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CN113441449B - 喷盘检测系统及其检测方法 - Google Patents

喷盘检测系统及其检测方法 Download PDF

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Abstract

本发明的复数喷盘分别以复数副管路并联于一主管路，该检测系统装设于该副管路及该主管路，该检测系统至少包含：泵浦、变频器、复数第一自动开关、压力表、第一流量计以及控制器，利用复数第一自动开关开启主管路与复数副管路的连通并输入液体，取得主管路的一标准流体压力值以及一标准流体流量值，以标准流体压力值与标准流体流量值的比值得到一标准阻力值，再利用复数第二自动开关仅开启其中一副管路与主管路的连通，而关闭其他副管路，取得主管路的一流体压力值以及一流体流量值，以两者的比值得到一阻力值，若阻力值高于该准阻力值，则判定其中一喷盘有阻塞现象。

Description

喷盘检测系统及其检测方法
技术领域
本发明有关一种以自动化方式检测喷盘是否发生堵塞异常现象的检测系统及其检测方法。
背景技术
一般电路板或晶圆制程中，例如电镀、蚀刻等湿制程时，可能会需要将各式溶液均匀地喷洒在被加工物上；现有技术的用于电路板制程的液体喷洒装置包含有一循环槽及复数喷盘；循环槽内存放有欲喷洒的液体，例如电镀液、蚀刻液、光阻液、清洁液等等；喷盘包含有复数喷嘴；喷盘与循环槽以单一管路连接，该管路上设有一泵浦，其用以将循环槽内的液体推动至喷盘上，该等液体之后再从喷盘的各喷嘴再朝循环槽内喷洒出来。
由于循环槽内进行湿制程，进行湿制程后所残留的污泥或残屑，会阻塞于喷嘴导致喷嘴内压力不正常，而发生制程异常。因此将会造成各喷盘效能不一，进而造成生产良率的下降。再者，因喷盘及管路设置于机台内，机台操作人员无法即时检视喷盘，因此亦无法有效确认喷盘的复数喷嘴是否发生阻塞，因此亦使得机台操作人员无法即时反应，无法对机台进行即时的维修处理。
发明内容
有鉴于此，本发明提供一种以自动化方式检测喷盘是否发生堵塞异常现象的检测系统及其检测方法，为其主要目的。
为达上揭目的，本发明的复数喷盘分别以复数副管路并联于一主管路，该复数喷盘设有至少一喷嘴，该检测系统装设于该副管路及该主管路，其至少包含：一泵浦，连接该主管路，可提供液体经由该主管路、该复数副管路至该复数喷盘，由该喷嘴喷洒而出；一变频器，连接该泵浦，用以控制该泵浦的动作频率；复数第一自动开关，分别配置于该复数喷盘与该复数副管路之间；一压力表，配置于该主管路，用以取得一流体压力值；一第一流量计，配置于该主管路，用以取得一流体流量值；以及一控制器，分别与该复数第一自动开关、该压力表及该第一流量计连接，可控制该第一自动开关的开启或关闭，并接收该流体压力值以及该流体流量值，以判断该复数喷盘阻塞与否。
在一较佳态样中，进一步设有一检测管路以及一第二、第三自动开关，该第二自动开关配置于该主管路，该第三自动开关配置于该检测管路，该主管路及该第二自动开关与该检测管路及该第三自动开关并联连接于该泵浦与该复数副管路之间。
在一较佳态样中，进一步设有一第二流量计配置于该检测管路，该第二流量计与该控制器连接。
在一较佳态样中，该检测管路的管径小于该主管路的管径。
在一较佳态样中，复数喷盘配置于一循环槽体，该循环槽体内容置有液体，另有一循环管路连接于该循环槽体与该泵浦，该泵浦将该循环槽体内的该液体提供至该主管路。
在一较佳态样中，该循环管路上配置有一第四自动开关。
本发明另提供一种检测方法，至少依序包括以下步骤：开启该主管路与该复数副管路的连通；输入液体于该主管路、该复数副管路、该复数喷盘以及由该喷嘴喷出；取得该主管路的一标准流体压力值以及一标准流体流量值，以该标准流体压力值与该标准流体流量值的比值得到一标准阻力值；开启该主管路与其中一副管路的连通，而关闭其他副管路；输入液体于该主管路、该其中一副管路、该其中一喷盘以及由该喷嘴喷出；取得该主管路的一流体压力值以及一流体流量值，以该流体压力值与该流体流量值的比值得到一阻力值；以及该阻力值与该标准阻力值进行比对，若该阻力值高于该标准阻力值，则判定该其中一喷盘有阻塞现象。
在一较佳态样中，该输入液体的步骤由一泵浦提供动力来源。
在一较佳态样中，该泵浦进一步连接一变频器，用以控制该泵浦的动作频率。
在一较佳态样中，进一步配置有一检测管路，该检测管路与该主管路并联连接于该泵浦与该复数副管路之间，由该检测管路输入液体至该复数副管路进行检测。
