CN111752088B - 一种网格图形统一尺寸的方法、存储介质及计算机设备 - Google Patents

Abstract

本发明提供了一种网格图形统一尺寸的方法、存储介质及计算机设备，网格图形统一尺寸的方法包括，选择具有若干个第一宽度图形线和若干个第二宽度图形线的第一目标图形，其中，第一宽度图形线的线宽等于第二宽度图形线的线宽加上图形尺寸精度；根据第一目标图形中图形线的交叉点及第二宽度图形线，将至少一个第二宽度图形线的线宽扩增至第一宽度图形线的线宽。本发明提供的网格图形统一尺寸的方法，根据网格交叉图形的凹凸选择需要调整尺寸的图形线的边线，充分考虑了需要调整尺寸的图形线与同一方向相邻图形线的位置关系，在统一网格线尺寸的同时，能够保证网格图形中的图形线的边线不产生偏移。

Description

一种网格图形统一尺寸的方法、存储介质及计算机设备

技术领域

本发明属于微电子版图数据光学修正领域，尤其涉及一种网格图形统一尺寸的方法、存储介质及计算机设备。

背景技术

现有技术中，大规模集成电路普遍采用光刻系统进行制造，其基本原理为将掩模版上的版图曝光将其成像在涂有光刻胶的硅片上。随着技术的进步，为了生产出更多的产品，缩小产品面积和尺寸已经成为掩模版技术领域的常规方法，然而受到图形尺寸精度的精度限制，当版图中存在相同尺寸重复性的图形时，经过缩小后的目标尺寸可能不一致，比如目标尺寸从144nm缩小90％，缩小后的目标尺寸应为129.6nm，但在OPC精度或图形尺寸精度为0.5nm的情况下，实际得到的缩小后的目标尺寸为130nm或者129.5nm。目标尺寸的不一致会导致后续光学临近效应修正(OPC，Optical Proximity Correction)后的版图不一致，从而引起硅片图形尺寸一致性变差，进而影响后续光刻系统的成品率。其中，光学临近效应修正的原因在于：当集成电路的最小特征尺寸和间距减小到光刻机所用光源的波长以下时，由于光的干涉和衍射，以及显影等问题可能导致曝光在硅片上的图形严重失真，我们称之为光学邻近效应(OPE，Optical proximity effect)失真。这些失真引起的偏差可以达到20％，甚至更高，严重影响产品良率。因此，为了使光刻结果更符合版图的设计，通常采用光学邻近效应校正(OPC，Optical proximity correction)，以减少光学邻近效应对集成电路成品率的影响。

当网格图形目标尺寸存在图形尺寸精度的差异，如图1A所示，a＝b+G，G为所述图形尺寸精度，图中位于圆形虚框左右两边的图形线的边线不在同一水平线上；经过OPC后的网格图形尺寸可能存在不一致，即x≠y，如图1B所示。为了提高OPC后版图的一致性，首先要确保目标图形的一致性。现有技术中，如附图1C所示，对于网格图形中相差所述图形尺寸精度差异的网格图形，图形尺寸统一方法为：输入目标图形，选择尺寸偏小图形尺寸精度的网格图形线，同时向右或向上延伸图形线所述图形尺寸精度大小，得到最终的目标图形，然而，该方法虽然简单易行，却存在以下缺陷：容易导致网格图形边产生格点位移，如附图1D所示，对于图1A中圆形虚框左右两边的图形线的上部边线本来在同一水平线上的情形，偏小一个所述图形尺寸精度的图形线向上扩展之后，相邻的图形边E01和E02不在同一水平线上，也即Y坐标相差图形尺寸精度，最终导致OPC后版图与目标尺寸不一致性，影响产品的良率。可以理解地，在垂直方向上也存在类似的问题。

因此，有必要提供一种网格图形统一尺寸的方法，以解决现有技术中，在统一网格图形线尺寸时，存在的图形边线不一致的问题。

需要说明的是，公开于该发明背景技术部分的信息仅仅旨在加深对本发明一般背景技术的理解，而不应当被视为承认或以任何形式暗示该信息构成已为本领域技术人员所公知的现有技术。

