CN213762623U - 一种金属掩膜板生产用涂胶装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供一种金属掩膜板生产用涂胶装置。所述金属掩膜板生产用涂胶装置包括涂胶装置本体；底座，所述底座固定安装在所述涂胶装置本体的底部；框道，所述框道开设在所述底座的顶部；两个滑孔，两个所述滑孔分别开设在所述框道的两侧内壁上；纠正框，所述纠正框滑动安装在所述框道内；下密封框，所述下密封框固定安装在所述纠正框的顶部，所述下密封框的顶部延伸至所述底座外并位于所述涂胶装置本体外；两个升降机构，两个所述升降机构分别设置在所述底座的两侧并分别和两个所述滑孔对应分布。本实用新型提供的金属掩膜板生产用涂胶装置具有能够对喷涂装置进行封闭作业、减少灰尘杂质落入、且能够在喷涂前进行除尘的优点。

Description

一种金属掩膜板生产用涂胶装置

技术领域

本实用新型涉及金属掩膜板生产技术领域，尤其涉及一种金属掩膜板生产用涂胶装置。

背景技术

在芯片制造里，掩膜板就是光罩。它可以被理解为包含芯片版图信息的胶片，经过曝光以后，掩膜板里的版图就被刻到了晶圆上，伴随着芯片等电子行业的发展对掩膜板的需求越来越大，关于掩膜板的生产制造一直是人们所研究的方向，其中在掩膜板的生产中涂抹光刻胶是一项重要步骤，光刻胶在涂抹时是否厚度均匀和洁净程度直接影响产品的质量，目前在涂胶时主要采用涂胶装置进行涂胶，其涂胶装置通常配有可升降的喷头和可前后移动的轨道，在喷涂时通过电脑终端即可对放置在底座上的原料板控制喷涂，喷涂较为均匀。

然而目前市场上所使用的涂胶装置多采用暴露式喷涂，时常出现由于喷涂房间内有灰尘和杂质落入的情况，影响产品质量，同时空气中的气流也可能影响到喷涂效果，导致胶水在细微处均匀性差。

因此，有必要提供一种新的金属掩膜板生产用涂胶装置解决上述技术问题。

实用新型内容

本实用新型解决的技术问题是提供一种具有能够对喷涂装置进行封闭作业、减少灰尘杂质落入、且能够在喷涂前进行除尘的金属掩膜板生产用涂胶装置。

为达到上述目的，本实用新型的技术方案具体是这样实现的：

本实用新型的提供了一种金属掩膜板生产用涂胶装置，包括：涂胶装置本体；底座，所述底座固定安装在所述涂胶装置本体的底部；框道，所述框道开设在所述底座的顶部；两个滑孔，两个所述滑孔分别开设在所述框道的两侧内壁上；纠正框，所述纠正框滑动安装在所述框道内；下密封框，所述下密封框固定安装在所述纠正框的顶部，所述下密封框的顶部延伸至所述底座外并位于所述涂胶装置本体外；两个升降机构，两个所述升降机构分别设置在所述底座的两侧并分别和两个所述滑孔对应分布；上密封框，所述上密封框设置在所述下密封框的顶部，所述上密封框位于所述涂胶装置本体外；两个调节机构，两个所述调节机构分别设置在所述底座和所述上密封框的前后两侧；除尘机构，所述除尘机构设置在所述上密封框上；

作为本实用新型进一步的方案，所述升降机构包括连接块、齿条、电机和齿轮，所述连接块滑动安装在所述滑孔内，所述连接块的一侧延伸至所述框道内并和所述下密封框的一侧固定连接，所述连接块远离所述下密封框的一侧延伸至所述底座外，所述齿条固定安装在所述连接块远离所述下密封框的一侧上，所述齿条的一侧和所述底座的一侧滑动接触，所述电机固定安装在所述底座位于所述齿条的一侧上，所述电机位于所述齿条的后侧，所述齿轮固定安装在所述电机的输出轴上，所述齿轮和所述齿条相啮合。

