CN217376458U - 一种兼容输送装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种兼容输送装置，包括至少两个出料输送机构和收料机构，每个出料输送机构沿第一方向依次设置，每个出料输送机构的一侧或两侧均设置有收料机构；出料输送机构包括主线输送线和换向输送线，主线输送线沿第一方向输送硅片，主线输送线上形成有容置空间，换向输送线设置于容置空间中，且换向输送线被配置为相对于主线输送线的输送面高度可调，换向输送线和主线输送线的输送方向相互垂直；换向输送带的输出端与收料机构的收料端相对接设置，换向输送带用于将主线输送线上输送的硅片换向收料至收料机构，实现对各种尺寸的多分片至整片的兼容输送。

Description

一种兼容输送装置

技术领域

本发明属于硅片收料领域，具体地说，涉及一种兼容输送装置。

背景技术

随着硅片尺寸的不断丰富多样化以及半片硅片、三分之硅片等多分片的出现，当前对硅片的收料的兼容性要求越来越高，传统的兼容不同尺寸的料盒已不能满足现在的兼容需求。

因此，如何实现各种尺寸的多分片至整片的兼容收片，是目前亟需解决的一个技术问题。

实用新型内容

针对如何实现各种尺寸的多分片至整片的兼容收片，本实用新型提供了一种兼容输送装置：

该兼容输送装置包括至少两个出料输送机构和收料机构，每个出料输送机构沿第一方向依次设置，每个出料输送机构的一侧或两侧均设置有收料机构；

出料输送机构包括主线输送线和换向输送线，主线输送线沿第一方向输送硅片，主线输送线上形成有容置空间，换向输送线设置于容置空间中，且换向输送线被配置为相对于主线输送线的输送面高度可调，换向输送线和主线输送线的输送方向相互垂直；

主线输送线包括并行设置的第一主线输送带和第二主线输送带，第一主线输送带和第二主线输送带之间的间距可调；换向输送线包括至少三条并行设置的换向输送带，至少两条相邻的换向输送带被配置为输送硅片；

换向输送带的输出端与收料机构的收料端相对接设置，换向输送带用于将主线输送线上输送的硅片换向收料至收料机构。

通过在主线输送线上设置容置空间，将换向输送线设置于容置空间中，在换向输送线的升降作用向下，实现硅片从主线输送线上向收料机构的输送；将第一主线输送带和第二主线输送带之间的间距设计成可调，可以实现对各种尺寸的多分片至整片的兼容输送，并行设置至少三条换向输送带，可以实现换向时及换向后对各种尺寸的多分片至整片的兼容输送。

可选的，主线输送线还包括第一侧板和第二侧板，第一侧板的第一端和第二侧板的第一端均设置有主动轮；第一侧板的第二端和第二侧板的第二端均设置有从动轮；

第一侧板和第二侧板上均开设有至少三个凹槽，每个凹槽边缘设置有至少一个从动轮；

第一主线输送带绕设于第一侧板上的主动轮和各个从动轮上，第二主线输送带绕设于第二侧板上的主动轮和各个从动轮上，形成容置空间。

通过在第一侧板和第二侧板上开设至少三个凹槽，为至少三条换向输送带提供安装空间，将换向输送带嵌设于主线输送线之中，更好的实现硅片由主线输送线向辅助输送线的转换；在每个凹槽边缘设置至少一个从动轮，能够对主线输送带进行形态限制，以配合凹槽形成容置空间。

可选的，主线输送线还包括安装支架、驱动机构和滑动机构，第一侧板和第二侧板通过滑动机构滑动连接于安装支架，驱动机构的两个驱动端分别固定连接第一侧板和第二侧板，用于驱动第一侧板和第二侧板相互远离运动或相互靠近运动。

通过驱动机构驱动滑动机构，滑动机构带动与其连接的第一侧板和第二侧板相互远离运动或相互靠近运动，从而实现第一主线输送带和第二主线输送带之间的间距调节，结构简单，调整简洁稳定。

