CN217111365U

CN217111365U - 一种磁控溅射用端头性能检测装置

Info

Publication number: CN217111365U
Application number: CN202123173669.5U
Authority: CN
Inventors: 蒋宏翔
Original assignee: Solai Coating Industry Jiangyin Co ltd
Current assignee: Solai Coating Industry Jiangyin Co ltd
Priority date: 2021-12-17
Filing date: 2021-12-17
Publication date: 2022-08-02
Anticipated expiration: 2031-12-17

Abstract

本实用新型涉及一种磁控溅射用端头性能检测装置，包括机体和氦气检测仪，所述机体上侧的左方安装有检测腔体，所述检测腔体的上侧安装有待测端头，所述待测端头内的后侧安装有伺服马达，所述机体前侧的左上方安装有控制面板，所述机体前侧的左右两方分别安装有一处压力表，所述机体前侧的中间安装有U形压力计，所述机体的前侧安装有阀门；本实用新型一种磁控溅射用端头性能检测装置，通过在待检端头的右方设置冷却水回路、真空回路和冷却水旁路，利用和阀门、压力表、U形压力计、差分泵、接口、氦气检测仪的配合，可以对磁控溅射用端头操作环境的密封性进行全面精准地检测，为磁控溅射操作的正常进行保驾护航。

Description

一种磁控溅射用端头性能检测装置

技术领域

本实用新型涉及磁控溅射设备性能检测技术领域，具体为一种磁控溅射用端头性能检测装置。

背景技术

磁控溅射技术是一种用于制备金属、半导体、绝缘体等材料的方法，随着磁控溅射技术的不断完善，磁控溅射用端头的内部结构也逐渐完善，通常集成了冷却水回路、靶材供电回路及隔绝靶材的真空环境和外部大气环境的双层真空密封系统。

随着磁控溅射用端头内部结构的复杂化，影响磁控溅射生产的因素也随之增多，例如冷却水泄漏、真空破坏等，因此对磁控溅射用端头的密封检测是十分必要的。

目前通常利用逐项手动检测的方式对磁控溅射用端头的各个回路系统进行检测，其操作不仅繁琐，增加了操作人员的操作难度，还容易出现误差，造成检测结果不准确的问题。

因此，目前亟需一种检测全面且数据精确的磁控溅射用端头性能检测装置。

发明内容

本实用新型的目的在于克服上述不足，提供一种检测全面且数据精确的磁控溅射用端头性能检测装置。

本实用新型的目的是这样实现的：

一种磁控溅射用端头性能检测装置，包括机体和氦气检测仪，所述机体上侧的左方安装有检测腔体，所述检测腔体的上侧安装有待测端头，所述待测端头内的后侧安装有伺服马达，所述机体前侧的左上方安装有控制面板，所述机体前侧的左右两方分别安装有一处压力表，所述机体前侧的中间安装有U形压力计，所述机体的前侧安装有阀门，所述机体前侧的左下方安装有差分泵，所述机体左侧的前方安装有接口，所述伺服马达右侧的后方安装有电源线，所述伺服马达和控制面板的中间设置有编码器线，所述待检端头右侧的后方设置有冷却水回路，所述待检端头右侧的中间设置有真空回路，所述待检端头右侧的前方设置有冷却水旁路。

优选的，所述接口包括氦气吹口，所述氦气吹口右侧上方设置有压缩空气接口，所述压缩空气接口的下方设置有氦气接口，所述氦气接口的下侧设置有氦气检测仪接口。

优选的，所述氦气检测仪接口与氦气检测仪相连接。

优选的，所述阀门包括阀门A，所述阀门A的左下方设置有阀门B，所述阀门A的右下方设置有阀门C，所述阀门A的右方设置有阀门D，所述阀门D的右侧设置有阀门E，所述阀门E的右侧设置有阀门F，所述阀门F的右侧设置有阀门G，所述阀门E的下侧设置有阀门H，所述阀门G的下侧设置有阀门I。

优选的，所述阀门A与所述差分泵相连接，所述阀门B与所述氦气吹口相连接，所述阀门C与所述真空回路相连接，且所述阀门A、所述阀门B、所述阀门C和所述位于装置左方的压力表相连接。

