CN209765339U - 一种5自由度激光准直微调装置 - Google Patents
一种5自由度激光准直微调装置 Download PDFInfo
- Publication number
- CN209765339U CN209765339U CN201920444822.7U CN201920444822U CN209765339U CN 209765339 U CN209765339 U CN 209765339U CN 201920444822 U CN201920444822 U CN 201920444822U CN 209765339 U CN209765339 U CN 209765339U
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- movable plate
- axis
- head
- spring
- freedom
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
- 239000000725 suspension Substances 0.000 claims description 25
- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 claims description 5
- 230000000903 blocking effect Effects 0.000 claims description 3
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 abstract description 6
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 4
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 2
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 2
- 230000009286 beneficial effect Effects 0.000 description 1
- 230000005484 gravity Effects 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Mounting And Adjusting Of Optical Elements (AREA)
Abstract
本实用新型涉及一种5自由度激光准直微调装置，包括单向初调机构、2自由度转动调节机构及2自由度轴向微调机构；单向初调机构中设x向移动微分头、移动平台及弹簧复位机构，移动平台能够在x向移动微分头作用下沿x轴方向移动；2自由度转动调节机构中设大动板、y轴旋转顶丝及z轴旋转顶丝，大动板在y轴旋转顶丝、z轴旋转顶丝的作用下能够绕y轴、z轴方向转动；2自由度轴向微调机构中设小动板、y向移动微分头及z向移动微分头，小动板在y向移动微分头、z向移动微分头的作用下能够沿y轴、z轴方向移动。本实用新型所述装置结构简单精巧、集成度高，可实现3个自由度的位移调节和2个自由度的转动调节，调节精度高。
Description
技术领域
本实用新型涉及激光准直校准技术领域，尤其涉及一种具有5自由度、高精度和高灵活性的激光准直微调装置。
背景技术
近年来，激光技术在探测未知气体成分和浓度等方面做出很大贡献。在激光探测装置中，通常需要较大的光程和精密的反射镜组。制造和装配上述激光探测装置时，难免会出现一些尺寸公差和几何误差，导致发出的光束达不到理想的光程或无法回到探测接收区域。因此，需要一种精密的、灵活性高的激光准直微调装置，精确控制激光准直器的位姿，以实现对不可避免的制造和装配误差进行有效补偿。
发明内容
本实用新型提供了一种5自由度激光准直微调装置，其结构简单精巧、操作方便、集成度高，可实现3个自由度的位移调节和2个自由度的转动调节，调节精度高。
为了达到上述目的，本实用新型采用以下技术方案实现：