可选的，换向输送线的两端部和中部均设置有吸附机构，吸附机构设置于相邻的换向输送带之间。

在换向输送线上设置吸附机构，能够提高硅片在换向输送线上被顶升时，在换向输送线上的稳定性；在换向输送线的两端部和中部均设置吸附机构，能够提高吸附的均匀性，不会因吸附不均匀，产生硅片局部翘起的现象，从而降低对硅片的损伤。

可选的，换向输送线还包括位置感应器，位置感应器设置在沿主线输送线的输送方向的第一条换向输送带的侧边，用于感应由主线输送线输送至换向输送线的硅片是否到位；

换向输送线还包括托板和顶升机构，换向输送线安装于托板上，顶升机构设置于托板下方，用于带动托板升降。

在换向输送线上设置位置传感器，硅片从主线输送线输送至第一条换向输送带的侧边时，及时对硅片对位置信息进行感应，并根据当前的感应信息，控制换向输送带进行升降，能够更准确地实现硅片的换向。

可选的，收料机构和换向输送线之间设置有辅助输送线，辅助输送线包括与换向输送带条数相同的辅助输送带，至少两条相邻的辅助输送带被配置为输送硅片，辅助输送带的输入端与换向输送带的输出端相对接，辅助输送带的输出端与收机构的收料端相对接。

通过在收料机构和换向输送线之间设置辅助输送线，可将换向后地硅片平稳地过渡输送到收料机构中，进一步提高收料质量。

可选的，当只有两条相邻的换向输送带、两条相邻的辅助输送带被配置为输送硅片时，两条相邻的换向输送带的中心线与两条相邻的辅助输送带的中心线保持共线。

保证两条相邻的换向输送带的中心线与两条相邻的辅助输送带的中心线保持共线，特别是，当输送多分硅片时，即多分硅片的长边与输送方向平行时，能够增加这种多分硅片的输送稳定性。

可选的，收料机构包括兼容料盒、升降组件和承接板，升降组件的驱动端固定连接承接板，兼容料盒通过连接件固定连接在承载板上，升降组件通过驱动承接板以带动兼容料盒升降。

在收料机构中使用兼容料盒承接由主线输送线上输送的不同规格的多分片或者整片，保证整个兼容输送装置的兼容性。兼容料盒由升降组件控制调节高度，可以调节兼容料盒在收料时高度，实时匹配与又换向输送线换向出来后的硅片的高度关系，有利于收片的稳定性。

可选的，连接件包括滑动板、安装块和转轴，安装块固定安装在滑动板上，转轴的第一端转动安装于安装块上，转轴的另一端固定连接兼容料盒；

兼容料盒上或者转轴的第二端固定安装有旋转触发架，旋转触发架与兼容料盒同步转动，升降组件的顶部设置有与旋转触发架相配合的传感器，传感器被配置为判断旋转触发架是否旋转到位。

在兼容料盒上或者在转轴的第二端上设置旋转触发架，并设置与旋转触发架相配合使用的传感器，对兼容料盒旋转后是否复位到原位，可以避免因兼容料盒未复位到原位，而发生硅片不能正常进入兼容料盒中，导致硅片损伤。

可选的，沿第一方向依次设置的末端出料输送机构处设置有直流兼容料盒，用于接收未完成检测的硅片，直流兼容料盒的收料端与末端出料输送机构的主线输送线的输出端相对接设置。

在沿第一方向依次设置的末端出料输送机构处设置直流兼容料盒，能够接收因机器故障、停电等原因所造成的未完成分选检测的硅片，不会使这些硅片收片至收料机构的兼容料盒中，干扰收料机构中兼容料盒内的硅片质量。