作为本实用新型进一步的方案，所述调节机构包括两个固定块、两个导套、两个滑杆、连接板、支撑板和电动伸缩杆，两个所述固定块均固定安装在所述上密封框的正面上，两个所述导套均固定安装在所述底座的正面上并分别和两个所述固定块对应分布，两个所述滑杆分别滑动安装在两个所述导套上，两个所述滑杆的顶端和底端分别延伸至两个所述导套外，两个所述滑杆的顶端分别和两个所述固定块的底部固定连接，所述连接板固定安装在两个所述滑杆的底端上，所述连接板和所述底座的正面滑动接触，所述支撑板固定安装在所述底座的正面上，所述支撑板位于所述连接板的下方，所述电动伸缩杆固定安装在所述支撑板的顶部，所述电动伸缩杆的输出杆和所述连接板的底部固定连接。

作为本实用新型进一步的方案，所述除尘机构包括风机、集尘箱和吸尘管，所述风机固定安装在所述上密封框的顶部，所述集尘箱固定安装在所述上密封框的顶部并位于所述风机的左侧，所述集尘箱的右侧和所述风机的进风端固定连接，所述吸尘管固定安装在所述集尘箱的左侧上，所述吸尘管的进风端和所述上密封框的顶部固定连接。

作为本实用新型进一步的方案，所述底座的正面固定安装有四个呈矩形阵列分布的安装块，四个所述安装块上分别固定安装有两个导杆，两个所述导杆均和所述连接板滑动连接。

作为本实用新型进一步的方案，所述集尘箱的顶部开设有操作口，所述集尘箱的顶部法兰安装有密封板，所述密封板和所述操作口相适配。

本实用新型提供了一种金属掩膜板生产用涂胶装置，有益效果在于：本装置通过可移动的下密封框和上密封框形成相对密封的空间，之后通过风机除尘的方式使上述空间内的空气的杂质排出，避免了灰尘对喷涂效果的影响，同时密封的空间避免了扰流风的存在，从而提高了喷涂的均匀性，使用效果较好，且本装置整体使用较为灵活。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域的普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他附图。

图1为本实用新型提供的金属掩膜板生产用涂胶装置的一种较佳实施例的主视剖视结构示意图；

图2为图1所示A部分的放大结构示意图；

图3为图1所示B部分的放大结构示意图；

图4为本实用新型提供的金属掩膜板生产用涂胶装置的一种较佳实施例的后视结构示意图。

图中标号：1、涂胶装置本体；2、底座；3、框道；4、滑孔；5、纠正框；6、下密封框；7、连接块；8、齿条；9、电机；10、齿轮；11、上密封框；12、固定块；13、导套；14、滑杆；15、连接板；16、支撑板；17、电动伸缩杆；18、风机；19、集尘箱；20、吸尘管。

具体实施方式

下面将参照附图更详细地描述本公开的示例性实施例。虽然附图中显示了本公开的示例性实施例，然而应当理解，可以以各种形式实现本公开而不应被这里阐述的实施例所限制。相反，提供这些实施例是为了能够更透彻地理解本公开，并且能够将本公开的范围完整的传达给本领域的技术人员。

参见图1-图4，本实用新型实施例提供的一种金属掩膜板生产用涂胶装置包括：涂胶装置本体1；底座2，所述底座2固定安装在所述涂胶装置本体1的底部；框道3，所述框道3开设在所述底座2的顶部；两个滑孔4，两个所述滑孔 4分别开设在所述框道3的两侧内壁上；纠正框5，所述纠正框5滑动安装在所述框道3内；下密封框6，所述下密封框6固定安装在所述纠正框5的顶部，所述下密封框6的顶部延伸至所述底座2外并位于所述涂胶装置本体1外；两个升降机构，两个所述升降机构分别设置在所述底座2的两侧并分别和两个所述滑孔4对应分布；上密封框11，所述上密封框11设置在所述下密封框6的顶部，所述上密封框11位于所述涂胶装置本体1外；两个调节机构，两个所述调节机构分别设置在所述底座2和所述上密封框11的前后两侧；除尘机构，所述除尘机构设置在所述上密封框11上；

