CN113466260A

CN113466260A - 检查装置

Info

Publication number: CN113466260A
Application number: CN202110296494.2A
Authority: CN
Inventors: 佐佐木浩一; 松田晋也; 加藤秋久
Original assignee: First Industrial Visbo Co ltd
Current assignee: First Industrial Visbo Co ltd
Priority date: 2020-03-30
Filing date: 2021-03-19
Publication date: 2021-10-01
Also published as: JP2021156808A; JP7504643B2; TW202206804A

Abstract

本发明提供一种专用于检测在电子零部件的电极部上存在的缺损、剥离的检查装置。具有输送被检查物(W)的输送机构(2)、被配设在被检查物(W)侧的第一照明机构(5)及被配设在相反侧的第二照明机构(25)、和被配设在被检查物(W)侧来拍摄被检查面(W_a)的拍摄摄像头(4)。第一照明机构(5)将接近输送路径的第一发光器(16)设置在比另一组第一发光器(12)远离检查位置(P)的位置。第二照明机构(25)被配设在隔着输送片材(3)而与第一照明机构(5)面对称的位置，具有接近输送路径的第二发光器(36)和另一组第二发光器(32)。第一照明机构(5)的第一发光器(16)和第二照明机构的第二发光器(36)的1/2光束角位于30°～80°的范围内，第一照明机构(5)的第一发光器(12)和第二照明机构(25)的第二发光器(32)的1/2光束角位于10°～25°的范围内。

Description

检查装置

技术领域

本发明涉及一种能够高精度地检查电子零部件等微小的被检查对象物的端面的外观性状的检查装置。

背景技术

作为检查电子零部件等的外观性状的装置之一，现有技术中已知有下述专利文献1(特开平5-288527号公报)所公开的检查装置。该检查装置具有：使载置在台上的印刷电路板沿XY方向移动的机构；照明机构，其具有配设成圆顶状的多个LED，对所述印刷电路板上的被检查部进行照明；和电视摄像机，其由形成在照明机构的顶部上的孔来拍摄印刷电路板上的被检查部。

根据该检查装置，通过所述照明机构对印刷电路板上的被检查部进行照明，通过所述电视摄像机来拍摄该被检查部的图像。然后，对这样拍摄到的图像数据进行分析，来判别所述被检查部的外观性状是否良好。

现有技术中，这种检查装置在具有移动被检查物的机构、对被检查物进行照明的机构、以及对被检查物的图像进行拍摄的机构方面，尽管其基本结构没有改变，但都采用按照作为检查对象物的被检查物的形状和检查部位来设计、变形的形态。

例如，在检查为六面体的电子零部件(例如，电容器等)的端面的情况下采用以下形态：适宜地通过输送机构将该电子零部件向规定的输送方向输送，在设置在该输送途中的规定位置的检查位置，通过照明机构从输送方向前方对电子零部件的前端面进行照明，并且适宜地通过拍摄摄像头，从斜前方来拍摄该电子零部件的前端面。

在该情况下，照明机构采用以与输送机构的输送方向正交的垂直面分割LED 被配设成圆顶状的上述照明机构的形态，构成为由该输送方向前侧的部分对电子零部件的前端面进行照明。

另外，照明机构的没有配置LED的位置穿设有通孔，拍摄摄像头通过该通孔来拍摄所述电子零部件的前端面。

另外，在对电子零部件的前端面的外观性状进行检查的情况下，为了高精度地对其进行检查，优选以输送方向与拍摄摄像头的拍摄光轴所成的角度(仰角) 尽可能小的方式来配设拍摄摄像头，尽可能从其正面来拍摄电子零部件的前端面。通过从正面来拍摄前端面，所得到的图像数据最多，能够进行更高精度的解析。

另外，优选所述照明机构的LED被配设于，其照明光轴相对于电子零部件的前端面尽可能接近直角，换言之，尽可能接近输送机构的输送路径的位置。这样，通过在接近输送路径的位置设置LED，以拍摄光轴的仰角尽可能小的方式来配设的拍摄摄像头能够从所述前端面获取更多的反射光，由此通过该拍摄摄像头拍摄到的图像变得更清晰。通过这样得到清晰的图像，能够提高根据该图像来解析的精度。

