CN112011831B - 一种用于立式热处理炉的开关门组件及立式热处理炉 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种用于立式热处理炉的开关门组件，所述开关门组件包括转向轴和连接座，所述连接座包括互相连接的配合部和连接部，所述连接部用于与工艺腔密封组件相连，所述配合部上形成有配合孔，所述转向轴的第一端设置在所述配合孔内，所述开关门组件还包括连接件，所述连接件将所述配合部与所述转向轴的第一端固定连接。本发明的开关门组件能够避免配合部与转向轴在连接位置发生相对移动，从而避免立式热处理炉的工艺腔密封组件与工艺腔之间出现对接偏差，并避免配合部与转向轴摩擦产生颗粒。本发明还提供一种包括上述开关门组件的立式热处理炉。

Description

一种用于立式热处理炉的开关门组件及立式热处理炉

技术领域

本发明涉及微电子设备领域，具体地，涉及一种用于立式热处理炉的开关门组件以及包括该开关门组件的立式热处理炉。

背景技术

在许多微电子加工制造工艺中，通常需要对晶片进行热处理以改善晶片的性能，然而晶片的传输过程是晶片最容易受到污染的过程之一。

现有的立式热处理炉，通常采用驱动装置对工艺腔密封组件进行驱动，以打开或封闭立式热处理炉的工艺腔。在打开或关闭工艺腔密封组件的过程中，容易将油污、颗粒带入工艺腔内或直接溅射到晶片上，对晶片造成污染，严重影响晶片表面的洁净度。

为减少晶片装载过程中的污染，现有的应对措施通常是对工艺腔密封组件的驱动装置整体进行密封，导致设备结构冗杂、维护困难。

因此，如何提高工艺腔密封组件与立式热处理炉出口之间的对接精度并减少污染物、颗粒物的产生成为本领域亟待解决的技术问题。

发明内容

作为本发明的一个方面，提供一种用于立式热处理炉的开关门组件，所述开关门组件包括转向轴和连接座。所述连接座包括互相连接的配合部和连接部，所述连接部用于与工艺腔密封组件相连，所述配合部上形成有配合孔，所述转向轴的第一端设置在所述配合孔内。所述开关门组件还包括连接件，所述连接件将所述配合部与所述转向轴的第一端固定连接。

优选地，所述配合部包括圆筒部和连接凸缘，所述圆筒部的通孔形成为所述配合孔，所述转向轴的外表面是与所述配合孔的内表面配合的圆柱面，所述连接凸缘形成在所述配合孔的内壁上，并环绕所述圆筒部的轴线设置，所述转向轴第一端的端面支撑在所述连接凸缘上，所述连接件将所述连接凸缘与所述转向轴第一端的端面固定连接。

优选地，所述转向轴形成为具有引导通孔的管状件，所述引导通孔为所述管状件的管孔。所述转向轴的管壁上形成有引导件安装孔，所述引导件安装孔贯穿所述转向轴的管壁并与所述引导通孔连通。所述开关门组件还包括走线引导件，所述走线引导件的一部分穿过所述引导件安装孔进入所述引导通孔，所述走线引导件的另一部分位于所述转向轴外部。所述走线引导件上形成有至少一个走线孔，所述走线孔的轴线方向与所述引导件安装孔的轴线方向一致。

优选地，所述走线引导件包括第一走线引导件和第二走线引导件。

其中，所述第一走线引导件包括互相连接的第一安装部和第一延伸部。所述第一安装部形成在所述第一延伸部的外表面上，且朝向所述转向轴的第二端延伸，所述第一安装部与所述转向轴的管壁固定连接。所述第一延伸部的朝向所述转向轴的第一端的表面上形成有至少一个第一走线槽，所述第一延伸部穿过所述引导件安装孔进入所述转向轴的引导通孔内，且所述第一延伸部朝向所述转向轴内部延伸，所述第一安装部能够封闭所述第一延伸部与所述引导件安装孔的孔壁之间的间隔。

