CN216927133U - 对人体安全的紫外线照射装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种对人体安全的紫外线照射装置，其包括：壳体，其具有至少一个光取出窗口；紫外光源，其被收容在所述壳体内部，并且由所述紫外光源发射的光包含具有指定波长的第一紫外光；光过滤器，其与光取出窗口配合设置，并允许第一紫外光透过；微反射结构，其设置在所述壳体内部，用于将传输方向偏离光取出窗口的第一紫外光中的至少一部分反射入光取出窗口。本实用新型的紫外线照射装置的出光效率高，且宏观形状、尺寸、结构不受限制，应用前景广阔。

Description

对人体安全的紫外线照射装置

技术领域

本实用新型涉及一种紫外线照射装置，具体涉及一种对人体安全的紫外线照射装置。

背景技术

紫外光的波长为200nm-400nm，其具有纯物理无二次污染、高效杀菌消毒、大面积等优点，被广泛用于杀菌消毒、表面处理、薄膜沉积、光化学沉积等领域。但是，大部分紫外光对人体有伤害，不能直接照射在皮肤和眼睛上。近年来的研究表明，波长在200nm-225nm范围内的紫外光无法穿透人体皮肤角质层，对人体很安全。

利用气体发光的准分子灯可以大面积、高效地发射波长为200nm-225nm的紫外光。但准分子灯还含有少量但不可忽略的波长为240nm-300nm的有害紫外光，所以需要使用一个灯壳将准分子灯罩住，让紫外光只从光取出窗口出射，并且利用光学滤波器，降低出射的有害紫外光比例。光学滤波器透过波长为190nm-230nm的紫外光，反射波长为240nm-300nm的紫外光。光学滤光器对入射光的反射、透射依赖于入射角度。具体而言就是随着入射角增大反射谱蓝移，也就是入射角比较大的波长小于230nm的紫外光不能透出，相关技术信息可参考 CN112930579A。

因为准分子灯出光具有一定发散性，所以其至少会产生2类光损失，即：1、部分光因为出射角度，没有到达光出射窗口，就在随机反射中损失；2、有些光虽然到达了光学滤波器，但是没有透射出去，而是反射回到装置内部。减少以上的2种光损失，可以提高准分子灯的出光效率。现有的一种方法是利用灯壳内部的镜面反射或漫反射，将这两部分光引导到光取出窗口，这需要将灯壳设计为特殊形状。但因为灯壳的形状还需要满足空间紧凑、散热优化、外型美观、加工简单等要求，所以这一方法受到较多限制。另一种方法是改变装置内部结构优化出光，例如在接近光取出窗口处设置多个漫反射的扩散片，以使被光取出窗口反射的光再度入射光取出窗口，但这种方法会使装置内部结构复杂化，导致成本增加，亦会降低装置的可靠性。

发明内容

本实用新型的主要目的在于提供一种对人体安全的紫外线照射装置，以克服现有技术中的不足。

为实现前述发明目的，本实用新型采用的技术方案包括：

本实用新型的一些实施例提供的一种对人体安全的紫外线照射装置包括：

壳体，其具有至少一个光取出窗口；

紫外光源，其被收容在所述壳体内部，并且由所述紫外光源发射的光包含具有指定波长的第一紫外光；

光过滤器，其与光取出窗口配合设置，并允许第一紫外光透过；

微反射结构，其设置在所述壳体内部，用于将传输方向偏离光取出窗口的第一紫外光中的至少一部分反射入光取出窗口。

在一个实施例中，所述第一紫外光的波长为190～230nm。

在一个实施例中，由所述紫外光源发射的光还包含第二紫外光，所述光过滤器能够阻挡所述第二紫外光，且所述第二紫外光的波长为240～300nm。

在一个实施例中，所述光过滤器设置在紫外光源与光取出窗口之间，或者，所述光过滤器设置在光取出窗口上。

在一个实施例中，所述光过滤器结合于所述光取出窗口位于壳体内的一侧表面上和/或所述光取出窗口位于壳体外的一侧表面上。

在一个实施例中，所述光过滤器包括多层介质膜。

在一个实施例中，多个所述微反射结构被设置在壳体内壁上，并至少用于将射向壳体内壁的部分第一紫外光反射入光取出窗口。

在一个实施例中，多个所述微反射结构沿逐渐远离光过滤器受光面的方向依次排列在壳体内壁上，其中每一微反射结构至少具有第一反射面，所述第一反射面与光过滤器的受光面形成大于0且小于90°的夹角，并至少用于将由光过滤器的受光面反射向壳体内壁的第一紫外光直接反射入光过滤器。

