CN112987427A - 电致调光玻璃及其制备方法 - Google Patents
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- 239000011521 glass Substances 0.000 title claims abstract description 58
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 title abstract description 10
- 239000010410 layer Substances 0.000 claims abstract description 261
- 239000010416 ion conductor Substances 0.000 claims abstract description 38
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 20
- 239000011241 protective layer Substances 0.000 claims abstract description 14
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 62
- 239000013077 target material Substances 0.000 claims description 32
- 229910052758 niobium Inorganic materials 0.000 claims description 27
- 229910052715 tantalum Inorganic materials 0.000 claims description 27
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 claims description 27
- 229910052741 iridium Inorganic materials 0.000 claims description 25
- 229910052742 iron Inorganic materials 0.000 claims description 25
- 229910052748 manganese Inorganic materials 0.000 claims description 25
- 229910052750 molybdenum Inorganic materials 0.000 claims description 25
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 claims description 25
- 229910052721 tungsten Inorganic materials 0.000 claims description 25
- 229910052720 vanadium Inorganic materials 0.000 claims description 25
- 238000002845 discoloration Methods 0.000 claims description 20
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 8
- 239000004984 smart glass Substances 0.000 claims description 7
- 238000005424 photoluminescence Methods 0.000 claims 1
- 230000008859 change Effects 0.000 abstract description 12
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 12
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 12
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 12
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 11
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 9
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 8
- JAONJTDQXUSBGG-UHFFFAOYSA-N dialuminum;dizinc;oxygen(2-) Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3].[Zn+2].[Zn+2] JAONJTDQXUSBGG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 7
- 238000004040 coloring Methods 0.000 description 5