近年来，所述电子零部件的微小化在加速，以前电子零部件的剖面为3mm ×2mm，但已小型化到剖面为0.4mm×0.2mm的电子零部件，为了应对这种微小化，也优选采用上述这种拍摄摄像头与LED的配置。

然而，当采用将拍摄摄像头的拍摄光轴的仰角设定为尽可能小，且将LED 配设在尽可能接近输送机构的输送路径的结构时，拍摄摄像头的拍摄光轴与LED 处于相互干涉的位置关系，有无法在照明机构上设置用于拍摄电子零部件的通孔、即无法拍摄电子零部件的问题。

因此，本案发明人鉴于这种问题，已经提出了下述专利文献2所公开的检查装置。

该检查装置将电子零部件等被检查物向所设定的输送方向输送，将该被检查物的至少所述输送方向前端面或者后端面作为被检查面来进行检查，该检查装置至少具有：输送机构，其具有沿所述输送方向的输送路径，将该输送路径上的所述被检查物向所述输送方向输送；照明机构，其以所述输送路径为界被配设在与所述被检查物相同的一侧，在所述输送路径上的预先设定的检查位置，对由所述输送机构输送的所述被检查物的所述被检查面进行照明；和拍摄摄像头，其同样被配设在与所述被检查物相同的一侧，拍摄位于所述检查位置的所述被检查物的所述被检查面。

并且，所述照明机构构成为，具有对所述被检查物的被检查面进行照明的多个发光器和支承所述多个发光器的支承体，该支承体构成为，将接近所述输送路径的发光器支承在比另一组发光器远离所述检查位置的位置，并且在所述远离的发光器与另一组发光器之间具有能从所述检查位置的相反侧的背面观察所述被检查物的被检查面的空间，所述拍摄摄像头被配设在所述支承体的所述背面侧，通过所述支承体的空间来拍摄所述被检查物的被检查面。

根据该检查装置，被检查物被输送机构在其输送路径上输送，在该输送路径上的检查位置，在由照明机构对该被检查面进行照明的状态下由所述拍摄摄像头拍摄该被检查面。

并且，所述照明机构至少将接近所述输送路径的发光器配设在比另一组发光器远离所述检查位置的位置，因此，能够在使接近所述输送路径的发光器尽可能接近所述输送机构的输送路径的状态下在其与所述另一组发光器之间设定适宜的间隔，且能够在该部分设置用于拍摄所述被检查物的被检查面的空间。

并且，通过采用这种结构，能够将所述拍摄摄像头配置成其拍摄光轴与所述输送路径所成的角度(仰角)尽可能小，即配置成尽可能接近所述输送路径的状态，通过这样配设的拍摄摄像头，能够尽可能从其正面来拍摄所述被检查物的被检查面。由此，能够将由所述拍摄摄像头拍摄到的所述被检查面的图像捕捉为更大的图像，其结果，能够高精度地检查所述被检查面的外观性状。

另外，如上所述，由于以尽可能接近所述输送路径的状态来配置接近所述输送路径的发光器，因此所述拍摄摄像头能够从所述被检查面获取到更多的反射光，由此能够使由该拍摄摄像头拍摄到的图像更清晰。这样，能够得到被检查面清晰的图像，由此能够高精度地检查该被检查面的外观性状。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：特开平5-288527号公报

专利文献2：特开2014-160016号公报

发明内容

然而，上述专利文献2所公开的检查尽管起到上述良好的效果，但在以下方面要求进一步进行改良。

在上述的电容器等电子零部件的领域中，为了检查其电气特性，采用使检查用的探头与电极部的端面接触的形态，通过这种探头的接触，有时在该电极部的端面产生探头的接触痕迹。由于探头接触，发现该接触痕迹比其他部分更平坦，因此，其本身不属于外观上的不良，另外，就质量而言也不属于不良。