在一个实施例中，沿逐渐远离光过滤器的受光面的方向排列在壳体内壁上的多个所述微反射结构的第一反射面与光过滤器的受光面形成的夹角角度呈减小的趋势。

在一个实施例中，所述微反射结构包括非对称三棱柱反射结构，且不限于此。

在一个实施例中，一个微反射结构在平行于壳体内壁的方向上的尺寸为10μm-1000μm；和/或，一个微反射结构的表面在随壳体内壁连续延伸时，还在垂直于壳体内壁的方向上高低起伏，且高度变化小于10mm。

在一个实施例中，所述微反射结构与壳体内壁固定连接或一体设置。

在一个实施例中，所述紫外光源包括准分子灯。

相较于现有技术，本实用新型通过在紫外线照射装置内设置微反射结构，可以在不限制紫外线照射装置宏观尺寸、形状、结构的情况下，简单地调整微反射结构的三维形状和/或尺寸来调制微反射结构对入射光的反射特性，从而显著提高紫外线照射装置的出光效率，其设计具有灵活、通用、低成本等优点，还可以在一定程度上简化紫外线照射装置的结构，扩展其应用范围。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1是一种现有紫外线照射装置在主视方向上的剖视图；

图2是一种现有紫外线照射装置在左视方向上的剖视图；

图3是一种现有紫外线照射装置的一种工作状态示意图；

图4是一种现有紫外线照射装置的另一种工作状态示意图；

图5是本实用新型的一个实施例中一种紫外线照射装置在主视方向上的剖视图；

图6是本实用新型中一种微反射结构的示意图；

图7a是图6所示微反射结构的工作示意图之一；

图7b是图6所示微反射结构的工作示意图之二；

图8a是图6所示微反射结构的工作示意图之三；

图8b是图6所示微反射结构的工作示意图之四；

图9a是本发明中另一种微反射结构的工作示意图之一；

图9b是本发明中另一种微反射结构的工作示意图之二；

图10是本发明的另一个实施例中一种紫外线照射装置在主视方向上的剖视图。

图11是本发明的另一个实施例中一种紫外线照射装置的工作示意图；

图12是本发明中一种具有微反射结构的反射膜的结构示意图；

附图标记说明：100-现有紫外线照射装置、101-壳体、102-固定架、103-准分子灯、104- 光取出窗口、105-光学滤波器、106a～106c-准分子灯向不同方向发射的光束、107a～107b-准分子灯发射光边界、107a’～107b’-准分子灯发射光边界、108-微发射结构、200-具有微反射结构的第一种紫外线照射装置、300-具有微反射结构的第二种紫外线照射装置。

具体实施方式

请参阅图1-图2，一种现有紫外线照射装置100主要由壳体101、准分子灯103、光学滤波器105等组成。其中，壳体101将准分子灯103包围(也可以认为准分子灯103被收容于壳体101 内)，起约束出光区域和防止有害光外溢的作用。准分子灯103可以通过固定架102或其它安装结构与壳体101进行物理、电学等连接。壳体101的内壁具有一定反射紫外线的特性，例如，在壳体内壁上可以设置金属铝、铝合金镀层等，以产生镜面反射或者无取向的漫反射的效果。壳体101上可以设置一光取出窗口104，光学滤波器105与光取出窗口104配合设置，例如可以设置在光取出窗口104上。光学滤波器能够使第一波长域(例如190～230nm)的紫外线(可以定义为第一紫外光)实质上透射，使第二波长域(例如240～300nm)的紫外线(可以定义为第二紫外光)实质上反射。

请继续参阅图2，若无特别光学约束，准分子灯103会向周围空间发射光，例如，光束106a 可以直接入射到光学滤波器上，第一波长域的光大部分透过光学滤波器104和光取出窗口105 透射到壳体外，而第二波长域的有害光被反射回来，其后经过多次反射被壳体内壁和其中的气体所吸收。光束106b的入射角相对较大，有很大几率被光学滤波器105反射。光束106c照射到壳体的一侧内壁(即壳体内侧壁)，如果该壳体内侧壁具有镜面反射特性，那么该光束106c 会在装置内来回反射，最终大部分被壳体内壁和其中的气体吸收。光束106d照射到壳体顶部内壁或者以一定角度入射到壳体内侧壁，经少数几次反射到达光学滤波器，部分也将通过壳体内壁和其中的气体吸收而损失。

