CN221413894U - 一种用于碳化硅半导体的研磨进料装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种用于碳化硅半导体的研磨进料装置，包括进料斗，进料斗内侧的中部转动设置有转轴，转轴的顶端固定设置有连接卡座，连接卡座的内部卡合设置有连接卡块，连接卡块的顶端固定设置有筛选网座，本实用新型一种用于碳化硅半导体的研磨进料装置，通过电机驱动摆动锤转动，使得筛选网座在摆动锤的作用下摆动，同时筛选网座在复位弹簧的作用下能够复位，从而使筛选网座来回摆动，进而便于对碳化硅半导体碎料进行充分筛选处理，避免体积较大的碎料进入研磨机内造成通道堵塞导致影响研磨效率，通过使用较大的力向上拉动筛选网座，使得两个限位弹片分别与两个限位槽分离，进而便于将筛选网座进行拆卸清理。
Description
技术领域
本实用新型涉及碳化硅半导体研磨技术领域，具体为一种用于碳化硅半导体的研磨进料装置。
背景技术
碳化硅是石英砂和焦炭在电炉中反应生成的产物，碳化硅分子结构呈共价键构成的原子晶格晶体结构，有极高的硬度和一定的韧性，在对碳化硅半导体进行加工时，通常需要使用到研磨装置进行研磨处理。但是现有研磨装置的进料装置在使用时存在以下不足：
1、不便于将体积较大的碎料滤除，容易造成通道堵塞进而影响研磨效率；
2、不便于对进料产生的粉尘进行吸收，不仅造成物料浪费，而且粉尘飞扬，容易污染周围环境。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种用于碳化硅半导体的研磨进料装置，以解决上述背景技术中提出的不便于将体积较大的碎料滤除，容易造成通道堵塞进而影响研磨效率以及不便于对进料产生的粉尘进行吸收，不仅造成物料浪费，而且粉尘飞扬，容易污染周围环境的问题。
为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种用于碳化硅半导体的研磨进料装置，包括进料斗，所述进料斗的底端固定连通有连接管，所述进料斗内侧的中部转动设置有转轴，所述转轴的顶端固定设置有连接卡座，所述连接卡座的内部卡合设置有连接卡块，所述连接卡块的顶端固定设置有筛选网座，所述进料斗正面的一侧固定安装有电机，所述电机的输出端延伸至进料斗的内部固定连接有摆动锤，所述进料斗顶端的两侧均固定设置有支撑块，两个所述支撑块之间的顶部固定设置有环形管，所述环形管的内侧开设有若干个进气口，所述进料斗的一侧固定设置有抽风机和集料盒，所述集料盒与环形管之间固定连通有导气管。
通过电机驱动摆动锤转动，使得筛选网座在摆动锤的作用下摆动，同时筛选网座在复位弹簧的作用下能够复位，从而使筛选网座来回摆动，进而便于对碳化硅半导体碎料进行充分筛选处理，避免体积较大的碎料进入研磨机内造成通道堵塞导致影响研磨效率。
优选的，所述抽风机的进气端固定连通有进气管，所述进气管远离抽风机的一端与集料盒相连接，所述集料盒内侧的底部固定设置有筛选网罩，所述筛选网罩与进气管对应设置，通过筛选网罩的设置便于对粉尘进行筛选，避免粉尘进入抽风机内，进而对抽风机造成损伤。
优选的，所述集料盒底端的一侧固定连通有排料管，所述排料管与集料盒的连接处固定设置有阀门，通过排料管将集料盒内的粉料导出。
优选的，所述进料斗内壁两侧的底部固定设置有连接块，所述连接块的顶端固定连接有复位弹簧，所述复位弹簧的顶端固定连接有与筛选网座对应设置的挡板，通过复位弹簧的设置便于将筛选网座复位。
优选的，所述摆动锤与筛选网座对应设置，通过电机驱动摆动锤转动，使得筛选网座在摆动锤的作用下来回摆动。
优选的，所述连接卡座内壁的两侧均开设有安置槽，两个所述安置槽的内部均固定设置有限位弹片，所述连接卡块的两侧均开设有限位槽，两个所述限位弹片分别与两个限位槽卡合连接，通过使用较大的力向上拉动筛选网座，使得两个限位弹片分别与两个限位槽分离，进而便于将筛选网座进行拆卸清理。
优选的，所述进料斗正面远离电机的一侧固定安装有控制面板，所述抽风机和电机均与控制面板电性连接，通过控制面板控制抽风机和电机均通电开始工作。
