DD280404A1

DD280404A1 - DEVICE FOR EXACTLY LAG POSITIONING OF WORKPIECES, ESPECIALLY OF SEMICONDUCTOR DISCS IN ADJUSTMENT AND EXPOSURE DEVICES

Info

Publication number: DD280404A1
Application number: DD32636489A
Authority: DD
Inventors: Gottfried Hoffmann
Original assignee: Elektromat Veb
Priority date: 1989-03-08
Filing date: 1989-03-08
Publication date: 1990-07-04

Abstract

Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zur exakten Lagepositionierung von Werkstuecken, insbesondere von Halbleiterscheiben in Justier- und Belichtungseinrichtungen. Sie bezieht sich auf die Herstellung von Praezisionspositioniereinrichtungen, wie sie beispielsweise im Feingeraetebau, in der Medizintechnik oder bei der Herstellung von Halbleiterbauelementen Anwendung finden. Dabei ist auf eine erste Gewindespindel einer Gewindespindel-Mutter-Anordnung, die in einem Grundgestell angeordnet ist, und die der Grobeinstellung dient, eine Klemmutter aufgeschraubt, wenn die Spindel das zur Positionierung angetriebene Teil ist. Ist die Mutter das angetriebene Teil, ist ueber diese eine analog der Klemmutter aufgebaute Klemmschelle geschoben. Klemmutter oder Klemmschelle koennen jeweils auf dem angetriebenen Teil festgelegt werden. Sie sind mit einer Anschlagsflaeche versehen, die mit einer zweiten, ebenfalls im Grundgestell angeordneten und mit einem zweiten Schrittmotor verstellbaren Gewindespindel-Mutter-Anordnung in Wirkungsverbindung steht, wobei die Mittelachse der zweiten Gewindespindel im wesentlichen senkrecht auf der Anschlagsflaeche steht. Eine in tangentialer Richtung an die Klemmutter angreifende Feder sorgt fuer einen staendigen mechanischen Kontakt zwischen der zweiten Gewindespindel und der Anschlagsflaeche. Mit der zweiten Gewindespindel kann die Feineinstellung vorgenommen werden. Fig. 1The invention relates to a device for the exact position positioning of workpieces, in particular of semiconductor wafers in adjusting and exposure devices. It relates to the production of precision positioning devices, such as those used for example in the manufacture of fine antennas, in medical technology or in the manufacture of semiconductor devices. It is screwed onto a first threaded spindle of a threaded nut-nut arrangement, which is arranged in a base frame, and which serves the coarse adjustment, a clamping nut when the spindle is the part driven for positioning. If the nut is the driven part, it is pushed over this an analogous to the clamping nut constructed clamp. Clamping nut or clamp can each be determined on the driven part. They are provided with a Anschlagsflaeche, which is in operative connection with a second, also arranged in the base frame and adjustable with a second stepper motor threaded spindle-nut arrangement, wherein the central axis of the second threaded spindle is substantially perpendicular to the Anschlagagsflaeche. A tangentially acting on the clamping nut spring ensures a continuous mechanical contact between the second threaded spindle and the Anschlagsflaeche. With the second threaded spindle, the fine adjustment can be made. Fig. 1

Description

-2- 280 404 Anwendungsgebiet der Erfindung-2- 280 404 Field of application of the invention

Das Anwendungsgebiet der Erfindung liegt auf all den Gebieten der Technik, in denen die Aufgabe steht, Objekte mit höchster Genauigkeit zu positionieren. Insbesondere dürfte dies in Bereichen der Medizin, der Feingerätetechnik und der Halbleitertechnik der Fall sein. Die Positionierung kann durch die vorliegende Erfindung automatisch erfolgen, was einen wesentlichen Beitrag bei der Verhinderunj von Partikelkontaminationen bei der Halbleiterherstellung darstellt.The field of application of the invention is in all the fields of technology in which the task is to position objects with the highest accuracy. In particular, this should be the case in areas of medicine, precision engineering and semiconductor technology. The positioning can be done automatically by the present invention, which is a significant contribution to the prevention of particle contamination in semiconductor manufacturing.