发明内容

本发明的目的是提供一种网格图形统一尺寸的方法、存储介质及计算机设备，用以解决现有技术中，在统一网格图形线尺寸时，存在的图形边线不一致的问题。

为实现上述目的，本发明通过以下技术方案予以实现：一种网格图形统一尺寸的方法，包括，

选择第一目标图形，其中，所述第一目标图形包括若干个第一宽度图形线和若干个第二宽度图形线，所述第一宽度图形线的线宽和所述第二宽度图形线的线宽满足以下关系式，a＝b+G，a为所述第一宽度图形线的线宽，b为所述第二宽度图形线的线宽，G为图形尺寸精度；

根据所述第一目标图形中图形线的交叉点及所述第二宽度图形线，将至少一个所述第二宽度图形线的线宽扩增至所述第一宽度图形线的线宽。

可选地，所述第一宽度图形线垂直于所述第二宽度图形线。

可选地，定义水平方向为第一方向，定义垂直于所述第一方向的方向为第二方向；

定义平行于所述第二方向的所述第一宽度图形线为第一图形线，定义平行于所述第一方向的所述第二宽度图形线为第二图形线；

根据所述第一目标图形中图形线的交叉点及所述第二宽度图形线，将所述第二宽度图形线的线宽调整为所述第一宽度图形线的线宽包括，判断所述第一目标图形中是否存在所述第二图形线，若不存在，则将所述第一目标图形作为第三目标图形，否则，执行以下步骤，

步骤S1：输入所述第一目标图形，从所述第一目标图形中提取所述第一宽度图形线和所述第二宽度图形线，得到第一输出图形；将所述第一输出图形从所述第一目标图形中去除，得到第一交叉点图形；

步骤S2：提取所述第一输出图形中的所述第二图形线得到第二输出图形；

步骤S3：合并所述第一交叉点图形和所述第二输出图形，得到第三输出图形；

步骤S4：在所述第三输出图形中，根据所述第二图形线与第一连接边的连接关系，沿所述第二方向，往外扩展所述第二图形线的上边线和/或下边线图形尺寸精度大小，得到第四输出图形；其中，所述第一交叉点图形与所述第二输出图形合并后与所述第二图形线形成的台阶边为所述第一连接边；

步骤S5：合并所述第一目标图形和所述第四输出图形，得到第二目标图形；

步骤S6：判断所述第二目标图形中是否存在第五图形线，若不存在，则将所述第二目标图形作为第三目标图形，所述第二图形线的线宽调整完成，其中，所述第五图形线由所述第二图形线以及所述第四输出图形得到，且所述第五图形线与所述第一图形线满足以下关系式，c＝a+G，a为所述第一图形线的线宽，c为所述第五图形线的线宽；

否则，提取第二目标图中的所有所述第五图形线，得到第五输出图形，沿所述第一方向，向下和向左收缩所述第五图形线图形尺寸精度大小，得到第六输出图形，并执行步骤S7；

步骤S7：去除所述第二目标图形中的所述第五输出图形，并合并所述第六输出图形，得到第三目标图形。

可选地，所述第一连接边垂直于所述第二图形线的上边线或垂直于所述第二图形线的下边线。

可选地，所述第一连接边的长度等于所述图形尺寸精度。

可选地，所述步骤S1中将所述第一输出图形从所述第一目标图形中去除，得到第一交叉点图形的方法包括，通过对所述第一输出图形进行逻辑非运算，得到所述第一交叉点图形。

可选地，定义平行于所述第二方向的所述第二宽度图形线为第三图形线，定义平行于所述第一方向的所述第一宽度图形线为第四图形线；

所述根据所述第一宽度图形线与所述第二宽度图形线的交叉点及所述第二宽度图形线，将所述第二宽度图形线的线宽调整为所述第一宽度图形线的线宽还包括，判断所述第三目标图形中是否存在所述第三图形线，若不存在，则将所述第三目标图形作为第五目标图形；否则，执行以下步骤，

步骤S8：从所述第三目标图形中提取所述第一宽度图形线和所述第二宽度图形线，得到第七输出图形；将所述第七输出图形从所述第三目标图形中去除，得到第二交叉点图形；

提取所述第七输出图形中的所述第三图形线得到第八输出图形；

步骤S9：合并所述第二交叉点图形和所述第八输出图形，得到第九输出图形；

在所述第九输出图形中，根据所述第三图形线与第二连接边的连接关系，沿所述第一方向，扩展所述第三图形线的左边线和/或右边线图形尺寸精度大小，得到第十输出图形，合并所述第三目标图形和所述第十输出图形，得到第四目标图形；其中，所述第二交叉点图形与所述第八输出图形线合并后与所述第三图形线形成的台阶边为所述第二连接边，所述第二连接边的延伸方向平行于所述第一方向；