- XLOMVQKBTHCTTD-UHFFFAOYSA-N Zinc monoxide Chemical compound [Zn]=O XLOMVQKBTHCTTD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 230000007613 environmental effect Effects 0.000 description 3
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 3
- 238000001228 spectrum Methods 0.000 description 3
- GYHNNYVSQQEPJS-UHFFFAOYSA-N Gallium Chemical compound [Ga] GYHNNYVSQQEPJS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000006121 base glass Substances 0.000 description 2
- 229910010293 ceramic material Inorganic materials 0.000 description 2
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000005401 electroluminescence Methods 0.000 description 2
- 229910052733 gallium Inorganic materials 0.000 description 2
- 150000004767 nitrides Chemical class 0.000 description 2
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 description 2
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 description 2
- 230000008569 process Effects 0.000 description 2
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 2
- 229910052718 tin Inorganic materials 0.000 description 2
- 230000007704 transition Effects 0.000 description 2
- 229910052725 zinc Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000011701 zinc Substances 0.000 description 2
- 239000011787 zinc oxide Substances 0.000 description 2
- 229910052581 Si3N4 Inorganic materials 0.000 description 1
- GDMRBHLKSYSMLJ-UHFFFAOYSA-N [F].O=[Si] Chemical compound [F].O=[Si] GDMRBHLKSYSMLJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 description 1
- 238000000137 annealing Methods 0.000 description 1
- 230000002238 attenuated effect Effects 0.000 description 1
- 230000009286 beneficial effect Effects 0.000 description 1
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 1
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 1
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 1
- 230000007797 corrosion Effects 0.000 description 1
- 238000005260 corrosion Methods 0.000 description 1
- 230000008021 deposition Effects 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 238000001035 drying Methods 0.000 description 1
- 239000005329 float glass Substances 0.000 description 1
- 229910052738 indium Inorganic materials 0.000 description 1
