CN220038785U - 一种水加热系统 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种水加热系统,该系统包括供水装置;加热装置,加热装置包括相邻布置且彼此密封隔开的第一空间和第二空间,第一空间与供水装置连通,供水装置用于向第一空间注入水;热水机,热水机包括进水口和出水口,进水口与第一空间连通,出水口用于与槽式机台的药液槽连通;第二空间用于与药液槽连通,以使药液槽内的废水进入第二空间以对第一空间内的水进行第一次加热,第一次加热后的水经过进水口进入热水机,热水机用于对第一次加热后的水进行第二次加热并通过出水口注入药液槽。本实用新型有效解决了相关技术中因与电热水机连接的进水管内的水温较低,而导致加热缓慢及耗电量大的问题。
Description
技术领域
本申请涉及硅片制绒技术领域,尤其涉及一种水加热系统。
背景技术
目前,制绒工序普便使用槽式机台,槽式机台主要包括药液槽,药液槽用于盛放KOH或NaOH等碱性物料的化学药液。制绒工序的工艺原理是利用化学药液对硅片进行化学饱和清洗,以清洗掉硅片表面的脏污和金属杂质,且在清洗的过程中,会在硅片的表面形成起伏不平的绒面,实现对硅片的制绒。
工艺生产中,药液槽内的化学药液所需温度较高,一般要求在80℃以上,且相关技术中,通常通过向药液槽内添加热水来保证所需的温度要求。而在工艺生产中,对于化学药液和热水的混合比例也有一定的要求,当化学药液和热水的混合比例与标准要求存在差异时,在对硅片进行化学饱和清洗的过程中,存在无法清洗去除硅片表面脏污和金属杂质的问题。
由于化学饱和清洗时会产生一定的杂质,为避免杂质在药液槽内的积累,每次制绒完成后,药液槽会排出一定量带有杂质的废水。废水排出后,为保证药液槽内化学药液和热水的混合比例,药液槽内还需重新添加化学药液和热水。另外,药液槽排废水还会进一步导致热水需求量的加大。
相关技术中,制绒工序用的热水通常使用电热水机加热,电热水机连接有进水管和出水管,进水管用于向电热水机输送待加热的水,出水管用于将加热完成的水输送至药液槽。但是在实际的生产过程中,受季节因素影响,尤其在冬季时,进水管内水的温度通常较低,这样会导致电热水机的加热速度降低,不仅会增加耗电量,而且又由于热水需求量较大,因此也无法及时向药液槽内补加热水,导致药液槽内的热水量减少,进而会导致化学药液和热水的混合比例出现差异,影响制绒工序的正常进行。
实用新型内容
针对现有技术中上述不足,本实用新型提供了一种水加热系统,以解决相关技术中因与电热水机连接的进水管内的水温较低,而导致加热缓慢及耗电量大的问题。
为了解决上述技术问题,第一方面,本实用新型提供了一种水加热系统,该水加热系统包括:
供水装置;
加热装置,所述加热装置包括相邻布置且彼此密封隔开的第一空间和第二空间,所述第一空间与所述供水装置连通,所述供水装置用于向所述第一空间注入水;
热水机,所述热水机包括进水口和出水口,所述进水口与所述第一空间连通,所述出水口用于与槽式机台的药液槽连通;
所述第二空间用于与所述药液槽连通,以使所述药液槽内的废水进入所述第二空间以对所述第一空间内的水进行第一次加热,第一次加热后的水经过所述进水口进入所述热水机,所述热水机用于对第一次加热后的水进行第二次加热并通过所述出水口注入所述药液槽。
在第一方面可能的实现方式中,所述供水装置还与所述进水口连通,所述供水装置还用于向所述热水机注入水。
在第一方面可能的实现方式中,所述进水口与所述供水装置之间连接有第一进水支管,以使所述供水装置与所述进水口连通,所述第一进水支管上设置有用于控制自身通断的第一阀门。
在第一方面可能的实现方式中,所述第一空间与所述供水装置之间连接有第二进水支管,以使所述第一空间与所述供水装置连通;所述进水口与所述第一空间之间连接有出水支管,以使所述进水口与所述第一空间连通。
在第一方面可能的实现方式中,所述第二进水支管和所述出水支管中的至少一者上设置有控制自身通断的第二阀门。
在第一方面可能的实现方式中,所述加热装置还包括与所述第二空间连通的废水排出口,所述废水排出口用于与所述药液槽连通,以用于将所述第二空间内的所述废水排至所述药液槽。
在第一方面可能的实现方式中,所述水加热系统还包括排废阀,所述排废阀用于设置在所述废水排出口和所述药液槽之间,以控制所述废水排出口和所述药液槽之间的通断。