步骤S10：判断所述第四目标图形中是否存在第六图形线，若不存在，则将所述第四目标图形作为第五目标图形，所述第三图形线的线宽调整完成，其中，所述第六图形线由所述第三图形线以及所述第十输出图形得到，且所述第六图形线与所述第一图形线满足以下关系式，d＝a+G，a为所述第一图形线的线宽，d为所述第六图形线的线宽；

否则，提取所述第四目标图形中的第六图形线得到第十一输出图形，沿所述第二方向，向左和向下收缩所述第六图形线图形尺寸精度大小，得到第十二输出图形，并执行步骤S11；

步骤S11：去除所述第四目标图形中的所述第十一输出图形，并合并所述第十二输出图形，得到第五目标图形。

基于同一发明构思，本发明还提供了一种计算机可读存储介质，所述计算机可读存储介质上存储有计算机可执行的指令，当所述计算机可执行的指令被执行时实现上述任意一项所述的网格图形统一尺寸的方法的步骤。

基于同一发明构思，本发明还通过了一种计算机设备，包括处理器以及存储设备，所述处理器适于实现各指令，所述存储设备适于存储多条指令，所述指令适于由处理器加载上述任一项所述的网格图形统一尺寸的方法。

与现有技术相比，本发明提供的一种网格图形统一尺寸的方法，具有以下有益效果：

本发明提供的一种网格图形统一尺寸的方法，针对一种网格状经过缩小后存在的目标尺寸差异问题，根据网格交叉图形的凹凸选择需要调整尺寸的图形线的边线，并将图形线边扩展图形尺寸精度大小，充分考虑了需要调整尺寸的图形线与同一方向相邻图形线的位置关系，对需要调整尺寸的图形线选择合适的边线进行扩展。由此，本发明提供的一种网格图形统一尺寸的方法能在统一网格线尺寸的同时，能够保证网格图形中的图形线的边线不产生偏移。

进一步地，通过扩展单个图形边图形尺寸精度大小即可使图形线达到目标尺寸；若扩展需要调整尺寸的图形线的两个图形边后，则向左向下收缩图形线的边线一个图形尺寸精度大小，从而统一网格状图形尺寸。即沿所述第一方向，所述图形线的边线在同一水平线上，沿所述第二方向，所述图形线的边线在同一垂直线上。与现有技术通过统一在图形边线向上或向下扩展的统一尺寸的方式相比，通过本发明提供的一种网格图形统一尺寸的方法，得到的统一尺寸的目标图形，在后续OPC处理时，得到OPC的图形尺寸的一致性更好，能够提高产品的良率，从而节约生产成本和提高了生产效率。

由于本发明提供的一种计算机可读存储介质以及计算机设备，与所述网格图形统一尺寸的方法属于同一发明构思，因此至少具有相同的有益效果，具体请参见上述网格图形统一尺寸的方法的有益效果，不再赘述。