另一方面，在电极部上形成的划伤、缺损及剥离被判断为是外观上的不良，另外，尽管划伤在质量上没有大的问题，但缺损、剥离是电极部的缺陷，因此就质量而言判断为不良。

因此，在该电子零部件所涉及的外观检查领域中，从提高成品率的观点出发，要求开发仅能检测就质量而言成为问题的缺损和剥离的检查装置。

本发明是在以上这样的背景下完成的，其目的在于，提供一种仅能检测在电子零部件的电极部上存在的缺损、剥离的检查装置。

用于解决上述技术问题的本发明是一种检查装置，该检查装置将被检查物向所设定的输送方向输送，将该被检查物的至少所述输送方向前端面或者后端面作为被检查面进行检查，具有：

输送机构，其具有沿所述输送方向移动的透明的片材状的输送片材，通过所述输送片材的移动将被载置在该输送片材上的所述被检查物向所述输送方向输送；

第一照明机构，其在由所述输送片材形成的输送路径上的规定的检查位置，以所述输送片材为界被配设在与所述被检查物相同的一侧，对所述被检查物的所述被检查面进行照明；

第二照明机构，其被配设在与所述被检查物相反的一侧，对所述被检查物的所述被检查面进行照明；和

拍摄摄像头，其被配设在与所述被检查物相同的一侧，对位于所述检查位置的所述被检查物的所述被检查面进行拍摄，

所述第一照明机构具有：多个第一发光器，其对所述被检查物的被检查面进行照明；和第一支承体，其支承所述多个第一发光器，

所述第一支承体构成为至少将接近所述输送路径的第一发光器支承在比另一组第一发光器远离所述检查位置的位置，并且在远离的第一发光器与另一组第一发光器之间，具有能从与所述检查位置相反的一侧的背面来观察所述被检查物的被检查面的空间，

所述拍摄摄像头构成为，被配设在所述第一支承体的所述背面侧，通过所述第一支承体的空间来拍摄所述被检查物的被检查面，

并且，所述第二照明机构被配设在隔着所述输送片材与所述第一照明机构呈面对称的位置，具有：多个第二发光器，其对所述被检查物的被检查面进行照明；和第二支承体，其支承所述多个第二发光器，

所述第一照明机构的接近所述输送路径的第一发光器和第二照明机构的接近所述输送路径的第二发光器的1/2光束角的角度在30°～80°的范围内，

所述第一照明机构的其他第一发光器和所述第二照明机构的其他第二发光器的1/2光束角的角度在10°～25°的范围内。

另外，适用于该检查装置的检查对象物是由基体部和包含该基体部的至少端面的一部分被金属层覆盖的电极部构成的电子零部件，是基体部由光的反射率比电极部低的材料构成的电子零部件，在该检查装置中，对该电极部的端面(被检查面)进行检查。

根据该检查装置，被检查物以载置在输送机构的透明输送片材上的状态，通过该输送片材的移动来被输送。并且，在该输送路径上的规定的检查位置，在通过第一照明机构的接近所述输送路径的第一发光器(第一B发光器)和另一组第一发光器(第一A发光器)、以及第二照明机构的接近所述输送路径的第二发光器(第二B发光器)和另一组第二发光器(第二A发光器)对其被检查面进行照明的状态下，通过所述拍摄摄像头来拍摄该被检查面。另外，从第二A发光器和第二B发光器照射的光透过透明的所述输送片材，对所述被检查物的被检查面进行照明。

在所述第一照明机构中，至少将所述第一B发光器配设在比所述第一A发光器远离所述检查位置的位置，因此，能够在使该第一B发光器尽可能接近所述输送机构的输送路径的状态下在其与所述第一A发光器之间设定合适的间隔，且能够在该部分设置用于拍摄所述被检查物的被检查面的空间。

