DE10049296B4

DE10049296B4 - Optische Anordnung und Verfahren zur Ablenkung eines Lichtstrahls

Info

Publication number: DE10049296B4
Application number: DE10049296A
Authority: DE
Inventors: Dipl.-Phys. Dr. Engelhardt Johann; Dipl.-Phys. Dr. Hoffmann Jürgen
Original assignee: Leica Microsystems CMS GmbH
Current assignee: Leica Microsystems CMS GmbH
Priority date: 2000-08-03
Filing date: 2000-10-04
Publication date: 2013-06-20
Anticipated expiration: 2020-10-05
Also published as: DE10049296A1

Abstract

Optische Anordnung mit einem Laser als Lichtquelle zur Erzeugung eines Lichtstrahls (1), mindestens einer akusto-optischen Ablenkeinrichtung (3) für den Lichtstrahl und einer Korrektureinrichtung zur Korrektur von durch die Ablenkeinrichtung (3) erzeugten Strahlfehlern, wobei die Korrektureinrichtung eine adaptive Optik (2) aufweist, dadurch gekennzeichnet, dass die adaptive Optik (2) ein Element aufweist, mit dem gezielt einzelnen Teilen des Lichtstrahls (1) Phasenverzögerungen aufgeprägt werden können.

Description

Die Erfindung betrifft eine optische Anordnung mit einem Laser als Lichtquelle zur Erzeugung eines Lichtstrahls, mindestens einer akusto-optischen Ablenkeinrichtung für den Lichtstrahl und einer Korrektureinrichtung zur Korrektur von durch die Ablenkeinrichtung erzeugten Strahlfehlern, wobei die Korrektureinrichtung eine adaptive Optik aufweist.
Des Weiteren betrifft die Erfindung ein Verfahren zur Ablenkung eines Lichtstrahls in einer optischen Anordnung mit einem Laser als Lichtquelle zur Erzeugung eines Lichtstrahls, mindestens einer akusto-optischen Ablenkeinrichtung für den Lichtstrahl und einer Korrektureinrichtung zur Korrektur von durch die Ablenkeinrichtung erzeugten Strahlfehlern, wobei als Korrektureinrichtung eine adaptive Optik verwendet wird.
Optische Anordnungen sowie Verfahren zur Ablenkung von Lichtstrahlen der eingangs genannten Arten sind aus der Praxis bekannt und existieren in den unterschiedlichsten Ausführungsformen. Steuerbare Ablenkeinrichtungen werden in vielen Bereichen vom Kopierer bis zum Rastermikroskop verwendet. Oft wird eine Strahlablenkung mit Spiegeln bewerkstelligt, die mit Hilfe von Galvanometern verkippt werden. Die bekannten Korrektureinrichtungen arbeiten dabei simultan zu dem Betrieb der optischen Anordnung.
Beispielsweise in der Scan-Mikroskopie wird eine Probe mit einem Lichtstrahl beleuchtet, um das von der Probe emittierte Reflexions- und/oder Fluoreszenzlicht zu beobachten. Der Fokus des Lichtstrahls wird im Allgemeinen durch Verkippen zweier Spiegel in einer Probenebene bewegt, wobei die Ablenkachsen meist senkrecht aufeinander stehen, so dass ein Spiegel in X- und der andere in Y-Richtung ablenkt. Die Verkippung der Spiegel wird sowohl mit Hilfe von resonanten als auch mit nicht resonanten Galvanometer-Stellelementen bewerkstelligt. Die Leistung des von der Probe kommenden Lichts wird in Abhängigkeit von der Position des Abtaststrahls bzw. Lichtstrahls gemessen.
Anstelle von Galvanometern werden auch akusto-optische Deflektoren in der Scan-Mikroskopie eingesetzt, wie dies beispielsweise aus der US 4,893,008 A , „Scanning optical microscope”, bekannt ist. Die Ablenkung beruht dabei auf der Wechselwirkung des Lichts mit einer mechanischen stehenden oder laufenden Welle, die meist in einem durchsichtigen Kristall mit Hilfe von Ultraschallsendern erzeugt wird.