附图说明
图1为本发明中检测系统第一实施例的结构示意图。
图2为本发明中检测系统第二实施例的结构示意图。
图3为本发明中检测系统第二实施例的使用示意图。
图号说明：
喷盘 1
喷嘴 11
副管路 2
主管路 3
泵浦 41
变频器 42
第一自动开关 431
第二自动开关 432
第三自动开关 433
第四自动开关 434
压力表 44
第一流量计 451
第二流量计 452
控制器 46
检测管路 47
循环槽体 51
循环管路 52。
具体实施方式
请参阅图1所示为本发明中检测系统第一实施例的结构示意图。本发明的复数喷盘1分别以复数副管路2并联于一主管路3，该复数喷盘1设有至少一喷嘴11，该检测系统装设于该副管路2及该主管路3，该检测系统至少包含：泵浦41、变频器42、复数第一自动开关431、压力表44、第一流量计451以及控制器46。
该泵浦41连接该主管路3，可提供液体经由该主管路3、该复数副管路2至该复数喷盘1，由该喷嘴11喷洒而出。而该复数喷盘1配置于一循环槽体51，该循环槽体51内容置有液体，另有一循环管路52连接于该循环槽体51与该泵浦41，该泵浦41将该循环槽体51内的该液体提供至该主管路3。
该变频器42连接该泵浦41，用以控制该泵浦41的动作频率。
该复数第二自动开关431分别配置于该复数喷盘1与该复数副管路2之间。
该压力表44配置于该主管路3，用以取得一流体压力值；该第一流量计451配置于该主管路3，用以取得一流体流量值；而该控制器46分别与该复数第一自动开关431、该压力表44及该第一流量计451连接，可控制该复数第一自动开关431的开启或关闭，并接收该流体压力值以及该流体流量值。
因一般喷盘用的主管路的管径大约为2英吋或以上，而流量计在大管径下无法量测小流量，需再外接一小管径的检测管路出来，如图2所示，进一步设有一检测管路47、第二流量计452以及一第二、第三自动开关432、433，该第二自动开关432配置于该主管路3，该第三自动开关433配置于该检测管路47，该主管路3及该第二自动开关432与该检测管路47及该第三自动开关433并联连接于该泵浦41与该复数副管路2之间，该第二流量计452配置于该检测管路47，该第二、第三自动开关432、433以及该第二流量计452分别与该控制器46连接。
整体使用时，复数喷盘1配置于一循环槽体51，该循环管路52连接于该循环槽体51与该泵浦41，该循环管路52上配置有一第四自动开关434，该第四自动开关434与该控制器46连接；先开启该第一、第二、第四自动开关431、432、434并关闭该第三自动开关433，以开启该主管路3与该复数副管路2的连通；利用该泵浦41将该循环槽体51内的该液体提供至该主管路3、该复数副管路2、该复数喷盘1以及由该喷嘴11喷出；利用该压力表44以及第一流量计451分别取得该主管路3的一标准流体压力值PS以及一标准流体流量值QS，而该控制器46则以该标准流体压力值与该标准流体流量值的比值得到一标准阻力值(PS/QS)。
开启该主管路3与其中一副管路2的连通，而关闭其他副管路，如图3所示开启最左边第一自动开关431及第三、第四自动开关433、434，开启其他第一自动开关431及第二自动开关432；利用该泵浦41将该循环槽体51内的该液体提供至输入液体于该检测管路47、该其中一副管路2、该其中一喷盘1以及由该喷嘴11喷出；利用该压力表44以及第二流量计452分别取得该检测管路47的一流体压力值P1以及一流体流量值Q1，而该控制器46则以该流体压力值与该流体流量值的比值得到一阻力值(P1/Q1)；以及利用该控制器46比对该阻力值(P1/Q1)与该标准阻力值(PS/QS)，若该阻力值(P1/Q1)高于该标准阻力值(PS/QS)，则判定该其中一喷盘1的该喷嘴11有阻塞现象，若该阻力值(P1/Q1)小于与该标准阻力值(PS/QS)，则判定该其中一喷盘1的该喷嘴11并无阻塞现象。
之后再分次仅开启一副管路与该主管路的连通，经由取得的阻力值与标准阻力值进行比对，则可判断与开启一副管路所连接的喷盘是否有阻塞现象；本发明利用控制器来自动控制各自动开关的开启与关闭，并利用压力表及流量计所量测的值，做为检测喷盘的喷嘴是否阻塞的依据，以达到自动化检测的目的。
另外，当因生产需求而需固定关闭至少一喷盘1的该喷嘴11时，主管路的流体压力会变大而使整体流量变小，造成生产条件不一，影响生产良率，因此需用变频器42来控制该泵浦41的动作频率，以调整流体压力达到一恒定值，流量就不会受其影响，维持生产稳定。