另外，所述第一照明机构的所述第一B发光器和第二照明机构的第二B发光器各自的1/2光束角的角度在30°～80°的范围内，另一方面，第一照明机构的第一A发光器和第二照明机构的第二A发光器各自的1/2光束角的角度在 10°～25°的范围内。即，所述第一A发光器和第二A发光器分别是照射指向性比较高的光的发光器，所述第一B发光器和第二B发光器是照射相对不具有指向性的光的发光器。另外，所谓所述1/2光束角是指，以具有从发光器照射的最大光度的光轴为中心，具有最大光度的1/2的光度的光的照射方向的内角。

并且，根据该第一照明机构和第二照明机构，在电极部的端面存在划伤、接触痕迹以及缺损和剥离的情况下，通过以下作用，能够使由所述拍摄摄像头拍摄到的图像为仅强调缺损和剥离的图像，据此，能够关于被检查物仅根据缺损和剥离来判定是否优良。

即，从上侧的所述第一B发光器和下侧的第二B发光器向所述被检查面照射相对不具有指向性的光，从上侧的第一A发光器和下侧的第二A发光器，从斜方向向所述被检查面照射具有指向性的光。因此，在被检查面上存在划伤、接触痕迹的情况下，从上下两侧照射的相对不具有指向性的光和具有指向性的光相结合，通过这些光，对形成划伤、接触痕迹的凹部内全域进行照明，其结果，从形成划伤、接触痕迹的凹部全域反射的光射入所述拍摄摄像头。由此，即使在被检查面上存在划伤、接触痕迹的情况下，由所述拍摄摄像头拍摄到的图像也为划伤、接触痕迹被抽象的图像。

另一方面，在被检查面上存在缺损、剥离，基体部在该部位露出的情况下，由于基体部的光的反射率比由金属层构成的电极部低，因此，射入所述拍摄摄像头的来自所述被检查面的反射光量中与缺损、剥离对应的部分的反射光量低。其结果，由所述拍摄摄像头拍摄到的图像成为与缺损、剥离对应的部分变暗的图像。因此，通过对所得到的图像进行处理来检测该暗部，能够检测出缺损、剥离的不良。由此，在被检查面上存在缺损、剥离的情况下，能够仅将该缺损、剥离检测为不良。

另外，如上所述，由于能将所述第一B发光器和第二B发光器配置为尽可能接近所述输送路径的状态，因此，所述拍摄摄像头能够从被检查面获取更多的反射光，由此能够使由该拍摄摄像头拍摄到的图像更清晰。这样，能够得到被检查面清晰的图像，由此能够高精度地对该被检查面的外观性状进行检查。

另外，作为所述第一A发光器、第一B发光器、第二A发光器及第二B发光器，能够代表性地示例出LED，但并不限定于任何LED，只要能以检查所需的足够光量对所述被检查面进行照明即可。

如上所述，根据具有上述结构的本发明的检查装置，能够高精度地对被检查物的外观性状进行检查，并且，不检测质量上没有问题的划伤、接触痕迹，而仅将质量上有问题的缺损和剥离检测为不良。

另外，在上述检查装置中，优选为，所述拍摄摄像头被配设为，其拍摄光轴位于与所述输送路径正交的面内，且以10°～35°的范围内的角度与所述输送路径交叉，并且，所述第一照明机构的第一B发光器和第二照明机构的第二B 发光器被配设为，其照明光轴以3°～20°的范围内的角度与所述输送路径交叉。

通过将所述拍摄摄像头的拍摄光轴、与所述第一B发光器及第二B发光器的照明光轴分别设定为上述范围的角度，能够使由所述拍摄摄像头拍摄到的所述被检查物的图像为更适宜的图像，由此能够高精度地检测所述被检查物的被检查面。