优选的，所述阀门D分别与所述U形压力计的左右两端相连接，所述阀门E与所述冷却水回路相连接，所述阀门F与所述冷却水旁路相连接，所述阀门G的一段设置在所述阀门F和所述冷却水旁路的中间，所述阀门H与所述压缩空气接口相连接，所述阀门I与所述氦气接口相连接，且所述阀门E、阀门F、阀门H、阀门I、所述位于装置右方的压力表和所述U形压力计的左端相连接。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

本实用新型一种磁控溅射用端头性能检测装置，通过在待检端头的右方设置冷却水回路、真空回路和冷却水旁路，利用其和阀门、压力表、U形压力计、差分泵、接口、氦气检测仪的配合，可以对磁控溅射用端头操作环境的密封性进行全面精准地检测，为磁控溅射操作的正常进行保驾护航。

附图说明

图1为本实用新型一种磁控溅射用端头性能检测装置的整体结构示意图。

图2为本实用新型一种磁控溅射用端头性能检测装置中接口处的结构示意图。

图3为本实用新型一种磁控溅射用端头性能检测装置中真空回路的连接结构示意图。

图4为本实用新型一种磁控溅射用端头性能检测装置中冷却水回路和冷却水旁路的连接结构示意图。

其中：机体1、检测腔体2、待检端头3、伺服马达4、控制面板5、压力表6、U形压力计7、阀门8、阀门A801、阀门B802、阀门C803、阀门D804、阀门E805、阀门F806、阀门G807、阀门H808、阀门I809、差分泵9、接口10、氦气吹口1001、压缩空气接口1002、氦气接口1003、氦气检测仪接口1004、氦气检测仪11、电源线12、编码器线13、冷却水回路14、真空回路15、冷却水旁路16。

具体实施方式

参见图1至图4，本实用新型涉及的一种磁控溅射用端头性能检测装置，包括机体1和氦气检测仪11，机体1上侧的左方安装有检测腔体2，检测腔体2的上侧安装有待测端头3，待测端头3内的后侧安装有伺服马达4，机体1前侧的左上方安装有控制面板5，机体1前侧的左右两方分别安装有一处压力表6，机体1前侧的中间安装有U形压力计7，机体1的前侧安装有阀门8，阀门8包括阀门A801，阀门A801的左下方设置有阀门B802，阀门A801的右下方设置有阀门C803，阀门A801的右方设置有阀门D804，阀门D804的右侧设置有阀门E805，阀门E805的右侧设置有阀门F806，阀门F806的右侧设置有阀门G807，阀门E805的下侧设置有阀门H808，阀门G807的下侧设置有阀门I809，机体1前侧的左下方安装有差分泵9，机体1左侧的前方安装有接口10，接口10包括氦气吹口1001，氦气吹口1001右侧上方设置有压缩空气接口1002，压缩空气接口1002的下方设置有氦气接口1003，氦气接口1003的下侧设置有氦气检测仪接口1004，氦气检测仪接口1004与氦气检测仪11相连接，伺服马达4右侧的后方安装有电源线12，伺服马达4和控制面板5的中间设置有编码器线13，待检端头3右侧的后方设置有冷却水回路14，待检端头3右侧的中间设置有真空回路15，待检端头3右侧的前方设置有冷却水旁路16，阀门A801与差分泵9相连接，阀门B802与氦气吹口1001相连接，阀门C803与真空回路15相连接，且阀门A801、阀门B802、阀门C803和位于装置左方的压力表6相连接，阀门D804分别与U形压力计7的左右两端相连接，阀门E805与冷却水回路14相连接，阀门F806与冷却水旁路16相连接，阀门G807的一段设置在阀门F806和冷却水旁路16的中间，阀门H808与压缩空气接口1002相连接，阀门I809与氦气接口1003相连接，且阀门E805、阀门F806、阀门H808、阀门I809、位于装置右方的压力表6和U形压力计7的左端相连接，通过在待检端头3的右方设置冷却水回路14、真空回路15和冷却水旁路16，利用其和阀门8、压力表6、U形压力计7、差分泵9、接口10、氦气检测仪11的配合，可以待测端头3内的密封性能进行全面精准地检测，为磁控溅射操作的正常进行保驾护航，如图3所示，在保持伺服马达4运转时，关闭阀门A801，然后打开阀门B802和阀门C803，再向氦气吹口1001中吹入三下氦气，等待1分钟后，观察氨气检测仪11的读数，其数值小于9.9*10-7mbarL/sec，则表明真空回路15的密封性能良好，同时，还可以启动差分泵9，利用其对回路内部抽取真空，然后打开阀门A801，关闭阀门B802和阀门C803，此时位于装置左方压力表6的读数应为40-90mbar，最后打开阀门C803，使差分泵9和真空回路15连通，等待30秒，装置左方压力表6的数值在上述范围内则同样表明此真空回路的密封性能良好，即可停止差分泵9和伺服马达4，停止真空回路15的检测；如图4所示，首先打开阀门D804、阀门E805和阀门G807，关闭阀门F806、阀门H808和阀门I809，然后保持伺服马达4停止运转，打开阀门H808，使压缩空气充入回路中，当压力达到3bar时，关闭阀门H808，最后关闭阀门D804，此时U形压力计7的右端保持3bar压力，左端与冷却水回路14连通，等待5分钟左右，观察U形压力计7内水柱的落差，如若此落差数值小于标准值，则表明此冷却水的密封性能良好，即可先打开阀门D804，再打开阀门F806放气，使U形压力计7内水柱恢复初始状态；同样，还可以先打开阀门D804、阀门E805和阀门F806，关闭阀门G807、阀门H808和阀门I809，然后打开阀门H808，使压缩空气充入回路中，当压力达到3bar时，关闭阀门H808，再关闭阀门D804，此时U形压力计7的右端保持3bar压力，左端与冷却水回路14和冷却水旁路16连通，等待5分钟左右，观察U形压力计7内水柱的落差，如若此落差数值小于标准值，则表明此道冷却水的密封性能良好，即可先打开阀门D804，再打开阀门G807放气，使U形压力计7内水柱恢复初始状态，从而完成待测端头3内部各个系统的密封性能检测，保障磁控溅射的正常运行。

