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DE1056450B - Process for the production of coatings from hard materials - Google Patents

Process for the production of coatings from hard materials

Info

Publication number
DE1056450B
DE1056450B DEM27211A DEM0027211A DE1056450B DE 1056450 B DE1056450 B DE 1056450B DE M27211 A DEM27211 A DE M27211A DE M0027211 A DEM0027211 A DE M0027211A DE 1056450 B DE1056450 B DE 1056450B
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
coatings
vacuum
production
gas
workpieces
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
DEM27211A
Other languages
German (de)
Inventor
Wilhelm Ruppert
Gottfried Schwedler
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
GEA Group AG
Original Assignee
Metallgesellschaft AG
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Metallgesellschaft AG filed Critical Metallgesellschaft AG
Priority to DEM27211A priority Critical patent/DE1056450B/en
Priority to GB1615356A priority patent/GB820281A/en
Priority to FR1150217D priority patent/FR1150217A/en
Publication of DE1056450B publication Critical patent/DE1056450B/en
Pending legal-status Critical Current

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Classifications

    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C16/00Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
    • C23C16/02Pretreatment of the material to be coated
    • C23C16/0209Pretreatment of the material to be coated by heating

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • General Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Metallurgy (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Solid-Phase Diffusion Into Metallic Material Surfaces (AREA)
  • Physical Vapour Deposition (AREA)

Description

DEUTSCHESGERMAN

kl. 48 b 11704kl. 48b 11704

INTERNAT. KL. C 23 CINTERNAT. KL. C 23 C

PATENTAMTPATENT OFFICE

C 23 C 16/00/C M27 211VI/48bC 23 C 16/00 / C M27 211VI / 48b

ANMELDETAG: 25.MAI1955REGISTRATION DATE: MAY 25, 1955

BEKANNTMACHUNG DER ANMELDUNG UND AUSGABE DER AUSLEGESCHRIFT: 30.APRIL1959NOTICE THE REGISTRATION AND ISSUE OF THE EDITORIAL: APRIL 30, 1959

Die Karbide der Metalle der III. bis VI. Gruppe des Periodischen Systems sind sehr hart und korrosionsbeständig. Man hat daher auch schon vorgeschlagen, diese Hartstoffe als Schutzüberzüge gegen Verschleiß, Korrosion und Erosion zu verwenden. Ferner ist eine Reihe von Verfahren bekanntgeworden, um derartige Überzüge durch Reaktionen in der Gasphase insbesondere auf hochschmelzenden Metallen, z. B. Wolfram und Molybdän, abzuscheiden. Bei den bekannten Verfahren wurde in fast allen Fällen der Grundwerkstoff in Form verhältnismäßig dünner Drähte eingesetzt. Trotz der bekannten Untersuchungen, Überzüge aus den Karbiden der Metalle der III. bis VI. Gruppe des Periodischen Systems abzuscheiden, bereitete die Aufbringung gut haftender Überzüge oft, insbesondere bei größeren Werkstücken, umgeklärte Schwierigkeiten. Während im einen Fall auf einem Werkstoff die Überzüge gut hafteten, waren im anderen Fall wohl zunächst einwandfrei aussehende Überzüge zu erhalten, die aber sehr stark zum Abblättern neigten. Da diese Schwierigkeiten auch dann auftraten, wenn die mit dem Überzug zu versehenden Werkstücke vor dem Aufbringen der Überzüge gut gereinigt und insbesondere von sämtlichen Oxydresten befreit waren, bliel>en die Ursachen für das Abblättern der Überzüge unbekannt.The carbides of the III. to VI. Group of the periodic table are very hard and resistant to corrosion. It has therefore already been proposed to use these hard materials as protective coatings against Use wear, corrosion and erosion. Furthermore, a number of procedures have become known to remove such coatings through reactions in the gas phase, especially on refractory metals, z. B. tungsten and molybdenum to be deposited. In almost all cases, the known method was used the base material is used in the form of relatively thin wires. Despite the known investigations, Coatings from the carbides of the metals of the III. to VI. To separate the group of the periodic table, often prepared the application of well-adhering coatings, especially for larger workpieces, clarified difficulties. While in one case the coatings adhered well to a material, In the other case, coatings that looked flawless at first could be obtained, but they were very strong tended to peel off. Since these difficulties also occurred when the with the coating too The workpieces provided are well cleaned before the coatings are applied and, in particular, all of them are removed Oxide residues were freed, the causes of the peeling off of the coatings were unknown.