另外，在上述检查装置中，优选为，所述第一照明机构的第一A发光器、第一B发光器、第二照明机构的第二A发光器、第二B发光器构成为，能够分别对其进行调光。

通过能分别对所述第一A发光器、第一B发光器、第二A发光器及第二B 发光器的强度(照度)进行调整，能够使由所述拍摄摄像头拍摄到的所述被检查物图像的亮度在全域均匀。即，例如，所述第一B发光器比所述第一A发光器远离所述检查位置，因此，由该第一B发光器照明的部分的所述被检查面的亮度比由所述第一A发光器照明的部分的亮度低，但通过提高第一B发光器的强度，能够使被检查面全域的亮度大致均匀。另外，根据被检查面的形状，在由此造成被检查面的亮度不均匀的情况下，按照该被检查面的形状来调节各发光器的强度，能够使被检查面全域的亮度大致均匀。

发明效果

如以上详细叙述的那样，根据本发明所涉及的检查装置，能够高精度地对所述被检查物的外观性状进行检查，并且，不检测质量上没有问题的划伤、接触痕迹，而仅将质量上有问题的缺损和剥离检测为不良。

附图说明

图1是表示本发明一实施方式所涉及的检查装置的主视图。

图2是图1的放大图，是用剖面来表示第一照明机构和第二照明机构的放大图。

图3是图2中的向视B-B方向的侧视图。

图4是图2中的向视C-C方向的侧视图。

图5中的(a)是被检查物的俯视图，(b)是其向视D方向的侧视图。

图6中的(a)和(b)是用于说明本实施方式所涉及的LED的1/2光束角的说明图。

图7是表示本实施方式的变形例所涉及的检查装置的主视图。

具体实施方式

下面，一边参照附图一边对本发明的具体实施方式进行说明。另外，图1是表示本发明一实施方式所涉及的检查装置的主视图，图2是将图1放大表示的主视剖视图。另外，图3是图2中的向视B-B方向的侧视图，图4是图2中的向视C-C方向的侧视图。

如图1和图2所示，本例的检查装置1具有：输送机构2，其将被检查物W 向作为输送方向的箭头A方向输送；第一照明机构5及第二照明机构25，二者在检查位置P对被该输送机构2输送的被检查物W的前端面(输送方向前侧的端面)W_a进行照明；和拍摄摄像头4，其拍摄位于检查位置P的被检查物W的前端面W_a。

另外，在本例子中，将图5所示的六面体形状的电子零部件作为被检查物W，设其前端面W_a为被检查面。该电子零部件由基体部W₁和设置在该基体部W₁的两端部的电极部W₂构成，电极部W₂通过由金属层覆盖基体部W₁来形成。并且，基体部W₁由陶瓷等光的反射率比电极部W₂低的材料构成。

[输送机构]

所述输送机构2具有：作为输送片材的旋转台3，其由透明的玻璃板构成，呈圆板状且为片材状；和驱动马达(未图示)，其使该旋转台3沿箭头A方向水平旋转，所述输送机构2通过所述旋转台3的旋转，将以前端面W_a朝向输送方向的方式被供给的旋转台3上的被检查物W向所述输送方向输送。另外，当然被旋转台3输送的被检查物W的输送路径为圆弧状的路径。

[拍摄摄像头]

所述拍摄摄像头4是拍摄被检查物W的前端面W_a的二维图像的摄像头，被配设为在所述检查位置P，其拍摄光轴位于包括所述输送路径的切线的垂直面内，且与旋转台3的上表面、即输送路径所成的角度为10°～35°的范围内的角度。

[第一照明机构]

如图2～图4所示，所述第一照明机构5包括：第一A支承体6；第一B支承体13，其被固设在该第一A支承体6的所述输送方向下游侧的端面9上；作为第一A发光器的多个LED12，其被支承在所述第一A支承体6上；和作为第一B发光器的同样为多个的LED16，其被支承在所述第一B支承体13上，所述第一照明机构5被配设在比所述检查位置P靠输送方向下游侧，且所述旋转台3 的上方。

所述第一A支承体6具有从所述输送方向上游侧的端面7朝向下表面8形成的凹曲面10，在该凹曲面10上固设有所述多个LED12。如图4所示，这些 LED12以大致位于同心圆的三个圆弧列上的方式配设在所述凹曲面10上，在本例中在最外周的圆弧列上配设十七个LED12，由此，在中心侧的圆弧列上配设十三个LED12，在最中心侧的圆弧列上配设有九个LED12。