附图说明

图1A为OPC之前的目标网格图形其中一个网格的示意图；

图1B为图1A经OPC后的网格图形示意图；

图1C为现有技术中网格图形统一尺寸的方法流程图；

图1D为图1A经图1C所示的方法得到的目标网格图形示意图；

图2为本发明实施例的其中一种第一目标图形结构示意图；

图3为图2中的其中一个网格(图2中虚框标示)放大示意图；

图4A为本发明实施例的方法总体流程示意图；

图4B为本发明实施例其中一种统一尺寸的方法流程示意图；

图5为第一输出图形的示意图；

图5A为图5中的虚框标示处的局部放大示意图；

图6为第一交叉点图形的示意图；

图7为第二输出图形的示意图；

图8为第三输出图形的示意图；

图8A为图8的所述第二图形线与第一连接边的其中一种连接关系的局部放大示意图；

图8B为图8的所述第二图形线与第一连接边的另一种连接关系的局部放大示意图；

图8C为图8的所述第二图形线与第一连接边的又一种连接关系的局部放大示意图；

图9为第四输出图形的示意图；

图9A为图9基于图8A得到的其中一种第四输出图形(局部)示意图；

图9B为基于图8B和图8得到的另一种第四输出图形(局部)示意图；

图9C为基于图8C和图8得到的另一种第四输出图形(局部)示意图；

图10为第二目标图形(局部)示意图；

图11为第五输出图形(局部)示意图；

图12为第六输出图形(局部)示意图；

图13为第三目标图形(局部)示意图；

图14为图13中的圆形虚框局部放大示意图；

图15为第五目标图形局部放大示意图。

具体实施方式

为使本发明的目的、优点和特征更加清楚，以下结合附图对本发明提出的一种网格图形统一尺寸的方法、存储介质及计算机设备作进一步详细说明。显然地，本文所述的方法包括一系列步骤，且本文所呈现的这些步骤的顺序并非必须是可执行这些步骤的唯一顺序，且一些所述的步骤可被省略和/或一些本文未描述的其他步骤可被添加到该方法。进一步地，所描述的实施例仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

参见附图2至附图15，本发明实施例提供了一种网格图形统一尺寸的方法，包括以下方法，如附图4A所示，首先，在图2所示的网格状图形中，选择第一目标图形P1，其中，所述第一目标图形P1包括若干个第一宽度图形线和第二宽度图形线，所述第一宽度图形线的线宽a和所述第二宽度图形线的线宽b满足以下关系式，a＝b+G，a为所述第一宽度图形线的线宽，b为所述第二宽度图形线的线宽，G为图形尺寸精度；根据所述第一目标图形中图形线的交叉点及所述第二宽度图形线，将至少一个所述第二宽度图形线的线宽扩增至所述第一宽度图形线的线宽。下文以a＝130nm，b＝129.5nm，G＝0.5nm为例进行说明。可以理解地，本发明对a、b及G的具体数值不作限制。

优选地，在其中一种实施方式中，参见附图3，为第一目标图形P1其中一个网格放大示意图(下文中的单一网格均以此网格为例说明)，所述第一目标图形P1中所述第一宽度图形线垂直于所述第二宽度图形线，可以理解地，这仅是较佳实施方式的描述，并非本发明的限制，本发明提供的网格图形统一尺寸的方法并不限制所述第一宽度图形线和所述第二宽度图形线的位置关系。

为了描述的方便，定义水平方向为第一方向，将垂直于所述第一方向的方向定义为第二方向，定义平行于所述第二方向的所述第一宽度图形线为第一图形线，定义平行于所述第一方向的所述第二宽度图形线为第二图形线，定义平行于所述第二方向的所述第二宽度图形线为第三图形线，定义平行于所述第一方向的所述第一宽度图形线为第四图形线。参见附图3，以所述第一目标图形P1包括所述第一图形线L1，所述第二图形线L2、所述第三图形线L3以及所述第四图形线L4为例说明，显然地，本发明也适用仅包括第二图形线L2或第三图形线L3的情形。

具体地，参见附图3至附图15，根据所述第一目标图形P1中图形线的交叉点及所述第二宽度图形线L2，将所述第二图形线L2的线宽调整为所述第一图形线L1的线宽的方法包括，判断所述第一目标图形P1中是否存在所述第二图形线L2，若不存在，则将所述第一目标图形P1作为第三目标图形P3；否则，执行以下步骤，具体流程参见附图4B。

步骤S1：输入所述第一目标图形，从所述第一目标图形P1中提取所述第一宽度图形线和所述第二宽度图形线，得到第一输出图形PL1，参见附图5及附图5A，其中，附图5A为图5中虚框标示的其中一个网格的放大示意图。从图中可以看出，所述第一输出图形PL1中包括所述第一图形线L1、所述第二图形线L2、所述第三图形线L3以及所述第三图形线L4。

将所述第一输出图形PL1从所述第一目标图形P1中去除，得到第一交叉点图形PC1，如附图6所示。较佳地，在其中一种实施方式中，可以基于所述第一目标图形P1，对所述第一输出图形PL1进行逻辑非运算，得到所述第一交叉点图形PC1。

步骤S2：提取所述第一输出图形PL1中的所述第二图形线L2得到第二输出图形PH11，参见附图7，从图中可以看出，所述第二输出图形PH11中仅包含第二图形线L2，所述第二图形线L2的线宽为b，即：所述第二输出图形PH11中仅包含第一方向上线宽偏小一个图形尺寸精度大小的图形线。