Characteristic of the known state of the art

Bekannt ist die in der Erfindungsbeschreibung DD 208882 A1 (G 12 B 1/00) beschriebene Vorrichtung zur Grob-und Feinzustellung. Diese Lösung weist zwei Gewindespindeln auf. Bei der Grobverstellung wird die erste Gewindespindel gedreht und treibt über eine Magnetkupplung die zweite Gewindespindel an. Dabei bewegen sich die zu den Spindel gehörenden Muttern drehgesichert auf- bzw. abwärts. Die erste Mutter bewegt eine Magnetklemme synchron mit.Known is the device described in the description of the invention DD 208882 A1 (G 12 B 1/00) for coarse and fine delivery. This solution has two threaded spindles. During coarse adjustment, the first threaded spindle is rotated and drives the second threaded spindle via a magnetic coupling. The nuts belonging to the spindle move up or down in rotation. The first nut synchronously moves a magnetic clamp.

Bei der Grobverstellung wird ein an der Magnetklemme und an der ersten Mutter angelenktes Blattfedergelenk auf- oder abwärts transportiert. Eine Kugel an dem Blattfeder'gelenk verstellt dabei einen kugelgelagerten Schlitten.During coarse adjustment, a leaf spring joint hinged to the magnetic clamp and to the first nut is transported upwards or downwards. A ball on the leaf spring joint thereby displaces a ball-bearing slide.

Nach dem Grobeinstellvorgang wird elektrisch auf die Feineinstellung umgeschaltet. Dabei wird eine Magnetkupplung aus- und die Magnetklemme eingeschaltet. Die Eingefahrenene Grobposition wird von der Magnetklemme gehalten und die zweite Spindel ist außer Betrieb. Die zuvor für die Grobverstellung benutzte erste Spindel bzw. die erste Mutter werden jetzt für die Feineinstellung nochmrls genutzt, indem der Hebel mit einer starken Untersetzung verstellt wird. Die Kugel transportiert dabei den Schlitten im Feinbereich.After the coarse adjustment process is switched electrically to the fine adjustment. A magnetic coupling is switched off and the magnetic clamp is switched on. The retracted coarse position is held by the magnetic clamp and the second spindle is out of operation. The first spindle or the first nut previously used for the coarse adjustment are now used for fine adjustment nochmrls by the lever is adjusted with a strong reduction. The ball transports the carriage in the fine area.

Vor dem nächstfolgenden Grobeinstellvorgang wird das Blattfedergelenk mittels elektronischer Nachlaufregelung automatisch in die Ausgangslage zurückgestellt, damit der Feineinstellbereich in beiden Richtungen wieder zur Verfügung steht.Before the next coarse adjustment operation, the leaf spring joint is automatically returned to the initial position by means of electronic tracking control so that the fine adjustment range is available again in both directions.

Der hohe mechanische Aufwand, gepaart mit der Ausrüstung mit elektromechanischen Bauelementen erweist sich bei dieser Lösung als erheblich. Die große Hebeluntersetzung erfordert einen sehr großen Hebelarm, was einen erheblichen Platzbedarf mit sich bringt.The high mechanical complexity, coupled with the equipment with electromechanical components proves to be significant in this solution. The large lever reduction requires a very large lever arm, which requires a considerable amount of space.

Ziel der ErfindungObject of the invention

Es ist Ziel der Erfindung, den technischen Aufwand von Präzisionspositioniereinrichtungen unter Beibehaltung der technischen Parameter zu senken, um damit die Fertigung derartiger Vorrichtungen ökonomisch günstiger zu gestalten.It is an object of the invention to reduce the technical complexity of Präzisionspositioniereinrichtungen while maintaining the technical parameters, so as to make the production of such devices economically cheaper.

Explanation of the essence of the invention

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine Vorrichtung zur Einstellung von Präzisionspositioniereinrichtungen anzugeben, die eine Grob- und eine Feinverstellung ermöglicht und die solche mechanischen Stellglieder beinhaltet, welche nur minimale Stellwege erfordern.The invention has for its object to provide an apparatus for adjusting Präzisionspositioniereinrichtung, which allows a coarse and a fine adjustment and includes such mechanical actuators, which require minimal travel.