现有紫外线照射装置中，很多准分子灯会因紫外线照射装置的整体外型、灯罩、反射面等设计而促使光向特定方向出射。例如，请参阅图3所示，准分子灯103的出射光中，处于准分子灯发射光边界107a与准分子灯发射光边界107b之间的光均能达到光学滤波器。甚至图4 中处于准分子灯发射光边界107a’与准分子灯发射光边界107b’之间的发射光也能达到光学滤波器。但要进一步实现完全准直出射，难度很大、成本很高。

鉴于此，本案发明人经长期研究和实践，得以提出本实用新型的技术方案。以下将结合附图及若干实施例对本实用新型的技术方案进行更详细的描述，但应当理解，如下实施例仅仅是为了解释和说明该技术方案，但不限制本实用新型的范围。

本实用新型的一些实施例提供了一种对人体安全的紫外线照射装置，其包括：

壳体，其具有至少一个光取出窗口；

准分子灯，其被收容在所述壳体内部，也就是，准分子灯被壳体包围，并且所述紫外光源的发射光主要是第一波长域的紫外线；

光过滤器，其与光取出窗口配合设置，并允许第一紫外光透过，即，使第一波长域的紫外线实质上透射，而使第二波长域的紫外线(前述的第二紫外光)实质上反射；

微反射结构，其设置在所述壳体内部，用于将传输方向偏离光取出窗口的第一紫外光中的至少一部分反射向光取出窗口。换言之，所述微反射结构用于对所述壳体内反射光强的空间分布进行调制，从而让第一紫外光更多的通过光滤波器。

在本实用新型中，所述准分子灯的主要波长在此波长±10nm的范围内全积分强度呈现40％以上。实际上，现有准分子灯的主要发光波长处的半峰宽值很小，一般会在10nm-15nm。

在本实用新型中，对所述准分子灯的形状不作限定，例如可以是管状、扁长方体、圆饼形等，且不限于此。

在本实用新型中，对所述准分子灯内密封的发光气体也不作限定，可以是KrCl、KrBr、 ArF。需要指明地是发光气体并不是指初始充入气体。例如，在石英玻璃管中，充入一定比例的Kr和Cl₂，在高电场高频率激发下会生成KrCl准分子的激发态，激发态回到基态过程中发出主要峰值波长为222nm附近的紫外线。类似的，充入一定比例的Kr和Br₂的情况下，从准分子发射的是主要峰值波长为207nm附近的紫外线，充入一定比例的Ar和F₂的情况下，从准分子发射的是主要峰值波长为193nm附近的紫外线。原始充入气体中，也可以充入辅助气体He、 Ne、Ar等，且不限于此。

在本实用新型中，所述壳体主要用于限制准分子灯发出的紫外光，使其只能从光取出面发射出来，以避免有害紫外光泄露到周围环境中对人或动物受到伤害。所述壳体的形状不限，例如可以是长方体、圆柱体或者其它规则或不规则形状，其可以依据实际需求而定，例如，用于满足空间紧凑、散热优化、美观、加工简单等之中的一种或多种需求。在一些情况下，所述壳体也可能同时具备机械保护、电磁屏蔽、热量隔绝等功能，且不限于此。

在本实用新型中，所述光取出窗口可以是一个，也可以是多个，其主要是使用可供第一紫外光透过的材料形成，例如石英玻璃、蓝宝石等，且不限于此。

在本实用新型中，所述光学滤光器可以独立的设置在准分子灯与光取出窗口之间，也可以设置在光取出窗口的一侧面或相对的两侧面上。在一些情况下，所述光学滤光器可以采用多层介质膜，其可以通过光学折射、干涉、衍射等实现波长选择反射。所述多层介质膜可以是自支撑膜，也可以是结合在透明基底上。例如，可以将所述多层介质膜通过物理、化学气相沉积方式镀在或通过旋涂、打印等方式沉积透明基底上，再叠加到光取出窗口和准分子灯之间，也可以直接在光取出窗口上沉积所述多层介质膜，例如沉积在光取出窗口的内侧表面和/或外侧表面上，一般是结合在光取出窗口的内侧面上，即光取出窗口朝向壳体内部的一侧表面。