一种5自由度激光准直微调装置，包括单向初调机构、2自由度转动调节机构及2自由度轴向微调机构；所述单向初调机构中设x向移动微分头、移动平台及弹簧复位机构，移动平台能够在x向移动微分头的作用下沿x轴方向移动，并由弹簧复位机构复位；所述2自由度转动调节机构中设大动板、y轴旋转顶丝及z轴旋转顶丝，大动板通过支架设置在移动平台上，大动板通过弹簧支撑机构与支架弹性连接，在y轴旋转顶丝的作用下大动板能够绕y轴方向转动，在z轴旋转顶丝的作用下大动板能够绕z轴方向转动，弹簧支撑机构同时用于大动板复位；所述2自由度轴向微调机构中设小动板、y向移动微分头及z向移动微分头，小动板通过弹簧悬吊机构悬吊在大动板的中心孔内，在y向移动微分头的作用下小动板能够沿y轴方向移动，在z向移动微分头的作用下小动板能够沿z轴方向移动；弹簧悬吊机构同时用于小动板复位；小动板的中部设激光准直器安装孔。
所述单向初调机构由底座、移动平台、x向移动微分头及弹簧复位机构组成，底座顶部设滑轨，底座一端与滑轨平行地设有x向移动微分头，移动平台底部设滑槽与滑轨配合滑动，在与x向移动微分头相对一端的底座与移动平台之间设弹簧复位机构，弹簧复位机构由1至多个复位弹簧组成。
所述支架为L形支架，其底板与移动平台通过螺钉连接，立板垂直于x轴方向设置，立板中部对应激光准直器安装孔的位置设通孔。
所述2自由度转动调节机构由大动板、y轴旋转顶丝、z轴旋转顶丝、支撑头及弹簧支撑机构组成；大动板是立面为正方形的板状体，与支架的立板平行设置；大动板中部在靠近支架一侧开设通孔，另一侧开设小动板安装孔；大动板的底部一端设支撑头，另一端设y轴旋转顶丝，支撑头上方的大动板顶部设z轴旋转顶丝，支撑头、z轴旋转顶丝、y轴旋转顶丝分别穿过大动板后垂直顶紧在支架立面上，且支撑头与z轴旋转顶丝轴线的连线平行于z轴方向，支撑头与y轴旋转顶丝轴线的连线平行于y轴方向；所述弹簧支撑机构由多个支撑弹簧及弹簧连杆组成，在支撑头与z轴旋转顶丝之间并且在两者轴线的连线上设有数个支撑弹簧，在支撑头与y轴旋转顶丝之间并且在两者轴线的连线上设有数个支撑弹簧，支撑弹簧的两端套在弹簧连杆上，弹簧连杆分别卡设在大动板或支架上开设的安装孔中。
所述支撑头、z轴旋转顶丝、y轴旋转顶丝的头部端面为球面。
所述2自由度轴向微调机构由小动板、y向移动微分头、z向移动微分头及弹簧悬吊机构组成；小动板置于大动板上的小动板安装孔中，大动板在对应小动板安装孔一侧的立面上开设弹簧安装槽，弹簧悬吊机构由至少3个悬吊弹簧组成，悬吊弹簧分别置于弹簧安装槽中，两端分别与大动板、小动板固定连接；沿小动板上激光准直器安装孔的竖直轴线方向，小动板的上方设y向移动微分头，y向移动微分头穿过大动板后垂直顶紧在小动板的水平平面上；沿小动板上激光准直器安装孔的水平轴线方向，小动板的一侧设z向移动微分头，z向移动微分头穿过大动板后垂直顶紧在小动板的竖直平面上。
所述小动板的外侧还设有盖板，盖板与大动板固定连接并对小动板起封挡作用，盖板的中部设操作孔，操作孔的直径大于小动板上激光准直器安装孔的直径，在激光准直器安装孔与操作孔之间的小动板上设有多个调节螺钉孔，调节螺钉穿过小动板上的调节螺钉孔后顶紧在大动板的外立面上。
所述调节螺钉的头部端面为球面。
与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：
1)通过单向初调机构实现对激光准直器沿x轴方向的大位移位置调节，单向初调机构采用x向移动微分头推动移动平台沿底座上的滑轨移动，其结构简单，可实现快速初调；
2)在单向初调后，通过2自由度转动调节机构实现对激光准直器2个自由度转动角度的姿态调节，采用大动板与y轴旋转顶丝、z轴旋转顶丝、支撑头及弹簧支撑机构配合实现，其结构精巧，调节精度高；
3)通过2自由度轴向微调机构实现y轴方向及z轴方向的精确微调；采用小动板与y向移动微分头、z向移动微分头及弹簧悬吊机构配合，精确调节激光准直器的最终位置；
4)通过调节螺钉调节小动板与盖板的x向间隙，实现小动板活动灵敏度的调节，直至锁死小动板，有效防止激光准直器工作时的扰动影响。
附图说明
图1是本实用新型所述一种5自由度激光准直微调装置的立体结构示意图。
图2是本实用新型所述支架与2自由度转动调节机构的爆炸视图。
图3是本实用新型所述2自由度转动调节机构与2自由度轴向微调机构的连接关系示意图。