在第一方面可能的实现方式中,所述排废阀为自动控制阀。
在第一方面可能的实现方式中,所述加热装置包括内外间隔布置且彼此密封隔开的内壳和外壳,所述内壳的内腔用于构成所述第一空间和所述第二空间中的其中一个,所述内壳和所述外壳之间的空间用于构成所述第一空间和所述第二空间中的另一个。
在第一方面可能的实现方式中,所述内壳的内腔用于构成所述第一空间,所述内壳和所述外壳之间的空间用于构成所述第二空间。
与现有技术相比,本申请至少具有如下有益效果:
本申请的水加热系统中,由于加热装置包括相邻布置且彼此密封隔开的第一空间和第二空间,且由于其中的第一空间与供水装置以及热水机的进水口连通,第二空间与药液槽连通,这样在对水加热的过程中,供水装置可向第一空间注入水,药液槽可向第二空间注入废水,同时又由于药液槽中的废水具有较高的温度,以此通过第二空间内较高温度的废水可以对第一空间内的水进行第一次加热,以初步提高水的温度。第一次加热后,水经进水口进入热水机,热水机可以对第一次加热后的水进行第二次加热,以进一步提高水的温度,第二次加热完成后,水可经出水口注入药液槽进行使用。
与相关技术相比,由于本申请在热水机对水进行加热前,通过加热装置对需要流进热水机的水已经进行了第一次加热,这样能够使流进热水机的水具有相对较高的温度,因此通过热水装置对水进行第一次加热,能够减少季节因素对流进热水机的水的温度的影响,有利于减少热水机的加热时长,提高热水机的加热速度,进而能够保证药液槽的热水需求量,保证化学药液和热水的混合比例的正常以及制绒工序的正常进行;又由于第一次加热是利用废水的温度完成的加热,且通过热水装置能够提高热水机的加热速度,因此通过加热装置对水的第一次加热,也能够降低热水机的耗电量,降低成本。
附图说明
为了更清楚地说明本实用新型实施例中的技术方案,下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍,显而易见地,下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动的前提下,还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1为本实用新型实施例提供的水加热系统的示意图之一;
图2为本实用新型实施例提供的水加热系统的示意图之二;
图3为本实用新型实施例提供的水加热系统的示意图之三;
图4为本实用新型实施例提供的水加热系统的示意图之四;
图5为本实用新型实施例提供的水加热系统的示意图之五。
附图标记说明:
1-供水装置;11-供水管线;12-第一进水支管;13-第二进水支管;
2-加热装置;21-第一空间;22-第二空间;23-内壳;24-外壳;
3-热水机;31-进水口;32-出水口;
4-第一阀门;
5-供废管;
6-出水支管;
7-第二阀门;
8-排废阀;
9-排废管。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图,对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅是本实用新型一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本实用新型保护的范围。
在本实用新型中,术语“上”、“下”、“左”、“右”、“前”、“后”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“竖直”、“水平”、“横向”、“纵向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系。这些术语主要是为了更好地描述本实用新型及其实施例,并非用于限定所指示的装置、元件或组成部分必须具有特定方位,或以特定方位进行构造和操作。
并且,上述部分术语除了可以用于表示方位或位置关系以外,还可能用于表示其他含义,例如术语“上”在某些情况下也可能用于表示某种依附关系或连接关系。对于本领域普通技术人员而言,可以根据具体情况理解这些术语在本实用新型中的具体含义。