在本实用新型中，可以在所述壳体的全部或部分内壁上设置所述微反射结构。在一些情况下，也可以在所述壳体内部的其它区域，例如其它机构表面上设置所述微反射结构。利用所述微反射结构可对壳体内的反射光强空间分布进行调制。

在本实用新型中，所述微反射结构可以是多种形状的，例如棱柱、棱锥、棱台、球面、圆柱等规则形状或其它非规则形状，其可以根据实际情况而具体设置。

在一些情况下，所述微反射结构可以通过在预定材料的基底上成型制成，例如采用模内注塑、热压等工艺在所述壳体成型时形成。在另外一些情况下，所述微反射结构也可以通过热压、UV压印等方式在预定基底表面上形成，例如在轻薄柔性基材(柔性薄膜等)上制成。进一步的，所述微反射结构可以直接由能反射第一紫外光的材料形成。或者，也可以在形成所述微反射结构的基本构型后，再通过真空镀膜、电铸、化学镀膜、喷涂、印刷等方式将能反射第一紫外光的材料(如金属铝、铝合金、镍等)沉积在所述微反射结构的基本构型上形成反射涂层，最终制得所述微反射结构。

在本实用新型中，所述微反射结构可以涂层等形态直接覆盖在壳体内壁等处，也可以与壳体内壁一体形成，或者也可以是薄膜等形态并粘贴在壳体内壁等处。因为这些微反射结构具有轻薄等特点，所以其可以突破所述紫外线照射装置的外型、尺寸、结构等方面的限制，并显著提高所述紫外线照射装置的出光效率。并且，这些微反射结构可以通过成熟工艺大面积制备，成本低廉。

以图5所示的具有微反射结构的紫外线照射装置作为示范性实例来进一步说明本实用新型的内容。需要说明的是，这些附图均是示意性地图示，图画上的尺寸比例和实际的尺寸比例并不一定一致。此外，在各图间，尺寸比例也并不一定一致。

请参阅图5，本实施例所提供的一种紫外线照射装置200中，在壳体内侧壁上设置了微反射结构108，以对该紫外线照射装置的取光效率进行改善。该第一种紫外线照射装置200中，准分子灯103发射的光被局限在边界107a和107b之间，也就是说准分子灯103发射的光直接到达了光学滤波器105，但有一部分的第一紫外光会被反射。光学滤波器表面上的反射光，到达微反射结构108后被反射。特定的微结构反射具有与未经设计的表面完全不同反射特性，使得反射光经过较短的光程又到达光学滤波器，再次获得透射机会。

该实施例中的微反射结构108可以是具有棱柱面、棱台面、棱锥面、柱面或球面等非随机的规则结构。一个微反射结构108的表面在一个三维坐标系中沿X和Z中的至少一个方向延伸时，还在Y方向上规则性起伏，高度变化小于10mm，优选为10μm-1000μm，这样便于微反射结构的低成本加工和轻薄化。以及，一个微反射结构在X-Z面的特征尺寸为10μm-1000μm。从多个微反射结构108配合形成的一个整体反射面上看，其可以是一种微反射结构的尺寸不变的周期重复，也可以是一种微反射结构的尺寸渐变的重复，或者是多种微反射结构的组合。

进一步给出基于图5所示装置的一种反射膜，该反射膜包含多个微反射结构，所述微反射结构可以是非对称三棱柱结构。例如，图6示出了其中一种相对于光学滤波器设置的反射膜的剖面示意图，其中每一微反射结构的表面在沿Z方向延伸时，还在Y方向上高低起伏，且高低变化在10μm-1000μm内。同时，每一微反射结构在Z方向上的特征尺寸10μm-1000μm，在X方向的尺寸基本保持不变。每一微反射结构具有a反射面(也可以命名为第一反射面)、b反射面(也可以命名为第二反射面)两个反射面，该两个反射面可反射光学滤波器表面(定义为c 面)出射的光。其中，a面与c面成锐角，b面与c面成钝角。β角为从光学滤波器表面反射的光线与c面的法线的夹角，也可以被定义为光的c面出射角。给定出射角β的一束平行光照射在一微反射结构上，可能仅照射在a面，也可能同时照射在a面和b面。a、b面相对于入射光的角度不同，所以反射特性不同。