Claims (10)

1.一种喷盘检测方法，其特征在于，复数喷盘分别以复数副管路并联于一主管路，该复数喷盘设有至少一喷嘴，该检测方法至少依序包括以下步骤：
开启该主管路与该复数副管路的连通；
输入液体于该主管路、该复数副管路、该复数喷盘以及由该喷嘴喷出；
取得该主管路的一标准流体压力值以及一标准流体流量值，以该标准流体压力值与该标准流体流量值的比值得到一标准阻力值；
开启该主管路与其中一副管路的连通，而关闭其他副管路；
输入液体于该主管路、该其中一副管路、其中一喷盘以及由该喷嘴喷出；
取得该主管路的一流体压力值以及一流体流量值，以该流体压力值与该流体流量值的比值得到一阻力值；以及
该阻力值与该标准阻力值进行比对，若该阻力值高于该标准阻力值，则判定该其中一喷盘有阻塞现象。
2.如权利要求1所述的喷盘检测方法，其特征在于，该输入液体的步骤由一泵浦提供动力来源。
3.如权利要求2所述的喷盘检测方法，其特征在于，该泵浦连接一变频器，用以控制该泵浦的动作频率。
4.如权利要求2或3所述的喷盘检测方法，其特征在于，配置有一检测管路，该检测管路与该主管路并联连接于该泵浦与该复数副管路之间，由该检测管路输入液体至该复数副管路进行检测。
5.一种喷盘检测系统，其特征在于，复数喷盘分别以复数副管路并联于一主管路，该复数喷盘设有至少一喷嘴，该检测系统装设于该副管路及该主管路，其至少包含：
一泵浦，连接该主管路，可提供液体经由该主管路、该复数副管路至该复数喷盘，由该喷嘴喷洒而出；
一变频器，连接该泵浦，用以控制该泵浦的动作频率；
复数第一自动开关，分别配置于该复数喷盘与该复数副管路之间；
一压力表，配置于该主管路，用以取得一流体压力值；
一第一流量计，配置于该主管路，用以取得一流体流量值；以及
一控制器，分别与该复数第一自动开关、该压力表及该第一流量计连接，可控制该第一自动开关的开启或关闭，并接收该流体压力值以及该流体流量值，以判断该复数喷盘阻塞与否；
其中，该喷盘检测系统用以检测的方法，依序包括以下步骤：
开启该主管路与该复数副管路的连通；
输入液体于该主管路、该复数副管路、该复数喷盘以及由该喷嘴喷出；
取得该主管路的一标准流体压力值以及一标准流体流量值，以该标准流体压力值与该标准流体流量值的比值得到一标准阻力值；
开启该主管路与其中一副管路的连通，而关闭其他副管路；
输入液体于该主管路、该其中一副管路、其中一喷盘以及由该喷嘴喷出；
取得该主管路的一流体压力值以及一流体流量值，以该流体压力值与该流体流量值的比值得到一阻力值；以及
该阻力值与该标准阻力值进行比对，若该阻力值高于该标准阻力值，则判定该其中一喷盘有阻塞现象。
6.如权利要求5所述的喷盘检测系统，其特征在于，设有一检测管路以及一第二、第三自动开关，该第二自动开关配置于该主管路，该第三自动开关配置于该检测管路，该主管路及该第二自动开关与该检测管路及该第三自动开关并联连接于该泵浦与该复数副管路之间，该第二、第三自动开关与该控制器连接。
7.如权利要求6所述的喷盘检测系统，其特征在于，设有一第二流量计配置于该检测管路，该第二流量计与该控制器连接。
8.如权利要求7所述的喷盘检测系统，其特征在于，该检测管路的管径小于该主管路的管径。
9.如权利要求5至8任一所述的喷盘检测系统，其特征在于，复数喷盘配置于一循环槽体，该循环槽体内容置有液体，另有一循环管路连接于该循环槽体与该泵浦，该泵浦将该循环槽体内的该液体提供至该主管路。
10.如权利要求9所述的喷盘检测系统，其特征在于，该循环管路上配置有一第四自动开关，该第四自动开关与该控制器连接。
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