Speziell in der konfokalen Scan-Mikroskopie wird eine Probe mit dem Fokus eines Lichtstrahls in drei Dimensionen abgetastet. Ein konfokales Rastermikroskop umfasst im Allgemeinen eine Lichtquelle, eine Fokussieroptik, mit der das Licht der Lichtquelle auf eine Lochblende – die sogenannte Anregungsblende – fokussiert wird, einen Strahlteiler, eine Ablenkeinrichtung zur Strahlsteuerung, eine Mikroskopoptik, eine Detektionsblende und die Detektoren zum Nachweis des Detektions- bzw. Fluoreszenzlichts. Das Beleuchtungslicht bzw. der durch die Lichtquelle erzeugte Lichtstrahl wird meist über einen Hauptstrahlteiler in den Strahlengang eingekoppelt. Das von der Probe kommende Fluoreszenz- oder Reflexionslicht gelangt über dieselbe Ablenkeinrichtung oder dieselben Scanspiegel zurück zum Hauptstrahlteiler und passiert diesen, um anschließend auf die Detektionsblende fokussiert zu werden, hinter der sich die Detektoren, meist Fotomultiplier, befinden. Detektionslicht, das nicht direkt aus der Fokusregion stammt, nimmt einen anderen Lichtweg und passiert die Detektionsblende nicht, so dass man eine Punktinformation erhält, die durch sequentielles Abtasten der Probe zu einem dreidimensionalen Bild führt. Meist wird ein dreidimensionales Bild durch schichtweise Bilddatennahme erzielt.
Ganz besonders in der konfokalen Scan-Mikroskopie muss zur Erzielung von optimalen Ergebnissen hinsichtlich der Auflösung die Form und die Intensitätsverteilung – point-spreat function, PSF – des abtastenden Lichtstrahlfokus weitgehend der theoretisch erreichbaren, optimalen Form bzw. PSF entsprechen.
Konfokale Rastermikroskope mit akusto-optischen Deflektoren sind beispielsweise aus der US 4,893,008 A der Firma Olympus und des Erfinders Horikawa bekannt und werden von NORAN-Instruments verkauft.
Bei der derzeit meist verwendeten Galvanometer-Technologie zur Ablenkung des Lichtstrahls sind die maximal erzielbaren Scanraten auf Grund der Massenträgheit der bewegten mechanischen Komponenten auf einige hundert Hz für nicht resonante Galvanometer und einige kHz für resonante Galvanometer beschränkt.
Akusto-optische Deflektoren und Ablenkeinrichtungen sind sehr viel schneller als beispielsweise auf Galvanometerablenkung basierende Scanner. Sie haben aber den Nachteil, dass sich die Strahlqualität beim Durchgang durch diese Elemente verschlechtert. Die Zusammenhänge sind beispielsweise in „Laser beam profile deformation effect during Bragg acousto-optic interaction: a non paraxial approximation”, Huang et al., Optical Engineering, July 1999, Vol. 38, No. 7, ISSN 0091-3286, beschrieben.
Auch in der DE 42 00 374 A1 , Sandström, wird die Korrektur von Fehlern behandelt, die bei der Ablenkung von Lichtbündeln mit akusto-optischen Elementen hervorgerufen werden. Dabei wird ein passives Element zur Fehlerkorrektur verwendet, das nicht flexibel ist.
Eine Hauptfehlerquelle ist im endlichen Strahldurchmesser zu finden. Um eine kontinuierliche Ablenkung zu erzielen, muß die Ultraschallfrequenz kontinuierlich erhöht bzw. gesenkt werden. Bei einer durch den Kristall laufenden akustischen Welle mit sich kontinuierlich verändernder Wellenlänge wirken zu einem betrachteten Zeitpunkt auf die transversalen Lichtstrahlränder andere Wellenlängen als auf die Teile des Lichtstrahls nahe der optischen Achse.
