CN210796610U - 一种用于旋转靶绑定的水冷环装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型一种用于旋转靶绑定的水冷环装置，包括水循环装置和水冷环，水冷环包括环体，环体内设置有中空的储水腔，储水腔贯穿于整个环体的内侧，环体的底面设置有多个喷水孔，喷水孔连接于储水腔，环体的侧面设置有进水部，进水部为一中空管体，进水部的一端连接于储水腔，进水部的另一端连接水循环装置。本实用新型的水冷环装置能对旋转靶的靶材管进行均匀降温，减短生产时间，提高生产效率。

Description

一种用于旋转靶绑定的水冷环装置

技术领域

本实用新型涉及旋转靶绑定技术领域，尤其是涉及一种用于旋转靶绑定的水冷环装置。

背景技术

旋转靶材呈空心圆管状，能够围绕固定的条状磁铁组件旋转，可360度均匀刻蚀靶面，具有利用率高，镀膜连续性好、镀膜成分均匀等优点。

旋转靶材的传统绑定方法是将直径较大的圆筒状靶材套在直径相对较小的背管上，并在两者之间注入融合的金属铟，待冷却后，使得旋转靶材和背管通过凝固的铟连接成为一体，达到绑定的目的。传统的绑定方法将旋转靶材分多段依次绑定，该种绑定方法需要在前一段绑定的旋转靶材冷却后才能进行下一段旋转靶材的绑定，生产效率低，且旋转靶材之间的连接端口多，容易在焊接过程中端口变形而出现焊料的渗漏，内部焊料填充不充分，导致绑定效果差。

因此旋转靶需要一次整体绑定，在绑定加热后，等旋转靶自然冷却，冷却时间长，生产效率低。

实用新型内容

针对现有技术存在的不足，本实用新型的目的是提供一种用于旋转靶绑定的水冷环装置，能对旋转靶的靶材管进行均匀降温，减短生产时间，提高生产效率。

为了实现上述目的，本实用新型所采用的技术方案是：一种用于旋转靶绑定的水冷环装置，包括水循环装置和水冷环，水冷环包括环体，环体内设置有中空的储水腔，储水腔贯穿于整个环体的内侧，环体的底面设置有多个喷水孔，喷水孔连接于储水腔，环体的侧面设置有进水部，进水部为一中空管体，进水部的一端连接于储水腔，进水部的另一端连接水循环装置。

进一步的技术方案中，所述环体的底面设置有一喷水面，喷水面向环体的顶面方向倾斜设定角度，所述喷水孔设置于喷水面。

进一步的技术方案中，所述环体的底面的外侧设置有一间隔面，环体的底面内侧设置有所述喷水面，间隔面和喷水面组成环体的底面。

进一步的技术方案中，所述喷水面倾斜的设定角度为30-60度，喷水面的最高位置与所述环体的顶面之间设置有设定1-2cm的距离形成靶体保护面，间隔面的宽度设置在0.5-1.3cm。

进一步的技术方案中，所述喷水孔间隔相等地圆周分布于所述喷水面，喷水孔的直径设置在1-3mm，喷水孔的数量设置在30-50个。

进一步的技术方案中，所述环体的侧面设置有一手握部，手握部为一圆柱形，手握部的一端固定连接于环体的侧面，手握部的位置与所述进水部的位置相对。

进一步的技术方案中，所述环体的侧面的相对两侧各设置有升降连接部，升降连接部包括有两个固定片，固定片的一端固定连接于环体的侧面，固定片的另一端设置有一升降连接孔。

进一步的技术方案中，所述水循环装置包括升降机构、连接水管、水泵和循环池，连接水管的一端连接所述进水部的端口，连接水管的另一端连接水泵的出水口，水泵的进水口连接循环池，循环池用于收集并盛装冷却旋转靶的液体，升降机构连接于所述水冷环，水冷环滑动于循环池的上方。

进一步的技术方案中，所述升降机构包括支架，支架的一端固定于地面，另一端安装有滑轮，滑轮安装于所述旋转靶的上方，滑轮上安装有链条，链条分别穿过所述水冷环两侧的所述升降连接孔将水冷环滑动安装于滑轮。

进一步的技术方案中，所述升降机构包括支架，支架竖直安装有一滑轨，滑轨安装于所述旋转靶的一侧，滑轨设置有一滑动座，滑动座滑动安装于滑轨，滑动座设置有一滑动连接杆，滑动连接杆的一端连接滑动座，滑动连接杆的另一端与所述升降连接孔连接。

采用上述结构后，本实用新型和现有技术相比所具有的优点是：本实用新型的水冷环装置可以对绑定加热后的旋转靶进行均匀冷却，加快旋转靶冷却的时间，提高生产效率，同时也能将冷却旋转靶的液体进行循环使用，节约能源，环保。

