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CN1510712A - 冷阴极型平面显示器 - Google Patents

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CN1510712A
CN1510712A CNA03155377XA CN03155377A CN1510712A CN 1510712 A CN1510712 A CN 1510712A CN A03155377X A CNA03155377X A CN A03155377XA CN 03155377 A CN03155377 A CN 03155377A CN 1510712 A CN1510712 A CN 1510712A
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CN
China
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wiring
electron source
cathode
substrate
upper electrode
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CNA03155377XA
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����һ
佐川雅一
楠敏明
铃木睦三
甲展明
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Hitachi Ltd
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Abstract

提供一种冷阴极型平面显示器。FED的阴极衬底(10)布线构造为二层布线。第一层的布线是构成电子源的下部电极(11)，它在以往是扫描线，但是在本发明中变为信号线，第二层的上部电极(13)以往是信号线，但是本发明中变为扫描线，并且连接在上部电极(13)上的上部电极供电布线(16)的一部分作为隔离块布线而公用，或分割上部电极供电布线(16)，作为隔离块布线(16′)。在FED的阴极衬底中，除了扫描线和信号线，用于把隔离块接地的专用隔离块布线是必要的，以往使用了三层布线构造的阴极衬底。本发明使用二层布线构造的阴极衬底，实现至少保持用三层布线构造取得的性能，并且可靠性高、容易制造的冷阴极型平面显示器。

Description

冷阴极型平面显示器
技术领域
本发明涉及冷阴极型平面显示器，特别是涉及利用了冷阴极电子源的自发光型平面显示器。
背景技术
众所周知，冷阴极型平面显示器具有形成在平的面板上的通过电子束激励而发光的荧光膜，是具有从与该荧光膜相对并排列为二维矩阵状的微小冷阴极电子源发射的电子束照射到所述荧光膜上，在面板上显示图象的功能的显示器。这样利用微小、可集成的冷阴极电子源的显示器总称为FED(Field Emission Display)。
冷阴极电子源大致分为场致发射型电子源和热电子型电子源，前者中有spint型电子源、表面传导型电子源、碳纳米管型电子源，后者中有层叠了金属-绝缘体-金属的MIM(Metal-Insulator-Metal)型电子源、层叠了金属-绝缘体-半导体电极的MIS(Metal-Insulator-Semiconductor)型电子源。
例如在专利文献1和专利文献2中描述了MIM型电子源。图1和图2表示了MIM型电子源的构造和工作原理。
图1是MIM型电子发射元件的截面构造图。在图1中，在玻璃等绝缘性的阴极衬底10上例如把Al及Al合金的下部电极11以300nm的膜厚，在与图纸面正交的方向形成条状。
在下部电极11上形成有：防止电场在下部电极11的边缘集中并且限制或规定电子发射部的层间绝缘膜14(例如膜厚140nm)和隧道绝缘膜12(例如膜厚10nm)。
在层间绝缘膜14的上部，连接电极15和上部电极供电布线16避开电子发射部E在与下部电极11正交的方向上形成条状(对于图纸面为左右方向)。电子发射部E对应于隧道绝缘膜12上的上部电极。须指出的是，后面将详细描述上部电极13。
作为连接电极15，把与阴极衬底10或层间绝缘膜14的接合性强的金属膜例如W(钨)或Mo(钼)等高熔点金属薄膜、或它们的硅化物(silicide)形成例如膜厚10nm左右。
作为所述上部电极供电布线16，作为能以低电阻连接上部电极13(后面描述)的供电布线，把Al-Nd合金膜形成膜厚200nm。连接电极下层15A的金属膜为了防止后面描述的上部电极13的断线，希望尽可能薄。
在上部电极供电布线16、层间绝缘膜14或阴极衬底10上为了保护电子发射元件，除了电子发射部E，使用绝缘膜例如高电阻硅、SiO2、磷硅酸玻璃、硼硅酸玻璃等玻璃或Si3N4(氮化物)、Al2O3(氧化铝)、聚酰亚胺等，形成表面保护膜17。顺便说一下，使用Si3N4时的膜厚为0.1到1μm。
在隧道绝缘膜12上覆盖着上部电极13。该上部电极13由耐热性好的Ir(铱)为下层，Pt(白金)为中间层，电子发射效率好的Au(金)为上层的3层层叠膜的构造构成，通过例如溅射法等薄膜形成工序，覆盖在隧道绝缘膜12上。
在该薄膜形成步骤中，上部电极13在表面保护膜17上的表面上也同时形成，但是如图所示，上部电极供电布线16对于表面保护膜17的端面后退到内侧，表面保护膜17变为帽形，所以表面保护膜17上的金属膜13’和隧道绝缘膜12的上部电极13电绝缘。
如果在真空中，在这样构成的MIM型电子发射元件的下部电极11和上部电极13之间作用外加电压Vd，则图2的能带图所示，下部电极11中的费密能级附近的电子由于隧道现象透过势垒，向隧道绝缘膜12和上部电极13的导带注入，成为热电子。其中，具有上部电极13的功函数φ以上的动能的电子发射到真空中。
须指出的是，作为关联此种技术的其他文献，能列举出专利文献3。
[专利文献]
专利文献1：特开2001-101965号公报Japanese Laid-OpenNo.2001-101965
专利文献2：特开2000-208076号公报Japanese Laid-OpenNo.2000-208076
专利文献3：特开2001-83907号公报Japanese Laid-OpenNo.2001-83907
图46是表示以往的显示面板概要的剖视图。如该图所示，为了使用MIM型电子源构成显示装置，通过由玻璃等构成的框构件116，并通过烧结玻璃115的接合，把图1所示构造的电子源元件排列为矩阵状构成的阴极衬底10与该阴极衬底10的电子源元件对应把荧光膜111排列为矩阵状的阳极衬底110粘贴在一起，通过把内部空间密封为真空，取得显示面板(平面显示器)120。阳极衬底110如后所述，由透光性的平板构成，包含荧光膜111的表面的单侧全面由导电膜(称作金属背)114覆盖。
这时，如果显示面板120的对角尺寸超过5英寸，就要支撑大气压，所以作为加固件，有必要以数厘米间隔在面板内的内部空间(真空气氛)中插入由绝缘物质构成的隔离块30。