步骤S3：合并所述第一交叉点图形PC1和所述第二输出图形PH11，得到第三输出图形PH12，参见附图8，从图中可以看出，所述第三输出图形PH12中的图形线由所述第二图形线L2以及所述第一交叉点图形PC1合并得到。其中，所述第一交叉点图形PC1与所述第二输出图形PH11合并后与所述第二图形线L2形成的台阶边为所述第一连接边jg，所述第一连接边的长度等于所述图形尺寸精度大小G，在本实施例中，jg＝0.5nm。参见附图8A、8B及8C分别为所述第二图形线与第一连接边的各种连接(位置)关系的局部放大示意图。

步骤S4：在所述第三输出图形PH12中，根据所述第二图形线L2与所述第一连接边jg的连接关系，沿所述第二方向，往外扩展所述第二图形线L 2的上边线和/或下边线所述图形尺寸精度大小G，得到第四输出图形，参见附图9。具体地，在其中一种实施方式中，请参见图9A，附图9A与附图8A相对应，所述第一连接边jg与所述第二图形线L2被扩展的上边线(图中未标示)之间具有90°的夹角，向上扩展所述第二图形线L2的上边线所述图形尺寸精度大小G，得到第一扩展图形EXP1。类似地，在另外一种实施方式中，请参见附图9B，附图9B与附图8B相对应，所述第一连接边jg与所述第二图形线L2被扩展的下边线EH1之间具有270°的夹角，则向下扩展所述第二图形线L2的下边线所述图形尺寸精度大小G，得到第二扩展图形EXP2。进一步地，在又一实施方式中，请参见附图9C，与附图8C相对应，若所述第二图形线L2的上边线(图中未标示)和下边线均存在与其连接的第一连接边jg，则对所述第二图形线L2的上边线和下边线EH1均向外扩展，得到第三扩展图形EXP3，所述第三扩展图形EXP3包括第二图形线L2的上边线向上扩展的图形线和下边线EH1向下扩展的图形线两部分。

步骤S5：合并所述第一目标图形P1和所述第四输出图形，得到第二目标图形P2。请参见附图10，附图10为所述第二目标图形P2的其中一个网格放大示意图(对应于图5A)，从图中可以看出，第一扩展图形EXP1和/或第二扩展图形EXP2与所述第二图形线L2合并成为第四图形线L4，第三扩展图形EXP3与所述第二图形线L2合并成为第五图形线L5。所述第二目标图形P2中包括所述第一图形线L1、所述第三图形线L3、所述第四图形线L4以及所述第五图形线L5。由此可见，所述第五图形线L5的线宽为a+G。

步骤S6：判断所述第二目标图形P2中是否存在所述第五图形线L5，如不存在，则将所述第二目标图形P2作为第三目标图形P3，所述第二图形线L2的线宽调整完成；否则提取所述第二目标图形P2中的所有第五图形线L5，得到第五输出图形P21，如附图11所示，其中，所述第五图形线L5由所述第二图形线L2以及所述第四输出图形得到，且所述第五图形线L5与所述第一图形线L1满足以下关系式，c＝a+G，a为所述第一图形线L1的线宽，c为所述第五图形线L5的线宽，G为所述图形尺寸精度。沿所述第一方向，向下和向左收缩所述第五图形线L5的上边线所述图形尺寸精度大小G，得到第六输出图形P22，如附图12所示。特别地，图11中所述第五输出图形P21仅包括若干个所述第五图形线L5，图12中所述第六输出图形P22仅包括有所述第五图形线L5得到的第四图形线L4。

步骤S7：去除所述第二目标图形P2中的所述第五输出图形P21，并合并所述第六输出图形P22，得到第三目标图形P3，参见附图13。

经过上述步骤之后，沿所述第一方向，所述第三目标图形P3中，所有所述第二图形线L2仅被扩展为所述第四图形线L4，所述第三目标图形P3中包括所述第一图形线L1、所述第三图形线L3以及所述第四图形线L4。参见附图14，使用本发明提供网格图形统一尺寸的方法，通过扩展所述第二图形线L2，在统一网格线尺寸的同时，能够保证使网格图形线的边不产生偏移，即在同一水平线上。