Gemäß der Erfindung wird die Aufgabe durch eine Vorrichtung zur exakten Lagepositionierung von Werkstücken, insbesondere von Halbleiterscheiben in Justier- und Belichtungseinrichtungen gelöst. Dabei ist eine an sich bekannte Spindel-Mutter-Anordnung zumindest mittelbar mit der Welle eines Schrittmotors verbunden. Auf dieser Gewindespindel ist eine Klammutter aufgeschraubt. Diese Kiemmutter weist ein Innengewinde auf, das durch einen Schlitz unterbrochen ist, der in einer Richtung radial zu der Gewindespindel und in der anderen Richtung parallel zu deren Mittelachse verläuft. Dieser Schlitz reicht bis zum äußeren Rand der Kiemmutter.According to the invention, the object is achieved by a device for the exact position positioning of workpieces, in particular of semiconductor wafers in adjusting and exposure devices. In this case, a known spindle-nut arrangement is at least indirectly connected to the shaft of a stepping motor. On this threaded spindle a clamp nut is screwed. This Kiemmutter has an internal thread, which is interrupted by a slot which extends in a direction radial to the threaded spindle and in the other direction parallel to the central axis thereof. This slot extends to the outer edge of the Kiemmutter.

Auf der einen Seite des Schlitzes greift mindestens eine Zugstrebe an, die mit einer auf der anderen Seite des Schlitzes angeordneten Klemmeinrichtung in Wirkungsverbindung steht.On the one side of the slot engages at least one tie rod, which is in operative connection with a arranged on the other side of the slot clamping device.

Die Kiemmutter weist eine Anschlagsfläche auf. Dies'· ' nschlagsflache erstreckt sich in der einen Richtung radial zu der Gewindespindel und in der anderen Richtung partiie. *u deren Mittelachse. Sie steht mit einer zweiten Gewindespindel-Mutter-Anordnung in Wirkungsverbindung, wobei die Mittelachse der zweiten Gewindespindel im wesentlichen senkrecht auf der Anschlagsfläche steht. Die zweite Gewindespindel-Mutter-Anordnung ist zumindest mittelbar mit der Welle eines zweiten Schrittmotors verbunden.The Kiemmutter has a stop surface. This stop surface extends in one direction radially to the threaded spindle and in the other direction partiie. * u whose central axis. It is in operative connection with a second threaded spindle-nut arrangement, wherein the central axis of the second threaded spindle is substantially perpendicular to the stop surface. The second threaded spindle nut arrangement is at least indirectly connected to the shaft of a second stepper motor.

An der Kiemmutter greift in tangentialer Richtung eine die Anschlagsfläche gegen die zweite Gewindespindel drückende Feder an.At the Kiemmutter engages in tangential direction a stop surface against the second threaded spindle pushing spring.

Eine günstige Ausgestaltung der Erfindung sieht vor, daß die Kiemmutter im Bereich des Schlitzes mit zwei radial verlaufenden Laschen, die die Schenkel des Schlitzes fortsetzen, versehen ist.A favorable embodiment of the invention provides that the Kiemmutter is provided in the region of the slot with two radially extending tabs, which continue the legs of the slot.

Bei uiner weiteren günstigen Ausgestaltung der Erfindung wird die Klemmeinrichtung durch einen Elektromagneten gebildet, dessen Kern durch eine Zugstrebe dargestellt wird oder der mit Zugstreben verbunden ist. Dabei ist der zugehörige Spulenkörper auf der einen Lasche befestigt und die Zugstreben reichen bis auf die Außenseite der zweiten Lasche. An dieser Seite sind sie gegen Zug gesichert.In a further advantageous embodiment of the invention, the clamping device is formed by an electromagnet whose core is represented by a tie rod or is connected to tie rods. In this case, the associated bobbin is mounted on the one tab and the tie rods extend to the outside of the second tab. On this side they are secured against train.

