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CN201339608Y - 装有变截面转、定子叶片的分子泵 - Google Patents

装有变截面转、定子叶片的分子泵 Download PDF

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Publication number
CN201339608Y
CN201339608Y CNU2008202088727U CN200820208872U CN201339608Y CN 201339608 Y CN201339608 Y CN 201339608Y CN U2008202088727 U CNU2008202088727 U CN U2008202088727U CN 200820208872 U CN200820208872 U CN 200820208872U CN 201339608 Y CN201339608 Y CN 201339608Y
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CN
China
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teeth
rotor
leaf
molecular pump
stator vane
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CNU2008202088727U
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English (en)
Inventor
范秀钟
程光超
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NINGBO HI-TECH DISCOVERY S&T Co Ltd
Original Assignee
NINGBO HI-TECH DISCOVERY S&T Co Ltd
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    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04D19/00—Axial-flow pumps
    • F04D19/02—Multi-stage pumps
    • F04D19/04—Multi-stage pumps specially adapted to the production of a high vacuum, e.g. molecular pumps
    • F04D19/042—Turbomolecular vacuum pumps
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04D29/00—Details, component parts, or accessories
    • F04D29/26—Rotors specially for elastic fluids
    • F04D29/32—Rotors specially for elastic fluids for axial flow pumps
    • F04D29/321—Rotors specially for elastic fluids for axial flow pumps for axial flow compressors
    • F04D29/324—Blades

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  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
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Abstract

一种装有变截面转、定子叶片的分子泵，它包括分子泵壳体、位于壳体中心的转子轴、固定安装在转子轴上多块转子叶片，以及位于每相邻两块转子叶片之间的多块定子叶片，定子叶片通过卡环固定于壳体内壁，所述的转子叶片包括中心圆环体以及均布于圆环体周壁的叶齿，该叶齿由根部到端部其截面渐小，呈等腰梯形；所述的定子叶片包括中心圆环体以及均布于圆环体周壁的叶齿，该叶齿由根部到端部其截面渐大，呈等腰梯形，相邻转子叶片叶齿和定子叶片叶齿之间的间隙均匀；所述转子叶片和定子叶片的叶齿与各自中心的圆环体成一定的倾斜角度。本实用新型转子叶片强度高，在高速旋转时稳定性好，具有结构简单、加工方便、寿命长的优点，有良好的市场前景。