所述第二走线引导件包括互相连接的第二安装部和第二延伸部。所述第二安装部形成在所述第二延伸部的外表面上，且朝向所述转向轴的第一端延伸，所述第二安装部与所述转向轴的管壁固定连接。所述第二延伸部的朝向所述转向轴的第二端的表面上形成有至少一个第二走线槽，所述第二延伸部穿过所述引导件安装孔进入所述转向轴的引导通孔内，且所述第二延伸部朝向所述转向轴内部延伸，所述第二安装部能够封闭所述第二延伸部与所述引导件安装孔的孔壁之间的间隔。

至少一个所述第一走线槽与至少一个所述第二走线槽一一对应，所述第一走线引导件朝向所述第二走线引导件的表面与所述第二走线引导件朝向所述第一走线引导件的表面相对，以使得所述第一走线槽与相应的第二走线槽拼接成所述走线孔。

优选地，所述转向轴包括管体、限位部和连接法兰。所述管体的第一端形成为所述转向轴的第一端，所述管体的第二端形成为所述转向轴的第二端。所述限位部形成在管体的外表面上，且位于所述管体的第一端，所述限位部沿所述管体一侧的径向方向超出所述管体的管壁。所述连接法兰位于所述转向轴的第二端，用于与动力产生部件连接，所述连接法兰沿圆周方向超出所述管体的管壁。

所述第一安装部与所述连接法兰之间存在第一调整间隙，所述第二延伸部与所述限位部相对，且所述第二延伸部与所述限位部之间存在第二调整间隙，所述第一安装部和所述第二安装部中的至少一者与所述转向轴的管壁可调节地固定连接。

优选地，所述开关门组件还包括维护板，所述维护板设置于所述转向轴的第二端，用于封闭所述引导通孔在所述转向轴第二端的开口。所述维护板包括固定子板和维护子板，所述固定子板与所述转向轴的管壁固定连接，所述固定子板上形成有沿所述固定子板的厚度方向贯穿所述固定子板的维护孔。所述维护子板从所述固定子板靠近所述转向轴第一端的一侧覆盖所述维护孔与所述固定子板可拆卸地连接。

优选地，所述开关门组件还包括安全套管。所述安全套管的至少一部分设置在所述配合孔内壁上的连接凸缘环绕形成的孔中，所述安全套管的材料的硬度低于所述连接凸缘的材料的硬度。

优选地，所述开关门组件还包括观察盖。所述观察盖与所述连接座的圆筒部远离所述转向轴的一端可开拆卸地连接。

作为本发明的另一个方面，提供一种立式热处理炉。所述立式热处理炉包括工艺腔、运动集成部件、开关门组件和工艺腔密封组件，所述开关门组件为前面所述的开关门组件。其中，所述转向轴的第二端与所述运动集成部件连接，所述连接座的连接部与所述工艺腔密封组件连接，所述运动集成部件用于驱动所述转向轴转动，以带动所述连接座以及所述工艺腔密封组件转动，并封闭或打开所述工艺腔的出口。

优选地，当所述开关门组件中转向轴为具有引导通孔的管状件时，所述立式热处理炉还包括电气信号线缆。所述电气信号线缆的一端与所述运动集成部件相连，所述电气信号线缆的另一端依次穿过所述走线孔、所述引导通孔和所述配合孔。

优选地，所述工艺腔密封组件包括工艺腔密封门和工艺腔密封门支撑部件，所述开关门组件的连接座通过所述工艺腔密封门支撑部件与所述工艺腔密封门连接。

本发明的开关门组件能够避免配合部与转向轴在连接位置发生相对移动，从而避免立式热处理炉的工艺腔密封组件与工艺腔之间出现对接偏差，并避免配合部与转向轴摩擦产生颗粒。

附图说明

附图是用来提供对本发明的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与下面的具体实施方式一起用于解释本发明，但并不构成对本发明的限制。在附图中：