此外,术语“安装”、“设置”、“设有”、“连接”、“相连”应做广义理解。例如,可以是固定连接,可拆卸连接,或整体式构造;可以是机械连接,或电连接;可以是直接相连,或者是通过中间媒介间接相连,又或者是两个装置、元件或组成部分之间内部的连通。对于本领域普通技术人员而言,可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
此外,术语“第一”、“第二”等主要是用于区分不同的装置、元件或组成部分(具体的种类和构造可能相同也可能不同),并非用于表明或暗示所指示装置、元件或组成部分的相对重要性和数量。除非另有说明,“多个”的含义为两个或两个以上。
正如本申请的背景技术所述的,相关技术中,槽式机台的药液槽内的化学药液所需温度较高,一般要求在80℃以上,且相关技术中,通常通过向药液槽内添加热水来保证所需的温度要求。而在工艺生产中,对于化学药液和热水的混合比例也有一定的要求,当化学药液和热水的混合比例与标准要求存在差异时,在对硅片进行化学饱和清洗的过程中,存在无法清洗去除硅片表面脏污和金属杂质的问题。
由于化学饱和清洗时会产生一定的杂质,为避免杂质在药液槽内的积累,每次制绒完成后,药液槽会排出一定量带有杂质的废水。废水排出后,为保证药液槽内化学药液和热水的混合比例,药液槽内还需重新添加化学药液和热水。另外,药液槽排废水还会进一步导致热水需求量的加大。
相关技术中,制绒工序用的热水通常使用电热水机加热,电热水机连接有进水管和出水管,进水管用于向电热水机输送待加热的水,出水管用于将加热完成的水输送至药液槽。但是在实际的生产过程中,受季节因素影响,尤其在冬季时,进水管内水的温度通常较低,这样会导致电热水机的加热速度降低,不仅会增加耗电量,而且又由于热水需求量较大,因此也无法及时向药液槽内补加热水,导致药液槽内的热水量减少,进而会导致化学药液和热水的混合比例出现差异,影响制绒工序的正常进行。
鉴于上述存在的问题,本实用新型提供了一种水加热系统,以解决相关技术中因与电热水机连接的进水管内的水温较低,而导致加热缓慢及耗电量大的问题。
下面通过具体的实施例对本申请进行详细说明:
本实施例中的水加热系统用于制绒工序中水的加热,以通过水加热系统的加热,将加热的水注入槽式机台的药液槽,保证药液槽的温度要求以及药液与热水的混合比例。
如图1所示,水加热系统包括供水装置1、加热装置2以及热水机3。其中,加热装置2包括相邻布置且彼此密封隔开的第一空间21和第二空间22,且第一空间21与供水装置1连通,供水装置1用于向第一空间21注入水。第二空间22用于与槽式机台的药液槽(图中为未示出)连通,以使药液槽内的废水进入第二空间22,以对第一空间21内的水进行第一次加热,使得注入第一空间21内的水的温度得到初步提升。
热水机3包括进水口31和出水口32,进水口31与第一空间21连通,出水口32用于与槽式机台的药液槽连通。第一空间21内经过第一次加热后的水可经过热水机3的进水口31进入热水机3,这样热水机3可以对经过第一次加热后的水进行第二次加热,使得水的温度得到进一步提升,以满足药液槽对水温的要求。经热水机3第二次加热完成后,水可以通过热水机3的出水口32注入药液槽,进行使用。
由于在热水机3对水进行加热前,通过加热装置2对需要流进热水机3的水已经进行了第一次加热,且由相关技术可知,药液槽内的废水温度也在80℃以上,因此通过加热装置2的第一次加热,能够使流进热水机3的水具有相对较高的温度,同时也能够减少季节因素对流进热水机3的水的温度的影响,有利于减少热水机3的加热时长,提高热水机3的加热速度,进而能够保证药液槽的热水需求量,保证化学药液和热水的混合比例的正常以及制绒工序的正常进行;又由于第一次加热是利用废水的温度完成的加热,且通过加热装置2对水的第一次加热能够提高热水机3的加热速度,因此通过加热装置2对水的第一次加热,也能够降低热水机3的耗电量,有利于降低成本。
进一步地,对于热水机3而言,热水机3为电热水机。由于电热水机操作方便、节能环保,因此,可以在一定程度上使得热水机3使用体验更好、更加的环保,当然,上述热水机3也可以为天然气热水机或者汽油热水机等,本申请实施例对热水机3不作限定。