附图说明

图1为本实用新型的兼容输送装置的一种实施方式示意图；

图2为本实用新型的主线输送线和换向输送线的示意图；

图3为本实用新型的主线输送线的一种实施方式示意图；

图4为图3的另一视角示意图；

图5为本实用新型的换向输送线的一种实施方式示意图；

图6为图5中的换向输送线输送整片硅片的示意图；

图7为图5中的换向输送线输送第二多分硅片的示意图；

图8为本实用新型的辅助输送线输送整片硅片的一种实施方式示意图；

图9为图8中的辅助输送线输送第二多分硅片的示意图；

图10为本实用新型的收料机构的一种实施方式示意图；

图11为图10的侧视图；

图12为图10的局部放大示意图；

图13为图10收第一多分硅片的示意图；

图14为图10收第二多分硅片的示意图。

图中：主线输送线100；第一主线输送带110；第二主线输送带120；换向输送线200；容置空间130；第一凹槽131；第二凹槽132；第三凹槽133；第一侧板140；第二侧板150；主动轮160；从动轮170；安装支架180；驱动机构191；第一连杆机构1911；第二连杆机构1912；调节螺杆1913；竖向滑轨1914；竖向滑块1915；滑动机构192；横向滑块1921；横向滑轨1922；换向输送线200；第一换向输送带210；第二换向输送带220；第三换向输送带230；吸附机构240；位置感应器250；顶升机构260；托板270；辅助输送线300；第一辅助输送带310；第二辅助输送带320；第三辅助输送带330；整片硅片400；第一多分硅片410；第二多分硅片420；兼容料盒500；第一调节板520；第二调节板530；升降组件600；电机610；同步带620；连接块630；承接板700；连接件800；滑动板810；安装块820；转轴830；旋转触发架840；旋转触发架的顶端841；传感器850；直流兼容料盒900。

具体实施方式

为使本实用新型实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。其中，所描述的实施例是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。因此，以下对在附图中提供的本实用新型的实施例的详细描述并非旨在限制要求保护的本实用新型的范围，而是仅仅表示本实用新型的选定实施例。

针对如何实现各种尺寸的多分片至整片的兼容收片，本实用新型提供了一种兼容输送装置，如图1所示，该兼容输送装置包括至少两个出料输送机构和收料机构，每个出料输送机构沿第一方向依次设置，每个出料输送机构的一侧或两侧均设置有收料机构；

出料输送机构包括主线输送线100和换向输送线200，主线输送线100沿第一方向输送硅片，主线输送线100上形成有容置空间130，换向输送线200设置于容置空间130中，且换向输送线200被配置为相对于主线输送线100的输送面高度可调，换向输送线200和主线输送线100的输送方向相互垂直；

如图3所示，主线输送线100包括并行设置的第一主线输送带110和第二主线输送带120，第一主线输送带110和第二主线输送带120之间的间距可调；换向输送线200包括至少三条并行设置的换向输送带，至少两条相邻的换向输送带被配置为输送硅片；

换向输送带的输出端与收料机构的收料端相对接设置，换向输送带用于将主线输送线100上输送的硅片换向收料至收料机构。

通过在主线输送线100上设置容置空间130，将换向输送线200设置于容置空间130中，在换向输送线200的升降作用向下，实现硅片从主线输送线100上向收料机构的输送；将第一主线输送带110和第二主线输送带120之间的间距设计成可调，可以实现对各种尺寸的多分片至整片的兼容输送，并行设置至少三条换向输送带，可以实现换向时及换向后对各种尺寸的多分片至整片的兼容输送。

可选的，主线输送线100还包括第一侧板140和第二侧板150，第一侧板140的第一端和第二侧板150的第一端均设置有主动轮160；第一侧板140的第二端和第二侧板150的第二端均设置有从动轮170；

第一侧板140和第二侧板150上均开设有至少三个凹槽，每个凹槽边缘设置有至少一个从动轮170；

第一主线输送带110绕设于第一侧板140上的主动轮160和各个从动轮170上，第二主线输送带120绕设于第二侧板150上的主动轮160和各个从动轮170上，形成容置空间130。