从光学滤波器表面反射的光线入射在a面上后，可能会出现两种情况：(1)请参阅图7a，入射光经a面反射后离开反射膜；(2)请参阅图7b，入射光经a面、b面各反射1次后离开反射膜。可以证明，在a面与b面的夹角α＞90°时，对于出射角β大于a面与c面的夹角的光，前述两种情况下反射的光均能再次入射c面，并且入射角小于β。也就是说，入射a面可提高第一紫外光的透射。

从光学滤波器表面反射的光线入射在b面上后，也可能会出现两种情况：(i)请参阅图 8a，入射光经b面反射后离开反射膜；(ii)请参阅图8b，入射光经a面和b面各反射1次后离开反射膜。可以证明，如果a面与b面的夹角α＞90°时，对于出射角β大于b面与c面的夹角的光，在情况(i)下反射的光能再次入射c面，但入射角大于β，情况(ii)下反射的光不能直接到达光学滤波器。也就是说，入射b面不能明显提高第一紫外光的透射。

因而，优选通过调整非对称三棱柱结构的结构参数，增加a面对于光线的反射面积，减少 b面对于光线的反射面积。

请再次参阅图6-图8b，在a面与c面的夹角较小(小于45°)时，β角度较大的c面出射光主要入射b面，而β角度较小的c面出射光主要入射a面。而与之相反的是，对于图9a-图9b所示的反射膜，其中微反射结构具有a’、b’面，a’面与c面的夹角较大(大于45°但小于90°)，b’面与c面的夹角也较大(大于135°但小于180°)，该结构有利于对于β角度较大的c面出射光的再次透射。

另一方面，在图5所示的紫外线照射装置200中，β角度较小的c面出射光更多地照射在沿 z方向远离c面的壳体内侧壁上，β角度较大的c面出射光更多地照射在沿z方向接近c面的壳体内侧壁上。因而，进一步优选的，可以针对不同角度的c面出射光，在壳体内侧壁的不同区域上设置具有不同a面角度的微反射结构，从而进一步提高紫外线照射装置的光效。例如，图10 示出了一种包含了优化的反射膜的紫外线照射装置300。在该紫外线照射装置300中，反射膜可以是在基底301上预先制备微反射结构302制得，之后将反射膜黏合在壳体内侧壁上。其中每一微反射结构302的特征是具有非对称三棱柱反射结构。并且，在沿Z方向远离光学滤波器的受光面(前述c面)的方向上，各微反射结构的特征尺寸是变化的，包括渐变、突变等形式，其变化遵循提高紫外线照射装置光效的原则。

具体的，请继续参考图6-图9b，在紫外线照射装置300中，每一微反射结构有一个面(a 面或a’面)与光学滤波器的受光面的夹角在大于0且小于90°(如1°-89°)范围内，有另一个面(b面或b’面)与光学滤波器的受光面的夹角在大于90°且小于180°(如91°-179°) 范围内。a面与b面(或a’面与b’面)的夹角α大于90°。a面或a’面与光学滤波器的受光面所成夹角的角度随Z方向变化，可以是渐变的，也可以是分段突变的，但总体来说，在Z方向上，该夹角的角度是沿远离光学滤波器受光面的方向变小。较为优选的，在靠近光学滤波器的区域内，微反射结构的a面与光学滤波器的受光面的夹角角度较大(例如大于60°但小于90°)，同时微反射结构的b面与光学滤波器的受光面的夹角角度也较大(例如大于145°但小于180°)，在远离光学滤波器的区域，微反射结构的a面与光学滤波器的受光面的夹角角度较小(例如大于0但小于30°)，b面与c面的夹角适当减小，以保持a面与b面(或a’面与b’面) 的夹角α大于90°。请继续参阅图11，利用这种反射膜，即在z方向上的不同位置设置不同的微反射结构(在z方向上远离c面位置处设置微反射结构108，在z方向上接近c面位置处设置微反射结构108’)，可以实现对不同角度的光的反射，使其回到光取出窗口。

在以上的实施例中，微反射结构可以直接沉积在壳体内侧壁上，也可以通过压印、模压等方式一体形成在壳体内壁上，或者贴附在壳体内侧壁上，因而无须改变壳体形状，也无须在壳体内部额外设置体积较大的光学元件，即可有效能提升出光效率。