从电子源元件发射的电子的一部分撞击这些隔离块30，引起带电。在带电的隔离块附近，电子的轨道弯曲，发生图象变形的现象。为了防止它，通过高电阻膜的氧化锡或氧化锡和氧化铟混合晶薄膜或金属或半导体膜，对隔离块30的表面付与一点导电性，除去隔离块表面的带电。
因此，隔离块30有必要电连接在阳极衬底110一侧的金属背114和阴极衬底10一侧的表面保护膜17上的上部电极13’上。在阴极衬底10一侧，提供接地电位的上部电极13’是厚度为10nm以下的薄膜，并且对表面保护膜17的紧贴力也弱，所以外加来自隔离块的压力，就容易发生断线。为了防止它，有必要把从信号线(上部电极供电布线16)和扫描线(下部电极11)独立的第三布线作为隔离块30用的接地布线18(下部电极11)设置在表面保护膜17上。
可是，当象这样在阴极衬底10一侧采用了信号线16、扫描线11和独立的第三布线18的三层布线构造时，与二层布线相比，必然导致制造步骤变长，成品率的下降和制造成本的增加成为问题。
发明内容
因此，本发明的目的是解决所述课题，提供是二层布线构造的阴极衬底，并且能以低价制作的实质上具有隔离块用接地布线的冷阴极型(具体而言，热电子型)平面显示器(平面型显示装置)。
本发明者经过种种实验和研究，得知如果采用以下方法，就能解决所述课题。即采用二层布线构造的阴极衬底，按如下所述，对布线构造下功夫，实现实质上具有稳定的构造的隔离块用接地布线的阴极衬底10。
①把以往作为扫描线的第一层(下层)布线的下部电极11作为信号线(把以往的扫描线变为信号线)。
②在第二层布线(上部电极供电布线16)中形成隔离块布线和扫描线，以按线依次扫描方式进行图象显示(把以往的信号线变为扫描线)。
首先，根据①，能使扫描线和隔离块布线为同一方向。并且，使用第二布线，在同一层中形成扫描线和隔离块布线。
虽然对所述布线构造的实用性会有疑问，但是本发明有充分的根据。
一般象素为正方形。扫描线间隔与该正方形的一边长度对应，信号线的间隔因为各象素中包含R(红)、G(绿)、B(蓝)等三色，所以变为1/3。如果举具体的例子，则在对角尺寸32英寸的WXGA(析象度：720×1200点)中，扫描线间隔和信号线间隔分别为550μm和183μm。
因为隔离块30自身的厚度是100～200μm左右，所以在间隔缓的扫描线间插入隔离块30和它的接地布线的本发明的结构可以说是合理的设计。
综上所述，通过采用本发明，以往的阴极衬底10中具有3层的布线综合到2层，伴随着此，也不再需要存在于第三布线和第二布线间的层间绝缘膜。
如上所述，根据本发明，阴极衬底10的布线构造从以往的三层布线构造变为二层布线构造，并且隔离块30的接地布线在与构成扫描线的上部电极供电布线在同一平面上，在同一层中形成，所以布线构造变得单纯，并且能用同一步骤制造上部电极供电布线和隔离块30的接地布线，所以缩短了制造步骤，能实现成品率的提高和成本的下降。
附图说明
图1是表示以往技术的MIM型电子源构造的图。
图2是表示MIM型电子源原理的图。
图3是表示本发明的MIM型电子源制造方法中的下部电极11的形成步骤的平面图。
图4是本发明的MIM型电子源制造方法中的图3的线A-A’剖视图。
图5是本发明的MIM型电子源制造方法中的图3的线B-B’剖视图。
图6是表示本发明的MIM型电子源制造方法中向下部电极11上形成隧道绝缘层12的步骤的平面图。
图7是本发明的MIM型电子源制造方法中的图6的线A-A’剖视图。
图8是本发明的MIM型电子源制造方法中的图6的线B-B’剖视图。
图9是表示本发明的MIM型电子源制造方法中连接电极15A、15BB的形成步骤的平面图。
图10是本发明的MIM型电子源制造方法中的图9的线A-A’剖视图。
图11是本发明的MIM型电子源制造方法中的图9的线B-B’剖视图。
图12是本发明的MIM型电子源制造方法中的上部电极供电布线16、隔离块布线16’的形成步骤的平面图。
图13是本发明的MIM型电子源制造方法中的图12的线A-A’剖视图。
图14是本发明的MIM型电子源制造方法中的图12的线B-B’剖视图。
图15是表示本发明的MIM型电子源制造步骤的平面图。
图16是表示本发明的MIM型电子源制造步骤的图15的线A-A’剖视图。
图17是表示本发明的MIM型电子源制造步骤的图15的线B-B’剖视图。
图18是表示本发明的MIM型电子源制造步骤的平面图。
图19是表示本发明的MIM型电子源制造步骤的图18的线A-A’剖视图。
图20是表示本发明的MIM型电子源制造步骤的图18的线B-B’剖视图。
图21是表示本发明的MIM型电子源制造步骤的平面图。
图22是表示本发明的MIM型电子源制造步骤的图21的线A-A’剖视图。
图23是表示本发明的MIM型电子源制造步骤的图21的线B-B’剖视图。
图24是本发明的阴极衬底10的平面图。
图25是表示本发明阴极衬底10的图24的线A-A’剖视图。
图26是表示本发明阴极衬底10的图24的线B-B’剖视图。
图27是表示使用了本发明MIM型电子源的阳极衬底110制造方法的平面图。
图28是表示使用了本发明MIM型电子源的阳极衬底110制造方法的图24的线A-A’剖视图。
图29是表示使用了本发明MIM型电子源的阳极衬底110制造方法的图24的线B-B’剖视图。
图30是表示使用了本发明MIM型电子源的显示装置制造方法的与阴极衬底10同样的线A-A’剖视图。
图31是表示使用了本发明MIM型电子源的显示装置制造方法的与阴极衬底10同样的线B-’剖视图。
图32是模式表示本发明的显示面板120和驱动电路的连线状态的显示装置平面图。
图33是表示本发明显示装置的驱动电压波形的图。
图34是模式表示本发明的显示面板120和驱动电路的连线状态的显示装置平面图。
图35是模式表示本发明的显示面板120和驱动电路的连线状态的显示装置平面图。
图36是表示本发明MIM型电子源的其他制造步骤的平面图。
图37是表示本发明MIM型电子源的其他制造步骤的图36的线A-A’剖视图。
图38是表示本发明MIM型电子源的其他制造步骤的图36的线B-B’剖视图。
图39是表示成为本发明其他实施例的阴极衬底10制造方法的平面图。
图40是表示成为本发明MIM型电子源的其他实施例的图39的线A-A’剖视图。
图41是表示成为本发明MIM型电子源的其他实施例的图39的线B-B’剖视图。
图42是表示成为使用了本发明MIM型电子源的其他实施例的显示装置制造方法的线A-A’剖视图。
图43是表示成为使用了本发明MIM型电子源的其他实施例的显示装置制造方法的线B-B’剖视图。
图44是模式表示成为本发明其他实施例的显示面板120和驱动电路的连线状态的显示装置平面图。
图45是表示成为本发明其他实施例的显示装置的驱动电压波形的图。
图46是说明以往技术的使用了MIM型电子源的显示面板的剖视图。
具体实施方式
所述本发明的典型的第一结构例的特征如下所述。
即本发明的冷阴极型平面显示器首先由以一定间隔配置了多个冷阴极型电子源的阴极衬底、与它们相对并且把荧光膜配置为点状或线状的阳极衬底、以给定间隔支撑所述阴极衬底和所述阳极衬底的多个隔离块、用于保持真空的框玻璃构成真空面板容器。
而且，在所述阴极衬底上存在隔着层间绝缘层在彼此交叉的行方向和列方向上延伸的多条电布线，在与这些交点坐标对应的位置，所述冷阴极型电子源与列方向和行方向的所述布线连接配置，通过按线依次驱动所述冷阴极型电子源，进行图象显示。