Es besteht auch die Möglichkeit, daß die Klemmeinrichtung durch einen Pneumatikzylinder gebildet wird, dessen Kolben durch eine Zugstrebe dargestellt wird oder der mit Zugstreben verbunden ist. Dabei ist der Pneumatikzylinder auf der einen Lasche befestigt und die Zugstreben reichen bis auf die Außenseite der zvveiten Lasche. An dieser Seite sind sie gegen Zug gesichert. Insbesondere kann dies dadurch realisiert werden, daß die Klemmeinrichtung durch einen Faltenbalg gebildet wird, der auf der einen Seite mittels einer ersten Verschlußplatte hermetisch abgedichtet auf der einen Lasche befestigt ist und der auf der anderen Seite eine hermetisch dichtende Verschlußplatto aufweist.There is also the possibility that the clamping device is formed by a pneumatic cylinder whose piston is represented by a tie rod or which is connected to tie rods. The pneumatic cylinder is mounted on the one tab and the tie rods extend to the outside of the second tab. On this side they are secured against train. In particular, this can be realized in that the clamping device is formed by a bellows, which is hermetically sealed on one side by means of a first closure plate on the one tab and on the other side has a hermetically sealed Verschlußplatto.

Die Zugstreben reichen beiderseits des Faltenbalges bis zur Außenseite der zweiten Lasche und sind an dieser gegen Zug gsichert. Auf der anderen Seite sind sie an der Verschlußplatte befestigt.The tie rods extend on either side of the bellows to the outside of the second tab and are secured against this train against train. On the other side they are attached to the closure plate.

Eine weitere günstige Ausgestaltung sieht vor, die Kiemmutter als Klemmschelle auszubilden, die über die Mutter der ersten Spindel-Mutter-Anordnung greift.Another favorable embodiment provides to form the Kiemmutter as a clamp, which engages over the mother of the first spindle-nut arrangement.

Die Wirkungsweise der erfindungsgemäßen Vorrichtung ist darin zu sehen, daß durch den Schrittmotor der ersten Spindel-Mutter-Anordnung eine Relativbewegung zwischen der Gewindospindel und der Mutter erzeugt wird, wodurch die Gewindespindel in axialer Richtung bewegt und somit eine Grobeinstellung des Objektträgers vorgenommen wird. Soll nunmehr die Feineinstellung erfolgen, wird die Kiemmutter mittels der Klemmeinrichtung auf der Gewindespindel festgespannt, wenn die Gewindespindel das angetriebene Teil ist, oder mit der Ausgestaltung der Kiemmutter als Klemmschelle wird diese auf der Mutter festgespannt, wenn die Mutter das angetriebene Teil ist. Damit gelangt der zweite Gewindespindel-Mutter-Antricb in Eingriff und kann nunmehr, durch den zweiten Schrittmotor angetrieben, die Kiemmutter tangential anstoßen, wodurch eine Verstellung über kleinste Wege, also eine Feinstjustierung des Objektträgers ermöglicht wird. Die magnetische Klemmeinrichtung reift dabei derart ein, daß mit Zuschalten des Stromes die Zugstreben zumindest mittelbar in das Innere der Magnetwicklung gezogen werden. Damit wird der Schlitz unter mechanische Spannung gesetzt und die Kiemmutter klemmt.The operation of the device according to the invention is the fact that a relative movement between the threaded spindle and the nut is generated by the stepping motor of the first spindle-nut arrangement, whereby the threaded spindle moves in the axial direction and thus a coarse adjustment of the slide is made. If now the fine adjustment take place, the Kiemmutter is clamped by means of the clamping device on the threaded spindle when the threaded spindle is the driven part, or with the design of the Kiemmutter as a clamp this is clamped on the nut when the mother is the driven part. Thus, the second threaded spindle nut Antricb engages and can now, driven by the second stepper motor, the tangle tangentially, whereby an adjustment over the smallest ways, so a fine adjustment of the slide is made possible. The magnetic clamping device matures in such a way that when the current is switched on, the tension struts are pulled at least indirectly into the interior of the magnet winding. Thus, the slot is placed under tension and the Kiemmutter clamped.

