CN220503191U - 原子层沉积装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型属于原子层沉积技术领域，尤其为原子层沉积装置，包括下腔体，所述下腔体的正面设有控制面板，所述下腔体的顶部设有上腔体，所述下腔体内设有加热板和放置板，所述控制面板和加热板电性连接，本实用新型通过设置插杆、卡块、锁紧座、安装槽、弹簧、锁架和顶杆等部件，通过挤压顶杆令锁架转动，锁架脱离与卡块的接触后，则能够将气体分流板取下，安装时将气体分流板底部的插杆对准对应的锁紧座，然后向下按压，插杆带动卡块，卡块下移时会挤压锁架，两个卡块和锁架相靠近的斜面贴合，当斜面不再接触时弹簧向锁架施加推力，令其卡在卡块上，从而实现了插杆的定位，完成了对气体分流板的固定，完成了气体分流板的更换。

Description

原子层沉积装置

技术领域

本实用新型涉及原子层沉积技术领域，尤其涉及原子层沉积装置。

背景技术

为了形成微细模式且能在一个芯片上高度集成多个单元，需要开发具有厚度小的薄膜和高电介率的新物质。尤其，在衬底上面的阶梯被形成的时候，确保覆盖表面的阶梯覆盖性和晶片内均匀性是非常关键的。为了满足上述要求，形成具有原子层单位微细厚度的薄膜的原子层沉积方法正在被应用和发展。

但是现有设备中，不具备快速拆装的气体分流板，在拆卸更换需要即将多个固定螺栓逐一拆下，拆装效率较低，从而降低了生产效率，为此提出原子层沉积装置。

实用新型内容

本实用新型的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出的原子层沉积装置。

为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：原子层沉积装置，包括下腔体，所述下腔体的正面设有控制面板，所述下腔体的顶部设有上腔体，所述下腔体内设有加热板和放置板，所述控制面板和加热板电性连接，所述上腔体的顶部内壁上设有导入管，所述上腔体的顶部内壁上设有多个锁紧结构，多个所述锁紧结构上设有同一个气体分流板，所述气体分流板上固定设有多个连接板，多个所述连接板的底部设有多个插杆，多个所述插杆和对应的锁紧结构活动连接。

作为上述技术方案的进一步描述：

所述锁紧结构包括与上腔体的顶部内壁固定连接的锁紧座，所述锁紧座的内壁上设有两个限位槽和安装槽，所述安装槽的一侧内壁上固定设有弹簧，所述安装槽内活动设有锁架，所述锁紧座的两侧均活动设有顶杆，所述顶杆贯穿锁紧座的一侧内壁并延伸至安装槽内。

作为上述技术方案的进一步描述：

所述安装槽的一侧内壁上设有通孔，通孔内壁设有密封圈，所述密封圈内壁和顶杆活动连接。

作为上述技术方案的进一步描述：

所述插杆的外圈固定设有两个限位板和卡块，所述限位板和限位槽活动连接。

作为上述技术方案的进一步描述：

所述锁架和卡块相靠近的一侧均设有斜面，两个所述斜面相平行。

作为上述技术方案的进一步描述：

所述气体分流板的中心固定设有连接管，所述连接管和多个分流管相通，所述导入管靠近连接管的一端设有插入孔，所述插入孔的内壁上设有密封垫，所述密封垫的厚度为五毫米。

本实用新型具有如下有益效果：

1、与现有技术相比，该原子层沉积装置，通过设置插杆、卡块、锁紧座、安装槽、弹簧、锁架和顶杆等部件，通过挤压顶杆令锁架转动，锁架脱离与卡块的接触后，则能够将气体分流板取下，安装时将气体分流板底部的插杆对准对应的锁紧座，然后向下按压，插杆带动卡块，卡块下移时会挤压锁架，两个卡块和锁架相靠近的斜面贴合，当斜面不再接触时弹簧向锁架施加推力，令其卡在卡块上，从而实现了插杆的定位，完成了对气体分流板的固定，完成了气体分流板的更换。

2、与现有技术相比，该原子层沉积装置，通过设置限位槽和限位板，在安装时令限位板插进限位槽内，能够实现对插杆的定位，能够有效杜绝安装完成后气体分流板晃动的情况出现。

附图说明

图1为本实用新型提出的原子层沉积装置的立体结构示意图；

图2为本实用新型提出的原子层沉积装置中下腔体的分解结构示意图；

图3为本实用新型提出的原子层沉积装置中上腔体的分解结构示意图；

图4为本实用新型提出的原子层沉积装置中锁紧结构的正剖结构示意图；

图5为本实用新型提出的原子层沉积装置中插杆的立体结构示意图。

图例说明：

1、下腔体；2、控制面板；3、上腔体；4、加热板；5、放置板；6、导入管；7、气体分流板；8、连接板；9、插杆；10、锁紧结构；101、锁紧座；102、限位槽；103、安装槽；104、弹簧；105、锁架；106、顶杆；11、限位板；12、卡块。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

