CN208091379U - 一种测长标定装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供了一种测长标定装置，包括机架、待标定激光干涉仪、标准激光干涉仪、干涉镜组、反光镜组，所述机架的顶部平行设置有第一导轨和第二导轨，所述待标定激光干涉仪和标准激光干涉仪分别设置在第一导轨和第二导轨上，所述待标定激光干仪和标准激光干涉仪可在所述第一导轨与第二导轨上移动，所述干涉镜组设置在第二导轨右侧，所述反光镜组设置在干涉镜组右侧，所述干涉镜组正对反光镜组。本实用新型通过待标定激光干涉仪与标准激光干涉仪可分别在第一导轨与第二导轨上移动，解决了传统测长标定装置调节不方便，变量难以控制的问题。

Description

一种测长标定装置

技术领域

本实用新型涉及光学仪器测量和标定校准技术领域，具体为一种测长标定装置。

背景技术

激光干涉仪是以干涉测量法为原理，利用激光作为长度基准，对数控设备(加工中心、三坐标标定机等)的位置精度(定位精度、重复定位精度等)、几何精度(俯仰扭摆角度、直线度、垂直度等)进行精密测量的精密测量仪器，其利用迈克耳逊干涉系统标定位移的通用长度测量，有单频的和双频的两种，目前，对激光干涉仪的测长标定主要采用超长高精度导轨和双频激光干涉仪进行全测程标定，但是传统的标定方法变量控制不准确，精确性较差，故本实用新型设计一种测长标定装置来解决上述问题。

现有技术中的测长精度标定装置中双频激光干涉仪和激光跟踪仪的位置难以调节，标定结果不准确。

实用新型内容

有鉴于此，本实用新型的目的在于提供一种测长标定装置，以解决传统测长标定装置调节不方便，变量难以控制的问题。

为了解决上述技术问题，本实用新型提供了以下技术方案：

一种测长标定装置，包括机架、待标定激光干涉仪、标准激光干涉仪、干涉镜组、反光镜组；

所述机架的顶部平行设置有第一导轨和第二导轨，所述待标定激光干涉仪和标准激光干涉仪分别设置在第一导轨和第二导轨上，所述待标定激光干仪和标准激光干涉仪可分别在所述第一导轨与第二导轨上移动，所述干涉镜组设置在第二导轨右侧，所述反光镜组设置在干涉镜组右侧，所述干涉镜组正对反光镜组。

上述方案让传统固定的激光干涉仪设计成可在导轨上滑动改变位置，从而使得标定结果更加准确。

在本实用新型的可选实施例中，所述干涉镜组包括可调安装座和设置在可调安装座上的第一干涉镜和第二干涉镜，第一干涉镜和第二干涉镜通过可调安装座可调整干涉镜位置和高度。

上述方案通过可调安装座调整第一干涉镜与第二干涉镜的高度，使得第一干涉镜、第二干涉镜与干涉仪、反光镜组水平度的调节更加方便和准确，达到标定效果更准确、提高标定效率的效果。

在本实用新型的可选实施例中，所述反光镜组包括可调工作台和设置在可调工作台上的第一反光镜和第二反光镜，所述第一反光镜和第二反光镜可通过可调工作台调整反光镜位置和高度。

上述方案通过可调工作台调整第一反光镜与第二反光镜的高度，使得第一反光镜、第二反光镜与干涉仪、干涉镜组水平度的调节更加方便和准确，达到标定效果更准确，提高标定效率的效果。