In gleicher Art und Weise wirken die pneumatischen Klemmeinrichtungen. Der Zylinder oder der Faltenbalg werden mit Druck beaufschlagt und ziehen mittels der Zugstreben die beiden Schenkel des Schlitzes aufeinander zu, wodurch die Klemmung erreicht wird.In the same way, the pneumatic clamping devices act. The cylinder or the bellows are pressurized and draw by means of the tie rods, the two legs of the slot towards each other, whereby the clamping is achieved.

Ausführung-jbeispielExecution jbeispiel

Die Erfindung soll nachstehend anhand zweier Ausführungsbeispiele näher erläutert werden. In den zugehörigen Zeichnungen zeigtThe invention will be explained in more detail below with reference to two embodiments. In the accompanying drawings shows

Fig. 1 oine Draufsicht auf eine erfindungsgemäße Vorrichtung, bei der die Gewindespindel das angetriebene Teil ist, Fig. 2 eine Detaildarstellung der Kiemmutter mit einem Faltenbalg als Klemmeinrichtung (Schnitt A-A von Fig. 1), Fig. 3 eine Draufsicht auf die Detaildarstellung und Fig. 4 eine Draufsicht auf eine erfindungsgemäße Vorrichtung, bei der die Mutter das angetriebene Teil ist.1 is a plan view of a device according to the invention, in which the threaded spindle is the driven part, FIG. 2 is a detailed view of the Kiemmutter with a bellows as a clamping device (section AA of Fig. 1), Fig. 3 is a plan view of the detailed representation and FIG Figure 4 is a plan view of a device according to the invention, in which the nut is the driven part.

In einem ersten Ausführungsbeispiel, wie in Fig. 1 und Fig. 2 dargestellt, ist eine Gewindespindel 1 mit der Welle eines Schrittmotors 2 verbunden. Die zugehörige Mutter 3 ist mit einem Grundgestell 4 fest verbunden. Auf dieser Gewindespindel 1 ist eine Kiemmutter 5 aufgeschraubt. Diese Kiemmutter 5 weist ein Innengewinde auf, das durch einen in axialer Richtung verlaufenden Schlitz 6 unterbrochen ist. Dieser Schlitz 6 reicht bis zum äußeren Rand der Kiemmutter 5.In a first embodiment, as shown in Fig. 1 and Fig. 2, a threaded spindle 1 is connected to the shaft of a stepping motor 2. The associated nut 3 is fixedly connected to a base frame 4. On this threaded spindle 1 a Kiemmutter 5 is screwed. This Kiemmutter 5 has an internal thread which is interrupted by a slot 6 extending in the axial direction. This slot 6 extends to the outer edge of the gland nut fifth

Die Kiemmutter 5 ist im Bereich des Schlitzes 6 mit zv/ei radial vorlaufenden Laschen 7 und 8, die die Schenkel des Schlitzes 6 fortsetzen, versehen. Auf einer Lasche 7 ist ein Faltenbalg 10 befestigt, der hermetisch abgedichtet und mit der Lasche 8 verbunden ist und der auf der anderen Seite eine hermetisch dichtende Verschlußplatte 11 aufweist.The Kiemmutter 5 is provided in the region of the slot 6 with zv / ei radially leading tabs 7 and 8, which continue the legs of the slot 6. On a tab 7, a bellows 10 is fixed, which is hermetically sealed and connected to the tab 8 and on the other side has a hermetically sealing closure plate 11.

Die Kiemmutter 5 weist eine Anschlagsfläche 13 auf, die sich einerseits in radialer Richtung der Gewindespindel 1 und andererseits parallel zu deren Mittelachse erstreckt. Diese steht mit einer zweiten Gewindespindel-Mutter-Anordnung in Wirkurisverbindung, wobei die Mittelachse der zweiten Gewindespindel 14 im wesentlichen senkrecht auf der Anschla„sfläche 13 steht.The Kiemmutter 5 has a stop surface 13 which extends on the one hand in the radial direction of the threaded spindle 1 and on the other hand parallel to the central axis thereof. This is in operative connection with a second threaded spindle-nut arrangement, wherein the central axis of the second threaded spindle 14 is substantially perpendicular to the stop surface 13.

Die zweite Gewindespindel 14 ist mit der Welle 15 eines zweiten Schrittmotors 16 verbunden.The second threaded spindle 14 is connected to the shaft 15 of a second stepping motor 16.

