsätzlich bei Abschlusselementen 3'' mit entsprechender Dicke. Die Kontaktpaarungen aus den 8D bis 8H ähneln der Kontaktpaarung, wie sie bei dem Abschlusselement 3' aus 6 und 7 zur Anwendung kommt. Sie eignen sich in Übrigen auch besonders für dünne Abschlusselemente 3''. Die 8C und 8F zeigen Sonderfälle der Kontaktpaarung mit jeweils einer einzigen Kontaktstelle.
In allen Fällen versteht es sich, dass durch entsprechende Anpassung der jeweiligen Krümmungen der Kontaktflächen an Stelle einer im Wesentlichen punktförmigen Kontaktstelle auch eine im Wesentlichen linienförmige Kontaktstelle vorgesehen sein kann. Ebenso kann auch eine von vornherein flächige Kontaktstelle vorgesehen sein. Die Kontaktstellen unterschiedlicher Art können dabei auch innerhalb einer Kontaktflächenpaarung beliebig miteinander kombiniert werden.
Die vorliegende Erfindung wurde vorstehend anhand von Beispielen mit jeweils drei Halteelementen beschrieben. Es versteht sich jedoch, dass bei anderen Varianten der vorlie genden Erfindung auch eine andere Anzahl von Halteelementen vorgesehen sein kann. Insbesondere können auch mehr als drei Halteelemente vorgesehen sein, welche das Abschlusselement halten.
Die vorliegende Erfindung wurde vorstehend weiterhin anhand von Beispielen mit jeweils planparallelen Abschlusselementen beschrieben. Es versteht sich jedoch, dass bei anderen Varianten der vorliegenden Erfindung auch eine andere Geometrie für das Abschlusselement vorgesehen sein kann.
Mit der vorliegenden Erfindung ist eine einfache spannungsarme Lagerung des jeweiligen Abschlusselements möglich. Dabei können enge Verformungstoleranzen des Abschlusselements im Bereich weniger Nanometer eingehalten werden. Die Kippung der ersten Achse des Abschlusselements relativ zur geometrischen Achse der Halteeinrichtung kann sowie die Zentrierung des Abschlusselements kann hochgenau justiert werden. Dabei verändern sich die Einstellungen über die Betriebsdauer nicht. Insbesondere bei der Anpassung der thermischen Ausdehnungskoeffizienten kommt es nicht zu Gleitbewegungen zwischen den Komponenten und damit nicht zu so genannten Hystereseeffekten, bei denen sich derartige Gleitbewegungen nicht vollständig zurückstellen.
Ein weiterer Vorteil liegt in der Vermeidung von stoffschlüssigen Verbindungen, wie Verklebungen oder dergleichen, durch reinen Reib- und Formschluss. Hierdurch ist zum einen eine einfache Montage, Demontage, Justierung und Nachjustierung möglich. Zum anderen wird die Verwendung kontaminationsträchtiger Materialien, wie Kunststoffe oder dergleichen, vermieden. Hierdurch eignet sich das erfindungsgemäße Abschlussmodul für den Einsatz bei nahezu beliebigen Wellenlängen.
Ein weiterer Vorteil liegt in der einfachen Herstellung der Komponenten des erfindungsgemäßen Abschlussmoduls. Sämtliche Komponenten lassen sich durch einfache Herstellungsverfahren, wie Drehen, Fräsen, Erodieren etc., erzeugen.

Claims

Abschlussmodul für eine optische Anordnung, insbesondere für ein Objektiv für die Mikrolithographie, mit einem eine erste Achse (3.1; 3.1') aufweisenden optisch wirksamen Abschlusselement (3; 3') und einer das Abschlusselement (3; 3') wenigstens in Richtung der ersten Achse (3.1; 3.1') fixierenden Halteeinrichtung (2; 2'), dadurch gekennzeichnet, dass die Halteeinrichtung (2; 2') zum radialen Klemmen des Abschlusselements (3; 3') ausgebildet ist.
Abschlussmodul nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Halteeinrichtung (2; 2') zum Halten des Abschlusselements (3; 3') unter Ausübung von Klemmkräften auf das Abschlusselement (3; 3') ausgebildet ist, die jeweils in einer zur ersten Achse (3.1; 3.1') im wesentlichen senkrechten Ebene verlaufen.
Abschlussmodul nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass die Halteeinrichtung (2; 2') eine Anzahl von Halteelementen (2.2, 2.3; 2.2', 2.3'), insbesondere mindestens drei Halteelemente, als zweite Kontaktpartner umfasst, die mit dem Abschlusselement (3; 3') als erstem Kontaktpartner jeweils in einer Kontaktpaarung in Eingriff stehen und auf dieses jeweils eine im Wesentlichen zur ersten Achse (3.1; 3.1') hin gerichtete Klemmkraft ausüben.