优选的，所述筛选网座包括边框和底部筛网，所述边框位于底部筛网顶端的外沿，所述底部筛网底端的中部与连接卡块的顶端连接，筛选网座通过底部筛网进行筛选工作。
与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：
1、通过电机驱动摆动锤转动，使得筛选网座在摆动锤的作用下摆动，同时筛选网座在复位弹簧的作用下能够复位，从而使筛选网座来回摆动，进而便于对碳化硅半导体碎料进行充分筛选处理，避免体积较大的碎料进入研磨机内造成通道堵塞导致影响研磨效率，通过使用较大的力向上拉动筛选网座，使得两个限位弹片分别与两个限位槽分离，进而便于将筛选网座进行拆卸清理；
2、通过抽风机将集料盒内的气体抽出，使得集料盒内产生负压，从而使得环形管内产生负压，并经过若干个进气口将进料产生的粉尘进行吸收，并导入到集料盒内，不仅能够实现对物料的回收，避免物料浪费，而且能够避免粉尘飞扬，污染周围环境。
附图说明
图1为本实用新型的立体图；
图2为本实用新型的正面剖视图；
图3为本实用新型抽风机与集料盒的连接图；
图4为本实用新型局部A的放大图；
图5为本实用新型筛选网座的剖视图。
图中：1、进料斗；2、转轴；3、筛选网座；4、摆动锤；5、连接块；6、复位弹簧；7、支撑块；8、环形管；9、进气口；10、抽风机；11、集料盒；12、导气管；13、进气管；14、筛选网罩；15、排料管；16、阀门；17、连接卡座；18、连接卡块；19、安置槽；20、限位弹片；21、限位槽；22、电机；23、控制面板；24、连接管；25、挡板；26、边框；27、底部筛网。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。
请参阅图1-5，本实用新型提供了一种用于碳化硅半导体的研磨进料装置，包括进料斗1，进料斗1的底端固定连通有连接管24，进料斗1内侧的中部转动设置有转轴2，转轴2的顶端固定设置有连接卡座17，连接卡座17的内部卡合设置有连接卡块18，连接卡块18的顶端固定设置有筛选网座3，进料斗1正面的一侧固定安装有电机22，电机22的输出端延伸至进料斗1的内部固定连接有摆动锤4，进料斗1顶端的两侧均固定设置有支撑块7，两个支撑块7之间的顶部固定设置有环形管8，环形管8的内侧开设有若干个进气口9，进料斗1的一侧固定设置有抽风机10和集料盒11，集料盒11与环形管8之间固定连通有导气管12，通过电机22驱动摆动锤4转动，使得筛选网座3在摆动锤4的作用下摆动，同时筛选网座3在复位弹簧6的作用下能够复位，从而使筛选网座3来回摆动，进而便于对碳化硅半导体碎料进行充分筛选处理，避免体积较大的碎料进入研磨机内造成通道堵塞导致影响研磨效率。
使用时，抽风机10的进气端固定连通有进气管13，进气管13远离抽风机10的一端与集料盒11相连接，集料盒11内侧的底部固定设置有筛选网罩14，筛选网罩14与进气管13对应设置，集料盒11底端的一侧固定连通有排料管15，排料管15与集料盒11的连接处固定设置有阀门16；
通过排料管15将集料盒11内的粉料导出，通过筛选网罩14的设置便于对粉尘进行筛选，避免粉尘进入抽风机10内，进而对抽风机10造成损伤；
使用时，进料斗1内壁两侧的底部固定设置有连接块5，连接块5的顶端固定连接有复位弹簧6，复位弹簧6的顶端固定连接有与筛选网座3对应设置的挡板25，摆动锤4与筛选网座3对应设置，连接卡座17内壁的两侧均开设有安置槽19，两个安置槽19的内部均固定设置有限位弹片20，连接卡块18的两侧均开设有限位槽21，两个限位弹片20分别与两个限位槽21卡合连接，进料斗1正面远离电机22的一侧固定安装有控制面板23，抽风机10和电机22均与控制面板23电性连接；
通过使用较大的力向上拉动筛选网座3，使得两个限位弹片20分别与两个限位槽21分离，进而便于将筛选网座3进行拆卸清理，通过控制面板23控制抽风机10和电机22均通电开始工作，通过电机22驱动摆动锤4转动，使得筛选网座3在摆动锤4的作用下来回摆动。