本实用新型一种磁控溅射用端头性能检测装置工作原理是：首先将机体1和电源线12一并接入外部的控制装置接入外部的控制装置，然后启动氦气检测仪11和伺服马达4，并利用对控制面板5的操控，调节伺服马达4的转速和转矩等参数，使伺服马达4的转矩小于标准值，即可进行各个回路的检测；回路检测包括第一道真空密封检测、第二道真空密封检测、第一道冷却水密封检测和第二道冷却水密封检测，在进行第一道真空密封检测时，首先保持伺服马达4运转，然后关闭阀门A801，打开阀门B802和阀门C803，最后向氦气吹口1001中吹入三下氦气，等待1分钟后，观察氨气检测仪11的读数，其数值小于9.9*10^-7mbarL/sec，则表明真空回路的密封性能良好；在进行第二道真空密封检测时，首先检查一下差分泵9是否正常，然后启动差分泵9，打开阀门A801，关闭阀门B802和阀门C803，此时位于装置左方压力表6的读数应为40-90mbar，最后打开阀门C803，使差分泵9和真空回路15连通，等待30秒，装置左方压力表6的数值在上述范围内则表明此真空回路15的密封性能良好，即可停止差分泵9和伺服马达4，完成真空回路15的检测；在进行第一道冷却水密封检测时，首先打开阀门D804、阀门E805和阀门G807，关闭阀门F806、阀门H808和阀门I809，然后保持伺服马达4停止运转，打开阀门H808，使压缩空气充入，当压力达到3bar时，关闭阀门H808，最后关闭阀门D804，此时U形压力计7的右端保持3bar压力，左端与冷却水回路14连通，等待5分钟左右，观察U形压力计7内水柱的落差，如若此落差数值小于标准值，则表明此冷却水管路的密封性能良好，即可先打开阀门D804，再打开阀门F806放气，使U形压力计7内水柱恢复初始状态；在进行第二道冷却水密封检测时，首先打开阀门D804、阀门E805和阀门F806，关闭阀门G807、阀门H808和阀门I809，然后打开阀门H808，使压缩空气充入回路中，当压力达到3bar时，关闭阀门H808，再关闭阀门D804，此时U形压力计7的右端保持3bar压力，左端与冷却水回路14和冷却水旁路16连通，等待5分钟左右，观察U形压力计7内水柱的落差，如若此落差数值小于标准值，则表明此冷却水管路的密封性能良好，即可先打开阀门D804，再打开阀门G807放气，使U形压力计7内水柱恢复初始状态，从而完成待测端头3内部各个回路系统密封性能的检测。