图4是本实用新型所述大动板、小动板与调节螺钉的爆炸视图。
图中：1.x向移动微分头 2.底座 3.移动平台 4.支架 5.y轴旋转顶丝 6.大动板7.z向移动微分头 8.盖板 9.小动板 10.y向移动微分头 11.z轴旋转顶丝 12.支撑头 13.悬吊弹簧 14.调节螺钉 15.支撑弹簧 16.弹簧连杆
具体实施方式
下面结合附图对本实用新型的具体实施方式作进一步说明：
如图1所示，本实用新型所述一种5自由度激光准直微调装置，包括单向初调机构、2自由度转动调节机构及2自由度轴向微调机构；所述单向初调机构中设x向移动微分头1、移动平台3及弹簧复位机构，移动平台3能够在x向移动微分头1的作用下沿x轴方向移动，并由弹簧复位机构复位；所述2自由度转动调节机构中设大动板6、y轴旋转顶丝5及z轴旋转顶丝11，大动板6通过支架4设置在移动平台3上，大动板6通过弹簧支撑机构与支架4弹性连接，在y轴旋转顶丝5的作用下大动板6能够绕y轴方向转动，在z轴旋转顶丝11的作用下大动板6能够绕z轴方向转动，弹簧支撑机构同时用于大动板6复位；所述2自由度轴向微调机构中设小动板9、y向移动微分头10及z向移动微分头7，小动板9通过弹簧悬吊机构悬吊在大动板6的中心孔内，在y向移动微分头10的作用下小动板9能够沿y轴方向移动，在z向移动微分头7的作用下小动板9能够沿z轴方向移动；弹簧悬吊机构同时用于小动板9复位；小动板9的中部设激光准直器安装孔。
如图1所示，所述单向初调机构由底座2、移动平台3、x向移动微分头1及弹簧复位机构组成，底座2顶部设滑轨，底座2一端与滑轨平行地设有x向移动微分头1，移动平台3底部设滑槽与滑轨配合滑动，在与x向移动微分头1相对一端的底座2与移动平台3之间设弹簧复位机构，弹簧复位机构由1至多个复位弹簧组成。
如图2所示，所述支架4为L形支架，其底板与移动平台3通过螺钉连接，立板垂直于x轴方向设置，立板中部对应激光准直器安装孔的位置设通孔。
如图2所示，所述2自由度转动调节机构由大动板6、y轴旋转顶丝5、z轴旋转顶丝11、支撑头12及弹簧支撑机构组成；大动板6是立面为正方形的板状体，与支架4的立板平行设置；大动板6中部在靠近支架4一侧开设通孔，另一侧开设小动板安装孔；大动板6的底部一端设支撑头12，另一端设y轴旋转顶丝5，支撑头12上方的大动板6顶部设z轴旋转顶丝11，支撑头12、z轴旋转顶丝11、y轴旋转顶丝5分别穿过大动板6后垂直顶紧在支架4立面上，且支撑头12与z轴旋转顶丝11轴线的连线平行于z轴方向，支撑头12与y轴旋转顶丝5轴线的连线平行于y轴方向；所述弹簧支撑机构由多个支撑弹簧15及弹簧连杆16组成，在支撑头12与z轴旋转顶丝11之间并且在两者轴线的连线上设有数个支撑弹簧15，在支撑头12与y轴旋转顶丝5之间并且在两者轴线的连线上设有数个支撑弹簧15，支撑弹簧15的两端套在弹簧连杆16上，弹簧连杆16分别卡设在大动板6或支架4上开设的安装孔中。
所述支撑头12、z轴旋转顶丝11、y轴旋转顶丝5的头部端面为球面。
如图3所示，所述2自由度轴向微调机构由小动板9、y向移动微分头10、z向移动微分头7及弹簧悬吊机构组成；小动板9置于大动板6上的小动板安装孔中，大动板6在对应小动板安装孔一侧的立面上开设弹簧安装槽，弹簧悬吊机构由至少3个悬吊弹簧13组成，悬吊弹簧13分别置于弹簧安装槽中，两端分别与大动板6、小动板9固定连接；沿小动板9上激光准直器安装孔的竖直轴线方向，小动板9的上方设y向移动微分头10，y向移动微分头10穿过大动板6后垂直顶紧在小动板9的水平平面上；沿小动板9上激光准直器安装孔的水平轴线方向，小动板9的一侧设z向移动微分头7，z向移动微分头7穿过大动板6后垂直顶紧在小动板9的竖直平面上。
如图3、图4所示，所述小动板9的外侧还设有盖板8，盖板8与大动板6固定连接并对小动板9起封挡作用，盖板8的中部设操作孔，操作孔的直径大于小动板9上激光准直器安装孔的直径，在激光准直器安装孔与操作孔之间的小动板9上设有多个调节螺钉孔，调节螺钉14穿过小动板9上的调节螺钉孔后顶紧在大动板6的外立面上。
所述调节螺钉14的头部端面为球面。
本实用新型所述一种5自由度激光准直微调装置的调节方法如下：
1)进行x向大位移平动调节；通过旋合固定在底座2一端的x向移动微分头1，推动移动平台3沿底座2上的滑轨移动，通过滑轨另一端设置的复位弹簧复位，实现对激光准直器沿x向大位移平动调节；
