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CN202734770U - 基于等厚干涉原理检测全反射棱镜胶合面平行度的装置 - Google Patents

基于等厚干涉原理检测全反射棱镜胶合面平行度的装置 Download PDF

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CN202734770U CN 201220271224 CN201220271224U CN202734770U CN 202734770 U CN202734770 U CN 202734770U CN 201220271224 CN201220271224 CN 201220271224 CN 201220271224 U CN201220271224 U CN 201220271224U CN 202734770 U CN202734770 U CN 202734770U
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China
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reflection prism
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equal thickness
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CN 201220271224
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English (en)
Inventor
谈军军
张宽
张昌清
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Zhejiang Jinxin Microelectronics Technology Co ltd
Original Assignee
HEFEI ADVANTOOLS SEMICONDUCTOR CO Ltd
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Abstract

本实用新型公开了一种基于等厚干涉原理检测全反射棱镜胶合面平行度的装置，包括有光源、准直透镜、待检测全反射棱镜、图形接收器，光源、准直透镜、待检测全反射棱镜依次放置并处于同一水平线上，图形接收器置于待检测全反射棱镜的反射光路上，光源发出的发散光束经准直透镜准直后直射在待检测全反射棱镜上，光束在待检测全反射棱镜的胶合面反射出两束反射光，两束反射光在反射光路上发生干涉后形成干涉条纹，干涉条纹被图形接收器接收。本实用新型设计合理，能够在不需要特殊仪器前提下，快速的得到两个面的平行度准确结果。

Description

基于等厚干涉原理检测全反射棱镜胶合面平行度的装置
技术领域
本实用新型属于半导体印刷线路板激光直写曝光成像设备领域，具体涉及一种基于等厚干涉原理检测全反射棱镜胶合面平行度的装置。
背景技术
光刻机投影光路中的全反射（TIR）棱镜是光刻机的重要部件之一，其作用是衔接照明系统与成像系统，同时具有转折光路，使整个光路布局更加紧凑合理。
随着光刻技术的发展，对曝光线条质量的要求越来越高，其中的光学元件的加工精度要求也不断提高，TIR棱镜的胶合面的平行度对整个光学系统的像差与畸变有很大的影响，平行度所能达到的精度直接决定了最终成像的质量。
实用新型内容
为了检测出全反射棱镜胶合面平行度的问题，达到区分好坏目的，本实用新型提出了一种基于等厚干涉原理检测全反射棱镜胶合面平行度的装置。
本实用新型所采用的技术方案为：
基于等厚干涉原理检测全反射棱镜胶合面平行度的装置，其特征在于：包括有光源、准直透镜、待检测全反射棱镜、图形接收器，所述的光源、准直透镜、待检测全反射棱镜依次放置并处于同一水平线上，图形接收器置于待检测全反射棱镜的反射光路上，光源发出的发散光束经准直透镜准直后直射在待检测全反射棱镜上，光束在待检测全反射棱镜的胶合面反射出两束反射光，两束反射光在反射光路上发生干涉后形成干涉条纹，干涉条纹被图形接收器接收。
所述光源为405nm激光二极管。
所述准直透镜为一个平凸透镜，把发光二极管光源发出的发散光束转变为平行光束。
所述的图形接收器为一个光屏，用于观测干涉条纹情况。
通过单位长度里干涉条纹的数目，就可以得出全反射棱镜的两个胶合面的平行度情况。
本实用新型的优点是：
本实用新型设计合理，方便快捷，所需要的仪器很普通，易于实现。
附图说明
图1为本实用新型的结构示意图。
具体实施方式
下面结合附图，通过实施例对本实用新型作进一步地说明。
    实施例： 
如图1所示，基于等厚干涉原理检测全反射棱镜胶合面平行度的装置，包括有光源1、准直透镜2、待检测全反射棱镜3、图形接收器4，光源1、准直透镜2、待检测全反射棱镜3依次放置并处于同一水平线上，图形接收器4置于待检测全反射棱镜3的反射光路上，光源1发出的发散光束经准直透镜2准直后直射在待检测全反射棱镜3上，光束在待检测全反射棱镜3的胶合面反射出两束反射光，两束反射光在反射光路上发生干涉后形成干涉条纹，干涉条纹被图形接收器4接收。
光源1为405nm激光二极管。
准直透镜2为一个平凸透镜，把发光二极管光源发出的发散光束转变为平行光束。
图形接收器4为一个光屏，用于观测干涉条纹情况。
如图1所示，激光二极管发出的激光束发散角为23°，经过准直透镜2后，光束转变为平行光，平行光经过全反射棱镜的胶合面反射形成两束光（这里需要使光束的入射角要小于棱镜的全发射临界角），这两束光在达到光屏时会发生干涉，形成干涉条纹，通过单位长度里干涉条纹的数目，就可以得出两个面的平行度情况。

