CN210015326U - 光阻供液系统 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供了一种光阻供液系统，所述光阻供液系统包括冷藏槽、解冻槽、第一计时器、第二计时器、光阻泵、暂存槽和单向阀。所述光阻供液系统中，第一计时器计量同一生产批次的光阻在所述冷藏槽内的放置时间，第二计时器计量解冻后的光阻在所述解冻槽内的放置时间，可以降低人工记录卡控保质期和解冻时间导致的差错，并节约人工工时；利用所述光阻供液系统对光刻机台供液，可防止人工运输过程中光阻对人体的伤害并降低光阻瓶破损的可能性，同时节省搬运和更换光阻瓶的人力；所述光阻供液系统中的暂存槽，可以在冷藏槽和解冻槽进行加液或者清洗时，仍然维持向光刻设备供液的状态，使得光阻供液时光刻机台不用停机，有利于增加光刻机台的产出。

Description

光阻供液系统

技术领域

本实用新型涉及半导体制造领域，尤其是一种光阻供液系统。

背景技术

光刻工艺是半导体制程工艺中的常用工艺。光阻(photoresist，PR)，也称为光刻胶或光阻剂，是指通过紫外光、深紫外光、电子束、离子束、X射线等光照或辐射，其溶解度发生变化的耐蚀刻薄膜材料，是光刻工艺中的关键材料，主要应用于集成电路和半导体分立器件的细微图形加工。

目前，光阻从冷藏库转移到光刻机台的过程主要还是通过人工完成，以下是一种目前采用的方式：作业员将盛有光阻的容器从冷藏库中取出；然后通过推车等运输工具将光阻运输到无尘室内；接着，将光阻放置于防爆柜中进行解冻，通常需要24小时才能完全解冻；最后由作业员将解冻后的光阻手动从原容器转移到光刻机台，完成向光刻机台的光阻供液过程。

上述光阻供液过程全程由作业员进行操作和管控，存在安全和生产隐患，并且占用工时，影响机台产出，具体体现在：首先，光阻有刺激性气味，如果没有做好防护，作业员在与光阻频繁接触的过程中可能受到健康损害；其次，人工运输提高了光阻瓶破损的可能性；再次，该方法每次将光阻添加到光刻机台时都需要机台停机才能进行操作，影响机台产出效率；此外，光阻解冻后需要限定在一定时间内使用，且光阻存放在冷藏库中也具有一保质期，但目前光阻的解冻时间以及保质期需要人工记录卡控，占用工时且容易出现差错。