Des Weiteren ist aus der WO 90/02969 A1 eine optische Anordnung mit allen Merkmalen des Oberbegriffs des Anspruchs 1 bekannt. Dabei weist die hieraus bekannte optische Anordnung einen Laser 16 als Lichtquelle zur Erzeugung eines Lichtstrahls und eine akusto-optische Ablenkeinrichtung 26y für den Lichtstrahl auf. Des Weiteren weist die bekannte optische Anordnung eine Korrektureinrichtung zur Korrektur von durch die Ablenkeinrichtung 26y erzeugten Strahlfehlern auf, wobei die Korrektureinrichtung eine adaptive Optik 106 aufweist.
Des Weiteren ist aus der DE 197 33 193 A1 eine optische Anordnung in Form eines Mikroskops mit einer adaptiven Optik bekannt. Dabei weist diese optische Anordnung einen Kurzpulslaser als Lichtquelle auf.
Bei den bekannten optischen Anordnungen und Verfahren zur Ablenkung von Lichtstrahlen ist die Fehlerkorrektur nicht flexibel und in vielen Fällen hinsichtlich ihrer Qualität nicht zufriedenstellend.
Der vorliegenden Erfindung liegt daher die Aufgabe zugrunde, eine optische Anordnung sowie ein Verfahren zur Ablenkung eines Lichtstrahls der eingangs genannten Arten anzugeben, wonach eine flexible und sichere Korrektur von durch die Ablenkung auftretenden Fehlern erreicht ist.
Erfindungsgemäß ist die voranstehende Aufgabe hinsichtlich einer optischen Anordnung durch eine optische Anordnung mit den Merkmalen des Patentanspruchs 1 gelöst. Danach ist die optische Anordnung der eingangs genannten Art derart ausgestaltet und weitergebildet, dass die adaptive Optik ein Element aufweist, mit dem gezielt einzelnen Teilen des Lichtstrahls Phasenverzögerungen aufgeprägt werden können.
Im Konkreten könnte es sich bei dem Lichtstrahl um einen Beleuchtungs- oder Detektionslichtstrahl und noch weiter konkreter um einen Beleuchtungs- oder Detektionslichtstrahl eines Scan-Mikroskops handeln.
Im Hinblick auf eine sichere Korrektur von Strahlfehlern könnte die adaptive Optik im Strahlengang des Lichtstrahls angeordnet sein. Dabei könnte die adaptive Optik bereits vor der Ablenkung des Lichtstrahls korrigierend auf den Lichtstrahl einwirken.
Im Konkreten könnte die adaptive Optik ein aktives optisches Element, insbesondere zur Korrektur von Phasenfrontfehlern, aufweisen. Als besonders wirksam und flexibel hat sich ein aktives optisches Element mit einem Spiegel herausgestellt, der mit vorzugsweise elektrostatischen Aktoren deformierbar ist. Spiegel dieser Art sind bekannt und kommerziell erhältlich.
Im Konkreten könnte ein derartiges Element ein LCD-Raster-Element sein.
Ein wie oben beschriebenes Element könnte in besonders wirksamer Weise in einer zur Ablenkebene konjugierten Fourier-Ebene im Strahlengang angeordnet sein.
Im Hinblick auf eine gleichmäßige bzw. optimale transversale Feldverteilung der Lichtstrahlen könnte das Element aktiv steuer- und/oder regelbar sein. Hierzu könnte eine Einrichtung zur Erfassung der aktuellen transversalen Feldverteilung vorgesehen sein. Mit der Einrichtung könnte eine Verarbeitungslogik für Signale der Einrichtung zusammenwirken, durch welche ein geeignetes Regelsignal erzeugbar ist. Das Regelsignal dient zur Steuerung der adaptiven Optik.