另外，在第一A支承体6的下表面8上，形成有在所述输送方向下游侧的端面9和所述凹曲面10上开口的凹槽11，所述第一B支承体13以留出端面9 侧的开口部的上部侧来封闭端面9侧的开口部的方式被固设在该端面9上。

另一方面，在所述第一B支承体13的所述输送方向上游侧的端面14上，多个(在本例子为4个)LED16被配设为成为水平的一排，该LED16位于比所述LED12接近所述旋转台3的输送路径的位置，并且被配置在比所述LED12从所述检查位置P向所述输送方向远离的位置。

另外，在所述第一A支承体6的端面9上，由所述第一B支承体13的上表面和所述凹槽11的内表面形成开口，能够通过拍摄光轴的角度被设定为上述角度的所述拍摄摄像头4，经由该开口来拍摄所述被检查物W的前端面W_a。

这样，由于将作为所述第一B发光器的LED16配设在比作为所述第一A发光器的另一组LED12从所述检查位置P向所述输送方向远离的位置，其中所述第一B发光器被配设在接近所述旋转台3的输送路径的位置，能够在LED16与 LED12之间设置间隔，由此在形成在所述第一A支承体6上的凹槽11与所述第一B支承体13的上表面之间，能够形成用于拍摄所述被检查物W的前端面W_a的空间。

另外，在与所述旋转台3的输送路径的正上方接触的所述第一B支承体13 的下表面15上，形成有由所述旋转台3输送的被检查物W能通过的间隙。

另外，所述LED12的1/2光束角的角度在10°～25°的范围内，所述LED16 的1/2光束角的角度在30°～80°的范围内。即，LED12照射指向性比较高的光，LED16照射相对不具有指向性的光。另外，所述1/2光束角设置，以具有从发光器照射的最大光度的光轴为中心，具有最大光度的1/2的光度的光的照射方向的内角。

在图6中示出1/2光束角的定义。图6中的(a)示出LED12的情况下，以具有LED12的最大光度的光轴12a为中心，具有最大光度的1/2的光度的光12b、 12b的照射方向的内角θa为LED12的1/2光束角。同样，图6中的(b)示出LED16 的情况，以具有LED16的最大光度的光轴16a为中心，具有最大光度的1/2的光度的光16b、16b的照射方向的内角θb为LED16的1/2光束角。

另外，LED16被配设为，其光轴16a以3°～20°的范围内的角度与所述输送路径交叉。

另外，所述LED12内的被排列在最外周的圆弧列中的一组(LED组G1)和被配置在其他圆弧列中的一组(LED组G2)、与LED16的一组(LED组G3) 分别能够对其发光强度进行调光。

[第二照明机构]

所述第二照明机构25具有与所述第一照明机构5相同的结构，在所述旋转台3的下方，以与所述第一照明机构5成为面对称的位置关系的方式来配设。下面，尽管重复进行说明，但仍对该第二照明机构25的结构进行说明。

所述第二照明机构25包括：第二A支承体26；第二B支承体33，其被固设在该第二A支承体26的所述输送方向下游侧的端面29上；作为第二A发光器的多个LED32，其被支承在所述第二A支承体26上；和作为第二B发光器的同样为多个的LED36，其被支承在所述第二B支承体33上。

所述第二A支承体26具有从所述输送方向上游侧的端面27朝向下表面28 形成的凹曲面30，在该凹曲面30上固设有所述多个LED32。如图4所示，这些 LED32以大致位于同心圆的三个圆弧列上的方式配设在所述凹曲面30上，在本例子中在最外周的圆弧列上配设十七个LED32，由此，在中心侧的圆弧列上配设十三个LED32，在最中心侧的圆弧列上配设九个LED32。