为此，需要对现有的光阻供液方式进行改进。

实用新型内容

本实用新型提供一种光阻供液系统，目的在于实现光阻的自动供液和管控。

本实用新型提供的光阻供液系统包括：

冷藏槽，位于一光阻冷藏区，待用的光阻解冻前被存放于所述冷藏槽；

解冻槽，位于一常温区，待用的光阻在转移至光刻机台之前在所述解冻槽中进行解冻；

第一计时器和第二计时器，所述第一计时器计量同一生产批次的光阻在所述冷藏槽内的放置时间，所述第二计时器计量解冻后的光阻在所述解冻槽内的放置时间；

光阻泵，所述光阻泵的进口端连接所述冷藏槽，出口端连接所述解冻槽；

暂存槽，解冻后的光阻在转移至所述光刻机台之前部分存放于所述暂存槽内；以及

单向阀，所述单向阀的进口端连接所述解冻槽，出口端连接所述暂存槽。

可选的，所述光刻机台为多个，所述光阻供液系统包括多个所述暂存槽，各个所述暂存槽分别连接各个所述光刻机台，所述解冻槽与每个所述暂存槽之间均设置有一个所述单向阀。

可选的，所述光阻供液系统还包括：

第一液位传感器，设置于所述冷藏槽内；

第二液位传感器，设置于所述解冻槽内；

第一电磁阀，设置于所述冷藏槽的出口位置；

第二电磁阀，设置于所述解冻槽的出口位置；以及

控制装置，包括PLC组件，所述控制装置连接所述第一计时器、第二计时器、所述光阻泵、所述第一液位传感器、所述第二液位传感器、所述第一电磁阀以及所述第二电磁阀。

可选的，所述光阻供液系统还包括：

第一温度传感器，设置于所述冷藏槽内，与所述控制装置连接；

第二温度传感器，设置于所述解冻槽内，与所述控制装置连接；以及

第三温度传感器，设置于所述暂存槽内，与所述控制装置连接。

可选的，所述光阻供液系统还包括连接所述控制装置的声音警示组件或者光警示组件。

可选的，所述单向阀为常开状态。

可选的，所述暂存槽的容量小于所述解冻槽的容量，所述解冻槽的容量小于所述冷藏槽的容量。

可选的，所述光阻冷藏区的温度为-10℃-10℃，所述常温区的温度为22℃-24℃。

可选的，所述解冻槽外表面设置有升温装置。

可选的，所述冷藏槽、所述解冻槽及所述暂存槽外的外表面设置有保温层。

本实用新型提供的光阻供液系统包括冷藏槽、解冻槽、第一计时器、第二计时器、光阻泵、暂存槽和单向阀。其中，所述第一计时器计量同一生产批次的光阻在所述冷藏槽内的放置时间，所述第二计时器计量解冻后的光阻在所述解冻槽内的放置时间，可以降低人工记录卡控保质期和解冻时间导致的差错，并节约人工工时；利用所述光阻供液系统对光刻机台供液，可以防止人工运输过程中光阻对人体的伤害并降低光阻瓶破损的可能性，同时节省搬运和更换光阻瓶的人力；所述光阻供液系统中的暂存槽，可以在冷藏槽和解冻槽进行加液或者清洗时，仍然维持向光刻设备供液的状态，使得光阻供液时光刻机台不用停机，有利于增加光刻机台的产出。

此外，本实用新型提供的光阻供液系统可同时供应多个光刻机机台，提高生产效率。光阻供液系统可包括在冷藏槽内设置的第一液位传感器和在解冻槽内设置的第二液位传感器，液位传感器可用于监测光阻的使用情况，便于光阻定量传输，避免浪费；光阻供液系统还可包括在冷藏槽中设置的第一温度传感器以及在解冻槽内设置的第二温度传感器，温度传感器可以管控光阻的冷藏和解冻，及时报警异常信息。所述光阻供液系统还可设置有控制装置，以通过连接上述各个计时器、液位传感器以及温度传感器以及冷藏槽、解冻槽以及暂存槽之间的电磁阀和光阻泵，及时获得光阻的使用时间的信息、液位信息以及温度信息等，并控制电磁阀以及光阻泵开关，实现光阻从冷藏槽至暂存槽的转移，并向光刻机台的不间断供应，有利于节约人工工时，提高生产效率。

附图说明

图1为本实用新型实施例中光阻供液系统的示意图。

附图标记说明：

100-冷藏槽；110-第一计时器；120-冷气供应装置；130-第一温度传感器；140-第一液位传感器；200-解冻槽；210-第二计时器；220-第二温度传感器；230-第二液位传感器；300-暂存槽；310-第三温度传感器；400-光刻机台；410-第二光阻泵；500-控制装置；610-第一管道；611-第一电磁阀；612-第一光阻泵；620-第二管道；621-第二电磁阀；630-第一支管；631-单向阀；640-第二支管。

具体实施方式

下面将结合示意图对本实用新型的具体实施方式进行更详细的描述。根据下列描述，本实用新型的优点和特征将更清楚。需说明的是，附图均采用非常简化的形式且均使用非精准的比例，仅用以方便、明晰地辅助说明本实用新型实施例的目的。

现有技术在光阻供液时，通常为人工运输和计量使用时间，具有诸多安全和生产隐患，同时每次供液，需要将光刻机停机，影响生产效率。为了解决上述问题，本实用新型提供了一种光阻供液系统。

图1是本实用新型实施例中光阻供液系统的示意图。如图1所示，本实用新型实施例中的光阻供液系统包括：冷藏槽100、解冻槽200、第一计时器110、第二计时器210、暂存槽300以及单向阀631。

