CN221297047U - 一种缓冲压差形变的真空旋转动密封系统结构 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种缓冲压差形变的真空旋转动密封系统结构，包括腔体墙板、墙板支柱、前端板、后端板，所述前端板与后端板之间通过支撑梁定位并连接起来，在前端板的另一侧安装固定有墙板支柱形成一个整体，再整体连接固定到腔体墙板上形成一个悬壁结构，所述磁流体密封传动装置固定于前端板一侧，其传动输入轴端从腔体墙板穿出，并在其与腔体墙板中间套装有真空波纹管，磁流体密封传动装置的传动输入轴端安装有从动皮带轮并通过同步带与行星减速机上的主动皮带轮连接，所述行星减速机上安装在伺服电机上。本实用在悬壁结构中引入前端板，不直接固定于腔体墙板，解决磁流体密封传动装置直接固定于腔体墙板产生轴向位移或偏摆的问题。

Description

一种缓冲压差形变的真空旋转动密封系统结构

技术领域

本实用新型涉及真空镀膜设备领域，尤其涉及一种缓冲压差形变的真空旋转动密封系统结构。

背景技术

真空卷对卷镀膜设备中常包含有卷绕系统、冷辊系统、圆弧辊系统等，而这些系统动力装置大部分均需要外置安装到大气侧，一方面便于安装维护，另一方面能提高设备稳定性并大幅降低设备成本。动力装置在大气侧、传动辊在真空侧，两者之间存在压差，需要有严格保证旋转动密封的传动装置，对结构要求较高。在真空设备中传动密封主要是防止气体从相邻结合面间泄露，从而破坏设备内真空环境，达不到工艺所需的真空压力值。真空设备广泛采用磁流体密封传动装置来保证旋转动密封。现有真空设备中磁流体密封传动装置直接固定于腔体墙板上，设备工作中往复多次由大气环境转到真空环境，再由真空环境转到大气环境。腔体墙板一侧为低真空，一侧为大气压，两者之间的压差会使腔体墙板产生形变，磁流体密封传动装置直接固定于腔体墙板，而腔体墙板在大气下和真空下因气压差异产生的压差形变会促使连接固定于磁流体密封传动装置输出轴端的传动辊产生轴向位移或径向偏摆，且腔体墙板周围与中心位置不同，其形变量亦有不同，因此对应各点的磁流体密封传动装置输出轴端的轴向位移或径向偏摆均不同，最终造成多个传动棍间的形位差异，从而降低棍组传动精度，卷绕镀膜中薄膜的运行稳定性变差，从而影响产品质量。

磁流体密封传动装置直接固定于腔体墙板上，要减小腔体墙板两侧压差变形，需进一步加大腔体墙板厚度，会使设备更加笨重，相应驱动装置功率要更大，设备更加耗能，加大厚度显然不是最优解。因此需要一种在兼顾设备稳定性、设备强度、设备成本等，解决真空镀膜设备中压差形变对传动辊传动稳定性造成影响，提高设备稳定性及镀膜产品质量。

实用新型内容

针对上述问题，本实用新型提供了一种缓冲压差形变的真空旋转动密封系统结构。

为解决上述技术问题，本实用新型所采用的技术方案是：一种缓冲压差形变的真空旋转动密封系统结构，包括腔体墙板、墙板支柱、前端板、后端板、支撑梁、真空波纹管、磁流体密封传动装置、电机固定座、伺服电机、行星减速机、主动皮带轮、同步带、从动皮带轮、后端轴承座、传动辊，所述前端板与后端板之间通过支撑梁定位并连接起来，在前端板的另一侧安装固定有墙板支柱形成一个整体，再整体连接固定到腔体墙板上形成一个悬壁结构，所述磁流体密封传动装置固定于前端板一侧，其传动输入轴端从腔体墙板穿出，并在其与腔体墙板中间套装有真空波纹管，所述后端轴承座固定于后端板一侧，传动辊两端放置于后端轴承座与磁流体密封传动装置的轴承座上，并用轴瓦固定，所述磁流体密封传动装置的传动输入轴端安装有从动皮带轮并通过同步带与行星减速机上的主动皮带轮连接，所述行星减速机上安装在伺服电机上，行星减速机通过电机固定座固定到腔体墙板外侧。

进一步的，所述磁流体密封传动装置与腔体墙板之间设置有密封圈。

进一步的，所述传动辊平行设置于两根支撑梁中间。

由上述对本实用新型结构的描述可知，和现有技术相比，本实用新型具有如下优点：

本实用新型在悬壁结构中引入前端板，磁流体密封传动装置不直接固定于腔体墙板，在腔体墙板与后端板之间引入前端板，磁流体密封传动装置固定于前端板上，并在磁流体密封传动装置的前端板与腔体墙板之间套装有真空波纹管，腔体墙板大气与真空侧的外压差不直接作用于磁流体密封传动装置，真空波纹管能起到缓冲压差形变，使连接固定于磁流体密封传动装置输出轴端传动辊不因产生压差形而产生轴向位移或偏摆，有效解决现有真空镀膜设备中磁流体密封传动装置直接固定于腔体墙板，而腔体墙板大气与真空压差产生的压差形变会促使连接固定于磁流体密封传动装置输出轴端的传动辊产生轴向位移或偏摆的问题，同时兼顾了设备稳定性、设备强度、设备成本等。