另外：需要注意的是，上述具体实施方式仅为本专利的一个优化方案，本领域的技术人员根据上述构思所做的任何改动或改进，均在本专利的保护范围之内。

Claims

1.一种磁控溅射用端头性能检测装置，其特征在于：包括机体（1）和氦气检测仪（11），所述机体（1）上侧的左方安装有检测腔体（2），所述检测腔体（2）的上侧安装有待测端头（3），所述待测端头（3）内的后侧安装有伺服马达（4），所述机体（1）前侧的左上方安装有控制面板（5），所述机体（1）前侧的左右两方分别安装有一处压力表（6），所述机体（1）前侧的中间安装有U形压力计（7），所述机体（1）的前侧安装有阀门（8），所述机体（1）前侧的左下方安装有差分泵（9），所述机体（1）左侧的前方安装有接口（10），所述伺服马达（4）右侧的后方安装有电源线（12），所述伺服马达（4）和控制面板（5）的中间设置有编码器线（13），所述待检端头（3）右侧的后方设置有冷却水回路（14），所述待检端头（3）右侧的中间设置有真空回路（15），所述待检端头（3）右侧的前方设置有冷却水旁路（16）。

2.根据权利要求1所述的一种磁控溅射用端头性能检测装置，其特征在于：所述接口（10）包括氦气吹口（1001），所述氦气吹口（1001）右侧上方设置有压缩空气接口（1002），所述压缩空气接口（1002）的下方设置有氦气接口（1003），所述氦气接口（1003）的下侧设置有氦气检测仪接口（1004）。

3.根据权利要求2所述的一种磁控溅射用端头性能检测装置，其特征在于：所述氦气检测仪接口（1004）与氦气检测仪（11）相连接。

4.根据权利要求2所述的一种磁控溅射用端头性能检测装置，其特征在于：所述阀门（8）包括阀门A（801），所述阀门A（801）的左下方设置有阀门B（802），所述阀门A（801）的右下方设置有阀门C（803），所述阀门A（801）的右方设置有阀门D（804），所述阀门D（804）的右侧设置有阀门E（805），所述阀门E（805）的右侧设置有阀门F（806），所述阀门F（806）的右侧设置有阀门G（807），所述阀门E（805）的下侧设置有阀门H（808），所述阀门G（807）的下侧设置有阀门I（809）。

5.根据权利要求4所述的一种磁控溅射用端头性能检测装置，其特征在于：所述阀门A（801）与所述差分泵(9)相连接，所述阀门B（802）与所述氦气吹口（1001）相连接，所述阀门C（803）与所述真空回路（15）相连接，且所述阀门A（801）、所述阀门B（802）、所述阀门C（803）和所述位于装置左方的压力表（6）相连接。

6.根据权利要求4所述的一种磁控溅射用端头性能检测装置，其特征在于：所述阀门D（804）分别与所述U形压力计（7）的左右两端相连接，所述阀门E（805）与所述冷却水回路（14）相连接，所述阀门F（806）与所述冷却水旁路（16）相连接，所述阀门G（807）的一段设置在所述阀门F（806）和所述冷却水旁路（16）的中间，所述阀门H（808）与所述压缩空气接口（1002）相连接，所述阀门I（809）与所述氦气接口（1003）相连接，且所述阀门E（805）、阀门F（806）、阀门H（808）、阀门I（809）、所述位于装置右方的压力表（6）和所述U形压力计（7）的左端相连接。