在本实用新型的可选实施例中，所述机架顶部设置有第三导轨，反光镜组设置在第三导轨上，并且可在第三导轨上滑动。

上述方案反光镜组可在第三导轨上滑动，可调节反光镜组与干涉仪的位置，从而标定不同长度的待测物体。

在本实用新型的可选实施例中，所述第三导轨垂直于第一导轨与第二导轨。

上述方案第三导轨垂直于第一导轨与第二导轨，使得待测物体正对干涉仪，使得标定更加精准。

在本实用新型的可选实施例中，所述装置还包括固定架，所述固定架设置在第三导轨上，并且可在第三导轨上滑动。

上述方案固定架，固定待测物体在第三导轨上滑动，进行多次标定，达到标定结果更加准确。

在本实用新型的可选实施例中，所述第三导轨内还设置有红外传感器，用于检测机架的表面温度。

上述方案红外传感器检测机架的表面温度，避免了机架表面温度对于标定准确率的影响。

在本实用新型的可选实施例中，所述机架还包括云台，所述第一导轨与第二导轨设置在云台上，所述云台高度可调节。

上述方案云台高度可调节，从而使得干涉仪的高度可调节，使得干涉仪与干涉镜组、反光镜组水平度的调节更加方便，标定结果更加准确。

在本实用新型的可选实施例中，所述云台上设置有温度传感器，用于测量空气温度。

上述方案传感器用于测量空气温度，空气温度会影响空气折射率，空气传感器的设置避免了空气折射率等大气因素对激光波长的影响。

在本实用新型的可选实施例中，所述机架的底部设置有可调支撑件，所述可调支撑件用于调节所述测长标定装置成水平状态。

上述方案可调支撑件调节测长标定装置水平状态，可调支撑件使得装置水平调节更加方便，标定效率显著提高。

本实用新型提供了一种测长标定装置，具备以下有益效果：本实用新型通过设置第一导轨和第二导轨，当待标定激光干涉仪和标准激光干涉仪分别同时标定某段长度后，可通过第一导轨和第二导轨改变待标定激光干涉仪和标准激光干涉仪的位置后再进行标定，从而使得标定结果更加准确，变量影响因素更低。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施方式的技术方案，下面将对实施方式中所需要使用的附图作简单地介绍，应当理解，以下附图仅示出了本实用新型的某些实施例，因此不应被看作是对范围的限定，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他相关的附图。

图1是本实用新型实施例提供的测长标定装置的第一示意图；

图2是本实用新型实施例提供的测长标定装置的第二示意图；

图3是本实用新型实施例提供的激光干涉仪侧长精度标定装置的其中一种实施例图。

图标：10-机架；20-待标定激光干涉仪；30-标准激光干涉仪；40-第一导轨；50-第二导轨；60-干涉镜组；601-可调安装座；602-第一干涉镜；603-第二干涉镜；70-反光镜组；701-可调工作台；702-第一反光镜；703-第二反光镜；80-可调云台；801-温度传感器；90-固定架；100-第三导轨；1001-红外传感器；110-可调支撑件。

具体实施方式

为使本实用新型实施方式的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本实用新型实施方式中的附图，对本实用新型实施方式中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施方式是本实用新型一部分实施方式，而不是全部的实施方式。基于本实用新型中的实施方式，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施方式，都属于本实用新型保护的范围。因此，以下对在附图中提供的本实用新型的实施方式的详细描述并非旨在限制要求保护的本实用新型的范围，而是仅仅表示本实用新型的选定实施方式。基于本实用新型中的实施方式，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施方式，都属于本实用新型保护的范围。

在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的设备或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。

此外，术语“第一”、“第二”等仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”等的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本实用新型的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。

在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征之“上”或之“下”可以包括第一和第二特征直接接触，也可以包括第一和第二特征不是直接接触而是通过它们之间的另外的特征接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”包括第一特征在第二特征正上方和斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”包括第一特征在第二特征正下方和斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。

如图1所示，本实施例提供了一种测长标定装置，包括机架10、待标定激光干涉仪20、标准激光干涉仪30、干涉镜组60、反光镜组70；机架10的顶部平行设置有第一导轨40和第二导轨50，待标定激光干涉仪20和标准激光干涉仪30分别设置在第一导轨40和第二导轨50上，待标定激光干仪20和标准激光干涉仪30可分别在所述第一导轨40与第二导轨50上移动，干涉镜组60设置在第二导轨50右侧，反光镜组70设置在干涉镜组60右侧，所述干涉镜组60正对反光镜组70。