对于第一侧板140和第二侧板150上凹槽的设置个数及凹槽处从动轮170的设置，可以参考图3所示，图中，在第一侧板140和第二侧板150上均设置了三个凹槽，即第一凹槽131、第二凹槽132和第三凹槽133，在每个凹槽的凹陷面都设置了两个从动轮170，用于形成容置空间130，在第一凹槽131右侧面则设置了一个从动轮170与主动轮160之间支撑起主线输送线100的一段输送面；在第一凹槽131的左侧面和第二凹槽132的右侧面分别设置了一个从动轮170，这两个从动轮170之间支撑起主线输送线100的一段输送面；在第二凹槽132的左侧面和第三凹槽133的右侧面分别设置了一个从动轮170，这两个从动轮170之间支撑起主线输送线100的一段输送面；在第三凹槽133的左侧面设置一个从动轮170，与侧板第二端的从动轮170之间支撑起主线输送线100的又一段输送面。当然，图3只是本申请的一种实施方式，在实际安装中，也可以根据需求确定凹槽周边的从动轮170数量。

通过在第一侧板140和第二侧板150上开设至少三个凹槽，为至少三条换向输送带提供安装空间，将换向输送带嵌设于主线输送线100之中，更好的实现硅片由主线输送线100向辅助输送线300的转换；在每个凹槽边缘设置至少一个从动轮170，能够对主线输送带进行形态限制，以配合凹槽形成容置空间130。

可选的，如图4所示，主线输送线100还包括安装支架180、驱动机构191和滑动机构192，第一侧板140和第二侧板150通过滑动机构192滑动连接于安装支架180，驱动机构191的两个驱动端分别固定连接第一侧板140和第二侧板150，用于驱动第一侧板140和第二侧板150相互远离运动或相互靠近运动。

对于本申请的驱动机构191和滑动机构192，可以参考图4所示，第一侧板140和第二侧板150的第一端分别固定在两块横向滑块1921上，两块横向滑块1921滑动安装于横向滑轨1922上，第一侧板140和第二侧板150的第二端同样分别固定在两块横向滑块1921上，两块横向滑块1921滑动安装于横向滑轨1922上。安装支架180上还设置有竖向滑轨1914，竖向滑轨1914上配合设置有竖向滑块1915，竖向滑块1915的两端突出有两个安装块，调节螺杆1913穿过两个安装块设置，竖向滑块1915的两侧分别连接有第一连杆机构1911和第二连杆机构1912，第一连杆机构1911和第二连杆机构1912又分别连接到与第一侧板140和第二侧板150的第一端固定连接的两块横向滑块1921上。

在调节第一侧板140和第二侧板150之间的间距时，只需要转动调节螺杆1913，便可调整竖向滑块1915的高度，进而通过第一连杆机构1911和第二连杆机构1912带动第一侧板140和第二侧板150相互远离或相互靠近。

通过驱动机构191驱动滑动机构，滑动机构带动与其连接的第一侧板140和第二侧板150相互远离运动或相互靠近运动，从而实现第一主线输送带110和第二主线输送带120之间的间距调节，结构简单，调整简洁稳定。

可选的，如图5～7所示，以换向输送线200包括三条换向输送带为例，分别是第一换向输送带210、第二换向输送带220和第三换向输送带230。当换向输送线200输送整片硅片400时，由第一换向输送带210、第二换向输送带220和第三换向输送带230同时承载整片硅片400；当换向输送线200输送第一多分硅片410时，由第一换向输送带210、第二换向输送带220和第三换向输送带230同时承载第一多分硅片410；当换向输送线200输送第二多分硅片420时，由第一换向输送带210和第二换向输送带220同时承载第一多分硅片410。