Zur Vermessung der Phasenfront könnte ein Hartmann-Shack-Sensor dienen. Dieser besteht üblicherweise aus einem Mikrolinsenarray, das das zu untersuchende, aufgeweitete und kollimierte Lichtbündel auf einem CCD-Array oder einem Fotodiodenfeld fokussiert. Bei einer fehlerfreien Phasenfront des einfallenden Lichtstrahls liegen alle durch das Mikrolinsenarray erzeugten Fokusse äquidistant auf der Detektoroberfläche. Bei deformierter Phasenfront des einfallenden Lichts ist dies nicht der Fall. Die laterale Verschiebung der Fokusse gibt Aufschluss über die Aberrationen. Zur Beschreibung werden üblicherweise Zernike-Polynome verwendet, die aus den Detektorsignalen errechnet werden. Gemäß der Erfindung ist vorgesehen, dass die Detektorsignale in einem Rechner ausgewertet werden, der das aktive optische Element zur Korrektur steuert. Alternativ könnte auch ein Twyman-Green-Interferometer zur Vermessung der Phasenfront dienen.
Im Hinblick auf eine einfachere Ausgestaltung der optischen Anordnung, bei der keine simultane Fehlerkorrektur stattfindet, könnten die bei der Ablenkung auftretenden Fehler, beispielsweise in Abhängigkeit vom Ablenkwinkel, einmalig zur Kalibrierung der Steuerung der adaptiven Optik gemessen werden. Die erforderlichen Korrektursignale könnten dann errechnet und in einem Speicher abgelegt werden. Beim eigentlichen Scanvorgang könnten die Korrekturdaten ausgelesen und zur Steuerung der adaptiven Optik verwendet werden. Hierzu könnte die optische Anordnung ein Messgerät zur mindestens einmaligen Messung der bei der Ablenkung auftretenden Fehler, vorzugsweise in Abhängigkeit vom Ablenkwinkel, aufweisen. Das Messgerät könnte im Konkreten die zur Korrektur geeigneten Steuersignale errechnen. Zum Abspeichern der Daten könnte dem Messgerät ein Speicher zugeordnet sein.
Im Hinblick auf ein Verfahren zur Ablenkung eines Lichtstrahls ist die voranstehende Aufgabe durch ein Verfahren mit den Merkmalen des Patentanspruchs 20 gelöst. Danach ist das eingangs genannte Verfahren derart ausgestaltet, dass während der Ablenkung zur Korrektur im Rahmen der adaptiven Optik ein Element verwendet wird, mit dem gezielt einzelnen Teilen des Lichtstrahls Phasenverzögerungen aufgeprägt werden können.
Im Konkreten könnte es sich bei dem Lichtstrahl um einen Beleuchtungs- oder Detektionslichtstrahl oder weiter konkret um einen Beleuchtungs- oder Detektionslichtstrahl eines Scan-Mikroskops handeln. Grundsätzlich könnte es sich bei der optischen Anordnung um eine optische Anordnung nach einem der Ansprüche 1 bis 19 handeln.
Im Konkreten könnte die adaptive Optik im Strahlengang des abzulenkenden Lichtstrahls angeordnet werden. Im Rahmen der adaptiven Optik könnte ein aktives optisches Element, insbesondere zur Korrektur von Phasenfrontfehlern, verwendet werden.
Im Rahmen des aktiven optischen Elements könnte ein mit vorzugsweise elektrostatischen Aktoren deformierbarer Spiegel verwendet werden.
Als Element könnte ein LCD-Raster-Element verwendet werden. Grundsätzlich könnte das Element in einer zur Ablenkebene konjugierten Fourier-Ebene im Strahlengang angeordnet werden.
Im Hinblick auf eine gleichmäßige transversale bzw. optimale Feldverteilung der Lichtstrahlen könnte das Element aktiv gesteuert und/oder geregelt werden.
Zur Fehlererkennung könnte eine Einrichtung zur Erfassung der aktuellen transversalen Feldverteilung verwendet werden. Dabei könnte eine mit der Einrichtung zusammenwirkende Verarbeitungslogik für Signale der Einrichtung verwendet werden, durch welche ein geeignetes Regel- bzw. Steuersignal zur Steuerung der adaptiven Optik erzeugbar ist.