Claims (4)

1.一种基于等厚干涉原理检测全反射棱镜胶合面平行度的装置，其特征在于：包括有光源、准直透镜、待检测全反射棱镜、图形接收器，所述的光源、准直透镜、待检测全反射棱镜依次放置并处于同一水平线上，图形接收器置于待检测全反射棱镜的反射光路上，光源发出的发散光束经准直透镜准直后直射在待检测全反射棱镜上，光束在待检测全反射棱镜的胶合面反射出两束反射光，两束反射光在反射光路上发生干涉后形成干涉条纹，干涉条纹被图形接收器接收。
2.根据权利要求1所述的基于等厚干涉原理检测全反射棱镜胶合面平行度的装置，其特征在于：所述光源为405nm激光二极管。
3.根据权利要求1所述的基于等厚干涉原理检测全反射棱镜胶合面平行度的装置，其特征在于：所述准直透镜为一个平凸透镜。
4.根据权利要求1所述的基于等厚干涉原理检测全反射棱镜胶合面平行度的装置，其特征在于：所述的图形接收器为一个光屏。
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Cited By (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN104482886A (zh) * 2014-12-05 2015-04-01 中国石油大学(华东) 一种偏光棱镜胶合误差的测量装置及方法
CN105627955A (zh) * 2016-01-07 2016-06-01 丹阳丹耀光学有限公司 一种光学胶合件胶层偏芯的检测方法
CN107727009A (zh) * 2017-11-06 2018-02-23 深圳精创视觉科技有限公司 手机盖板玻璃质量检测装置
CN108507497A (zh) * 2017-02-28 2018-09-07 北京卓力新航科技有限责任公司 火炮多身管轴线平行度光学校准仪
CN109470183A (zh) * 2018-12-19 2019-03-15 博众精工科技股份有限公司 一种棱镜平整度的检测系统
CN110095264A (zh) * 2019-05-08 2019-08-06 歌尔股份有限公司 棱镜胶合检测方法、检测装置及计算机可读存储介质
CN111928819A (zh) * 2020-07-31 2020-11-13 西南交通大学 一种用于水平检测的仪器及水平检测方法

Cited By (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN104482886A (zh) * 2014-12-05 2015-04-01 中国石油大学(华东) 一种偏光棱镜胶合误差的测量装置及方法
CN105627955A (zh) * 2016-01-07 2016-06-01 丹阳丹耀光学有限公司 一种光学胶合件胶层偏芯的检测方法
CN105627955B (zh) * 2016-01-07 2018-03-09 丹阳丹耀光学有限公司 一种光学胶合件胶层偏芯的检测方法
CN108507497A (zh) * 2017-02-28 2018-09-07 北京卓力新航科技有限责任公司 火炮多身管轴线平行度光学校准仪
CN107727009A (zh) * 2017-11-06 2018-02-23 深圳精创视觉科技有限公司 手机盖板玻璃质量检测装置
CN107727009B (zh) * 2017-11-06 2023-11-24 深圳精创视觉科技有限公司 手机盖板玻璃质量检测装置
CN109470183A (zh) * 2018-12-19 2019-03-15 博众精工科技股份有限公司 一种棱镜平整度的检测系统
CN110095264A (zh) * 2019-05-08 2019-08-06 歌尔股份有限公司 棱镜胶合检测方法、检测装置及计算机可读存储介质
CN110095264B (zh) * 2019-05-08 2022-09-06 歌尔光学科技有限公司 棱镜胶合检测方法、检测装置及计算机可读存储介质
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