图1是本发明所提供的开关门组件的结构示意图；

图2是包括本发明所提供的开关门组件的开关门驱动装置的示意图；

图3是本发明所提供的开关门组件中连接座的结构示意图；

图4是本发明所提供的开关门组件中连接座的局部剖示意图；

图5是本发明所提供的开关门组件中转向轴的结构示意图；

图6是本发明所提供的开关门组件中转向轴与走线引导件位置关系的示意图；

图7是本发明所提供的开关门组件中走线引导件的结构示意图；

图8是表示本发明所提供的开关门组件中转向轴与走线引导件位置关系的半剖示意图；

图9是表示本发明所提供的开关门组件的各结构相互位置关系的剖面图；

图10是图9中A-A面的剖面图；

图11是本发明所提供的立式热处理炉的结构示意图。

附图标记说明

100：开关门组件 110：转向轴

110a：引导件安装孔 111：管体

112：限位部 113：连接法兰

120：连接座 121：配合部

121a：圆筒部 121b：连接凸缘

122：连接部 130：连接件

140：走线引导件 141：第一走线引导件

141a：第一安装部 141b：第一延伸部

141c：第一走线槽 142：第二走线引导件

142a：第二安装部 142b：第二延伸部

142c：第二走线槽 150：维护板

151：固定子板 152：维护子板

160：安全套管 170：观察盖

200：运动集成部件 300：工艺腔密封门

400：工艺腔密封门支撑部件 20：工艺腔

30：承载装置 40：传送装置

50：保温桶 60：工艺门

70：升降装置 2：晶片

具体实施方式

以下结合附图对本发明的具体实施方式进行详细说明。应当理解的是，此处所描述的具体实施方式仅用于说明和解释本发明，并不用于限制本发明。

经本发明的发明人研究发现，现有技术中晶片被油污、颗粒污染的原因之一如下：

立式热处理炉的开关门组件包括转向轴和连接座，转向轴为横截面为非圆形的异形轴，连接座上形成有与所述异形轴配合的异形孔(与所述异形轴的横截面形状相同的非圆形孔)。通过驱动机构驱动转向轴转动，带动连接座移动，进而带动与连接座相连的工艺腔密封组件移动，并打开或封闭立式热处理炉的工艺腔。在运动过程中，采用异形轴、异性孔配合的转向轴和连接座之间不可避免地产生轻微的相对移动，进而在配合面处互相摩擦产生颗粒，这些颗粒最终进入晶片的运输环境中或进入立式热处理炉的工艺腔，污染晶片的表面。

有鉴于此，作为本发明的一个方面，提供一种用于立式热处理炉的开关门组件，如图1至图4和图9所示，开关门组件100包括转向轴110和连接座120，连接座120包括互相连接的配合部121和连接部122。连接部122用于与工艺腔密封组件相连，配合部121上形成有配合孔，转向轴110的第一端设置在所述配合孔内。开关门组件100还包括连接件130(如图9所示)，连接件130将配合部121与转向轴110的第一端固定连接。

需要说明的是，所述工艺腔密封组件是指用于在非工作时间实现工艺腔密封的组件，通常在立式热处理炉工作时打开，允许承载装置承载的晶片进入立式热处理炉，在非工作时间将立式热处理炉的开口封闭。本发明通过连接件130将配合部121与转向轴110连接在一起，从而避免了在所述工艺腔密封组件开启和关闭的过程中，配合部121与转向轴110之间发生相对移动，进而避免了配合部121与转向轴110在配合面处的摩擦产生颗粒污染晶片表面。

并且由于本发明的配合部121与转向轴110在连接位置不发生相对移动，在多次开门、关门动作后配合部121与转向轴110的相对位置也不会累积偏差，从而避免了立式热处理炉的工艺腔密封组件与工艺腔之间出现对接偏差，节省了开关门组件100的维修费用、和部件更换费用，从而降低了工艺成本。

本发明对所述工艺腔密封组件的结构不作具体限定，作为一种优选的实施方式，如图2所示，所述工艺腔密封组件可以包括工艺腔密封门300和工艺腔密封门支撑部件400，连接座120通过工艺腔密封门支撑部件400与工艺腔密封门300相连。优选地，工艺腔密封门支撑部件400上包括多个位置调节件，所述位置调节件可以对工艺腔密封门300的倾斜角度进行调节，以提高工艺腔密封门300对工艺腔20的密封能力。本发明对所述位置调节件不作具体限定，作为一种优选的实施方式，所述位置调节件可以包括调节螺丝。