而且，在该图象显示装置中，其特征在于：所述多条电布线中位于上层的布线的一部分为扫描线，位于下层的布线为信号线；
并且，位于所述上层的布线的一部分为用于对所述隔离块提供接地电位的接地布线，并且至少相邻的扫描线处于选择状态的期间是所述隔离块通过所述接地布线接地的状态。
此外，本发明的典型的第二结构例的特征如下所述。
即本发明的冷阴极型平面显示器首先由以一定间隔配置了多个冷阴极型电子源的阴极衬底、与它们相对并且把荧光膜配置为点状或线状的阳极衬底、以给定间隔支撑所述阴极衬底和所述阳极衬底的多个隔离块、用于保持真空的框玻璃构成真空面板容器。
而且，在所述阴极衬底上存在隔着层间绝缘层在彼此交叉的行方向和列方向上延伸的多条电布线，在与这些交点坐标对应的位置，所述冷阴极型电子源与列方向和行方向的所述布线连接配置，通过按线依次驱动所述冷阴极型电子源，进行图象显示。
而且，在该图象显示装置中，其特征在于：所述多条电布线中位于上层的布线为扫描线，位于下层的布线为信号线；
并且，位于所述上层的布线的一部分兼做用于对所述隔离块提供电位的供电布线，并且至少所述扫描线处于选择状态的期间内是扫描线电位。
本发明的第三结构例的特征如下所述。
其特征在于：在所述第一或第二结构例中，在阴极衬底的边缘端部，位于上层的电布线的端子与连接在扫描线驱动电路上的柔性印刷电路板(Flexible Printed Circuit，以下简称作FPC)连接，通过该扫描线驱动电路，对隔离块布线提供电位。
本发明的第四结构例的特征如下所述。
其特征在于：在所述第一结构例中，在阴极衬底的边缘端部，位于上层的电布线的端子与连接在扫描线驱动电路上的FPC连接，通过该FPC的内部布线，隔离块布线彼此短路，并且通过独立的供电线从外部提供接地电位。
本发明的第五结构例的特征如下所述。
其特征在于：在所述第一结构例中，阴极衬底的边缘端部的隔离块布线延伸到比扫描线的端子更外侧，并且彼此短路，通过独立的供电线从外部提供接地电位。
本发明的第六结构例的特征如下所述。
其特征在于：在所述第一～五的结构例中，冷阴极型电子源具有按顺序层叠了下部电极、电子加速层和上部电极的构造，是当在所述上部电极外加正极性的电压时，从所述上部电极表面发射电极的电子源元件。
本发明的第七结构例的特征如下所述。
其特征在于：在所述第六结构中，冷阴极型电子源的下部电极由Al或Al合金构成，电子加速层是阳极氧化的氧化铝。
[实施例]
下面，参照附图具体说明本发明的实施例。
参照图3～图33说明基于本发明的所述第一结构例的实施例。
(1)阴极衬底10的生成：
这里，描述了把上部电极13电连接在连接电极15上，并且上部电极供电布线16由铝、铝合金或比铝电阻率还低的金属作为贴里时的制造方法。
这里预先声明作为MIM型电子源制造方法，并不局限于本实施例。不仅上述的专利文献1(特开2001-101965号公报JapaneseLaid-Open No.2001-101965)，在专利文献2(特开2000-208076号公报Japanese Laid-Open No.2000-208076)中描述的包含具有锥形构造的上部电极供电布线的MIM电子源等中也能容易地应用本发明。
首先，在玻璃等绝缘性的阴极衬底10上形成下部电极11用的金属膜。作为下部电极材料，使用Al或Al合金。这里，使用了掺杂了2原子量％的Nd的Al-Nd合金。在成膜时，是例如使用溅射法。膜厚为300nm。成膜后，通过光刻步骤、蚀刻步骤，形成图3(线A-A’剖视图)、图4(线A-A’剖视图)、图5(线B-B’剖视图)所示的条状的下部电极11。在蚀刻步骤中，应用基于由磷酸、醋酸、硝酸的混合水溶液构成的蚀刻液的湿蚀刻。
在图6(平面图)、图7(线A-A’剖视图)、图8(线B-B’剖视图)中，对下部电极11表面进行阳极氧化。例如，如果化学生成电压为6V，则在下部电极11上形成厚度约10nm的绝缘层12。
在图9(平面图)、图10(线A-A’剖视图)、图11(线B-B’剖视图)中，通过溅射，连续形成Si3N4作为层间绝缘膜14，生成Cu作为成为电镀的种膜的连接电极上层15B，生成Cr作为用于确保Cu和底层的接合性的连接电极下层15A。连接电极下层15A薄到数10nm左右，使以后形成的上部电极13在连接电极下层15A的台阶不会断线。关于连接电极上层15B的膜厚，虽未特别限制，但是决定为不会产生针孔，在电镀处理时使连接电极下层15A熔化流出。
在图12(平面图)、图13(线A-A’剖视图)、图14(线B-B’剖视图)中，为连接电极上层15B提供了抗蚀图作为电镀掩模后，通过电镀或非电解电镀，有选择地镀Cu，形成所需厚度例如5μm的由Cu构成的上部电极供电布线16(在图中，缩小厚度进行了描绘)。
这些图都表示镀Cu结束，除去电镀掩模(抗蚀图)后的状态。抗蚀图用于形成电子源的电子发射区的正方形图案以及用于分割成为扫描线的上部电极供电布线16和成为隔离块布线16′的区域的条状图案等两种。
在图15(平面图)、图16(线A-A’剖视图)、图17(线B-B’剖视图)中，通过对全面进行Cu蚀刻，把薄的连接电极上层15B在与下部电极11正交的方向加工成条状。连接电极上层15B与上部电极供电布线16相比极薄，所以通过抑制蚀刻时间，能有选择地只除去连接电极上层15B。对蚀刻液例如适合用磷酸、醋酸、硝酸的混合水溶液(PAN)。
接着，在形成电子源的电子发射区(正方形的凹部)的连接电极下层15A上形成正方形的框状的抗蚀图，通过有选择的湿蚀刻，加工、除去框状图案内侧露出的连接电极下层15A(Cr)。在Cr的湿蚀刻中，适合使用硝酸铵二铈的水溶液。这时应该注意的是：如上所述，形成框状抗蚀图，使其在连接电极下层15A的周边部。据此，后形成的上部电极13能不断线地与连接电极下层15A重叠，可靠连接。
在图18(平面图)、图19(线A-A’剖视图)、图20(线B-B’剖视图)中，为了在形成电子源的电子发射区的凹部内形成电子发射部，通过光刻和干蚀刻把层间绝缘膜14的一部分开口，使隧道绝缘层12露出。对蚀刻气体适合使用CF4和O2的混合气体。对露出的隧道绝缘层12再度进行阳极氧化，修复蚀刻引起的加工损伤。
在图21(平面图)、图22(线A-A’剖视图)、图23(线B-B’剖视图)中，形成上部电极13，电子源衬底(阴极衬底10)完成。上部电极13的形成由使用了荫罩的溅射法进行，分别分离上部电极供电布线16。
作为上部电极13的材料，使用所述Ir、Pt、Au的层叠膜，各膜厚为数nm。据此，能避免光刻和蚀刻给上部电极或隧道绝缘膜带来的损伤。
接着，使用MIM型电子源衬底(阴极衬底10)，说明显示装置整体的制造方法。
首先，根据上述的制造方法，制作在阴极衬底10上排列了多个MIM型电子源的阴极衬底。
为了使说明单纯化，在图24(平面图)、图25(线A-A’剖视图)、图26(线B-B’剖视图)中表示了(3×4)点的MIM型电子源衬底10的平面图和剖视图。实际上，形成与显示点数对应的数量的MIM型电子源阵列。
此前的MIM型电子源制造方法中未说明，但是当构成显示装置时，为了下部电极11、上部电极供电布线16的电极端部与驱动电路的连接，必须露出电极面。
(2)阳极衬底110的生成：