进一步地,对于加热装置2而言,在本实施例中,加热装置2为加热桶,且加热装置2包括内外间隔布置且彼此密封隔开的内壳23和外壳24,其中,内壳23的内腔用于构成第一空间21,内壳23和外壳24之间的环形空间用于构成第二空间22,且外壳24的外侧部连接有与第二空间22连通的供废管5,供废管5与槽式机台的药液槽连通,即供废管5用于实现药液槽与第二空间22之间的连通,药液槽内的高温废水可以通过供废管5注入第二空间22。
通过由内壳23和外壳24组成的加热装置2,不仅能够简化加热装置2的具体结构,有利于方便加热装置2的加工制造,而且在一定程度上,也能够保证第一空间21内的注水量以及第二空间22内的废水量,进而不仅能够保证第二空间22内的废水对第一空间21内的水的加热升温,而且也能够保证第一空间21向热水机3的供水量。将内壳23和外壳24之间的环形空间作为第二空间22,将内壳23的内腔作为第一空间21,这样加热装置2对水加热时,能够使高温废水环绕在需要加热的水的周向外围,有利于增大热量交换面积,进而有利于提高加热装置2的加热速度。
进一步地,供水装置1还与热水机3的进水口31连通,以此供水装置1还可用于向热水机3注入水。以此在供水装置1中的水温不受季节因素影响时,例如当季节是夏季时,此种情况下,由于供水装置1中的水的温度受季节因素影响较小,水的温度不低,供水装置1中的水可直接经热水机3的进水口31注入热水机3内,热水机3可直接对注入的水进行加热,有利于减少水加热的程序步骤,进而也能够在一定程度上提高水加热系统对水的加热速度。
进一步地,如图1所示,对于供水装置1而言,供水装置1包括供水管线11,通过供水管线11可以实现供水装置1的远距离供水。热水机3的进水口31与供水装置1之间连接有第一进水支管12。具体地,第一进水支管12连接在供水管线11和热水机3的进水口31之间,以用于实现供水管线11和热水机3进水口31的连通,即可使供水装置1与热水机3的进水口31连通。通过第一进水支管12不仅能够使供水装置1与热水机3的进水口31连通,而且在一定程度上,也能够实现供水装置1与热水机3的进水口31之间的远距离连通,即方便了供水装置1与热水机3的进水口31之间的连通,使得供水装置1与热水机3的进水口31之间的连通不受距离的限制,有利于供水装置1和热水机3之间的布置。
进一步地,对于第一进水支管12而言,如图1所示,第一进水支管12上设置有用于控制自身通断的第一阀门4,即通过第一阀门4能够控制热水机3的进水口31和供水装置1之间的通断。通过第一阀门4,能够根据具体环境温度的不同具体控制第一进水支管12的通断,尤其在环境温度较低的情况下,通过第一阀门4的关闭阻断供水装置1与进水口31的连通,能够避免温度较低的水流进热水机3,进而能够避免对加热装置2第一次加热后的水的温度的影响,有利于保证热水机3的加热速度。
进一步地,如图1所示,第一空间21与供水装置1之间连接有第二进水支管13,以使第一空间21与供水装置1连通;热水机3的进水口31与第一空间21之间连接有出水支管6,以使热水机3的进水口31与第一空间21连通。具体地,第二进水支管13连接在内壳23和供水管线11之间,因此通过第二进水支管13可以实现内壳23的内腔与供水管线11之间的连通,即可以实现第一空间21与供水装置1的连通。出水支管6连接在内壳23与热水机3的进水口31之间,因此通过出水支管6可以实现内壳23的内腔与热水机3的进水口31之间的连通,即可以实现热水机3的进水口31与第一空间21的连通。
通过第二进水支管13以及出水支管6可以实现加热装置2与供水装置1以及热水机3之间的远距离连通,有利于方便加热装置2与供水装置1以及热水机3之间布置。
如图1所示,第二进水支管13上设置有控制自身通断的第二阀门7,以此通过第二阀门7可以实现对第一空间21和供水装置1之间通断的控制。在第一阀门4对第一进水支管12通断控制的基础上,通过第二阀门7对第二进水支管13通断的控制,能够使水加热系统根据季节因素的影响对水的加热方式因需进行调节,有利于方便水加热系统使用,同时因需调节相应地也能够提高水的加热速度。
具体地,例如在夏季时,由于环境温度较高,季节因素对供水装置1中的水的温度影响较小,供水装置1中的水的温度不低,因此无需使用加热装置2对水进行第一次加热,此时,打开第一阀门4,可以通过关闭第二阀门7阻断第一空间21和供水装置1之间的连通,可以直接通过热水机3对水进行加热。当然,由于供水装置1中的水的温度不低,因此也可以打开第一阀门4以及第二阀7,利用加热装置2以及热水机3同时对水进行加热。