接下来，描述如何将所述第三图形线L3扩展为所述第一图形线L1的具体过程。

基于同样的原理，再对所述网格状图形结构的第二方向上的所述第二宽度图形线进行统一尺寸处理。具体地，所述根据所述第一宽度图形线与所述第二宽度图形线的交叉点及所述第二宽度图形线，将所述第二宽度图形线的线宽调整为所述第一宽度图形线的线宽包括，判断所述第三目标图形中是否存在所述第三图形线，如不存在，则将所述第三目标图形作为第五目标图形，否则，执行以下步骤。

步骤S8：从所述第三目标图形中提取所述第一宽度图形线和所述第二宽度图形线，得到第七输出图形；将所述第七输出图形从所述第三目标图形中去除，得到第二交叉点图形；提取所述第七输出图形中的所述第三图形线得到第八输出图形。

步骤S9：合并所述第二交叉点图形和所述第八输出图形，得到第九输出图形。在所述第九输出图形中，根据所述第三图形线与第二连接边的连接关系，沿所述第一方向，扩展所述第三图形线的左边线和/或右边线所述图形尺寸精度大小，得到第十输出图形，合并所述第三目标图形和所述第十输出图形，得到第四目标图形；其中，，所述第二交叉点图形与所述第八输出图形线合并后与所述第三图形线形成的台阶边为所述第二连接边，所述第二连接边的延伸方向平行于所述第一方向。

步骤S10：判断所述第四目标图形中是否存在所述第六图形线，若不存在，则将所述第四目标图形作为第五目标图形，所述第三图形线的线宽调整完成。其中，所述第六图形线由所述第三图形线以及所述第十输出图形得到，且所述第六图形线与所述第一图形线满足以下关系式，d＝a+G，a为所述第一图形线的线宽，d为所述第六图形线的线宽。

否则，提取所述第四目标图形中的第六图形线得到第十一输出图形，沿所述第二方向，向左和向下收缩所述第六图形线的右边线所述图形尺寸精度大小G，得到第十二输出图形，并执行步骤S11。

步骤S11：去除所述第四目标图形中的所述第十一输出图形，并合并所述第十二输出图形，得到第五目标图形。

经过本发明提供网格图形统一尺寸的方法统一尺寸之后的网格图形，具体请参见附图15，附图15为其中一个网格的放大示意图。

从附图15可以看出，使用本发明提供的网格图形统一尺寸的方法，统一之后的目标图形中，仅具有第一图形线L1和第四图形线L4。使用本发明提供网格图形统一尺寸的方法，通过扩展所述第三图形线L3，在统一网格线尺寸的同时，能够保证使网格图形线的边不产生偏移，即在同一垂直线上。

可以理解地，上述先统一所述第二图形线尺寸，再统一所述第三图形线尺寸的顺序并非本发明的限制，在其他的实施方式中，也可以按先统一所述第三图形线尺寸，再统一所述第二图形线尺寸的顺序，但均在本发明的保护范围之内。

在其中一种实施方式中，可以通过验证工具calibre的SVRF工具，实施本发明提供的一种网格图形统一尺寸的方法，对网格状图形进行局部目标尺寸调整，从而统一网格图形的尺寸；显然地，这并非本发明的限制，在其他的实施方式中，也可以通过软件结合硬件的方式实施，对此本发明不作任何限制。

综上所述，本发明提供的一种网格图形统一尺寸的方法，针对一种网格状经过缩小后存在的目标尺寸差异问题，根据网格交叉图形的凹凸选择需要调整尺寸的图形线的边线，并将图形线边扩展一个所述图形尺寸精度大小，充分考虑了需要调整尺寸的图形线与同一方向相邻图形线的位置关系，对需要调整尺寸的图形线选择合适的边线进行扩展，通过扩展单个图形边所述图形尺寸精度大小达到目标尺寸；若扩展所述需要调整尺寸的图形线两个图形边后，则单向收缩所述图形尺寸精度大小，从而统一网格状图形尺寸。采用本发明提供网格图形统一尺寸的方法，能在统一网格线尺寸的同时，能够保证网格图形中图形线的边线不产生偏移，即沿所述第一方向，所述图形线的边线在同一水平线上，沿所述第二方向，所述图形线的边线在同一垂直线上。与现有技术通过统一在图形边线向上或向下扩展的统一尺寸的方式相比，通过本发明提供的一种网格图形统一尺寸的方法，得到的统一尺寸的目标图形，在后续OPC处理时，得到OPC的图形尺寸的一致性更好，能够提高产品的良率，从而节约生产成本和提高了生产效率。