Es ist bekannt, die Oberfläche von Werkstücken, die mit metallischen oder karbidischen Überzügen versehen werden sollen, dadurch zu reinigen, daß man sie einer Vakuumbehandlung unterzieht, die auch mit einer gewissen Temperaturerhöhung bis höchstens 600° C verbunden sein kann. Diese Vakuumbehandlung ist auch schon, ohne Temperaturerhöhung, mit einer elektrischen Entladung verbunden worden, was ebenfallsΓ zu einer Oberflächenreinigung geführt hat. In allen diesen Fällen sind nur die durch die Adsorption von Gasen an der Oberfläche gebildeten Häute entfernt worden. Die ol)en angegebenen Störungen beim Aufbringen der Überzüge wurden jedoch dadurch nicht beseitigt.It is known to clean the surface of workpieces that are to be provided with metallic or carbide coatings by subjecting them to a vacuum treatment, which can also be associated with a certain increase in temperature up to a maximum of 600.degree. This vacuum treatment has already been combined with an electrical discharge without increasing the temperature , which has also led to surface cleaning. In all of these cases only the skins formed by the adsorption of gases on the surface have been removed. However, this did not eliminate the malfunctions mentioned above when applying the coatings.

Es wurde nun gefunden, daß diese Störungen ihre Ursache in dem Entweichen von Gasen haben, die im Grundwerkstoff gelöst sind und dadurch behoben werden können, daß man die mit Überzügen aus harten Karbiden, Nitriden, Boriden, Suiziden der Metalle der III. bis VI. Gruppe des Periodischen Systems, insbesondere der Metalle Titan, Vanadium, Wolfram, zu überziehenden Werkstücke vor dem Gasplattieren, nachdem sie zuvor vorzugsweise von anhaftendem Schmutz und insbesondere von Oxydresten befreit wurden, durchgreifend im Vakuum entgast, wobei das Evakuieren bei Werkstücktemperaturen von 800 bis 1000° C so lange durchgeführt wird, bis ein Vakuum von 10—3 bis 10—4 Torr erhalten Verfahren zur Herstellung
von überzügen aus Hartstoffen
It has now been found that these disorders have their cause in the escape of gases that are dissolved in the base material and can be remedied by the fact that one with coatings of hard carbides, nitrides, borides, suicides of the metals of the III. to VI. Group of the periodic system, in particular the metals titanium, vanadium, tungsten, workpieces to be coated prior to gas plating, after they have been freed from adhering dirt and in particular from oxide residues, thoroughly degassed in a vacuum, with evacuation at workpiece temperatures of 800 to 1000 ° C is carried out until a vacuum of 10- 3 to 10- 4 Torr receive process for preparing
of coatings made of hard materials

Anmelder:Applicant:

Metallgesellschaft Aktiengesellschaft,
Frankfurt/M., Reuterweg 14
Metallgesellschaft Aktiengesellschaft,
Frankfurt / M., Reuterweg 14

Wilhelm Ruppert und Gottfried Schwedler,Wilhelm Ruppert and Gottfried Schwedler,

Frankfurt/M.,
sind als Erfinder genannt worden
Frankfurt / M.,
have been named as inventors