在图27(平面图)、图28(线A-A’剖视图)、图29(线B-B’剖视图)中，说明阳极衬底110的制作方法。
对阳极衬底110使用透光性的玻璃等。首先，为了提高显示装置的对比度，形成黑底117。把混合了PVA(聚乙烯醇)和重铬酸铵的溶液涂敷在阳极衬底110上，对想形成黑底117的部分以外照射紫外线，感光后，除去未感光部分，在那里涂敷溶解了黑铅粉末的溶液，通过取走PVA，形成黑底117。
接着形成红色荧光体111。把在荧光体粒子中混合了PVA(聚乙烯醇)和重铬酸铵的水溶液涂敷在阳极衬底110上后，对形成荧光体的部分照射紫外线，感光后，用流水除去未感光部分。这样，就对红色荧光体111构图。
图案形成为图28、图29所示的点状。同样，形成绿色荧光体112和蓝色荧光体113。作为荧光体，例如可以对红色使用Y2O2S:Eu(P22-R)，对绿色使用ZnS:Cu、Al(P22-G)，对蓝色使用ZnS:Ag(P22-B)。
接着，镀膜形成了硝化纤维等的膜后，对阳极衬底110整体蒸镀Al，形成膜厚75nm左右，作为金属背114。该金属背114作为加速电极起作用。然后把阳极衬底110在大气中加热到400℃左右，把镀膜或PVA等有机膜加热分解。这样，完成了阳极衬底110。
(3)显示面板的形成：
把这样制作的阳极衬底110和阴极衬底10隔着隔离块30，用烧结玻璃115密封粘结。
图30和图31表示相当于粘贴的显示面板的线A-A’截面(图30)和线B-B’截面(图31)的部分。须指出的是，这些显示面板的A-A’截面和线B-B’截面分别与图示阴极衬底10和阳极衬底110时的线段对应。
设定隔离块30的高度，使阳极衬底110-阴极衬底10件的距离为1～3mm左右。隔离块30例如是板状玻璃制或陶瓷制，由至少对其表面付与了导电性的材料构成，其一端配置在与上部电极供电布线16相邻的隔离块布线16′上，电连接。
隔离块30的另一端配置在衬底一侧(阳极衬底110一侧)的黑底117之下，例如由导电性烧结玻璃115′等连接构件固定，所以隔离块30不会阻碍荧光体的发光。隔离块30和隔离块布线16′的电连接可以把隔离块30压入阴极衬底10-阳极衬底110间，其一端与隔离块布线16′接触，或者按照必要，用导电膏连接。
隔离块30如上所述，可以是在玻璃或陶瓷等绝缘材料上涂敷电子传导性的导电材料，例如表面电阻为1E+10～1E+13Ω/口的材料，或当是对这些绝缘性材料自身付与了导电性的导电性玻璃或导电性陶瓷时，是具有电子传导性，并且体积电阻率为1E+8～1E+11Ω·cm的材料。
如图31所示，在本例子中，为了使说明单纯化，在发R(红色)、G(绿色)、B(蓝色)光的各荧光体即所有隔离块布线16′之上配置有隔离块30，但是在实际的显示面板中，在机械强度承受的范围中，减少隔离块30的个数(密度)，大体数cm配置一个。
此外，虽然在本实施例中未描述，但是当代替板状隔离块，使用支柱状隔离块、格子状隔离块，也能通过同样的手法，组装面板。
密封了端部周围的面板120排气为10-7Torr左右的真空，密封。密封后，使内置在面板内的吸气剂活性化，把面板内维持高真空。例如，当为以Ba为主成分的吸气剂时，通过高频感应加热，能形成吸气膜。此外，可以使用以Zr为主成分的非蒸发型吸气剂。这样，就完成了使用MIM型电子源的显示面板120。
这样，在本实施例中，阳极衬底110和阴极衬底10间的距离为1～3mm左右，所以能使外加在金属背114上的急速电压为1～10KV的高压。据此，对荧光体能使用阴极射线管(CRT)用的荧光体。
图32是这样制作的显示面板120对驱动电路的连线图，表示驱动本发明的显示装置的电路整体的概略图。
设置在阴极衬底10上的下部电极11用FPC70向信号线驱动电路40连线，上部电极供电布线16通过FPC70连接在扫描线驱动电路50上。在信号线驱动电路40上配置有与各信号线11对应的信号线驱动电路D，在扫描线驱动电路50上配置有与各扫描线16对应的扫描线驱动电路S。
隔离块布线16′同样通过FPC70连接在扫描线驱动电路50上，在驱动电路的内部提供接地电位。
该方式的优点是不增加制造工时，在与扫描线16连接的同时，通过隔离块布线16′向隔离块30提供接地电位。
这里，用坐标(m，n)表示位于第m条上部电极供电布线16(扫描线)和第n个下部电极11(信号线)11的交点的象素。从高压发生电路60向金属背114外加1～10KV左右的加速电压。
须指出的是，在本实施例中，如图32所示，假设从阴极衬底10的单侧驱动扫描线16和信号线11，但是按照必要，在两侧配置隔驱动电路对本发明的实现性不会有任何妨碍。
图33表示各驱动电路的发生电压波形的一个例子。
在时刻t0，任意的电极都是0电压，所以不发射电子，荧光体不发光。
在时刻t1，在上部电极供电布线16中，只对S1外加电压V1，在下部电极布线11中，在D2、D3上外加电压-V2。在坐标(1，2)、(1，3)，在下部电极11和上部电极供电布线16之间外加了电压(V1+V2)，所以，如果把(V1+V2)设定为电子发射开始电压以上，就能从这些MIM型电子源向真空中发射电子。发射的电子通过从高压发生电路60外加在金属背114上的加速电压加速后，入射到荧光体，引起发光。
同样，在时刻t2，在上部电极供电布线16的S2外加电压V1，在下部电极11的D3上外加电压-V2，同样，坐标(2，3)点亮，发射电子，该电子源坐标上的荧光体发光。
这样，通过改变外加在上部电极供电布线16上的扫描信号，能显示所需图象或信息。此外，通过适当改变对下部电极11的外加电压-V2的大小，能显示具有等级的图象。
在时刻t5，外加用于释放隧道绝缘层12中积蓄的电荷的反向电压。即在全部上部电极供电布线16上外加-V3，同时在全部下部电极11上外加0V。
须指出的是，在本实施例中，未选择的扫描线的电位是0V(接地)，但是，如专利文献(特开2001-83907号公报)所述，应用通过把未选择状态的扫描线保持在高阻抗状态，削减伴随着充放电的无效电力的手法也不会妨碍本发明的实现性。
<实施例2>
这里，描述不通过扫描线驱动电路50，进行向隔离块布线16′的接地电位的外加的方式。首先，仿照实施例1制作包含MIM电子源的阴极衬底10、阳极衬底110和面板120。
图34是这样制作的显示面板120对驱动电路的连线图。下部电极11通过FPC70与信号线驱动电路40连线，上部电极供电布线16通过FPC70与扫描线驱动电路50连线。
隔离块布线16′同样通过FPC70连接在扫描线驱动电路50上。这里使用的FPC70具有预先把所有隔离块布线16′短路的内部布线。综合为一条的隔离块布线在FPC70的端子部连接在与扫描线驱动电路50独立的接地布线上。
该方式的优点是万一显示面板120发生放电，在隔离块布线16′上作用高电压，也不会直接影响扫描线驱动电路50。
<实施例3>
这里，描述不通过驱动电路50，进行向隔离块布线16′的接地电位的外加的方式。首先，仿照实施例1制作包含MIM电子源的阴极衬底10、阳极衬底110和面板120。
这时须注意的是，与实施例2不同，在阴极衬底10上，使隔离块布线16′的端子部延长到比上部电极供电布线16的端子部更靠外侧，使彼此短路。