所述升降机构包括连接块7、齿条8、电机9和齿轮10，所述连接块7滑动安装在所述滑孔4内，所述连接块7的一侧延伸至所述框道3内并和所述下密封框6的一侧固定连接，所述连接块7远离所述下密封框6的一侧延伸至所述底座 2外，所述齿条8固定安装在所述连接块7远离所述下密封框6的一侧上，所述齿条8的一侧和所述底座2的一侧滑动接触，所述电机9固定安装在所述底座2 位于所述齿条8的一侧上，所述电机9位于所述齿条8的后侧，所述齿轮10固定安装在所述电机9的输出轴上，所述齿轮10和所述齿条8相啮合。

所述调节机构包括两个固定块12、两个导套13、两个滑杆14、连接板15、支撑板16和电动伸缩杆17，两个所述固定块12均固定安装在所述上密封框11 的正面上，两个所述导套13均固定安装在所述底座2的正面上并分别和两个所述固定块12对应分布，两个所述滑杆14分别滑动安装在两个所述导套13上，两个所述滑杆14的顶端和底端分别延伸至两个所述导套13外，两个所述滑杆 14的顶端分别和两个所述固定块12的底部固定连接，所述连接板15固定安装在两个所述滑杆14的底端上，所述连接板15和所述底座2的正面滑动接触，所述支撑板16固定安装在所述底座2的正面上，所述支撑板16位于所述连接板 15的下方，所述电动伸缩杆17固定安装在所述支撑板16的顶部，所述电动伸缩杆17的输出杆和所述连接板15的底部固定连接。

所述除尘机构包括风机18、集尘箱19和吸尘管20，所述风机18固定安装在所述上密封框11的顶部，所述集尘箱19固定安装在所述上密封框11的顶部并位于所述风机18的左侧，所述集尘箱19的右侧和所述风机18的进风端固定连接，所述吸尘管20固定安装在所述集尘箱19的左侧上，所述吸尘管20的进风端和所述上密封框11的顶部固定连接。

所述底座2的正面固定安装有四个呈矩形阵列分布的安装块，四个所述安装块上分别固定安装有两个导杆，两个所述导杆均和所述连接板15滑动连接。

所述集尘箱19的顶部开设有操作口，所述集尘箱19的顶部法兰安装有密封板，所述密封板和所述操作口相适配。

本实用新型提供的金属掩膜板生产用涂胶装置的工作原理如下：

使用时首先打开密封板，通过操作口将滤棉等过滤件放置在集尘箱19内，之后重新封闭密封板即可；

当需要放置基板时首先同时启动两个电机9，两个电机9的输出轴同步反向转动带动两个齿轮10同步反向转动，此时两个齿轮10带动两个啮合的齿条8 滑动下移，齿条8通过连接块7带动下密封框6和纠正框5下移，直至纠正框5 的底部接触到框道3的底部内壁上即可，此时可将基板放置在底座2上并对准涂胶装置本体1的喷嘴处即可，随后启动两个电机9，使两个电机9的输出轴反转使下密封框6复位接触到上密封框11完成密封工作，随后启动风机18，风机18 通过吸尘管20吸出下密封框6和上密封框11之内的空气和杂质，杂质通过集尘箱19内时被安装的滤件吸附后排出空气，随后方可关闭风机18进行涂胶作业，下密封框6和上密封框11组合成的密封空间能够有效避免杂质的进入，同时没有扰流气体的存在，提高了喷涂的均匀性；

当需要调节上密封框11的位置时，首先通过启动两个电动伸缩杆17，电动伸缩杆17的输出杆回缩通过连接板15带动滑杆14下移，从而使上密封框11 下移达到调节位置的目的，反之则只需反向启动电动伸缩杆17即可。