本发明的其他实施例还进一步提供了一种计算机可读存储介质，所述计算机可读存储介质上存储有计算机可执行的指令，当所述计算机可执行的指令被执行时实现如上文所述的一种网格图形统一尺寸的方法的步骤，具体的步骤上文已经详述，此处不再赘述。

本发明的再一实施方式还提供了一种计算机设备，所述计算机设备包括处理器以及存储设备，所述处理器适于实现各指令，所述存储设备适于存储多条指令，所述指令适于由处理器加载并上问任一实施方式所述的网格图形统一尺寸的方法的步骤，具体的步骤上文已经详述，此处不再赘述。

通过以上实施方式的描述，本领域内的技术人员应明白，本发明的实施例可提供为方法、系统、或计算机程序产品。因此，本发明可采用完全硬件实施例、完全软件实施例、或结合软件和硬件方面的实施例的形式，但很多情况下，前者是更佳的实施方式。基于这样的理解，本发明的技术方案对现有技术做出贡献的部分能以计算机软件产品的形式体现出来，所述计算机软件产品存储在计算机可读存储介质，所述计算机可读存储介质包括但不限于磁盘存储器、CD-ROM、光学存储器等。

本发明是参照根据本发明实施例的方法和计算机程序产品的流程图和/或方框图来描述的。应理解可由计算机程序指令实现流程图和/或方框图中的每一流程和/或方框、以及流程图和/或方框图中的流程和/或方框的结合。可提供这些计算机程序指令到通用计算机、专用计算机、嵌入式处理机或其他可编程数据处理设备的处理器以产生一个机器，使得通过计算机或其他可编程数据处理设备的处理器执行的指令产生用于实现在流程图一个流程或多个流程和/或方框图一个方框或多个方框中指定的功能的装置。

这些计算机程序指令也可存储在能引导计算机或其他可编程数据处理设备以特定方式工作的计算机可读存储器中，使得存储在该计算机可读存储器中的指令产生包括指令装置的制造品，该指令装置实现在流程图一个流程或多个流程和/或方框图一个方框或多个方框中指定的功能。

这些计算机程序指令也可装载到计算机或其他可编程数据处理设备上，使得在计算机或其他可编程设备上执行一系列操作步骤以产生计算机实现的处理，从而在计算机或其他可编程设备上执行的指令提供用于实现在流程图一个流程或多个流程和/或方框图一个方框或多个方框中指定的功能的步骤。

以上所述仅为本发明的优选实施例而已，并非对本发明范围的任何限定，本发明包括但不局限于上述实施中所列举的构型。对于本领域的技术人员来说，以根据上述实施例的内容举一反三，本发明实施例可以有各种更改和变化。凡在本发明的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。

Claims (7)

1.一种网格图形统一尺寸的方法，其特征在于，包括，

选择第一目标图形，其中，所述第一目标图形包括若干个第一宽度图形线和若干个第二宽度图形线，所述第一宽度图形线的线宽和所述第二宽度图形线的线宽满足以下第一关系式：

a＝b+G，

上述第一关系式中的a为所述第一宽度图形线的线宽、b为所述第二宽度图形线的线宽、G为图形尺寸精度；

所述第一宽度图形线垂直于所述第二宽度图形线；定义水平方向为第一方向，定义垂直于所述第一方向的方向为第二方向；定义平行于所述第二方向的所述第一宽度图形线为第一图形线，定义平行于所述第一方向的所述第二宽度图形线为第二图形线；

根据所述第一目标图形中图形线的交叉点及所述第二宽度图形线，通过以下步骤将至少一个所述第二宽度图形线的线宽扩增至所述第一宽度图形线的线宽：

判断所述第一目标图形中是否存在所述第二图形线，若不存在，则将所述第一目标图形作为第三目标图形，否则，执行以下步骤，

步骤S1：输入所述第一目标图形，从所述第一目标图形中提取所述第一宽度图形线和所述第二宽度图形线，得到第一输出图形；将所述第一输出图形从所述第一目标图形中去除，得到第一交叉点图形；

步骤S2：提取所述第一输出图形中的所述第二图形线得到第二输出图形；

步骤S3：合并所述第一交叉点图形和所述第二输出图形，得到第三输出图形；

步骤S4：在所述第三输出图形中，根据所述第二图形线与第一连接边的连接关系，沿所述第二方向，往外扩展所述第二图形线的上边线和/或下边线图形尺寸精度大小，得到第四输出图形；其中，所述第一交叉点图形与所述第二输出图形合并后与所述第二图形线形成的台阶边为所述第一连接边；