bleibt. Die erfindungsgemäße Vorbehandlung des Grundwerkstoffes vor dem Gasplattieren hat zur Folge, daß nicht nur die an der Oberfläche adsorbierten, sondern auch diejenigen Gase entfernt werden, die im Grundwerkstoff gelöst sind und die andernfalls bei dem Gasplattieren aus dem Grundwerkstoff heraus an die Oberfläche diffundieren, dort mit den abgeschiedenen Überzügen unter Bildung von Zwischenschichten reagieren, die die Haftfestigkeit der abgeschiedenen Überzüge auf dem Grundmaterial ganz wesentlich herabsetzen. Dadurch wird überhaupt in diesen Fällen erst eine ausreichende Haftung von Überzügen, die durch Gasplattieren aufgebracht werden, insbesondere bei größeren Werkstücken, erreicht. Bei Anwendung des erfindungsgemä-ßen Verfahrens ist es nicht erforderlich, das Gasplattieren unmittelbar nach der Entgasung vorzunehmen, etwa in einem Verfahrensgang. Vielmehr ist es möglich, die erfindungsgemäß behandelten entgasten Werkstücke abzukühlen und l>eliebig lange an der Luft zu lagern, ohne daß die einmal entfernten Gase wieder in den Werkstoff eindringen.remain. The inventive pretreatment of the base material prior to gas plating has to The result is that not only the gases adsorbed on the surface, but also those gases are removed, which are dissolved in the base material and those otherwise in the gas plating from the base material diffuse out to the surface, there with the deposited coatings with the formation of intermediate layers react, which increases the adhesive strength of the deposited coatings on the base material reduce quite significantly. This is the only way to ensure adequate adhesion in these cases Coatings that are applied by gas plating, especially for larger workpieces, achieved. When using the method according to the invention, it is not necessary to carry out the gas plating directly to be carried out after degassing, for example in one process step. Rather, it is possible according to the invention to cool treated degassed workpieces and to store them in the air for any length of time without that the gases once removed penetrate the material again.

Die auf den in der beschriebenen Weise vorbehandelten Werkzeugstählen abgeschiedenen Überzüge aus Karbiden der Metalle der III. bis VI. Gruppe des Periodischen Systems, insbesondere aus Titankarbtd, haften sehr fest auf dem Grundwerkstoff und neigen sogar unter den extremen Beanspruchungen, wie sie bei der spanlosen Verformung von Metallen, insbesondere beim Ziehen von nahtlosen Rohren oder Stangenmaterial, auch unter ungünstigen Schmierbedingungen auftreten, nicht zum Abblättern.The coatings deposited on the tool steels pretreated in the manner described Carbides of the III. to VI. Group of the periodic table, in particular from titanium carbon, adhere very firmly to the base material and even tend to under the extreme loads like them in the non-cutting deformation of metals, especially when drawing seamless tubes or Bar material, even occurring under unfavorable lubrication conditions, does not peel off.

Da die Karbidüberzüge, insbesondere aus Titankarbid, fest auf dem Grundmaterial haften und nicht zum Ausplatzen neigen, bieten sie infolge ihrer einheitlichen und zusammenhängenden Oberflächen auch einen guten Schutz gegen Erosion und Korrosion.Since the carbide coatings, in particular made of titanium carbide, adhere firmly to the base material and not tend to burst, they also offer due to their uniform and cohesive surfaces good protection against erosion and corrosion.

909 508/238909 508/238

Da es sich bei dem erfindungsgemäßen Verfahren um eine Entgasung, sei es von Stickstoff oder Sauerstoff oder beiden, handelt, sind auch äquivalente Mittel, die eine solche Entgasung herbeiführen, an Stelle der „Vakuumbehandlung oder zusätzlich zu ihr an sich möglich, um ähnliche Wirkungen zu erzielen. So kann man beispielsweise auch durch ein Glühen in von.Stickstoff und Sauerstoff gereinigtem Wasserstoff oder in einem reinen inerten Gas die Entgasung vornehmen. Hierbei sind jedoch wesentlich längere Behandlungszeiten und/oder höhere Glühtemperatureri erforderlich, urn eine genügende Entgasung herbeizuführen. Derartige Gasbehahdlungen können gleichzeitig nachteilige Wirkungen auf das Grundmetall ausüben. So kann beispielsweise durch längeres Glühen in Wasserstoff eine Entkohlung mindestens der Oberfläche bei Stählen eintreten. Dem kann man dadurch begegnen, daß man dem Wasserstoff Kohlenwasserstoffe in solcher Menge beimischt, daß der Kohlenwasserstoffpartialdruck dem Wasserstoff-Kohlenstoff-Gleichgewicht, das sich zwischen dem Gasraum und dem im Werkstoff befindlichen Kohlenstoff einstellt, entspricht.Since the method according to the invention involves degassing, be it nitrogen or oxygen or both, are also equivalent agents that bring about such a degassing Place of the "vacuum treatment or in addition to it in itself possible to achieve similar effects. So you can, for example, by a glow in hydrogen purified from nitrogen and oxygen or perform the degassing in a pure inert gas. However, these are much longer Treatment times and / or higher annealing temperatures are required to achieve sufficient degassing. Such gas treatments can also have adverse effects on the base metal exercise. For example, by annealing in hydrogen for a long time, decarburization can at least be achieved occur on the surface of steels. You can do that counteract by adding hydrocarbons to the hydrogen in such an amount that the Hydrocarbon partial pressure is the hydrogen-carbon equilibrium that is between the gas space and adjusts the carbon in the material.