在本发明中，转向轴110的第二端连接至驱动机构，该驱动机构能够驱动转向轴110绕自身轴线转动，从而带动工艺腔密封组件在工艺腔20的出口所在的平面内运动，从而完成工艺腔20出口的开启与封闭(如图11所示)。本发明对于该驱动机构不作具体限定，例如，该驱动机构可以是图11中所示的运动集成部件200，运动集成部件200中具有能够输出扭矩的驱动轴，该驱动轴与本发明提供的转向轴110的第二端连接，从而向转向轴110上施加扭矩载荷，使转向轴110带动连接座120和工艺腔密封门300一起转动。

本发明对如何利用连接件130将转向轴110和连接座120相连接不做特殊的限定。为了便于转向轴110的安装、提高开关门组件100的整体强度，作为一种优选的实施方式，如图3、图4所示，配合部121包括圆筒部121a和连接凸缘121b，圆筒部121a的通孔形成为所述配合孔，转向轴110的外表面是与所述配合孔的内表面配合的圆柱面。连接凸缘121b形成在所述配合孔的内壁上，并环绕圆筒部121a的轴线设置。转向轴110第一端的端面支撑在连接凸缘121b上，连接件130将连接凸缘121b与转向轴110第一端的端面固定连接。

在此优选实施方式中，转向轴110只有第一端的端面与连接凸缘121b固定连接，转向轴110的管壁与所述配合孔之间的配合面为圆柱配合面，从而在转向轴110承受扭矩载荷而产生微小形变时，转向轴110与所述配合孔之间几乎没有摩擦力。因此，本发明的转向轴110只有第一端的端面与连接凸缘121b固定连接的方案可以进一步减少驱动机构之间相互摩擦所产生的颗粒污染物的量，从而进一步减小晶片2受到污染的概率。

并且，当开关门组件100在使用过程中承受扭矩载荷时，载荷主要由转向轴110承受，在转向轴110与所述配合孔形成的圆柱配合面的限制作用下，转向轴110与所述配合孔之间将发生微小的相对转动，从而转向轴110第一端的端面与连接凸缘121b之间几乎不会产生相对运动。由此，本发明的开关门组件100将异型配合结构之间发生的相对移动转化为转向轴110与所述配合孔之间的相对转动，在扭矩载荷消失后转向轴110在自身弹性的作用下恢复形状，从而避免了转向轴与连接座在连接位置处产生多次微小的相对移动并积累形成误差，进而避免了工艺腔密封门300与工艺腔20之间出现对接偏差。此外，本发明利用转向轴110自身的扭转形变缓冲了开门、关门时突变的负载，从而提高了开关门组件100的整体强度。

通常，为开关门组件100运动状态的控制和检测提供电气信号的电气信号线缆需要连接在开关门组件100和控制装置(如，在本发明中可以是运动集成部件200)之间，电气信号线缆的线缆主体通常在开关门组件100的外侧走线，而电气信号线缆表面的积尘或线缆上的油污等也有可能进入晶片加载环境或工艺腔中污染晶片的表面。

优选地，如图5、图6所示，转向轴110形成为具有引导通孔的管状件，所述引导通孔为管状件的管孔。转向轴110的管壁上形成有引导件安装孔110a，引导件安装孔110a贯穿转向轴110的管壁并与所述引导通孔连通。开关门组件100还包括走线引导件140，走线引导件140的一部分穿过引导件安装孔110a进入所述引导通孔，走线引导件140的另一部分位于转向轴110外部。走线引导件140上形成有至少一个走线孔，所述走线孔的轴线方向与引导件安装孔110a的轴线方向一致。

本发明通过引导件安装孔110a允许电气信号线缆从开关门组件100的内部经过，从而避免了电气信号线缆所产生的颗粒物、污染物污染晶片的表面，本发明的开关门组件100无需整体密封，简化了设备整体结构。且本发明对应设置了用于引导电气信号线缆的走线引导件140，从外侧封闭了引导件安装孔110a的开口，从而避免了转向轴110中的颗粒物、污染物经由引导件安装孔110a进入晶片的装载环境或工艺腔中。此外，本发明通过所述走线孔引导电气信号线缆的走线方向，减少了电气信号线缆与引导件安装孔110a的边缘之间的摩擦，从而延长了电气信号线缆的使用寿命。