Description

装有变截面转、定子叶片的分子泵
技术领域：
本实用新型涉及一种涡轮分子泵，具体的说是一种装有变截面转、定子叶片的涡轮分子泵。
背景技术：
目前涡轮分子泵内的叶片结构主要有两种，整体转子的叶片和分体式叶片。两种结构的叶片，其每一个单叶片的横截面都是相同的，既为等截面叶片，这种等截面叶片具有强度低，寿命短，加工困难缺点。由于涡轮分子泵在工作时转子高速旋转，惯性大，所以对转子叶片的强度要求高，涡轮分子泵的转子经过长时间的高速旋转，叶片在惯性、外力等作用下被拉长或弯曲，变形，最终导致分子泵碎片等故障。中国专利局2007年12月26日公开的公开号为“CN101092972A”的“用于分子泵的涡轮叶片”，它包括整体轮廓为圆环状的沿圆周均布有叶齿的涡轮叶片，所述的叶齿为台阶式变截面叶齿，所述的台阶式变截面叶齿与所述的涡轮叶片成一定的倾斜角，所述的台阶式变截面叶齿的台阶数大于或等于2道。虽然它可以在高速运转时具有很高的强度，但是由于其叶齿为台阶式设置，叶片转动时产生的风力不均衡，会影响涡轮叶片旋转时的稳定性，从而产生较大的震动和噪声。
实用新型内容：
本实用新型的目的在于针对上述现有技术的缺陷和不足，为人们提供一种叶片强度高，稳定性好，且加工工艺简单的涡轮分子泵。
为实现上述目的本实用新型所采取的技术方案是：该装有变截面转、定子叶片的分子泵包括分子泵壳体、位于壳体中心的转子轴、固定安装在转子轴上多块转子叶片，以及位于每相邻两块转子叶片之间的多块定子叶片，所述的定子叶片通过卡环固定于壳体内壁，所述的转子叶片包括中心圆环体以及均布于圆环体周壁的叶齿，该叶齿由根部到端部其截面渐小，呈等腰梯形；
所述的定子叶片包括中心圆环体以及均布于圆环体周壁的叶齿，该叶齿由根部到端部其截面渐大，呈等腰梯形，相邻转子叶片叶齿和定子叶片叶齿之间的间隙均匀；
所述转子叶片和定子叶片的叶齿与各自中心的圆环体成一定的倾斜角度。
本实用新型的转子叶片由于叶齿的截面为根部大、端部小的等腰梯形，使叶齿不容易发生拉伸、弯曲、断裂等现象，因此可以提高转子叶片对高速转动时产生的离心力的承受能力。由于相邻转子叶片叶齿和定子叶片叶齿之间的间隙均匀，使转子叶片在转动时产生的力均衡，从而可以使转子叶片转动稳定，所产生的震动和噪声也相应减少。本实用新型同时还具有结构简单、加工方便的优点，有良好的市场前景。
附图说明：
图1为本实用新型的结构剖视示意图。
图2为转子叶片的结构示意图。
图3为定子叶片的结构示意图。
具体实施方式：
如图1、图2、图3所示，本实用新型装有变截面转、定子叶片的分子泵，它包括分子泵壳体4、位于壳体4中心的转子轴5、固定安装在转子轴5上多块转子叶片，以及位于每相邻两块转子叶片之间的多块定子叶片。所述的转子叶片包括中心圆环体6以及均布于圆环体6四周的叶齿1，每片叶齿1与圆环体6成一定的倾斜角度，可以提高分子泵的效率。所述的转子叶片通过圆环体6的中心孔与转子轴5紧配合，所述的圆环体6厚度大与叶齿1的厚度，使多块转子叶片在轴子轴5上并列安装时，相邻两转子叶片之间具有一定间隙。所述转子叶片的叶齿1由根部到端部其截面渐小，呈等腰梯形，使叶齿1不容易发生拉伸、弯曲、断裂等现象，因此可以提高转子叶片对高速转动时产生的离心力的承受能力。所述的定子叶片包括中心圆环体7以及均布于圆环体7四周的叶齿2，所述的圆环体7活动套装于转子叶片的圆体体6外。所述的每块定子叶片叶齿2的端部嵌入与固定在壳体卡环8中，从而将定子叶片固定于壳体4内。所述定子叶片的叶齿2由根部到端部其截面渐大，呈等腰梯形，并且使每片叶齿2与圆环体7也成一定的倾斜角度，这样使相邻转子叶片叶齿1和定子叶片叶齿2之间的间隙3均匀，从而可以使转子叶片6在转动时产生的力均衡，确保转子叶片转动稳定，所产生的震动和噪声也相应减少。
在安装时，将多块转子叶片和多块定子叶片相互间隔后套装在分子泵的转子轴5上，使每块转子叶片的圆环体6分别与转子轴5固定，将卡环8套装于每块定子叶片叶齿2的端部。然后再将安装好的分子泵的转子轴5、转子叶片6、定子叶片7以及卡环8安装到分子泵壳体4内，并将卡环8压紧，使定子叶片固定在分子泵壳体4内壁。

Claims (3)

1、一种装有变截面转、定子叶片的分子泵，它包括分子泵壳体(4)、位于壳体(4)中心的转子轴(5)、固定安装在转子轴(5)上多块转子叶片，以及位于每相邻两块转子叶片之间的多块定子叶片，所述的定子叶片通过卡环固定于壳体(4)内壁，其特征在于所述的转子叶片包括中心圆环体(6)以及均布于圆环体(6)周壁的叶齿(1)，该叶齿(1)由根部到端部其截面渐小，呈等腰梯形。
2、根据权利要求1所述的装有变截面转、定子叶片的分子泵，其特征在于所述的定子叶片包括中心圆环体(7)以及均布于圆环体(7)周壁的叶齿(2)，该叶齿(2)由根部到端部其截面渐大，呈等腰梯形，相邻转子叶片叶齿(1)和定子叶片叶齿(2)之间的间隙(3)均匀。
3、根据权利要求1或2所述的装有变截面转、定子叶片的分子泵，其特征在于所述转子叶片和定子叶片的叶齿(1、2)与各自中心的圆环体(6、7)成一定的倾斜角度。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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