冷藏槽100设置于一光阻冷藏区，待用的光阻解冻前被存放于所述冷藏槽100。具体的，在所述光阻冷藏区例如设置有冷气供应装置120，如图1所示，所述冷气供应装置120可以是空调系统，用于降低冷藏槽100所在的室内的温度，在冷气供应装置120控制下，冷藏槽100所在的室内的冷气流动方向如图1中的箭头方向所示。在本实用新型的另一实施例中，冷气供应装置120也可以直接安装在所述冷藏槽100上，以使冷藏槽100及其内部的光阻保持在规定的低温范围内。

本实施例中，光阻的冷藏储存温度例如为-10℃-10℃，也即在光阻冷藏区，可通过对所述冷气供应装置120的控制，使所述冷藏槽100内的光阻的温度保持在-10℃-10℃。此外，为了保证温度的恒定，降低与外界的热交换，所述冷藏槽100外表面还可设置有保温层。进一步的，为了对所述冷藏槽100内的光阻温度进行监控，在所述冷藏槽100内可设置有第一温度传感器130，第一温度传感器130可以位于冷藏槽100的底部。此外，所述光阻供液系统例如还包括控制装置500，所述控制装置500包括PLC(Programmable Logic Controller，可编程逻辑控制器)组件，并且控制装置500还可以连接声音警示组件或者光警示组件，所述第一温度传感器130可以和控制装置500连接，以向所述控制装置500反馈所述冷藏槽100内的光阻温度，当光阻温度超出-10℃-10℃范围内，所述控制装置500可以通过文字、声音或者光闪烁等方式发出警示以提示操作人员进行检查。

本实用新型的光阻供液系统还包括第一计时器110，第一计时器110可以设置在光阻冷藏区，具体可以设置在冷藏槽100上，所述第一计时器110用于计量同一生产批次的光阻在所述冷藏槽内的放置时间。但不限于此，第一计时器110也可以设置在其它区域，只要能实现每次当同一生产批次的光阻加入冷藏槽后开始计时即可。第一计时器110的计量的时间信息可以显示在其表盘或显示屏上，还可以通过与控制装置500通信，而使位于控制装置500一侧的操作人员可以获知光阻的使用时间，并且还可以由控制装置500在冷藏槽100内的光阻到期时提醒操作人员。通常，新生产的光阻在冷藏状态下，保质期为12个月，可以根据光阻加入所述冷藏槽100时的剩余保质期来设定第一计时器110。例如，经过运输，光阻加入冷藏槽100时的剩余保质期为11个月，则将所述第一计时器110通过正计时或倒计时设定相应的时间，当第一计时器110为正计时时，初始状态为第1天，当计时达到第325天(也即还差5天过期)时，即提醒操作人员对光阻进行更换；当第一计时器110为倒计时，初始状态例如为325天，当第一计时器110显示为1天时，即提醒操作人员对光阻进行清空和更换。对于提醒操作人员更换的方式，可以是所述第一计时器110具有一显示时间的面板，以及与其时间电路相连的警示装置，到达时间终点时，所述警示装置发出警示；所述第一计时器110和控制装置500相连，由所述控制装置500对所述第一计时器110的时间进行监控，并在到达时间终点时发出警示，以通知操作人员清空原光阻并更换新光阻。