Im Rahmen der Einrichtung könnte ein Hartmann-Shack-Sensor oder ein Twyman-Green-Interferometer verwendet werden.
Bei einem vereinfachten Verfahren könnte ein Messgerät zur mindestens einmaligen Messung der bei der Ablenkung auftretenden Fehler, vorzugsweise in Abhängigkeit vom Ablenkwinkel, verwendet werden. Beispielsweise mit dem Messgerät könnten die zur Korrektur geeigneten Steuersignale errechnet und vorzugsweise in einem Speicher abgespeichert werden. Beim Ablenkvorgang könnten die Steuersignale aus dem Speicher ausgelesen und zur Steuerung der adaptiven Optik verwendet werden.
Es gibt nun verschiedene Möglichkeiten, die Lehre der vorliegenden Erfindung in vorteilhafter Weise auszugestalten und weiterzubilden. Dazu ist einerseits auf die den Patentansprüchen 1 und 20 nachgeordneten Ansprüche, andererseits auf die nachfolgende Erläuterung eines bevorzugten Ausführungsbeispiels der Erfindung anhand der Zeichnung zu verweisen. In Verbindung mit der Erläuterung des bevorzugten Ausführungsbeispiels der Erfindung anhand der Zeichnung werden auch im Allgemeinen bevorzugte Ausgestaltungen und Weiterbildungen der Lehre erläutert. In der Zeichnung zeigt die einzige
Fig. in einer schematischen Darstellung, teilweise, das Ausführungsbeispiel einer erfindungsgemäßen optischen Anordnung.
Die einzige Fig. zeigt in einer teilweisen und schematischen Darstellung das Ausführungsbeispiel einer erfindungsgemäßen optischen Anordnung. Die optische Anordnung umfasst eine nicht gezeigte Lichtquelle, vorzugsweise ein Laser, zur Erzeugung eines einfallenden Lichtstrahls 1. Die optische Anordnung weist des Weiteren eine akusto-optische Ablenkeinrichtung 3 für den Lichtstrahl 1 und eine Korrektureinrichtung zur Korrektur von durch die Ablenkeinrichtung 3 erzeugten Strahlfehlern auf. Im Hinblick auf eine flexible und sichere Korrektur von durch die Ablenkung auftretenden Fehlern weist die Korrektureinrichtung eine adaptive Optik 2 auf.
Die adaptive Optik 2 ist im Strahlengang des abzulenkenden Lichtstrahls 1 noch vor der Ablenkeinrichtung 3 angeordnet. Die adaptive Optik 2 ist durch einen sogenannten Piezospiegel gebildet. Als adaptive Optik 2 können jedoch auch andere Elemente als der in der Fig. gezeigte verformbare Piezospiegel verwendet werden.
In der einzigen Fig. ist des Weiteren ein nicht abgelenkter Lichtstrahlengang 4 sowie ein abgelenkter Lichtstrahlengang 5 dargestellt.
Hinsichtlich weiterer vorteilhafter Ausgestaltungen und Weiterbildungen der erfindungsgemäßen Lehre wird einerseits auf den allgemeinen Teil der Beschreibung und andererseits auf die beigefügten Patentansprüche verwiesen.
Abschließend sei ganz besonders hervorgehoben, dass das zuvor rein willkürlich gewählte Ausführungsbeispiel lediglich zur Erörterung der erfindungsgemäßen Lehre dient, diese jedoch nicht auf dieses Ausführungsbeispiel einschränkt.
Bezugszeichenliste

1: einfallender Lichtstrahl
2: adaptive Optik
3: akusto-optische Ablenkeinrichtung
4: nicht abgelenkter Lichtstrahlengang
5: abgelenkter Lichtstrahlengang

Claims

Optische Anordnung mit einem Laser als Lichtquelle zur Erzeugung eines Lichtstrahls (1), mindestens einer akusto-optischen Ablenkeinrichtung (3) für den Lichtstrahl und einer Korrektureinrichtung zur Korrektur von durch die Ablenkeinrichtung (3) erzeugten Strahlfehlern, wobei die Korrektureinrichtung eine adaptive Optik (2) aufweist, dadurch gekennzeichnet, dass die adaptive Optik (2) ein Element aufweist, mit dem gezielt einzelnen Teilen des Lichtstrahls (1) Phasenverzögerungen aufgeprägt werden können.