图35是这样制作的显示装置面板对驱动电路的连线图。下部电极11通过FPC70与信号线驱动电路40连线，上部电极供电布线16通过FPC70与扫描线驱动电路50连线。隔离块布线16′在阴极衬底上的端部汇集为一条，连接在独立的接地布线上。
该方式的优点是对FPC70的性能没有限制，能导入低阻抗的接地布线。因此，万一显示面板120发生放电，在隔离块布线16′上作用高电压，也能完全避免对扫描线驱动电路50的损害。
<实施例4>
下面，参照图17～图45说明基于本发明所述第二结构例的实施例。
(1)阴极衬底10的的生成：
这里，描述了把上部电极13电连接在连接电极下层15A上，并且上部电极供电布线16由铝、铝合金或比铝电阻率还低的金属作为贴里时的制造方法。
这里预先声明作为MIM型电子源制造方法，并不局限于本实施例。不仅上述的专利文献1(特开2001-101965号公报JapaneseLaid-Open No.2001-101965)，在专利文献2(特开2000-208076号公报Japanese Laid-Open No.2000-208076)中描述的包含具有锥形构造的上部电极供电布线的MIM电子源等中也能容易地应用本发明。
关于电子源的制造方法，沿袭实施例1中描述的手法，按照图8制作。在图36(平面图)、图37(线A-A’剖视图)、图38(线B-B’剖视图)中表示了完成的电子源，但是在实施例1的图21、图22、图23中，在子象素内，两条位于上层的电布线16、16’在这里作为一条扫描线16，宽度约扩大到2倍，谋求更低的电阻。即本实施例的特征在于：隔离块布线16′和扫描线16公用。因此，形成上部电极16的步骤也比实施例1单纯。
下面，简单说明为什么不用蚀刻步骤把上部电极供电层分割为隔离块布线16′和扫描线16，而把扫描线16的一部分作为隔离块布线16′公用。
对扫描线16的外加电压通常为5V左右的低电压，而阳极衬底110对金属背114的外加电压(加速电压)如上所述，为1～10KV的高电压。因此，对于外加到所述金属背114上的高压(加速电压)，对扫描线16的5V左右的外加电压实质上可以视为接地电压。即可以把扫描线视为隔离块接地布线。因此，能不使隔离块布线独立，而把扫描线16的一部分作为隔离块布线16′公用。
图39(平面图)、图40(线A-A’剖视图)、图41(线B-B’剖视图)中表示了排列了电子源的阴极衬底10的模式图。为了使说明单纯化，这里表示了(3×4)点的MIM型电子源衬底。在实际的显示面板中，形成与显示点数对应的数量的MIM型电子源阵列。
虽然在MIM型电子源制造方法中未说明，但是当构成显示装置时，为了下部电极11、上部电极供电布线16的电极端部与驱动电路的连接，必须露出电极面。
(2)阳极衬底110的生成：
关于形成了荧光面的阳极衬底110，用实施例1描述的手法制作。
(3)显示面板的形成：
图42(线A-A’剖视图)、图43(线B-B’剖视图)表示把生成的阳极衬底110和上述的阴极衬底10粘贴在一起的状态的显示面板120的截面构造。须指出的是，这些显示面板的A-A’截面和线B-B’截面分别与图示阴极衬底10和阳极衬底110时的线段对应。
这里，隔离块30连接在扫描线16的一部分(可是避开电子发射区)上。
在图44中，模式地表示该显示面板120和驱动电路的连接状态。如上所述，隔离块30的下端连接在扫描线16上，扫描线16通过FPC70连接在扫描线驱动电路50上。
图45表示把本实施例制作的显示面板120如图44所示连接在驱动电路上，进行驱动时的驱动电压的波形。基本上，与实施例1的图33相同，但是在本实施例中，不同之处在于：没有独立的专用隔离块布线16′，通过隔离块下端的扫描线16，在选择了给定扫描线时(选择给定坐标的电子源)，外加扫描线电位。当然，如果通过选择给定扫描线，选择了给定坐标的电子源，就从该选择的电子源的电子发射区发射电子，所以与电子源相邻的隔离块带电，发生充电。因此，在本实施例中，至少在发射该电子的期间内，通过把隔离块30的电位固定在比阳极电压(外加在阳极衬底110的金属背114上的急速电压)低的电位(扫描线电位)上，能通过隔离块的表面传导，除去导电。防止隔离块30的带电对于抑制电子轨道的变形和沿面放电是重要的。
在本实施例中，阳极电压是1～10KV的高压，而扫描线电压为5V左右的低电压，所以连接在该扫描线上的隔离块30实质上为接地电位，能充分防止带电。
当选择了该扫描线时，如专利文献3(特开2001-83907号公报)所述，通过把通常固定为0V的扫描线保持在高阻抗状态，能削减伴随着充放电的无效电力。应用该手法不会妨碍本发明的实现性。
如上所述，根据本发明能实现所需的目的。即在具有二层布线的阴极衬底的制造步骤中，第二布线兼任扫描线和隔离块(接地)布线。据此，能不增加布线数就具有隔离块用的接地布线，结果，不但缩短了制造步骤，而且实现了高成品率，能谋求成本的降低。

Claims (9)

1.一种冷阴极型平面显示器，由以一定间隔配置了多个冷阴极型电子源的阴极衬底、与它们相对并且把荧光膜配置为点状或线状的阳极衬底、以给定间隔支撑所述阴极衬底和所述阳极衬底的多个隔离块、用于保持真空的框玻璃构成真空面板容器，在所述阴极衬底上存在隔着层间绝缘层在彼此交叉的行方向和列方向上延伸的多条电布线，在与这些交点坐标对应的位置，所述冷阴极型电子源与列方向和行方向的所述布线连接配置，通过按线依次驱动所述冷阴极型电子源，进行图象显示，其特征在于：
所述多条电布线中位于上层的布线的一部分为扫描线，位于下层的布线为信号线；
并且，位于所述上层的布线的一部分为用于对所述隔离块提供接地电位的接地布线，并且至少相邻的扫描线处于选择状态的期间是所述隔离块通过所述接地布线接地的状态。
2.一种冷阴极型平面显示器，由以一定间隔配置了多个冷阴极型电子源的阴极衬底、与它们相对并且把荧光膜配置为点状或线状的阳极衬底、以给定间隔支撑所述阴极衬底和所述阳极衬底的多个隔离块、用于保持真空的框玻璃构成真空面板容器，在所述阴极衬底上存在隔着层间绝缘层在彼此交叉的行方向和列方向上延伸的多条电布线，在与这些交点坐标对应的位置，所述冷阴极型电子源与列方向和行方向的所述布线连接配置，通过按线依次驱动所述冷阴极型电子源，进行图象显示，其特征在于：
所述多条电布线中位于上层的布线为扫描线，位于下层的布线为信号线；
并且，位于所述上层的布线的一部分兼做用于对所述隔离块提供电位的供电布线，并且至少所述扫描线处于选择状态的期间内是扫描线电位。
3.根据权利要求1所述的冷阴极型平面显示器，其特征在于：
在阴极衬底的边缘端部，位于上层的电布线的端子与连接在扫描线驱动电路上的柔性印刷电路板连接，通过所述扫描线驱动电路，对隔离块布线提供电位。
4.根据权利要求1所述的冷阴极型平面显示器，其特征在于：
在阴极衬底的边缘端部，位于上层的电布线的端子与连接在扫描线驱动电路上的柔性印刷电路板连接，通过该柔性印刷电路板的内部布线，隔离块布线彼此短路，并且通过独立的供电线从外部提供接地电位。
5.根据权利要求1所述的冷阴极型平面显示器，其特征在于：
阴极衬底的边缘端部的隔离块布线延伸到比扫描线的端子更外侧，并且彼此短路，通过独立的供电线从外部提供接地电位。
6.根据权利要求1所述的冷阴极型平面显示器，其特征在于：
冷阴极型电子源具有按顺序层叠了下部电极、电子加速层和上部电极的构造，是当在所述上部电极外加正极性的电压时，从所述上部电极表面发射电极的电子源元件。