- APFVFJFRJDLVQX-UHFFFAOYSA-N indium atom Chemical compound [In] APFVFJFRJDLVQX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- AMGQUBHHOARCQH-UHFFFAOYSA-N indium;oxotin Chemical compound [In].[Sn]=O AMGQUBHHOARCQH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000005304 joining Methods 0.000 description 1
- 230000008018 melting Effects 0.000 description 1
- 238000002844 melting Methods 0.000 description 1
- 239000012528 membrane Substances 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 238000005546 reactive sputtering Methods 0.000 description 1
- 238000006722 reduction reaction Methods 0.000 description 1
- 238000006467 substitution reaction Methods 0.000 description 1
- 238000002834 transmittance Methods 0.000 description 1
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-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
- G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
- G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour
- G02F1/15—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour based on an electrochromic effect
- G02F1/1514—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour based on an electrochromic effect characterised by the electrochromic material, e.g. by the electrodeposited material
- G02F1/1523—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour based on an electrochromic effect characterised by the electrochromic material, e.g. by the electrodeposited material comprising inorganic material
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- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
- G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
- G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour
- G02F1/15—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour based on an electrochromic effect
- G02F1/153—Constructional details
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- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Inorganic Chemistry (AREA)
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Abstract
本发明实施例公开的一种电致调光玻璃及其制备方法。所述电致调光玻璃包括基材玻璃层和依次形成于所述基材玻璃层同一侧的第一导电层、第一主调色层、第一辅调色层、第一离子导体层、第二导电层、第一混合变色层、第二离子导体层、第二混合变色层、第三导电层以及保护层。该电致调光玻璃可以提升其在大面积产品器件中的变色均匀性。
Description
技术领域
本发明涉及一种玻璃技术领域，尤其是一种电致调光玻璃及其制备方法。
背景技术