上述设计的测长标定装置，使用时，待标定激光干涉仪20发出激光通过干涉镜组60至反光镜组70，再返回至待标定激光干涉仪20，测出待测物体的长度，同时标准激光干涉仪30发出激光通过干涉镜组60至反光镜组70，再返回至标准激光干涉仪30，也测出待测物体的长度，通过第一导轨40和第二导轨50改变待标定激光干涉仪20和标准激光干涉仪30的位置后重复上述步骤再进行测量。

上述方案设计的测长标定装置，通过改变待标定激光干涉仪20和标准激光干涉仪30分别在第一导轨40和第二导轨50上改变位置来多方位及多次测量待测物体，使得标定结果更加准确，变量影响因素更低。

在本实用新型的可选实施例中，如图1所示，所述测长标定装置，干涉镜组60包括可调安装座601和设置在可调安装座601上的第一干涉镜602和第二干涉镜603，第一干涉镜602和第二干涉镜603通过可调安装座601可调整干涉镜高度。

上述方案设计的测长标定装置，第一干涉镜602和第二干涉镜603通过可调安装座601可调整干涉镜高度，使得干涉镜组的调节更加方便，使得干涉镜组60与待标定激光干涉仪20、标准激光干涉仪30的水平高度更容易调节，显著提高了标定的效率。

在本实用新型的可选实施例中，如图1所示，所述测长标定装置，反光镜组70包括可调工作台701和设置在可调工作台701上的第一反光镜702和第二反光镜703，第一反光镜702和第二反光镜703通过可调工作台701可调整干涉镜高度。

上述方案设计的测长标定装置，第一反光镜702和第二反光镜703通过可调工作台701可调整反光镜高度，使得反光镜组的调节更加方便，使得反光镜组60与待标定激光干涉仪20、标准激光干涉仪30的水平高度更容易调节，同时反光镜组与干涉镜组高度可调节，使得其更容易达到水平高度，显著提高了标定的效率。

在本实用新型的可选实施例中，如图3所示，所述测长标定装置，机架10顶部设置有第三导轨100，所述反光镜组70设置在第三导轨100上，并且可在第三导轨100上滑动。

上述方案设计的测长标定装置，反光镜组70可在第三导轨100上滑动，通过改变反光镜组与干涉镜组的距离，达到多次测量待测物体的效果，使得标定的结果更加准确。

可选地，上述方案设计的第三导轨100为高精度导轨，高精度导轨下设置有电机组件，电机组件设置在机架10内部，高精度导轨上物品的运动可通过电机组件来进行控制，达到精确度更高的效果。

上述方案设计的测长标定装置，高精度导轨并且可被电机组件控制，使得测试待测物体的精确度达到更高，标定的结果更加准确。

在本实用新型的可选实施例中，所述测长标定装置，第三导轨100垂直于第一导轨40与第二导轨50。

上述方案设计的测长标定装置，第三导轨100垂直于第一导轨40与第二导轨50，使得导轨上的反光镜组与待测物体正对待标定激光干涉仪与标准激光干涉仪，避免放置物品时，待测物体斜置所导致的误差，使得标定的结果更加准确。

在本实用新型的可选实施例中，如图3所示，所述测长标定装置还包括固定架90，所述固定架90设置在第三导轨100上，并且可在第三导轨上100滑动。

上述方案设计的测长标定装置，固定架90用于固定待测物体，并且固定架90可在第三导轨上滑动，使得待测物体可移动至第三导轨100的不同位置进行测量，多方位及多次测量使得标定结果更加准确，变量影响因素更低。

可选地，固定架90还包括两个可调V形架和一个限位尾座，可调V形架设置在可调工作台的左右两端，限位尾座设置在第三导轨100的末端。

上述方案设计的测长标定装置，可调V形架用于固定待测物体，防止其在高精度导轨上任意滑动，限位尾座设置在第三导轨100的末端，避免待测物体滑出导轨。

在本实用新型的可选实施例中，如图3所示，所述测长标定装置，第三导轨100内设置有红外传感器1001，用于检测机架表面温度。

上述方案设计的测长标定装置，红外传感器1001用于检测机架表面温度，另外，红外传感器1001除了可以检测机架表面温度以外，还可以检测待测物体温度等，温度会影响测量结果的准确性，所以用红外传感器1001来检测材料温度，使得材料温度因素影响降低，补偿单元更加准确。