Abschlussmodul nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, dass in wenigstens einem Kontaktbereich zwischen dem Abschlusselement (3; 3') als erstem Kontaktpartner und einem Halteelement (2.2, 2.3; 2.2', 2.3') als einem zweiten Kontaktpartner eine Kontaktpaarung mit einer in Umfangsrichtung des Abschlusselements (3; 3') verlaufenden, insbesondere im wesentlichen V-förmigen, Nut (3.2; 2.40') und einem zugeordneten, in die Nut (3.2; 2.40') eingreifenden Vorsprung (2.4, 2.5; 3.6') ausgebildet ist, wobei die Nut (3.2; 2.40') an einem der Kontaktpartner und der Vorsprung (2.4, 2.5; 3.6') an dem anderen Kontaktpartner ausgebildet ist.
Abschlussmodul nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, dass die Nut (3.2) an dem Abschlusselement (3) und der Vorsprung (2.4, 2.5) an dem Halteelement (2.2, 2.3) ausgebildet ist.
Abschlussmodul nach einem der Ansprüche 3 bis 5, dadurch gekennzeichnet, dass der erste Kontaktpartner (3; 3') und der zweite Kontaktpartner (2.2, 2.3; 2.2', 2.3') derart ausgebildet sind, dass sich eine Kontaktpaarung mit zwei im Wesentlichen punktförmigen Kontaktstellen ergibt.
Abschlussmodul nach einem der Ansprüche 3 bis 6, dadurch gekennzeichnet, dass die Kontaktpaarung derart ausgebildet ist, dass die von dem Halteelement (2.2, 2.3; 2.2', 2.3') ausgeübte Klemmkraft im Wesentlichen in der neutralen Faser des Abschlusselements (3; 3') wirkt.
Abschlussmodul nach einem der Ansprüche 3 bis 7, dadurch gekennzeichnet, dass wenigstens ein erstes Halteelement (2.2; 2.2') zur Erzeugung der Klemmkraft nach Art eines federnden Lagers ausgebildet ist.
Abschlussmodul nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, dass das erste Halteelement (2.2; 2.2') ein zum Zusammenwirken mit dem Abschlusselement (3; 3') vorgesehenes Kontaktelement (2.4; 2.4') und einen Haltekörper (2.23; 2.23') umfasst, wobei das Kontaktelement (2.4; 2.4') in Richtung der auf das Abschlusselement auszuübenden Klemmkraft federnd an dem Haltekörper (2.23; 2.23') angeordnet ist.
Abschlussmodul nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Halteeinrichtung (2; 2') zum Verkippen der ersten Achse (3.1; 3.1') des Abschlusselements (3; 3') ausgebildet ist.
Abschlussmodul nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, dass die Halteeinrichtung (2; 2') eine Anzahl von Halteelementen (2.2, 2.3; 2.2', 2.3'), insbesondere mindestens drei Halteelemente, als zweite Kontaktpartner umfasst, die jeweils ein Kontaktelement (2.4, 2.5; 2.4') umfassen, das mit dem Abschlusselement (3; 3') als erstem Kontaktpartner jeweils in einer Kontaktpaarung in Eingriff steht, wobei wenigstens das Kontaktelement (2.5; 2.4') eines verstellbaren Halteelements (2.3; 2.2', 2.3') zum Verkippen der ersten Achse (3.1; 3.1') in Richtung der ersten Achse (3.1; 3.1') des Abschlusselements (3; 3') verstellbar ist.
Abschlussmodul nach Anspruch 11, dadurch gekennzeichnet, dass das verstellbare Halteelement (2.3) einen Haltekörper umfasst, an dem das Kontaktelement (2.5) angeordnet ist, wobei der Haltekörper nach Art eines Biegebalkens, insbesondere nach Art eines beidseitig eingespannten Biegebalkens, derart ausgebildet ist, dass das Kontaktelement (2.5) in Richtung der ersten Achse (3.1) des Abschlusselements (3) auslenkbar ist.
Abschlussmodul nach Anspruch 12, dadurch gekennzeichnet, dass der Haltekörper wenigstens einen Biegeabschnitt (2.30; 2.31) mit reduzierter Querschnittsfläche aufweist.
Abschlussmodul nach einem der Ansprüche 11 bis 13, dadurch gekennzeichnet, dass die Halteeinrichtung (2; 2') eine Stelleinrichtung (2.29; 2.29') zum Auslenken des Kontaktelements (2.5; 2.4') in Richtung der ersten Achse (3.1; 3.1') des Abschlusselements (3; 3') aufweist.