2)进行y轴、z轴方向的2自由度转动调节；大动板6与支架4活动连接，通过支撑弹簧15的拉力，以及y轴旋转顶丝5、z轴旋转顶丝11及支撑头12的推力作用，使大动板6相对于支架4保持初始的稳定状态；在支撑头12和y轴旋转顶丝5的定位作用下，旋合z轴旋转顶丝11时将会带动大动板6绕着y轴旋转顶丝5与支撑头12轴线连线方向转动，从而实现大动板6绕z轴方向的转动调节；同理，旋合y轴旋转顶丝5时将会带动大动板6绕着z轴旋转顶丝11与支撑头12轴线连线方向转动，从而实现大动板6绕y轴方向的转动；2自由度转动调节均通过支撑弹簧15复位；
3)进行y轴、z轴方向的2自由度微量调节；小动板9通过弹簧悬吊机构与大动板6活动连接，进行步骤1)和步骤2)的调节时，小动板9随之移动和转动；旋合大动板6上的z向移动微分头7和y向移动微分头10，分别推动小动板9沿着y轴方向和z轴方向小位移移动，实现对激光准直器位置的微调，并由悬吊弹簧13实现复位；
4)由于大动板6与支架4之间、小动板9与大动板6之间均为活动连接，当激光准直器嵌入小动板9上的激光准直器安装孔开始工作时，激光准直器的重力和布线操作对小动板9的姿态形成扰动；激光准直器布线后，在不拆卸盖板8的情况下，通过调节螺钉14调节小动板9与盖板8的x向间隙，实现小动板9活动灵敏度的调节，也可以锁死小动板9。
本实用新型所述的x向移动微分头1、y向移动微分头10、z向移动微分头7、y轴旋转顶丝5、z轴旋转顶丝11、调节螺钉14均采用小螺距螺纹副，以实现对激光准直器的精密微调。
以上所述，仅为本实用新型较佳的具体实施方式，但本实用新型的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内，根据本实用新型的技术方案及其实用新型构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。
Claims (8)
1.一种5自由度激光准直微调装置，其特征在于，包括单向初调机构、2自由度转动调节机构及2自由度轴向微调机构；所述单向初调机构中设x向移动微分头、移动平台及弹簧复位机构，移动平台能够在x向移动微分头的作用下沿x轴方向移动，并由弹簧复位机构复位；所述2自由度转动调节机构中设大动板、y轴旋转顶丝及z轴旋转顶丝，大动板通过支架设置在移动平台上，大动板通过弹簧支撑机构与支架弹性连接，在y轴旋转顶丝的作用下大动板能够绕y轴方向转动，在z轴旋转顶丝的作用下大动板能够绕z轴方向转动，弹簧支撑机构同时用于大动板复位；所述2自由度轴向微调机构中设小动板、y向移动微分头及z向移动微分头，小动板通过弹簧悬吊机构悬吊在大动板的中心孔内，在y向移动微分头的作用下小动板能够沿y轴方向移动，在z向移动微分头的作用下小动板能够沿z轴方向移动；弹簧悬吊机构同时用于小动板复位；小动板的中部设激光准直器安装孔。
2.根据权利要求1所述的一种5自由度激光准直微调装置，其特征在于，所述单向初调机构由底座、移动平台、x向移动微分头及弹簧复位机构组成，底座顶部设滑轨，底座一端与滑轨平行地设有x向移动微分头，移动平台底部设滑槽与滑轨配合滑动，在与x向移动微分头相对一端的底座与移动平台之间设弹簧复位机构，弹簧复位机构由1至多个复位弹簧组成。
3.根据权利要求1所述的一种5自由度激光准直微调装置，其特征在于，所述支架为L形支架，其底板与移动平台通过螺钉连接，立板垂直于x轴方向设置，立板中部对应激光准直器安装孔的位置设通孔。
4.根据权利要求1所述的一种5自由度激光准直微调装置，其特征在于，所述2自由度转动调节机构由大动板、y轴旋转顶丝、z轴旋转顶丝、支撑头及弹簧支撑机构组成；大动板是立面为正方形的板状体，与支架的立板平行设置；大动板中部在靠近支架一侧开设通孔，另一侧开设小动板安装孔；大动板的底部一端设支撑头，另一端设y轴旋转顶丝，支撑头上方的大动板顶部设z轴旋转顶丝，支撑头、z轴旋转顶丝、y轴旋转顶丝分别穿过大动板后垂直顶紧在支架立面上，且支撑头与z轴旋转顶丝轴线的连线平行于z轴方向，支撑头与y轴旋转顶丝轴线的连线平行于y轴方向；所述弹簧支撑机构由多个支撑弹簧及弹簧连杆组成，在支撑头与z轴旋转顶丝之间并且在两者轴线的连线上设有数个支撑弹簧，在支撑头与y轴旋转顶丝之间并且在两者轴线的连线上设有数个支撑弹簧，支撑弹簧的两端套在弹簧连杆上，弹簧连杆分别卡设在大动板或支架上开设的安装孔中。