为了指示向冷藏槽100内加光阻时的停止点或者监控所述冷藏槽100内光阻的余量，所述冷藏槽100内可设置有第一液位传感器140，第一液位传感器140具体可设置在冷藏槽100内壁偏上的位置。所述第一液位传感器140可以与控制装置500相连，以通过所述控制装置500监控所述冷藏槽100内光阻的余量。此外，所述第一液位传感器140可以指示光阻的加入量，具体的，通常在批量生产半导体元件的车间，每个月生产的产品量以及每批产品所需的光阻量都是相对确定的，因此，可以根据生产任务的需求，计算出某段时间内需要的光阻量。例如，某批次的光阻保质期剩余11个月，那么首先，根据生产需求，计算出11个月内需要的光阻的量，然后将计算得到的光阻的量换算为冷藏槽100内相应液位的第一高度值，并在所述控制装置500中设置相应的第一高度值信息。在向所述冷藏槽100内加入光阻时，所述第一液位传感器140持续监测所述冷藏槽100内的光阻液位高度，并向所述控制装置500反馈，当光阻液位高度值达到第一高度值时，所述控制装置500发出相应的警示信息，即可提示操作人员停止加入光阻。然而，在某些情况下，所述冷藏槽100内的光阻可能在11个月内提前消耗完毕，若未及时添加，可能影响生产效率，为此，还可以在所述控制装置500内设置第二高度值的信息，此第二高度值为所述光阻剩余量的警戒高度值，当第一液位传感器140反馈的冷藏槽100内光阻高度低于第二高度值时，所述控制装置500即可通知操作人员进行清空或添加操作。需要说明的是，对于不同品类的光阻，通常利用不同的冷藏槽100存放。此处若不清空而直接进行添加操作时，所添加的应是与剩余的光阻同一生产批次的同品类光阻，若要在同一冷藏槽100加入不同品类的光阻或者不同生产批次的光阻，最好清空冷藏槽100并清洗之后，再进行更换。

解冻槽200设置于一常温区，待用的光阻在转移至光刻机台400之前在所述解冻槽200中进行解冻。所述解冻槽200可通过第一管道610和冷藏槽100连接。解冻槽200外可以设置有升温装置，例如电热丝，以加速光阻的解冻，当然，从冷藏槽100进入解冻槽200的光阻也可在常温环境下解冻。解冻后，解冻槽200的光阻的温度优选保持在22℃-24℃，本实施例中例如可以通过空调设备将所述常温区的温度保持在22℃-24℃，此外，为了防止常温区的温度发生异常而影响光阻温度，还可在所述解冻槽200外表面设置保温层以避免所述解冻槽200内光阻的温度骤然升降。为了对解冻槽200内光阻的温度以及解冻状态进行监控，所述解冻槽200内可设置有第二温度传感器220，第二温度传感器220例如设置在解冻槽200的底部。所述第二温度传感器220可以和控制装置500连接，以向所述控制装置500反馈所述解冻槽200内的光阻温度，示例的，当光阻温度达到23℃时，所述控制装置500可以发出警示提示解冻完成；而在解冻完成后，光阻若超出例如22℃-24℃范围内，所述控制装置500也可以发出警示并提示操作人员进行检查。光阻解冻通常需要24小时，当设置有升温装置时，解冻时间可以缩短。

本实施例的光阻供液系统还包括第二计时器210，第二计时器210可以设置在常温区，具体可以设置在解冻槽200上，第二计时器210计量解冻后的光阻在所述解冻槽200内的放置时间。但不限于此，第二计时器210也可以设置在其它区域，只要能实现当每次从冷藏槽100进入解冻槽200的一批光阻在解冻槽200内全部解冻后开始计时即可。所述第二计时器210可以与控制装置500连接，在解冻完成后，控制装置500通知第二计时器210开始计量解冻后的光阻在所述解冻槽200内的放置时间。解冻槽200可存储的光阻容量优选小于冷藏槽100，通常，光阻在解冻状态下只有约2个月的保质期，与第一计时器110类似，可以将所述第二计时器210通过正计时或倒计时设定相应的时间，并通过例如控制装置500进行监控，例如计算出当解冻后的光阻的保质期仅剩5天时，即提醒操作人员对解冻槽200内的光阻进行清空和更换。由于第二计时器210计量的仅是解冻后的光阻的存放时间，若第一计时器110到达时间终点，说明解冻前位于冷藏槽100的光阻已经到期，则即使第二计时器210并未到达解冻的时间终点，但从生产批次看光阻临近保质期，因而需同时对冷藏槽100和解冻槽200内的光阻进行清空和更换。