目前电致调光玻璃产业化过程中，电致调光产品在大面积产品器件的变色均匀性及变色周期循环寿命上还存在很多缺陷，无机变色材料主要为WO3材料。WO3材料是一种众所周知的高效的阴极变色材料，通过化学的氧化与还原反应，控制WO3中W的价态变化，可以实现对光谱的吸收调控作用。但由于目前的电致调光产品存在大面积变色不均匀，周期循环寿命短等，循环到一定次数后，电极附近变色功能衰减严重甚至不变色，大大影响了其在工程中的应用。
发明内容
针对上述问题，本发明实施例提供了一种电致调光玻璃及其制备方法，以提升电致调光玻璃在大面积产品器件中的变色均匀性。
一方面，本发明实施例提供一种电致调光玻璃，包括基材玻璃层和依次形成于所述基材玻璃层上的第一导电层、第一主调色层、第一辅调色层、第一离子导体层、第二导电层、第一混合变色层、第二离子导体层、第二混合变色层、第三导电层以及保护层，其中所述第一主调色层的材料选自于W、Mo、Nb、Ti、Ta中至少两种组合的氧化物；所述第一辅调色层的材料选自于Ni、V、Co、Ir、Fe、Mn中至少两种元素组合的氧化物；所述第一混合变色层包括第一变色材料和第二变色材料，所述第一变色材料选自于W、Mo、Nb、Ti、Ta中至少两种组合的氧化物，所述第二变色材料选自于Ni、V、Co、Ir、Fe、Mn中至少两种组合的氧化物；所述第二混合变色层包括第三变色材料和第四变色材料，所述第三变色材料选自于W、Mo、Nb、Ti、Ta中至少两种组合的氧化物，所述第四变色材料选自于Ni、V、Co、Ir、Fe、Mn中至少两种组合的氧化物。
另一方面，本发明实施例提供一种电致调光玻璃，包括基材玻璃层和依次形成于所述基材玻璃层上的第一导电层、第一主调色层、第一辅调色层、第一离子导体层、第二导电层、第一混合变色层、第二离子导体层、第二混合变色层、第三导电层以及保护层。
在本发明的一个实施例中，所述第一主调色层的材料选自于W、Mo、Nb、Ti、Ta中至少两种组合的氧化物；所述第一主调色层的厚度范围为30nm-500nm。
在本发明的一个实施例中，所述第一辅调色层的材料选自于Ni、V、Co、Ir、Fe、Mn中至少两种元素组合的氧化物；所述第一辅调色层的厚度范围分别为20nm-500nm。
在本发明的一个实施例中，所述第一混合变色层包括第一变色材料和第二变色材料，所述第一变色材料选自于W、Mo、Nb、Ti、Ta中至少两种组合的氧化物，所述第二变色材料选自于Ni、V、Co、Ir、Fe、Mn中至少两种组合的氧化物；所述第一混合变色层的厚度范围分别为30nm-500nm。
在本发明的一个实施例中，所述第二混合变色层包括第三变色材料和第四变色材料，所述第三变色材料选自于W、Mo、Nb、Ti、Ta中至少两种组合的氧化物，所述第四变色材料选自于Ni、V、Co、Ir、Fe、Mn中至少两种组合的氧化物；所述第二混合变色层的厚度范围分别为20nm-500nm。
在本发明的一个实施例中，所述第一混合变色层和所述第二混合变色层的材料相同。
在本发明的一个实施例中，所述第一主调色层、所述第一混合变色层的厚度相等。
在本发明的一个实施例中，所述第一辅调色层、所述第二混合变色层的厚度相等。
在本发明的一个实施例中，所述第一导电层、所述第二导电层、所述第三导电层的材料分别选自于FTO、ITO、IGZO、AZO、GZO、Ag中的一种或至少两种的组合；所述第一导电层、所述第二导电层的厚度范围分别为1-1100nm；所述第三导电层的厚度范围为10-1000nm。
又一方面，本发明实施例提供的一种电致调光玻璃制备方法，其特征在于，包括：提供基材玻璃层；在所述基材玻璃层上形成第一导电层；在所述第一导电层上形成第一主调色层；在所述第一主调色层上形成第一辅调色层；在所述第一辅调色层上形成第一离子导体层；在所述第一离子导体层上形成第二导电层；以W、Mo、Nb、Ti、Ta中至少两种组合的氧化物为第一靶材材料，以Ni、V、Co、Ir、Fe、Mn中至少两种组合的氧化物为第二四靶材材料，在所述第二离子导体层上形成第二混合变色层在所述第二导电层上形成第一混合变色层；在所述第一混合变色层上形成第二离子导体层；以W、Mo、Nb、Ti、Ta中至少两种组合的氧化物为第三靶材材料，以Ni、V、Co、Ir、Fe、Mn中至少两种组合的氧化物为第四靶材材料，在所述第二离子导体层上形成第二混合变色层，在所述第二离子导体层上形成第二混合变色层；在所述第二混合变色层上形成第三导电层；以及在所述第三导电层上形成保护层。
上述一个或多个技术方案可以具有如下优点或有益效果：本发明实施例提供的电致调光玻璃采用主调色层+辅调色层与双混合变色层相结合的特定膜层结构，可根据环境变化主动调节节能参数，提升电致调光产品在大面积产品器件的变色均匀性。此外，本发明实施例提供的电致调光玻璃制备方法制备出的电致调光玻璃的颜色更为稳定，大面积颜色均匀性更好，且简化了生产工艺，降低了生产成本，提高了生产效率。
附图说明
为了更清楚地说明本发明实施例的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1为本发明实施例提供的一种电致调光玻璃的结构示意图。
图2为本发明实施例提供的一种电致调光玻璃制备方法的流程示意图。
具体实施方式
下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明护的范围。