本发明对电气信号线缆的功能以及电气信号线缆与其他部件之间的连接关系不作具体限定，电气信号线缆的走线方式和完成的功能可以由技术人员自行选择。例如，作为一种可行的实施方式，电气信号线缆可以先后经过所述走线孔、所述引导通孔和所述配合孔，用于反馈开关门组件100的转动角度和转速。

为方便对不同粗细的电气信号线缆的引导，优选地，如图6至图8所示，走线引导件140包括第一走线引导件141和第二走线引导件142。

其中，第一走线引导件141包括互相连接的第一安装部141a和第一延伸部141b，第一安装部141a形成在第一延伸部141b的外表面上，且朝向转向轴110的第二端延伸，第一安装部141a与转向轴110的管壁固定连接。第一延伸部141b的朝向转向轴110的第一端的表面上形成有至少一个第一走线槽141c。第一延伸部141b穿过引导件安装孔110a进入转向轴110的引导通孔内，且第一延伸部141b朝向所述转向轴内部延伸，第一安装部141a能够封闭第一延伸部141b与引导件安装孔110a的孔壁之间的间隔。

同样地，第二走线引导件142包括互相连接的第二安装部142a和第二延伸部142b，第二安装部142a形成在第二延伸部142b的外表面上，且朝向转向轴110的第一端延伸，第二安装部142a与转向轴110的管壁固定连接。第二延伸部142b的朝向转向轴110的第二端的表面上形成有至少一个第二走线槽142c。第二延伸部142b穿过引导件安装孔110a进入转向轴110的引导通孔内，且第二延伸部142b朝向所述转向轴内部延伸，第二安装部142a能够封闭第二延伸部142b与引导件安装孔110a的孔壁之间的间隔。

至少一个第一走线槽141c与至少一个第二走线槽142c一一对应，换言之，第一走线槽141c的数量与第二走线槽142c的数量相同。第一走线引导件141朝向第二走线引导件142的表面与第二走线引导件142朝向第一走线引导件141的表面相对，以使得第一走线槽141c与相应的第二走线槽142c拼接成所述走线孔。

需要说明的是，当调节第一安装部141a与第二安装部142a之间的距离，使得第一延伸部141b与第二延伸部142b相接触时，第一延伸部141b与第二延伸部142b能够共同组成一个“柱状体”，该“柱状体”中形成有所述走线孔，所述走线孔的内壁即称为第一延伸部141b和第二延伸部142b的内表面，该“柱状体”的柱面即称为第一延伸部141b和第二延伸部142b的外表面。

本发明将走线引导件140设置为第一走线引导件141和第二走线引导件142，利用第一走线槽141c和对应的第二走线槽142共同形成所述走线孔，从而可以通过控制第一走线引导件141和第二走线引导件142相互之间的距离来控制第一走线槽141c和对应的第二走线槽142之间的距离，从而调节所述走线孔的孔径。第一安装部141a和第二安装部142a与转向轴110的外壁连接(如图6、图8所示)，并共同封闭引导件安装孔110a，以防止转向轴110中的颗粒物、污染物通过引导件安装孔110a进入晶片的装载环境或工艺腔中。第一延伸部141b和第二延伸部142b共同引导电气信号线缆穿过引导件安装孔110a，并防止电气信号线缆与引导件安装孔110a在转向轴110内壁上的开口之间的摩擦。

本发明对第一延伸部141b和第二延伸部142b在相互远离一侧的形状不作具体限定，只要满足在第一延伸部141b和第二延伸部142b相互远离时二者均不与引导件安装孔110a的开口碰撞即可。作为一种优选的实施方式，如图7所示，第一延伸部141b和第二延伸部142b在相互远离一侧均为圆弧面，从而可以避免在第一延伸部141b和第二延伸部142b插进引导件安装孔110a时与引导件安装孔110a的开口之间发生刮擦和碰撞。