Optische Anordnung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass es sich bei dem Lichtstrahl (1) um einen Beleuchtungs- oder Detektionslichtstrahl handelt.
Optische Anordnung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, dass es sich bei dem Lichtstrahl (1) um einen Beleuchtungs- oder Detektionslichtstrahl eines Scan-Mikroskops handelt.
Optische Anordnung nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, dass die adaptive Optik (2) im Strahlengang des Lichtstrahls (1) angeordnet ist.
Optische Anordnung nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, dass die adaptive Optik (2) ein aktives optisches Element aufweist.
Optische Anordnung nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, dass das aktive optische Element zur Korrektur von Phasenfrontfehlern ausgebildet ist.
Optische Anordnung nach Anspruch 5 oder 6, dadurch gekennzeichnet, dass das aktive optische Element einen deformierbaren Spiegel aufweist.
Optische Anordnung nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, dass der Spiegel mit elektrostatischen Aktoren deformierbar ist.
Optische Anordnung nach einem der Ansprüche 5 bis 8, dadurch gekennzeichnet, dass das Element ein LCD-Raster-Element ist.
Optische Anordnung nach einem der Ansprüche 5 bis 9, dadurch gekennzeichnet, dass das Element in einer zur Ablenkebene konjugierten Fourier-Ebene im Strahlengang angeordnet ist.
Optische Anordnung nach einem der Ansprüche 5 bis 10, dadurch gekennzeichnet, dass das Element im Hinblick auf eine gleichmäßige transversale Feldverteilung der Lichtstrahlen (1) aktiv steuer- und/oder regelbar ist.
Optische Anordnung nach einem der Ansprüche 1 bis 11, dadurch gekennzeichnet, dass eine Einrichtung zur Erfassung der aktuellen transversalen Feldverteilung vorgesehen ist.
Optische Anordnung nach Anspruch 12, dadurch gekennzeichnet, dass eine mit der Einrichtung zusammenwirkende Verarbeitungslogik für Signale der Einrichtung vorgesehen ist, durch welche ein geeignetes Regelsignal erzeugbar ist.
Optische Anordnung nach Anspruch 12 oder 13, dadurch gekennzeichnet, dass die Einrichtung einen Hartmann-Shack-Sensor aufweist.
Optische Anordnung nach einem der Ansprüche 12 bis 14, dadurch gekennzeichnet, dass die Einrichtung ein Twyman-Green-Interferometer aufweist.
Optische Anordnung nach einem der Ansprüche 1 bis 15, dadurch gekennzeichnet, dass ein Messgerät zur mindestens einmaligen Messung der bei der Ablenkung auftretenden Fehler vorgesehen ist.
Optische Anordnung nach Anspruch 16, dadurch gekennzeichnet, dass das Messgerät zur mindestens einmaligen Messung der bei der Ablenkung auftretenden Fehler in Abhängigkeit vom Ablenkwinkel ausgebildet ist.
Optische Anordnung nach Anspruch 16 oder 17, dadurch gekennzeichnet, dass das Messgerät die zur Korrektur geeigneten Steuersignale errechnet.
Optische Anordnung nach einem der Ansprüche 16 bis 18, dadurch gekennzeichnet, dass dem Messgerät ein Speicher für die Steuersignale zugeordnet ist.
Verfahren zur Ablenkung eines Lichtstrahls (1) in einer optischen Anordnung mit einem Laser als Lichtquelle zur Erzeugung eines Lichtstrahls (1), mindestens einer akusto-optischen Ablenkeinrichtung (3) für den Lichtstrahl und einer Korrektureinrichtung zur Korrektur von durch die Ablenkeinrichtung (3) erzeugten Strahlfehlern, wobei als Korrektureinrichtung eine adaptive Optik (2) verwendet wird, dadurch gekennzeichnet, dass während der Ablenkung zur Korrektur im Rahmen der adaptiven Optik (2) ein Element verwendet wird, mit dem gezielt einzelnen Teilen des Lichtstrahls (1) Phasenverzögerungen aufgeprägt werden können.