在冬季时,由于环境温度较低,季节因素对供水装置1中的水的温度影响较大,供水装置1中的水的温度较低,因此需要使用加热装置2对水进行第一次加热,此时,关闭第一阀门4,打开第二阀门7,利用加热装置2对水进行第一次加热,再利用热水机3对第一次加热后的水进行第二次加热。
进一步地,对于第一阀门4和第二阀门7而言,在本实施例中,第一阀门4和第二阀门7均为手动阀,这样不仅能够实现第一进水支管12和第二进水支管13通断的控制,而且由于手动阀价格相对较低,因此也能够在一定程度上降低成本。
进一步地,对于加热装置2而言,加热装置2还包括与第二空间22连通的废水排出口(图中未标注),废水排出口用于与药液槽连通,以用于将第二空间22内的废水排至药液槽。具体地,在本实施例中,废水排出口设置在外壳24的底部。由于第二空间22内的废水使用一段时间之后温度会降低,因此通过废水排出口将第二空间22内的废水排至药液槽,不仅能够实现水的重复利用,有利于节省水资源,而且废水在药液槽内也能够恢复水温,可以再次进入第二空间22重新使用,另外,也能够实现对第一空间21内水的循环加热,有利于进一步提高水的加热速度。
水加热系统还包括排废阀8,排废阀8用于设置在废水排出口和药液槽之间,以控制废水排出口和药液槽之间的通断,进而可以控制第二空间22和药液槽之间的通断。具体地,如图1所示,废水排出口处连接有与其连通的排废管9,且排废管9也与药液槽连通,排废阀8设置在排废管9上,以此通过排废阀8控制排废管9的通断可实现对废水排出口和药液槽之间通断的控制。
通过排废阀8对第二空间22和药液槽之间通断的控制,可以使废水在第二空间22内储存一定的时长,这样不仅能够实现对第一空间21内水的循环加热,而且也能够充分利用第二空间22内废水的温度对水进行充分加热。另外,也能够在一定程度上减缓废水的循环速度,减缓药液槽的排废次数,有利于方便药液槽进行制绒工序。
进一步地,对于排废阀8而言,在本实施例中,排废阀8为自动控制阀,且为气动阀,这样通过排废阀8方便了对第二空间22和药液槽之间通断的控制,有利于节省人力,降低劳动强强度。在其他实施例中,作为自动控制阀的排废阀8也可以是电动阀或者液压阀。
在一种可能的实施例中,供水装置1和热水机3的进水口31之间不设置第一进水支管12,即不设置第一进水支管12和第一阀门4,此种情况下,供水装置1的本体直接与热水机3的进水口31连通,例如作为供水装置1的储水罐直接与热水机3的进水口31连通,这样能够节省供水装置1与热水机3之间的连接管线,进而能够降低成本。
在一种可能的实施例中,如图2所示,供水装置1不与热水机3的进水口31连通,供水装置1只与第一空间21连通,以此不仅可以在温度较低的季节利用加热装置2对水进行第一次加热,而且也可以在温度较高的季节利用加热装置2对水进行第一次加热,因此无论是在哪个季节均可以通过加热装置2对水进行第一次加热,有利于提高热水机3的加热速度。
对于供水装置1与第一空间21两者之间的连通方式,两者之间可以通过第二进水支管13进行连通,当然供水装置1的本体也可以直接与第一空间21连通,例如作为供水装置1的储水罐直接与第一空间21连通。当供水装置1与第一空间21直接连通时,能够节省连接两者的管线,进而能够降低成本。
在一种可能的实施例中,如图3所示,第二进水支管13上不设置第二阀门7,出水支管6上设置有第二阀门7。在热水机3不需要加热装置2提前加热水时,仍然可以使用加热装置2对水进行第一次加热,以此当热水机3需要加热装置2提前加热时,可以直接将加热好的注入热水机3,能够减少加热时长,即此种情况下,加热装置2内始终备好有加热好的水。
在其他的实施例中,如图4所示,第二进水支管13和出水支管6上均设置有第二阀门7。这样当第二进水支管13和出水支管6中一者上的第二阀门7损坏后,仍然可以使用另一个第二阀门7控制,以使加热装置2不向热水机3提供热水。
在一种可能的实施例中,如图5所示,第二进水支管13和出水支管6上均不设置第二阀门7。此时,无论是何种情况,都可以使用加热装置2对水进行第一次加热,能够进一步提高热水机3的加热速度,同时由于不设置第二阀门7,因此也能够在一定程度上降低成本。