在本实用新型的可选实施例中，如图3所示，机架10还包括云台80，第一导轨40二导轨50设置在云台80上，所述云台80高度可调节。

上述方案设计的测长标定装置，第一导轨40与第二导轨50设置在云台80上，也就是待标定激光干涉仪20与标准激光干涉仪30设置在云台80上，云台80高度可调节，使得待标定激光干涉仪20与标准激光干涉仪30的高度可调节，使得其更容易与干涉镜组、反光镜组达到同一水平高度，使得该装置的调节更加方便，标定效率显著提高。

可选的，如图3所示，所述云台80高度是通过三脚架来进行调节

上述方案设计的测长标定装置，云台80高度通过三脚架来进行调节，使得待标定激光干涉仪20与标准激光干涉仪30在第一导轨40与第二导轨50上滑动时更加稳定。

在本实用新型的可选实施例中，如图3所示，云台80上设置有温度传感器801，用于检测空气温度。

上述方案设计的测长标定装置，温度传感器801通过检测空气温度，来判断空气折射率等一些大气因素对激光波长的影响，使得该标定环境因素影响降低，补偿单元更加准确。

在本实用新型的可选实施例中，机架10的底部设置有可调支撑件110，可调支撑件110用于调节整个装置成水平状态。

上述方案设计的测长标定装置，可调支撑件110调节整个装置成水平状态，使得装置水平调节更加容易，标定效率显著提高。

可选地，如图3所示，可调支撑件110设置有四个，四个可调支撑件100等间距设置在机架10的底部。

上述方案设计的测长标定装置，四个可调支撑件100等间距设置在机架10的底部，所达到的水平效果更好，装置更加稳定，水平调节更加容易，标定效率显著提高。

以上所述仅为本实用新型的优选实施方式而已，并不用于限制本实用新型，对于本领域的技术人员来说，本实用新型可以有各种更改和变化。凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。

Claims (10)

1.一种测长标定装置，其特征在于，包括机架、待标定激光干涉仪、标准激光干涉仪、干涉镜组、反光镜组；

所述机架的顶部平行设置有第一导轨和第二导轨，所述待标定激光干涉仪和标准激光干涉仪分别设置在第一导轨和第二导轨上，所述待标定激光干仪和标准激光干涉仪可分别在所述第一导轨与第二导轨上移动，所述干涉镜组设置在第二导轨右侧，所述反光镜组设置在干涉镜组右侧，所述干涉镜组正对反光镜组。

2.根据权利要求1所述测长标定装置，其特征在于，所述干涉镜组包括可调安装座和设置在可调安装座上的第一干涉镜和第二干涉镜，第一干涉镜和第二干涉镜通过可调安装座可调整干涉镜高度。

3.根据权利要求1所述测长标定装置，其特征在于，所述反光镜组包括可调工作台和设置在可调工作台上的第一反光镜和第二反光镜，所述第一反光镜和第二反光镜可通过可调工作台调整反光镜高度。

4.根据权利要求1-3中任一项所述测长标定装置，其特征在于，所述机架顶部设置有第三导轨，所述反光镜组设置在第三导轨上，并且可在第三导轨上滑动。

5.根据权利要求4所述测长标定装置，其特征在于，所述第三导轨垂直于第一导轨与第二导轨。

6.根据权利要求4所述测长标定装置，其特征在于，所述装置还包括固定架，所述固定架设置在第三导轨上，并且可在第三导轨上滑动。

7.根据权利要求4所述测长标定装置，其特征在于，所述第三导轨内设置有红外传感器，用于检测所述机架的表面温度。

8.根据权利要求1-3中任一项所述测长标定装置，其特征在于，所述机架还包括云台，所述第一导轨与第二导轨设置在云台上，所述云台高度可调节。

9.根据权利要求8所述测长标定装置，其特征在于，所述云台上设置有温度传感器，用于检测空气温度。

10.根据权利要求1-3中任一项所述测长标定装置，其特征在于，所述机架的底部设置有可调支撑件，所述可调支撑件用于调节所述测长标定装置成水平状态。