与相关技术相比较，本实用新型提供的金属掩膜板生产用涂胶装置具有如下有益效果：

本实用新型提供一种金属掩膜板生产用涂胶装置，本装置通过可移动的下密封框6和上密封框11形成相对密封的空间，之后通过风机18除尘的方式使上述空间内的空气的杂质排出，避免了灰尘对喷涂效果的影响，同时密封的空间避免了扰流风的存在，从而提高了喷涂的均匀性，使用效果较好，且本装置整体使用较为灵活。

以上仅为本申请的实施例而已，并不用于限制本申请。对于本领域技术人员来说，本申请可以有各种更改和变化。凡在本申请的精神和原理之内所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本申请的权利要求范围之内。

Claims (6)

1.一种金属掩膜板生产用涂胶装置，其特征在于，包括：

涂胶装置本体；

底座，所述底座固定安装在所述涂胶装置本体的底部；

框道，所述框道开设在所述底座的顶部；

两个滑孔，两个所述滑孔分别开设在所述框道的两侧内壁上；

纠正框，所述纠正框滑动安装在所述框道内；

下密封框，所述下密封框固定安装在所述纠正框的顶部，所述下密封框的顶部延伸至所述底座外并位于所述涂胶装置本体外；

两个升降机构，两个所述升降机构分别设置在所述底座的两侧并分别和两个所述滑孔对应分布；

上密封框，所述上密封框设置在所述下密封框的顶部，所述上密封框位于所述涂胶装置本体外；

两个调节机构，两个所述调节机构分别设置在所述底座和所述上密封框的前后两侧；

除尘机构，所述除尘机构设置在所述上密封框上。

2.根据权利要求1所述的金属掩膜板生产用涂胶装置，其特征在于，所述升降机构包括连接块、齿条、电机和齿轮，所述连接块滑动安装在所述滑孔内，所述连接块的一侧延伸至所述框道内并和所述下密封框的一侧固定连接，所述连接块远离所述下密封框的一侧延伸至所述底座外，所述齿条固定安装在所述连接块远离所述下密封框的一侧上，所述齿条的一侧和所述底座的一侧滑动接触，所述电机固定安装在所述底座位于所述齿条的一侧上，所述电机位于所述齿条的后侧，所述齿轮固定安装在所述电机的输出轴上，所述齿轮和所述齿条相啮合。

3.根据权利要求1所述的金属掩膜板生产用涂胶装置，其特征在于，所述调节机构包括两个固定块、两个导套、两个滑杆、连接板、支撑板和电动伸缩杆，两个所述固定块均固定安装在所述上密封框的正面上，两个所述导套均固定安装在所述底座的正面上并分别和两个所述固定块对应分布，两个所述滑杆分别滑动安装在两个所述导套上，两个所述滑杆的顶端和底端分别延伸至两个所述导套外，两个所述滑杆的顶端分别和两个所述固定块的底部固定连接，所述连接板固定安装在两个所述滑杆的底端上，所述连接板和所述底座的正面滑动接触，所述支撑板固定安装在所述底座的正面上，所述支撑板位于所述连接板的下方，所述电动伸缩杆固定安装在所述支撑板的顶部，所述电动伸缩杆的输出杆和所述连接板的底部固定连接。

4.根据权利要求1所述的金属掩膜板生产用涂胶装置，其特征在于，所述除尘机构包括风机、集尘箱和吸尘管，所述风机固定安装在所述上密封框的顶部，所述集尘箱固定安装在所述上密封框的顶部并位于所述风机的左侧，所述集尘箱的右侧和所述风机的进风端固定连接，所述吸尘管固定安装在所述集尘箱的左侧上，所述吸尘管的进风端和所述上密封框的顶部固定连接。

5.根据权利要求3所述的金属掩膜板生产用涂胶装置，其特征在于，所述底座的正面固定安装有四个呈矩形阵列分布的安装块，四个所述安装块上分别固定安装有两个导杆，两个所述导杆均和所述连接板滑动连接。

6.根据权利要求4所述的金属掩膜板生产用涂胶装置，其特征在于，所述集尘箱的顶部开设有操作口，所述集尘箱的顶部法兰安装有密封板，所述密封板和所述操作口相适配。

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