参照图1到图5，本实用新型提供的原子层沉积装置：包括下腔体1，下腔体1的正面设有控制面板2，下腔体1的顶部设有上腔体3，下腔体1内设有加热板4和放置板5，控制面板2和加热板4电性连接，加热板4的设置能够促进原子层沉积反应，上腔体3的顶部内壁上设有导入管6，上腔体3的顶部内壁上设有多个锁紧结构10，锁紧结构10包括与上腔体3的顶部内壁螺栓连接的锁紧座101，锁紧座101的内壁上设有两个限位槽102和安装槽103，安装槽103的一侧内壁上焊接有弹簧104，安装槽103内铰接有锁架105，锁紧座101的两侧均滑动安装有顶杆106，安装槽103的一侧内壁上设有通孔，通孔内壁设有密封圈，密封圈内壁和顶杆106滑动连接，顶杆106贯穿锁紧座101的一侧内壁并延伸至安装槽103内，锁架105和卡块12相靠近的一侧均设有斜面，两个斜面相平行，限位板11和限位槽102滑动连接，锁紧结构10、插杆9和卡块12等部件之间的配合使用，能够实现对气体分流板7的快速拆装，提高更换效率；

多个锁紧结构10上设有同一个气体分流板7，气体分流板7的中心焊接有连接管，连接管和多个分流管相通，导入管6靠近连接管的一端设有插入孔，插入孔的内壁上设有密封垫，密封垫的厚度为五毫米，密封垫的设置能够提高设备的密封性，气体分流板7上焊接有多个连接板8，多个连接板8的底部设有多个插杆9，插杆9的外圈焊接有两个限位板11和卡块12，多个插杆9和对应的锁紧结构10插接，限位板11和限位槽102的设置，能够有效杜绝安装完成后气体分流板7晃动的情况出现。

工作原理：需要更换气体分流板7时，首先令上腔体3和下腔体1分离，接着挤压两个顶杆106，顶杆106再挤压锁架105令其转动并挤压一侧的弹簧104，当锁架105顶部的锁紧部与卡块12分离后，将气体分流板7向远离上腔体3的方向拉动，当插杆9脱离锁紧座101，连接管脱离导入管6后，即可将气体分流板7取下，安装时，将气体分流板7底部的插杆9对准对应的锁紧座101，令限位板11对准限位槽102，然后向下按压，插杆9带动卡块12，卡块12下移时会挤压锁架105，两个卡块12和锁架105相靠近的斜面贴合，当斜面不再接触时弹簧104向锁架105施加推力，令其卡在卡块12上，从而实现了插杆9的定位，完成了对气体分流板7的固定。

最后应说明的是：以上所述仅为本实用新型的优选实施例而已，并不用于限制本实用新型，尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换，凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。

Claims (6)

1.原子层沉积装置，包括下腔体(1)，其特征在于：所述下腔体(1)的正面设有控制面板(2)，所述下腔体(1)的顶部设有上腔体(3)，所述下腔体(1)内设有加热板(4)和放置板(5)，所述控制面板(2)和加热板(4)电性连接，所述上腔体(3)的顶部内壁上设有导入管(6)，所述上腔体(3)的顶部内壁上设有多个锁紧结构(10)，多个所述锁紧结构(10)上设有同一个气体分流板(7)，所述气体分流板(7)上固定设有多个连接板(8)，多个所述连接板(8)的底部设有多个插杆(9)，多个所述插杆(9)和对应的锁紧结构(10)活动连接。

2.根据权利要求1所述的原子层沉积装置，其特征在于：所述锁紧结构(10)包括与上腔体(3)的顶部内壁固定连接的锁紧座(101)，所述锁紧座(101)的内壁上设有两个限位槽(102)和安装槽(103)，所述安装槽(103)的一侧内壁上固定设有弹簧(104)，所述安装槽(103)内活动设有锁架(105)，所述锁紧座(101)的两侧均活动设有顶杆(106)，所述顶杆(106)贯穿锁紧座(101)的一侧内壁并延伸至安装槽(103)内。

3.根据权利要求2所述的原子层沉积装置，其特征在于：所述安装槽(103)的一侧内壁上设有通孔，通孔内壁设有密封圈，所述密封圈内壁和顶杆(106)活动连接。

4.根据权利要求2所述的原子层沉积装置，其特征在于：所述插杆(9)的外圈固定设有两个限位板(11)和卡块(12)，所述限位板(11)和限位槽(102)活动连接。

5.根据权利要求4所述的原子层沉积装置，其特征在于：所述锁架(105)和卡块(12)相靠近的一侧均设有斜面，两个所述斜面相平行。

6.根据权利要求1所述的原子层沉积装置，其特征在于：所述气体分流板(7)的中心固定设有连接管，所述连接管和多个分流管相通，所述导入管(6)靠近连接管的一端设有插入孔，所述插入孔的内壁上设有密封垫，所述密封垫的厚度为五毫米。