另外，在第二A支承体26的下表面28上，形成有在所述输送方向下游侧的端面29和所述凹曲面30上开口的凹槽31，所述第二B支承体33以留出端面 29侧的开口部的上部侧来封闭端面29侧的开口部的方式被固设在该端面29上。

另一方面，在所述第二B支承体33的所述输送方向上游侧的端面34上，多个(在本例中为四个)LED36被配设为成为水平的一排，该LED36位于比所述LED32接近所述旋转台3的输送路径的位置，并且被配置在比所述LED32从所述检查位置P向所述输送方向远离的位置。

另外，所述LED32的1/2光束角(图6中的(a)所述的θa)的角度在10°～ 25°的范围内，照射指向性比较高的光。另外，所述LED36的1/2光束角(图6 中的(b)所示的θb)的角度在30°～80°的范围内，照射相对不具有指向性的光。另外，LED36被配设为，图6中的(b)所述的光轴36a以3°～20°的范围内的角度与所述输送路径交叉。

另外，所述LED32内的被排列在最外周的圆弧列中的一组(LED组G4)和被配置在其他圆弧列中的一组(LED组G5)、与LED36的一组(LED组G6) 分别能够对其发光强度进行调光。

根据具有以上结构的本例子的检查装置1，在由所述驱动马达(未图示)驱动旋转的旋转台3上，多个被检查物W以其前端面W_a朝向输送方向的姿势依次隔开规定间隔来供给，被供给的被检查物W通过所述旋转台3，以经由所述检查位置P的方式来输送。

到达所述检查位置P的被检查物W的作为被检查面的前端面W_a通过从所述第一照明机构5的LED12、LED16照射的光进行照明，并且通过从所述第二照明机构25的LED32、LED36照射，且透过旋转台3的光进行照明。这样，通过这样上下的第一照明机构5和第二照明机构25对所述前端面W_a进行照明，因此，能够以高照度对作为被检查面的所述前端面W_a均匀地进行照明。

然后，由所述拍摄摄像头4对被这样均匀照明的被检查物W的前端面W_a进行拍摄，通过未图示的判别装置对拍摄到的图像数据进行解析，由此判定该前端面W_a的外观性状是否良好。

另外，在本例子的检查装置1中，将第一照明机构5的LED16和第二照明机构25的LED36配设为其照明光轴16a、36a以3°～20°的范围内的角度与所述输送路径交叉，因此，大致能够从正面来对所述被检查物W的前端面W_a进行照明。

另外，将第一照明机构5的LED16设置在比LED12更远离所述检查位置P 的位置，因此能够在LED16与LED12之间设定合适的间隔，其在部分能够形成用于拍摄所述被检查物W的前端面W_a的空间。并且，通过形成这样的控制，能够将所述拍摄摄像头4配设成其拍摄光轴与所述输送路径所成的角度(仰角)为 10°～35°的范围的角度，由此能够将其配置为尽可能接近所述输送路径的状态。

这样，根据这样配设的拍摄摄像头4，能够尽可能从其正面来拍摄所述被检查物W的前端面W_a，由此能够将由所述拍摄摄像头4拍摄到的所述前端面W_a的图像捕捉为更大的图像，其结果，能够高精度地检查所述前端面W_a的外观性状。

另外，如上所述，通过所述LED16、LED36，大致从正面对所述被检查物 W的前端面W_a进行照明，因此，所述拍摄摄像头4能够从所述前端面W_a获取到更多的反射光，由此，能够使由该拍摄摄像头4拍摄到的图像更清晰。这样，通过得到所述前端面W_a清晰的图像，能够更高精度地对该前端面W_a的外观性状进行检查。

另外，根据该检查装置1，在电极部W₂的端面W_a上存在划伤、接触痕迹、以及缺损和剥离的情况下，通过以下作用，能够使由所述拍摄摄像头4拍摄到的图像为仅强调缺损和剥离的图像，据此，能够关于被检查物W仅根据缺损和剥离判定是否优良。