5.根据权利要求4所述的一种5自由度激光准直微调装置，其特征在于，所述支撑头、z轴旋转顶丝、y轴旋转顶丝的头部端面为球面。
6.根据权利要求1所述的一种5自由度激光准直微调装置，其特征在于，所述2自由度轴向微调机构由小动板、y向移动微分头、z向移动微分头及弹簧悬吊机构组成；小动板置于大动板上的小动板安装孔中，大动板在对应小动板安装孔一侧的立面上开设弹簧安装槽，弹簧悬吊机构由至少3个悬吊弹簧组成，悬吊弹簧分别置于弹簧安装槽中，两端分别与大动板、小动板固定连接；沿小动板上激光准直器安装孔的竖直轴线方向，小动板的上方设y向移动微分头，y向移动微分头穿过大动板后垂直顶紧在小动板的水平平面上；沿小动板上激光准直器安装孔的水平轴线方向，小动板的一侧设z向移动微分头，z向移动微分头穿过大动板后垂直顶紧在小动板的竖直平面上。
7.根据权利要求1所述的一种5自由度激光准直微调装置，其特征在于，所述小动板的外侧还设有盖板，盖板与大动板固定连接并对小动板起封挡作用，盖板的中部设操作孔，操作孔的直径大于小动板上激光准直器安装孔的直径，在激光准直器安装孔与操作孔之间的小动板上设有多个调节螺钉孔，调节螺钉穿过小动板上的调节螺钉孔后顶紧在大动板的外立面上。
8.根据权利要求7所述的一种5自由度激光准直微调装置，其特征在于，所述调节螺钉的头部端面为球面。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201920444822.7U CN209765339U (zh) | 2019-04-03 | 2019-04-03 | 一种5自由度激光准直微调装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201920444822.7U CN209765339U (zh) | 2019-04-03 | 2019-04-03 | 一种5自由度激光准直微调装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN209765339U true CN209765339U (zh) | 2019-12-10 |
Family
ID=68757789
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN201920444822.7U Expired - Fee Related CN209765339U (zh) | 2019-04-03 | 2019-04-03 | 一种5自由度激光准直微调装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN209765339U (zh) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN109947140A (zh) * | 2019-04-03 | 2019-06-28 | 辽宁科技大学 | 一种5自由度激光准直微调装置及其调节方法 |
-
2019
- 2019-04-03 CN CN201920444822.7U patent/CN209765339U/zh not_active Expired - Fee Related
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN109947140A (zh) * | 2019-04-03 | 2019-06-28 | 辽宁科技大学 | 一种5自由度激光准直微调装置及其调节方法 |
| CN109947140B (zh) * | 2019-04-03 | 2023-08-22 | 辽宁科技大学 | 一种5自由度激光准直微调装置及其调节方法 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN109947140B (zh) | 一种5自由度激光准直微调装置及其调节方法 | |