Abschlussmodul nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Halteeinrichtung (3; 3') einen inneren Rahmen (2.1; 2.1') und eine Anzahl von Halteelementen (2.2, 2.3; 2.2', 2.3'), insbesondere mindestens drei Halteelemente, umfasst, die am inneren Rahmen (2.1; 2.1') befestigt sind.
Abschlussmodul nach Anspruch 15, dadurch gekennzeichnet, dass wenigstens ein zweites Halteelement (2.3) nach Art eines Festlagers ausgebildet und am inneren Rahmen (2.1) angeordnet ist, wobei das zweite Halteelement (2.3) in Richtung der von ihm ausgeübten Klemmkraft im Wesentlichen starr ausgebildet ist und in Richtung der von ihm ausgeübten Klemmkraft über wenigstens einen Anschlag (2.14) an dem inneren Rahmen (2.1) abgestützt ist.
Abschlussmodul nach Anspruch 15 oder 16, dadurch gekennzeichnet, dass zwischen dem Abschlusselement (3; 3') und dem inneren Rahmen (2.1; 2.1') ein erster Spalt (4; 4') ausgebildet ist, wobei der erste Spalt (4; 4') insbesondere eine in Umfangsrichtung des Abschlusselements im Wesentlichen konstante Spaltbreite aufweist.
Abschlussmodul nach Anspruch 17, dadurch gekennzeichnet, dass die Halteeinrichtung eine Spüleinrichtung (2.32) zum Führen eines Spülstroms eines Spülmediums durch den ersten Spalt (4) umfasst.
Abschlussmodul nach einem der Ansprüche 15 bis 18, dadurch gekennzeichnet, dass die Halteeinrichtung (2) einen äußeren Flansch (2.33) zum Anschluss der Halteeinrichtung (2) an ein angrenzendes Bauteil und eine erste Wandung (2.36) umfasst, wobei – der äußere Flansch (2.33) radial von dem inneren Rahmen (2.1) beabstandet ist und – die erste Wandung (2.36) in Umfangsrichtung des inneren Rahmens (2.1) umläuft und sich zwischen dem inneren ersten Rahmen (2.1) und dem äußeren Flansch (2.33) erstreckt.
Abschlussmodul nach Anspruch 19, dadurch gekennzeichnet, dass der äußere Flansch (2.33) eine Anzahl von Anschlussbereichen (2.34) zum Anschluss der Halteeinrichtung (2) an ein angrenzendes Bauteil aufweist, wobei zur Deformationsentkopplung in Umfangsrichtung vor und nach dem jeweiligen Anschlussbereich (2.34) ein in Richtung der ersten Achse (3.1) durchgehender Schlitz (2.37, 2.38) vorgesehen ist, der sich durch den äußeren Flansch (2.33) hindurch radial in die Wandung (2.36) hinein erstreckt.
Abschlussmodul nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass das Abschlusselement (3; 3') eine planparallele Platte ist.
Abschlussmodul nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Komponenten der Halteeinrichtung (2; 2') zumindest teilweise hinsichtlich ihres thermischen Ausdehnungskoeffizienten an das Abschlusselement (3; 3') angepasst sind.
Abschlussmodul nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass das Abschlusselement (3; 3') eine Haupterstreckungsebene (3.3) aufweist und die erste Achse (3.1; 3.1') im Wesentlichen senkrecht zur Haupterstreckungsebene (3.3) verläuft.
Abschlusselement für ein Abschlussmodul (1) nach einem der vorhergehenden Ansprüche.
Halteeinrichtung für ein Abschlussmodul (1) nach einem der vorhergehenden Ansprüche.
Objektivtubus, insbesondere für eine Mikrolithographieeinrichtung, mit einem Abschlussmodul (1) nach einem der Ansprüche 1 bis 23.
Objektivtubus nach Anspruch 26, dadurch gekennzeichnet, dass zwischen dem Abschlusselement (3) und der Halteeinrichtung (2) ein erster Spalt (4) ausgebildet ist, wobei der erste Spalt (4) insbesondere eine in Umfangsrichtung des Abschlusselements (3) im Wesentlichen konstante Spaltbreite aufweist, und dass eine Spüleinrichtung (11, 2.32) zum Führen eines Spülstroms eines Spülmediums durch den ersten Spalt (4) vorgesehen ist.
Mikrolithographieeinrichtung zum Transferieren eines auf einer Maske (8) gebildeten Musters auf ein Substrat (10) mit einem optischen Projektionssystem (6), das einen Objektivtubus (9) nach Anspruch 26 oder 27 umfasst.