即，从被配设在旋转台3上方的第一照明机构5的LED16、以及被配设在下方的第二照明机构25的LED36向所述被检查面W_a照射相对不具有指向性的光，从第一照明机构5的LED12和第二照明机构25的LED32，从斜方向向所述被检查面W_a照射具有指向性的光。因此，在被检查面W_a上存在划伤或接触痕迹的情况下，从上下两侧照射的相对不具有指向性的光和具有指向性的光相结合，通过这些光，对形成划伤、接触痕迹的凹部内全域进行照明，其结果，从形成划伤、接触痕迹的凹部全域反射的光射入所述拍摄摄像头。由此，即使在被检查面 W_a上存在划伤、接触痕迹的情况下，由所述拍摄摄像头4拍摄到的图像也为划伤、接触痕迹被抽象的图像。

另一方面，在被检查面W_a上存在缺损、剥离，基体部W₁在该部位露出的情况下，基体部W₁的光的反射率比由金属层构成的电极部W₂低，因此，射入所述拍摄摄像头4的来自所述被检查面W_a的反射光量中与缺损、剥离对应的部分的反射光量低。其结果，由所述拍摄摄像头4拍摄到的图像成为与缺损、剥离对应的部分变暗的图像。因此，通过对所得到的图像进行处理来检测该暗部，能够检测出针对缺损、剥离的不良。由此，在被检查面W_a上存在缺损、剥离的情况下，能够仅将该缺损、剥离检测为不良。

另外，在本例子的所述第一照明机构5和第二照明机构25中，能够分别对所述LED组G1、G2、G3、G4、G5及G6进行调光，因此，通过适宜地对所述 LED组G1、G2、G3、G4、G5及G6进行调光，能够均匀地对该前端面W_a进行照明。另外，还能够按照作为被检查面的所述前端面W_a的形状来进行调光，根据被检查面的形状，在由此造成被检查面的亮度不均匀的情况下，按照该被检查面的形状来调节各LED组G1、G2、G3、G4、G5及G6的强度，由此能够使被检查面全域的亮度大致均匀。

这样，根据本例子的检查装置1，能够高精度地检查所述被检查物W的前端面W_a的外观性状，另外，不检测质量上没有问题的划伤、接触痕迹，而仅将质量上有问题的缺损和剥离检测为不良。

以上说明了本发明的具体的实施方式，但本发明能采用的具体的方式均不限定于此。例如，在上述例子中，对被检查物W的输送方向前端面W_a进行检查，但如图7所示，也可以对被检查物W的后端面W_b进行检查。该检查装置50使所述输送装置2的输送方向从A方向翻转为E方向。因此，在图7中，对与检查装置1相同的结构要素标注相同的标记，各结构要素的结构及作用与检查装置 1的结构及作用相同，因此，省略说明。

附图标记说明

1：检查装置；2：输送机构；3：旋转台；4：拍摄摄像头；5：第一照明机构；6：第一支承体；12：第一B发光器；16：第一A发光器；25：第二照明机构；26：第二支承体；32：第二B发光器；36：第二A发光器；W：被检查物； W₁：基体部；W₂：电极部；W_a：被检查面。

Claims

1.一种检查装置，该检查装置将被检查物向所设定的输送方向输送，将该被检查物的至少所述输送方向前端面或者后端面作为被检查面进行检查，其特征在于，具有：

2.根据权利要求1所述的检查装置，其特征在于，

所述拍摄摄像头被配设为，其拍摄光轴位于与所述输送路径正交的面内，且以10°～35°的范围内的角度与所述输送路径交叉，

并且，所述第一照明机构的接近所述输送路径的第一发光器和第二照明机构的接近所述输送路径的第二发光器被配设为，其照明光轴以3°～20°的范围内的角度与所述输送路径交叉。

3.根据权利要求1或2所述的检查装置，其特征在于，

构成为，能够分别对所述第一照明机构的接近所述输送路径的第一发光器和其他第一发光器、以及第二照明机构的接近所述输送路径的第二发光器和其他第二发光器进行调光。