| CN102162900B (zh) | 反射镜高精度装夹装置 | |
| US7759952B2 (en) | Method of forming probe card assembly | |
| US20130112118A1 (en) | Six degrees of freedom optical table | |
| CN114460713B (zh) | 一种大口径反射镜精密卸载结构 | |
| CN104777180B (zh) | 一种冷中子三轴谱仪的样品散射平面的调整装置及方法 | |
| CN105204125A (zh) | 一种反射式光电子器件的自动耦合系统 | |
| CN108332852B (zh) | 一种oct光谱仪相机的对中调节装置的工作方法 | |
| CN107607041A (zh) | 一种用于转台六项几何误差高效测量装置 | |
| CN201463889U (zh) | 一种激光定位仪 | |
| CN209765339U (zh) | 一种5自由度激光准直微调装置 | |
| CN106094889B (zh) | 一种激光反射靶球主动自适应调节装置 | |
| CN108692680B (zh) | 激光标定工装 | |
| KR102426629B1 (ko) | 비축 광학장비의 파면오차 측정장치 | |
| CN205809300U (zh) | 一种面向激光追踪测量仪的靶球辅助自适应响应装置 | |
| US3704846A (en) | Apparatus for micropositioning an operational member and a workpiece platform | |
| CN109551520B (zh) | 高效率六自由度并联机器人精密测试装置 | |
| CN112475971B (zh) | 一种在位加工的装夹装置 | |
| CN116872185A (zh) | 调平机构及晶圆传输机械手 | |
| KR20120040748A (ko) | 지지 장치 및 노광 장치 | |
| CN110561540B (zh) | 一种用于光学定心仪的调整装置 | |
| CN214065978U (zh) | 一种介于空气非接触式光单向传输装置 | |
| CN114576480A (zh) | 一种用于空间观测的设备 | |
| CN108735328B (zh) | 质子束流线上四极透镜的安装准直装置及安装准直方法 | |
| CN216283309U (zh) | Pgi定心装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| GR01 | Patent grant | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| TR01 | Transfer of patent right | ||
| TR01 | Transfer of patent right |
Effective date of registration: 20191231 Address after: 114001 Qianshan Road, Qianshan high tech Zone, Anshan, Liaoning, 318 Patentee after: Anshan Yasai Electro Magnetic Equipment Co.,Ltd. Address before: 114044 Anshan province hi tech Zone, thousands of mountain road, No. 185, No. Patentee before: University of Science and Technology Liaoning |
|
| CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee | ||
| CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee |
Granted publication date: 20191210 |