筛选网座3包括边框26和底部筛网27，边框26位于底部筛网27顶端的外沿，底部筛网27底端的中部与连接卡块18的顶端连接。
本申请实施例在使用时：将碳化硅半导体碎料导入到进料斗1内的筛选网座3内，通过电机22驱动摆动锤4转动，使得筛选网座3在摆动锤4的作用下摆动，同时筛选网座3在复位弹簧6的作用下能够复位，从而使筛选网座3来回摆动，进而便于对碳化硅半导体碎料进行充分筛选处理，避免体积较大的碎料进入研磨机内造成通道堵塞导致影响研磨效率，使用过程中，通过抽风机10将集料盒11内的气体抽出，使得集料盒11内产生负压，从而使得环形管8内产生负压，并经过若干个进气口9将进料产生的粉尘进行吸收，并导入到集料盒11内，不仅能够实现对物料的回收，避免物料浪费，而且能够避免粉尘飞扬，污染周围环境，使用结束后，通过使用较大的力向上拉动筛选网座3，使得两个限位弹片20分别与两个限位槽21分离，进而便于将筛选网座3进行拆卸清理。
尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换，凡在本实用新型的精神和原则之内，所做的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。
Claims (8)
1.一种用于碳化硅半导体的研磨进料装置，包括进料斗(1)，其特征在于：所述进料斗(1)的底端固定连通有连接管(24)，所述进料斗(1)内侧的中部转动设置有转轴(2)，所述转轴(2)的顶端固定设置有连接卡座(17)，所述连接卡座(17)的内部卡合设置有连接卡块(18)，所述连接卡块(18)的顶端固定设置有筛选网座(3)，所述进料斗(1)正面的一侧固定安装有电机(22)，所述电机(22)的输出端延伸至进料斗(1)的内部固定连接有摆动锤(4)，所述进料斗(1)顶端的两侧均固定设置有支撑块(7)，两个所述支撑块(7)之间的顶部固定设置有环形管(8)，所述环形管(8)的内侧开设有若干个进气口(9)，所述进料斗(1)的一侧固定设置有抽风机(10)和集料盒(11)，所述集料盒(11)与环形管(8)之间固定连通有导气管(12)。
2.根据权利要求1所述的一种用于碳化硅半导体的研磨进料装置，其特征在于：所述抽风机(10)的进气端固定连通有进气管(13)，所述进气管(13)远离抽风机(10)的一端与集料盒(11)相连接，所述集料盒(11)内侧的底部固定设置有筛选网罩(14)，所述筛选网罩(14)与进气管(13)对应设置。
3.根据权利要求1所述的一种用于碳化硅半导体的研磨进料装置，其特征在于：所述集料盒(11)底端的一侧固定连通有排料管(15)，所述排料管(15)与集料盒(11)的连接处固定设置有阀门(16)。
4.根据权利要求1所述的一种用于碳化硅半导体的研磨进料装置，其特征在于：所述进料斗(1)内壁两侧的底部固定设置有连接块(5)，所述连接块(5)的顶端固定连接有复位弹簧(6)，所述复位弹簧(6)的顶端固定连接有与筛选网座(3)对应设置的挡板(25)。
5.根据权利要求1所述的一种用于碳化硅半导体的研磨进料装置，其特征在于：所述摆动锤(4)与筛选网座(3)对应设置。
6.根据权利要求1所述的一种用于碳化硅半导体的研磨进料装置，其特征在于：所述连接卡座(17)内壁的两侧均开设有安置槽(19)，两个所述安置槽(19)的内部均固定设置有限位弹片(20)，所述连接卡块(18)的两侧均开设有限位槽(21)，两个所述限位弹片(20)分别与两个限位槽(21)卡合连接。
7.根据权利要求1所述的一种用于碳化硅半导体的研磨进料装置，其特征在于：所述进料斗(1)正面远离电机(22)的一侧固定安装有控制面板(23)，所述抽风机(10)和电机(22)均与控制面板(23)电性连接。
8.根据权利要求1所述的一种用于碳化硅半导体的研磨进料装置，其特征在于：所述筛选网座(3)包括边框(26)和底部筛网(27)，所述边框(26)位于底部筛网(27)顶端的外沿，所述底部筛网(27)底端的中部与连接卡块(18)的顶端连接。
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