附图说明

下面结合附图和实施例对本实用新型进一步说明。

图1是本实用新型的水冷环的仰视图。

图2是本实用新型的图1A-A处水冷环的剖视图。

图3是本实用新型的水冷环的结构示意图。

图4是本实用新型的水冷环装置的结构示意图。

图中：10-旋转靶；

51-升降机构、52-连接水管、53-水泵、54-循环池、48-支架、56-滑轮、57-链条；

60-环体、61-储水腔、62-喷水孔、63-进水部、64-喷水面、65-间隔面、66-靶体保护面、67-手握部、68-固定片、69-升降连接孔。

具体实施方式

以下仅为本实用新型的较佳实施例，并不因此而限定本实用新型的保护范围。

一种用于旋转靶绑定的水冷环装置，如图1-图4所示，包括水循环装置和水冷环，水冷环包括环体60，环体60内设置有中空的储水腔61，储水腔61贯穿于整个环体60的内侧，环体60的底面设置有多个喷水孔62，喷水孔62连接于储水腔61，环体60的侧面设置有进水部63，进水部63为一中空管体，进水部63的一端连接于储水腔61，进水部63的另一端连接水循环装置。

现有的绑定加热后的旋转靶10经过自然冷却，但自然冷却等待时间长，导致生产效率低。本实用新型的水冷环装置通过水循环装置将水通过进水部63将水通入储水腔61，当储水腔61的水量达到一定程度，储水腔61内也形成一定水压，储水腔61内的水即从喷水孔62喷出至旋转靶10的表面，从而将旋转靶10进行冷却，加快了旋转靶10冷却的时间，提高旋转靶10的生产效率。

在水冷环使用时，环体60的底面为竖直向下的面，环体60的顶面为竖直向上的面。环体60的底面设置有一喷水面64，喷水面64向环体60的顶面方向倾斜设定角度，喷水孔62设置于喷水面64。喷水面64设置有一定的倾斜角度，且喷水面64倾斜朝向旋转靶10，则喷水面64上的喷水孔62中的水直接朝向旋转靶10喷洒，使喷水方向更为精准也是喷射的水更为集中地喷射于旋转靶10的表面。优选地，喷水面64倾斜的设定角度为30-60度。

环体60的底面的外侧设置有一间隔面65，环体60的底面内侧设置有喷水面64，间隔面65和喷水面64组成环体60的底面。环体60的内侧为接近旋转靶10的一侧，环体60的外侧相对内侧更为远离旋转靶10的一侧。该间隔面65有一定的宽度，使喷水面64更为接近旋转靶10，在较小水压的情况下便能达到均匀喷水冷却旋转靶10的目的，优选的，间隔面65的宽度设置在0.5-1.3cm。

喷水面64的最低位置与环体60的顶面之间设置有设定1-2cm的距离形成靶体保护面66，在绑定冷却时，水冷环在旋转靶10的表面滑动，靶体保护面66与旋转靶10的侧面之间保持平行，放置水冷环在滑动时刮损旋转靶10的表面层，靶体保护面66对旋转靶10的表面起保护作用。

更为具体地，喷水孔62间隔相等地圆周分布于喷水面64，喷水孔62的直径设置在1-3mm，喷水孔62的数量设置在30-50个。喷水孔62间隔相等地圆周分布使喷水量与喷水范围更为均匀，同时喷水孔62的直径不适宜太大，喷水孔62径过大影响喷洒时的水压，水压过小影响喷洒效果，因此直径设置在1-3mm为最优范围值。喷水孔62数量多，且均匀分布，喷水效果更佳。

环体60的侧面设置有一手握部67，手握部67为一圆柱形，手握部67的一端固定连接于环体60的侧面，手握部67的位置与进水部63的位置相对。手握部67便于工作人员在安装时的操作。

环体60的侧面的相对两侧各设置有升降连接部，升降连接部包括有两个固定片68，固定片68的一端固定连接于环体60的侧面，固定片68的另一端设置有一升降连接孔69。升降连接部用于与升降机构51相连接，通过升降连接部使水冷环安装于升降机构51，通过升降机构51带动水冷环上下滑动。

具体地，水循环装置包括升降机构51、连接水管52、水泵53和循环池54，连接水管52的一端连接进水部63的端口，连接水管52的另一端连接水泵53的出水口，水泵53的进水口连接循环池54，循环池54用于收集并盛装冷却旋转靶10的液体，升降机构51连接于水冷环，水冷环滑动于循环池54的上方。旋转靶10竖直地位于循环池54内，在水冷环对旋转靶10喷水冷却时，水冷环中喷洒至旋转靶10的水顺着旋转靶10的表面流向循环池54，循环池54中的水再经过水泵53，通过连接水管52重新流向水冷环，冷却的水不断地重复循环。