附图说明

构成本申请的一部分的附图用来提供对本实用新型的进一步理解，本实用新型的示意性实施例及其说明用于解释本实用新型，并不构成对本实用新型的不当限定。在附图中：

图1为本实用新型的整体结构示意图。

具体实施方式

为了使本实用新型的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本实用新型进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本实用新型，并不用于限定本实用新型。

实施例

参考图1，一种缓冲压差形变的真空旋转动密封系统结构，包括腔体墙板1、墙板支柱2、前端板3、后端板4、支撑梁5、真空波纹管6、磁流体密封传动装置7、电机固定座8、伺服电机9、行星减速机10、主动皮带轮11、同步带12、从动皮带轮13、后端轴承座14、传动辊15，所述前端板3与后端板4之间通过支撑梁5定位并连接起来，在前端板3的另一侧安装固定有墙板支柱2形成一个整体，再整体连接固定到腔体墙板1上形成一个悬壁结构，所述磁流体密封传动装置7与腔体墙板1之间设置有密封圈，所述磁流体密封传动装置7固定于前端板3一侧，其传动输入轴端从腔体墙板1穿出，并在其与腔体墙板1中间套装有真空波纹管6，所述后端轴承座14固定于后端板一侧，所述传动辊15平行设置于两根支撑梁5中间，传动辊15两端放置于后端轴承座14与磁流体密封传动装置7的轴承座上，并用轴瓦固定，保证传动轴不左右窜动，所述磁流体密封传动装置7的传动输入轴端安装有从动皮带轮13并通过同步带12与行星减速机10上的主动皮带轮11连接，所述行星减速机10上安装在伺服电机9上，行星减速机10通过电机固定座8固定到腔体墙板1外侧。

本实用新型在悬壁结构中引入前端板，磁流体密封传动装置不直接固定于腔体墙板，在腔体墙板与后端板之间引入前端板，磁流体密封传动装置固定于前端板上，并在磁流体密封传动装置的前端板与腔体墙板之间套装有真空波纹管，腔体墙板大气与真空侧的外压差不直接作用于磁流体密封传动装置，真空波纹管能起到缓冲压差形变，使连接固定于磁流体密封传动装置输出轴端传动辊不因产生压差形而产生轴向位移或偏摆，有效解决现有真空镀膜设备中磁流体密封传动装置直接固定于腔体墙板，而腔体墙板大气与真空压差产生的压差形变会促使连接固定于磁流体密封传动装置输出轴端的传动辊产生轴向位移或偏摆的问题，同时兼顾了设备稳定性、设备强度、设备成本等。

以上所述仅为本实用新型的较佳实施例而已，并不用以限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。

Claims (3)

1.一种缓冲压差形变的真空旋转动密封系统结构，其特征在于：包括腔体墙板(1)、墙板支柱(2)、前端板(3)、后端板(4)、支撑梁(5)、真空波纹管(6)、磁流体密封传动装置(7)、电机固定座(8)、伺服电机(9)、行星减速机(10)、主动皮带轮(11)、同步带(12)、从动皮带轮(13)、后端轴承座(14)、传动辊(15)，所述前端板(3)与后端板(4)之间通过支撑梁(5)定位并连接起来，在前端板(3)的另一侧安装固定有墙板支柱(2)形成一个整体，再整体连接固定到腔体墙板(1)上形成一个悬壁结构，所述磁流体密封传动装置(7)固定于前端板(3)一侧，其传动输入轴端从腔体墙板(1)穿出，并在其与腔体墙板(1)中间套装有真空波纹管(6)，所述后端轴承座(14)固定于后端板一侧，传动辊(15)两端放置于后端轴承座(14)与磁流体密封传动装置(7)的轴承座上，并用轴瓦固定，所述磁流体密封传动装置(7)的传动输入轴端安装有从动皮带轮(13)并通过同步带(12)与行星减速机(10)上的主动皮带轮(11)连接，所述行星减速机(10)上安装在伺服电机(9)上，行星减速机(10)通过电机固定座8固定到腔体墙板(1)外侧。

2.根据权利要求1所述一种缓冲压差形变的真空旋转动密封系统结构，其特征在于：所述磁流体密封传动装置(7)与腔体墙板(1)之间设置有密封圈。

3.根据权利要求1所述一种缓冲压差形变的真空旋转动密封系统结构，其特征在于：所述传动辊(15)平行设置于两根支撑梁(5)中间。