如图1所示，本发明一实施例提供了一种电致调光玻璃800。电致调光玻璃800例如包括基材玻璃层10和依次形成于基材玻璃层10同一侧的第一导电层11、第一主调色层12、第一辅调色层13、第一离子导体层14、第二导电层21、第一混合变色层22、第二离子导体层23、第二混合变色层24、第三导电层30以及保护层40。
本发明实施例提供的电致调光玻璃采用主调色层+辅调色层与双混合变色层相结合的特定膜层结构，可实现根据环境变化主动调节节能参数，提升电致调光产品在大面积产品器件的变色均匀性。
具体地，基材玻璃层10可例如为浮法玻璃、超白玻璃、高铝玻璃、中铝玻璃材等。基材玻璃层10的厚度范围可例如为0.05-25mm。
第一导电层11、第二导电层21和第三导电层30的材料分别为无机变色材料。无机变色材料选自于FTO(氟硅氧化物)、ITO(铟锡氧化物)、IGZO(铟镓锌氧化物)、AZO(铝锌氧化物)、GZO(镓锌氧化物)、Ag中的一种或至少两种的组合。此处的至少两种的组合可例如为两者组合比如AZO和GZO，或其中三个组合比如FTO、ITO、GZO，甚至更多种的组合等。优选地，第一导电层11、第二导电层21、第三导电层30中至少两种的材料相同。第一导电层11、第二导电层21的厚度范围分别为1-1100nm。第三导电层30的厚度范围为10-1000nm。优选地，第一导电层11、第二导电层21的厚度、第三导电层30的厚度范围分别为10-300nm。进一步优选地，第一导电层11、第二导电层21的厚度、第三导电层30的厚度相等。
第一主调色层12为主要调光层，其对光谱起主要调节作用。的材料为无机变色材料。无机变色材料可例如选自于W、Mo、Nb、Ti、Ta中至少两种元素组合的氧化物，例如W、Mo、Nb、Ti、Ta中任意两者组合的氧化物比如WMoOx、WNbOx，或者三者组合的氧化物比如WMoTiOx、WNbTaOx，甚至更多种的组合的氧化物。氧化物的化学计量比，可以是足氧也可以是不足氧的化学计量比。第一主调色层12的厚度范围为30nm-500nm。
第一辅调色层13为辅助调光层，其对光谱起辅助调节作用。第一辅调色层13的材料选自于Ni、V、Co、Ir、Fe、Mn中至少两种组合的氧化物。具体地，第一辅调色层13、第一混合变色层22的材料分别可例如为Ni、V、Co、Ir、Fe、Mn中两种的组合的氧化物比如NiVOx、NiCoOx、NiIrOx、NiFeOx，或者三种的组合的氧化物，甚至更多种的组合的氧化物。氧化物的化学计量比，可以是足氧也可以是不足氧的化学计量比。第一辅调色层13的厚度范围为20nm-500nm。优选地，第一辅调色层13、第一主调色层12的厚度相等。
第一离子导体层14、第二离子导体层23的材料分别选自于：H、Li、Na、K、Mg中的一种或者至少两种的组合，例如包括其中的两者组合比如Li、Na，三者组合比如Na、K、Mg，甚至更多的组合等。优选地，第一离子导体层14、第二离子导体层23的材料相同。第一离子导体层14、第二离子导体层23的厚度范围分别为10nm-100nm。优选地，第一离子导体层14、第二离子导体层23的厚度相等。
第一混合变色层22的材料例如包括第一变色材料和第二变色材料。其中，第一变色材料选自于W、Mo、Nb、Ti、Ta中至少两种组合的氧化物，例如W、Mo、Nb、Ti、Ta中任意两者组合的氧化物比如WMoOx、WNbOx，或者三者组合的氧化物WMoTiOx、WNbTaOx，甚至更多种的组合的氧化物。第二变色材料选自于Ni、V、Co、Ir、Fe、Mn中至少两种组合的氧化物，具体地可以为Ni、V、Co、Ir、Fe、Mn中两种的组合的氧化物比如NiVOx、NiCoOx、NiIrOx、NiFeOx，或者三种的组合的氧化物，甚至更多种的组合的氧化物。氧化物的化学计量比，可以是足氧也可以是不足氧的化学计量比。第一混合变色层22的厚度范围为30nm-500nm。优选地，第一混合变色层22的厚度与第一主调色层12的厚度相等。
第二混合变色层24的材料例如包括第三变色材料和第四变色材料，其中，第三变色材料选自于W、Mo、Nb、Ti、Ta中至少两种组合的氧化物，例如W、Mo、Nb、Ti、Ta中任意两者组合的氧化物比如WMoOx、WNbOx，或者三者组合的氧化物比如WMoTiOx、WNbTaOx，甚至更多种的组合的氧化物；第四变色材料选自于Ni、V、Co、Ir、Fe、Mn中至少两种组合的氧化物，具体地可以为Ni、V、Co、Ir、Fe、Mn中两种的组合的氧化物比如NiVOx、NiCoOx、NiIrOx、NiFeOx，或者三种的组合的氧化物，甚至更多种的组合的氧化物。氧化物的化学计量比，可以是足氧也可以是不足氧的化学计量比。第二混合变色层24的厚度范围为20nm-500nm。优选地，第二混合变色层24的厚度与第一辅调色层13的厚度相等。
优选地，第一混合变色层22与第二混合变色层24的材料相同。第一混合变色层22与第二混合变色层24的厚度相等。
保护层40的材料选自于Si、Ti、Zn、Sn、Nb、Ta中之一的氧化物或氮化物或氮氧化物。保护层的厚度为0.2-100nm。举例来说，保护层40的材料为Si3N4，其是一种高温陶瓷材料，硬度大、熔点高、化学性质稳定，具有很强的抗腐蚀、抗机械划伤、抗高温氧化性能。
此外，本发明实施例还提供了一种电致调光玻璃制备方法，例如用于制备前述的电致调光玻璃800。电致调光玻璃制备方法例如包括步骤：
S11：提供基材玻璃层。将基材玻璃层清洁、干燥。