升降机构51的其中之一实施方式，如图4所示，升降机构51包括支架48，支架48的一端固定于地面，另一端安装有滑轮56，滑轮56安装于旋转靶10的上方，滑轮56上安装有链条57，链条57分别穿过升降连接孔69将水冷环滑动安装于滑轮56。通过控制滑轮56上链条57的长度，从而控制水冷环的升降。

升降机构51的另一实施方式，升降机构51包括支架48，支架48竖直安装有一滑轨，滑轨安装于旋转靶10的一侧，滑轨设置有一滑动座，滑动座滑动安装于滑轨，滑动座设置有一滑动连接杆，滑动连接杆的一端连接滑动座，滑动连接杆的另一端与升降连接孔69连接。通过控制滑动座在滑轨上的上下滑动，滑动座从而带动水冷环的升降。

以上内容仅为本实用新型的较佳实施例，对于本领域的普通技术人员，依据本实用新型的思想，在具体实施方式及应用范围上均会有改变之处，本说明书内容不应理解为对本实用新型的限制。

Claims (10)

1.一种用于旋转靶绑定的水冷环装置，其特征在于：包括水循环装置和水冷环，水冷环包括环体(60)，环体(60)内设置有中空的储水腔(61)，储水腔(61)贯穿于整个环体(60)的内侧，环体(60)的底面设置有多个喷水孔(62)，喷水孔(62)连接于储水腔(61)，环体(60)的侧面设置有进水部(63)，进水部(63)为一中空管体，进水部(63)的一端连接于储水腔(61)，进水部(63)的另一端连接水循环装置。

2.根据权利要求1所述的一种用于旋转靶绑定的水冷环装置，其特征在于：所述环体(60)的底面设置有一喷水面(64)，喷水面(64)向环体(60)的顶面方向倾斜设定角度，所述喷水孔(62)设置于喷水面(64)。

3.根据权利要求2所述的一种用于旋转靶绑定的水冷环装置，其特征在于：所述环体(60)的底面的外侧设置有一间隔面(65)，环体(60)的底面内侧设置有所述喷水面(64)，间隔面(65)和喷水面(64)组成环体(60)的底面。

4.根据权利要求3所述的一种用于旋转靶绑定的水冷环装置，其特征在于：所述喷水面(64)倾斜的设定角度为30-60度，喷水面(64)的最高位置与所述环体(60)的顶面之间设置有设定1-2cm的距离形成靶体保护面(66)，所述间隔面(65)的宽度设置在0.5-1.3cm。

5.根据权利要求2所述的一种用于旋转靶绑定的水冷环装置，其特征在于：所述喷水孔(62)间隔相等地圆周分布于所述喷水面(64)，喷水孔(62)的直径设置在1-3mm，喷水孔(62)的数量设置在30-50个。

6.根据权利要求1所述的一种用于旋转靶绑定的水冷环装置，其特征在于：所述环体(60)的侧面设置有一手握部(67)，手握部(67)为一圆柱形，手握部(67)的一端固定连接于环体(60)的侧面，手握部(67)的位置与所述进水部(63)的位置相对。

7.根据权利要求1所述的一种用于旋转靶绑定的水冷环装置，其特征在于：所述环体(60)的侧面的相对两侧各设置有升降连接部，升降连接部包括有两个固定片(68)，固定片(68)的一端固定连接于环体(60)的侧面，固定片(68)的另一端设置有一升降连接孔(69)。

8.根据权利要求7所述的一种用于旋转靶绑定的水冷环装置，其特征在于：所述水循环装置包括升降机构(51)、连接水管(52)、水泵(53)和循环池(54)，连接水管(52)的一端连接所述进水部(63)的端口，连接水管(52)的另一端连接水泵(53)的出水口，水泵(53)的进水口连接循环池(54)，循环池(54)用于收集并盛装冷却旋转靶(10)的液体，升降机构(51)连接于所述水冷环，水冷环滑动于循环池(54)的上方。

9.根据权利要求8所述的一种用于旋转靶绑定的水冷环装置，其特征在于：所述升降机构(51)包括支架(48)，支架(48)的一端固定于地面，另一端安装有滑轮(56)，滑轮(56)安装于所述旋转靶(10)的上方，滑轮(56)上安装有链条(57)，链条(57)分别穿过所述水冷环两侧的所述升降连接孔(69)将水冷环滑动安装于滑轮(56)。

10.根据权利要求8所述的一种用于旋转靶绑定的水冷环装置，其特征在于：所述升降机构(51)包括支架(48)，支架(48)竖直安装有一滑轨，滑轨安装于所述旋转靶(10)的一侧，滑轨设置有一滑动座，滑动座滑动安装于滑轨，滑动座设置有一滑动连接杆，滑动连接杆的一端连接滑动座，滑动连接杆的另一端与所述升降连接孔(69)连接。

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