An der äußeren Kante der Anschlagsfläche 13 greift in tangentialer Richtung an der Kiemmutter 5 eine Feder 17 an, die die Anschlagsfläche 13 gegen die zweite Gewindespindel 14 drückt.At the outer edge of the abutment surface 13 engages in the tangential direction of the gland nut 5, a spring 17, which presses the abutment surface 13 against the second threaded spindle 14.

In der Funktion wird die Gewindespindel 1 in Drehung versetzt, wodurch sie mittels der Mutter 3 eine axiale Bewegung durchführt und damit den an ihrem vorderen Ende befindlichen Objektträger 18 grob positioniert. Soll nunmehr die Feineinstellung erfolgen, wird der Faltenbalg 10 mit Druckluft beaufschlagt, wodurch mittels der Zugstrebe 12 die Lasche 7 gegen die Lasche 8 gezogen und die Kiemmutter 5 festgespannt wird.In the function, the threaded spindle 1 is set in rotation, whereby it performs an axial movement by means of the nut 3 and thus coarsely positions the slide 18 located at its front end. If now the fine adjustment take place, the bellows 10 is subjected to compressed air, whereby the tab 7 is pulled against the tab 8 and the Kiemmutter 5 is tightened by means of the tension strut 12.

Damit kann der zweite Gewindespindel-Mutter-Antrieb in Eingriff gelangen. Durch den zweiten Schrittmotor 16 angetrieben, dreht die Gewindespindel 14 die Kiemmutter 5 durch tangentiale Krafteinwirkung. Damit wird eine kleine Drehung der Gewindespindel 1 erzeugt, wodurch eine Verstellung über kleinste Wege, also eine Feinstjustierung des Objektträgers 18 ermöglicht wird.This can engage the second threaded spindle nut drive. Driven by the second stepping motor 16, the threaded spindle 14 rotates the Kiemmutter 5 by tangential force. For a small rotation of the threaded spindle 1 is generated, whereby an adjustment over the smallest ways, so a fine adjustment of the slide 18 is made possible.

In einem zweiten Auslührungsbeispiel, wie in Fig.3 dargestellt, ist die Mutter 3 der angetriebene Teil, d. h. diese ist über ein Getriebe 19 mit dem Schrittmotor 2 verbunden.In a second Auslührungsbeispiel, as shown in Figure 3, the nut 3 is the driven part, d. H. this is connected via a gear 19 with the stepper motor 2.

Die Gewindespindel 1 wird über eine Vordrehsicherung 20 axial verschiebbar gelagert und die Mutter 3 ist drehbar in dem Grundgestell 4 gelagert.The threaded spindle 1 is mounted axially displaceable over a pre-rotation 20 and the nut 3 is rotatably mounted in the base frame 4.

Dabei ist keine Kiemmutter 5, wie im ersten Ausführungsbeispiel angegeben, vorhanden, sondern es kommt eine Klemmschelle 21 zum Einsatz, die über die Mutter 3 greift.In this case, no Kiemmutter 5, as indicated in the first embodiment, available, but it comes a clamp 21 is used, which engages over the nut 3.

Die Klemmschelle 21 zeigt den prinzipiell gleichen Aufbau, wie die Kiemmutter 5, d. h. sie weist ebenfalls einen Schlitz 6, zwei Laschen 7 und 8 mit einer Klemmbohrung 9 und oinen Faltenbal 10 als Klemmvorrichtung auf.The clamp 21 shows the principle the same structure as the gland nut 5, d. H. it also has a slot 6, two tabs 7 and 8 with a clamping bore 9 and oine Faltenbal 10 as a clamping device.

Auf die Anschlagsfläche 13 der Klemmschelle 21 wirkt die zweite Gewinaespindel 14, die ebenfalls über einen Schrittmotor 16 angetrieben wird.On the stop surface 13 of the clamp 21, the second Gewinaespindel 14, which is also driven by a stepping motor 16 acts.