Verfahren nach Anspruch 20, dadurch gekennzeichnet, dass es sich bei dem Lichtstrahl (1) um einen Beleuchtungs- oder Detektionslichtstrahl handelt.
Verfahren nach Anspruch 21, dadurch gekennzeichnet, dass es sich bei dem Lichtstrahl (1) um einen Beleuchtungs- oder Detektionslichtstrahl eines Scan-Mikroskops handelt.
Verfahren nach einem der Ansprüche 20 bis 22, dadurch gekennzeichnet, dass es sich bei der optischen Anordnung um eine optische Anordnung nach einem der Ansprüche 1 bis 19 handelt.
Verfahren nach einem der Ansprüche 20 bis 23, dadurch gekennzeichnet, dass die adaptive Optik (2) im Strahlengang des abzulenkenden Lichtstrahls angeordnet wird.
Verfahren nach einem der Ansprüche 20 bis 24, dadurch gekennzeichnet, dass im Rahmen der adaptiven Optik (2) ein aktives optisches Element verwendet wird.
Verfahren nach Anspruch 25, dadurch gekennzeichnet, dass das aktive optische Element zur Korrektur von Phasenfrontfehlern verwendet wird.
Verfahren nach Anspruch 25 oder 26, dadurch gekennzeichnet, dass im Rahmen des aktiven optischen Elements ein deformierbarer Spiegel verwendet wird.
Verfahren nach Anspruch 27, dadurch gekennzeichnet, dass im Rahmen des aktiven optischen Elements ein mit elektrostatischen Aktoren deformierbarer Spiegel verwendet wird.
Verfahren nach einem der Ansprüche 25 bis 28, dadurch gekennzeichnet, dass als Element ein LCD-Raster-Element verwendet wird.
Verfahren nach einem der Ansprüche 25 bis 29, dadurch gekennzeichnet, dass das Element in einer zur Ablenkebene konjugierten Fourier-Ebene im Strahlengang angeordnet wird.
Verfahren nach einem der Ansprüche 25 bis 30, dadurch gekennzeichnet, dass das Element im Hinblick auf eine gleichmäßige transversale Feldverteilung der Lichtstrahlen (1) aktiv gesteuert und/oder geregelt wird.
Verfahren nach einem der Ansprüche 20 bis 31, dadurch gekennzeichnet, dass eine Einrichtung zur Erfassung der aktuellen transversalen Feldverteilung verwendet wird.
Verfahren nach Anspruch 32, dadurch gekennzeichnet, dass eine mit der Einrichtung zusammenwirkende Verarbeitungslogik für Signale der Einrichtung verwendet wird, durch welche ein geeignetes Regelsignal erzeugbar ist.
Verfahren nach Anspruch 32 oder 33, dadurch gekennzeichnet, dass im Rahmen der Einrichtung ein Hartmann-Shack-Sensor oder ein Twyman-Green-Interferometer verwendet wird.
Verfahren nach einem der Ansprüche 30 bis 34, dadurch gekennzeichnet, dass ein Messgerät zur mindestens einmaligen Messung der bei der Ablenkung auftretenden Fehler verwendet wird.
Verfahren nach Anspruch 35, dadurch gekennzeichnet, dass das Messgerät die Fehler in Abhängigkeit vom Ablenkwinkel misst.
Verfahren nach einem der Ansprüche 20 bis 35, dadurch gekennzeichnet, dass die zur Korrektur geeigneten Steuersignale errechnet und in einem Speicher abgespeichert werden.
Verfahren nach Anspruch 37, dadurch gekennzeichnet, dass beim Ablenkvorgang die Steuersignale aus dem Speicher ausgelesen und zur Steuerung der adaptiven Optik verwendet werden.