S12：在基材玻璃层上形成第一导电层。具体地，将基材玻璃层升温至预设温度，所述预设温度的范围例如280-300℃，以FTO、ITO、IGZO、AZO、GZO、Ag中的一种或至少两种的组合为靶材材料，在预设真空溅射气压下沉积得到第一导电层。预设真空溅射气压例如为1.0E-3～9.0E-3mbar。优选的，第一导电层也可以是预先制备好的导电膜层。这样可以达到膜层间更好的折射率匹配。
S13：在第一导电层上形成第一主调色层。以W、Mo、Nb、Ti、Ta中至少两种组合的氧化物为靶材材料。氧化物的化学计量比，可以是足氧也可以是不足氧的化学计量比。将靶材材料置于预设真空溅射气压下沉积，得到第一主调色层。
S14：在第一主调色层上形成第一辅调色层。具体地，以Ni、V、Co、Ir、Fe、Mn中至少两种组合的氧化物为靶材材料，将靶材材料置于预设真空溅射气压条件下沉积得到第一辅调色层。靶材材料中的氧化物的化学计量比，可以是足氧也可以是不足氧的化学计量比。优选地，第一辅调色层也可以同时采用多个靶位形成，以获得膜层间更好的结合力。
S14：在第一辅调色层上形成第一离子导体层。以H、Li、Na、K、Mg元素的一种或者至少两种的组合为靶材材料，并将靶材材料置于预设真空溅射气压条件下沉积得到第一离子导体层。优选地，第一离子导体层也可以同时采用多个靶位形成，以获得膜层间更好的结合力。
S16：在第一离子导体层上形成第二导电层。具体地，以FTO、ITO、IGZO、AZO、GZO、Ag中的一种或至少两种的组合为靶材材料，将靶材材料置于预设真空溅射气压条件下沉积得到第二导电层。
S17：在第二导电层上形成第一混合变色层。以W、Mo、Nb、Ti、Ta中至少两种组合的氧化物为第一靶材材料，以Ni、V、Co、Ir、Fe、Mn中至少两种组合的氧化物为第二靶材材料，将第一靶材材料和第二靶材材料置于预设真空溅射气压条件下沉积得到第一混合变色层。优选地，第一混合变色层也可以同时采用多个靶位形成，以获得膜层间更好的结合力。
S18：在第一混合变色层上形成第二离子导体层。以H、Li、Na、K、Mg元素的一种或者至少两种的组合为靶材材料，并将靶材材料置于预设真空溅射气压条件下沉积得到第二离子导体层。优选地，第二离子导体层也可以同时采用多个靶位形成，以获得膜层间更好的结合力。
S19：在第二离子导体层上形成第二混合变色层。以W、Mo、Nb、Ti、Ta中至少两种组合的氧化物为第三靶材材料，以Ni、V、Co、Ir、Fe、Mn中至少两种组合的氧化物为第四靶材材料，将第三靶材材料和第四靶材材料置于预设真空溅射气压下沉积，得到第二混合变色层。优选地，第二混合变色层也可以同时采用多个靶位形成，如此可以获得膜层间更好的结合力。
S20：在第二混合变色层上形成第三导电层。以FTO、ITO、IGZO、AZO、GZO、Ag中的一种或至少两种的组合为靶材材料，将靶材材料置于预设真空溅射气压下沉积得到第三导电层。优选的，第三导电层也可以是预先制备好的导电膜层。这样可以达到膜层间更好的折射率匹配。
S21：在第三导电层上形成保护层。以Si、Ti、Zn、Sn、Nb、Ta之一的氧化物或氮化物或氮氧化物为靶材材料，并将靶材材料置于预设真空溅射气压下沉积得到保护层。优选地，保护层也可以同时采用多个靶位形成，以获得膜层间更好的结合力。
此外，本发明实施例提供的电致调光玻璃制备方法还可以包括热处理步骤。具体地，进行真空热处理及退火工艺，热处理温度例如为300-800℃，热处理时间例如为5-120min。进步一地，本发明实施例提供的电致调光玻璃制备方法还可以包括预真空过渡并接电极，完成电致调光玻璃的制备。当然，其可采用现有技术中的方法完成预真空过渡并接电极，此处不再赘述。
综上所述，本发明实施例提供的电致调光玻璃采用主调色层+辅调色层与双混合变色层相结合的特定膜层结构，可根据环境变化主动调节节能参数，提升电致调光玻璃在大面积产品器件的变色均匀性。另外，本发明实施例提供的电致调光玻璃制备方法采用磁控反应溅射沉积法形成各膜层，避免了生产过程中多次进出镀膜设备，简化了生产工艺，从而还可降低生产成本，提高生产效率。此外，与现有技术相比，本发明实施例提供的电致调光玻璃着色效率更高，变色速度提升较大，从全透明态到全着色态，变色速度由原来的10-20分钟，降低到3-6分钟，且该玻璃全着色颜色更深，可见光透过率可以调整到0.5％以下，对比度更好。
此外，可以理解的是，前述各个实施例仅为本发明的示例性说明，在技术特征不冲突、结构不矛盾、不违背本发明的发明目的前提下，各个实施例的技术方案可以任意组合、搭配使用。
最后应说明的是：以上实施例仅用以说明本发明的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述实施例对本发明进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本发明各实施例技术方案的精神和范围。
Claims (10)
1.一种电致调光玻璃，其特征在于，包括基材玻璃层和依次形成于所述基材玻璃层上的第一导电层、第一主调色层、第一辅调色层、第一离子导体层、第二导电层、第一混合变色层、第二离子导体层、第二混合变色层、第三导电层以及保护层，其中所述第一主调色层的材料选自于W、Mo、Nb、Ti、Ta中至少两种组合的氧化物；所述第一辅调色层的材料选自于Ni、V、Co、Ir、Fe、Mn中至少两种元素组合的氧化物；所述第一混合变色层包括第一变色材料和第二变色材料，所述第一变色材料选自于W、Mo、Nb、Ti、Ta中至少两种组合的氧化物，所述第二变色材料选自于Ni、V、Co、Ir、Fe、Mn中至少两种组合的氧化物；所述第二混合变色层包括第三变色材料和第四变色材料，所述第三变色材料选自于W、Mo、Nb、Ti、Ta中至少两种组合的氧化物，所述第四变色材料选自于Ni、V、Co、Ir、Fe、Mn中至少两种组合的氧化物。