步骤S5：合并所述第一目标图形和所述第四输出图形，得到第二目标图形；

步骤S6：判断所述第二目标图形中是否存在第五图形线，若不存在，则将所述第二目标图形作为第三目标图形，所述第二图形线的线宽调整完成，其中，所述第五图形线由所述第二图形线以及所述第四输出图形得到，且所述第五图形线与所述第一图形线满足以下第二关系式：

c＝a+G，

上述第二关系式中的a为所述第一图形线的线宽、c为所述第五图形线的线宽、G为所述图形尺寸精度；

否则，提取第二目标图中的所有所述第五图形线，得到第五输出图形，沿所述第一方向，向下和向左收缩所述第五图形线图形尺寸精度大小，得到第六输出图形，并执行步骤S7；

步骤S7：去除所述第二目标图形中的所述第五输出图形，并合并所述第六输出图形，得到第三目标图形。

2.根据权利要求1所述的网格图形统一尺寸的方法，其特征在于，所述第一连接边垂直于所述第二图形线的上边线或垂直于所述第二图形线的下边线。

3.根据权利要求2所述的网格图形统一尺寸的方法，其特征在于，所述第一连接边的长度等于所述图形尺寸精度。

4.根据权利要求1所述的网格图形统一尺寸的方法，其特征在于，所述步骤S1中将所述第一输出图形从所述第一目标图形中去除，得到第一交叉点图形的方法包括，通过对所述第一输出图形进行逻辑非运算，得到所述第一交叉点图形。

5.根据权利要求1所述的网格图形统一尺寸的方法，其特征在于，定义平行于所述第二方向的所述第二宽度图形线为第三图形线，定义平行于所述第一方向的所述第一宽度图形线为第四图形线；

根据所述第一宽度图形线与所述第二宽度图形线的交叉点及所述第二宽度图形线，将所述第二宽度图形线的线宽调整为所述第一宽度图形线的线宽还包括，判断所述第三目标图形中是否存在所述第三图形线，若不存在，则将所述第三目标图形作为第五目标图形；否则，执行以下步骤，

步骤S8：从所述第三目标图形中提取所述第一宽度图形线和所述第二宽度图形线，得到第七输出图形；将所述第七输出图形从所述第三目标图形中去除，得到第二交叉点图形；

提取所述第七输出图形中的所述第三图形线得到第八输出图形；

步骤S9：合并所述第二交叉点图形和所述第八输出图形，得到第九输出图形；

在所述第九输出图形中，根据所述第三图形线与第二连接边的连接关系，沿所述第一方向，扩展所述第三图形线的左边线和/或右边线图形尺寸精度大小，得到第十输出图形，合并所述第三目标图形和所述第十输出图形，得到第四目标图形；其中，所述第二交叉点图形与所述第八输出图形线合并后与所述第三图形线形成的台阶边为所述第二连接边，所述第二连接边的延伸方向平行于所述第一方向；

步骤S10：判断所述第四目标图形中是否存在第六图形线，若不存在，则将所述第四目标图形作为第五目标图形，所述第三图形线的线宽调整完成，其中，所述第六图形线由所述第三图形线以及所述第十输出图形得到，且所述第六图形线与所述第一图形线满足以下第三关系式：

d＝a+G，

上述第三关系式中的a为所述第一图形线的线宽、d为所述第六图形线的线宽、G为所述图形尺寸精度；

否则，提取所述第四目标图形中的第六图形线得到第十一输出图形，沿所述第二方向，向左和向下收缩所述第六图形线图形尺寸精度大小，得到第十二输出图形，并执行步骤S11；

步骤S11：去除所述第四目标图形中的所述第十一输出图形，并合并所述第十二输出图形，得到第五目标图形。

6.一种计算机可读存储介质，所述计算机可读存储介质上存储有计算机可执行的指令，其特征在于，当所述计算机可执行的指令被执行时实现权利要求1至5中任意一项所述的网格图形统一尺寸的方法。

7.一种计算机设备，其特征在于，包括处理器以及存储设备，所述处理器适于实现各指令，所述存储设备适于存储多条指令，所述指令适于由处理器加载并执行权利要求1至5中任一项所述的网格图形统一尺寸的方法。

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