Es können auch rein chemische Methoden zur Entfernung der im Werkstoff aufgenommenen Gase benutzt werden, beispielsweise Glühen der Werkstücke in Gegenwart von Kalzium und/oder Magnesium bei Temperaturen von 800 bis 1000° C, wobei Stickstoff und Sauerstoff unter Oxyd- und Nitridbildung durch Kalzium und Magnesium gebunden werden. Hierbei besteht jedoch die Gefahr, daß sich Verbindungen des Magnesiums und/oder Kalziums auf der Metalloberfläche niederschlagen und ihrerseits die spätere Schichtbildung stören.Purely chemical methods can also be used to remove the gases absorbed in the material are, for example, annealing the workpieces in the presence of calcium and / or magnesium Temperatures from 800 to 1000 ° C, with nitrogen and oxygen forming oxides and nitrides Calcium and magnesium are bound. However, there is a risk that connections of the Magnesium and / or calcium precipitate on the metal surface and, in turn, the later Disrupt stratification.

Diesen Verfahren zur Vorbehandlung der Grundwerkstoffe äquivalent ist der Einsatz von solchen Grundmaterialien, deren Gehalt an reaktionsfähigem Stickstoff und/oder Sauerstoff durch besondere Legierungsmaßnahmen, beispielsweise durch Zulegieren von Titan, oder Maßnahmen bei der Herstellung, z. B. durch Schmelzen im Vakuum, auf ähnlich niedrige Werte gebracht wurde, wie sie durch die beschriebenen Vorbehandlungsverfahren erzielt werden.The use of these is equivalent to these processes for pretreating the base materials Basic materials, their content of reactive nitrogen and / or oxygen through special alloying measures, for example by alloying titanium, or measures in the production, z. B. by melting in a vacuum, on similar low values as achieved by the pretreatment processes described.

Die Bedeutung einer solchen Vorbehandlung vor der Aufbringung einer Karbidschicht sei an einem Beispiel näher erläutert. Versucht man auf Gußeisen ohne Vakuumbehandlung eine Titankarbidschicht aus der Gasphase abzuscheiden, so gelingt dies nur gelegentlich bei besonders dichten Gußeisensorten, beispielsweise Schleuderguß. Auch hier ist die Haftung nicht immer befriedigend. Bei gewöhnlichem Gußeisen ist es in den meisten Fällen nicht möglich, festhaftende Titankarbidüberzüge durch Reaktion aus der Gasphase aufzubringen.The importance of such a pretreatment before applying a carbide layer is one thing Example explained in more detail. If you try a titanium carbide layer on cast iron without vacuum treatment To separate the gas phase, this is only possible occasionally with particularly dense types of cast iron, for example Centrifugal casting. Here, too, the liability is not always satisfactory. With ordinary cast iron In most cases it is not possible to remove firmly adhering titanium carbide coatings by reaction to apply the gas phase.

Behandelt man Werkstücke aus Gußeisen dagegen zunächst durch Glühen im Vakuum vor, beispielsweise durch Erhitzen auf 950° C bei einem Vakuum von 10~3 bis 10~4 mm Hg, bis dieser Druck auch nach Abschalten der Pumpe aufrechterhalten bleibt, und überzieht dann die so vorentgasten Gußstücke nach beliebiger Lagerung an Luft mit einem Titankarbidüberzug beispielsweise dadurch, daß man Titanchlojrid ,bei Temperaturen über 900° C mit einem Gas-On the other hand we treat workpieces made of cast iron by first annealing in vacuum before, for example by heating to 950 ° C at a vacuum of 10 -3 to 10 -4 mm Hg, until this pressure is maintained even after switching off the pump, and then coating the so pre-degassed castings after any storage in air with a titanium carbide coating, for example, by titanium chloride, at temperatures above 900 ° C with a gas