本发明对如何限制第一走线引导件141和第二走线引导件142沿上下方向的运动范围不做具体限定(这里的上、下指说明书附图中的上、下方向，下文同样如此)。作为一种优选的实施方式，为了提供第一走线引导件141和第二走线引导件142足够的活动空间，如图8所示，转向轴110包括管体111、限位部112和连接法兰113。管体111的第一端形成为转向轴110的第一端，管体111的第二端形成为转向轴110的第二端。限位部112形成在管体111的外表面上，且位于管体111的第一端，限位部112沿管体111一侧的径向方向超出管体111的管壁。连接法兰113位于转向轴110的第二端，用于与动力产生部件连接，连接法兰113沿圆周方向超出管体111的管壁。

所述第一安装部与所述连接法兰之间存在第一调整间隙，所述第二延伸部与所述限位部相对，且所述第二延伸部与所述限位部之间存在第二调整间隙，所述第一安装部和所述第二安装部中的至少一者与所述转向轴的管壁可调节地固定连接。

在此实施方式中，第一走线引导件141可以向上运动至第一安装部141a与连接法兰113相接触，或第二走线引导件142可以向下运动至第二安装部142a与限位部112相接触，或者两者均可以上下调节位置。

本发明对形成限位部112的方式不作具体限定，例如，在本发明中，如图6、图8所示，可以在转向轴110管壁的外侧开出一开槽，在所述开槽的下方留下的部分管壁即形成限位部112。在本发明的其他实施方式中，也可以不采用开槽的方法，在转向轴110管壁的外侧增加一些结构形成限位部。

为了在防止转向轴110上方的运动集成部件200中的污染物、颗粒物通过转向轴110进入晶片的装载环境或工艺腔的同时，方便对运动集成部件200的维护，优选地，如图1、图9、图10所示，开关门组件100还包括维护板150。维护板150设置于转向轴110的第二端，用于封闭所述引导通孔在转向轴110第二端的开口。维护板150包括固定子板151和维护子板152，固定子板151与转向轴110的管壁固定连接，固定子板151上形成有沿固定子板151的厚度方向贯穿固定子板151的维护孔。维护子板152从固定子板151靠近转向轴110第一端的一侧覆盖维护孔与固定子板151可拆卸地连接。

本发明通过设置维护板150实现了工作状态下运动集成部件200与转向轴110之间的隔离，从而防止了运动集成部件200中的污染物、颗粒物通过转向轴110进入晶片的装载环境或工艺腔中。并且，在运动集成部件200需要检修维护时，不必将转向轴110整个拆下。仅需将维护子板152从固定子板151上卸下，即可通过固定子板151的维护孔维护运动集成部件200。

为了避免电气信号线缆与所述配合孔下侧开口边缘之间的摩擦，延长电气信号线缆的使用寿命，优选地，如图9、图10所示，开关门组件100还包括安全套管160，安全套管160的至少一部分设置在所述配合孔内壁上的连接凸缘121b环绕形成的孔中，安全套管160的材料的硬度低于连接凸缘121b的材料的硬度。

为方便对电气信号线缆和运动集成部件200的检查、维护，优选地，如图1、图3、图4、图9和图10所示，开关门组件100还包括观察盖170，观察盖170与连接座120的圆筒部121a远离转向轴110的一端可开拆卸地连接。

在本发明中，观察盖170的设置不仅方便了对于开关门组件100内部零部件结构、线缆布置状态的直接操作，提高了后期维护保养的可操作性，还能够封闭开关门组件100的内部空间，防止开关门组件100内部的油污、颗粒物进入晶片的装载环境或工艺腔内。

作为本发明的另一个方面，提供一种立式热处理炉，如图11所示，所述立式热处理炉包括工艺腔20、运动集成部件200、开关门组件和工艺腔密封组件。所述开关门组件为前面的开关门组件100。在开关门组件100中，转向轴110的第二端与运动集成部件200连接，连接座120的连接部122与所述工艺腔密封组件连接。运动集成部件200用于驱动转向轴110转动，以带动连接座120以及所述工艺腔密封组件转动，并封闭或打开工艺腔20的出口。

优选地，如图2、图11所示，所述工艺腔密封组件包括工艺腔密封门300和工艺腔密封门支撑部件400，连接座120通过工艺腔密封门支撑部件400与工艺腔密封门300连接。