Bei der Grobjustierung des Objektträgers 18 wird hierbei der Schrittmotor 2 über das Getriebe 19 die Mutter 3 drehen, wodurch die Gewindespindel 1 eine axiale Verschiebung erfährt.During the coarse adjustment of the specimen slide 18, the stepping motor 2 in this case will rotate the nut 3 via the transmission 19, as a result of which the threaded spindle 1 undergoes an axial displacement.

Nach Festspannender Klemmschelle 21 kann die Gewindespindel 14 in Eingriff gelangen und die Mutter 3 um kleinste Winkel verdrehen, wodurch kleinste Verschiebungen des Objektträgers 18 erzielt werden können.After clamping the clamp 21, the threaded spindle 14 can engage and turn the nut 3 by the smallest angle, whereby smallest displacements of the slide 18 can be achieved.

Vcr jeder neuen Justierung wird die zweite Gewindespindel automatisch in ihre Ausgangslage, d. h. in ihre Mittelstellung gefahren.From each new adjustment, the second threaded spindle automatically returns to its original position, i. H. moved to their middle position.

Claims

1. A device for exact position positioning of workpieces, in particular of semiconductor wafers in Justier- and Belichtungseinriuhtungen with a threaded nut-nut arrangement for coarse and further means for fine adjustment of a slide, wherein the threaded spindle nut assembly is housed in a housing and both Means for fine as well as the coarse adjustment are provided with actuators, characterized in that the threaded spindle-nut arrangement is at least indirectly connected to the shaft of a stepping motor (2) that on the threaded spindle (1) a Kiemmutter (5) screwed is having an internal thread, which through a slot (6) which extends in a direction radially to the threaded spindle (1) and in the other direction parallel to the central axis and which extends to the outer edge of the Kiemmutter (5) interrupted is, wherein on one side of the slot (6) at least one tension strut (12) engages with e iner on the other side of the slot (6) arranged clamping device (10; 11; 12) is in operative connection that the Kiemmutter (5) has a stop surface (13) which extends in one direction radially to the threaded spindle (1) and in the other direction parallel to the central axis and with a second threaded nut nut Arrangement in operative connection, wherein the central axis of the second threaded spindle (14) is substantially perpendicular to the abutment surface (13) that the second threaded nut-nut arrangement is at least indirectly connected to the shaft (15) of a second stepping motor (16) and that on the gill nut (5) in the tangential direction a stop surface (13) against the second threaded spindle (14) pressing spring (17) engages.

2. Device for the exact positioning of workpieces, in particular of semiconductor wafers in adjusting and exposure devices according to claim 1, characterized in that the Kiemmutter (5) in the region of the slot (6) with two radially extending tabs (7, 8), the Leg of the slot (6) continue, is provided.

3. A device for exact position positioning of workpieces, in particular of semiconductor wafers in adjusting and exposure devices according to claim 1 and 2, characterized in that that the clamping device consists of an electromagnet whose core is formed by a tie rod (12) or the tie rods ( 12) is connected, wherein the associated bobbin on the one tab (7) is fixed and the tie rods (12) extend to the outside of the second tab (8) and are secured to this train.

4. A device for exact position positioning of workpieces, in particular of semiconductor wafers in adjusting and exposure devices according to claim 1 and 2, characterized in that the clamping device is formed by a pneumatic cylinder whose piston is represented by a tension strut (12) or with tension struts ( 12), the pneumatic cylinder being mounted on the one tab (7) and the tie rods (12) extending to the outside of the second tab (8) and being secured against pull.

5. Device for exact position positioning of workpieces, in particular of semiconductor wafers in alignment and exposure devices according to claims 1 and 2, characterized in that the clamping device is formed by a pleat lining (10) hermetically sealed on one side by means of a first closure plate (9) sealed on the one tab fastened (7) and on the other side has a second hermetically sealing closure plate (11) and that the tie rods (12) on both sides of the Faltenbela & it to the outside of the second tab (8) rich and pull against this secured and secured on the other side to the second closure plate (11).

6. Device for exact position positioning of workpieces, in particular of semiconductor wafers in adjusting and exposure devices according to claim 1, characterized in that the Kiemmutter (5) is designed as a clamp (21) via the nut (3) of the first spindle nut Arrangement attacks.

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