gemisch zur Reaktion bringt, in dem Wasserstoff und flüchtige Kohlenwasserstoffe enthalten sind, so erhält man einen festhaftenden gleichmäßigen Titankarbidüberzug auf der Gußeisenoberfläche. Auf Gußeisen erhält man durch eine derartige Behandlung einen besonders hochglänzenden Titankarbidüberzug. Auch mit anderen Verfahren zur Aufbringung von derartigen Karbidüberzügen lassen sich auf im Vakuum vorbehandelten Gußeisenoberflächen festhaftende Titankarbidüberzüge aufbringen.brings mixture to reaction, in which hydrogen and volatile hydrocarbons are contained, so is obtained a firmly adhering even titanium carbide coating on the cast iron surface. On cast iron Such a treatment gives a particularly high-gloss titanium carbide coating. Other methods for applying such carbide coatings can also be used on im Apply firmly adhering titanium carbide coatings to vacuum pretreated cast iron surfaces.

Die Aufbringung derartiger Schichten nach vorheriger Entgasung ist von besonderer Bedeutung bei Gußeisensorten, in denen der Kohlenstoff ganz oder zum größten Teil in spärolithischer Form vorliegt, weil dieser Werkstoff einen höheren Gasgehalt hat.The application of such layers after prior degassing is of particular importance Types of cast iron in which the carbon is wholly or largely in Spherolithic form, because this material has a higher gas content.

Aber auch bei an sich dichteren Werkstoffen, beispielsweise bei Stählen, insbesondere den üblichen Werkzeugstählen, auf denen ein Aufbringen festhaftender Karbidschichten bisher nicht mit Sicherheit möglich war, ist es von besonderem Vorteil, durch eine solche entgasende Vorbehandlung die Oberfläche und den Grundwerkstoff vorzubereiten, um mit Sicherheit festhaftende Überzüge zu erhalten. Sowohl legierte Stähle als auch unlegierte Stähle, wie sie insbesondere zur Werkzeugherstellung verwendet werden, lassen sich mit Vorteil auf die erfindungsgemäße Weise vorbehandeln, bevor ein Karbidüberzug aufgebracht wird.But also with materials that are denser per se, for example with steels, especially the usual ones Tool steels on which the application of firmly adhering carbide layers has not yet been possible with certainty was possible, it is particularly advantageous to use such a degassing pretreatment for the surface and to prepare the base material in order to obtain firmly adhering coatings. As well as alloyed steels as well as unalloyed steels, such as those used in particular for tool manufacture, can advantageously be pretreated in the manner according to the invention before a carbide coating is applied will.

Claims (1)

Patentanspruch:Claim: Verfahren zur Herstellung von Überzügen aus harten Karbiden, Nitriden, Bonden, Suiziden der Metalle der III. bis VI. Gruppe des Periodischen Systems, insbesondere der Metalle Titan, Vanadium, Wolfram durch Gasplattieren, dadurch gekennzeichnet, daß die zu überziehenden Werkstücke vor dem Gasplattieren durchgreifend im Vakuum entgast werden, wobei das Evakuieren bei Werkstücktemperaturen von 800 bis 1000° C so lange durchgeführt wird, bis ein Vakuum von 10-3 bis ΙΟ-4 Torr erhalten bleibt.Process for the production of coatings from hard carbides, nitrides, bonds, suicides of metals of the III. to VI. Group of the periodic system, in particular the metals titanium, vanadium, tungsten by gas plating, characterized in that the workpieces to be coated are thoroughly degassed in a vacuum prior to gas plating, the evacuation being carried out at workpiece temperatures of 800 to 1000 ° C until a vacuum of 10-3 to ΙΟ- 4 Torr is maintained. In Betracht gezogene Druckschriften:
Deutsche Patentschrift Nr. 665 54O1.
Considered publications:
German patent specification No. 665 54O 1 .
DEM27211A 1955-05-25 1955-05-25 Process for the production of coatings from hard materials Pending DE1056450B (en)

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