7.根据权利要求6所述的冷阴极型平面显示器，其特征在于：
冷阴极型电子源的下部电极由Al或Al合金构成，电子加速层是阳极氧化的氧化铝。
8.根据权利要求2所述的冷阴极型平面显示器，其特征在于：
在阴极衬底的边缘端部，位于上层的电布线的端子与连接在扫描线驱动电路上的柔性印刷电路板连接，通过所述扫描线驱动电路，对隔离块布线提供电位。
9.根据权利要求2或8所述的冷阴极型平面显示器，其特征在于：
冷阴极型电子源具有按顺序层叠了下部电极、电子加速层和上部电极的构造，是当在所述上部电极外加正极性的电压时，从所述上部电极表面发射电极的电子源元件。
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Families Citing this family (33)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2004165152A (ja) * 2002-10-21 2004-06-10 Canon Inc 気密容器の製造方法及び画像表示装置の製造方法及び接合方法
JP4203954B2 (ja) * 2002-12-26 2009-01-07 株式会社日立製作所 画像表示装置
KR20050062742A (ko) * 2003-12-22 2005-06-27 삼성에스디아이 주식회사 전계방출소자와, 이를 적용한 표시소자 및 그 제조방법
JP2005216606A (ja) * 2004-01-28 2005-08-11 Hitachi Ltd 平面型表示装置
KR20050077961A (ko) * 2004-01-30 2005-08-04 삼성에스디아이 주식회사 평판표시장치 및 그 제조방법
JP2005235748A (ja) * 2004-02-17 2005-09-02 Lg Electronics Inc 炭素ナノチューブ電界放出素子及びその駆動方法
KR20060000751A (ko) * 2004-06-29 2006-01-06 삼성에스디아이 주식회사 전자방출소자 및 이를 이용한 전자방출 표시장치
US20080211408A1 (en) * 2004-08-17 2008-09-04 Hiroyuki Yamakita Plasma Display Panel and Method for Manufacturing Same
US7612494B2 (en) * 2004-08-18 2009-11-03 Canon Kabushiki Kaisha Image display apparatus having accelerating electrode with uneven thickness
US7957507B2 (en) 2005-02-28 2011-06-07 Cadman Patrick F Method and apparatus for modulating a radiation beam
JP2006269344A (ja) * 2005-03-25 2006-10-05 Hitachi Ltd 画像表示装置とその製造方法
US8232535B2 (en) 2005-05-10 2012-07-31 Tomotherapy Incorporated System and method of treating a patient with radiation therapy
JP4802583B2 (ja) * 2005-07-21 2011-10-26 ソニー株式会社 スペーサの製造方法
AU2006272730A1 (en) 2005-07-22 2007-02-01 Tomotherapy Incorporated Method of and system for predicting dose delivery
CA2616292A1 (en) 2005-07-22 2007-02-01 Tomotherapy Incorporated Method and system for evaluating quality assurance criteria in delivery of a treament plan
JP2009514559A (ja) 2005-07-22 2009-04-09 トモセラピー・インコーポレーテッド 線量体積ヒストグラムを用いて輪郭構造を生成するシステムおよび方法
KR20080044251A (ko) 2005-07-22 2008-05-20 토모테라피 인코포레이티드 변형 맵 상에 제약을 위치시키는 방법 및 그 방법을구현하는 시스템
US8442287B2 (en) 2005-07-22 2013-05-14 Tomotherapy Incorporated Method and system for evaluating quality assurance criteria in delivery of a treatment plan
JP2009502252A (ja) 2005-07-22 2009-01-29 トモセラピー・インコーポレーテッド 生物学的モデルに基づいて放射線療法治療プランを適合させるための方法およびシステム
WO2007014104A2 (en) 2005-07-22 2007-02-01 Tomotherapy Incorporated System and method of evaluating dose delivered by a radiation therapy system
JP2009502257A (ja) 2005-07-22 2009-01-29 トモセラピー・インコーポレーテッド デリバーされた線量を評価するための方法およびシステム
CA2616304A1 (en) 2005-07-22 2007-02-01 Tomotherapy Incorporated System and method of delivering radiation therapy to a moving region of interest
EP1906826A4 (en) 2005-07-22 2009-10-21 Tomotherapy Inc SYSTEM AND METHOD FOR DETECTING A RESPIRATORY CYCLE IN A PATIENT RECEIVING RADIOTHERAPY TREATMENT
EP1907984A4 (en) 2005-07-22 2009-10-21 Tomotherapy Inc METHOD AND SYSTEM FOR DATA PROCESSING IN THE CONTEXT OF A RADIATION THERAPY TREATMENT PLAN
EP3175886B1 (en) 2005-07-23 2018-06-27 TomoTherapy, Inc. Radiation therapy imaging and delivery utilizing coordinated motion of gantry and couch