为了指示光阻加入解冻槽200的停止点以及监控所述解冻槽200内光阻的余量，所述解冻槽200内还设置有第二液位传感器230，所述第二液位传感器230例如设置在解冻槽200内偏上的位置。所述第二液位传感器230可以与控制装置500相连，以在所述控制装置500上监控所述解冻槽200内光阻的余量。此外，所述第二液位传感器230还可以指示光阻的加入量，同样的，可以根据生产任务的需求，计算出2个月内需要的光阻量，然后将计算得到的光阻的量换算为解冻槽200内相应液位的第三高度值，并在所述控制装置500的输入端设置相应的第三高度值信息。当从所述冷藏槽100向所述解冻槽200内转移光阻时，所述第二液位传感器230持续监测所述解冻槽200内的光阻液位高度，并向所述控制装置500反馈，当光阻液位高度值达到第三高度值时，所述控制装置500发出相应的警示信息，即可停止从所述冷藏槽100向所述解冻槽200加入光阻。同时，还可以在所述控制装置500内设置第四高度值的信息，此第二高度值为解冻槽200内所述光阻剩余量的警戒高度值，当第二液位传感器230反馈的光阻高度低于第四高度值时，所述控制装置500即可发出警示通知操作人员清空解冻槽200内的光阻并从冷藏槽100向解冻槽200添加光阻。

暂存槽300用于解冻后的光阻的暂存，解冻后的光阻在转移至所述光刻机台400之前部分存放于所述暂存槽300内。所述光阻供液系统例如包括多个所述暂存槽300，每个暂存槽300通过一个第一支管630与解冻槽200连接，并通过一根第二支管640与光刻机台400连接。作为示例，本实施例中，暂存槽300的数量为3个，当光阻解冻完成时，一部分光阻即可通过第一支管630进入暂存槽300。暂存槽300可存储的光阻容量优选小于解冻槽200，本实施例中，例如根据生产需求，计算出2天内需要的光阻的量，并将暂存槽300的体积设置为2天需要的光阻的量的体积，也即，每个暂存槽300存储的光阻可以供光刻机台400使用2天。当清洗冷藏槽100、解冻槽200，或解冻槽200内的光阻还未解冻完成时，通过所述暂存槽300内储存的光阻来解决正常生产中光阻的供应。每个暂存槽300通过一根第二支管640直接与光刻机台400连接，可以实现对光刻机台400持续供液，不同于人工供液时加液时需要停机，暂存槽300的设置可以提高生产效率。

所述暂存槽300外表面可以设置有保温层以降低所述暂存槽300内的光阻与外界进行的热交换。类似的，为了对暂存槽300内光阻的温度进行监控，所述暂存槽300内可设置有第三温度传感器310，第三温度传感器310例如设置在所述暂存槽300的底部。所述第三温度传感器310可以和控制装置500连接，以向所述控制装置500反馈所述暂存槽300内的光阻温度，当光阻温度超出例如22℃-24℃范围时，所述控制装置500可以发出警示并提示操作人员进行检查。

本实施例中，为了对光阻的运输和截止进行控制，所述第一管道610上例如还设置有第一电磁阀611和第一光阻泵612。第一电磁阀611可以是手动阀，优选与控制装置500相连，通过控制装置500控制第一电磁阀611的开闭。第一光阻泵612将光阻从冷藏槽100抽取到解冻槽200，可与控制装置500相连，通过控制装置500控制第一光阻泵612的开闭。第一光阻泵612为液泵，具体可以根据光阻的性质以及转移的路线进行选择。

每根第一支管630上设置有单向阀631，以避免光阻反向流动，所有第一支管630通过第二管道620与解冻槽200连接，第二管道620上设置有第二电磁阀621，以控制解冻槽200和暂存槽300之间的通闭。第二电磁阀621可以是手动阀，也可以与控制装置500相连，通过控制装置500控制第二电磁阀621的开闭。在第二电磁阀621开启的状态下，单向阀631通常处于常开状态，便于光阻的持续供液；当某些第二支管640连接的光刻机台400需要停机时，则关闭相应第一支管630上的单向阀631。