2.一种电致调光玻璃，其特征在于，包括基材玻璃层和依次形成于所述基材玻璃层上的第一导电层、第一主调色层、第一辅调色层、第一离子导体层、第二导电层、第一混合变色层、第二离子导体层、第二混合变色层、第三导电层以及保护层。
3.根据权利要求2所述的电致调光玻璃，其特征在于，所述第一主调色层的材料选自于W、Mo、Nb、Ti、Ta中至少两种组合的氧化物；所述第一主调色层的厚度范围为30nm-500nm。
4.根据权利要求2所述的电致调光玻璃，其特征在于，所述第一辅调色层的材料选自于Ni、V、Co、Ir、Fe、Mn中至少两种元素组合的氧化物；所述第一辅调色层的厚度范围分别为20nm-500nm。
5.根据权利要求2所述的电致调光玻璃，其特征在于，所述第一混合变色层包括第一变色材料和第二变色材料，所述第一变色材料选自于W、Mo、Nb、Ti、Ta中至少两种组合的氧化物，所述第二变色材料选自于Ni、V、Co、Ir、Fe、Mn中至少两种组合的氧化物；所述第一混合变色层的厚度范围分别为30nm-500nm。
6.根据权利要求2所述的电致调光玻璃，其特征在于，所述第二混合变色层包括第三变色材料和第四变色材料，所述第三变色材料选自于W、Mo、Nb、Ti、Ta中至少两种组合的氧化物，所述第四变色材料选自于Ni、V、Co、Ir、Fe、Mn中至少两种组合的氧化物；所述第二混合变色层的厚度范围分别为20nm-500nm。
7.根据权利要求2所述的电致调光玻璃，其特征在于，所述第一混合变色层和所述第二混合变色层的材料相同。
8.根据权利要求2所述的电致调光玻璃，其特征在于，所述第一主调色层、所述第一混合变色层的厚度相等；所述第一辅调色层、所述第二混合变色层的厚度相等。
9.根据权利要求2所述的电致调光玻璃，其特征在于，所述第一导电层、所述第二导电层、所述第三导电层的材料分别选自于FTO、ITO、IGZO、AZO、GZO、Ag中的一种或至少两种的组合；所述第一导电层、所述第二导电层的厚度范围分别为1-1100nm；所述第三导电层的厚度范围为10-1000nm。
10.一种电致调光玻璃制备方法，其特征在于，包括：
提供基材玻璃层；
在所述基材玻璃层上形成第一导电层；
在所述第一导电层上形成第一主调色层；
在所述第一主调色层上形成第一辅调色层；
在所述第一辅调色层上形成第一离子导体层；
在所述第一离子导体层上形成第二导电层；
以W、Mo、Nb、Ti、Ta中至少两种组合的氧化物为第一靶材材料，以Ni、V、Co、Ir、Fe、Mn中至少两种组合的氧化物为第二靶材材料，在所述第二导电层上形成第一混合变色层；
在所述第一混合变色层上形成第二离子导体层；
以W、Mo、Nb、Ti、Ta中至少两种组合的氧化物为第三靶材材料，以Ni、V、Co、Ir、Fe、Mn中至少两种组合的氧化物为第四靶材材料，在所述第二离子导体层上形成第二混合变色层；
在所述第二混合变色层上形成第三导电层；以及
在所述第三导电层上形成保护层。
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| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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| CN201911287178.8A CN112987427A (zh) | 2019-12-14 | 2019-12-14 | 电致调光玻璃及其制备方法 |
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| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201911287178.8A CN112987427A (zh) | 2019-12-14 | 2019-12-14 | 电致调光玻璃及其制备方法 |
Publications (1)
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|---|---|
| CN112987427A true CN112987427A (zh) | 2021-06-18 |
Family
ID=76342637
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN201911287178.8A Pending CN112987427A (zh) | 2019-12-14 | 2019-12-14 | 电致调光玻璃及其制备方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN112987427A (zh) |
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