换向输送线200的两端部和中部均设置有吸附机构240，吸附机构240设置于相邻的换向输送带之间。

在换向输送线200上设置吸附机构240，能够提高硅片在换向输送线200上被顶升时，在换向输送线200上的稳定性；在换向输送线200的两端部和中部均设置吸附机构240，能够提高吸附的均匀性，不会因吸附不均匀，产生硅片局部翘起的现象，从而降低对硅片的损伤。

可选的，换向输送线200还包括位置感应器250，位置感应器250设置在沿主线输送线100的输送方向的第一条换向输送带的侧边，用于感应由主线输送线100输送至换向输送线200的硅片是否到位。在换向输送线200上设置位置传感器850，硅片从主线输送线100输送至第一条换向输送带的侧边时，及时对硅片对位置信息进行感应，并根据当前的感应信息，控制换向输送带进行升降，能够更准确地实现硅片的换向。

换向输送线200还包括托板270和顶升机构260，换向输送线200安装于托板270上，顶升机构260设置于托板270下方，用于带动托板270升降。

可选的，如图2、图8和图9所示，收料机构和换向输送线200之间设置有辅助输送线300，辅助输送线300包括与换向输送带条数相同的辅助输送带，以三条换向输送带为例，分别为第一辅助输送带310、第二辅助输送带320和第三辅助输送带330。当辅助输送线300输送整片硅片400时，由第一辅助输送带310、第二辅助输送带320和第三辅助输送带330共同承载整片硅片400；当辅助输送线300输送第一多分硅片410时，由第一辅助输送带310、第二辅助输送带320和第三辅助输送带330共同承载第一多分硅片410；当辅助输送线300输送第二多分硅片420时，由第一辅助输送带310和第二辅助输送带320共同承载第一多分硅片410。

至少两条相邻的辅助输送带被配置为输送硅片，辅助输送带的输入端与换向输送带的输出端相对接，辅助输送带的输出端与收机构的收料端相对接。

通过在收料机构和换向输送线200之间设置辅助输送线300，可将换向后地硅片平稳地过渡输送到收料机构中，进一步提高收料质量。

可选的，当只有两条相邻的换向输送带、两条相邻的辅助输送带被配置为输送硅片时，两条相邻的换向输送带的中心线与两条相邻的辅助输送带的中心线保持共线。结合图7和图9所示，当只有第一换向输送带210、第二换向输送带220、第一辅助输送带310和第二辅助输送带320对硅片进行输送时，比如对第二多分硅片420进行输送时，第一换向输送带210和第二换向输送带220的中心线，与第一辅助输送带310和第二辅助输送带320的中心线保持共线。

保证两条相邻的换向输送带的中心线与两条相邻的辅助输送带的中心线保持共线，特别是，当输送多分硅片时，即多分硅片的长边与输送方向平行时，能够增加这种多分硅片的输送稳定性。

可选的，如图10、11所示，收料机构包括兼容料盒500、升降组件600和承接板700，升降组件600的驱动端固定连接承接板700，兼容料盒500通过连接件800固定连接在承载板上，升降组件600通过驱动承接板700以带动兼容料盒500升降。

在收料机构中使用兼容料盒500承接由主线输送线100上输送的不同规格的多分片或者整片，保证整个兼容输送装置的兼容性。兼容料盒500由升降组件600控制调节高度，可以调节兼容料盒500在收料时高度，实时匹配与又换向输送线200换向出来后的硅片的高度关系，有利于收片的稳定性。

可选的，如图10所示，升降组件600包括电机610、同步带620和连接块630，连接块630固定设置在同步带620上，连接块630固定连接承载板，电机610驱动同步带620转动，连接块630被配置为随同步带620的转动而升降。

采用电机610、同步带620和连接块630这种驱动机构，对兼容料盒500进行升降，结构简单，运行稳定。

可选的，如图12所示，连接件800包括滑动板810、安装块820和转轴830，安装块820固定安装在滑动板810上，转轴830的第一端转动安装于安装块820上，转轴830的另一端固定连接兼容料盒500；