JP2007165012A (ja) * 2005-12-09 2007-06-28 Hitachi Displays Ltd 画像表示装置
JP4899574B2 (ja) * 2006-03-28 2012-03-21 株式会社日立製作所 画像表示装置
CN100573797C (zh) * 2006-07-05 2009-12-23 清华大学 双面发光的场发射像素管
JP2008034269A (ja) * 2006-07-31 2008-02-14 Hitachi Displays Ltd 表示装置
US20080284307A1 (en) * 2007-05-15 2008-11-20 Chih-Che Kuo Method for driving cathade of field emission display and structure of the same
US8227985B2 (en) * 2010-08-06 2012-07-24 Los Alamos National Security, Llc Photo-stimulated low electron temperature high current diamond film field emission cathode
JP6412020B2 (ja) 2013-02-26 2018-10-24 アキュレイ インコーポレイテッド 電磁作動式のマルチリーフコリメーター
US10051720B1 (en) 2015-07-08 2018-08-14 Los Alamos National Security, Llc Radio frequency field immersed ultra-low temperature electron source

Family Cites Families (51)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4051840A (en) * 1976-01-05 1977-10-04 Sinai Hospital Of Detroit Dynamic aortic patch
US4164045A (en) * 1977-08-03 1979-08-14 Carbomedics, Inc. Artificial vascular and patch grafts
US4577631A (en) * 1984-11-16 1986-03-25 Kreamer Jeffry W Aneurysm repair apparatus and method
CA1303947C (en) * 1988-10-18 1992-06-23 Michel Robert Hone Wire pickling method and apparatus
US5030195A (en) * 1989-06-05 1991-07-09 Nardi George L Radioactive seed patch for prophylactic therapy
US5263963A (en) * 1989-09-08 1993-11-23 Advanced Cardiovascular Systems, Inc. Expandable cage catheter for repairing a damaged blood vessel
US5002560A (en) * 1989-09-08 1991-03-26 Advanced Cardiovascular Systems, Inc. Expandable cage catheter with a rotatable guide
US5053008A (en) * 1990-11-21 1991-10-01 Sandeep Bajaj Intracardiac catheter
CA2073923C (en) 1991-07-17 2000-07-11 Hidetoshi Suzuki Image-forming device
EP0539237A1 (en) * 1991-10-25 1993-04-28 Cook Incorporated Expandable transluminal graft prosthesis for repair of aneurysm and method for implanting
US5720776A (en) * 1991-10-25 1998-02-24 Cook Incorporated Barb and expandable transluminal graft prosthesis for repair of aneurysm
US5327913A (en) * 1992-03-25 1994-07-12 Taheri Syde A Percutaneus cardiomyoplasty method
DE4235506A1 (de) * 1992-10-21 1994-04-28 Bavaria Med Tech Katheter zur Injektion von Arzneimitteln
US5429634A (en) * 1993-09-09 1995-07-04 Pdt Systems Biogenic implant for drug delivery and method
US5797960A (en) * 1993-02-22 1998-08-25 Stevens; John H. Method and apparatus for thoracoscopic intracardiac procedures
US5725525A (en) * 1993-03-16 1998-03-10 Ep Technologies, Inc. Multiple electrode support structures with integral hub and spline elements
DE69425249T2 (de) * 1993-03-16 2001-03-22 Ep Technologies, Inc. Träger-anordnung für mehrfach-elektroden
JP3044435B2 (ja) * 1993-04-05 2000-05-22 キヤノン株式会社 電子源及び画像形成装置
JPH0729527A (ja) 1993-07-09 1995-01-31 Sanyo Electric Co Ltd 平面画像表示装置
US5385156A (en) * 1993-08-27 1995-01-31 Rose Health Care Systems Diagnostic and treatment method for cardiac rupture and apparatus for performing the same
ATE219343T1 (de) * 1994-04-29 2002-07-15 Scimed Life Systems Inc Stent mit kollagen