贴附在壳体内侧壁的一种具有微反射结构的反射膜如图12所示。该反射膜的制作方法可以包括：先在基材43的一个表面制作多个微结构44，基材可以是高分子薄膜、金属箔片、玻璃等，微结构44的制作方法包括不限于热压、UV压印、光刻等；之后在多个微结构44上沉积对第一紫外光具有良好反射的薄膜45，薄膜45可以是金属膜、多层介质膜或金属膜与介质膜的叠层结构，从而形成多个微反射结构。进一步的，在形成薄膜45，例如真空镀金属铝膜或铝合金反射膜之前，可以预先在微结构44上镀氧化硅、氧化铝、氧化铌等介质层，以增加薄膜45与微结构44的附着力。进一步，将该反射膜通过粘合层42贴合在壳体内侧壁41上。粘合层42可以是热熔胶、UV胶、压敏胶等材质的，也可以是金属、聚合物等材质的，且不限于此。

在以上的实施例中，依据准分子灯出射光的空间分布不同，使用了不同的微结构对入射光进行调制。在本实用新型的其它一些实施例中，也可以根据准分子灯的特性、紫外线照射装置结构等不同，设置不同微反射结构和/或在壳体内的任意合适位置设置不同的微反射结构。

应当理解，以上所述仅为本实用新型的优选实施例而已，并不用于限制本实用新型，尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换，凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。

Claims (10)

1.一种对人体安全的紫外线照射装置，其特征在于包括：

壳体，其具有至少一个光取出窗口；

紫外光源，其被收容在所述壳体内部，并且由所述紫外光源发射的光包含具有指定波长的第一紫外光；

光过滤器，其与光取出窗口配合设置，并允许第一紫外光透过；

微反射结构，其设置在所述壳体内部，用于将传输方向偏离光取出窗口的第一紫外光中的至少一部分反射入光取出窗口。

2.根据权利要求1所述的对人体安全的紫外线照射装置，其特征在于：所述紫外光源包括准分子灯；和/或，所述第一紫外光的波长为190～230nm。

3.根据权利要求1或2所述的对人体安全的紫外线照射装置，其特征在于：由所述紫外光源发射的光还包含第二紫外光，所述光过滤器能够阻挡所述第二紫外光，且所述第二紫外光的波长为240～300nm。

4.根据权利要求1所述的对人体安全的紫外线照射装置，其特征在于：所述光过滤器设置在紫外光源与光取出窗口之间，或者，所述光过滤器设置在光取出窗口上。

5.根据权利要求4所述的对人体安全的紫外线照射装置，其特征在于：所述光过滤器结合于所述光取出窗口位于壳体内的一侧表面上和/或所述光取出窗口位于壳体外的一侧表面上。

6.根据权利要求1、4或5所述的对人体安全的紫外线照射装置，其特征在于：所述光过滤器包括多层介质膜。

7.根据权利要求1所述的对人体安全的紫外线照射装置，其特征在于：多个所述微反射结构被设置在壳体内壁上，并至少用于将射向壳体内壁的部分第一紫外光反射入光取出窗口。

8.根据权利要求7所述的对人体安全的紫外线照射装置，其特征在于：多个所述微反射结构沿逐渐远离光过滤器受光面的方向依次排列在壳体内壁上，其中每一微反射结构至少具有第一反射面，所述第一反射面与光过滤器的受光面形成大于0且小于90°的夹角，并至少用于将由光过滤器的受光面反射向壳体内壁的第一紫外光直接反射入光过滤器。

9.根据权利要求8所述的对人体安全的紫外线照射装置，其特征在于：沿逐渐远离光过滤器的受光面的方向排列在壳体内壁上的多个所述微反射结构的第一反射面与光过滤器的受光面形成的夹角角度呈减小的趋势。

10.根据权利要求1、7、8、9中任一项所述的对人体安全的紫外线照射装置，其特征在于：所述微反射结构包括非对称三棱柱反射结构；和/或，所述微反射结构与壳体内壁固定连接或一体设置；和/或，一个微反射结构在平行于壳体内壁的方向上的尺寸为10μm-1000μm；和/或，一个微反射结构的表面在随壳体内壁连续延伸时，还在垂直于壳体内壁的方向上高低起伏，且高度变化小于10mm。

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