优选地，工艺腔密封门支撑部件400上包括多个位置调节件，所述位置调节件可以对工艺腔密封门300的倾斜角度进行调节，以提高工艺腔密封门300对工艺腔20的密封能力。本发明对所述位置调节件不作具体限定，作为一种优选的实施方式，所述位置调节件可以包括调节螺丝。

在本发明的立式热处理炉中，配合部121与转向轴110通过连接件130相互连接，从而避免了在所述工艺腔密封组件开启和关闭的过程中，配合部121与转向轴110之间发生相对移动，进而避免了配合部121与转向轴110在配合面处的摩擦产生颗粒污染晶片表面。并且由于本发明的配合部121与转向轴110在连接位置不发生相对移动，在多次开门、关门动作后配合部121与转向轴110的相对位置也不会产生偏差，从而避免了立式热处理炉的工艺腔密封组件与工艺腔20之间出现对接偏差，节省了开关门组件100的维修费用、和部件更换费用，降低了工艺成本。

当开关门组件100中的转向轴110为具有引导通孔的管状件时，优选地，所述立式热处理炉还包括经过所述引导通孔的电气信号线缆。所述电气信号线缆的一端与运动集成部件200相连，所述电气信号线缆的另一端依次穿过所述走线孔、所述引导通孔和所述配合孔，最终通向所述配合孔远离转向轴110一侧的出口。

本发明对所述立式热处理炉用于完成晶片装载、传送等其余功能的装置不作具体限定。作为一种优选的实施方式，如图11所示，所述立式热处理炉还包括承载装置30、传送装置40、保温桶50、工艺门60和升降装置70。其中，承载装置30用于承载晶片2；传送装置40用于将晶片2安放在承载装置30上或从承载装置30上取下晶片2；保温桶50用于隔绝热量，以避免工艺腔20中的热量散失；工艺门60安装在升降装置70上，用于在载有晶片2的承载装置30进入工艺腔20后将工艺腔20的入口封闭；升降装置70用于将载有晶片2的承载装置30以及承载装置30、保温桶50、工艺门60等结构整体向上抬升送入工艺腔20或从工艺腔20中取出上述结构。

可以理解的是，以上实施方式仅仅是为了说明本发明的原理而采用的示例性实施方式，然而本发明并不局限于此。对于本领域内的普通技术人员而言，在不脱离本发明的精神和实质的情况下，可以做出各种变型和改进，这些变型和改进也视为本发明的保护范围。

Claims (8)

1.一种用于立式热处理炉的开关门组件，所述开关门组件包括转向轴和连接座，其特征在于，所述连接座包括互相连接的配合部和连接部，所述连接部用于与工艺腔密封组件相连，所述配合部上形成有配合孔，所述转向轴的第一端设置在所述配合孔内，所述开关门组件还包括连接件，所述连接件将所述配合部与所述转向轴的第一端固定连接，以避免所述配合部与所述转向轴在连接位置发生相对移动；

所述配合部包括圆筒部和连接凸缘，所述圆筒部的通孔形成为所述配合孔，所述转向轴的外表面是与所述配合孔的内表面配合的圆柱面，以减少所述配合部与所述转向轴之间相互摩擦所产生的颗粒污染物的量；所述连接凸缘形成在所述配合孔的内壁上，并环绕所述圆筒部的轴线设置，所述转向轴第一端的端面支撑在所述连接凸缘上，所述连接件将所述连接凸缘与所述转向轴第一端的端面固定连接；

所述转向轴形成为具有引导通孔的管状件，所述引导通孔为所述管状件的管孔，所述转向轴的管壁上形成有引导件安装孔，所述引导件安装孔贯穿所述转向轴的管壁并与所述引导通孔连通，所述开关门组件还包括走线引导件，所述走线引导件的一部分穿过所述引导件安装孔进入所述引导通孔，所述走线引导件的另一部分位于所述转向轴外部，所述走线引导件上形成有至少一个走线孔，所述走线孔的轴线方向与所述引导件安装孔的轴线方向一致；

所述开关门组件还包括维护板，所述维护板设置于所述转向轴的第二端，用于封闭所述引导通孔在所述转向轴第二端的开口，所述维护板包括固定子板和维护子板，所述固定子板与所述转向轴的管壁固定连接，所述固定子板上形成有沿所述固定子板的厚度方向贯穿所述固定子板的维护孔，所述维护子板从所述固定子板靠近所述转向轴第一端的一侧覆盖所述维护孔与所述固定子板可拆卸地连接。