此外，每个所述光刻机台400内设置有一个第二光阻泵410，每个第二光阻泵410通过一根第二支管640与一个暂存槽300连接。第二光阻泵410用于提供光阻从解冻槽200移动到光刻机台400的动力，在第二电磁阀621和单向阀631均为打开的状态下，第二光阻泵410可将适量光阻从解冻槽200转移到暂存槽300以及光刻机台400。

本实施例中，利用本实施例提供的光阻供液系统对光刻机进行供液时，可以通过以下步骤进行：

第一步骤：冷藏槽100加液。当向冷藏槽100内加入光阻时，控制第一电磁阀611和第一光阻泵612关闭，向冷藏槽100中加液，当控制装置500监测到冷藏槽100内液位到达第一高度值时，发出警示信息，提示操作人员停止加液。与此同时，启动第一计时器110，对光阻在冷藏槽100内的保质期开始计时。

第二步骤：将冷藏槽100内的光阻移动到解冻槽200。确认第二电磁阀621关闭，并同时打开第一电磁阀611和第一光阻泵612，由第一光阻泵612将冷藏槽100内的光阻抽到解冻槽200，当控制装置500监测到解冻槽200内液位到达第三高度值时，发出警示信息，并关闭第一电磁阀611和第一光阻泵612。

第三步骤：光阻在解冻槽200内解冻。第二温度传感器220提示光阻解冻完成，控制装置500启动第二计时器210，对光阻在解冻槽200内的保质期开始计时。

第四步骤：使解冻槽200内的光阻向光刻机台400供液。打开第二电磁阀621、单向阀631，以及第二光阻泵410，利用第二光阻泵410持续将解冻槽200内的光阻输入暂存槽300以及光刻机台400，从而无需在更换光阻时停机。其中，单向阀631可以保持常开，在某一第二支路640连接的光刻机台400不进行光刻操作时，再关闭单向阀631。

此外，当第一液位传感器140检测到冷藏槽100内的光阻液位下降到第二高度值时，关闭第一电磁阀611，重新执行第一步骤。

当第一计时器110到达时间终点时，也即光阻临近保质期时，关闭第二电磁阀621，并清洗冷藏槽100和解冻槽200，而暂存槽300存储了可供清洗和解冻期间(如两天内)使用的光阻量，故可以在严格控制光阻的使用期限的情况下，同时满足光刻机台400的持续生产需求。当新加入暂存槽的光阻更换为不同类型或批号时，也需要清洗暂存槽300。

当第二计时器210到达计时终点，即解冻槽200内光阻临近保质期时，或第二液位传感器230检测到解冻槽200内的光阻液位下降到第四高度值时，即x解冻槽200内光阻即将消耗完毕之前，关闭第二电磁阀621，清洗解冻槽200和相应管道，清除残存的光阻，然后打开第一电磁阀611和第一光阻泵612，重新执行第二步骤。在光阻解冻过程中，暂存槽300存储了大约两天的光阻量，故可以满足光刻机台400不停机供应的需求。

本实用新型实施例提供的光阻供液系统包括冷藏槽、解冻槽、第一计时器、第二计时器、光阻泵、暂存槽和单向阀。其中，所述第一计时器计量同一生产批次的光阻在所述冷藏槽内的放置时间，所述第二计时器计量解冻后的光阻在所述解冻槽内的放置时间，可以降低人工记录卡控保质期和解冻时间导致的差错，并节约人工工时；利用所述光阻供液系统对光刻机台供液，可以防止人工运输过程中光阻对人体的伤害并降低光阻瓶破损的可能性，同时节省搬运和更换光阻瓶的人力；所述光阻供液系统中的暂存槽，可以在冷藏槽和解冻槽进行加液或者清洗时，仍然维持向光刻设备供液的状态，使得光阻供液时光刻机台不用停机，有利于增加光刻机台的产出。