JP3305166B2 (ja) 1994-06-27 2002-07-22 キヤノン株式会社 電子線装置
US5624946A (en) * 1994-07-05 1997-04-29 Williams; James Use of leflunomide to control and reverse chronic allograft rejection
US5593405A (en) * 1994-07-16 1997-01-14 Osypka; Peter Fiber optic endoscope
DE4441327C1 (de) * 1994-11-22 1995-11-09 Inst Pflanzengenetik & Kultur Embryonale Herzmuskelzellen, ihre Herstellung und ihre Verwendung
US5713863A (en) * 1996-01-11 1998-02-03 Interventional Technologies Inc. Catheter with fluid medication injectors
JP3174999B2 (ja) * 1995-08-03 2001-06-11 キヤノン株式会社 電子放出素子、電子源、それを用いた画像形成装置、及びそれらの製造方法
US5662704A (en) * 1995-12-01 1997-09-02 Medtronic, Inc. Physiologic mitral valve bioprosthesis
US5662671A (en) * 1996-07-17 1997-09-02 Embol-X, Inc. Atherectomy device having trapping and excising means for removal of plaque from the aorta and other arteries
US5814079A (en) * 1996-10-04 1998-09-29 Medtronic, Inc. Cardiac arrhythmia management by application of adnodal stimulation for hyperpolarization of myocardial cells
JPH10153979A (ja) * 1996-11-26 1998-06-09 Hitachi Ltd 表示装置および電子線応用機器
JP3466848B2 (ja) 1997-01-10 2003-11-17 キヤノン株式会社 画像表示装置
US5843472A (en) * 1997-02-28 1998-12-01 Cygnus, Inc. Transdermal drug delivery sytem for the administration of tamsulosin, and related compositions and methods of use
US6045565A (en) * 1997-11-04 2000-04-04 Scimed Life Systems, Inc. Percutaneous myocardial revascularization growth factor mediums and method
US5814064A (en) * 1997-03-06 1998-09-29 Scimed Life Systems, Inc. Distal protection device
GB2338414B (en) * 1997-04-03 2001-12-19 Point Biomedical Corp Intravesical drug delivery system
JP3305252B2 (ja) * 1997-04-11 2002-07-22 キヤノン株式会社 画像形成装置
US6366014B1 (en) * 1997-08-01 2002-04-02 Canon Kabushiki Kaisha Charge-up suppressing member, charge-up suppressing film, electron beam apparatus, and image forming apparatus
JP3371200B2 (ja) * 1997-10-14 2003-01-27 富士通株式会社 液晶表示装置の表示制御方法及び液晶表示装置
US6119030A (en) * 1998-06-22 2000-09-12 Ep Technologies, Inc. Silicone tip for multiple electrode basket assemblies
JP2000155555A (ja) * 1998-09-16 2000-06-06 Canon Inc 電子放出素子の駆動方法及び、該電子放出素子を用いた電子源の駆動方法、並びに該電子源を用いた画像形成装置の駆動方法
JP3601990B2 (ja) 1999-01-11 2004-12-15 株式会社日立製作所 冷陰極型蛍光表示装置およびその製造方法
US6076013A (en) * 1999-01-14 2000-06-13 Brennan; Edward F. Apparatus and methods for treating congestive heart failure
KR100569270B1 (ko) 1999-06-22 2006-04-10 비오이 하이디스 테크놀로지 주식회사 전계 방출 표시 패널 및 그의 제조방법
JP3630036B2 (ja) 1999-09-30 2005-03-16 株式会社日立製作所 薄膜型電子源、およびそれを用いた表示装置
CN1531738A (zh) 2000-07-12 2004-09-22 摩托罗拉公司 具有放电电子发射器的场致发射显示器
JP2002208076A (ja) 2001-01-11 2002-07-26 Nittan Co Ltd 防災連動制御システム
KR20040010026A (ko) * 2002-07-25 2004-01-31 가부시키가이샤 히타치세이사쿠쇼 전계방출형 화상표시장치
JP4203954B2 (ja) * 2002-12-26 2009-01-07 株式会社日立製作所 画像表示装置
JP2004272213A (ja) * 2003-02-17 2004-09-30 Hitachi Ltd 画像表示装置
US7138758B2 (en) * 2003-05-15 2006-11-21 Canon Kabushiki Kaisha Image forming apparatus having a high-resistance coated spacer in electrical contact with wirings components at predetermined intervals

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