转轴830的第二端固定安装有旋转触发架840，旋转触发架840与兼容料盒500同步转动，升降组件600的顶部设置有与旋转触发架840相配合的传感器850，传感器850被配置为判断旋转触发架840是否旋转到位。当兼容料盒500复位至收片位置时，转轴830上的旋转触发架的顶端841会随着旋转至传感器850正下方，当传感器850的信号发生变化时，说明旋转触发架840旋转到位了，也即料盒旋转到位了。

当然，也可在兼容料盒500上固定安装有旋转触发架840，旋转触发架840与兼容料盒500同步转动，升降组件600的顶部设置有与旋转触发架840相配合的传感器850，传感器850被配置为判断旋转触发架840是否旋转到位。当兼容料盒500复位至收片位置时，兼容料盒500上的旋转触发架的顶端841会随着料盒旋转至传感器850正下方，当传感器850的信号发生变化时，说明旋转触发架840旋转到位了，也即料盒旋转到位了。

在兼容料盒500上或者在转轴830的第二端上设置旋转触发架840，并设置与旋转触发架840相配合使用的传感器850，对兼容料盒500旋转后是否复位到原位，可以避免因兼容料盒500未复位到原位，而发生硅片不能正常进入兼容料盒500中，导致硅片损伤。

可选的，沿第一方向依次设置的末端出料输送机构处设置有直流兼容料盒900，用于接收未完成检测的硅片，直流兼容料盒900的收料端与末端出料输送机构的主线输送线100的输出端相对接设置。

在沿第一方向依次设置的末端出料输送机构处设置直流兼容料盒900，能够接收因机器故障、停电等原因所造成的未完成分选检测的硅片，不会使这些硅片收片至收料机构的兼容料盒500中，干扰收料机构中兼容料盒500内的硅片质量。

对于兼容料盒500，可以通过在料盒上设置可调节的第一调节板520和第二调节板530，通过调节第一调节板520和/或第二调节板530的位置，改变兼容料盒500的承载区间。

如图13所示，仅调节第一调节板520在底座上的调节距离时，第一调节板520和底座之间形成有第二承载区间，用于承载第一多分硅片410的状态示意，并将下层的兼容料盒500旋转90度后，使兼容料盒500取片端靠近操作人员，方便取出第一多分硅片410。

如图14所示，仅调节第二调节板530在底座上的调节距离时，第二调节板530和底座之间形成有第三承载区间，用于承载第二多分硅片420的状态示意，并将下层的兼容料盒500旋转90度后，使兼容料盒500取片端靠近操作人员，方便取出第二多分硅片420。

下文中将参考附图并结合实施例来详细说明本发明。需要说明的是，在不冲突的情况下，本申请中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。

以上示意性地对本发明创造及其实施方式进行了描述，该描述没有限制性，附图中所示的也只是本发明创造的实施方式之一，实际的结构并不局限于此。所以，如果本领域的普通技术人员受其启示，在不脱离本创造宗旨的情况下，不经创造性的设计出与该技术方案相似的结构方式及实施例，均应属于本专利的保护范围。

Claims (10)

1.一种兼容输送装置，其特征在于，所述兼容输送装置包括至少两个出料输送机构和收料机构，每个所述出料输送机构沿第一方向依次设置，每个所述出料输送机构的一侧或两侧均设置有所述收料机构；

所述出料输送机构包括主线输送线和换向输送线，所述主线输送线沿所述第一方向输送硅片，所述主线输送线上形成有容置空间，所述换向输送线设置于所述容置空间中，且所述换向输送线被配置为相对于所述主线输送线的输送面高度可调，所述换向输送线和所述主线输送线的输送方向相互垂直；

