CN217714394U - 一种用于大型精密仪器的拼接基座 - Google Patents
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Abstract
本实用新型提供了一种用于大型精密仪器的拼接基座，包括顶板、横梁框体和支腿，所述顶板由四块不锈钢板组成，所述横梁框体由四个框体组成，所述顶板与横梁框体分别焊接固定，所述横梁框体底部连接有支腿，所述支腿底部连接有底座，所述支腿顶部连接有垫板，所述垫板通过螺栓A与横梁框体栓接固定。本实用新型完全采用栓接方式将四个小型基座拼接成大型基座，横梁框体连接部位通过背向的槽钢栓接设计，结构更稳定，支腿同样采用栓接固定，方便基座拆装，移动、运输方便，降低基座运输、安装成本，同时基座能够满足大型精密仪器的防微振要求，防微振等级可达VC‑C级。
Description
技术领域
本实用新型涉及隔振装置技术领域，具体是一种用于大型精密仪器的拼接基座。
背景技术
目前半导体行业飞速发展，半导体生产设备的精度要求越来越高，设备对微振动等环境的要求也越来越敏感，少许的微振动就会降低设备的产出良率，甚至使设备不能正常工作，因此对微振动的隔离变得越来越重要。
对微振动的隔离通常采用防微振基座实现，传统基座一般为钢结构和混凝土两种，根据不同种类的精密仪器匹配不同结构尺寸的基座，而半导体生产车间经常使用一些大型的精密仪器，如：离子注入机IMP型号，这些仪器需要配套的基座较大，如果采用传统的焊接方式制作成一体式的基座，基座运输、移动较困难，且成本较高，而且安装时需要的人力较多，安装费用大。
实用新型内容
实用新型的目的在于提供一种用于大型精密仪器的拼接基座，以解决上述背景技术中存在的问题。
本实用新型的技术方案是这样实现的：
一种用于大型精密仪器的拼接基座，包括顶板、横梁框体和支腿，所述顶板由四块不锈钢板组成，所述横梁框体由四个框体组成，所述顶板与横梁框体分别焊接固定，所述横梁框体底部连接有支腿，所述支腿底部连接有底座，所述支腿顶部连接有垫板，所述垫板通过螺栓A与横梁框体栓接固定。
进一步地，所述横梁框体由H型钢和槽钢制成矩形结构，两个横梁框体连接部位为槽钢，横梁框体的其他部分为H型钢。
进一步地，所述槽钢的凹口朝向内侧焊接固定，槽钢的腹板朝向外侧。
进一步地，所述横梁框体连接时，两个横梁框体的槽钢的腹板对齐通过螺栓B栓接固定。
进一步地，所述底座、垫板均为矩形结构。
进一步地，所述螺栓A分别布置在垫板的四个角。
进一步地，所述顶板上开设有通孔。
本实用新型的有益效果为：
本实用新型完全采用栓接方式将四个小型基座拼接成大型基座，横梁框体连接部位通过背向的槽钢栓接设计，结构更稳定，支腿同样采用栓接固定，方便基座拆装，移动、运输方便，降低基座运输、安装成本，同时基座能够满足大型精密仪器的防微振要求，防微振等级可达VC-C级。
附图说明
图1为本实用新型的结构示意图。
图2为本实用新型的倒置后的结构示意图。
图3为本实用新型的主视图。
图中1-顶板，2-横梁框体，3-支腿，4-底座，5-垫板，6-螺栓A，7-H型钢，8-槽钢，9-螺栓B，10-通孔。
具体实施方式
下面将结合实施例对本实用新型技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述地实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
如图1-3所示，一种用于大型精密仪器的拼接基座，包括顶板1、横梁框体2和支腿3，所述顶板1由四块不锈钢板组成，所述横梁框体2由四个框体组成，所述顶板1与横梁框体2分别焊接固定，所述横梁框体2底部连接有支腿3，所述支腿3底部连接有底座4，所述支腿3顶部连接有垫板5，所述垫板5通过螺栓A6与横梁框体2栓接固定。
所述横梁框体2由H型钢7和槽钢8制成矩形结构，两个横梁框体2连接部位为槽钢8，横梁框体2的其他部分为H型钢7。
所述槽钢8的凹口朝向内侧焊接固定，槽钢8的腹板朝向外侧。
所述横梁框体2连接时，两个横梁框体2的槽钢8的腹板对齐通过螺栓B9栓接固定。
所述底座4、垫板5均为矩形结构。
所述螺栓A6分别布置在垫板5的四个角。
所述顶板1上开设有通孔10。
基座在运输和搬运过程中呈现的状态为拆卸后的分散的个体，搬运至安装地点后，首先将支腿3通过垫板5、螺栓A6与横梁框体2栓接固定好，依次将四个横梁框体2的支腿3都栓接固定好，然后将两个横梁框体2的槽钢8的腹板对齐通过螺栓B9栓接固定，四个横梁框体2依次连接拼装完成得到拼接基座。
以上所述仅为本实用新型的较佳实施例而已，并不用以限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。
Claims (7)
1.一种用于大型精密仪器的拼接基座，包括顶板、横梁框体和支腿，其特征在于，所述顶板由四块不锈钢板组成，所述横梁框体由四个框体组成，所述顶板与横梁框体分别焊接固定，所述横梁框体底部连接有支腿，所述支腿底部连接有底座，所述支腿顶部连接有垫板，所述垫板通过螺栓A与横梁框体栓接固定。
2.根据权利要求1所述的一种用于大型精密仪器的拼接基座，其特征在于，所述横梁框体由H型钢和槽钢制成矩形结构，两个横梁框体连接部位为槽钢，横梁框体的其他部分为H型钢。
3.根据权利要求2所述的一种用于大型精密仪器的拼接基座，其特征在于，所述槽钢的凹口朝向内侧焊接固定，槽钢的腹板朝向外侧。
4.根据权利要求1所述的一种用于大型精密仪器的拼接基座，其特征在于，所述横梁框体连接时，两个横梁框体的槽钢的腹板对齐通过螺栓B栓接固定。
5.根据权利要求1所述的一种用于大型精密仪器的拼接基座，其特征在于，所述底座、垫板均为矩形结构。
6.根据权利要求1所述的一种用于大型精密仪器的拼接基座，其特征在于，所述螺栓A分别布置在垫板的四个角。
7.根据权利要求1所述的一种用于大型精密仪器的拼接基座，其特征在于，所述顶板上开设有通孔。
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2022
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