此外，本实用新型实施例提供的光阻供液系统可同时供应多个光刻机机台，提高生产效率。光阻供液系统可包括在冷藏槽内设置的第一液位传感器和在解冻槽内设置的第二液位传感器，液位传感器可用于监测光阻的使用情况，便于光阻定量传输，避免浪费；光阻供液系统还可包括在冷藏槽中设置的第一温度传感器以及在解冻槽内设置的第二温度传感器，温度传感器可以管控光阻的冷藏和解冻，及时报警异常信息。所述光阻供液系统还可设置有控制装置，以通过连接上述各个计时器、液位传感器以及温度传感器以及冷藏槽、解冻槽以及暂存槽之间的电磁阀和光阻泵，及时获得光阻的使用时间的信息、液位信息以及温度信息等，并控制电磁阀以及光阻泵开关，实现光阻从冷藏槽至暂存槽的转移，并向光刻机台的不间断供应，有利于节约人工工时，提高生产效率。

上述仅为本实用新型的优选实施例，并非对本实用新型权利范围的限定。任何本领域技术领域的技术人员，在不脱离本实用新型的精神和范围内，都可以对本实用新型揭露的技术方案和技术内容做任何形式的等同替换或修改等变动。因此，凡是未脱离本实用新型技术方案的内容，依据本实用新型的技术实质对以上实施例所作的任何简单修改、等同变化及修饰，均属于本实用新型的保护范围。

Claims (10)

1.一种光阻供液系统，其特征在于，包括：

冷藏槽，位于一光阻冷藏区，待用的光阻解冻前被存放于所述冷藏槽；

解冻槽，位于一常温区，待用的光阻在转移至光刻机台之前在所述解冻槽中进行解冻；

第一计时器和第二计时器，所述第一计时器计量同一生产批次的光阻在所述冷藏槽内的放置时间，所述第二计时器计量解冻后的光阻在所述解冻槽内的放置时间；

光阻泵，所述光阻泵的进口端连接所述冷藏槽，出口端连接所述解冻槽；

暂存槽，解冻后的光阻在转移至所述光刻机台之前部分存放于所述暂存槽内；以及

单向阀，所述单向阀的进口端连接所述解冻槽，出口端连接所述暂存槽。

2.如权利要求1所述的光阻供液系统，其特征在于，所述光刻机台为多个，所述光阻供液系统包括多个所述暂存槽，各个所述暂存槽分别连接各个所述光刻机台，所述解冻槽与每个所述暂存槽之间均设置有一个所述单向阀。

3.如权利要求1所述的光阻供液系统，其特征在于，还包括：

第一液位传感器，设置于所述冷藏槽内；

第二液位传感器，设置于所述解冻槽内；

第一电磁阀，设置于所述冷藏槽的出口位置；

第二电磁阀，设置于所述解冻槽的出口位置；以及

控制装置，包括PLC组件，所述控制装置连接所述第一计时器、第二计时器、所述光阻泵、所述第一液位传感器、所述第二液位传感器、所述第一电磁阀以及所述第二电磁阀。

4.如权利要求3所述的光阻供液系统，其特征在于，还包括：

第一温度传感器，设置于所述冷藏槽内，与所述控制装置连接；

第二温度传感器，设置于所述解冻槽内，与所述控制装置连接；以及

第三温度传感器，设置于所述暂存槽内，与所述控制装置连接。

5.如权利要求3所述的光阻供液系统，其特征在于，还包括连接所述控制装置的声音警示组件或者光警示组件。

6.如权利要求3所述的光阻供液系统，其特征在于，所述单向阀为常开状态。

7.如权利要求1所述的光阻供液系统，其特征在于，所述暂存槽的容量小于所述解冻槽的容量，所述解冻槽的容量小于所述冷藏槽的容量。

8.如权利要求1所述的光阻供液系统，其特征在于，所述光阻冷藏区的温度为-10℃-10℃。

9.如权利要求1所述的光阻供液系统，其特征在于，所述解冻槽外表面设置有升温装置。

10.如权利要求1所述的光阻供液系统，其特征在于，所述冷藏槽、所述解冻槽及所述暂存槽外的外表面设置有保温层。

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