在一种可能的实施例中,热水机3的进水口31与第一空间21之间不设置出水支管6,围成第一空间21的壳体直接与热水机3的进水口31连接,以实现热水机3的进水口31与第一空间21之间的连通。此时,能够节省连接第一空间21和进水口31之间的管线,有利于降低成本。
在一种可能的实施例中,第一阀门4为手动阀,第二阀门7为自动控制阀,以此能够节省人力,降低劳动强度。在其他的实施例中,第一阀门4为自动控制阀,第二阀门7为手动阀,或者,第一阀门4和第二阀门7均为自动控制阀。此时,不仅能够通过作为自动控制阀的一方节省人力,降低劳动强度,而且也能够通过作为手动阀的一方降低成本。
在一种可能的实施例中,排废阀为手动阀,以此通过作为手动阀的排废阀能够降低成本。
在一种可能的实施例中,不设置排废阀,此时不控制废水排出口和药液槽之间的通断,即能够实现对第一空间21内水的持续循环加热,使得第二空间22内的废水温度始终较高,因此也能够在一定程度上提高加热速度。
在一种可能的实施例中,不设置废水排出口,此种情况下,第二空间22内的废水可经药液槽向第二空间22注入废水的相反途径排出,以此能够简化加热装置2的结构,方便加热装置2的加工制造。
最后应说明的是:以上各实施例仅用以说明本实用新型的技术方案,而非对其限制;尽管参照前述各实施例对本实用新型进行了详细的说明,本领域的普通技术人员应当理解:其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改,或者对其中部分或者全部技术特征进行等同替换;而这些修改或者替换,并不使相应技术方案的本质脱离本实用新型各实施例技术方案的范围。
Claims (10)
1.一种水加热系统,其特征在于,包括:
供水装置;
加热装置,所述加热装置包括相邻布置且彼此密封隔开的第一空间和第二空间,所述第一空间与所述供水装置连通,所述供水装置用于向所述第一空间注入水;
热水机,所述热水机包括进水口和出水口,所述进水口与所述第一空间连通,所述出水口用于与槽式机台的药液槽连通;
所述第二空间用于与所述药液槽连通,以使所述药液槽内的废水进入所述第二空间以对所述第一空间内的水进行第一次加热,第一次加热后的水经过所述进水口进入所述热水机,所述热水机用于对第一次加热后的水进行第二次加热并通过所述出水口注入所述药液槽。
2.根据权利要求1所述的水加热系统,其特征在于,所述供水装置还与所述进水口连通,所述供水装置还用于向所述热水机注入水。
3.根据权利要求2所述的水加热系统,其特征在于,所述进水口与所述供水装置之间连接有第一进水支管,以使所述供水装置与所述进水口连通,所述第一进水支管上设置有用于控制自身通断的第一阀门。
4.根据权利要求3所述的水加热系统,其特征在于,所述第一空间与所述供水装置之间连接有第二进水支管,以使所述第一空间与所述供水装置连通;所述进水口与所述第一空间之间连接有出水支管,以使所述进水口与所述第一空间连通。
5.根据权利要求4所述的水加热系统,其特征在于,所述第二进水支管和所述出水支管中的至少一者上设置有控制自身通断的第二阀门。
6.根据权利要求1-5中任一项所述的水加热系统,其特征在于,所述加热装置还包括与所述第二空间连通的废水排出口,所述废水排出口用于与所述药液槽连通,以用于将所述第二空间内的所述废水排至所述药液槽。
7.根据权利要求6所述的水加热系统,其特征在于,所述水加热系统还包括排废阀,所述排废阀用于设置在所述废水排出口和所述药液槽之间,以控制所述废水排出口和所述药液槽之间的通断。
8.根据权利要求7所述的水加热系统,其特征在于,所述排废阀为自动控制阀。
9.根据权利要求1-5中任一项所述的水加热系统,其特征在于,所述加热装置包括内外间隔布置且彼此密封隔开的内壳和外壳,所述内壳的内腔用于构成所述第一空间和所述第二空间中的其中一个,所述内壳和所述外壳之间的空间用于构成所述第一空间和所述第二空间中的另一个。
10.根据权利要求9所述的水加热系统,其特征在于,所述内壳的内腔用于构成所述第一空间,所述内壳和所述外壳之间的空间用于构成所述第二空间。
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2023
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