所述主线输送线包括并行设置的第一主线输送带和第二主线输送带，所述第一主线输送带和所述第二主线输送带之间的间距可调；所述换向输送线包括至少三条并行设置的换向输送带，至少两条相邻的所述换向输送带被配置为输送硅片；

所述换向输送带的输出端与所述收料机构的收料端相对接设置，所述换向输送带用于将所述主线输送线上输送的硅片换向收料至所述收料机构。

2.根据权利要求1所述的兼容输送装置，其特征在于，所述主线输送线还包括第一侧板和第二侧板，所述第一侧板的第一端和所述第二侧板的第一端均设置有主动轮；所述第一侧板的第二端和所述第二侧板的第二端均设置有从动轮；

所述第一侧板和所述第二侧板上均开设有至少三个凹槽，每个所述凹槽边缘设置有至少一个从动轮；

所述第一主线输送带绕设于所述第一侧板上的主动轮和各个从动轮上，所述第二主线输送带绕设于所述第二侧板上的主动轮和各个从动轮上，形成所述容置空间。

3.根据权利要求2所述的兼容输送装置，其特征在于，所述主线输送线还包括安装支架、驱动机构和滑动机构，所述第一侧板和所述第二侧板通过所述滑动机构滑动连接于所述安装支架，所述驱动机构的两个驱动端分别固定连接所述第一侧板和所述第二侧板，用于驱动所述第一侧板和所述第二侧板相互远离运动或相互靠近运动。

4.根据权利要求1所述的兼容输送装置，其特征在于，所述换向输送线的两端部和中部均设置有吸附机构，所述吸附机构设置于相邻的换向输送带之间。

5.根据权利要求1所述的兼容输送装置，其特征在于，所述换向输送线还包括位置感应器，所述位置感应器设置在沿所述主线输送线的输送方向的第一条换向输送带的侧边，用于感应由所述主线输送线输送至所述换向输送线的硅片是否到位；

所述换向输送线还包括托板和顶升机构，所述换向输送线安装于所述托板上，所述顶升机构设置于所述托板下方，用于带动所述托板升降。

6.根据权利要求1所述的兼容输送装置，其特征在于，所述收料机构和所述换向输送线之间设置有辅助输送线，所述辅助输送线包括与所述换向输送带条数相同的辅助输送带，至少两条相邻的所述辅助输送带被配置为输送硅片，所述辅助输送带的输入端与所述换向输送带的输出端相对接，所述辅助输送带的输出端与所述收料机构的收料端相对接。

7.根据权利要求2所述的兼容输送装置，其特征在于，当只有两条相邻的换向输送带、两条相邻的辅助输送带被配置为输送硅片时，所述两条相邻的换向输送带的中心线与所述两条相邻的辅助输送带的中心线保持共线。

8.根据权利要求1所述的兼容输送装置，其特征在于，所述收料机构包括兼容料盒、升降组件和承接板，所述升降组件的驱动端固定连接所述承接板，所述兼容料盒通过连接件固定连接在所述承接板上，所述升降组件通过驱动所述承接板以带动所述兼容料盒升降。

9.根据权利要求8所述的兼容输送装置，其特征在于，所述连接件包括滑动板、安装块和转轴，所述安装块固定安装在所述滑动板上，所述转轴的第一端转动安装于所述安装块上，所述转轴的另一端固定连接所述兼容料盒；

所述兼容料盒上或者所述转轴的第二端固定安装有旋转触发架，所述旋转触发架与所述兼容料盒同步转动，所述升降组件的顶部设置有与所述旋转触发架相配合的传感器，所述传感器被配置为判断所述旋转触发架是否旋转到位。

10.根据权利要求1所述的兼容输送装置，其特征在于，沿所述第一方向依次设置的末端出料输送机构处设置有直流兼容料盒，用于接收未完成检测的硅片，所述直流兼容料盒的收料端与所述末端出料输送机构的主线输送线的输出端相对接设置。

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