2.根据权利要求1所述的开关门组件，其特征在于，所述走线引导件包括第一走线引导件和第二走线引导件，

所述第一走线引导件包括互相连接的第一安装部和第一延伸部，所述第一安装部形成在所述第一延伸部的外表面上，且朝向所述转向轴的第二端延伸，所述第一安装部与所述转向轴的管壁固定连接，所述第一延伸部的朝向所述转向轴的第一端的表面上形成有至少一个第一走线槽，所述第一延伸部穿过所述引导件安装孔进入所述转向轴的引导通孔内，且所述第一延伸部朝向所述转向轴内部延伸，所述第一安装部能够封闭所述第一延伸部与所述引导件安装孔的孔壁之间的间隔；

所述第二走线引导件包括互相连接的第二安装部和第二延伸部，所述第二安装部形成在所述第二延伸部的外表面上，且朝向所述转向轴的第一端延伸，所述第二安装部与所述转向轴的管壁固定连接，所述第二延伸部的朝向所述转向轴的第二端的表面上形成有至少一个第二走线槽，所述第二延伸部穿过所述引导件安装孔进入所述转向轴的引导通孔内，且所述第二延伸部朝向所述转向轴内部延伸，所述第二安装部能够封闭所述第二延伸部与所述引导件安装孔的孔壁之间的间隔；

至少一个所述第一走线槽与至少一个所述第二走线槽一一对应，所述第一走线引导件朝向所述第二走线引导件的表面与所述第二走线引导件朝向所述第一走线引导件的表面相对，以使得所述第一走线槽与相应的第二走线槽拼接成所述走线孔。

3.根据权利要求2所述的开关门组件，其特征在于，所述转向轴包括管体、限位部和连接法兰，所述管体的第一端形成为所述转向轴的第一端，所述管体的第二端形成为所述转向轴的第二端，所述限位部形成在管体的外表面上，且位于所述管体的第一端，所述限位部沿所述管体一侧的径向方向超出所述管体的管壁；

所述连接法兰位于所述转向轴的第二端，用于与动力产生部件连接，所述连接法兰沿圆周方向超出所述管体的管壁；

所述第一安装部与所述连接法兰之间存在第一调整间隙，所述第二延伸部与所述限位部相对，且所述第二延伸部与所述限位部之间存在第二调整间隙，所述第一安装部和所述第二安装部中的至少一者与所述转向轴的管壁可调节地固定连接。

4.根据权利要求1至3中任意一项所述的开关门组件，其特征在于，所述开关门组件还包括安全套管，所述安全套管的至少一部分设置在所述配合孔内壁上的连接凸缘环绕形成的孔中，所述安全套管的材料的硬度低于所述连接凸缘的材料的硬度。

5.根据权利要求1至3中任意一项所述的开关门组件，其特征在于，所述开关门组件还包括观察盖，所述观察盖与所述连接座的圆筒部远离所述转向轴的一端可开拆卸地连接。

6.一种立式热处理炉，包括工艺腔、运动集成部件、开关门组件和工艺腔密封组件，其特征在于，所述开关门组件为权利要求1至5中任意一项所述的开关门组件，所述转向轴的第二端与所述运动集成部件连接，所述连接座的连接部与所述工艺腔密封组件连接，所述运动集成部件用于驱动所述转向轴转动，以带动所述连接座以及所述工艺腔密封组件转动，并封闭或打开所述工艺腔的出口。

7.根据权利要求6所述的立式热处理炉，其特征在于，所述立式热处理炉还包括电气信号线缆，所述电气信号线缆的一端与所述运动集成部件相连，所述电气信号线缆的另一端依次穿过所述走线孔、所述引导通孔和所述配合孔。

8.根据权利要求6所述的立式热处理炉，其特征在于，所述工艺腔密封组件包括工艺腔密封门和工艺腔密封门支撑部件，所述开关门组件的连接座通过所述工艺腔密封门支撑部件与所述工艺腔密封门连接。

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